JPH09259584A - 半導体装置 - Google Patents

半導体装置

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JPH09259584A
JPH09259584A JP8065904A JP6590496A JPH09259584A JP H09259584 A JPH09259584 A JP H09259584A JP 8065904 A JP8065904 A JP 8065904A JP 6590496 A JP6590496 A JP 6590496A JP H09259584 A JPH09259584 A JP H09259584A
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supply voltage
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 メモリセルアレイ部11〜14と降圧回路装
置40とを有するコンパクトでかつ少ない消費電流の半
導体装置を提供する。 【解決手段】 降圧回路装置40は、メモリセルアレイ
部11〜14に対応したドライバ回路21〜24と、唯
一のコントロール回路20とを有する。ドライバ回路の
各々は、外部電源電圧VEXTのメモリセルアレイ部の
内の対応する一つへの供給を、コントロール信号C1に
従ってオンオフすることにより、内部電源電圧INTS
を生成し、この内部電源電圧によりメモリセルアレイ部
の内の対応する前記一つをドライブする。コントロール
回路は、メモリセルアレイ部に共通に接続され、内部電
源電圧を、外部電源電圧より低いリファレンス電圧RE
Fに比較し、内部電源電圧がリファレンス電圧を越えな
いようにコントロール信号を発生し、このコントロール
信号をドライバ回路に共通に供給する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、複数のセルアレイ
部と、外部電源電圧を降圧電圧に降圧し、この降圧電圧
を複数のセルアレイ部に共通に内部電源電圧として供給
する降圧回路装置とを有する半導体装置に関し、特に複
数のセルアレイ部として複数のメモリセルアレイ部を有
する半導体記憶装置に関する。
【0002】
【従来の技術】半導体記憶装置の大容量化が進むにつれ
て、高集積化に伴いMOSトランジスタなどのゲート酸
化膜が薄くなり、耐圧が弱くなっていくことや、消費電
力の増大などのために内部電源電圧を下げる必要がでて
きている。たとえば、64Mビット級のDRAM(dynam
ic random access memory)においては2.0V程度まで
内部電源電圧を下げることが必要となっている。
【0003】このため、半導体記憶装置においては、外
部電源電圧を、この外部電源電圧より低いリファレンス
電圧を越えない内部電源電圧に降圧し、かつ、この内部
電源電圧をメモリセルアレイ部に安定的に供給する降圧
回路装置が必要となる。
【0004】図4を参照すると、従来のもっとも基本的
な降圧回路装置30が示されている。この降圧回路装置
30は、外部電源電圧VEXT(例えば3.3V)を、
この外部電源電圧VEXTより低いリファレンス電圧R
EF(例えば2.0V)を越えない内部電源電圧INT
Sに降圧し、この内部電源電圧INTSを一つのメモリ
セルアレイ部に供給するものである。
【0005】この降圧回路装置30は、ドライバ回路1
0を有する。このドライバ回路10は、外部電源電圧V
EXTのメモリセルアレイ部への供給を、コントロール
信号C1に従ってオンオフするPチャンネル型のMOS
FET (metal oxide semiconductor feild effect tra
nsistor)6を有し、このMOSFET6により、内部電
源電圧INTSを生成し、この内部電源電圧INTSに
よりセルアレイ部をドライブするものである。
【0006】この降圧回路装置30は、更に、コントロ
ール回路20を有する。このコントロール回路20は、
内部電源電圧INTSをリファレンス電圧REFに比較
し、内部電源電圧INTSがリファレンス電圧REFを
越えないようにコントロール信号C1を発生するミラー
