JP4097982B2 - 光ファイバ用多孔質母材の製造方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、酸水素火炎中でガラス原料ガスを反応させてガラス微粒子を生成し、これを出発部材の外周部に堆積させる外付け法に適用される光ファイバ用多孔質母材の製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
光ファイバ母材の製造方法の1つとしては、バーナからガラス原料ガスを、添加ガス、可燃性ガス、支燃性ガスとともに噴出し、ガラス原料ガスを火炎中で加水分解反応させてガラス微粒子(スート)を生成し、コアとなるガラス材を備えた円柱形の出発部材の外周部にガラス微粒子を堆積させて、複数層からなる多孔質層を形成して光ファイバ用多孔質母材を得て、これを電気炉中で脱水、焼結しながら透明ガラス化し光ファイバ母材を得る外付け法(OVD法、Outside Vapor Phase Deposition)がある。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
近年、高速通信の需要の増加に伴って、光ファイバの需要も年々増加してきている。そのため、光ファイバの価格を下げることが望まれている。そこで、このような要望に応えるためには、光ファイバの製造を高速化して製造時間を短縮し、光ファイバを一度に大量に製造して、製造コストを低減する必要がある。これを実現するためには、光ファイバの紡糸に供される光ファイバ母材を大型化する必要がある。
【0004】
外付け法において、光ファイバ用多孔質母材の製造時間を短縮するには、例えば、ガラス微粒子の生成に供されるガラス原料ガスの流量を増加して、ガラス微粒子の堆積速度を速める方法がある。
しかしながら、単にガラス原料ガスの流量を増加しても、大型の光ファイバ母材を短時間に作製できるとは限らない。なぜならば、大型の光ファイバ母材を短時間に作製するためには、ガラス原料ガスの流量を多くしてガラス微粒子の堆積速度を速めると同時に、ガラス微粒子の堆積効率も高める必要があるからである。
ここで、ガラス微粒子の堆積効率とは、使用したガラス原料ガスが全て化学反応によってガラス微粒子に変化したと仮定したときのガラス微粒子の総量に対する、出発部材の表面に堆積されたガラス微粒子の総量の割合で定義するものである。また、堆積速度とは、単位時間当りに出発部材の表面に堆積されたガラス微粒子の重量で表されるものである。
【0005】
一般に、ガラス微粒子を堆積する出発部材、または、ガラス微粒子堆積中の光ファイバ用多孔質母材(以下、「ターゲット部材」と記す。)の外径が細い場合、ガラス原料ガスおよび添加ガスの混合ガスの流速を大きくすれば、ガラス微粒子の堆積効率の向上に有効である。これは、ターゲット部材の外径が細い場合、ガラス微粒子の慣性力を大きくし、ガラス微粒子が直接、ターゲット部材に当る確率を大きくすれば、堆積効率が向上するからである。
一方、ターゲット部材の外径が太い場合、ガラス原料ガスおよび添加ガスの混合ガスの流速を小さくすれば、ガラス微粒子の堆積効率の向上に有効である。これは、ターゲット部材の外径が太い場合、ガラス原料ガスが反応する時間を長くし、生成したガラス微粒子を火炎中で拡散させることで、サーモフォレシス効果によるガラス微粒子の堆積効果が期待できるからである。
【0006】
ところが、ターゲット部材の外径が細いときは、ガラス原料ガスの流速を上げるために、ガラス原料ガスおよび添加ガスの混合ガスの流量を多くすると、この混合ガス中の添加ガスの比率が大きくなってしまう。このような状況下では、ターゲット部材に堆積されないガラス微粒子の量が多くなり、結果として、製造コストが増加する。
