JPH09201819A - 油性スラリー廃液の再利用システム - Google Patents
油性スラリー廃液の再利用システムInfo
- Publication number
- JPH09201819A JPH09201819A JP8011587A JP1158796A JPH09201819A JP H09201819 A JPH09201819 A JP H09201819A JP 8011587 A JP8011587 A JP 8011587A JP 1158796 A JP1158796 A JP 1158796A JP H09201819 A JPH09201819 A JP H09201819A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- oil
- waste liquid
- liquid
- water
- slurry waste
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
- B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
- B28D1/00—Working stone or stone-like materials, e.g. brick, concrete or glass, not provided for elsewhere; Machines, devices, tools therefor
- B28D1/02—Working stone or stone-like materials, e.g. brick, concrete or glass, not provided for elsewhere; Machines, devices, tools therefor by sawing
- B28D1/025—Use, recovery or regeneration of abrasive mediums
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mining & Mineral Resources (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Grinding-Machine Dressing And Accessory Apparatuses (AREA)
- Treatment Of Sludge (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 油性スラリー廃液から有効砥粒、オイル及び
水を回収し再利用することにより、廃棄される油性スラ
リー廃液の総量の低減化を実現し、油性スラリー廃液を
燃焼させる際の二酸化炭素の発生を減少させることがで
き、環境問題の解決策の一つとしても有効な油性スラリ
ー廃液の再利用システムを提供する。 【解決手段】 （ａ）オイルと砥粒を含有する油性スラ
リー廃液の粘度を水を加えることによって低下させる工
程と、（ｂ）上記低粘度化した油性スラリー廃液を有効
砥粒と浮遊固体及び液体分（オイル＋水）からなる排液
とに分級する工程と、（ｃ）上記浮遊固体分及び液体分
からなる排液を浮遊固体分とオイルと水の固液３相に分
離し、該浮遊固体分を不要スラッジとして廃棄する工程
とからなり、分級した有効砥粒と分離したオイルと水と
を再利用する。
水を回収し再利用することにより、廃棄される油性スラ
リー廃液の総量の低減化を実現し、油性スラリー廃液を
燃焼させる際の二酸化炭素の発生を減少させることがで
き、環境問題の解決策の一つとしても有効な油性スラリ
ー廃液の再利用システムを提供する。 【解決手段】 （ａ）オイルと砥粒を含有する油性スラ
リー廃液の粘度を水を加えることによって低下させる工
程と、（ｂ）上記低粘度化した油性スラリー廃液を有効
砥粒と浮遊固体及び液体分（オイル＋水）からなる排液
とに分級する工程と、（ｃ）上記浮遊固体分及び液体分
からなる排液を浮遊固体分とオイルと水の固液３相に分
離し、該浮遊固体分を不要スラッジとして廃棄する工程
とからなり、分級した有効砥粒と分離したオイルと水と
を再利用する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、脆性材料、例え
ば、半導体インゴット、即ち化合物半導体結晶やシリコ
ン半導体結晶等をワイヤーソー装置を用いて切断する際
に用いられた油性スラリー廃液の再利用を可能としたシ
ステムに関する。
ば、半導体インゴット、即ち化合物半導体結晶やシリコ
ン半導体結晶等をワイヤーソー装置を用いて切断する際
に用いられた油性スラリー廃液の再利用を可能としたシ
ステムに関する。
【０００２】
【関連技術】脆性材料、例えば、化合物半導体結晶やシ
リコン半導体結晶等を切断する手段としてワイヤーソー
装置が知られている。このワイヤーソー装置において
は、図３に示すごとく、互いに同一構成のメインローラ
と呼ばれる３本（又は４本）の樹脂ローラ１０Ａ，１０
Ｂ，１０Ｃがそれらの軸を互いに平行して配置され、該
ローラ１０Ａ〜１０Ｃ表面に一定ピッチで形成されたリ
ング状溝１４ａ，１４ｂ，１４ｃにワイヤー１２が巻回
されている。駆動モータ１６に接続された駆動ローラ１
