JP2003226544A - 光ファイバ多孔質母材の製造方法 - Google Patents
光ファイバ多孔質母材の製造方法Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 光ファイバ多孔質母材の製造において、ガラ
ス微粒子の合成反応の効率およびガラス微粒子のガラス
微粒子堆積面への堆積効率を向上する光ファイバ多孔質
母材の製造方法を提供する。 【解決手段】 ガラス原料ガスを噴出する第１の噴出口
１１と、第１の噴出口１１の同心円上に設けられた酸素
を噴出する第５の噴出口１５、１５、…とを備えたガラ
ス合成用バーナ１０を用いて、ガラス原料ガスを火炎中
で加水分解反応させてガラス微粒子を合成し、ガラス微
粒子を回転する出発部材の外周部の径方向に堆積して光
ファイバ多孔質母材を得る際に、第５の噴出口１５、１
５、…の焦点距離の最大値をＬ１と、ガラス合成用バー
ナ１０の端面から光ファイバ多孔質母材２０のガラス微
粒子堆積面２０ａまでの距離をＬ２との関係をＬ１≦Ｌ
２とする光ファイバ多孔質母材の製造方法。
ス微粒子の合成反応の効率およびガラス微粒子のガラス
微粒子堆積面への堆積効率を向上する光ファイバ多孔質
母材の製造方法を提供する。 【解決手段】 ガラス原料ガスを噴出する第１の噴出口
１１と、第１の噴出口１１の同心円上に設けられた酸素
を噴出する第５の噴出口１５、１５、…とを備えたガラ
ス合成用バーナ１０を用いて、ガラス原料ガスを火炎中
で加水分解反応させてガラス微粒子を合成し、ガラス微
粒子を回転する出発部材の外周部の径方向に堆積して光
ファイバ多孔質母材を得る際に、第５の噴出口１５、１
５、…の焦点距離の最大値をＬ１と、ガラス合成用バー
ナ１０の端面から光ファイバ多孔質母材２０のガラス微
粒子堆積面２０ａまでの距離をＬ２との関係をＬ１≦Ｌ
２とする光ファイバ多孔質母材の製造方法。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、酸水素炎中でガラ
ス原料ガスを反応させてガラス微粒子を合成し、これを
回転する出発部材の外周部の径方向に堆積する光ファイ
バ多孔質母材の製造方法に関する。
ス原料ガスを反応させてガラス微粒子を合成し、これを
回転する出発部材の外周部の径方向に堆積する光ファイ
バ多孔質母材の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】光ファイバは、光ファイバ母材を溶融線
引きして製造される。また、光ファイバ母材の製造方法
としては、ＶＡＤ法、ＯＶＤ法、ＭＣＶＤ法、ＰＣＶＤ
法などの方法がある。なかでも、ＯＶＤ（Outside Vapo
r Phase Deposition）法は、コアとなるガラス材を備え
た円柱形の出発部材の表面に、四塩化ケイ素（ＳｉＣｌ
4）、四塩化ゲルマニウム（ＧｅＣｌ4）などのガラス原
料ガスを酸素、水素とともに吹き付け、その軸回りに回
転する出発部材の表面を酸水素バーナにより加熱して、
ガラス微粒子（スート）を堆積させて複数層からなる多
孔質層を形成して光ファイバ多孔質母材とし、これを電
気炉中で脱水、焼結しながら透明ガラス化し、光ファイ
バ母材を製造する方法である。このような光ファイバ母
材を溶融線引きして製造される光ファイバは、純度、そ
の他の品質に優れたものとなる。
引きして製造される。また、光ファイバ母材の製造方法
としては、ＶＡＤ法、ＯＶＤ法、ＭＣＶＤ法、ＰＣＶＤ
法などの方法がある。なかでも、ＯＶＤ（Outside Vapo
r Phase Deposition）法は、コアとなるガラス材を備え
た円柱形の出発部材の表面に、四塩化ケイ素（ＳｉＣｌ
4）、四塩化ゲルマニウム（ＧｅＣｌ4）などのガラス原
料ガスを酸素、水素とともに吹き付け、その軸回りに回
転する出発部材の表面を酸水素バーナにより加熱して、
ガラス微粒子（スート）を堆積させて複数層からなる多
孔質層を形成して光ファイバ多孔質母材とし、これを電
気炉中で脱水、焼結しながら透明ガラス化し、光ファイ
バ母材を製造する方法である。このような光ファイバ母
材を溶融線引きして製造される光ファイバは、純度、そ
の他の品質に優れたものとなる。
【０００３】ＯＶＤ法において、光ファイバ多孔質母材
を形成する工程において用いられるガラス合成用バーナ
１０の端面は、例えば、図１に示すような構造をなして
いる。このガラス合成用バーナ１０の端面において、そ
の中心に第１のノズル１が設けられ、この第１のノズル
１の周囲に、第１のノズル１と中心軸を同じくして第２
のノズル２が設けられている。また、同様に、第２のノ
ズル２の周囲に、第１のノズル１と中心軸を同じくして
第３のノズル３が、第３のノズル３の周囲に、第１のノ
ズル１と中心軸を同じくして第４のノズル４が設けられ
ている。また、第２のノズル２と第３のノズル３の間
で、第１のノズル１の同心円上には、複数の小径の第５
のノズル５、５、…が設けられている。また、第１のノ
ズル１が第１の噴出口１１をなし、第１のノズル１と第
２のノズル２の間の部分が第２の噴出口１２をなし、第
２のノズル２と第３のノズル３の間の部分が第３の噴出
口１３をなし、第３のノズル３と第４のノズル４の間の
部分が第４の噴出口１４をなし、第５のノズル５が第５
の噴出口１５をなしている。
を形成する工程において用いられるガラス合成用バーナ
１０の端面は、例えば、図１に示すような構造をなして
いる。このガラス合成用バーナ１０の端面において、そ
の中心に第１のノズル１が設けられ、この第１のノズル
１の周囲に、第１のノズル１と中心軸を同じくして第２
のノズル２が設けられている。また、同様に、第２のノ
ズル２の周囲に、第１のノズル１と中心軸を同じくして
第３のノズル３が、第３のノズル３の周囲に、第１のノ
ズル１と中心軸を同じくして第４のノズル４が設けられ
ている。また、第２のノズル２と第３のノズル３の間
で、第１のノズル１の同心円上には、複数の小径の第５
のノズル５、５、…が設けられている。また、第１のノ
ズル１が第１の噴出口１１をなし、第１のノズル１と第
２のノズル２の間の部分が第２の噴出口１２をなし、第
２のノズル２と第３のノズル３の間の部分が第３の噴出
口１３をなし、第３のノズル３と第４のノズル４の間の
部分が第４の噴出口１４をなし、第５のノズル５が第５
の噴出口１５をなしている。
【０００４】ＯＶＤ法において、ガラス微粒子を合成す
るには、一般的に、第１の噴出口１１からは、ガラス原
料ガスとして例えば、ＳｉＣｌ4と酸素の混合ガスを供
給し、第２の噴出口１２からはアルゴンなどからなるシ
ールガスを供給し、第３の噴出口１３からは水素を供給
し、第４の噴出口１４および第５の噴出口１５からは酸
素を供給する。
るには、一般的に、第１の噴出口１１からは、ガラス原
料ガスとして例えば、ＳｉＣｌ4と酸素の混合ガスを供
給し、第２の噴出口１２からはアルゴンなどからなるシ
ールガスを供給し、第３の噴出口１３からは水素を供給
し、第４の噴出口１４および第５の噴出口１５からは酸
素を供給する。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところで、近年、高速
通信の需要の増加に伴って、光ファイバの生産量も増加
し、光ファイバの製造に供される光ファイバ母材が大型
化する傾向にある。これによって、光ファイバ母材の製
造に要する時間が長くなっている。したがって、光ファ
イバ多孔質母材の製造におけるガラス微粒子の合成反応
の効率や、ガラス微粒子の出発部材および光ファイバ多
孔質母材のガラス微粒子堆積面への堆積効率を上げるこ
とが、非常に重要な課題となっている。
通信の需要の増加に伴って、光ファイバの生産量も増加
し、光ファイバの製造に供される光ファイバ母材が大型
化する傾向にある。これによって、光ファイバ母材の製
造に要する時間が長くなっている。したがって、光ファ
イバ多孔質母材の製造におけるガラス微粒子の合成反応
の効率や、ガラス微粒子の出発部材および光ファイバ多
孔質母材のガラス微粒子堆積面への堆積効率を上げるこ
とが、非常に重要な課題となっている。
【０００６】ガラス微粒子の合成反応の効率を上げるた
めや、ガラス微粒子の堆積効率を上げるためには、例え
ば、特開平１０−１０１３４３号公報において、ガラス
合成用バーナにおける酸素ガス噴出ポートの焦点距離
を、ガラス合成用バーナ端面から光ファイバ多孔質母材
のガラス微粒子堆積面までの距離よりも長くする方法が
提案されている。この方法によれば、合成されたガラス
微粒子の流れが乱れることなく、結果として、酸水素炎
の乱れを生じることもないため、ガラス微粒子の堆積効
率を向上することができる。しかしながら、出発部材や
ガラス微粒子を堆積中の光ファイバ多孔質母材の径が大
きくなると、上記焦点距離を長くしたために、ガラス微
粒子の合成反応の効率が下がることがあった。
めや、ガラス微粒子の堆積効率を上げるためには、例え
ば、特開平１０−１０１３４３号公報において、ガラス
合成用バーナにおける酸素ガス噴出ポートの焦点距離
を、ガラス合成用バーナ端面から光ファイバ多孔質母材
のガラス微粒子堆積面までの距離よりも長くする方法が
提案されている。この方法によれば、合成されたガラス
微粒子の流れが乱れることなく、結果として、酸水素炎
