JPH09235133A - 光ファイバ母材の製造方法 - Google Patents
光ファイバ母材の製造方法Info
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- JPH09235133A JPH09235133A JP4489296A JP4489296A JPH09235133A JP H09235133 A JPH09235133 A JP H09235133A JP 4489296 A JP4489296 A JP 4489296A JP 4489296 A JP4489296 A JP 4489296A JP H09235133 A JPH09235133 A JP H09235133A
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- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01413—Reactant delivery systems
- C03B37/0142—Reactant deposition burners
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/04—Multi-nested ports
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
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- C03B2207/12—Nozzle or orifice plates
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- C03B2207/20—Specific substances in specified ports, e.g. all gas flows specified
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- C03B2207/36—Fuel or oxidant details, e.g. flow rate, flow rate ratio, fuel additives
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- C03B2207/50—Multiple burner arrangements
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- Organic Chemistry (AREA)
- Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 大型の光ファイバ母材の製造に適した光ファ
イバ母材の製造方法を提供すること。 【解決手段】 ガラス原料流出口、燃料ガス流出口及び
助燃性ガス流出口を備えたコアバーナ１及びクラッドバ
ーナ２を用い、それらの各バーナからそれぞれ火炎及び
ガラス原料を噴出させ火炎加水分解によりガラス微粒子
を生成し、ほぼ垂直に配設された出発棒の下端にそれら
のガラス微粒子を堆積させて行う光ファイバ母材の製造
方法において、コアバーナ１の燃料ガス流出口３３内に
補助助燃性ガス流出口３７を複数配設し、それらの補助
助燃性ガス流出口３７から助燃性ガスを噴出させなが
ら、ガラス微粒子の生成及び堆積を行う。
イバ母材の製造方法を提供すること。 【解決手段】 ガラス原料流出口、燃料ガス流出口及び
助燃性ガス流出口を備えたコアバーナ１及びクラッドバ
ーナ２を用い、それらの各バーナからそれぞれ火炎及び
ガラス原料を噴出させ火炎加水分解によりガラス微粒子
を生成し、ほぼ垂直に配設された出発棒の下端にそれら
のガラス微粒子を堆積させて行う光ファイバ母材の製造
方法において、コアバーナ１の燃料ガス流出口３３内に
補助助燃性ガス流出口３７を複数配設し、それらの補助
助燃性ガス流出口３７から助燃性ガスを噴出させなが
ら、ガラス微粒子の生成及び堆積を行う。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ガラス微粒子の堆
積体である光ファイバ母材の製造方法に関するものであ
る。
積体である光ファイバ母材の製造方法に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】光ファイバ母材の製造方法の一つとし
て、特開昭６２−１７０３７号公報及び特開平１−１５
３５４８号公報に記載されるように、ＶＡＤ法（気相軸
付法）が知られている。この方法は、上方から吊り下げ
られ軸回転自在であって上下動自在とした出発棒の下端
へ向けてコアバーナ及びクラッドバーナを配設し、その
コアバーナからＳｉＣｌ4 、ＧｅＣｌ4 などのけい素化
合物、水素及び酸素を噴出させると共に、クラッドバー
ナからＳｉＣｌ4 などのけい素化合物、水素及び酸素を
噴出させ、けい素化合物を火炎加水分解反応によりガラ
ス微粒子とし、コアバーナからのガラス微粒子を出発棒
の中央下端部分へ堆積させ、クラッドバーナからのガラ
ス微粒子を出発棒の外周部分へ堆積させて、中央の軸心
部分に屈折率の大きいコア部分を形成させたガラス微粒
子の堆積体（光ファイバ母材）を形成するものである。
て、特開昭６２−１７０３７号公報及び特開平１−１５
３５４８号公報に記載されるように、ＶＡＤ法（気相軸
付法）が知られている。この方法は、上方から吊り下げ
られ軸回転自在であって上下動自在とした出発棒の下端
へ向けてコアバーナ及びクラッドバーナを配設し、その
コアバーナからＳｉＣｌ4 、ＧｅＣｌ4 などのけい素化
合物、水素及び酸素を噴出させると共に、クラッドバー
ナからＳｉＣｌ4 などのけい素化合物、水素及び酸素を
噴出させ、けい素化合物を火炎加水分解反応によりガラ
ス微粒子とし、コアバーナからのガラス微粒子を出発棒
の中央下端部分へ堆積させ、クラッドバーナからのガラ
ス微粒子を出発棒の外周部分へ堆積させて、中央の軸心
部分に屈折率の大きいコア部分を形成させたガラス微粒
子の堆積体（光ファイバ母材）を形成するものである。
【０００３】このＶＡＤ法において、前者の特開昭６２
−１７０３７号公報には、クラッドバーナとコアバーナ
とを所定距離隔てて配置して、コア部分を長寸状としな
がらガラス微粒子の堆積体を形成することにより、クラ
ッドバーナとコアバーナにおける火炎同士の干渉を防止
して、その堆積体を光ファイバとしたときに光ファイバ