０Ｃからの回転をワイヤー１２を介して、従動ローラ１
０Ａ，１０Ｂに伝える構造となっている。
リコン半導体結晶等を切断する手段としてワイヤーソー
装置が知られている。このワイヤーソー装置において
は、図３に示すごとく、互いに同一構成のメインローラ
と呼ばれる３本（又は４本）の樹脂ローラ１０Ａ，１０
Ｂ，１０Ｃがそれらの軸を互いに平行して配置され、該
ローラ１０Ａ〜１０Ｃ表面に一定ピッチで形成されたリ
ング状溝１４ａ，１４ｂ，１４ｃにワイヤー１２が巻回
されている。駆動モータ１６に接続された駆動ローラ１
０Ｃからの回転をワイヤー１２を介して、従動ローラ１
０Ａ，１０Ｂに伝える構造となっている。
【０００３】ワイヤー１２の始端側は、張力調節機構２
０を介してワイヤー巻取りドラム２２に巻回されてい
る。同様に、ワイヤー１２の終端側は、張力調節機構３
０を介してワイヤー巻取りドラム３２に巻回されてい
る。２４及び３４はトルクモータである。
０を介してワイヤー巻取りドラム２２に巻回されてい
る。同様に、ワイヤー１２の終端側は、張力調節機構３
０を介してワイヤー巻取りドラム３２に巻回されてい
る。２４及び３４はトルクモータである。
【０００４】ワーク４０は、例えば半導体インゴットで
あり、そのオリエンテーションフラット面が昇降可能な
ワークホルダー４２に接着されている。
あり、そのオリエンテーションフラット面が昇降可能な
ワークホルダー４２に接着されている。
【０００５】このような構成により、駆動ローラ１０Ｃ
が回転すると、ワイヤー１２がその線方向に走行し、そ
れとともに砥粒を含む加工液がワイヤー１２に流し当て
られる。この状態でワーク４０を下降させワイヤー１２
に接触させると、ラッピング作用によりワーク４０が切
断され、多数枚のウェーハが同時に切断形成される。
が回転すると、ワイヤー１２がその線方向に走行し、そ
れとともに砥粒を含む加工液がワイヤー１２に流し当て
られる。この状態でワーク４０を下降させワイヤー１２
に接触させると、ラッピング作用によりワーク４０が切
断され、多数枚のウェーハが同時に切断形成される。
【０００６】上記加工液としては、鉱油をベースとした
オイル（油性クーラント）とＳｉＣ等の砥粒を混合した
油性スラリーが用いられている。そして、この油性スラ
リーは使用後は油性スラリー廃液となり、産業廃棄物と
して燃焼処理するのが一般的であった。この油性スラリ
ー廃液を処理する上での問題は、油性スラリー廃液の粘
度が高く、通常の濾過操作によって、オイルと砥粒に簡
単に分離する方法が無いということである。そのため、
この油性スラリー廃液を処理する方法としては、産業廃
棄物として、燃焼させることが主流であった。しかし、
油性スラリー廃液を燃焼する際に発生する二酸化炭素
（ＣＯ2 ）は地球温暖化等の環境問題の一因に挙げられ
るものであり、このような燃焼処理は好ましいことでは
なかった。
オイル（油性クーラント）とＳｉＣ等の砥粒を混合した
油性スラリーが用いられている。そして、この油性スラ
リーは使用後は油性スラリー廃液となり、産業廃棄物と
して燃焼処理するのが一般的であった。この油性スラリ
ー廃液を処理する上での問題は、油性スラリー廃液の粘
度が高く、通常の濾過操作によって、オイルと砥粒に簡
単に分離する方法が無いということである。そのため、
この油性スラリー廃液を処理する方法としては、産業廃
棄物として、燃焼させることが主流であった。しかし、
油性スラリー廃液を燃焼する際に発生する二酸化炭素
（ＣＯ2 ）は地球温暖化等の環境問題の一因に挙げられ
るものであり、このような燃焼処理は好ましいことでは
なかった。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記した従
来技術の問題点を解決するためになされたもので、油性
スラリー廃液から有効砥粒、オイル及び水を回収し再利
用することにより、廃棄される油性スラリー廃液の総量
の低減化を実現し、油性スラリー廃液を燃焼させる際の
二酸化炭素の発生を減少させることができ、環境問題の
解決策の一つとしても有効な油性スラリー廃液の再利用
システムを提供することを目的とする。
来技術の問題点を解決するためになされたもので、油性
スラリー廃液から有効砥粒、オイル及び水を回収し再利
用することにより、廃棄される油性スラリー廃液の総量
の低減化を実現し、油性スラリー廃液を燃焼させる際の
二酸化炭素の発生を減少させることができ、環境問題の
解決策の一つとしても有効な油性スラリー廃液の再利用
システムを提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明の油性スラリー廃液の再利用システムは、
（ａ）オイルと砥粒を含有する油性スラリー廃液の粘度
を水を加えることによって低下させる工程と、（ｂ）上
記低粘度化した油性スラリー廃液を有効砥粒と浮遊固体
分及び液体分（オイル＋水）からなる排液とに分級する
工程と、（ｃ）上記浮遊固体分及び液体分からなる排液
を浮遊固体分とオイルと水の固液３相に分離し、該浮遊
固体分を不要スラッジとして廃棄する工程とからなり、
分級した有効砥粒と分離したオイルと水とを再利用する
ことを特徴とする。
に、本発明の油性スラリー廃液の再利用システムは、
（ａ）オイルと砥粒を含有する油性スラリー廃液の粘度