の乱れを生じることもないため、ガラス微粒子の堆積効
率を向上することができる。しかしながら、出発部材や
ガラス微粒子を堆積中の光ファイバ多孔質母材の径が大
きくなると、上記焦点距離を長くしたために、ガラス微
粒子の合成反応の効率が下がることがあった。
【０００７】本発明は、前記事情に鑑みてなされたもの
で、光ファイバ多孔質母材の製造において、ガラス微粒
子の合成反応の効率およびガラス微粒子のガラス微粒子
堆積面への堆積効率を向上する光ファイバ多孔質母材の
製造方法を提供することを課題とする。
で、光ファイバ多孔質母材の製造において、ガラス微粒
子の合成反応の効率およびガラス微粒子のガラス微粒子
堆積面への堆積効率を向上する光ファイバ多孔質母材の
製造方法を提供することを課題とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】前記課題は、少なくとも
中心にガラス原料ガスを含んだガスの噴出口と、該ガラ
ス原料ガスを含んだガスの噴出口の周囲に、該ガラス原
料ガスを含んだガスの噴出口と同心円上に１列または複
数列に配列され、同一列の噴出口は同一の焦点距離を持
つ支燃性ガスの噴出口を内包する、可燃性ガスの噴出口
とを備えたガラス合成用バーナを用いて、ガラス原料ガ
スを火炎中で加水分解反応または酸化反応させてガラス
微粒子を合成し、該ガラス微粒子を回転する出発部材の
外周部の径方向に堆積して光ファイバ多孔質母材を得る
光ファイバ多孔質母材の製造方法において、前記支燃性
ガス噴出口の焦点距離の最大値をＬ１とし、前記ガラス
合成用バーナ端面から前記光ファイバ多孔質母材のガラ
ス微粒子堆積面までの距離をＬ２とすると、これらの関
係をＬ１≦Ｌ２とする光ファイバ多孔質母材の製造方法
によって解決できる。前記支燃性ガス噴出口の焦点距離
の最大値Ｌ１と、前記ガラス合成用バーナ端面から前記
光ファイバ多孔質母材のガラス微粒子堆積面までの距離
Ｌ２との関係を、０．４≦Ｌ１／Ｌ２≦０．９とするこ
とが好ましい。前記ガラス合成用バーナ端面から前記光
ファイバ多孔質母材のガラス微粒子堆積面までの距離Ｌ
２を、５００ｍｍ以下とすることが好ましい。前記ガラ
ス合成用バーナ端面から前記光ファイバ多孔質母材のガ
ラス微粒子堆積面までの距離Ｌ２（ｍ）と、前記ガラス
原料ガスの流速ｖ１（ｍ／秒）との関係を、０．００５
秒≦Ｌ２／ｖ１≦０．０７秒とすることが好ましい。前
記ガラス微粒子の堆積開始から堆積終了までの間におい
て、前記ガラス合成用バーナ端面から前記光ファイバ多
孔質母材のガラス微粒子堆積面までの距離の最大値をＬ
ｍａｘとし、最小値をＬｍｉｎとすると、Ｌｍａｘ−Ｌ
ｍｉｎ≦（Ｌｍａｘ＋Ｌｍｉｎ）／２×０．０５とする
ことが好ましい。
中心にガラス原料ガスを含んだガスの噴出口と、該ガラ
ス原料ガスを含んだガスの噴出口の周囲に、該ガラス原
料ガスを含んだガスの噴出口と同心円上に１列または複
数列に配列され、同一列の噴出口は同一の焦点距離を持
つ支燃性ガスの噴出口を内包する、可燃性ガスの噴出口
とを備えたガラス合成用バーナを用いて、ガラス原料ガ
スを火炎中で加水分解反応または酸化反応させてガラス
微粒子を合成し、該ガラス微粒子を回転する出発部材の
外周部の径方向に堆積して光ファイバ多孔質母材を得る
光ファイバ多孔質母材の製造方法において、前記支燃性
ガス噴出口の焦点距離の最大値をＬ１とし、前記ガラス
合成用バーナ端面から前記光ファイバ多孔質母材のガラ
ス微粒子堆積面までの距離をＬ２とすると、これらの関
係をＬ１≦Ｌ２とする光ファイバ多孔質母材の製造方法
によって解決できる。前記支燃性ガス噴出口の焦点距離
の最大値Ｌ１と、前記ガラス合成用バーナ端面から前記
光ファイバ多孔質母材のガラス微粒子堆積面までの距離
Ｌ２との関係を、０．４≦Ｌ１／Ｌ２≦０．９とするこ
とが好ましい。前記ガラス合成用バーナ端面から前記光
ファイバ多孔質母材のガラス微粒子堆積面までの距離Ｌ
２を、５００ｍｍ以下とすることが好ましい。前記ガラ
ス合成用バーナ端面から前記光ファイバ多孔質母材のガ
ラス微粒子堆積面までの距離Ｌ２（ｍ）と、前記ガラス
原料ガスの流速ｖ１（ｍ／秒）との関係を、０．００５
秒≦Ｌ２／ｖ１≦０．０７秒とすることが好ましい。前
記ガラス微粒子の堆積開始から堆積終了までの間におい
て、前記ガラス合成用バーナ端面から前記光ファイバ多
孔質母材のガラス微粒子堆積面までの距離の最大値をＬ
ｍａｘとし、最小値をＬｍｉｎとすると、Ｌｍａｘ−Ｌ
ｍｉｎ≦（Ｌｍａｘ＋Ｌｍｉｎ）／２×０．０５とする
ことが好ましい。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、本発明を詳しく説明する。
図１は、光ファイバ多孔質母材の製造に用いられるガラ
ス合成用バーナの第1の例を示す概略構成図である。本
発明の光ファイバ多孔質母材の製造方法で用いられる光
ファイバ多孔質母材製造用バーナ装置は、この例のガラ
ス合成用バーナ１０と、このガラス合成用バーナ１０に
ガラス原料ガス、支燃性ガスの酸素、可燃性ガスの水素
および不活性ガスを供給する図示略のガス供給源と、こ
れらのガスの流量または流速を制御する図示略のガス制
御部とから概略構成されている。
図１は、光ファイバ多孔質母材の製造に用いられるガラ
ス合成用バーナの第1の例を示す概略構成図である。本
発明の光ファイバ多孔質母材の製造方法で用いられる光
ファイバ多孔質母材製造用バーナ装置は、この例のガラ
ス合成用バーナ１０と、このガラス合成用バーナ１０に
ガラス原料ガス、支燃性ガスの酸素、可燃性ガスの水素
および不活性ガスを供給する図示略のガス供給源と、こ
れらのガスの流量または流速を制御する図示略のガス制
御部とから概略構成されている。
【００１０】ガラス合成用バーナ１０は、外径４０〜６
０ｍｍ程度の円筒形で、通常は、石英ガラスで形成され
ている。また、第１のノズル１の内径は２．５〜６ｍｍ
程度、第２のノズル２の内径は４〜１０ｍｍ程度、第３
のノズル３の内径は２５〜４５ｍｍ程度、第４のノズル
４の内径は３０〜３５ｍｍ程度、第５のノズル５の内径
は１〜２ｍｍ程度となっている。また、第１のノズル１
の中心から、第５のノズル５の中心までの距離は、１０
〜３０ｍｍ程度となっている。ガラス合成用バーナ１０
を構成する各ノズルの内径を上記のような範囲とするこ
とにより、後述の光ファイバ多孔質母材の製造方法を可
能とする。
０ｍｍ程度の円筒形で、通常は、石英ガラスで形成され
ている。また、第１のノズル１の内径は２．５〜６ｍｍ
程度、第２のノズル２の内径は４〜１０ｍｍ程度、第３
のノズル３の内径は２５〜４５ｍｍ程度、第４のノズル
４の内径は３０〜３５ｍｍ程度、第５のノズル５の内径
は１〜２ｍｍ程度となっている。また、第１のノズル１
の中心から、第５のノズル５の中心までの距離は、１０
〜３０ｍｍ程度となっている。ガラス合成用バーナ１０
を構成する各ノズルの内径を上記のような範囲とするこ
とにより、後述の光ファイバ多孔質母材の製造方法を可
能とする。
【００１１】ガス供給源は、ガラス原料ガス、酸素、水
素、不活性ガスなどが充填されたガスボンベ（図示略）
などからなり、ガラス合成用バーナ１０の後端部に、ガ
ス供給管路（図示略）を介して接続されている。また、
ガス制御部は、電磁バルブ、流量制御装置などからな
り、上述のガス供給管路の中途に設けられており、この
流量制御装置により、ガスの流量または流速を制御する
ようになっている。
素、不活性ガスなどが充填されたガスボンベ（図示略）
などからなり、ガラス合成用バーナ１０の後端部に、ガ
ス供給管路（図示略）を介して接続されている。また、
ガス制御部は、電磁バルブ、流量制御装置などからな
り、上述のガス供給管路の中途に設けられており、この
流量制御装置により、ガスの流量または流速を制御する
ようになっている。
【００１２】以下、図１および図２を用いて本発明の光
ファイバ多孔質母材の製造方法について説明する。本発
明の光ファイバ多孔質母材の製造方法では、例えば、そ
の軸回りに回転するコアとなるガラス材を備えた円柱形
の出発部材の表面に、ガラス合成用バーナ１０の第１の
噴出口１１からＳｉＣｌ4などのガラス原料ガスと酸素
（Ｏ2）の混合ガスを供給し、第２の噴出口１２からは
アルゴン（Ａｒ）などの不活性ガスからなるシールガス
を供給し、第３の噴出口１３からは水素（Ｈ2）を供給
し、第４の噴出口１４および第５の噴出口１５からは酸
素を供給して、ガラス合成用バーナ１０の酸水素炎中に
おける加水分解反応により、ガラス微粒子を合成し、こ
のガラス微粒子を、出発部材の表面および光ファイバ多
孔質母材のガラス微粒子堆積面に半焼結状態で半径方向
に堆積し、光ファイバ多孔質母材を得る。
ファイバ多孔質母材の製造方法について説明する。本発
明の光ファイバ多孔質母材の製造方法では、例えば、そ
の軸回りに回転するコアとなるガラス材を備えた円柱形
の出発部材の表面に、ガラス合成用バーナ１０の第１の
噴出口１１からＳｉＣｌ4などのガラス原料ガスと酸素
（Ｏ2）の混合ガスを供給し、第２の噴出口１２からは
アルゴン（Ａｒ）などの不活性ガスからなるシールガス
を供給し、第３の噴出口１３からは水素（Ｈ2）を供給
し、第４の噴出口１４および第５の噴出口１５からは酸