の屈折率分布においてコア部分とクラッド部分の境界で
不整（コア部分とクラッド部分の境界で屈折率がステッ
プ状、即ち急峻な変化とならず、徐々に変化する状態）
を生ずるのを回避しようとしたものが記載されている。
また、後者の特開平１−１５３５４８号公報には、ガラ
ス微粒子の堆積体の形成において、その堆積体のコア部
分を所定範囲で縮径させることにより、その堆積体を光
ファイバとしたときに、光ファイバの屈折率分布におい
てコア部分とクラッド部分の境界で不整を生ずるのを回
避しようとしたものが記載されている。
−１７０３７号公報には、クラッドバーナとコアバーナ
とを所定距離隔てて配置して、コア部分を長寸状としな
がらガラス微粒子の堆積体を形成することにより、クラ
ッドバーナとコアバーナにおける火炎同士の干渉を防止
して、その堆積体を光ファイバとしたときに光ファイバ
の屈折率分布においてコア部分とクラッド部分の境界で
不整（コア部分とクラッド部分の境界で屈折率がステッ
プ状、即ち急峻な変化とならず、徐々に変化する状態）
を生ずるのを回避しようとしたものが記載されている。
また、後者の特開平１−１５３５４８号公報には、ガラ
ス微粒子の堆積体の形成において、その堆積体のコア部
分を所定範囲で縮径させることにより、その堆積体を光
ファイバとしたときに、光ファイバの屈折率分布におい
てコア部分とクラッド部分の境界で不整を生ずるのを回
避しようとしたものが記載されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
光ファイバ母材の製造技術にあっては、次のような問題
点がある。近年、光ファイバの需要の増大により、光フ
ァイバ母材（ガラス微粒子の堆積体）は、生産性向上、
低コスト化の観点から、大型化しており、このような大
型の光ファイバ母材の製造技術の開発が切望されてい
る。そこで、前者の特開昭６２−１７０３７号公報に記
載された方法により大型の光ファイバ母材を製造しよう
とすると、ガラス微粒子堆積体にクラックが生ずるのを
防止するためにその表面を所定温度に保つ必要がある。
このため、各バーナにおける火力を大きくしようとする
と、バーナからの火炎が広がってしまい、特に堆積体の
コア部分でガラス微粒子の収率が悪くなり、光ファイバ
母材の製造効率が低下してしまう。この不具合を解消す
るため、バーナの火力を低く抑えると、ガラス微粒子堆
積体（光ファイバ母材）の製造に多大な時間を要するこ
ととなる。
光ファイバ母材の製造技術にあっては、次のような問題
点がある。近年、光ファイバの需要の増大により、光フ
ァイバ母材（ガラス微粒子の堆積体）は、生産性向上、
低コスト化の観点から、大型化しており、このような大
型の光ファイバ母材の製造技術の開発が切望されてい
る。そこで、前者の特開昭６２−１７０３７号公報に記
載された方法により大型の光ファイバ母材を製造しよう
とすると、ガラス微粒子堆積体にクラックが生ずるのを
防止するためにその表面を所定温度に保つ必要がある。
このため、各バーナにおける火力を大きくしようとする
と、バーナからの火炎が広がってしまい、特に堆積体の
コア部分でガラス微粒子の収率が悪くなり、光ファイバ
母材の製造効率が低下してしまう。この不具合を解消す
るため、バーナの火力を低く抑えると、ガラス微粒子堆
積体（光ファイバ母材）の製造に多大な時間を要するこ
ととなる。
【０００５】一方、後者の特開平１−１５３５４８号公
報に記載された方法により大型の光ファイバ母材を製造
しようとすると、やはり、クラック発生防止のため堆積
体の表面を所定温度に保たなければならない。各バーナ
における火力を大きくしようとすると各バーナからの火
炎が広がるため、前者の方法と同様に製造効率が低下す
ることとなる。更に、後者にあっては、クラッドバーナ
とコアバーナからの各火炎が干渉して、堆積体のコア部
分へ堆積すべきＧｅＯ2 などのガラス微粒子がクラッド
部分に一部付着してしまい、製造した光ファイバ母材が
不整を有するものとなる。また、その不具合を解消する
ために、各バーナの火力を下げてしまうと、コア部分に
堆積するガラス微粒子の嵩密度が低くなる。このため、
光ファイバ母材を脱水透明化する際にコア部分のＧｅＯ
2 などがクラッド部分へ拡散してしまうので、結局光フ
ァイバとしたときに不整を生ずることとなる。
報に記載された方法により大型の光ファイバ母材を製造
しようとすると、やはり、クラック発生防止のため堆積
体の表面を所定温度に保たなければならない。各バーナ
における火力を大きくしようとすると各バーナからの火
炎が広がるため、前者の方法と同様に製造効率が低下す
ることとなる。更に、後者にあっては、クラッドバーナ
とコアバーナからの各火炎が干渉して、堆積体のコア部
分へ堆積すべきＧｅＯ2 などのガラス微粒子がクラッド
部分に一部付着してしまい、製造した光ファイバ母材が
不整を有するものとなる。また、その不具合を解消する
ために、各バーナの火力を下げてしまうと、コア部分に
堆積するガラス微粒子の嵩密度が低くなる。このため、
光ファイバ母材を脱水透明化する際にコア部分のＧｅＯ
2 などがクラッド部分へ拡散してしまうので、結局光フ
ァイバとしたときに不整を生ずることとなる。
【０００６】そこで本発明は、以上のような問題点を解
決するためになされたものであって、大型の光ファイバ
母材の製造に適した光ファイバ母材の製造方法を提供す
ることを目的とする。
決するためになされたものであって、大型の光ファイバ
母材の製造に適した光ファイバ母材の製造方法を提供す
ることを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】すなわち本発明は、ガラ
ス原料流出口、燃料ガス流出口及び助燃性ガス流出口を
備えたコアバーナ及びクラッドバーナを用い、それらの
各バーナからそれぞれ火炎及びガラス原料を噴出させ火
炎加水分解によりガラス微粒子を生成し、ほぼ垂直に配
設された出発棒の下端にそれらのガラス微粒子を堆積さ
せて行う光ファイバ母材の製造方法において、コアバー
ナの燃料ガス流出口内に小口径の補助助燃性ガス流出口
を複数配設し、それらの補助助燃性ガス流出口から助燃
性ガスを噴出させながらガラス微粒子の生成及び堆積を
行うことを特徴とする。
ス原料流出口、燃料ガス流出口及び助燃性ガス流出口を
備えたコアバーナ及びクラッドバーナを用い、それらの
各バーナからそれぞれ火炎及びガラス原料を噴出させ火
炎加水分解によりガラス微粒子を生成し、ほぼ垂直に配
設された出発棒の下端にそれらのガラス微粒子を堆積さ
せて行う光ファイバ母材の製造方法において、コアバー
ナの燃料ガス流出口内に小口径の補助助燃性ガス流出口