を水を加えることによって低下させる工程と、（ｂ）上
記低粘度化した油性スラリー廃液を有効砥粒と浮遊固体
分及び液体分（オイル＋水）からなる排液とに分級する
工程と、（ｃ）上記浮遊固体分及び液体分からなる排液
を浮遊固体分とオイルと水の固液３相に分離し、該浮遊
固体分を不要スラッジとして廃棄する工程とからなり、
分級した有効砥粒と分離したオイルと水とを再利用する
ことを特徴とする。
【０００９】上記低粘度化した油性スラリー廃液の粘度
を水を加えることによって３０mPa・s 以下に低下させ
ることにより、遠心分離機等による固液分離が容易とな
る。油性スラリー廃液の粘度は、低い方が固液分離処理
が容易となるが、低粘度化に伴い添加する水の量が増
え、固液分離処理すべき廃液量が増大してしまうため、
処理効率がそれだけ低下する不利がある。この低粘度化
した油性スラリー廃液の粘度の下限値は２０mPa ・sと
するのが経済的観点からも好適である。
を水を加えることによって３０mPa・s 以下に低下させ
ることにより、遠心分離機等による固液分離が容易とな
る。油性スラリー廃液の粘度は、低い方が固液分離処理
が容易となるが、低粘度化に伴い添加する水の量が増
え、固液分離処理すべき廃液量が増大してしまうため、
処理効率がそれだけ低下する不利がある。この低粘度化
した油性スラリー廃液の粘度の下限値は２０mPa ・sと
するのが経済的観点からも好適である。
【００１０】上記（ｂ）工程を液体サイクロンによって
行なうことによって、分級された砥粒には再利用可能な
有効砥粒を有する有効砥粒径のみが含まれ、再利用でき
ない有効砥粒径未満の微細砥粒は含まれなくなる利点が
ある。
行なうことによって、分級された砥粒には再利用可能な
有効砥粒を有する有効砥粒径のみが含まれ、再利用でき
ない有効砥粒径未満の微細砥粒は含まれなくなる利点が
ある。
【００１１】上記（ｃ）工程における排液を浮遊固体分
とオイルと水の固液３相に分離する操作をスクリュウデ
カンタ形遠心分離機によって行なうことが好適である。
このスクリュウデカンタ形遠心分離機を用いることによ
って、上記排液を不要スラッジとオイルと水の３相にワ
ンステップで分離することができる。
とオイルと水の固液３相に分離する操作をスクリュウデ
カンタ形遠心分離機によって行なうことが好適である。
このスクリュウデカンタ形遠心分離機を用いることによ
って、上記排液を不要スラッジとオイルと水の３相にワ
ンステップで分離することができる。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下に本発明の一つの実施の形態
を添付図面にもとづいて説明する。図１は本発明の油性
スラリー廃液の再利用システムの１例を示す概略説明図
及び図２は本発明システムの工程順を示すフローチャー
トである。
を添付図面にもとづいて説明する。図１は本発明の油性
スラリー廃液の再利用システムの１例を示す概略説明図
及び図２は本発明システムの工程順を示すフローチャー
トである。
【００１３】図１において、２は油性スラリー廃液で、
該油性スラリー廃液２は廃スラリータンクに貯蔵されて
いる。油性スラリーに用いられる鉱油をベースとしたオ
イルには、砥粒を分散させる分散剤等が添加されてい
る。油性スラリー廃液には、さらに、切断による被切断
物の切り粉が混入しており、200 〜300mPa・s と非常に
高粘度となっている。そのため、一般に用いられる遠心
分離機やフィルターシステム等によって、油性スラリー
廃液をそのまま固液に分離することは不可能であった。
該油性スラリー廃液２は廃スラリータンクに貯蔵されて
いる。油性スラリーに用いられる鉱油をベースとしたオ
イルには、砥粒を分散させる分散剤等が添加されてい
る。油性スラリー廃液には、さらに、切断による被切断
物の切り粉が混入しており、200 〜300mPa・s と非常に
高粘度となっている。そのため、一般に用いられる遠心
分離機やフィルターシステム等によって、油性スラリー
廃液をそのまま固液に分離することは不可能であった。
【００１４】この油性スラリー廃液２の粘度を下げるた
めに、灯油等を用いて行なうことは、従来より知られて
いた。しかし、この灯油の添加によって油性スラリー廃
液のオイル量は最終的には増大してしまい、またその灯
油を添加した油性スラリー廃液も燃焼処理されることに
変わりはなかった。
めに、灯油等を用いて行なうことは、従来より知られて
いた。しかし、この灯油の添加によって油性スラリー廃
液のオイル量は最終的には増大してしまい、またその灯
油を添加した油性スラリー廃液も燃焼処理されることに
変わりはなかった。
【００１５】そこで、本発明では、油性スラリー廃液２
の容量の１／２〜２倍程度の容量の水Ｗを加えて希釈す
ることにより、油性スラリー廃液の粘度を20〜30mPa ・
s に落とすこととした。即ち、油性スラリー廃液２の粘
度を低下させる工程（ａ）がまず実施される。この低粘
度化された油性スラリー廃液２に対しては固液分離が可
能である。
の容量の１／２〜２倍程度の容量の水Ｗを加えて希釈す
ることにより、油性スラリー廃液の粘度を20〜30mPa ・
s に落とすこととした。即ち、油性スラリー廃液２の粘
度を低下させる工程（ａ）がまず実施される。この低粘
度化された油性スラリー廃液２に対しては固液分離が可
能である。