アンプリファイアを有し、このコントロール信号C1を
ドライバ回路10に共通に供給するものである。ミラー
アンプリファイアは、Pチャンネル型のMOSFET1
及び2と、Nチャンネル型のMOSFET3、4、及び
5とを有する。
【0007】ミラーアンプリファイアにおいては、Pチ
ャンネル型のMOSFET1及び2は外部電源電圧VE
XTを供給されている。また、内部電源電圧INTSを
リファレンス電圧REFに比較することができるよう
に、Nチャンネル型のMOSFET3及び4のゲートに
内部電源電圧INTS及びリファレンス電圧REFがそ
れぞれ供給されている。ミラーアンプリファイアの比較
結果は、コントロールい信号C1としてドライバ回路1
0のPチャンネル型のMOSFET6のゲートに供給さ
れる。この降圧回路装置30のイネーブル信号φEは、
Nチャンネル型のMOSFET5のゲートに供給され
る。Nチャンネル型のMOSFET5のソースは接地さ
れている。
【0008】この降圧回路装置30のイネーブル信号φ
Eがハイレベルになると、ミラーアンプリファイアは、
内部電源電圧INTSをリファレンス電圧REFに比較
し、内部電源電圧INTS7がリファレンス電圧REF
より低いレベルであればコントロール信号C1がローレ
ベルにアナログ的に遷移してドライバ回路10のPチャ
ンネル型のMOSFET6がメモリセルアレイ部に外部
電源電圧VEXTを供給する。
【0009】以上にドライバ回路10及びコントロール
回路20の基本的な回路構成を説明したが、本発明はド
ライバ回路10及びコントロール回路20の内部構成に
は制限されない。
【0010】一般に、半導体記憶装置においては、内部
電源電圧の供給単位で区切られた複数のメモリセルアレ
イ部にそれぞれ内部電源電圧を供給する。この際、各メ
モリセルアレイ部にセンスアンプリファイアの活性化時
には大電流を供給する必要があり、また、そのときのノ
イズも大きいので、通常は、複数のメモリセルアレイ部
に対して専用の降圧回路装置が使用される。この降圧回
路装置は大電流を複数のメモリセルアレイ部に均等に供
給する必要があるので、降圧回路装置のレイアウト上の
配置や内部電源電圧を供給する配線の幅などに降圧回路
装置の性能が影響される。具体的には、複数のメモリセ
ルアレイ部に内部電源電圧を供給する配線は複数のメモ
リセルアレイ部に対して、均等で、かつ、必要な電流を
十分流せるだけの配線幅が必要であり、また、降圧回路
装置も、内部電源電圧を供給する配線に対して等価とな
るように配置されなければならない。また、降圧回路装
置自身も外部電源から十分な電流を供給されなければな
らないため、外部電源と降圧回路装置との間に十分な幅
を持った配線がなされる必要がある。
【0011】以上の条件を満たす二つの従来の半導体記
憶装置を図5及び図6に示す。
【0012】図5の半導体記憶装置は、複数のメモリセ
ルアレイ部11〜14に対して図4に示した降圧回路装
置30を一つ有する。降圧回路装置30によって生成さ
れた内部電源電圧INTS(図4)は、比較的大きな幅
の一つの横方向の内部電源電圧供給配線43及び比較的
大きな幅の複数の縦方向の内部電源電圧供給配線44を
介して複数のメモリセルアレイ部11〜14に供給す
る。降圧回路装置30は、外部電源配線42から外部電
源電圧VEXT(図4)を供給される。
【0013】図6の半導体記憶装置は、複数のメモリセ
ルアレイ部11〜14に対応して図4に示した降圧回路
装置30を複数個有する。複数の降圧回路装置30によ
って生成された複数の内部電源電圧INTS(図4)は
比較的大きな幅の縦方向の内部電源電圧供給配線44を
介して複数のメモリセルアレイ部11〜14に供給す
る。複数の降圧回路装置30は、外部電源配線42から
外部電源電圧VEXT(図4)を供給される。
【0014】
【発明が解決しようとする課題】図5の半導体記憶装置
では、降圧回路装置30を複数の縦方向の内部電源電圧
供給配線44に接続する比較的大きな幅の横方向の内部
電源電圧供給配線43を必要とし、この横方向の内部電
源電圧供給配線43により半導体チップサイズが増大し
てしまう欠点がある。横方向の内部電源電圧供給配線4
3を細くすると、複数のメモリセルアレイ部11〜14