一方、ターゲット部材の外径が太いときは、ガラス原料ガスの流速を下げるために、ガラス原料ガスおよび添加ガスの混合ガスの流量を少なくすると、この混合ガス中の添加ガスの比率が小さくなってしまう。このような状況下では、ガラス微粒子の生成量が少なくなり、ガラス微粒子の堆積に要する時間が長くなり、結果として、製造コストが増加する。
【0007】
光ファイバ用多孔質母材の製造において、ガラス原料ガスおよび添加ガスの混合ガスが同一の噴出口から噴出される場合、この混合ガスの流速を最適とするために、添加ガスの流量を決定すると、混合ガス中のガラス原料ガスと添加ガスの比率もそれに応じて決定される。
しかしながら、ガラス原料ガスの反応促進、堆積中のガラス微粒子の表面温度やかさ密度の大きさなどを考慮すると、添加ガスの流量を調整することによって、ガラス原料ガスの流量を最適量に設定することができるとは限らない。したがって、このような方法では、ガラス微粒子の堆積効率を向上させることができないこともある。
【0008】
例えば、図11に示すようなバーナを用いて、第1の噴出口1よりガラス原料ガスおよび添加ガス、第2の噴出口2より不活性ガス、第3の噴出口3より可燃性ガス、第4の噴出口4および第5の噴出口5、5、…より支燃性ガスを噴出して、光ファイバ用多孔質母材の製造を行なう光ファイバ用多孔質母材の製造方法において、ターゲット部材の外径が細い場合、第1の噴出口1から噴出される添加ガスの流量が多くなり、ガラス微粒子の生成反応に寄与しない添加ガスが多くなる。一方、ターゲット部材の外径が太くなると、第1の噴出口1から噴出される添加ガスの流量が少なくなるため、ガラス原料ガスが十分に反応しなくなるという問題があった。
【0009】
ところで、ガラス原料ガスおよび添加ガスの混合ガスを、複数の噴出口から噴出する光ファイバ用多孔質母材の製造方法について、例えば、特開平10−101343号公報に開示されている。また、添加ガスを、ガラス原料ガスが噴出される噴出口に隣接する噴出口から噴出する光ファイバ用多孔質母材の製造方法については、特開平10−167748号公報に開示されている。
しかしながら、これらの光ファイバ用多孔質母材の製造方法では、各噴出口から噴出するガスの種類と流量の関係が例示されているにすぎず、ターゲット部材の外径が大きくなるに伴なって、ガスの流量を変化させる方法や、ガラス原料ガスと添加ガスの流量比を略一定に保つなどの方法については記載されていない。
【0010】
本発明は、前記事情に鑑みてなされたもので、バーナの噴出口から噴出されるガラス原料ガスと添加ガスの流量をガラス微粒子堆積中に制御し、ガラス原料ガスと添加ガスの流量比を最適な状態として、ガラス微粒子の堆積効率を向上する光ファイバ用多孔質母材の製造方法を提供することを課題とする。
【0011】
本発明の光ファイバ用多孔質母材の製造方法は、中心軸を同じくして配列された複数のノズルを備えたバーナに、ガラス原料ガスと、これに添加する添加ガスを導入し、該ガラス原料ガスを酸水素火炎中で火炎加水分解反応させてガラス微粒子を生成し、該ガラス微粒子を出発部材の外周部に堆積して光ファイバ用多孔質母材を得る光ファイバ用多孔質母材の製造方法において、前記バーナは、中心に前記ガラス原料ガスおよび前記添加ガスの混合ガスを噴出するノズルを有し、該ノズルに隣接する前記添加ガスを噴出するノズルを有し、さらにこれらの外層に酸水素火炎を形成するためのガスを噴出するためのノズルを有し、前記ガラス微粒子の堆積中に、前記出発部材の外径変化に伴って、前記2つの噴出口から噴出される前記添加ガスの流量を、前記中心の噴出口から噴出される前記添加ガスの流量を単調に減少させるように1回以上変化させ、かつ前記中心の噴出口に隣接する噴出口から噴出される前記添加ガスの流量を単調に増加させるように1回以上変化させ、かつ、前記ガラス原料ガスの流量をV1リットル/分とし、前記隣接する2つの噴出口から噴出される添加ガスの総流量をV2リットル/分とし、前記ガラス微粒子の堆積の初期段階におけるV1/V2をRbとし、前記ガラス微粒子の堆積の終了段階におけるV1/V2をRfとすると、RbとRfの関係を0.25≦Rb/Rf≦4.0とすることを特徴とする。
