JPH0920560A - 導電性セラミックス - Google Patents
導電性セラミックスInfo
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- JPH0920560A JPH0920560A JP7165181A JP16518195A JPH0920560A JP H0920560 A JPH0920560 A JP H0920560A JP 7165181 A JP7165181 A JP 7165181A JP 16518195 A JP16518195 A JP 16518195A JP H0920560 A JPH0920560 A JP H0920560A
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- Japan
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- ceramics
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Abstract
(57)【要約】
【構成】４０〜８０重量％のＭｇＯとＳｉＯ2 の複合酸
化物、及び６０〜２０重量％の酸化鉄から成り、体積固
有抵抗値が１０7 Ω・ｃｍ以下である導電性セラミック
ス。 【効果】ヤング率や曲げ強度等の特性を維持したまま適
度な導電性を有する導電性セラミックスを得ることがで
きる。
化物、及び６０〜２０重量％の酸化鉄から成り、体積固
有抵抗値が１０7 Ω・ｃｍ以下である導電性セラミック
ス。 【効果】ヤング率や曲げ強度等の特性を維持したまま適
度な導電性を有する導電性セラミックスを得ることがで
きる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、静電気除去用部品、セ
ラミックスヒータ、セラミックスセンサ、抵抗用基板な
どに用いられる導電性セラミックスに関するものであ
る。
ラミックスヒータ、セラミックスセンサ、抵抗用基板な
どに用いられる導電性セラミックスに関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】従来より導電材料として用いられるセラ
ミックスとしては、黒鉛、炭化珪素、ランタンクロマイ
ト等があり、セラミックスヒータやセラミックスセンサ
等に使用されている。
ミックスとしては、黒鉛、炭化珪素、ランタンクロマイ
ト等があり、セラミックスヒータやセラミックスセンサ
等に使用されている。
【０００３】また、その他に絶縁性セラミックスに導電
剤を添加した導電材料も開発されている。例えばアルミ
ナやジルコニア等にＴｉＯ2 、ＴｉＣ、ＮｉＯ2 、Ｃｏ
Ｏ等の導電剤を添加して還元雰囲気下で焼成して導電性
セラミックスを得ることが知られている（特開平２−２
９５００９号、特開平１−２４３３８８号公報等参
照）。
剤を添加した導電材料も開発されている。例えばアルミ
ナやジルコニア等にＴｉＯ2 、ＴｉＣ、ＮｉＯ2 、Ｃｏ
Ｏ等の導電剤を添加して還元雰囲気下で焼成して導電性
セラミックスを得ることが知られている（特開平２−２
９５００９号、特開平１−２４３３８８号公報等参
照）。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記黒
鉛、炭化珪素、ランタンクロマイト等の導電材料は機械
強度が低く、しかも製造する際にホットプレスや熱間静
水圧プレス（ＨＩＰ）を行う必要があるため生産性が悪
くコストが高くなるという問題点があった。
鉛、炭化珪素、ランタンクロマイト等の導電材料は機械
強度が低く、しかも製造する際にホットプレスや熱間静
水圧プレス（ＨＩＰ）を行う必要があるため生産性が悪
くコストが高くなるという問題点があった。
【０００５】また、アルミナやジルコニア等にＴｉ