が供給される電圧に格差が生じてしまう恐れがある。
【0015】図6の半導体記憶装置では、複数のメモリ
セルアレイ部11〜14に対応して複数個の降圧回路装
置30が必要になるため、やはり半導体チップサイズの
増大を招く。また、各降圧回路装置30のコントロール
回路のミラーアンプリファイアには動作中に定常的に電
流を流すので、消費電流も降圧回路装置30の数の増加
に従って増大するという欠点があった。
【0016】それ故、本発明の課題は、複数のセルアレ
イ部と降圧回路装置とを有するコンパクトでかつ削減さ
れた消費電流の半導体装置を提供することにある。
【0017】本発明の別の課題は、複数のセルアレイ部
と降圧回路装置とを有するコンパクトでかつ削減された
消費電流の半導体装置を実現可能にする降圧回路装置を
提供することにある。
【0018】
【課題を解決するための手段】本発明の第1の態様によ
れば、複数のセルアレイ部と、外部電源電圧を、この外
部電源電圧より低いリファレンス電圧を越えない内部電
源電圧に降圧し、この内部電源電圧を前記複数のセルア
レイ部に共通に供給する降圧回路装置とを有する半導体
装置において、前記降圧回路装置は、前記複数のセルア
レイ部に対応して設けられた複数のドライバ回路と、唯
一のコントロール回路とを有し、前記複数のドライバ回
路の各々は、前記外部電源電圧の前記複数のセルアレイ
部の内の対応する一つへの供給を、コントロール信号に
従ってオンオフすることにより、前記内部電源電圧を生
成し、この内部電源電圧により前記複数のセルアレイ部
の内の対応する前記一つをドライブするものであり、前
記コントロール回路は、前記複数のセルアレイ部に共通
に接続され、前記内部電源電圧を前記リファレンス電圧
に比較し、前記内部電源電圧が前記リファレンス電圧を
越えないように前記コントロール信号を発生し、このコ
ントロール信号を前記複数のドライバ回路に共通に供給
するものであることを特徴とする半導体装置が得られ
る。
【0019】本発明の第2の態様によれば、複数のセル
アレイ部と、外部電源電圧を、この外部電源電圧より低
いリファレンス電圧を越えない内部電源電圧に降圧し、
この内部電源電圧を前記複数のセルアレイ部に共通に供
給する降圧回路装置とを有する半導体装置における前記
降圧回路装置において、前記複数のセルアレイ部に対応
して設けられた複数のドライバ回路と、唯一のコントロ
ール回路とを有し、前記複数のドライバ回路の各々は、
前記外部電源電圧の前記複数のセルアレイ部の内の対応
する一つへの供給を、コントロール信号に従ってオンオ
フすることにより、前記内部電源電圧を生成し、この内
部電源電圧により前記複数のセルアレイ部の内の対応す
る前記一つをドライブするものであり、前記コントロー
ル回路は、前記複数のセルアレイ部に共通に接続され、
前記内部電源電圧を前記リファレンス電圧に比較し、前
記内部電源電圧が前記リファレンス電圧を越えないよう
に前記コントロール信号を発生し、このコントロール信
号を前記複数のドライバ回路に共通に供給するものであ
ることを特徴とする半導体装置の降圧回路装置が得られ
る。
【0020】本発明の第3の態様によれば、複数のセル
アレイ部と、外部電源電圧を、この外部電源電圧より低
いリファレンス電圧を越えない内部電源電圧に降圧し、
この内部電源電圧を前記複数のセルアレイ部に共通に供
給する降圧回路装置とを有する半導体装置において、前
記降圧回路装置は、前記複数のセルアレイ部に対応して
設けられた複数のドライバ回路と、前記複数のドライバ
回路に対応して設けられ、互いに対応する前記複数のド
ライバ回路及び前記複数のセルアレイ部間をそれぞれ接
続する、各々が第1の幅を有する複数の内部電源電圧供
給配線と、前記複数の内部電源電圧供給配線を共通に接
続する、前記第1の幅よりも細い第2の幅を有する共通
接続配線と、唯一のコントロール回路とを有し、前記複
数のドライバ回路の各々は、前記外部電源電圧の前記複
数の内部電源電圧供給配線の内の対応する一つへの供給
を、コントロール信号に従ってオンオフすることによ
り、前記複数の内部電源電圧供給配線の内の対応する前
記一つ上に前記内部電源電圧を生成し、この内部電源電
圧により前記複数のセルアレイ部の内の対応する一つを