なお、ここでガラス微粒子を堆積する初期段階とは、光ファイバ用多孔質母材の製造開始から、ガラス微粒子が総堆積量の5〜15%程度堆積したときを示し、終了段階とは、ガラス微粒子が総堆積量の85〜95%程度堆積したときを示す。
本発明の光ファイバ用多孔質母材の製造方法は、中心軸を同じくして配列された複数のノズルを備えたバーナに、ガラス原料ガスと、これに添加する添加ガスを導入し、該ガラス原料ガスを酸水素火炎中で火炎加水分解反応させてガラス微粒子を生成し、該ガラス微粒子を出発部材の外周部に堆積して光ファイバ用多孔質母材を得る光ファイバ用多孔質母材の製造方法において、前記バーナは、中心に前記添加ガスを噴出するノズルを有し、該ノズルに隣接する前記ガラス原料ガスおよび前記添加ガスの混合ガスを噴出するノズルを有し、さらにこれらの外層に酸水素火炎を形成するためのガスを噴出するためのノズルを有し、前記ガラス微粒子の堆積中に、前記出発部材の外径変化に伴って、前記2つの噴出口から噴出される前記添加ガスの流量を、前記中心の噴出口から噴出される前記添加ガスの流量を単調に減少させるように1回以上変化させ、かつ前記中心の噴出口に隣接する噴出口から噴出される前記添加ガスの流量を単調に増加させるように1回以上変化させ、かつ、前記ガラス原料ガスの流量をV1リットル/分とし、前記隣接する2つの噴出口から噴出される添加ガスの総流量をV2リットル/分とし、前記ガラス微粒子の堆積の初期段階におけるV1/V2をRbとし、前記ガラス微粒子の堆積の終了段階におけるV1/V2をRfとすると、RbとRfの関係を0.25≦Rb/Rf≦4.0とすることを特徴とする。
本発明の光ファイバ用多孔質母材の製造方法は、中心軸を同じくして配列された複数のノズルを備えたバーナに、ガラス原料ガスと、これに添加する添加ガスを導入し、該ガラス原料ガスを酸水素火炎中で火炎加水分解反応させてガラス微粒子を生成し、該ガラス微粒子を出発部材の外周部に堆積して光ファイバ用多孔質母材を得る光ファイバ用多孔質母材の製造方法において、前記バーナは、中心に前記ガラス原料ガスおよび前記添加ガスの混合ガスを噴出するノズルを有し、該ノズルに隣接する前記ガラス原料ガスおよび前記添加ガスを噴出するノズルを有し、さらにこれらの外層に酸水素火炎を形成するためのガスを噴出するためのノズルを有し、前記ガラス微粒子の堆積中に、前記出発部材の外径変化に伴って、前記2つの噴出口から噴出される前記ガラス原料ガスと前記添加ガスの合計の流量を、前記中心の噴出口から噴出される前記ガラス原料ガスと前記添加ガスの合計の流量を単調に減少させるように1回以上変化させ、かつ前記中心の噴出口に隣接する噴出口から噴出される前記ガラス原料ガスと前記添加ガスの合計の流量を単調に増加させるように1回以上変化させ、かつ、前記ガラス原料ガスの流量をV1リットル/分とし、前記隣接する2つの噴出口から噴出される添加ガスの総流量をV2リットル/分とし、前記ガラ ス微粒子の堆積の初期段階におけるV1/V2をRbとし、前記ガラス微粒子の堆積の終了段階におけるV1/V2をRfとすると、RbとRfの関係を0.25≦Rb/Rf≦4.0とすることを特徴とする。
上記光ファイバ用多孔質母材の製造方法において、製造中における前記原料ガス供給量を一定とすることが好ましい。
上記光ファイバ用多孔質母材の製造方法において、前記添加ガスを、酸素または水素とすることが好ましい。
【0012】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を詳しく説明する。