【００１６】粘度20〜30mPa ・s と低粘度化された油性
スラリー廃液２は、次に、分級機４によって有効砥粒Ｐ
とＳＳ分(SUSPENDED SOLID、浮遊固体分) 及び液体分
（オイルＯ＋水Ｗ）からなる排液に分級される。即ち、
有効砥粒Ｐと浮遊固体分及び液体分（オイルＯ＋水Ｗ）
からなる排液とに分級する工程（ｂ）が実施される。
スラリー廃液２は、次に、分級機４によって有効砥粒Ｐ
とＳＳ分(SUSPENDED SOLID、浮遊固体分) 及び液体分
（オイルＯ＋水Ｗ）からなる排液に分級される。即ち、
有効砥粒Ｐと浮遊固体分及び液体分（オイルＯ＋水Ｗ）
からなる排液とに分級する工程（ｂ）が実施される。
【００１７】この分級処理においては、液体サイクロン
が好適に用いられる。液体サイクロンは上部排出口から
所定粒径より小さい砥粒、例えば、６μｍ以下の砥粒を
懸濁状態で含んだ砥粒液が排出され、下部排出口からは
所定粒径より大きい粒子、例えば６μｍ以上の砥粒を懸
濁状態で含んだ砥粒液が排出される（例えば、特公平７
−４１５３５号公報）。この液体サイクロン式分級装置
としては、ＳＲＳシステム〔日立造船メタルワークス
（株）製〕が好適である。一般に用いられている遠心分
離機による分離（分級）であると、有効砥粒径未満の微
細砥粒等が含まれて分離（分級）されるので、分級され
た回収砥粒が再利用に適さない。
が好適に用いられる。液体サイクロンは上部排出口から
所定粒径より小さい砥粒、例えば、６μｍ以下の砥粒を
懸濁状態で含んだ砥粒液が排出され、下部排出口からは
所定粒径より大きい粒子、例えば６μｍ以上の砥粒を懸
濁状態で含んだ砥粒液が排出される（例えば、特公平７
−４１５３５号公報）。この液体サイクロン式分級装置
としては、ＳＲＳシステム〔日立造船メタルワークス
（株）製〕が好適である。一般に用いられている遠心分
離機による分離（分級）であると、有効砥粒径未満の微
細砥粒等が含まれて分離（分級）されるので、分級され
た回収砥粒が再利用に適さない。
【００１８】しかし、上記液体サイクロンを用いる分級
操作によれば、分級された回収砥粒には再利用可能な有
効砥粒径を有する有効砥粒Ｐのみが含まれ、再利用でき
ない有効砥粒径未満の微細砥粒は含まれないという利点
がある。なお、有効砥粒Ｐは、粒径が６μｍ以上の再利
用可能な砥粒をいい、粒径が６μｍに満たない微細砥粒
は再利用できないものである。
操作によれば、分級された回収砥粒には再利用可能な有
効砥粒径を有する有効砥粒Ｐのみが含まれ、再利用でき
ない有効砥粒径未満の微細砥粒は含まれないという利点
がある。なお、有効砥粒Ｐは、粒径が６μｍ以上の再利
用可能な砥粒をいい、粒径が６μｍに満たない微細砥粒
は再利用できないものである。
【００１９】上記分級機４にとっては排液となるＳＳ分
（浮遊固体分）と液体分は、次に遠心分離機６により、
ＳＳ分とオイルＯと水Ｗの固液３相に分離され、ＳＳ分
は不要スラッジ（廃棄物）Ｌとして処理される。ここで
用いられる遠心分離機６としては、スクリュウデカンタ
形遠心分離機ＴＰシリーズ（石川島播磨重工業（株）
製）を用いるのが好適である。即ち、浮遊固体分及び液
体分からなる排液を浮遊固体分とオイルＯと水Ｗの固液
３相にワンステップで分離し、該浮遊固体分を不要スラ
ッジＬとして廃棄する工程（ｃ）が実施される。
（浮遊固体分）と液体分は、次に遠心分離機６により、
ＳＳ分とオイルＯと水Ｗの固液３相に分離され、ＳＳ分
は不要スラッジ（廃棄物）Ｌとして処理される。ここで
用いられる遠心分離機６としては、スクリュウデカンタ
形遠心分離機ＴＰシリーズ（石川島播磨重工業（株）
製）を用いるのが好適である。即ち、浮遊固体分及び液
体分からなる排液を浮遊固体分とオイルＯと水Ｗの固液
３相にワンステップで分離し、該浮遊固体分を不要スラ
ッジＬとして廃棄する工程（ｃ）が実施される。
【００２０】以上の操作により、油性スラリー廃液２は
有効砥粒Ｐと不要スラッジＬとオイルＯと水Ｗに分離さ
れる。有効砥粒Ｐは、乾燥工程Ｄにおいて低温（６０℃
程度）で乾燥し再利用される。回収オイルＯは、ワイヤ
ーソー用のオイル原料として再利用される。回収水Ｗ
は、油性スラリー廃液２の希釈用として循環使用され
る。このように油性スラリー廃液２を燃焼処理すること
なく再処理することにより、従来の油性スラリー廃液か
ら排出される不要スラッジ量に比較し、本発明での不要
スラッジの排出量は、１／５（重量比）に軽減された。
有効砥粒Ｐと不要スラッジＬとオイルＯと水Ｗに分離さ
れる。有効砥粒Ｐは、乾燥工程Ｄにおいて低温（６０℃
程度）で乾燥し再利用される。回収オイルＯは、ワイヤ
ーソー用のオイル原料として再利用される。回収水Ｗ
は、油性スラリー廃液２の希釈用として循環使用され
る。このように油性スラリー廃液２を燃焼処理すること
なく再処理することにより、従来の油性スラリー廃液か
ら排出される不要スラッジ量に比較し、本発明での不要
スラッジの排出量は、１／５（重量比）に軽減された。
【００２１】
【発明の効果】以上述べたごとく、本発明によれば、油
性スラリー廃液から有効砥粒、オイル及び水を回収し再
利用することにより、廃棄される油性スラリー廃液の総
量の低減化を実現し、油性スラリー廃液を燃焼させる際
の二酸化炭素の発生を減少させることができ、環境問題
の解決策の一つとしても有効であるという大きな効果が