を複数配設し、それらの補助助燃性ガス流出口から助燃
性ガスを噴出させながらガラス微粒子の生成及び堆積を
行うことを特徴とする。
【０００８】このような発明によれば、複数の補助助燃
性ガス流出口から噴出する助燃性ガスにより、コアバー
ナから噴き出る火炎の指向性が強められる。このため、
大型の光ファイバ母材を製造するために、コアバーナの
火力を大きくしても、コアバーナからの火炎が広がるこ
とがなく確実にガラス微粒子の堆積体へ噴き付けられ、
ガラス微粒子の堆積体の嵩密度を高めることが可能とな
る。また、コアバーナと共にクラッドバーナの火力を大
きくしても、クラッドバーナからの火炎とコアバーナか
らの火炎が干渉することがなく、各バーナにより生成さ
れるガラス微粒子をそれぞれ所定の位置へ確実に堆積さ
せることが可能となる。
性ガス流出口から噴出する助燃性ガスにより、コアバー
ナから噴き出る火炎の指向性が強められる。このため、
大型の光ファイバ母材を製造するために、コアバーナの
火力を大きくしても、コアバーナからの火炎が広がるこ
とがなく確実にガラス微粒子の堆積体へ噴き付けられ、
ガラス微粒子の堆積体の嵩密度を高めることが可能とな
る。また、コアバーナと共にクラッドバーナの火力を大
きくしても、クラッドバーナからの火炎とコアバーナか
らの火炎が干渉することがなく、各バーナにより生成さ
れるガラス微粒子をそれぞれ所定の位置へ確実に堆積さ
せることが可能となる。
【０００９】また本発明は、前述のクラッドバーナとし
て内外同心状の多重火炎を噴出するものを用いて、ガラ
ス微粒子の生成及び堆積を行うことを特徴とする。
て内外同心状の多重火炎を噴出するものを用いて、ガラ
ス微粒子の生成及び堆積を行うことを特徴とする。
【００１０】このような発明によれば、クラッドバーナ
から噴き出る内外同心状の多重火炎により、ガラス原料
の火炎加水分解反応が促進されて、ガラス微粒子の合成
速度が速められ、光ファイバ母材の製造効率が向上す
る。
から噴き出る内外同心状の多重火炎により、ガラス原料
の火炎加水分解反応が促進されて、ガラス微粒子の合成
速度が速められ、光ファイバ母材の製造効率が向上す
る。
【００１１】また本発明は、前述のコアバーナのガラス
原料流出口を同心状多重として複数形成し、それらのガ
ラス原料流出口へ異なるドーパント濃度のガラス原料を
供給しながら、ガラス微粒子の生成及び堆積を行うこと
を特徴とする。
原料流出口を同心状多重として複数形成し、それらのガ
ラス原料流出口へ異なるドーパント濃度のガラス原料を
供給しながら、ガラス微粒子の生成及び堆積を行うこと
を特徴とする。
【００１２】このような発明によれば、ドーパント濃度
の設定により、ガラス微粒子を堆積してなる堆積体にお
ける屈折率分布特性が任意に変えることが可能となる。
の設定により、ガラス微粒子を堆積してなる堆積体にお
ける屈折率分布特性が任意に変えることが可能となる。
【００１３】更に本発明は、前述のコアバーナ又はクラ
ッドバーナのガラス原料流出口へガラス原料と共に燃料
ガス若しくは助燃性ガスを供給しながら、ガラス微粒子
の生成及び堆積を行うことを特徴とする。
ッドバーナのガラス原料流出口へガラス原料と共に燃料
ガス若しくは助燃性ガスを供給しながら、ガラス微粒子
の生成及び堆積を行うことを特徴とする。
【００１４】このような発明によれば、ガラス原料がそ
の燃料ガス若しくは助燃性ガスにより確実に火炎中へ誘
導されるからガラス微粒子の生成効率が向上する。
の燃料ガス若しくは助燃性ガスにより確実に火炎中へ誘
導されるからガラス微粒子の生成効率が向上する。
【００１５】
【発明の実施の形態】以下、添付図面に基づき、本発明
に係る実施形態の一例について説明する。尚、各図にお
いて同一要素には同一符号を付して説明を省略する。
に係る実施形態の一例について説明する。尚、各図にお
いて同一要素には同一符号を付して説明を省略する。
【００１６】図１はコアバーナの正面図である。図２は
クラッドバーナの正面図である。まず、本実施形態に係
る製造方法の説明に先立って、光ファイバ母材の製造方
法に用いるコアバーナ１及びクラッドバーナ２について
説明する。図１において、コアバーナ１は、所定のガス
を噴出してガラス微粒子を生成及び堆積させるための部
材であって、環状の燃料ガス流出口を有し、その燃料ガ
ス流出口内に小口径の補助助燃性ガス流出口が複数配さ
れた構造となっている。
クラッドバーナの正面図である。まず、本実施形態に係
る製造方法の説明に先立って、光ファイバ母材の製造方
法に用いるコアバーナ１及びクラッドバーナ２について
説明する。図１において、コアバーナ１は、所定のガス
を噴出してガラス微粒子を生成及び堆積させるための部
材であって、環状の燃料ガス流出口を有し、その燃料ガ
ス流出口内に小口径の補助助燃性ガス流出口が複数配さ
れた構造となっている。
【００１７】例えば、コアバーナ１は、先端を開放した
管径の異なる第一管体１１、第二管体１２、第三管体１
３、第四管体１４、第五管体１５、第六管体１６が順次
挿通されて同心状の多重管体群とされると共に、第三管
体１３の内周と第四管体１４の外周との間に小口径の第
七管体１７が複数挿通されることにより、第一管体１１
と第二管体１２との間に助燃性ガス流出口３１が形成さ
れ、第二管体１２と第三管体１３との間にシールガス流
出口３２が形成され、第三管体１３と第四管体１４との
間に燃料ガス流出口３３が形成され、第四管体１４と第
五管体１５との間にシールガス流出口３４が形成され、
第五管体１５と第六管体１６との間に外側ガラス原料流
出口３５が形成され、最内の第六管体１６内に内側ガラ
ス原料流出口３６が形成され、小口径の第七管体１７内
に補助助燃性ガス流出口３７が形成された構造となって
いる。
管径の異なる第一管体１１、第二管体１２、第三管体１
３、第四管体１４、第五管体１５、第六管体１６が順次
挿通されて同心状の多重管体群とされると共に、第三管
体１３の内周と第四管体１４の外周との間に小口径の第
七管体１７が複数挿通されることにより、第一管体１１
と第二管体１２との間に助燃性ガス流出口３１が形成さ
れ、第二管体１２と第三管体１３との間にシールガス流
出口３２が形成され、第三管体１３と第四管体１４との
間に燃料ガス流出口３３が形成され、第四管体１４と第
五管体１５との間にシールガス流出口３４が形成され、
第五管体１５と第六管体１６との間に外側ガラス原料流
出口３５が形成され、最内の第六管体１６内に内側ガラ
ス原料流出口３６が形成され、小口径の第七管体１７内
に補助助燃性ガス流出口３７が形成された構造となって
いる。