本発明の光ファイバ用多孔質母材製造用バーナ装置は、ガラス微粒子を生成するバーナと、このバーナにガラス原料ガス、可燃性ガス、支燃性ガスおよび不活性ガスを供給するガス供給源と、これらのガスの流量または流速を制御するガス制御部とから概略構成されている
【0013】
図1は、本発明の光ファイバ用多孔質母材製造用バーナ装置に備えられているバーナの一例を示す概略構成図である。
このバーナ10の端面において、その中心に第1のノズル11が設けられ、この第1のノズル11の周囲に、第1のノズル11と中心軸を同じくして第2のノズル12が設けられ、さらに、この第2のノズル12の周囲に、第1のノズル11と中心軸を同じくして第3のノズル13が設けられ、以下、同様に、第4のノズル14および第5のノズル15が設けられている。また、第3のノズル13と第4のノズル14の間で、第1のノズル11の同心円上には、複数個の内径および外径の等しい第6のノズル16、16、…が設けられている。
【0014】
また、第1のノズル11が第1の噴出口21をなし、第1のノズル11と第2のノズル12の間の部分が第2の噴出口22をなし、第2のノズル12と第3のノズル13の間の部分が第3の噴出口23をなし、第3のノズル13と第4のノズル14の間の部分が第4の噴出口24をなし、第4のノズル14と第5のノズル15の間の部分が第5の噴出口25をなし、第6のノズル16、16、…が第6の噴出口26、26、…をなしている。
【0015】
このバーナ10は、外径40〜60mm程度の円筒形で、一般的には石英ガラスで形成されている。また、第1のノズル11の内径は2.5〜6mm程度、第2のノズル12の内径は4〜10mm程度、第3のノズル13の内径は6〜15mm程度、第3のノズル13の内径は6〜15mm程度、第4のノズル14の内径は25〜45mm程度、第5のノズル15の内径は35〜55mm程度、第6のノズル16の内径は1〜2mm程度となっている。また、第1のノズル11の中心から、第6のノズル16の中心までの距離は10〜30mm程度となっている。
バーナ10を構成する各ノズルの内径を上記のような範囲とすることにより、後述の光ファイバ用多孔質母材の製造方法が可能となる。
【0016】
さらに、ガス供給源は、ガラス原料ガス、酸素、水素、不活性ガスなどが充填されたガスボンベ(図示略)などからなり、バーナ10の後端部に、ガス供給管路(図示略)を介して接続されている。
そして、ガス制御部は、電磁バルブ、流量制御装置などからなり、上述のガス供給管路の中途に設けられており、流量制御装置により、ガスの流量または流速を制御する。
【0017】
以下、本発明の光ファイバ用多孔質母材の製造方法を説明する。
本発明の多孔質ガラス母材の製造方法では、まず、その軸周りに回転する出発部材の外周部に、例えば、バーナ10の第1の噴出口21からガラス原料ガスのSiCl4、GeCl4など、および、添加ガスの酸素ガスまたは水素ガスを供給し、第2の噴出口22から支燃性ガスの酸素ガスを供給し、第3の噴出口23から不活性ガスのアルゴンガスを供給し、第4の噴出口24からは可燃性ガスの水素ガスを供給し、第5の噴出口25および第6の噴出口26からは支燃性ガスの酸素ガスを供給し、バーナ10の酸水素火炎中における加水分解反応により、ガラス微粒子を合成し、このガラス微粒子を出発部材の外周部に堆積し、光ファイバ用多孔質母材を得る。
【0018】
本発明の光ファイバ用多孔質母材の製造方法にあっては、第1の噴出口21および第2の噴出口22から供給されるガスを、組成の等しいガラス原料ガスおよび添加ガスの混合ガスとするか、または、第1の噴出口21または第2の噴出口22から供給されるガスのうち、一方をガラス原料ガスおよび添加ガスの混合ガスとし、他方を添加ガスとする。