Ｏ2 、ＴｉＣ、ＮｉＯ2 、ＣｏＯ等の導電剤を添加した
ものでも、同様にホットプレスや熱間静水圧プレス（Ｈ
ＩＰ）、あるいは還元雰囲気中での焼成を行わねばなら
ないことから、生産性が悪くコストが高いという問題点
があった。
Ｏ2 、ＴｉＣ、ＮｉＯ2 、ＣｏＯ等の導電剤を添加した
ものでも、同様にホットプレスや熱間静水圧プレス（Ｈ
ＩＰ）、あるいは還元雰囲気中での焼成を行わねばなら
ないことから、生産性が悪くコストが高いという問題点
があった。
【０００６】さらに、特に静電気を除去するための部品
としては体積固有抵抗値が１０3 〜１０7 Ω・ｃｍの材
料が求められている。ところが、上記のジルコニアにＮ
ｉＯ2 やＣｏＯを添加した系では１〜１０-3Ω・ｃｍ、
アルミナにＴｉＯ2 、ＴｉＣを添加した系では１０12Ω
・ｃｍ程度のものしか得られず、体積固有抵抗値が１０
3 〜１０7 Ω・ｃｍの導電性セラミックスを得ることは
困難であった。
としては体積固有抵抗値が１０3 〜１０7 Ω・ｃｍの材
料が求められている。ところが、上記のジルコニアにＮ
ｉＯ2 やＣｏＯを添加した系では１〜１０-3Ω・ｃｍ、
アルミナにＴｉＯ2 、ＴｉＣを添加した系では１０12Ω
・ｃｍ程度のものしか得られず、体積固有抵抗値が１０
3 〜１０7 Ω・ｃｍの導電性セラミックスを得ることは
困難であった。
【０００７】そこで本発明は、製造が容易でコストを低
くし、かつ体積固有抵抗値が１０7Ω・ｃｍ以下である
ような導電性セラミックスを得ることを目的とする。
くし、かつ体積固有抵抗値が１０7Ω・ｃｍ以下である
ような導電性セラミックスを得ることを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】そこで本発明は、４０〜
８０重量％のＭｇＯとＳｉＯ2 の複合酸化物、及び６０
〜２０重量％の酸化鉄から成り、体積固有抵抗値が１０
7 Ω・ｃｍ以下である導電性セラミックスを特徴とする
ものである。
８０重量％のＭｇＯとＳｉＯ2 の複合酸化物、及び６０
〜２０重量％の酸化鉄から成り、体積固有抵抗値が１０
7 Ω・ｃｍ以下である導電性セラミックスを特徴とする
ものである。
【０００９】また本発明は、上記セラミックス中に、２
ＭｇＯ・ＳｉＯ2 及びＭｇＳｉＯ3の結晶を有し、かつ
ＭｇＦｅ2 Ｏ3 、Ｆｅ3 Ｏ4 の少なくとも一種以上の結
晶を有することを特徴とするものである。
ＭｇＯ・ＳｉＯ2 及びＭｇＳｉＯ3の結晶を有し、かつ
ＭｇＦｅ2 Ｏ3 、Ｆｅ3 Ｏ4 の少なくとも一種以上の結
晶を有することを特徴とするものである。
【００１０】ここで、各成分の範囲を限定した理由は、
酸化鉄が２０重量％未満では体積固有抵抗値が１０7 Ω
・ｃｍを超えてしまい、一方６０重量％を超えると機械
的特性が低下してしまうためである。なお、体積固有抵
抗値については、酸化鉄の含有量の関係から１０3 〜１
０7 Ω・ｃｍの範囲が好ましい。
酸化鉄が２０重量％未満では体積固有抵抗値が１０7 Ω
・ｃｍを超えてしまい、一方６０重量％を超えると機械
的特性が低下してしまうためである。なお、体積固有抵
抗値については、酸化鉄の含有量の関係から１０3 〜１
０7 Ω・ｃｍの範囲が好ましい。
【００１１】また、最終焼結体中にて、ＭｇＯとＳｉＯ
2 の複合酸化物成分は２ＭｇＯ・ＳｉＯ2 及びＭｇＳｉ
Ｏ3 の結晶として存在し、酸化鉄成分はＭｇＦｅ
2 Ｏ3 、Ｆｅ3 Ｏ4 の少なくとも１種以上の結晶として
存在することが好ましい。これらの結晶は、ヤング率や
曲げ強度等の特性を維持し、かつ所定の導電性を持たせ
るために必要である。なお、これらの結晶が存在すると
は、Ｘ線回折により分析した時に上記各結晶のピークが
存在することを言う。
2 の複合酸化物成分は２ＭｇＯ・ＳｉＯ2 及びＭｇＳｉ
Ｏ3 の結晶として存在し、酸化鉄成分はＭｇＦｅ
2 Ｏ3 、Ｆｅ3 Ｏ4 の少なくとも１種以上の結晶として