【００１８】この第七管体１７は、その口径が少なくと
も燃料ガス流出口３３の口幅寸法より小径とされ、燃料
ガス流出口３３内から助燃性ガスを分散して噴出できる
ようにそれぞれ独立して挿通されている。
も燃料ガス流出口３３の口幅寸法より小径とされ、燃料
ガス流出口３３内から助燃性ガスを分散して噴出できる
ようにそれぞれ独立して挿通されている。
【００１９】前述の各流出口はコアバーナ１の後端側で
図示しないガス供給装置からの配管と接続され、それら
の各流出口へ所定のガスが供給されることにより、コア
バーナ１からコア火炎１０が噴射されるようになってい
る。例えば、コアバーナ１の後端側から助燃性ガス流出
口３１及び補助助燃性ガス流出口３７へＯ2 、シールガ
ス流出口３２、３４へＡｒ、燃料ガス流出口３３へＨ
2 、外側ガラス原料流出口３５へＳｉＣｌ4 、ＧｅＣｌ
4 及びＨ2 、内側ガラス原料流出口３６へＧｅＣｌ4 及
びＨ2 がそれぞれ供給されることにより、助燃性ガスで
あるＯ2 により助燃されながら、燃料ガスであるＨ2 が
燃焼されてコア火炎１０がコアバーナ１から噴出される
こととなる。そのコア火炎１０は、燃料ガス流出口３３
内に形成された補助助燃性ガス流出口３７からの助燃性
ガスの噴出により助燃効果が高められ、強い火力のもの
となる。また、コア火炎１０は、小さい流出口から助燃
性ガスが複数独立して噴出されるから、流速が大きくな
って外乱に対して火炎がゆらぎにくくなるため、指向性
が強いものとなり各ガスの噴出量を増加させてもほとん
ど広がることがない。
図示しないガス供給装置からの配管と接続され、それら
の各流出口へ所定のガスが供給されることにより、コア
バーナ１からコア火炎１０が噴射されるようになってい
る。例えば、コアバーナ１の後端側から助燃性ガス流出
口３１及び補助助燃性ガス流出口３７へＯ2 、シールガ
ス流出口３２、３４へＡｒ、燃料ガス流出口３３へＨ
2 、外側ガラス原料流出口３５へＳｉＣｌ4 、ＧｅＣｌ
4 及びＨ2 、内側ガラス原料流出口３６へＧｅＣｌ4 及
びＨ2 がそれぞれ供給されることにより、助燃性ガスで
あるＯ2 により助燃されながら、燃料ガスであるＨ2 が
燃焼されてコア火炎１０がコアバーナ１から噴出される
こととなる。そのコア火炎１０は、燃料ガス流出口３３
内に形成された補助助燃性ガス流出口３７からの助燃性
ガスの噴出により助燃効果が高められ、強い火力のもの
となる。また、コア火炎１０は、小さい流出口から助燃
性ガスが複数独立して噴出されるから、流速が大きくな
って外乱に対して火炎がゆらぎにくくなるため、指向性
が強いものとなり各ガスの噴出量を増加させてもほとん
ど広がることがない。
【００２０】更に、燃料ガス流出口３３から流出する燃
料ガスの流速に対し補助助燃性ガス流出口３７から流出
する助燃性ガスの流速を５〜１５倍程度にすることが好
ましい。このように流速を設定することでコア火炎１０
がより強い指向性を有することとなる。また、この範囲
外の流速比にした場合、火炎がちらつくなど不安定な状
態になるおそれがある。
料ガスの流速に対し補助助燃性ガス流出口３７から流出
する助燃性ガスの流速を５〜１５倍程度にすることが好
ましい。このように流速を設定することでコア火炎１０
がより強い指向性を有することとなる。また、この範囲
外の流速比にした場合、火炎がちらつくなど不安定な状
態になるおそれがある。
【００２１】尚、前述の各第七管体３７は、それぞれ隣
り合う同士がコアバーナ円周方向へ同距離隔てて配置さ
れるのが好ましく、このように配置されることでコア火
炎１０がコアバーナ１の円周方向において均一な火力と
なる。
り合う同士がコアバーナ円周方向へ同距離隔てて配置さ
れるのが好ましく、このように配置されることでコア火
炎１０がコアバーナ１の円周方向において均一な火力と
なる。
【００２２】一方、図２に示すように、クラッドバーナ
２は、内外同心状の多重火炎を噴出すると共に、ガラス
微粒子の生成及び堆積を行うための部材である。このク
ラッドバーナ２は、例えば、先端を開放した管径の異な
る十二本の管体が順次挿通されて同心状の多重管体群と
されることにより、それらの管体内又はそれらの管体周
面間に外周側から環状の助燃性ガス流出口４１ａ、シー
ルガス流出口４１ｂ、燃料ガス流出口４１ｃ、シールガ
ス流出口４１ｄ、助燃性ガス流出口４２ａ、シールガス
流出口４２ｂ、燃料ガス流出口４２ｃ、シールガス流出
口４２ｄ、助燃性ガス流出口４３ａ、シールガス流出口
４３ｂ、燃料ガス流出口４３ｃが形成され、中心部分に
円形のガラス原料流出口４４が形成された構造となって
いる。
２は、内外同心状の多重火炎を噴出すると共に、ガラス
微粒子の生成及び堆積を行うための部材である。このク
ラッドバーナ２は、例えば、先端を開放した管径の異な
る十二本の管体が順次挿通されて同心状の多重管体群と
されることにより、それらの管体内又はそれらの管体周
面間に外周側から環状の助燃性ガス流出口４１ａ、シー
ルガス流出口４１ｂ、燃料ガス流出口４１ｃ、シールガ
ス流出口４１ｄ、助燃性ガス流出口４２ａ、シールガス
流出口４２ｂ、燃料ガス流出口４２ｃ、シールガス流出
口４２ｄ、助燃性ガス流出口４３ａ、シールガス流出口
４３ｂ、燃料ガス流出口４３ｃが形成され、中心部分に
円形のガラス原料流出口４４が形成された構造となって
いる。
【００２３】また、それらの各流出口はクラッドバーナ
２の後端側で図示しないガス供給装置からの配管と接続
され、それらの各流出口へ所定のガスが供給されること
により、クラッドバーナ２から三重火炎からなるクラッ
ド火炎２０が噴射されるようになっている。例えば、ク
ラッドバーナ２の後端側から燃料ガス流出口４１ｃ、４
２ｃ、４３ｃへＨ2 、シールガス流出口４１ｂ、４１
ｄ、４２ｂ、４２ｄ、４３ｂへＡｒ、助燃性ガス流出口
４１ａ、４２ａ、４３ａへＯ2 、ガラス原料流出口４４
へＳｉＣｌ4 及びＨ2 がそれぞれ供給されることによ
り、各燃料ガス流出口４１ｃ、４２ｃ、４３ｃから流出
するＨ2 が助燃されて、クラッドバーナ２から同心状三
重のクラッド火炎２０が噴出されることとなる。このク
ラッド火炎２０は、三重火炎となるから、非常に広い加
熱範囲を有するものとなる。
２の後端側で図示しないガス供給装置からの配管と接続
され、それらの各流出口へ所定のガスが供給されること
により、クラッドバーナ２から三重火炎からなるクラッ
ド火炎２０が噴射されるようになっている。例えば、ク
ラッドバーナ２の後端側から燃料ガス流出口４１ｃ、４
２ｃ、４３ｃへＨ2 、シールガス流出口４１ｂ、４１
ｄ、４２ｂ、４２ｄ、４３ｂへＡｒ、助燃性ガス流出口