そして、ガラス微粒子の堆積中に、ガラス微粒子の堆積時間の経過に伴なって増加する光ファイバ用多孔質母材の外径変化に応じて、第1の噴出口21または第2の噴出口22のうち、少なくとも1つの噴出口から噴出されるガラス原料ガスおよび添加ガスの混合ガスの流速を1回以上変化させて、ガラス微粒子の堆積の初期段階で速く、終了段階で遅くなるようにする。さらに、第1の噴出口21から噴出されるガラス原料ガスの流量をV1リットル/分とし、第1の噴出口21および第2の噴出口22から噴出される添加ガスの酸素ガスの総流量をV2リットル/分とし、これらの比V1/V2を、ガラス微粒子の堆積の初期段階でRbとし、ガラス微粒子の堆積の終了段階でRfとすると、RbとRfの関係を0.25≦Rb/Rf≦4.0とする。RbとRfのより好ましい関係は0.5≦Rb/Rf≦2.0であり、さらに好ましくは0.8≦Rb/Rf≦1.2である。
【0019】
このように、本発明の光ファイバ用多孔質母材の製造方法にあっては、バーナの隣接する2つの噴出口のうち、少なくとも1つの噴出口から噴出されるガラス原料ガスおよび添加ガスの混合ガスの流速を、ガラス微粒子の堆積の初期段階で速く、終了段階で遅くなるようにし、かつ、ガラス微粒子の堆積の初期段階と終了段階において、RbとRfとの比率を大きく変化させないようにすれば、常に反応に過不足のない酸素ガスが、ガラス原料ガス周辺に存在するようになる。すなわち、ガラス原料ガスと酸素ガスの流量比が、ガラス微粒子堆積中の光ファイバ用多孔質母材の外径変化に応じて、常に最適な状態となる。したがって、ガラス原料ガスが十分に反応するようになるから、ガラス微粒子の堆積効率が向上する。
【0020】
さらに、添加ガスを、酸素ガスから水素ガスへ変えた場合も同様である。この場合、好ましいRb、Rfの値は、添加ガスが酸素ガスの場合とは必然的に異なるが、RbとRfとの比率を、ガラス微粒子の堆積の初期段階と終了段階で大きく変化させないことが望ましいことは全く同様である。
【0021】
なお、ガラス原料ガスに添加する添加ガスは、ガラス微粒子の生成反応に寄与するという観点から、上述のように酸素ガスまたは水素ガスのいずれかであることが好ましい。
また、光ファイバ用多孔質母材製造用バーナ装置に備えられたバーナの構造は図1に示すような、その中心に、中心軸を同じくして設けられた3重のノズルを有する構造でも、図11に示すような、その中心に、中心軸を同じくして設けられた2重ノズルを有する構造であっても、上述の条件を満たしていれば、どちらであってもよい。
【0022】
以下、図1および図11を用いて具体的な実施例を示し、本発明の効果を明らかにする。
なお、以下に示す実施例において、バーナの構造、ガスの流量、出発部材の大きさなどは、ここで示したものに限定されるものではない。また、この実施例をもって本発明が限定されるものでもない。
【0023】
(実施例1)
直径30mm、長さ1100mmの円柱形の出発部材を、その軸周りに毎分30回転させ、バーナ端面の概略形状が図1に示したようなバーナを複数個用いて、このバーナを出発部材の長手方向と平行に往復移動させながら、出発部材の外周部にSiO2ガラス微粒子を堆積させた。ガラス原料ガスの添加ガスには水素ガスを用い、第1の噴出口21のみにガラス原料ガスを供給した。バーナに供給するガスを、ガラス微粒子堆積中の光ファイバ用多孔質母材の外径変化に応じて、表1および図2のように変化させた。
【0024】
【表1】
【0025】
(実施例2)
バーナ端面の概略形状が図1に示したようなバーナを用い、ガラス原料ガスの添加ガスには酸素ガスを用いた以外は、実施例1と同様にして、出発部材の外周部にSiO2ガラス微粒子を堆積させた。バーナに供給するガスを、ガラス微粒子堆積中の光ファイバ用多孔質母材の外径変化に応じて、表2および図3のように変化させた。
【0026】
【表2】
【0027】
(実施例3)