存在することが好ましい。これらの結晶は、ヤング率や
曲げ強度等の特性を維持し、かつ所定の導電性を持たせ
るために必要である。なお、これらの結晶が存在すると
は、Ｘ線回折により分析した時に上記各結晶のピークが
存在することを言う。
【００１２】さらに、本発明の導電性セラミックスは、
上記成分以外にＴｉＯ2 、ＣａＯ、Ｍｎ、Ｓ、Ｓｉ等の
不純物を焼結体全体の１５重量％以下の範囲で含有して
いても良い。
上記成分以外にＴｉＯ2 、ＣａＯ、Ｍｎ、Ｓ、Ｓｉ等の
不純物を焼結体全体の１５重量％以下の範囲で含有して
いても良い。
【００１３】また、本発明の導電性セラミックスは、上
述したように１０7 Ω・ｃｍ以下、好ましくは１０3 〜
１０7 Ω・ｃｍの体積固有抵抗値を有するとともに、熱
膨張係数が１０〜１１×１０-6／℃、ヤング率が１００
〜１４０ＧＰａ、曲げ強度が１０〜１５ｋｇ／ｍｍ2 の
範囲内としてある。
述したように１０7 Ω・ｃｍ以下、好ましくは１０3 〜
１０7 Ω・ｃｍの体積固有抵抗値を有するとともに、熱
膨張係数が１０〜１１×１０-6／℃、ヤング率が１００
〜１４０ＧＰａ、曲げ強度が１０〜１５ｋｇ／ｍｍ2 の
範囲内としてある。
【００１４】このような本発明の導電性セラミックス
は、４０〜８０重量％のＭｇＯとＳｉＯ2 の複合酸化
物、及び６０〜２０重量％の酸化鉄を添加混合し、所定
形状に成形した後、１２００〜１３００℃の温度で焼成
して製造する。
は、４０〜８０重量％のＭｇＯとＳｉＯ2 の複合酸化
物、及び６０〜２０重量％の酸化鉄を添加混合し、所定
形状に成形した後、１２００〜１３００℃の温度で焼成
して製造する。
【００１５】ここで、主成分を成すＭｇＯとＳｉＯ2 の
複合酸化物としては、２ＭｇＯ・ＳｉＯ2 で表されるフ
ォルステライトや、ＭｇＳｉＯ3 等を用い、不純物とし
てＴｉＯ2 、ＣａＯ、Ｆｅ2 Ｏ3 等を全体の１５重量％
以下の範囲で含んでいても良く、湿式混合粉砕により微
細かつ均一分散された原料を用いる。
複合酸化物としては、２ＭｇＯ・ＳｉＯ2 で表されるフ
ォルステライトや、ＭｇＳｉＯ3 等を用い、不純物とし
てＴｉＯ2 、ＣａＯ、Ｆｅ2 Ｏ3 等を全体の１５重量％
以下の範囲で含んでいても良く、湿式混合粉砕により微
細かつ均一分散された原料を用いる。
【００１６】また酸化鉄は、ＦｅＯ、Ｆｅ2 Ｏ3 、Ｆｅ
3 Ｏ4 で表されるいずれかの原料を用い、Ｍｎ，Ｓ，Ｓ
ｉ等の不純物を全体の１０重量％以下の範囲で含んでい
ても良い。
3 Ｏ4 で表されるいずれかの原料を用い、Ｍｎ，Ｓ，Ｓ
ｉ等の不純物を全体の１０重量％以下の範囲で含んでい
ても良い。
【００１７】これらの原料を添加混合した後、所定形状
に成形し、得られた成形体を例えば大気中にて最高温度
１２００〜１３００℃で１〜２時間の焼成を行えば、本
発明の導電性セラミックスを得ることができる。このよ
うに、本発明の導電性セラミックスは、一般的な大気中
の焼成で良いため製造工程が簡略であり、コストを低く
することができる。なお、焼成雰囲気は大気中に限ら
ず、非酸化性雰囲気や還元性雰囲気等としても良い。
に成形し、得られた成形体を例えば大気中にて最高温度
１２００〜１３００℃で１〜２時間の焼成を行えば、本
発明の導電性セラミックスを得ることができる。このよ
うに、本発明の導電性セラミックスは、一般的な大気中
の焼成で良いため製造工程が簡略であり、コストを低く
することができる。なお、焼成雰囲気は大気中に限ら
ず、非酸化性雰囲気や還元性雰囲気等としても良い。
【００１８】このような本発明の導電性セラミックス
は、その特性を利用して各種用途に用いることができ
る。例えば、導電性セラミックス自体に通電することに
よってセラミックスヒータやセラミックスセンサ等とし
て用いることができる。また、静電気を除去できる体積
固有抵抗値を有していることから、静電気除去用部品と
