JP4498917B2 - ガラス棒状体の製造方法 - Google Patents
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Description
この石英多孔質母材を製造するには、まず、コアとなるガラス材を備えた出発部材の両端部を把持具にて把持し、この出発部材をその軸の回りに回転させる。
次いで、ガラス合成用バーナを1つ以上用い、このガラス合成用バーナから四塩化ケイ素(SiCl4)や四塩化ゲルマニウム(GeCl4)等のガラス原料ガスを、水素等の可燃性ガス、酸素等の支燃性ガスとともに噴出させ、このガラス原料ガスを可燃性ガス及び支燃性ガスの反応により生じる火炎中にて加水分解または酸化させてガラス微粒子を合成し、軸の回りに回転する出発部材の外周部の径方向に堆積させることにより、光ファイバ用多孔質母材を得ることができる。
堆積速度を速くする方法としては、多重管バーナに導入する酸水素ガスの流量比を最適値に調整することで、堆積速度を高める方法が提案されている(例えば、特許文献1参照)。
ただし、サーモフォレシス効果により堆積させるためには、ガラス微粒子が出発部材の外周部近傍に多く存在していることも重要である。
この方法では、多重管バーナを使用した場合の最適流量比を定めているが、この多重管バーナでは、外側に位置する管ほど流路の断面積が広くなるために、ガスの流速が遅くなる傾向がある。このガスの流速が遅くなり過ぎると火炎の収束が低下するために、外側に位置する管ほどガスの流量を増加させることで流速を維持し、火炎を安定化させる必要があるが、ガス流量を増加させることは、製造コストの点からも、また熱排気の処理能力の点からも、好ましいものではない。
そこで、ガス流量を低下させずにガス流速を維持するために、一平面上に複数本のノズルを並べることにより、個々のノズルのガス流路断面積を小さくしたマルチノズル型のバーナが提案されているが、このバーナでは、複数本のノズルが焦点を結ぶ様に設計されることが多く、焦点を有することで火炎の収束が良くなり、少ない酸水素量でも必要な火力と火炎の安定性を確保することができるという特徴を有するものの、いわゆる多重管バーナとはその構造が大きく異なっているために、いわゆる多重管バーナの知見を単純に適用することはできない。
したがって、マルチノズル型のバーナにおいては、ガスの噴出の際の最適な条件がよく分かっていないのが現状である。
すなわち、本発明の請求項1に係るガラス棒状体の製造方法は、第1の多重管と、この第1の多重管の中心軸を対称軸として該第1の多重管の周囲に設けられた複数のノズルと、これらのノズルの周囲に設けられ前記第1の多重管と中心軸を同じとする第2の多重管とを備えてなる多重管バーナに、ガラス原料ガス、不活性ガス、可燃性ガス及び支燃性ガスを導入し、これら可燃性ガス及び支燃性ガスの反応により生じる火炎中にてガラス原料ガスを加水分解または酸化させてガラス微粒子を合成し、このガラス微粒子を回転する出発部材の外周部の径方向に堆積させてガラス棒状体を製造する方法において、前記可燃性ガスの流量Aと前記支燃性ガスの流量Bとの比A/Bは、
2.5≦A/B≦4.5
を満たし、
前記支燃性ガスの流速V O と前記ガラス原料ガスの流速V S との比V O /V S は、
0.1≦V O /V S ≦0.9
を満たすことを特徴とする。
2.5≦A/B≦4.5
を満たすこととしたので、多重管バーナにおける可燃性ガスの流量Aと支燃性ガスの流量Bとを適正な範囲に調整することで、ガラス微粒子の出発部材の外周部の径方向への堆積速度を向上させることができる。したがって、大型のガラス棒状体を品質を落とすことなく、しかも効率良く生産することができ、その結果、光ファイバ等のガラス棒状体を低価格にて提供することができる。
まず、石英ガラス等からなる円柱状の出発部材を用意する。次いで、この出発部材をガラス棒状体の製造装置の所定の位置に水平に配置し、この出発部材を、その中心軸を中心として回転させる。
2.5≦A/B≦4.5
を満たす必要がある。