バーナ端面の概略形状が図11に示したようなバーナを用い、ガラス原料ガスの添加ガスには水素ガスを用い、第1の噴出口1のみにガラス原料ガスを供給した以外は、実施例1と同様にして、出発部材の外周部にSiO2ガラス微粒子を堆積させた。バーナに供給するガスを、ガラス微粒子堆積中の光ファイバ用多孔質母材の外径変化に応じて、表3および図4のように変化させた。
【0028】
【表3】
【0029】
(実施例4)
バーナ端面の概略形状が図1に示したようなバーナを用い、第2の噴出口22のみにガラス原料ガスを供給した以外は、実施例1と同様にして、出発部材の外周部にSiO2ガラス微粒子を堆積させた。バーナに供給するガスを、ガラス微粒子堆積中の光ファイバ用多孔質母材の外径変化に応じて、表4および図5のように変化させた。
【0030】
【表4】
【0031】
(実施例5)
バーナ端面の概略形状が図1に示したようなバーナを用い、ガラス原料ガスの添加ガスには酸素ガスを用い、第1の噴出口21およにび第2の噴出口22にガラス原料ガスを供給した以外は、実施例1と同様にして、出発部材の外周部にSiO2ガラス微粒子を堆積させた。バーナに供給するガスを、ガラス微粒子堆積中の光ファイバ用多孔質母材の外径変化に応じて、表5および図6のように変化させた。
【0032】
【表5】
【0033】
(比較例1)
バーナ端面の概略形状が図1に示したようなバーナを用い、ガラス原料ガスの添加ガスには酸素ガスを用いた以外は、実施例1と同様にして、出発部材の外周部にSiO2ガラス微粒子を堆積させた。バーナに供給するガスを、ガラス微粒子堆積中の光ファイバ用多孔質母材の外径変化に応じて、表6および図7のように変化させた。
【0034】
【表6】
【0035】
(比較例2)
バーナ端面の概略形状が図11に示したようなバーナを用い、ガラス原料ガスの添加ガスには酸素ガスを用い、第1の噴出口1のみにガラス原料ガスを供給した以外は、実施例1と同様にして、出発部材の外周部にSiO2ガラス微粒子を堆積させた。バーナに供給するガスを、ガラス微粒子堆積中の光ファイバ用多孔質母材の外径変化に応じて、表7および図8のように変化させた。
【0036】
【表7】
【0037】
(比較例3)
バーナ端面の概略形状が図1に示したようなバーナを用い、ガラス原料ガスの添加ガスに酸素ガスを用いた以外は、実施例1と同様にして、出発部材の外周部にSiO2ガラス微粒子を堆積させた。バーナに供給するガスを、ガラス微粒子堆積中の光ファイバ用多孔質母材の外径変化に応じて、表8および図9のように変化させた。
【0038】
【表8】
【0039】
実施例1〜5および比較例1〜3におけるガラス微粒子堆積中の光ファイバ用多孔質母材の外径と、ガラス微粒子の堆積効率の関係を図10に示す。
図10の結果から、第1の噴出口11または第2の噴出口12、あるいは、第1の噴出口1または第2の噴出口2のうち少なくとも1つの噴出口から噴出されるガラス原料ガスおよび添加ガスの混合ガスの流速を、ガラス微粒子の堆積の初期段階で速く、終了段階で遅くなるようにし、かつ、ガラス微粒子の堆積の初期段階と終了段階において、RbとRfとの比率を大きく変化させないようにすれば、ガラス微粒子の堆積効率を向上することができることが確認された。
【0040】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の光ファイバ用多孔質母材の製造方法によれば、バーナの隣接する2つの噴出口のうち、少なくとも1つの噴出口から噴出されるガラス原料ガスおよび添加ガスの混合ガスの流速を、ガラス微粒子の堆積の初期段階で速く、終了段階で遅くなるようにし、かつ、ガラス微粒子の堆積の初期段階と終了段階において、ガラス原料ガスの総流量と添加ガスの総流量との比率を大きく変化させないようにするから、常に反応に過不足のない酸素ガスが、ガラス原料ガス周辺に存在するようになり、ガラス原料ガスと酸素ガスの流量比が、ガラス微粒子堆積中の光ファイバ用多孔質母材の外径変化に応じて、常に最適な状態となる。したがって、ガラス原料ガスが十分に反応するようになるから、ガラス微粒子の堆積効率が向上する。