達成される。
性スラリー廃液から有効砥粒、オイル及び水を回収し再
利用することにより、廃棄される油性スラリー廃液の総
量の低減化を実現し、油性スラリー廃液を燃焼させる際
の二酸化炭素の発生を減少させることができ、環境問題
の解決策の一つとしても有効であるという大きな効果が
達成される。
【図１】本発明システムの構成の１例を示す概略説明図
である。
である。
【図２】本発明システムにおける工程順の１例を示すフ
ローチャートである。
ローチャートである。
【図３】ワイヤーソー装置の１例を示す概略説明図であ
る。
る。
２ 油性スラリー廃液 ４ 分級機 ６ 遠心分離機 １０Ａ 従動ローラ １０Ｂ 従動ローラ １０Ｃ 駆動ローラ １２ ワイヤー １４ａ，１４ｂ，１４ｃ リング状溝 １６ 駆動モータ ２０，３０ 張力調節機構 ２２，３２ ワイヤー巻取りドラム ２４，３４ トルクモータ ４０ ワーク ４２ ワークホルダー Ｏ オイル Ｐ 有効砥粒 Ｗ 水
Claims (4)
- 【請求項１】 （ａ）オイルと砥粒を含有する油性スラ
リー廃液の粘度を水を加えることによって低下させる工
程と、（ｂ）上記低粘度化した油性スラリー廃液を有効
砥粒と浮遊固体分及び液体分（オイル＋水）からなる排
液とに分級する工程と、（ｃ）上記浮遊固体分及び液体
分からなる排液を浮遊固体分とオイルと水の固液３相に
分離し、該浮遊固体分を不要スラッジとして廃棄する工
程とからなり、分級した有効砥粒と分離したオイルと水
とを再利用することを特徴とする油性スラリー廃液の再
利用システム。 - 【請求項２】 上記低粘度化した油性スラリー廃液の粘
度が２０〜３０mPa・s であることを特徴とする請求項
１記載の油性スラリー廃液の再利用システム。 - 【請求項３】 上記（ｂ）工程を液体サイクロンによっ
て行なうことを特徴とする請求項１又は２記載の油性ス
ラリー廃液の再利用システム。 - 【請求項４】 上記（ｃ）工程における排液を浮遊固体
分とオイルと水の固液３相に分離する操作をスクリュウ
デカンタ形遠心分離機によって行なうことを特徴とする
請求項１〜３のいずれか１項記載の油性スラリー廃液の
再利用システム。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP01158796A JP3199159B2 (ja) | 1996-01-26 | 1996-01-26 | 油性スラリー廃液の再利用システム |
| US08/783,092 US5830369A (en) | 1996-01-26 | 1997-01-14 | System for reusing oily slurry waste fluid |
| EP97100693A EP0786317A3 (en) | 1996-01-26 | 1997-01-17 | System for reusing oily slurry waste fluid |
| MYPI97000255A MY129786A (en) | 1996-01-26 | 1997-01-23 | System for reusing oily slurry waste fluid |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP01158796A JP3199159B2 (ja) | 1996-01-26 | 1996-01-26 | 油性スラリー廃液の再利用システム |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09201819A true JPH09201819A (ja) | 1997-08-05 |
| JP3199159B2 JP3199159B2 (ja) | 2001-08-13 |
Family
ID=11782043
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP01158796A Expired - Fee Related JP3199159B2 (ja) | 1996-01-26 | 1996-01-26 | 油性スラリー廃液の再利用システム |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5830369A (ja) |
| EP (1) | EP0786317A3 (ja) |
| JP (1) | JP3199159B2 (ja) |
| MY (1) | MY129786A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6113473A (en) * | 1997-04-25 | 2000-09-05 | G.T. Equipment Technologies Inc. | Method and apparatus for improved wire saw slurry |
| US6322710B1 (en) | 1997-12-26 | 2001-11-27 | Mitsubishi Kakoki Kaisha Ltd. | Slurry managing system and slurry managing method |