ここで、ガラス原料ガスとしてSiCl4ガスを、不活性ガスとしてArガスを、可燃性ガスとしてH2ガスを、支燃性ガスとしてO2ガスを、それぞれ用いた場合、ガラス原料ガスの反応としては、以下に示す様な加水分解と酸化が同時に生じることとなる。
SiCl4+2H2O→SiO2+4HCl……(1)
SiCl4+O2→SiO2+2Cl2 ……(2)
実際に、H2ガスの流量AとO2ガスの流量Bとの比A/Bとガラス微粒子の堆積速度との関係を求めると、比A/Bが2.5≦A/B≦4.5を満たす場合にガラス微粒子の堆積速度が最大となる。
この比A/Bのより好ましい範囲は、3.0≦A/B≦4.0であり、この場合には、安定したガラス微粒子の堆積速度を維持することができる。
その理由は、SiCl4ガスの流速VSをO2ガスの流速VOより速くすると、SiCl4ガスの加水分解または酸化により生成するガラス微粒子が、火炎の中心部で収束された状態で出発部材の外周部に近づくために、サーモフォレシス効果により堆積速度が向上するためである。
この比VO/VSの下限値については、特に制限は無いが、SiCl4ガスの流速VSがO2ガスの流速VOを遙かに超えると、バーナから音が発生する等の不都合が生じるので、実用上は、0.1≦VO/VSとするのが好ましい。
2.5≦A/B≦4.5
を満たすこととしたので、多重管バーナ1(または多重管バーナ31)における可燃性ガスの流量Aと支燃性ガスの流量Bとを適正な範囲に調整することで、ガラス微粒子の堆積速度を向上させることができ、したがって、このガラス微粒子を出発部材の外周部に短時間で所定の厚みに堆積させることができる。
よって、大型のガラス棒状体を品質を落とすことなく、しかも効率良く生産することができ、その結果、光ファイバ等のガラス棒状体を低価格にて提供することができる。
バーナとして図1に示す多重管バーナ1を用い、出発部材として外径が200mmの円柱状の石英ガラスを用い、SiCl4の流量を7.5SLM、H2ガスの流量を40〜200SLM、O2ガスの流量を15〜40SLM、シールガスであるArガスの流量を1SLMとしてガラス微粒子を生成した。
また、SiCl4の流速の制御は、キャリアガス(O2ガス)の流量を調整することにより行った。
また、図4は、O2ガスの流速VOとSiCl4ガスの流速VSとの比Vo/VSと、堆積速度(g/分)との関係を示す図である。
Claims (4)
- 第1の多重管と、この第1の多重管の中心軸を対称軸として該第1の多重管の周囲に設けられた複数のノズルと、これらのノズルの周囲に設けられ前記第1の多重管と中心軸を同じとする第2の多重管とを備えてなる多重管バーナに、ガラス原料ガス、不活性ガス、可燃性ガス及び支燃性ガスを導入し、これら可燃性ガス及び支燃性ガスの反応により生じる火炎中にてガラス原料ガスを加水分解または酸化させてガラス微粒子を合成し、このガラス微粒子を回転する出発部材の外周部の径方向に堆積させてガラス棒状体を製造する方法において、
前記可燃性ガスの流量Aと前記支燃性ガスの流量Bとの比A/Bは、
2.5≦A/B≦4.5
を満たし、
前記支燃性ガスの流速V O と前記ガラス原料ガスの流速V S との比V O /V S は、
0.1≦V O /V S ≦0.9
を満たすことを特徴とするガラス棒状体の製造方法。 - 前記出発部材の外周部の径方向に堆積させたガラス微粒子を高温処理し、ガラス体とすることを特徴とする請求項1記載のガラス棒状体の製造方法。
- 前記第1の多重管は、同心円管、または中心軸を同じとする複数の楕円管からなることを特徴とする請求項1または2記載のガラス棒状体の製造方法。
- 前記複数のノズルは、前記第1の多重管の中心軸と一致する中心を有する1つの円上または複数の円上に配置されていることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1項記載のガラス棒状体の製造方法。
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