して使用することができる。静電気除去用部品とは、例
えば磁気記録装置におけるテープガイド等の案内部材、
磁気ディスクを所定間隔で支持するスペーサ、あるいは
ＶＴＲ用ガイドローラ等として使用できる。
は、その特性を利用して各種用途に用いることができ
る。例えば、導電性セラミックス自体に通電することに
よってセラミックスヒータやセラミックスセンサ等とし
て用いることができる。また、静電気を除去できる体積
固有抵抗値を有していることから、静電気除去用部品と
して使用することができる。静電気除去用部品とは、例
えば磁気記録装置におけるテープガイド等の案内部材、
磁気ディスクを所定間隔で支持するスペーサ、あるいは
ＶＴＲ用ガイドローラ等として使用できる。
【００１９】
【実施例】以下本発明の実施例を説明する。
【００２０】出発原料としてフォルステライト（２Ｍｇ
Ｏ・ＳｉＯ2 ）、及び酸化鉄としてＦｅＯ、Ｆｅ
2 Ｏ3 、Ｆｅ3 Ｏ4 をそれぞれ用意し、表１〜３に示す
ように組成比を変化させた。それぞれの原料を水または
有機溶剤を媒体とした容器の中に投入し、結合剤として
パラフィンワックス等を投入し、約１時間の混合を行っ
た。混合した後のスラリーを乾燥しメッシュパスを行っ
た。
Ｏ・ＳｉＯ2 ）、及び酸化鉄としてＦｅＯ、Ｆｅ
2 Ｏ3 、Ｆｅ3 Ｏ4 をそれぞれ用意し、表１〜３に示す
ように組成比を変化させた。それぞれの原料を水または
有機溶剤を媒体とした容器の中に投入し、結合剤として
パラフィンワックス等を投入し、約１時間の混合を行っ
た。混合した後のスラリーを乾燥しメッシュパスを行っ
た。
【００２１】このようにして得られた原料粉末を乾式プ
レス機にて１．０ｔｏｎ／ｃｍ2 の成形圧で所定の形状
に成形した後、大気中で１２００〜１３００℃で１〜２
時間焼成を行った。
レス機にて１．０ｔｏｎ／ｃｍ2 の成形圧で所定の形状
に成形した後、大気中で１２００〜１３００℃で１〜２
時間焼成を行った。
【００２２】得られた焼結体を直径６０ｍｍ×厚さ２ｍ
ｍの寸法に研摩加工して体積固有抵抗値の測定を行い、
同時にヤング率、曲げ強度、熱膨張係数を測定した。結
果は表４〜６に示す通りである。
ｍの寸法に研摩加工して体積固有抵抗値の測定を行い、
同時にヤング率、曲げ強度、熱膨張係数を測定した。結
果は表４〜６に示す通りである。
【００２３】
【表１】
【００２４】
【表２】
【００２５】
【表３】
【００２６】
【表４】
【００２７】
【表５】
【００２８】
【表６】
【００２９】表４より、Ｎｏ．１，２はＦｅＯの添加量
が２０重量％未満と少ないことから体積固有抵抗値が１
０7 Ω・ｃｍを超えており導電性が悪かった。これに対
し、ＦｅＯの添加量を２０重量％以上としたＮｏ．３以
降のものは体積固有抵抗値を１０3 〜１０7 Ω・ｃｍの
範囲内とすることができた。なお、ＦｅＯを多くするほ
ど焼結性が悪くなり、Ｎｏ．８以降では完全に焼結せず
に多孔質セラミックスとなったため、ボイドの存在によ
って体積固有抵抗値が高くなっているが、本発明の導電
性セラミックスは多孔質であっても良い。
が２０重量％未満と少ないことから体積固有抵抗値が１
０7 Ω・ｃｍを超えており導電性が悪かった。これに対
し、ＦｅＯの添加量を２０重量％以上としたＮｏ．３以
降のものは体積固有抵抗値を１０3 〜１０7 Ω・ｃｍの
範囲内とすることができた。なお、ＦｅＯを多くするほ
ど焼結性が悪くなり、Ｎｏ．８以降では完全に焼結せず
に多孔質セラミックスとなったため、ボイドの存在によ
って体積固有抵抗値が高くなっているが、本発明の導電
性セラミックスは多孔質であっても良い。
【００３０】ただし、ＦｅＯの添加量が多いとヤング率
が低下し、Ｎｏ．９ではヤング率が８０ＧＰａと低かっ
た。構造材料として用いる場合、ヤング率は１００ＧＰ
ａ以上必要であることから、Ｎｏ．３〜８に示すように
ＦｅＯの添加量を２０〜６０重量％とすれば良いことが
わかる。