また、本発明の光ファイバ用多孔質母材製造用バーナ装置によれば、ガラス原料ガスと酸素ガスの流量比を、ガラス微粒子堆積中の光ファイバ用多孔質母材の外径変化に応じて、常に最適な状態とすることができるから、ガラス原料ガスが十分に反応し、ガラス微粒子の堆積効率を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の光ファイバ用多孔質母材製造用バーナ装置に備えられたバーナの一例を示す概略構成図である。
【図2】 実施例1において、ガラス微粒子堆積中の光ファイバ用多孔質母材の外径と、ガラス原料ガスの総流量V1と添加ガスの総流量V2の比率との関係を示すグラフである。
【図3】 実施例2において、ガラス微粒子堆積中の光ファイバ用多孔質母材の外径と、ガラス原料ガスの総流量V1と添加ガスの総流量V2の比率との関係を示すグラフである。
【図4】 実施例3において、ガラス微粒子堆積中の光ファイバ用多孔質母材の外径と、ガラス原料ガスの総流量V1と添加ガスの総流量V2の比率との関係を示すグラフである。
【図5】 実施例4において、ガラス微粒子堆積中の光ファイバ用多孔質母材の外径と、ガラス原料ガスの総流量V1と添加ガスの総流量V2の比率との関係を示すグラフである。
【図6】 実施例5において、ガラス微粒子堆積中の光ファイバ用多孔質母材の外径と、ガラス原料ガスの総流量V1と添加ガスの総流量V2の比率との関係を示すグラフである。
【図7】 比較例1において、ガラス微粒子堆積中の光ファイバ用多孔質母材の外径と、ガラス原料ガスの総流量V1と添加ガスの総流量V2の比率との関係を示すグラフである。
【図8】 比較例2において、ガラス微粒子堆積中の光ファイバ用多孔質母材の外径と、ガラス原料ガスの総流量V1と添加ガスの総流量V2の比率との関係を示すグラフである。
【図9】 比較例3において、ガラス微粒子堆積中の光ファイバ用多孔質母材の外径と、ガラス原料ガスの総流量V1と添加ガスの総流量V2の比率との関係を示すグラフである。
【図10】 実施例1〜5および比較例1〜3におけるガラス微粒子堆積中の光ファイバ用多孔質母材の外径と、ガラス微粒子の堆積効率の関係を示すグラフである。
【図11】 光ファイバ用多孔質母材の製造に用いられるバーナの一例を示す概略構成図である。
【符号の説明】
10・・・バーナ、11・・・第1のノズル、12・・・第2のノズル、13・・・第3のノズル、14・・・第4のノズル、15・・・第5のノズル、16・・・第6のノズル、21・・・第1の噴出口、22・・・第2の噴出口、23・・・第3の噴出口、24・・・第4の噴出口、25・・・第5の噴出口、26・・・第6の噴出口
Claims (5)
- 中心軸を同じくして配列された複数のノズルを備えたバーナに、ガラス原料ガスと、これに添加する添加ガスを導入し、該ガラス原料ガスを酸水素火炎中で火炎加水分解反応させてガラス微粒子を生成し、該ガラス微粒子を出発部材の外周部に堆積して光ファイバ用多孔質母材を得る光ファイバ用多孔質母材の製造方法において、
前記バーナは、中心に前記ガラス原料ガスおよび前記添加ガスの混合ガスを噴出するノズルを有し、該ノズルに隣接する前記添加ガスを噴出するノズルを有し、さらにこれらの外層に酸水素火炎を形成するためのガスを噴出するためのノズルを有し、
前記ガラス微粒子の堆積中に、前記出発部材の外径変化に伴って、前記2つの噴出口から噴出される前記添加ガスの流量を、
前記中心の噴出口から噴出される前記添加ガスの流量を単調に減少させるように1回以上変化させ、かつ前記中心の噴出口に隣接する噴出口から噴出される前記添加ガスの流量を単調に増加させるように1回以上変化させ、