| KR20020069071A (ko) * | 2001-02-23 | 2002-08-29 | 윤영환 | 폐 페인트의 재활용방법 |
| KR100923467B1 (ko) * | 2003-04-21 | 2009-10-27 | 주식회사 포스코 | 스트립 그라인더 집진 설비의 스와프 필터링 장치 |
| CN105881759A (zh) * | 2016-06-21 | 2016-08-24 | 苏友谊 | 一种石材切割的冷却*** |
Families Citing this family (26)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CZ283541B6 (cs) * | 1996-03-06 | 1998-04-15 | Trimex Tesla, S.R.O. | Způsob řezání ingotů z tvrdých materiálů na desky a pila k provádění tohoto způsobu |
| DE19743721A1 (de) * | 1997-10-02 | 1999-04-08 | Kempten Elektroschmelz Gmbh | Verfahren zum Wiederaufarbeiten einer Schleifsuspension |
| IT1299540B1 (it) * | 1998-07-01 | 2000-03-16 | Memc Electronic Materials | Procedimento per separare e rigenerare abrasivo esausto a base di glicole e carburo di silicio ai fini della loro riutilizzazione |
| US6231628B1 (en) | 1998-01-07 | 2001-05-15 | Memc Electronic Materials, Inc. | Method for the separation, regeneration and reuse of an exhausted glycol-based slurry |
| TW383249B (en) * | 1998-09-01 | 2000-03-01 | Sumitomo Spec Metals | Cutting method for rare earth alloy by annular saw and manufacturing for rare earth alloy board |
| JP3426149B2 (ja) * | 1998-12-25 | 2003-07-14 | 富士通株式会社 | 半導体製造における研磨廃液再利用方法及び再利用装置 |
| DE19912252A1 (de) * | 1999-03-18 | 2000-09-28 | Wacker Siltronic Halbleitermat | Verfahren zum Wiederaufarbeiten einer Suspension |
| DE19960380C2 (de) * | 1999-12-14 | 2002-05-29 | Fraunhofer Ges Forschung | Verfahren zum Fraktionieren einer Zerspanungssuspension |
| US7223344B2 (en) | 2001-05-29 | 2007-05-29 | Memc Electronic Materials, Spa | Method for treating an exhausted glycol-based slurry |
| US6838047B2 (en) * | 2001-08-28 | 2005-01-04 | Romain Louis Billiet | MEMS and MEMS components from silicon kerf |
| DE10338520A1 (de) * | 2003-08-21 | 2005-03-24 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Verfahren zum Trennen einer Zerspanungssuspension |
| ATE528054T1 (de) * | 2004-01-30 | 2011-10-15 | P M P O S R L | Anlage und verfahren zur behandlung eines kühlfluids in mechanischen bearbeitungsanlagen |
| DE102005007368A1 (de) | 2004-06-16 | 2006-01-05 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Schmierend wirkende Polymer-Wasser-Mischung |
| ITRM20050329A1 (it) * | 2005-06-24 | 2006-12-25 | Guido Fragiacomo | Procedimento per il trattamento di sospensioni abrasive esauste per il recupero delle loro componenti riciclabili e relativo impianto. |