４１ａ、４２ａ、４３ａへＯ2 、ガラス原料流出口４４
へＳｉＣｌ4 及びＨ2 がそれぞれ供給されることによ
り、各燃料ガス流出口４１ｃ、４２ｃ、４３ｃから流出
するＨ2 が助燃されて、クラッドバーナ２から同心状三
重のクラッド火炎２０が噴出されることとなる。このク
ラッド火炎２０は、三重火炎となるから、非常に広い加
熱範囲を有するものとなる。
【００２４】尚、上述のコアバーナ１において、内部に
補助助燃ガス流出口を配した環状の燃料ガス流出口を同
心状に多重設けてもよい。また、上述のクラッドバーナ
２において、環状の燃料ガス流出口及び助燃性ガス流出
口を増減してクラッド火炎２０を二重火炎、四重火炎又
はそれ以上の多重火炎としてもよい。
補助助燃ガス流出口を配した環状の燃料ガス流出口を同
心状に多重設けてもよい。また、上述のクラッドバーナ
２において、環状の燃料ガス流出口及び助燃性ガス流出
口を増減してクラッド火炎２０を二重火炎、四重火炎又
はそれ以上の多重火炎としてもよい。
【００２５】次に、コアバーナ１及びクラッドバーナ２
を用いた光ファイバ母材の製造方法について説明する。
を用いた光ファイバ母材の製造方法について説明する。
【００２６】図３において、密閉された合成容器５内に
ほぼ垂直に軸回転自在で、かつ、上下動自在とした出発
棒５１を配設しておく。例えば、引き上げモータ５２の
回転軸に棒状のボールねじ５３を連結して垂下し、その
ボールねじ５３の途中に移動台５４を螺合させ、その移
動台５４に回転用モータ５５を取り付け、その回転用モ
ータ５５の回転軸に出発棒５１を接続しておき、引き上
げモータ５２の駆動により出発棒５１が上下動し、回転
用モータの駆動により出発棒５１が軸回転する構造とす
ればよい。一方、出発棒５１の下端の延長方向にコアバ
ーナ１及びクラッドバーナ２を配設し、それぞれコアバ
ーナ１及びクラッドバーナ２を出発棒５１の軸心へ向け
ておき、クラッドバーナ２に対しコアバーナ１を下方
で、かつ、出発棒５１により近い位置に配置しておく。
そして、合成容器５内で出発棒５１を最下位置に移動さ
せ、軸回転させた状態とした後、コアバーナ１及びクラ
ッドバーナ２にそれぞれ所定のガスを供給して、各流出
口から所定のガスを噴出させる。
ほぼ垂直に軸回転自在で、かつ、上下動自在とした出発
棒５１を配設しておく。例えば、引き上げモータ５２の
回転軸に棒状のボールねじ５３を連結して垂下し、その
ボールねじ５３の途中に移動台５４を螺合させ、その移
動台５４に回転用モータ５５を取り付け、その回転用モ
ータ５５の回転軸に出発棒５１を接続しておき、引き上
げモータ５２の駆動により出発棒５１が上下動し、回転
用モータの駆動により出発棒５１が軸回転する構造とす
ればよい。一方、出発棒５１の下端の延長方向にコアバ
ーナ１及びクラッドバーナ２を配設し、それぞれコアバ
ーナ１及びクラッドバーナ２を出発棒５１の軸心へ向け
ておき、クラッドバーナ２に対しコアバーナ１を下方
で、かつ、出発棒５１により近い位置に配置しておく。
そして、合成容器５内で出発棒５１を最下位置に移動さ
せ、軸回転させた状態とした後、コアバーナ１及びクラ
ッドバーナ２にそれぞれ所定のガスを供給して、各流出
口から所定のガスを噴出させる。
【００２７】すると、コアバーナ１にあっては、燃料ガ
ス流出口３３から噴き出す燃料ガスが燃焼されてコア火
炎１０が形成される。その際、燃料ガス流出口３３内に
設けられた複数の補助助燃性ガス流出口３７から助燃性
ガスが噴出されることにより、燃料ガスの噴出方向性が
強まり、コア火炎１０は指向性の強い火炎となる。この
ため、燃料ガス及び助燃性ガスの流量を増加してコア火
炎１０の火力を上げても火炎先端が広がることがなく、
コア火炎１０が堆積体６のコア部６１へ確実に噴き付け
られることとなる。従って、このようなコア火炎１０と
共にドーパントを含むガラス微粒子を堆積体６のコア部
６１へ噴き付けることにより、ガラス微粒子の収率を低
下させることなく、嵩密度の高い状態でコア部６１を形
成していくことができる。
ス流出口３３から噴き出す燃料ガスが燃焼されてコア火
炎１０が形成される。その際、燃料ガス流出口３３内に
設けられた複数の補助助燃性ガス流出口３７から助燃性
ガスが噴出されることにより、燃料ガスの噴出方向性が
強まり、コア火炎１０は指向性の強い火炎となる。この
ため、燃料ガス及び助燃性ガスの流量を増加してコア火
炎１０の火力を上げても火炎先端が広がることがなく、
コア火炎１０が堆積体６のコア部６１へ確実に噴き付け
られることとなる。従って、このようなコア火炎１０と
共にドーパントを含むガラス微粒子を堆積体６のコア部
６１へ噴き付けることにより、ガラス微粒子の収率を低
下させることなく、嵩密度の高い状態でコア部６１を形
成していくことができる。
【００２８】また、コアバーナ１は、内部に補助助燃性
ガス流出口３７を配した燃料ガス流出口３３とガラス原
料流出口３５の間にシールガス流出口３４が形成されて
いるから、ガラス原料流出口３５より噴出されるガラス
原料の反応がシールガスによって抑えられ、バーナ先端
にガラス微粒子が付着することが効果的に防止される。
また、コアバーナ１の最外周の位置に助燃性ガス流出口
３１が形成されているから、火炎の安定性、指向性が一
層向上することとなる。更には、内部に補助助燃性ガス
流出口３７を配した燃料ガス流出口３３と最外周の助燃
性ガス流出口３１と間にシールガス流出口３２が形成さ
れているから、燃料ガス流出口３３と助燃性ガス３１を
離すことができる。このため、燃料ガス流出口３３より
噴出した燃料ガスと助燃性ガス流出口３１より噴出した
助燃性ガスが反応してバーナを構成する管体が過熱され
て劣化してしまうことが防止できる。
ガス流出口３７を配した燃料ガス流出口３３とガラス原
料流出口３５の間にシールガス流出口３４が形成されて
いるから、ガラス原料流出口３５より噴出されるガラス
原料の反応がシールガスによって抑えられ、バーナ先端
にガラス微粒子が付着することが効果的に防止される。
また、コアバーナ１の最外周の位置に助燃性ガス流出口
３１が形成されているから、火炎の安定性、指向性が一
層向上することとなる。更には、内部に補助助燃性ガス
流出口３７を配した燃料ガス流出口３３と最外周の助燃
性ガス流出口３１と間にシールガス流出口３２が形成さ
れているから、燃料ガス流出口３３と助燃性ガス３１を
離すことができる。このため、燃料ガス流出口３３より
噴出した燃料ガスと助燃性ガス流出口３１より噴出した
助燃性ガスが反応してバーナを構成する管体が過熱され
て劣化してしまうことが防止できる。
【００２９】一方、クラッドバーナ２では、各燃料ガス