素を供給して、ガラス合成用バーナ１０の酸水素炎中に
おける加水分解反応により、ガラス微粒子を合成し、こ
のガラス微粒子を、出発部材の表面および光ファイバ多
孔質母材のガラス微粒子堆積面に半焼結状態で半径方向
に堆積し、光ファイバ多孔質母材を得る。
【００１３】本発明の光ファイバ多孔質母材の製造方法
では、図２に示すように、支燃性ガスの酸素を噴出する
第5の噴出口１５の焦点距離の最大値をＬ１とし、ガラ
ス合成用バーナ１０の端面から光ファイバ多孔質母材２
０のガラス微粒子堆積面２０ａまでの距離をＬ２とする
と、これらの関係をＬ１≦Ｌ２とすることが好ましい。
第5の噴出口１５の焦点距離の最大値Ｌ１が、ガラス合
成用バーナ１０の端面からガラス微粒子堆積面２０ａま
での距離Ｌ２を超えると、第５の噴出口１５と焦点を結
ぶ線が中心から離れ、その結果として、酸水素炎中にお
いて、酸素と第３の噴出口１３から噴出される可燃性ガ
スの水素が反応する位置が、第1の噴出口１１から噴出
されるガラス原料ガスから離れてしまい、ガラス原料ガ
ス付近の水蒸気濃度が低くなるため、ガラス微粒子の合
成反応の効率が低下する。
では、図２に示すように、支燃性ガスの酸素を噴出する
第5の噴出口１５の焦点距離の最大値をＬ１とし、ガラ
ス合成用バーナ１０の端面から光ファイバ多孔質母材２
０のガラス微粒子堆積面２０ａまでの距離をＬ２とする
と、これらの関係をＬ１≦Ｌ２とすることが好ましい。
第5の噴出口１５の焦点距離の最大値Ｌ１が、ガラス合
成用バーナ１０の端面からガラス微粒子堆積面２０ａま
での距離Ｌ２を超えると、第５の噴出口１５と焦点を結
ぶ線が中心から離れ、その結果として、酸水素炎中にお
いて、酸素と第３の噴出口１３から噴出される可燃性ガ
スの水素が反応する位置が、第1の噴出口１１から噴出
されるガラス原料ガスから離れてしまい、ガラス原料ガ
ス付近の水蒸気濃度が低くなるため、ガラス微粒子の合
成反応の効率が低下する。
【００１４】さらに、本発明の光ファイバ多孔質母材の
製造方法では、第5の噴出口１５の焦点距離の最大値Ｌ
１と、ガラス合成用バーナ１０の端面からガラス微粒子
堆積面２０ａまでの距離Ｌ２との関係を、０．４≦Ｌ１
／Ｌ２≦０．９とすることが好ましく、より好ましくは
０．５≦Ｌ１／Ｌ２≦０．９である。Ｌ１／Ｌ２が０．
４未満では、ガラス微粒子の合成反応が、ガラス合成用
バーナ１０の端面近傍で起こり、合成されたガラス微粒
子が、ガラス合成用バーナ１０の端面に付着し、ガラス
合成用バーナ１０の各噴出口を塞いでしまうため、ガラ
ス微粒子の合成反応の効率が低下する。一方、Ｌ１／Ｌ
２が０．９を超えると、酸水素炎中において、酸素と第
３の噴出口１３から噴出される可燃性ガスの水素が反応
する位置が、第1の噴出口１１から噴出されるガラス原
料ガスから離れてしまうため、ガラス微粒子の合成反応
の効率が低下する。
製造方法では、第5の噴出口１５の焦点距離の最大値Ｌ
１と、ガラス合成用バーナ１０の端面からガラス微粒子
堆積面２０ａまでの距離Ｌ２との関係を、０．４≦Ｌ１
／Ｌ２≦０．９とすることが好ましく、より好ましくは
０．５≦Ｌ１／Ｌ２≦０．９である。Ｌ１／Ｌ２が０．
４未満では、ガラス微粒子の合成反応が、ガラス合成用
バーナ１０の端面近傍で起こり、合成されたガラス微粒
子が、ガラス合成用バーナ１０の端面に付着し、ガラス
合成用バーナ１０の各噴出口を塞いでしまうため、ガラ
ス微粒子の合成反応の効率が低下する。一方、Ｌ１／Ｌ
２が０．９を超えると、酸水素炎中において、酸素と第
３の噴出口１３から噴出される可燃性ガスの水素が反応
する位置が、第1の噴出口１１から噴出されるガラス原
料ガスから離れてしまうため、ガラス微粒子の合成反応
の効率が低下する。
【００１５】また、ガラス合成用バーナ１０の端面から
ガラス微粒子堆積面２０ａまでの距離Ｌ２を、５００ｍ
ｍ以下とすることが好ましく、より好ましくは１００〜
２５０ｍｍである。Ｌ２が５００ｍｍを超えると、酸水
素炎中で合成されたガラス微粒子が雰囲気中に拡散して
しまい、ガラス微粒子のガラス微粒子堆積面２０ａへの
堆積効率が低下する。
ガラス微粒子堆積面２０ａまでの距離Ｌ２を、５００ｍ
ｍ以下とすることが好ましく、より好ましくは１００〜
２５０ｍｍである。Ｌ２が５００ｍｍを超えると、酸水
素炎中で合成されたガラス微粒子が雰囲気中に拡散して
しまい、ガラス微粒子のガラス微粒子堆積面２０ａへの
堆積効率が低下する。
【００１６】また、第1の噴出口１１から噴出されるガ
ラス原料ガスの流速をｖ１（ｍ／秒）とすると、このｖ
１とガラス合成用バーナ１０の端面からガラス微粒子堆
積面２０ａまでの距離Ｌ２（ｍ）との関係を、０．００
５秒≦Ｌ２／ｖ１≦０．０７秒とすることが好ましく、
より好ましくは０．００５秒≦Ｌ２／ｖ１≦０．０３秒
である。Ｌ２／ｖ１が０．００５秒未満では、ガラス原
料ガスが、ガラス合成用バーナ１０の端面からガラス微
粒子堆積面２０ａまでに到達する間に、酸素および水素
と十分に反応しない。すなわち、ガラス微粒子の合成反
応の効率が低下する。一方、Ｌ２／ｖ１が０．０７秒を
超えると、酸水素炎中で合成されたガラス微粒子が雰囲
気中に拡散してしまい、ガラス微粒子のガラス微粒子堆
積面２０ａへの堆積効率が低下する。また、ガラス微粒
子の合成反応が、ガラス合成用バーナ１０の端面近傍で
起こり、合成されたガラス微粒子が、ガラス合成用バー
ナ１０の端面に付着し、ガラス合成用バーナ１０の各噴
出口を塞いでしまうため、ガラス微粒子の合成反応の効
率が低下する。
ラス原料ガスの流速をｖ１（ｍ／秒）とすると、このｖ
１とガラス合成用バーナ１０の端面からガラス微粒子堆
積面２０ａまでの距離Ｌ２（ｍ）との関係を、０．００
５秒≦Ｌ２／ｖ１≦０．０７秒とすることが好ましく、
より好ましくは０．００５秒≦Ｌ２／ｖ１≦０．０３秒
である。Ｌ２／ｖ１が０．００５秒未満では、ガラス原
料ガスが、ガラス合成用バーナ１０の端面からガラス微
粒子堆積面２０ａまでに到達する間に、酸素および水素
と十分に反応しない。すなわち、ガラス微粒子の合成反
応の効率が低下する。一方、Ｌ２／ｖ１が０．０７秒を
超えると、酸水素炎中で合成されたガラス微粒子が雰囲
気中に拡散してしまい、ガラス微粒子のガラス微粒子堆
積面２０ａへの堆積効率が低下する。また、ガラス微粒
子の合成反応が、ガラス合成用バーナ１０の端面近傍で
起こり、合成されたガラス微粒子が、ガラス合成用バー
ナ１０の端面に付着し、ガラス合成用バーナ１０の各噴
出口を塞いでしまうため、ガラス微粒子の合成反応の効
率が低下する。
【００１７】また、本発明の光ファイバ多孔質母材の製
造方法において、ガラス微粒子の堆積開始から堆積終了
までの間において、ガラス合成用バーナ１０の端面から
光ファイバ多孔質母材２０のガラス微粒子堆積面２０ａ
までの距離の最大値をＬｍａｘとし、最小値をＬｍｉｎ
とすると、Ｌｍａｘ−Ｌｍｉｎ≦（Ｌｍａｘ＋Ｌｍｉ
ｎ）／２×０．０５とすることが好ましい。ガラス微粒
子をガラス微粒子堆積面２０ａに堆積する際に、ガラス
合成用バーナ１０の端面からガラス微粒子堆積面２０ａ
までの距離が大きく変動すると、ガラス微粒子の堆積条
件も大きく変動することになる。これにより、堆積され
たガラス微粒子が割れたり、このようにして製造された
光ファイバ多孔質母材を焼結後の光ファイバ母材に気泡
が生じる。そこで、ＬｍａｘとＬｍｉｎとの関係を上記
のようにすれば、このような製造不良を生じることがな
い。
造方法において、ガラス微粒子の堆積開始から堆積終了
までの間において、ガラス合成用バーナ１０の端面から
光ファイバ多孔質母材２０のガラス微粒子堆積面２０ａ
までの距離の最大値をＬｍａｘとし、最小値をＬｍｉｎ
とすると、Ｌｍａｘ−Ｌｍｉｎ≦（Ｌｍａｘ＋Ｌｍｉ
ｎ）／２×０．０５とすることが好ましい。ガラス微粒
子をガラス微粒子堆積面２０ａに堆積する際に、ガラス
合成用バーナ１０の端面からガラス微粒子堆積面２０ａ
までの距離が大きく変動すると、ガラス微粒子の堆積条
件も大きく変動することになる。これにより、堆積され
たガラス微粒子が割れたり、このようにして製造された
光ファイバ多孔質母材を焼結後の光ファイバ母材に気泡
が生じる。そこで、ＬｍａｘとＬｍｉｎとの関係を上記
のようにすれば、このような製造不良を生じることがな
い。
【００１８】なお、図１および図２には、本発明の光フ
ァイバ多孔質母材の製造方法に用いられるガラス合成用
バーナの第1の例を示したが、本発明の光ファイバ多孔
質母材の製造方法に用いられるガラス合成用バーナは、
これに限定されるものではない。本発明の光ファイバ多
孔質母材の製造方法に用いられるガラス合成用バーナ
は、図１および図２に示したものと類似の構造を有する
ものであればよい。図３〜図６に、本発明の光ファイバ
多孔質母材の製造方法に用いられるガラス合成用バーナ
の他の例を示す。
ァイバ多孔質母材の製造方法に用いられるガラス合成用
バーナの第1の例を示したが、本発明の光ファイバ多孔
質母材の製造方法に用いられるガラス合成用バーナは、
これに限定されるものではない。本発明の光ファイバ多
孔質母材の製造方法に用いられるガラス合成用バーナ
は、図１および図２に示したものと類似の構造を有する
ものであればよい。図３〜図６に、本発明の光ファイバ