ドライブするものであり、前記コントロール回路は、前
記共通接続配線に接続され、この共通接続配線上の前記
内部電源電圧を前記リファレンス電圧に比較し、前記内
部電源電圧が前記リファレンス電圧を越えないように前
記コントロール信号を発生し、このコントロール信号を
前記複数のドライバ回路に共通に供給するものであるこ
とを特徴とする半導体装置が得られる。
【0021】本発明の第4の態様によれば、複数のセル
アレイ部と、外部電源電圧を、この外部電源電圧より低
いリファレンス電圧を越えない内部電源電圧に降圧し、
この内部電源電圧を前記複数のセルアレイ部に共通に供
給する降圧回路装置とを有する半導体装置における前記
降圧回路装置において、前記複数のセルアレイ部に対応
して設けられた複数のドライバ回路と、前記複数のドラ
イバ回路に対応して設けられ、互いに対応する前記複数
のドライバ回路及び前記複数のセルアレイ部間をそれぞ
れ接続する、各々が第1の幅を有する複数の内部電源電
圧供給配線と、3記複数の内部電源電圧供給配線を共通
に接続する、前記第1の幅よりも細い第2の幅を有する
共通接続配線と、唯一のコントロール回路とを有し、前
記複数のドライバ回路の各々は、前記外部電源電圧の前
記複数の内部電源電圧供給配線の内の対応する一つへの
供給を、コントロール信号に従ってオンオフすることに
より、前記複数の内部電源電圧供給配線の内の対応する
前記一つ上に前記内部電源電圧を生成し、この内部電源
電圧により前記複数のセルアレイ部の内の対応する一つ
をドライブするものであり、前記コントロール回路は、
前記共通接続配線に接続され、この共通接続配線上の前
記内部電源電圧を前記リファレンス電圧に比較し、前記
内部電源電圧が前記リファレンス電圧を越えないように
前記コントロール信号を発生し、このコントロール信号
を前記複数のドライバ回路に共通に供給するものである
ことを特徴とする半導体装置の降圧回路装置が得られ
る。
【0022】
【発明の実施の形態】次に本発明の実施例について図面
を参照して説明する。
【0023】図1を参照すると、本発明の第1の実施例
による半導体記憶装置は、同様の参照符号で示した同様
の部分を含む。この半導体記憶装置は、複数のメモリセ
ルアレイ部11〜14と、外部電源配線42から外部電
源電圧VEXTを供給される降圧回路装置40とを有す
る。降圧回路装置40は、外部電源電圧VEXTを、こ
の外部電源電圧VEXTより低いリファレンス電圧RE
Fを越えない内部電源電圧INTSに降圧し、この内部
電源電圧INTSを複数のメモリセルアレイ部11〜1
4に共通に供給するものである。
【0024】図2を参照すると、降圧回路装置40は、
複数のメモリセルアレイ部11〜14に対応して設けら
れた複数のドライバ回路21〜24と、複数のドライバ
回路21〜24に対応して設けられ、互いに対応する複
数のドライバ回路21〜24及び前記複数のメモリセル
アレイ部11〜14間をそれぞれ接続する複数の内部電
源電圧供給配線44と、複数の内部電源電圧供給配線4
4を共通に接続する共通接続配線45と、唯一のコント
ロール回路20とを有する。複数の内部電源電圧供給配
線44の各々は、図1に示すように、比較的大きな第1
の幅の縦方向の内部電源電圧供給配線である。共通接続
配線45は、第1の幅よりも細い第2の幅を有する。
【0025】図1及び図2において、複数のドライバ回
路21〜24の各々は、図4のドライバ回路と同様の構
造のものである。複数のドライバ回路21〜24の各々
は、外部電源電圧の複数の内部電源電圧供給配線44の
内の対応する一つへの供給を、コントロール信号C1に
従ってオンオフすることにより、複数の内部電源電圧供
給配線44の内の対応する前記一つ上に内部電源電圧I
NTSを生成し、この内部電源電圧INTSにより複数
のメモリセルアレイ部11〜14の内の対応する一つを
ドライブするものである。
【0026】コントロール回路20は、図4のコントロ
ール回路20と同様の構造のものである。コントロール
回路20は、共通接続配線45に共通に接続され、共通
接続配線45上の内部電源電圧INTSをリファレンス
電圧REFに比較し、内部電源電圧INTSがリファレ
ンス電圧REFを越えないようにコントロール信号C1