かつ、前記ガラス原料ガスの流量をV1リットル/分とし、前記隣接する2つの噴出口から噴出される添加ガスの総流量をV2リットル/分とし、前記ガラス微粒子の堆積の初期段階におけるV1/V2をRbとし、前記ガラス微粒子の堆積の終了段階におけるV1/V2をRfとすると、RbとRfの関係を0.25≦Rb/Rf≦4.0とすることを特徴とする光ファイバ用多孔質母材の製造方法。 - 中心軸を同じくして配列された複数のノズルを備えたバーナに、ガラス原料ガスと、これに添加する添加ガスを導入し、該ガラス原料ガスを酸水素火炎中で火炎加水分解反応させてガラス微粒子を生成し、該ガラス微粒子を出発部材の外周部に堆積して光ファイバ用多孔質母材を得る光ファイバ用多孔質母材の製造方法において、
前記バーナは、中心に前記添加ガスを噴出するノズルを有し、該ノズルに隣接する前記ガラス原料ガスおよび前記添加ガスの混合ガスを噴出するノズルを有し、さらにこれらの外層に酸水素火炎を形成するためのガスを噴出するためのノズルを有し、
前記ガラス微粒子の堆積中に、前記出発部材の外径変化に伴って、前記2つの噴出口から噴出される前記添加ガスの流量を、
前記中心の噴出口から噴出される前記添加ガスの流量を単調に減少させるように1回以上変化させ、かつ前記中心の噴出口に隣接する噴出口から噴出される前記添加ガスの流量を単調に増加させるように1回以上変化させ、
かつ、前記ガラス原料ガスの流量をV1リットル/分とし、前記隣接する2つの噴出口から噴出される添加ガスの総流量をV2リットル/分とし、前記ガラス微粒子の堆積の初期段階におけるV1/V2をRbとし、前記ガラス微粒子の堆積の終了段階におけるV1/V2をRfとすると、RbとRfの関係を0.25≦Rb/Rf≦4.0とすることを特徴とする光ファイバ用多孔質母材の製造方法。 - 中心軸を同じくして配列された複数のノズルを備えたバーナに、ガラス原料ガスと、これに添加する添加ガスを導入し、該ガラス原料ガスを酸水素火炎中で火炎加水分解反応させてガラス微粒子を生成し、該ガラス微粒子を出発部材の外周部に堆積して光ファイバ用多孔質母材を得る光ファイバ用多孔質母材の製造方法において、
前記バーナは、中心に前記ガラス原料ガスおよび前記添加ガスの混合ガスを噴出するノズルを有し、該ノズルに隣接する前記ガラス原料ガスおよび前記添加ガスを噴出するノズルを有し、さらにこれらの外層に酸水素火炎を形成するためのガスを噴出するためのノズルを有し、
前記ガラス微粒子の堆積中に、前記出発部材の外径変化に伴って、前記2つの噴出口から噴出される前記ガラス原料ガスと前記添加ガスの合計の流量を、
前記中心の噴出口から噴出される前記ガラス原料ガスと前記添加ガスの合計の流量を単調に減少させるように1回以上変化させ、かつ前記中心の噴出口に隣接する噴出口から噴出される前記ガラス原料ガスと前記添加ガスの合計の流量を単調に増加させるように1回以上変化させ、
かつ、前記ガラス原料ガスの流量をV1リットル/分とし、前記隣接する2つの噴出口 から噴出される添加ガスの総流量をV2リットル/分とし、前記ガラス微粒子の堆積の初期段階におけるV1/V2をRbとし、前記ガラス微粒子の堆積の終了段階におけるV1/V2をRfとすると、RbとRfの関係を0.25≦Rb/Rf≦4.0とすることを特徴とする光ファイバ用多孔質母材の製造方法。 - 請求項1ないし3のいずれか1項に記載の光ファイバ用多孔質母材の製造方法において、
製造中における前記原料ガス供給量を一定とすることを特徴とする光ファイバ用多孔質母材の製造方法。 - 請求項1ないし3のいずれか1項に記載の光ファイバ用多孔質母材の製造方法において、
前記添加ガスを、酸素ガスまたは水素ガスとすることを特徴とする光ファイバ用多孔質母材の製造方法。
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