多孔質母材の製造方法に用いられるガラス合成用バーナ
の他の例を示す。
【００１９】図３は、本発明の光ファイバ多孔質母材の
製造方法に用いられるガラス合成用バーナの第２の例を
示す概略構成図である。この例のガラス合成用バーナの
端面において、その中心に第１の噴出口２１が設けら
れ、この第１の噴出口２１の周囲に、第１の噴出口２１
と中心軸を同じくして第２の噴出口２２が設けられてい
る。また、同様に、第２の噴出口２２の周囲に、第１の
噴出口２１と中心軸を同じくして第３の噴出口２３が、
第３の噴出口２３の周囲に、第１の噴出口２１と中心軸
を同じくして第４の噴出口２４が設けられている。ま
た、第２の噴出口２２と第３の噴出口２３の間で、第１
の噴出口２１の同心円上には、複数の小径の第５の噴出
口２５、２５、…が、第５の噴出口２５、２５、…の周
囲に、複数の小径の第６の噴出口２６、２６、…が設け
られている。この例では、第５の噴出口２５、２５、…
および第６の噴出口２６、２６、…が支燃性ガスの酸素
の噴出口となる。
製造方法に用いられるガラス合成用バーナの第２の例を
示す概略構成図である。この例のガラス合成用バーナの
端面において、その中心に第１の噴出口２１が設けら
れ、この第１の噴出口２１の周囲に、第１の噴出口２１
と中心軸を同じくして第２の噴出口２２が設けられてい
る。また、同様に、第２の噴出口２２の周囲に、第１の
噴出口２１と中心軸を同じくして第３の噴出口２３が、
第３の噴出口２３の周囲に、第１の噴出口２１と中心軸
を同じくして第４の噴出口２４が設けられている。ま
た、第２の噴出口２２と第３の噴出口２３の間で、第１
の噴出口２１の同心円上には、複数の小径の第５の噴出
口２５、２５、…が、第５の噴出口２５、２５、…の周
囲に、複数の小径の第６の噴出口２６、２６、…が設け
られている。この例では、第５の噴出口２５、２５、…
および第６の噴出口２６、２６、…が支燃性ガスの酸素
の噴出口となる。
【００２０】図４は、本発明の光ファイバ多孔質母材の
製造方法に用いられるガラス合成用バーナの第３の例を
示す概略構成図である。この例のガラス合成用バーナの
端面において、その中心に第１の噴出口３１が設けら
れ、この第１の噴出口３１の周囲に、第１の噴出口３１
と中心軸を同じくして第２の噴出口３２が設けられてい
る。また、同様に、第２の噴出口３２の周囲に、第１の
噴出口３１と中心軸を同じくして第３の噴出口３３が、
第３の噴出口３３の周囲に、第１の噴出口３１と中心軸
を同じくして第４の噴出口３４が、第４の噴出口３４の
周囲に、第１の噴出口３１と中心軸を同じくして第５の
噴出口３５が設けられている。また、第２の噴出口３２
と第３の噴出口３３の間で、第１の噴出口３１の同心円
上には、複数の小径の第６の噴出口３６、３６、…が、
第６の噴出口３６、３６、…の周囲に、複数の小径の第
７の噴出口３７、３７、…が、第７の噴出口３７、３
７、…の周囲に、複数の小径の第８の噴出口３８、３
８、…が設けられている。この例では、第６の噴出口３
６、３６、…、第７の噴出口３７、３７、…および第８
の噴出口３８、３８、…が支燃性ガスの酸素の噴出口と
なる。
製造方法に用いられるガラス合成用バーナの第３の例を
示す概略構成図である。この例のガラス合成用バーナの
端面において、その中心に第１の噴出口３１が設けら
れ、この第１の噴出口３１の周囲に、第１の噴出口３１
と中心軸を同じくして第２の噴出口３２が設けられてい
る。また、同様に、第２の噴出口３２の周囲に、第１の
噴出口３１と中心軸を同じくして第３の噴出口３３が、
第３の噴出口３３の周囲に、第１の噴出口３１と中心軸
を同じくして第４の噴出口３４が、第４の噴出口３４の
周囲に、第１の噴出口３１と中心軸を同じくして第５の
噴出口３５が設けられている。また、第２の噴出口３２
と第３の噴出口３３の間で、第１の噴出口３１の同心円
上には、複数の小径の第６の噴出口３６、３６、…が、
第６の噴出口３６、３６、…の周囲に、複数の小径の第
７の噴出口３７、３７、…が、第７の噴出口３７、３
７、…の周囲に、複数の小径の第８の噴出口３８、３
８、…が設けられている。この例では、第６の噴出口３
６、３６、…、第７の噴出口３７、３７、…および第８
の噴出口３８、３８、…が支燃性ガスの酸素の噴出口と
なる。
【００２１】図５は、本発明の光ファイバ多孔質母材の
製造方法に用いられるガラス合成用バーナの第４の例を
示す概略構成図である。この例のガラス合成用バーナの
端面において、その中心に第１の噴出口４１が設けら
れ、この第１の噴出口４１の周囲に、第１の噴出口４１
と中心軸を同じくして第２の噴出口４２が設けられてい
る。また、同様に、第２の噴出口４２の周囲に、第１の
噴出口４１と中心軸を同じくして第３の噴出口４３が、
第３の噴出口４３の周囲に、第１の噴出口４１と中心軸
を同じくして第４の噴出口４４が、第４の噴出口４４の
周囲に、第１の噴出口４１と中心軸を同じくして第５の
噴出口４５が、第５の噴出口４５の周囲に、第１の噴出
口４１と中心軸を同じくして第６の噴出口４６が、第６
の噴出口４６の周囲に、第１の噴出口４１と中心軸を同
じくして第７の噴出口４７が、第７の噴出口４７の周囲
に、第１の噴出口４１と中心軸を同じくして第８の噴出
口４８が設けられている。また、第３の噴出口４３と第
４の噴出口４４の間で、第１の噴出口３１の同心円上に
は、複数の小径の第９の噴出口４９、４９、…が、第９
の噴出口４９、４９、…の周囲に、複数の小径の第１０
の噴出口５０、５０、…が設けられている。この例で
は、第９の噴出口４９、４９、…および第１０の噴出口
５０、５０、…が支燃性ガスの酸素の噴出口となる。
製造方法に用いられるガラス合成用バーナの第４の例を
示す概略構成図である。この例のガラス合成用バーナの
端面において、その中心に第１の噴出口４１が設けら
れ、この第１の噴出口４１の周囲に、第１の噴出口４１
と中心軸を同じくして第２の噴出口４２が設けられてい
る。また、同様に、第２の噴出口４２の周囲に、第１の
噴出口４１と中心軸を同じくして第３の噴出口４３が、
第３の噴出口４３の周囲に、第１の噴出口４１と中心軸
を同じくして第４の噴出口４４が、第４の噴出口４４の
周囲に、第１の噴出口４１と中心軸を同じくして第５の
噴出口４５が、第５の噴出口４５の周囲に、第１の噴出
口４１と中心軸を同じくして第６の噴出口４６が、第６
の噴出口４６の周囲に、第１の噴出口４１と中心軸を同
じくして第７の噴出口４７が、第７の噴出口４７の周囲
に、第１の噴出口４１と中心軸を同じくして第８の噴出
口４８が設けられている。また、第３の噴出口４３と第
４の噴出口４４の間で、第１の噴出口３１の同心円上に
は、複数の小径の第９の噴出口４９、４９、…が、第９
の噴出口４９、４９、…の周囲に、複数の小径の第１０
の噴出口５０、５０、…が設けられている。この例で
は、第９の噴出口４９、４９、…および第１０の噴出口
５０、５０、…が支燃性ガスの酸素の噴出口となる。
【００２２】図６は、本発明の光ファイバ多孔質母材の
製造方法に用いられるガラス合成用バーナの第５の例を
示す概略構成図である。この例のガラス合成用バーナの
端面において、その中心に第１の噴出口５１が設けら
れ、この第１の噴出口５１の周囲に、第１の噴出口５１
と中心軸を同じくして第２の噴出口５２が設けられてい
る。また、同様に、第２の噴出口５２の周囲に、第１の
噴出口５１と中心軸を同じくして第３の噴出口５３が、
第３の噴出口５３の周囲に、第１の噴出口５１と中心軸
を同じくして第４の噴出口５４が、第４の噴出口５４の
周囲に、第１の噴出口５１と中心軸を同じくして第５の
噴出口５５が、第５の噴出口５５の周囲に、第１の噴出
口５１と中心軸を同じくして第６の噴出口５６が設けら
れている。また、第３の噴出口５３と第４の噴出口５４
の間で、第１の噴出口５１の同心円上には、複数の小径
の第７の噴出口５７、５７、…が設けられている。この
例では、第７の噴出口５７、５７、…が支燃性ガスの酸
素の噴出口となる。
製造方法に用いられるガラス合成用バーナの第５の例を
示す概略構成図である。この例のガラス合成用バーナの
端面において、その中心に第１の噴出口５１が設けら
れ、この第１の噴出口５１の周囲に、第１の噴出口５１
と中心軸を同じくして第２の噴出口５２が設けられてい
る。また、同様に、第２の噴出口５２の周囲に、第１の
噴出口５１と中心軸を同じくして第３の噴出口５３が、
第３の噴出口５３の周囲に、第１の噴出口５１と中心軸
を同じくして第４の噴出口５４が、第４の噴出口５４の
周囲に、第１の噴出口５１と中心軸を同じくして第５の
噴出口５５が、第５の噴出口５５の周囲に、第１の噴出
口５１と中心軸を同じくして第６の噴出口５６が設けら
れている。また、第３の噴出口５３と第４の噴出口５４
の間で、第１の噴出口５１の同心円上には、複数の小径
の第７の噴出口５７、５７、…が設けられている。この
例では、第７の噴出口５７、５７、…が支燃性ガスの酸
素の噴出口となる。
【００２３】本発明の光ファイバ多孔質母材の製造方法
にあっては、上記のようなガラス合成用バーナを用い
て、出発部材の表面および光ファイバ多孔質母材の表面
にガラス微粒子を堆積する際、ガラス原料ガスの流速お
よび酸素の流速が、他のガスの流速と比較すると著しく
大きい。したがって、ガラス原料ガスの流速および酸素