流出口４１ａ、４２ａ、４３ａから噴き出す燃料ガスが
燃焼され、各助燃性ガス流出口４１ｃ、４２ｃ、４３ｃ
から噴き出す助燃性ガスに助燃されて、同心状三重のク
ラッド火炎２０が形成される。このクラッド火炎２０は
広い火炎径を有するものとなるから、堆積体６のクラッ
ド部６２の広い範囲を加熱しながらガラス微粒子を噴き
付け可能となり、ガラス微粒子の生成が速く、堆積体６
の製造が効率良く行える。また、ガラス微粒子の噴付の
際、クラッド火炎２０の火炎先端が広がっても、コア火
炎１０の火炎先端は広がらないから、クラッド火炎２０
とコア火炎１０が互いに干渉することがなく、コアバー
ナ１から噴き出るＧｅＯ2 などのドーパントがクラッド
部６２へ付着することがない。このため、クラッド部６
２とコア部６１の境界部分で不整状態（屈折率がステッ
プ状、即ち急峻な変化とならず、徐々に変化する状態）
となるのが回避される。
流出口４１ａ、４２ａ、４３ａから噴き出す燃料ガスが
燃焼され、各助燃性ガス流出口４１ｃ、４２ｃ、４３ｃ
から噴き出す助燃性ガスに助燃されて、同心状三重のク
ラッド火炎２０が形成される。このクラッド火炎２０は
広い火炎径を有するものとなるから、堆積体６のクラッ
ド部６２の広い範囲を加熱しながらガラス微粒子を噴き
付け可能となり、ガラス微粒子の生成が速く、堆積体６
の製造が効率良く行える。また、ガラス微粒子の噴付の
際、クラッド火炎２０の火炎先端が広がっても、コア火
炎１０の火炎先端は広がらないから、クラッド火炎２０
とコア火炎１０が互いに干渉することがなく、コアバー
ナ１から噴き出るＧｅＯ2 などのドーパントがクラッド
部６２へ付着することがない。このため、クラッド部６
２とコア部６１の境界部分で不整状態（屈折率がステッ
プ状、即ち急峻な変化とならず、徐々に変化する状態）
となるのが回避される。
【００３０】このように、コアバーナ１及びクラッドバ
ーナ２から火炎と共に火炎加水分解反応により生成され
たガラス微粒子を噴出させて出発棒５１の下端に付着堆
積させ、徐々に出発棒５１を引き上げてゆきながら堆積
体６を形成していく。その堆積体６が所定の長さ（軸寸
法）まで達したら、各バーナ１及び２へのガスの供給及
び出発棒５１の回転を停止して、ガラス微粒子の堆積工
程を終了する。そして、そのガラス微粒子の堆積体６
（光ファイバ母材）を電気炉などにより加熱して脱水透
明化を行う。その脱水透明化の際、堆積体６のコア部６
１は既に嵩密度が高い状態となっているので、脱水透明
化することでコア部６１に堆積したガラス微粒子のドー
パントがクラッド部へ拡散してしまうことがなく、堆積
体６に不整が生じない。従って、その脱水透明化された
大型の光ファイバ母材から良好な特性を有する光ファイ
バが形成されることとなる。
ーナ２から火炎と共に火炎加水分解反応により生成され
たガラス微粒子を噴出させて出発棒５１の下端に付着堆
積させ、徐々に出発棒５１を引き上げてゆきながら堆積
体６を形成していく。その堆積体６が所定の長さ（軸寸
法）まで達したら、各バーナ１及び２へのガスの供給及
び出発棒５１の回転を停止して、ガラス微粒子の堆積工
程を終了する。そして、そのガラス微粒子の堆積体６
（光ファイバ母材）を電気炉などにより加熱して脱水透
明化を行う。その脱水透明化の際、堆積体６のコア部６
１は既に嵩密度が高い状態となっているので、脱水透明
化することでコア部６１に堆積したガラス微粒子のドー
パントがクラッド部へ拡散してしまうことがなく、堆積
体６に不整が生じない。従って、その脱水透明化された
大型の光ファイバ母材から良好な特性を有する光ファイ
バが形成されることとなる。
【００３１】次に、上述の光ファイバ母材の製造方法に
より、堆積体６を製造した具体的な実施例について説明
する。
より、堆積体６を製造した具体的な実施例について説明
する。
【００３２】図３における合成容器５又は出発棒５１の
移動機構（引き上げモータ５２、ボールねじ５３、移動
台５４、回転用モータ５５）を用い、合成容器５内にコ
アバーナ１及びクラッドバーナ２を配設して堆積体６を
製造した。すなわち、コアバーナ１としては図１のよう
な６重管の中間部に複数の補助助燃性ガス流出口を有す
るものを用い、クラッドバーナ２としては図２のような
１２重管からなるものを用い、各バーナ１及び２の各流
出口へガス供給は、前述に説明した通りに行った。そし
て、コアバーナ１からドーパントを含むガラス微粒子を
コア火炎１０と共に噴出させ、クラッドバーナ２からガ
ラス微粒子をクラッド火炎２０と共に噴出させて、出発
棒５１を毎時５０ｍｍの速度で上昇させ、３０ｒｐｍの
速度で軸回転させながら、その出発棒５１の下方にコア
部６１及びクラッド部６２を有する直径１８０ｍｍの堆
積体６を形成した。この堆積体６を透明化し、屈折率分
布を評価した結果、図４に示すようにステップ状に近い
ものが得られた。
移動機構（引き上げモータ５２、ボールねじ５３、移動
台５４、回転用モータ５５）を用い、合成容器５内にコ
アバーナ１及びクラッドバーナ２を配設して堆積体６を
製造した。すなわち、コアバーナ１としては図１のよう
な６重管の中間部に複数の補助助燃性ガス流出口を有す
るものを用い、クラッドバーナ２としては図２のような
１２重管からなるものを用い、各バーナ１及び２の各流
出口へガス供給は、前述に説明した通りに行った。そし
て、コアバーナ１からドーパントを含むガラス微粒子を
コア火炎１０と共に噴出させ、クラッドバーナ２からガ
ラス微粒子をクラッド火炎２０と共に噴出させて、出発
棒５１を毎時５０ｍｍの速度で上昇させ、３０ｒｐｍの
速度で軸回転させながら、その出発棒５１の下方にコア
部６１及びクラッド部６２を有する直径１８０ｍｍの堆
積体６を形成した。この堆積体６を透明化し、屈折率分
布を評価した結果、図４に示すようにステップ状に近い
ものが得られた。
【００３３】次に、前述の実施形態における製造方法と
比較するための比較例について説明する。
比較するための比較例について説明する。
【００３４】堆積体６（光ファイバ母材）を製造するた
めの装置として、前述のコアバーナ１に代えて、８重管
からなり補助助燃性ガス流出口を有しないもの（同心状
の環状流出口を８つ有したもの）を用い、その他の機材
等については前述と同様なものを用いて、堆積体６の製
造を行った。その８重管からなるコアバーナには、中心
の流出口へＳｉＣｌ4 、ＧｅＣｌ4 及びＨ2 を供給し、
その外側の環状流出口へＨ2 、Ａｒ、Ｏ2 、Ａｒ、Ｈ
2 、Ａｒ、Ｏ2 を順次供給して、二重火炎を噴出するも
のとした。そして、そのコアバーナ及びクラッドバーナ