| US20090274596A1 (en) * | 2006-02-24 | 2009-11-05 | Ihi Compressor And Machinery Co., Ltd. | Method and apparatus for processing silicon particles |
| EP2205387A1 (en) * | 2007-10-30 | 2010-07-14 | Pall Corporation | Method and system for manufacturing wafer-like slices from a substrate material |
| US8425639B2 (en) * | 2008-05-30 | 2013-04-23 | Cabot Microelectronics Corporation | Wire saw slurry recycling process |
| KR100985861B1 (ko) * | 2008-09-24 | 2010-10-08 | 씨앤지하이테크 주식회사 | 반도체용 슬러리 공급장치 및 슬러리 공급방법 |
| CN102388121B (zh) * | 2008-12-31 | 2013-08-21 | Memc新加坡私人有限公司 | 从锯屑回收并提纯硅颗粒的方法 |
| US20110017230A1 (en) * | 2009-07-27 | 2011-01-27 | Memc Electronic Materials, Inc. | Method and System for Processing Abrasive Slurry |
| US10112136B2 (en) * | 2012-02-03 | 2018-10-30 | Enviro-Fab Llc | Fluid lubricant and material shavings recapture system for a cutting operation |
| SG11201603187QA (en) * | 2013-10-24 | 2016-05-30 | Metallkraft As | Non-chemical method and system for recovering silicon carbide particles |
| US9757667B1 (en) * | 2013-12-04 | 2017-09-12 | II Donald Edward Bigos | System and process for recycling machining waste from CNC equipment |
| JP5850192B1 (ja) * | 2015-03-19 | 2016-02-03 | コニカミノルタ株式会社 | 研磨材の回収方法 |
| CN109553104A (zh) * | 2017-09-27 | 2019-04-02 | 东莞新科技术研究开发有限公司 | 研磨废浆中碳化硅的回收方法 |
| CN111421688A (zh) * | 2020-05-09 | 2020-07-17 | 西安奕斯伟硅片技术有限公司 | 多线切割装置及多线切割方法 |
Family Cites Families (20)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3802916A (en) * | 1971-12-03 | 1974-04-09 | E Jackson | Process and apparatus for reclamation of abrasive grit |
| US3905898A (en) * | 1971-12-03 | 1975-09-16 | Jackson E L | Process and apparatus for reclamation of abrasive grit |
| DE2612696A1 (de) * | 1975-04-01 | 1976-10-14 | Pennwalt Corp | Vollmantel-dekantierzentrifuge |
| US4018329A (en) * | 1976-02-13 | 1977-04-19 | Safety Steel Service, Inc. | Abrasive recovery system |
| US4059929A (en) * | 1976-05-10 | 1977-11-29 | Chemical-Ways Corporation | Precision metering system for the delivery of abrasive lapping and polishing slurries |
| US4242841A (en) * | 1979-07-30 | 1981-01-06 | Ushakov Vladimir F | Apparatus for preparing and feeding an abrasive-containing suspension into the zone of action of work tools of polishing and finishing lathes |