が低下し、Ｎｏ．９ではヤング率が８０ＧＰａと低かっ
た。構造材料として用いる場合、ヤング率は１００ＧＰ
ａ以上必要であることから、Ｎｏ．３〜８に示すように
ＦｅＯの添加量を２０〜６０重量％とすれば良いことが
わかる。
【００３１】また、表５、６の結果についても、Ｎｏ．
１１、２１はＦｅ2 Ｏ3 、Ｆｅ3 Ｏ4 の添加量が２０重
量％未満であるため、体積固有抵抗値が１０7 Ω・ｃｍ
よりも高かった。これに対し、Ｆｅ2 Ｏ3 、Ｆｅ3 Ｏ4
の添加量を２０重量％以上としたＮｏ．１２〜１８及び
Ｎｏ．２２〜２８は体積固有抵抗値を１０3 〜１０6Ω
・ｃｍの範囲内とすることができた。なお、表５のＮ
ｏ．１６以降では完全に焼結せずに多孔質セラミックス
となったため、ボイドの存在によって体積固有抵抗値が
高くなっているが、本発明の導電性セラミックスは多孔
質であっても良い。
１１、２１はＦｅ2 Ｏ3 、Ｆｅ3 Ｏ4 の添加量が２０重
量％未満であるため、体積固有抵抗値が１０7 Ω・ｃｍ
よりも高かった。これに対し、Ｆｅ2 Ｏ3 、Ｆｅ3 Ｏ4
の添加量を２０重量％以上としたＮｏ．１２〜１８及び
Ｎｏ．２２〜２８は体積固有抵抗値を１０3 〜１０6Ω
・ｃｍの範囲内とすることができた。なお、表５のＮ
ｏ．１６以降では完全に焼結せずに多孔質セラミックス
となったため、ボイドの存在によって体積固有抵抗値が
高くなっているが、本発明の導電性セラミックスは多孔
質であっても良い。
【００３２】ただし、ＦｅＯの添加量が多いとヤング率
が低下し、Ｎｏ．１８，２８ではヤング率が４０〜９０
ＧＰａと低かった。構造材料として用いる場合、ヤング
率は１００ＧＰａ以上必要であることから、Ｎｏ．１２
〜１７及びＮｏ．２２〜２７に示すようにＦｅＯの添加
量を２０〜６０重量％とすれば良いことがわかる。
が低下し、Ｎｏ．１８，２８ではヤング率が４０〜９０
ＧＰａと低かった。構造材料として用いる場合、ヤング
率は１００ＧＰａ以上必要であることから、Ｎｏ．１２
〜１７及びＮｏ．２２〜２７に示すようにＦｅＯの添加
量を２０〜６０重量％とすれば良いことがわかる。
【００３３】次に、上記表中のＮｏ．１３の例につい
て、得られた導電性セラミックスに対してＸ線回折によ
り結晶の分析を行った時のチャート図を図１に示す。こ
のように、２ＭｇＯ・ＳｉＯ2 、ＭｇＳｉＯ3 、ＭｇＦ
ｅ2 Ｏ3 、及びＦｅ3 Ｏ4 の各結晶のピークが検出さ
れ、これらの結晶が全て存在することが確認された。
て、得られた導電性セラミックスに対してＸ線回折によ
り結晶の分析を行った時のチャート図を図１に示す。こ
のように、２ＭｇＯ・ＳｉＯ2 、ＭｇＳｉＯ3 、ＭｇＦ
ｅ2 Ｏ3 、及びＦｅ3 Ｏ4 の各結晶のピークが検出さ
れ、これらの結晶が全て存在することが確認された。
【００３４】なお、以上の実験例では主成分としてフォ
ルステライトを用いたが、他のＭｇＯとＳｉＯ2 の複合
酸化物を用いても同様であった。
ルステライトを用いたが、他のＭｇＯとＳｉＯ2 の複合
酸化物を用いても同様であった。
【００３５】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、４０〜８
０重量％のＭｇＯとＳｉＯ2 の複合酸化物、及び６０〜
２０重量％の酸化鉄から成り、体積固有抵抗値が１０7
Ω・ｃｍ以下である導電性セラミックスとしたことによ
って、ヤング率や曲げ強度等の特性を維持したまま適度
な導電性を有する導電性セラミックスを容易に製造する
ことができる。
０重量％のＭｇＯとＳｉＯ2 の複合酸化物、及び６０〜
２０重量％の酸化鉄から成り、体積固有抵抗値が１０7
Ω・ｃｍ以下である導電性セラミックスとしたことによ
って、ヤング率や曲げ強度等の特性を維持したまま適度
な導電性を有する導電性セラミックスを容易に製造する
ことができる。
【図１】本発明の導電性セラミックスのＸ線回折による