２からそれぞれ火炎と共にガラス微粒子を噴出させ、出
発棒５１の下端に付着堆積させ、前述同様に、出発棒５
１を毎時５０ｍｍの速度で上昇させ、３０ｒｐｍの速度
で軸回転させながら、その出発棒５１の下方にコア部６
１及びクラッド部６２を有する直径１８０ｍｍの堆積体
６を形成した。この堆積体６を透明化し、屈折率分布を
評価したところ、図５に示すようにコア部６１とクラッ
ド部６２の境界部分で屈折率が急峻に変化せず傾斜した
状態となっており、屈折率分布特性は理想的なステップ
状にほど遠いものであった。
めの装置として、前述のコアバーナ１に代えて、８重管
からなり補助助燃性ガス流出口を有しないもの（同心状
の環状流出口を８つ有したもの）を用い、その他の機材
等については前述と同様なものを用いて、堆積体６の製
造を行った。その８重管からなるコアバーナには、中心
の流出口へＳｉＣｌ4 、ＧｅＣｌ4 及びＨ2 を供給し、
その外側の環状流出口へＨ2 、Ａｒ、Ｏ2 、Ａｒ、Ｈ
2 、Ａｒ、Ｏ2 を順次供給して、二重火炎を噴出するも
のとした。そして、そのコアバーナ及びクラッドバーナ
２からそれぞれ火炎と共にガラス微粒子を噴出させ、出
発棒５１の下端に付着堆積させ、前述同様に、出発棒５
１を毎時５０ｍｍの速度で上昇させ、３０ｒｐｍの速度
で軸回転させながら、その出発棒５１の下方にコア部６
１及びクラッド部６２を有する直径１８０ｍｍの堆積体
６を形成した。この堆積体６を透明化し、屈折率分布を
評価したところ、図５に示すようにコア部６１とクラッ
ド部６２の境界部分で屈折率が急峻に変化せず傾斜した
状態となっており、屈折率分布特性は理想的なステップ
状にほど遠いものであった。
【００３５】次に、光ファイバ母材の製造方法における
他の実施形態について説明する。すなわち、前述の光フ
ァイバ母材の製造方法において、コアバーナ１の内側ガ
ラス原料流出口３６と外側ガラス原料流出口３５におけ
るＧｅＣｌ4 などのドーパント濃度を変えて、ガラス微
粒子の生成及び堆積を行ってもよい。このように、内外
の流出口３５、３６のドーパント濃度を変えることによ
り、ガラス微粒子の堆積体６の屈折率分布特性を任意に
変えることが可能となる。例えば、ドーパントを生成す
る物質としてＧｅＣｌ4 を用いた場合、供給するＧｅＣ
ｌ4 の濃度が高いと堆積体６へのＧｅＯ2 堆積量が増
え、その部分の屈折率が高い状態となる。このため、内
側ガラス原料流出口３６と外側ガラス原料流出口３５の
ＧｅＣｌ4供給量を変えることで、図４に示す堆積体６
（光ファイバ母材）における屈折率分布特性が任意に変
えられる。また、外側ガラス原料流出口３５に供給する
ＧｅＣｌ4 の供給量と内側ガラス原料流出口３６に供給
するＧｅＣｌ4 の供給量を適当にバランスさせること
で、堆積体６のコア部６１における屈折率分布特性をほ
ぼフラット状とすることができる。
他の実施形態について説明する。すなわち、前述の光フ
ァイバ母材の製造方法において、コアバーナ１の内側ガ
ラス原料流出口３６と外側ガラス原料流出口３５におけ
るＧｅＣｌ4 などのドーパント濃度を変えて、ガラス微
粒子の生成及び堆積を行ってもよい。このように、内外
の流出口３５、３６のドーパント濃度を変えることによ
り、ガラス微粒子の堆積体６の屈折率分布特性を任意に
変えることが可能となる。例えば、ドーパントを生成す
る物質としてＧｅＣｌ4 を用いた場合、供給するＧｅＣ
ｌ4 の濃度が高いと堆積体６へのＧｅＯ2 堆積量が増
え、その部分の屈折率が高い状態となる。このため、内
側ガラス原料流出口３６と外側ガラス原料流出口３５の
ＧｅＣｌ4供給量を変えることで、図４に示す堆積体６
（光ファイバ母材）における屈折率分布特性が任意に変
えられる。また、外側ガラス原料流出口３５に供給する
ＧｅＣｌ4 の供給量と内側ガラス原料流出口３６に供給
するＧｅＣｌ4 の供給量を適当にバランスさせること
で、堆積体６のコア部６１における屈折率分布特性をほ
ぼフラット状とすることができる。
【００３６】更に、光ファイバ母材の製造方法における
他の実施形態について説明する。すなわち、前述の光フ
ァイバ母材の製造方法において、前述のコアバーナ１又
はクラッドバーナ２のガラス原料流出口３５、３６又は
４４へガラス原料と共に燃料ガス若しくは助燃性ガスを
供給しながらガラス微粒子の生成及び堆積を行ってもよ
い。このようにして、ガラス微粒子の生成及び堆積を行
えば、ガラス原料がその燃料ガス若しくは助燃性ガスに
より確実に火炎中へ誘導されることとなるから、ガラス
微粒子の生成効率を向上することができる。
他の実施形態について説明する。すなわち、前述の光フ
ァイバ母材の製造方法において、前述のコアバーナ１又
はクラッドバーナ２のガラス原料流出口３５、３６又は
４４へガラス原料と共に燃料ガス若しくは助燃性ガスを
供給しながらガラス微粒子の生成及び堆積を行ってもよ
い。このようにして、ガラス微粒子の生成及び堆積を行
えば、ガラス原料がその燃料ガス若しくは助燃性ガスに
より確実に火炎中へ誘導されることとなるから、ガラス
微粒子の生成効率を向上することができる。
【００３７】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、次
のような効果を得ることができる。すなわち、コアバー
ナの燃料ガス流出口内に配設された複数の補助助燃性ガ
ス流出口から助燃性ガスを噴出させることにより、コア
バーナから噴き出る火炎の指向性が強められ、大型の光
ファイバ母材を製造するために、コアバーナの火力を大
きくしても、コアバーナからの火炎が広がることがなく
確実にガラス微粒子の堆積体へ噴き付けられる。このた
め、ガラス微粒子の堆積体の嵩密度を高めることが可能
となり、ガラス微粒子の堆積体（光ファイバ母材）を脱
水透明化したときにコア部のドーパントがクラッド部へ
拡散することがない。また、コアバーナと共にクラッド
バーナの火力を大きくしても、クラッドバーナからの火
炎とコアバーナからの火炎が干渉することがなく、各バ
ーナにより生成されるガラス微粒子をそれぞれ所定の位
置へ確実に堆積させることが可能である。従って、大型
であって良好な特性を有する光ファイバ母材が形成でき
る。
のような効果を得ることができる。すなわち、コアバー
ナの燃料ガス流出口内に配設された複数の補助助燃性ガ
ス流出口から助燃性ガスを噴出させることにより、コア
バーナから噴き出る火炎の指向性が強められ、大型の光
ファイバ母材を製造するために、コアバーナの火力を大
きくしても、コアバーナからの火炎が広がることがなく
確実にガラス微粒子の堆積体へ噴き付けられる。このた
め、ガラス微粒子の堆積体の嵩密度を高めることが可能