の流速が、酸水素炎の大きさや温度、ガラス微粒子の合
成反応を支配するから、ガラス原料ガスを噴出する第1
の噴出口および酸素の噴出口以外の構造が多少異なって
も、本発明の光ファイバ多孔質母材の製造方法に影響を
及ぼすことはない。
にあっては、上記のようなガラス合成用バーナを用い
て、出発部材の表面および光ファイバ多孔質母材の表面
にガラス微粒子を堆積する際、ガラス原料ガスの流速お
よび酸素の流速が、他のガスの流速と比較すると著しく
大きい。したがって、ガラス原料ガスの流速および酸素
の流速が、酸水素炎の大きさや温度、ガラス微粒子の合
成反応を支配するから、ガラス原料ガスを噴出する第1
の噴出口および酸素の噴出口以外の構造が多少異なって
も、本発明の光ファイバ多孔質母材の製造方法に影響を
及ぼすことはない。
【００２４】また、本発明の光ファイバ多孔質母材の製
造方法によって製造された光ファイバ多孔質母材を電気
炉に入れ、ヘリウム（Ｈｅ）などの不活性ガス雰囲気中
で脱水しながら、透明なガラスになるまで焼結すると、
円柱形の光ファイバ母材を得る。このようにして得られ
た光ファイバ母材は、内部に気泡が発生したり、表面に
ひび割れが生じることもなく、品質に優れたものとな
る。さらに、このようにして得られた光ファイバ母材を
溶融線引きして製造される光ファイバは、純度、その他
の品質に優れたものとなる。
造方法によって製造された光ファイバ多孔質母材を電気
炉に入れ、ヘリウム（Ｈｅ）などの不活性ガス雰囲気中
で脱水しながら、透明なガラスになるまで焼結すると、
円柱形の光ファイバ母材を得る。このようにして得られ
た光ファイバ母材は、内部に気泡が発生したり、表面に
ひび割れが生じることもなく、品質に優れたものとな
る。さらに、このようにして得られた光ファイバ母材を
溶融線引きして製造される光ファイバは、純度、その他
の品質に優れたものとなる。
【００２５】以下、図１および図２を用いて具体的な実
施例を示し、本発明の効果を明らかにする。 （実施例１）図１に示したガラス合成用バーナ１０にお
いて、第５の噴出口１５の焦点距離の最大値Ｌ１が１２
０ｍｍのものを用意した。次いで、長さ１２００ｍｍ、
外径３５ｍｍの石英系ガラスからなる円柱形の出発部材
を用意した。次いで、この出発部材の両端部を把持具で
把持し、出発部材を水平に配置した。次いで、この出発
部材を、その中心軸を中心にして回転させながら、上記
のガラス合成用バーナ１０を複数本用いて、ガラス微粒
子を合成し、ガラス合成用バーナ１０を、出発部材の長
手方向と平行に移動させならが、ガラス微粒子を、回転
する出発部材の半径方向に堆積して、円柱形の光ファイ
バ多孔質母材を得た。このとき、出発部材の回転速度を
３０ｒｐｍとした。また、第1の噴出口１１からはＳｉ
Ｃｌ4を５ｌ／分と酸素を３ｌ／分噴出し、第２の噴出
口１２からは空気を１ｌ／分噴出し、第３の噴出口から
は水素を５０ｌ／分噴出し、第４の噴出口からは窒素を
５ｌ／分噴出し、第５の噴出口からは酸素を２０ｌ／分
噴出した。また、ガラス原料ガスの流量は一定とし、流
速ｖ１を２７ｍ／秒、１７ｍ／秒、７ｍ／秒と変化させ
た。光ファイバ多孔質母材の製造において、出発部材の
表面にガラス微粒子を堆積する際、ガラス微粒子の堆積
効率を調べた。ここで、ガラス微粒子の堆積効率とは、
使用したガラス原料ガスが全て化学反応によってガラス
微粒子に変化したと仮定したときのガラス微粒子の総量
に対する、出発部材の表面に堆積されたガラス微粒子の
総量の割合で定義するものである。結果を表１、図７、
図８および図９に示す。
施例を示し、本発明の効果を明らかにする。 （実施例１）図１に示したガラス合成用バーナ１０にお
いて、第５の噴出口１５の焦点距離の最大値Ｌ１が１２
０ｍｍのものを用意した。次いで、長さ１２００ｍｍ、
外径３５ｍｍの石英系ガラスからなる円柱形の出発部材
を用意した。次いで、この出発部材の両端部を把持具で
把持し、出発部材を水平に配置した。次いで、この出発
部材を、その中心軸を中心にして回転させながら、上記
のガラス合成用バーナ１０を複数本用いて、ガラス微粒
子を合成し、ガラス合成用バーナ１０を、出発部材の長
手方向と平行に移動させならが、ガラス微粒子を、回転
する出発部材の半径方向に堆積して、円柱形の光ファイ
バ多孔質母材を得た。このとき、出発部材の回転速度を
３０ｒｐｍとした。また、第1の噴出口１１からはＳｉ
Ｃｌ4を５ｌ／分と酸素を３ｌ／分噴出し、第２の噴出
口１２からは空気を１ｌ／分噴出し、第３の噴出口から
は水素を５０ｌ／分噴出し、第４の噴出口からは窒素を
５ｌ／分噴出し、第５の噴出口からは酸素を２０ｌ／分
噴出した。また、ガラス原料ガスの流量は一定とし、流
速ｖ１を２７ｍ／秒、１７ｍ／秒、７ｍ／秒と変化させ
た。光ファイバ多孔質母材の製造において、出発部材の
表面にガラス微粒子を堆積する際、ガラス微粒子の堆積
効率を調べた。ここで、ガラス微粒子の堆積効率とは、
使用したガラス原料ガスが全て化学反応によってガラス
微粒子に変化したと仮定したときのガラス微粒子の総量
に対する、出発部材の表面に堆積されたガラス微粒子の
総量の割合で定義するものである。結果を表１、図７、
図８および図９に示す。
【００２６】
【表１】
【００２７】（実施例２）図１に示したガラス合成用バ
ーナ１０において、第５の噴出口１５の焦点距離の最大
値Ｌ１が１８０ｍｍのものを用いた以外は実施例１と同
様にして、出発部材の表面にガラス微粒子を堆積する
際、ガラス微粒子の堆積効率を調べた。結果を表２、図
７、図８および図９に示す。
ーナ１０において、第５の噴出口１５の焦点距離の最大
値Ｌ１が１８０ｍｍのものを用いた以外は実施例１と同
様にして、出発部材の表面にガラス微粒子を堆積する
際、ガラス微粒子の堆積効率を調べた。結果を表２、図
７、図８および図９に示す。
【００２８】
【表２】
【００２９】（実施例３）図１に示したガラス合成用バ
ーナ１０において、第５の噴出口１５の焦点距離の最大
値Ｌ１が２４０ｍｍのものを用いた以外は実施例１と同
様にして、出発部材の表面にガラス微粒子を堆積する
際、ガラス微粒子の堆積効率を調べた。結果を表３、図
７、図８および図９に示す。
ーナ１０において、第５の噴出口１５の焦点距離の最大
値Ｌ１が２４０ｍｍのものを用いた以外は実施例１と同
様にして、出発部材の表面にガラス微粒子を堆積する
際、ガラス微粒子の堆積効率を調べた。結果を表３、図
７、図８および図９に示す。
【００３０】
【表３】
【００３１】表１〜３および図７〜９の結果から、本発
明の光ファイバ多孔質母材の製造方法によれば、ガラス
微粒子の堆積効率が著しく向上することが確認された。
明の光ファイバ多孔質母材の製造方法によれば、ガラス
微粒子の堆積効率が著しく向上することが確認された。
【００３２】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の光ファイ
バ多孔質母材の製造方法は、少なくとも中心にガラス原
料ガスを含んだガスの噴出口と、該ガラス原料ガスを含
んだガスの噴出口の周囲に、該ガラス原料ガスを含んだ
ガスの噴出口と同心円上に１列または複数列に配列さ
れ、同一列の噴出口は同一の焦点距離を持つ支燃性ガス
の噴出口を内包する、可燃性ガスの噴出口とを備えたガ
ラス合成用バーナを用いて、ガラス原料ガスを火炎中で
加水分解反応または酸化反応させてガラス微粒子を合成
し、該ガラス微粒子を回転する出発部材の外周部の径方
向に堆積して光ファイバ多孔質母材を得る光ファイバ多
孔質母材の製造方法において、前記支燃性ガス噴出口の
焦点距離の最大値をＬ１とし、前記ガラス合成用バーナ
端面から前記光ファイバ多孔質母材のガラス微粒子堆積
面までの距離をＬ２とすると、これらの関係をＬ１≦Ｌ
２とするから、ガラス微粒子の合成反応の効率および堆
積効率が向上する。前記支燃性ガス噴出口の焦点距離の
最大値Ｌ１と、前記ガラス合成用バーナ端面から前記光
ファイバ多孔質母材のガラス微粒子堆積面までの距離Ｌ
２との関係を、０．４≦Ｌ１／Ｌ２≦０．９とすれば、
ガラス微粒子の合成反応が、ガラス合成用バーナの端面
近傍で起こり、合成されたガラス微粒子が、ガラス合成
用バーナの端面に付着することがない。したがって、ガ
ラス微粒子の合成反応の効率が向上する。前記ガラス合
成用バーナ端面から前記光ファイバ多孔質母材のガラス
微粒子堆積面までの距離Ｌ２を、５００ｍｍ以下とすれ
ば、酸水素炎中で合成されたガラス微粒子が雰囲気中に
拡散することがなく、ガラス微粒子のガラス微粒子堆積
面への堆積効率が向上する。前記ガラス合成用バーナ端
面から前記光ファイバ多孔質母材のガラス微粒子堆積面
までの距離Ｌ２（ｍ）と、前記ガラス原料ガスの流速ｖ
１（ｍ／秒）との関係を、０．００５秒≦Ｌ２／ｖ１≦
０．０７秒とすれば、ガラス原料ガスが、ガラス合成用
バーナの端面からガラス微粒子堆積面までに到達する間
に、酸素および水素と十分に反応し、ガラス微粒子の合
成反応の効率が向上する。また、酸水素炎中で合成され
たガラス微粒子が雰囲気中に拡散することがなく、ガラ
ス微粒子のガラス微粒子堆積面への堆積効率が向上す
る。前記ガラス微粒子の堆積開始から堆積終了までの間
において、前記ガラス合成用バーナ端面から前記光ファ