を発生し、このコントロール信号C1を複数のドライバ
回路21〜24に共通に供給するものである。
【0027】図1において、この半導体記憶装置は、内
部電源電圧の供給単位で区切られた複数のメモリアレイ
部11〜14に対応して設けられた複数のドライバ回路
21〜24と、複数のドライバ回路21〜24を制御す
る唯一のコントロール回路20とを有する。このコント
ロール回路20及びドライバ回路21〜24の内部の回
路は本発明では特に制限されないが、コントロール回路
20及びドライバ回路21〜24は図2のコントロール
回路20及びドライバ回路21〜24とする。
【0028】図2において、コントロール回路20は図
4と同様であるが、各々が図4のドライバ回路10と同
様な複数のドライバ回路21〜24に分かれ、複数のド
ライバ回路21〜24は、別の場所に配置される。複数
のドライバ回路21〜24の各々には外部電源電圧VE
XTが接続される。コントロール回路20から複数のド
ライバ回路21〜24の各々にコントロール信号C1が
供給される。
【0029】図1及び図2において、イネーブル信号φ
Eがハイレベルでコントロール回路20が活性化してい
るとき、複数のメモリアレイ部11〜14で内部電源電
圧が使用されて下がってくると共通接続配線45でコン
トロール回路20のミラーアンプリファイアに伝えられ
たレベルによってコントロール信号C1のレベルがアナ
ログ的に下がって、複数のドライバ回路21〜24のP
チャンネル型MOSFET6が複数のメモリアレイ部1
1〜14へ電位を供給する。ここで、共通接続配線45
は複数のメモリアレイ部11〜14の内部電源電圧の僅
かな格差を調節するための配線であるので、内部電源電
圧供給配線44より細くて良く、通常の信号配線程度の
幅があればよい。
【0030】図1の半導体記憶装置と図6の半導体記憶
装置とを比較すると、コントロール回路が図1の半導体
記憶装置は1つで済むのに対して図6の半導体記憶装置
ではドライバ回路ごとに必要なので4つのコントロール
回路が必要となる。コントロール回路はミラーアンプリ
ファイアが通常使われているので、その動作中には定常
的に電流を消費する。つまり、図1の半導体記憶装置で
は図6の半導体記憶装置に比べて4分の1の電流消費で
済む。例えば、コントロール回路1台あたり5mAの平
均電流が流れるとすると図6の半導体記憶装置では4台
×5mA=20mAだが、図1の半導体記憶装置では1
台×5mA=5mAで済む。
【0031】また、図1の半導体記憶装置と図5の半導
体記憶装置とを比較すると、図5の半導体記憶装置で必
要だった図5の比較的大きな幅の横方向の内部電源供給
電源配線43が不要となり、その代りに図1の共通接続
配線45に示される1〜2μm程度の配線ですむ。例え
ば、20mm×10mmの半導体チップで図5の内部電
源供給電源配線43が当該半導体チップの長辺方向に配
線されるような構成だとしてその電源供給電源配線43
が100μm必要だったとすると、図1の半導体記憶装
置の共通接続配線45は1〜2μm程度で済むため、共
通接続配線45の幅は無視できるので、半導体チップチ
ップ面積は20mm×9.8mmとなり、約2%の削減
となる。
【0032】図3を参照すると、本発明の第2の実施例
による半導体記憶装置は、複数のメモリアレイ部11〜
14と降圧回路装置40と、複数のメモリアレイ部11
〜14と降圧回路装置40とに外部電源配線42に対し
て線対称に配置された複数のメモリアレイ部11´〜1
4´と降圧回路装置40´とを有する。降圧回路装置4
0´は降圧回路装置40と構造において同様である。複
数のメモリアレイ部11〜14と複数のメモリアレイ部
11´〜14´とは独立であり、降圧回路装置40及び
40´は、降圧回路装置40及び40´のコントロール
回路20に与えるイネーブル信号φEによって全く非同
期に動作する事ができる。このとき、外部電源配線42
はメモリアレイ部11〜14とメモリアレイ部11´〜
14´とについて一系統あれば良く、それぞれ独立した
外部電源配線は持つ必要がない。
【0033】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、複
数のセルアレイ部と降圧回路装置とを有するコンパクト