となり、ガラス微粒子の堆積体（光ファイバ母材）を脱
水透明化したときにコア部のドーパントがクラッド部へ
拡散することがない。また、コアバーナと共にクラッド
バーナの火力を大きくしても、クラッドバーナからの火
炎とコアバーナからの火炎が干渉することがなく、各バ
ーナにより生成されるガラス微粒子をそれぞれ所定の位
置へ確実に堆積させることが可能である。従って、大型
であって良好な特性を有する光ファイバ母材が形成でき
る。
【００３８】また、クラッドバーナから内外同心状の多
重火炎を噴出させることにより、ガラス原料の火炎加水
分解反応を促進させ、ガラス微粒子の合成速度を速め
て、光ファイバ母材の製造効率を向上させることができ
る。
重火炎を噴出させることにより、ガラス原料の火炎加水
分解反応を促進させ、ガラス微粒子の合成速度を速め
て、光ファイバ母材の製造効率を向上させることができ
る。
【００３９】また、コアバーナのガラス原料流出口を同
心状多重として複数形成して、それらのガラス原料流出
口へそれぞれ異なるドーパント濃度のガラス原料を供給
することにより、ガラス微粒子の堆積体における屈折率
分布が任意に変えて、光ファイバ母材の特性を向上する
ことができる。
心状多重として複数形成して、それらのガラス原料流出
口へそれぞれ異なるドーパント濃度のガラス原料を供給
することにより、ガラス微粒子の堆積体における屈折率
分布が任意に変えて、光ファイバ母材の特性を向上する
ことができる。
【００４０】更に、コアバーナ又はクラッドバーナのガ
ラス原料流出口へガラス原料と共に燃料ガス若しくは助
燃性ガスを供給することにより、ガラス原料を確実に火
炎中へ誘導することができ、ガラス微粒子の生成効率を
向上することができる。
ラス原料流出口へガラス原料と共に燃料ガス若しくは助
燃性ガスを供給することにより、ガラス原料を確実に火
炎中へ誘導することができ、ガラス微粒子の生成効率を
向上することができる。
【図１】コアバーナの正面図である。
【図２】クラッドバーナの正面図である。
【図３】光ファイバ母材の製造工程の説明図である。
【図４】本発明の実施形態に係る製造方法により製造し
たガラス微粒子堆積体（光ファイバ母材）の屈折率分布
特性を示した図表である。
たガラス微粒子堆積体（光ファイバ母材）の屈折率分布
特性を示した図表である。
【図５】従来の製造方法により製造したガラス微粒子堆
積体（光ファイバ母材）の屈折率分布特性を示した図表
である。
積体（光ファイバ母材）の屈折率分布特性を示した図表
である。
１…コアバーナ、２…クラッドバーナ、３３…燃料ガス
流出口 ３７…補助助燃性ガス流出口、６…ガラス微粒子堆積体
（光ファイバ母材） ６１…コア部、６２…クラッド部
流出口 ３７…補助助燃性ガス流出口、６…ガラス微粒子堆積体
（光ファイバ母材） ６１…コア部、６２…クラッド部
Claims (4)
- 【請求項１】 ガラス原料流出口、燃料ガス流出口及び
助燃性ガス流出口を備えたコアバーナ及びクラッドバー
ナを用い、それらの各バーナからそれぞれ火炎及びガラ
ス原料を噴出させ火炎加水分解によりガラス微粒子を生
成し、ほぼ垂直に配設された出発棒の下端にそれらのガ
ラス微粒子を堆積させて行う光ファイバ母材の製造方法
において、 前記コアバーナの前記燃料ガス流出口内に小口径の補助
助燃性ガス流出口を複数配設し、それらの補助助燃性ガ
ス流出口から助燃性ガスを噴出させながら、前記ガラス
微粒子の生成及び堆積を行うことを特徴とする光ファイ
バ母材の製造方法。 - 【請求項２】 前記クラッドバーナとして内外同心状の
多重火炎を噴出するものを用いて、前記ガラス微粒子の
生成及び堆積を行うことを特徴とする請求項１に記載の
光ファイバ母材の製造方法。 - 【請求項３】 前記コアバーナのガラス原料流出口を同
心状多重として複数形成し、それらのガラス原料流出口
へ異なるドーパント濃度のガラス原料を供給しながら、
前記ガラス微粒子の生成及び堆積を行うことを特徴とす
る請求項１又は２に記載の光ファイバ母材の製造方法。 - 【請求項４】 前記コアバーナ又はクラッドバーナのガ
ラス原料流出口へガラス原料と共に燃料ガス若しくは助
燃性ガスを供給しながら、前記ガラス微粒子の生成及び
堆積を行うことを特徴とする請求項１〜３のいずれかに
記載の光ファイバ母材の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4489296A JPH09235133A (ja) | 1996-03-01 | 1996-03-01 | 光ファイバ母材の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4489296A JPH09235133A (ja) | 1996-03-01 | 1996-03-01 | 光ファイバ母材の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09235133A true JPH09235133A (ja) | 1997-09-09 |
Family
ID=12704143
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4489296A Pending JPH09235133A (ja) | 1996-03-01 | 1996-03-01 | 光ファイバ母材の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09235133A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100724924B1 (ko) * | 2006-02-20 | 2007-06-04 | 삼성전자주식회사 | 수트 모재의 제조 장치 |
-
1996
- 1996-03-01 JP JP4489296A patent/JPH09235133A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100724924B1 (ko) * | 2006-02-20 | 2007-06-04 | 삼성전자주식회사 | 수트 모재의 제조 장치 |
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| A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
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