イバ多孔質母材のガラス微粒子堆積面までの距離の最大
値をＬｍａｘとし、最小値をＬｍｉｎとすると、Ｌｍａ
ｘ−Ｌｍｉｎ≦（Ｌｍａｘ＋Ｌｍｉｎ）／２×０．０５
とすれば、堆積されたガラス微粒子が割れたり、この光
ファイバ多孔質母材を焼結して得られる光ファイバ母材
に気泡が生じることがない。
バ多孔質母材の製造方法は、少なくとも中心にガラス原
料ガスを含んだガスの噴出口と、該ガラス原料ガスを含
んだガスの噴出口の周囲に、該ガラス原料ガスを含んだ
ガスの噴出口と同心円上に１列または複数列に配列さ
れ、同一列の噴出口は同一の焦点距離を持つ支燃性ガス
の噴出口を内包する、可燃性ガスの噴出口とを備えたガ
ラス合成用バーナを用いて、ガラス原料ガスを火炎中で
加水分解反応または酸化反応させてガラス微粒子を合成
し、該ガラス微粒子を回転する出発部材の外周部の径方
向に堆積して光ファイバ多孔質母材を得る光ファイバ多
孔質母材の製造方法において、前記支燃性ガス噴出口の
焦点距離の最大値をＬ１とし、前記ガラス合成用バーナ
端面から前記光ファイバ多孔質母材のガラス微粒子堆積
面までの距離をＬ２とすると、これらの関係をＬ１≦Ｌ
２とするから、ガラス微粒子の合成反応の効率および堆
積効率が向上する。前記支燃性ガス噴出口の焦点距離の
最大値Ｌ１と、前記ガラス合成用バーナ端面から前記光
ファイバ多孔質母材のガラス微粒子堆積面までの距離Ｌ
２との関係を、０．４≦Ｌ１／Ｌ２≦０．９とすれば、
ガラス微粒子の合成反応が、ガラス合成用バーナの端面
近傍で起こり、合成されたガラス微粒子が、ガラス合成
用バーナの端面に付着することがない。したがって、ガ
ラス微粒子の合成反応の効率が向上する。前記ガラス合
成用バーナ端面から前記光ファイバ多孔質母材のガラス
微粒子堆積面までの距離Ｌ２を、５００ｍｍ以下とすれ
ば、酸水素炎中で合成されたガラス微粒子が雰囲気中に
拡散することがなく、ガラス微粒子のガラス微粒子堆積
面への堆積効率が向上する。前記ガラス合成用バーナ端
面から前記光ファイバ多孔質母材のガラス微粒子堆積面
までの距離Ｌ２（ｍ）と、前記ガラス原料ガスの流速ｖ
１（ｍ／秒）との関係を、０．００５秒≦Ｌ２／ｖ１≦
０．０７秒とすれば、ガラス原料ガスが、ガラス合成用
バーナの端面からガラス微粒子堆積面までに到達する間
に、酸素および水素と十分に反応し、ガラス微粒子の合
成反応の効率が向上する。また、酸水素炎中で合成され
たガラス微粒子が雰囲気中に拡散することがなく、ガラ
ス微粒子のガラス微粒子堆積面への堆積効率が向上す
る。前記ガラス微粒子の堆積開始から堆積終了までの間
において、前記ガラス合成用バーナ端面から前記光ファ
イバ多孔質母材のガラス微粒子堆積面までの距離の最大
値をＬｍａｘとし、最小値をＬｍｉｎとすると、Ｌｍａ
ｘ−Ｌｍｉｎ≦（Ｌｍａｘ＋Ｌｍｉｎ）／２×０．０５
とすれば、堆積されたガラス微粒子が割れたり、この光
ファイバ多孔質母材を焼結して得られる光ファイバ母材
に気泡が生じることがない。
【図１】 光ファイバ多孔質母材の製造に用いられるガ
ラス合成用バーナの第1の例を示す概略構成図である。
ラス合成用バーナの第1の例を示す概略構成図である。
【図２】 本発明の光ファイバ多孔質母材の製造方法を
示す概略断面図である。
示す概略断面図である。
【図３】 本発明の光ファイバ多孔質母材の製造方法に
用いられるガラス合成用バーナの第２の例を示す概略構
成図である。
用いられるガラス合成用バーナの第２の例を示す概略構
成図である。
【図４】 本発明の光ファイバ多孔質母材の製造方法に
用いられるガラス合成用バーナの第３の例を示す概略構
成図である。
用いられるガラス合成用バーナの第３の例を示す概略構
成図である。
【図５】 本発明の光ファイバ多孔質母材の製造方法に
用いられるガラス合成用バーナの第４の例を示す概略構
成図である。
用いられるガラス合成用バーナの第４の例を示す概略構
成図である。
【図６】 本発明の光ファイバ多孔質母材の製造方法に
用いられるガラス合成用バーナの第５の例を示す概略構
成図である。
用いられるガラス合成用バーナの第５の例を示す概略構
成図である。
【図７】 Ｌ２とガラス微粒子の堆積効率の関係を示す
グラフである。
グラフである。
【図８】 Ｌ２／ｖ１とガラス微粒子の堆積効率の関係
を示すグラフである。
を示すグラフである。
【図９】 Ｌ１／Ｌ２とガラス微粒子の堆積効率の関係
を示すグラフである。
を示すグラフである。
１・・・第１のノズル、２・・・第２のノズル、３・・・第３の
ノズル、４・・・第４のノズル、５・・・第５のノズル、１０
・・・ガラス合成用バーナ、１１・・・第１の噴出口、１２・・
・第２の噴出口、１３・・・第３の噴出口、１４・・・第４の
噴出口、１５・・・第５の噴出口、２０・・・光ファイバ多孔
質母材、２０ａ・・・ガラス微粒子堆積面
ノズル、４・・・第４のノズル、５・・・第５のノズル、１０
・・・ガラス合成用バーナ、１１・・・第１の噴出口、１２・・
・第２の噴出口、１３・・・第３の噴出口、１４・・・第４の
噴出口、１５・・・第５の噴出口、２０・・・光ファイバ多孔
質母材、２０ａ・・・ガラス微粒子堆積面
Claims (5)
- 【請求項１】 少なくとも中心にガラス原料ガスを含ん
だガスの噴出口と、該ガラス原料ガスを含んだガスの噴
出口の周囲に、該ガラス原料ガスを含んだガスの噴出口
と同心円上に１列または複数列に配列され、同一列の噴
出口は同一の焦点距離を持つ支燃性ガスの噴出口を内包
する、可燃性ガスの噴出口とを備えたガラス合成用バー
ナを用いて、ガラス原料ガスを火炎中で加水分解反応ま
たは酸化反応させてガラス微粒子を合成し、該ガラス微
粒子を回転する出発部材の外周部の径方向に堆積して光
ファイバ多孔質母材を得る光ファイバ多孔質母材の製造
方法において、 前記支燃性ガス噴出口の焦点距離の最大値をＬ１とし、
前記ガラス合成用バーナ端面から前記光ファイバ多孔質
母材のガラス微粒子堆積面までの距離をＬ２とすると、
これらの関係をＬ１≦Ｌ２とすることを特徴とする光フ
ァイバ多孔質母材の製造方法。 - 【請求項２】 前記支燃性ガス噴出口の焦点距離の最大
値Ｌ１と、前記ガラス合成用バーナ端面から前記光ファ
イバ多孔質母材のガラス微粒子堆積面までの距離Ｌ２と
の関係を、０．４≦Ｌ１／Ｌ２≦０．９とすることを特
徴とする請求項１記載の光ファイバ多孔質母材の製造方
法。 - 【請求項３】 前記ガラス合成用バーナ端面から前記光
ファイバ多孔質母材のガラス微粒子堆積面までの距離Ｌ
２を、５００ｍｍ以下とすることを特徴とする請求項１
または２記載の光ファイバ多孔質母材の製造方法。 - 【請求項４】 前記ガラス合成用バーナ端面から前記光
ファイバ多孔質母材のガラス微粒子堆積面までの距離Ｌ
２（ｍ）と、前記ガラス原料ガスの流速ｖ１（ｍ／秒）
との関係を、０．００５秒≦Ｌ２／ｖ１≦０．０７秒と
することを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記
載の光ファイバ多孔質母材の製造方法。 - 【請求項５】 前記ガラス微粒子の堆積開始から堆積終
了までの間において、前記ガラス合成用バーナ端面から
前記光ファイバ多孔質母材のガラス微粒子堆積面までの
距離の最大値をＬｍａｘとし、最小値をＬｍｉｎとする
と、Ｌｍａｘ−Ｌｍｉｎ≦（Ｌｍａｘ＋Ｌｍｉｎ）／２
×０．０５とすることを特徴とする請求項１ないし４の
いずれかに記載の光ファイバ多孔質母材の製造方法。
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| JP2002025374A JP2003226544A (ja) | 2002-02-01 | 2002-02-01 | 光ファイバ多孔質母材の製造方法 |
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| JP2003226544A true JP2003226544A (ja) | 2003-08-12 |
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|---|---|
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Cited By (20)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006213555A (ja) * | 2005-02-02 | 2006-08-17 | Fujikura Ltd | ガラス母材製造用バーナ |
| JP2009190939A (ja) * | 2008-02-14 | 2009-08-27 | Nikon Corp | 石英ガラスの製造方法 |
| EP2096087A2 (en) | 2008-02-27 | 2009-09-02 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Burner for fabricating optical fiber preform |
| WO2009107392A1 (ja) | 2008-02-27 | 2009-09-03 | 信越化学工業株式会社 | 多孔質ガラス母材製造用バーナー |