でかつ削減された消費電流の半導体装置が得られる。
【0034】また本発明によればは、複数のセルアレイ
部と降圧回路装置とを有するコンパクトでかつ削減され
た消費電流の半導体装置を実現可能にする降圧回路装置
が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施例による半導体記憶装置の
正面図である。
【図2】図1の半導体記憶装置の降圧回路装置を説明す
るための図である。
【図3】本発明の第2の実施例による半導体記憶装置の
正面図である。
【図4】従来の基本的な降圧回路装置を説明するための
図である。
【図5】従来の半導体記憶装置の正面図である。
【図6】もう一つの従来の半導体記憶装置の正面図であ
る。
【符号の説明】
1 Pチャンネル型MOSFET 2 Pチャンネル型MOSFET 3 Nチャンネル型MOSFET 4 Nチャンネル型MOSFET 5 Nチャンネル型MOSFET 6 Pチャンネル型MOSFET 10 ドライバ回路 11 メモリセルアレイ部 12 メモリセルアレイ部 13 メモリセルアレイ部 14 メモリセルアレイ部 11´ メモリセルアレイ部 12´ メモリセルアレイ部 13´ メモリセルアレイ部 14´ メモリセルアレイ部 20 コントロール回路 21 ドライバ回路 22 ドライバ回路 23 ドライバ回路 24 ドライバ回路 30 降圧回路装置 40 降圧回路装置 40´ 降圧回路装置 42 外部電源配線 44 内部電源配線 45 共通接続配線 VEXT 外部電源電圧 INTS 内部電源電圧 REF リファレンス電圧 C1 コントロール信号 φE イネーブル信号

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 複数のセルアレイ部と、外部電源電圧
    を、この外部電源電圧より低いリファレンス電圧を越え
    ない内部電源電圧に降圧し、この内部電源電圧を前記複
    数のセルアレイ部に共通に供給する降圧回路装置とを有
    する半導体装置において、 前記降圧回路装置は、 前記複数のセルアレイ部に対応して設けられた複数のド
    ライバ回路と、 唯一のコントロール回路とを有し、 前記複数のドライバ回路の各々は、前記外部電源電圧の
    前記複数のセルアレイ部の内の対応する一つへの供給
    を、コントロール信号に従ってオンオフすることによ
    り、前記内部電源電圧を生成し、この内部電源電圧によ
    り前記複数のセルアレイ部の内の対応する前記一つをド
    ライブするものであり、 前記コントロール回路は、前記複数のセルアレイ部に共
    通に接続され、前記内部電源電圧を前記リファレンス電
    圧に比較し、前記内部電源電圧が前記リファレンス電圧
    を越えないように前記コントロール信号を発生し、この
    コントロール信号を前記複数のドライバ回路に共通に供
    給するものであることを特徴とする半導体装置。
  2. 【請求項2】 前記複数のセルアレイ部が複数のメモリ
    セルアレイ部であることを特徴とする請求項1に記載の
    半導体装置。
  3. 【請求項3】 複数のセルアレイ部と、外部電源電圧
    を、この外部電源電圧より低いリファレンス電圧を越え
    ない内部電源電圧に降圧し、この内部電源電圧を前記複
    数のセルアレイ部に共通に供給する降圧回路装置とを有
    する半導体装置における前記降圧回路装置において、 前記複数のセルアレイ部に対応して設けられた複数のド
    ライバ回路と、 唯一のコントロール回路とを有し、 前記複数のドライバ回路の各々は、前記外部電源電圧の
    前記複数のセルアレイ部の内の対応する一つへの供給
    を、コントロール信号に従ってオンオフすることによ
    り、前記内部電源電圧を生成し、この内部電源電圧によ
    り前記複数のセルアレイ部の内の対応する前記一つをド
    ライブするものであり、 前記コントロール回路は、前記複数のセルアレイ部に共
    通に接続され、前記内部電源電圧を前記リファレンス電
    圧に比較し、前記内部電源電圧が前記リファレンス電圧
    を越えないように前記コントロール信号を発生し、この