チャート図を示す図である。
チャート図を示す図である。
Claims (3)
- 【請求項１】４０〜８０重量％のＭｇＯとＳｉＯ2 の複
合酸化物、及び６０〜２０重量％の酸化鉄から成り、体
積固有抵抗値が１０7 Ω・ｃｍ以下であることを特徴と
する導電性セラミックス。 - 【請求項２】上記セラミックスは、２ＭｇＯ・Ｓｉ
Ｏ2 、ＭｇＳｉＯ3 の結晶を有し、かつＭｇＦｅ
2 Ｏ3 、Ｆｅ3 Ｏ4 の少なくとも一種以上の結晶を有す
ることを特徴とする請求項１記載の導電性セラミック
ス。 - 【請求項３】上記セラミックスは、熱膨張係数が１０〜
１１×１０-6／℃、ヤング率が１００〜１４０ＧＰａ、
曲げ強度が１０〜１５ｋｇ／ｍｍ2 であることを特徴と
する請求項１記載の導電性セラミックス。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16518195A JP3329990B2 (ja) | 1995-06-30 | 1995-06-30 | 導電性セラミックス |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16518195A JP3329990B2 (ja) | 1995-06-30 | 1995-06-30 | 導電性セラミックス |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0920560A true JPH0920560A (ja) | 1997-01-21 |
| JP3329990B2 JP3329990B2 (ja) | 2002-09-30 |
Family
ID=15807392
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16518195A Expired - Fee Related JP3329990B2 (ja) | 1995-06-30 | 1995-06-30 | 導電性セラミックス |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3329990B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001240464A (ja) * | 2000-02-29 | 2001-09-04 | Kyocera Corp | 低抵抗セラミックス及びこれを用いた磁気ディスク基板用保持部材並びに磁気ディスク装置 |
| JP2016023119A (ja) * | 2014-07-24 | 2016-02-08 | 太平洋セメント株式会社 | コンクリート用埋設部材 |
-
1995
- 1995-06-30 JP JP16518195A patent/JP3329990B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001240464A (ja) * | 2000-02-29 | 2001-09-04 | Kyocera Corp | 低抵抗セラミックス及びこれを用いた磁気ディスク基板用保持部材並びに磁気ディスク装置 |
| JP4721486B2 (ja) * | 2000-02-29 | 2011-07-13 | 京セラ株式会社 | 低抵抗セラミックス及びこれを用いた磁気ディスク基板用保持部材並びに磁気ディスク装置 |
| JP2016023119A (ja) * | 2014-07-24 | 2016-02-08 | 太平洋セメント株式会社 | コンクリート用埋設部材 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3329990B2 (ja) | 2002-09-30 |
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