| EP2098488A1 (en) | 2008-02-27 | 2009-09-09 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Method of fabricating optical fiber preform |
| EP2128100A1 (en) | 2008-05-13 | 2009-12-02 | Shinetsu Chemical Co., Ltd. | Porous Glass Base Material Manufacturing Method and Gas Flow Rate Control Apparatus |
| EP2226302A2 (en) | 2009-03-03 | 2010-09-08 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Method for manufacturing optical fiber base material |
| JP2010195667A (ja) * | 2009-02-27 | 2010-09-09 | Shin-Etsu Chemical Co Ltd | ガラス微粒子合成用バーナ及びこれを用いた多孔質ガラス母材の製造方法 |
| KR101035437B1 (ko) * | 2008-02-27 | 2011-05-18 | 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤 | 다공질 유리 모재 제조용 버너 |
| KR101035467B1 (ko) * | 2008-02-27 | 2011-05-18 | 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤 | 광섬유용 모재의 퇴적용 버너 |
| EP2380856A2 (en) | 2010-04-23 | 2011-10-26 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Burner for producing porous glass preform |
| EP2380855A2 (en) | 2010-04-23 | 2011-10-26 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Burner for manufacturing porous glass preform |
| US20120058419A1 (en) * | 2010-09-02 | 2012-03-08 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Titania-doped quartz glass and making method |
| JP2012066998A (ja) * | 2010-08-26 | 2012-04-05 | Furukawa Electric Co Ltd:The | ガラス微粒子合成用バーナ及びガラス微粒子堆積体の製造方法 |
| US20120258389A1 (en) * | 2011-04-11 | 2012-10-11 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Titania-doped quartz glass and making method |
| CN103058510A (zh) * | 2011-10-18 | 2013-04-24 | 信越化学工业株式会社 | 多孔质玻璃母材制造用燃烧器及多孔质玻璃母材的制造方法 |
| JP2017036172A (ja) * | 2015-08-07 | 2017-02-16 | 株式会社フジクラ | 光ファイバ母材の製造方法 |
| JP2017193456A (ja) * | 2016-04-19 | 2017-10-26 | 株式会社フジクラ | ガラスインゴットの製造方法 |
| JP2018024544A (ja) * | 2016-08-09 | 2018-02-15 | 信越化学工業株式会社 | 光ファイバ母材の製造方法及び製造装置 |
| KR20190039637A (ko) * | 2017-10-05 | 2019-04-15 | 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤 | 광섬유용 다공질 유리 퇴적체의 제조 방법 |
-
2002
- 2002-02-01 JP JP2002025374A patent/JP2003226544A/ja active Pending
Cited By (48)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006213555A (ja) * | 2005-02-02 | 2006-08-17 | Fujikura Ltd | ガラス母材製造用バーナ |
| JP2009190939A (ja) * | 2008-02-14 | 2009-08-27 | Nikon Corp | 石英ガラスの製造方法 |
| KR101035437B1 (ko) * | 2008-02-27 | 2011-05-18 | 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤 | 다공질 유리 모재 제조용 버너 |
| WO2009107392A1 (ja) | 2008-02-27 | 2009-09-03 | 信越化学工業株式会社 | 多孔質ガラス母材製造用バーナー |
| EP2098488A1 (en) | 2008-02-27 | 2009-09-09 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Method of fabricating optical fiber preform |
| JP2009227567A (ja) * | 2008-02-27 | 2009-10-08 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 光ファイバ用母材の製造方法 |
| US9233870B2 (en) | 2008-02-27 | 2016-01-12 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Method of fabricating optical fiber preform |
| US8079233B2 (en) | 2008-02-27 | 2011-12-20 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Burner for manufacturing porous glass base material |
| KR101035467B1 (ko) * | 2008-02-27 | 2011-05-18 | 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤 | 광섬유용 모재의 퇴적용 버너 |
| CN101519271B (zh) * | 2008-02-27 | 2014-09-24 | 信越化学工业株式会社 | 光纤预制体的制造方法 |
| US8517721B2 (en) | 2008-02-27 | 2013-08-27 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Burner for fabricating optical fiber preform |
| EP2096087A2 (en) | 2008-02-27 | 2009-09-02 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Burner for fabricating optical fiber preform |
| EP2128100A1 (en) | 2008-05-13 | 2009-12-02 | Shinetsu Chemical Co., Ltd. | Porous Glass Base Material Manufacturing Method and Gas Flow Rate Control Apparatus |
| US8919152B2 (en) | 2008-05-13 | 2014-12-30 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Porous glass base material manufacturing method and gas flow rate control apparatus |
| JP2010195667A (ja) * | 2009-02-27 | 2010-09-09 | Shin-Etsu Chemical Co Ltd | ガラス微粒子合成用バーナ及びこれを用いた多孔質ガラス母材の製造方法 |