    コントロール信号を前記複数のドライバ回路に共通に供
    給するものであることを特徴とする半導体装置の降圧回
    路装置。
  4. 【請求項4】 前記複数のセルアレイ部が複数のメモリ
    セルアレイ部であることを特徴とする請求項3に記載の
    半導体装置の降圧回路装置。
  5. 【請求項5】 複数のセルアレイ部と、外部電源電圧
    を、この外部電源電圧より低いリファレンス電圧を越え
    ない内部電源電圧に降圧し、この内部電源電圧を前記複
    数のセルアレイ部に共通に供給する降圧回路装置とを有
    する半導体装置において、 前記降圧回路装置は、 前記複数のセルアレイ部に対応して設けられた複数のド
    ライバ回路と、 前記複数のドライバ回路に対応して設けられ、互いに対
    応する前記複数のドライバ回路及び前記複数のセルアレ
    イ部間をそれぞれ接続する、各々が第1の幅を有する複
    数の内部電源電圧供給配線と、 前記複数の内部電源電圧供給配線を共通に接続する、前
    記第1の幅よりも細い第2の幅を有する共通接続配線
    と、 唯一のコントロール回路とを有し、 前記複数のドライバ回路の各々は、前記外部電源電圧の
    前記複数の内部電源電圧供給配線の内の対応する一つへ
    の供給を、コントロール信号に従ってオンオフすること
    により、前記複数の内部電源電圧供給配線の内の対応す
    る前記一つ上に前記内部電源電圧を生成し、この内部電
    源電圧により前記複数のセルアレイ部の内の対応する一
    つをドライブするものであり、 前記コントロール回路は、前記共通接続配線に接続さ
    れ、この共通接続配線上の前記内部電源電圧を前記リフ
    ァレンス電圧に比較し、前記内部電源電圧が前記リファ
    レンス電圧を越えないように前記コントロール信号を発
    生し、このコントロール信号を前記複数のドライバ回路
    に共通に供給するものであることを特徴とする半導体装
    置。
  6. 【請求項6】 前記複数のセルアレイ部が複数のメモリ
    セルアレイ部であることを特徴とする請求項5に記載の
    半導体装置。
  7. 【請求項7】 複数のセルアレイ部と、外部電源電圧
    を、この外部電源電圧より低いリファレンス電圧を越え
    ない内部電源電圧に降圧し、この内部電源電圧を前記複
    数のセルアレイ部に共通に供給する降圧回路装置とを有
    する半導体装置における前記降圧回路装置において、 前記複数のセルアレイ部に対応して設けられた複数のド
    ライバ回路と、 前記複数のドライバ回路に対応して設けられ、互いに対
    応する前記複数のドライバ回路及び前記複数のセルアレ
    イ部間をそれぞれ接続する、各々が第1の幅を有する複
    数の内部電源電圧供給配線と、 前記複数の内部電源電圧供給配線を共通に接続する、前
    記第1の幅よりも細い第2の幅を有する共通接続配線
    と、 唯一のコントロール回路とを有し、 前記複数のドライバ回路の各々は、前記外部電源電圧の
    前記複数の内部電源電圧供給配線の内の対応する一つへ
    の供給を、コントロール信号に従ってオンオフすること
    により、前記複数の内部電源電圧供給配線の内の対応す
    る前記一つ上に前記内部電源電圧を生成し、この内部電
    源電圧により前記複数のセルアレイ部の内の対応する一
    つをドライブするものであり、 前記コントロール回路は、前記共通接続配線に接続さ
    れ、この共通接続配線上の前記内部電源電圧を前記リフ
    ァレンス電圧に比較し、前記内部電源電圧が前記リファ
    レンス電圧を越えないように前記コントロール信号を発
    生し、このコントロール信号を前記複数のドライバ回路
    に共通に供給するものであることを特徴とする半導体装
    置の降圧回路装置。
  8. 【請求項8】 前記複数のセルアレイ部が複数のメモリ
    セルアレイ部であることを特徴とする請求項7に記載の
    半導体装置の降圧回路装置。
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