| US8402788B2 (en) | 2009-03-03 | 2013-03-26 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Method for manufacturing optical fiber base material |
| EP2226302A2 (en) | 2009-03-03 | 2010-09-08 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Method for manufacturing optical fiber base material |
| EP2573054A2 (en) | 2009-03-03 | 2013-03-27 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Method for manufacturing an optical fiber preform by flame hydrolysis |
| EP2380856A3 (en) * | 2010-04-23 | 2012-05-02 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Burner for producing porous glass preform |
| EP2380855A2 (en) | 2010-04-23 | 2011-10-26 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Burner for manufacturing porous glass preform |
| EP2380856A2 (en) | 2010-04-23 | 2011-10-26 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Burner for producing porous glass preform |
| JP2011230936A (ja) * | 2010-04-23 | 2011-11-17 | Shin-Etsu Chemical Co Ltd | 多孔質ガラス母材製造用バーナ |
| EP2380855A3 (en) * | 2010-04-23 | 2012-05-02 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Burner for manufacturing porous glass preform |
| US8459063B2 (en) | 2010-04-23 | 2013-06-11 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Burner for producing porous glass preform |
| CN102234178A (zh) * | 2010-04-23 | 2011-11-09 | 信越化学工业株式会社 | 用于制造多孔玻璃预型体的燃烧器 |
| JP2012066998A (ja) * | 2010-08-26 | 2012-04-05 | Furukawa Electric Co Ltd:The | ガラス微粒子合成用バーナ及びガラス微粒子堆積体の製造方法 |
| TWI547450B (zh) * | 2010-09-02 | 2016-09-01 | 信越化學工業股份有限公司 | 摻雜氧化鈦之石英玻璃及其製造方法 |
| US8820122B2 (en) * | 2010-09-02 | 2014-09-02 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Titania-doped quartz glass and making method |
| CN102583974A (zh) * | 2010-09-02 | 2012-07-18 | 信越化学工业株式会社 | 掺杂二氧化钛的石英玻璃及其制备方法 |
| US20120058419A1 (en) * | 2010-09-02 | 2012-03-08 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Titania-doped quartz glass and making method |
| US10114280B2 (en) | 2011-04-11 | 2018-10-30 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Titania-doped quartz glass and making method |
| US20120258389A1 (en) * | 2011-04-11 | 2012-10-11 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Titania-doped quartz glass and making method |
| US9296636B2 (en) * | 2011-04-11 | 2016-03-29 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Titania doped quartz glass and making method |
| CN103058510A (zh) * | 2011-10-18 | 2013-04-24 | 信越化学工业株式会社 | 多孔质玻璃母材制造用燃烧器及多孔质玻璃母材的制造方法 |
| US9032761B2 (en) | 2011-10-18 | 2015-05-19 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Porous glass matrix producing burner and porous glass matrix producing method |
| JP2013087020A (ja) * | 2011-10-18 | 2013-05-13 | Shin-Etsu Chemical Co Ltd | 多孔質ガラス母材製造用バーナ及び多孔質ガラス母材の製造方法 |
| EP2583952A1 (en) | 2011-10-18 | 2013-04-24 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Method and burner for producing a porous glass preform |
| CN106430943A (zh) * | 2015-08-07 | 2017-02-22 | 株式会社藤仓 | 光纤母材的制造方法 |
| JP2017036172A (ja) * | 2015-08-07 | 2017-02-16 | 株式会社フジクラ | 光ファイバ母材の製造方法 |
| US10167543B2 (en) | 2015-08-07 | 2019-01-01 | Fujikura Ltd. | Method for manufacturing optical fiber preform |
| JP2017193456A (ja) * | 2016-04-19 | 2017-10-26 | 株式会社フジクラ | ガラスインゴットの製造方法 |
| JP2018024544A (ja) * | 2016-08-09 | 2018-02-15 | 信越化学工業株式会社 | 光ファイバ母材の製造方法及び製造装置 |
| KR20190039637A (ko) * | 2017-10-05 | 2019-04-15 | 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤 | 광섬유용 다공질 유리 퇴적체의 제조 방법 |
| CN109626809A (zh) * | 2017-10-05 | 2019-04-16 | 信越化学工业株式会社 | 用于制备光纤的多孔玻璃沉积物的方法 |
| JP2019064897A (ja) * | 2017-10-05 | 2019-04-25 | 信越化学工業株式会社 | 光ファイバ用多孔質ガラス堆積体の製造方法 |
| US10829405B2 (en) | 2017-10-05 | 2020-11-10 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Method for producing porous glass deposit for optical fiber |
| CN109626809B (zh) * | 2017-10-05 | 2022-07-15 | 信越化学工业株式会社 | 用于制备光纤的多孔玻璃沉积物的方法 |
| KR102545709B1 (ko) | 2017-10-05 | 2023-06-19 | 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤 | 광섬유용 다공질 유리 퇴적체의 제조 방법 |
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