| US4361488A (en) * | 1980-12-10 | 1982-11-30 | Alar Engineering Corporation | Liquid separating and recycling |
| JPS57185375A (en) * | 1981-05-08 | 1982-11-15 | Citizen Watch Co Ltd | Grinding liquid |
| DE3212120A1 (de) * | 1982-04-01 | 1983-10-06 | Hartmann Werner G | Verfahren zum aufbereiten oelhaltiger schlaemme |
| JPS59232762A (ja) * | 1983-06-15 | 1984-12-27 | Hitachi Ltd | ワイヤ・ソ−のスラリ洗浄装置 |
| US5154831A (en) * | 1988-12-22 | 1992-10-13 | Ensr Corporation | Solvent extraction process employing comminuting and dispersing surfactants |
| US5125966A (en) * | 1990-12-20 | 1992-06-30 | Nalco Chemical Company | Process for de-oiling mill sludge |
| JPH0741535B2 (ja) | 1991-04-10 | 1995-05-10 | 中小企業事業団 | ラップ加工装置の砥粒液再生・循環装置 |
| US5310399A (en) * | 1991-08-20 | 1994-05-10 | Kotobuki Techrex Ltd. | Sedimentation centrifuge containing screw conveyor with fins |
| US5547376A (en) * | 1992-06-18 | 1996-08-20 | Harrel; Stephen K. | Methods and apparatus for containing and recovering abrasive powders from an abrasive polisher |
| US5454878A (en) * | 1994-02-17 | 1995-10-03 | Lockheed Idaho Technologies Company | Method for removing hydrocarbon contaminants from solid materials |
| DE4405829A1 (de) * | 1994-02-23 | 1995-08-31 | Wacker Chemitronic | Verfahren zur Rückgewinnung von Schneidkorn |
| US5520288A (en) * | 1994-03-21 | 1996-05-28 | Pct, Inc. | Abrasive grit material recovery system |
| JP2606156B2 (ja) * | 1994-10-14 | 1997-04-30 | 栗田工業株式会社 | 研磨剤粒子の回収方法 |
| US5578222A (en) * | 1995-12-20 | 1996-11-26 | Saint-Gobain/Norton Industrial Ceramics Corp. | Reclamation of abrasive grain |
-
1996
- 1996-01-26 JP JP01158796A patent/JP3199159B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1997
- 1997-01-14 US US08/783,092 patent/US5830369A/en not_active Expired - Fee Related
- 1997-01-17 EP EP97100693A patent/EP0786317A3/en not_active Withdrawn
- 1997-01-23 MY MYPI97000255A patent/MY129786A/en unknown
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6113473A (en) * | 1997-04-25 | 2000-09-05 | G.T. Equipment Technologies Inc. | Method and apparatus for improved wire saw slurry |
| US6322710B1 (en) | 1997-12-26 | 2001-11-27 | Mitsubishi Kakoki Kaisha Ltd. | Slurry managing system and slurry managing method |
| KR20020069071A (ko) * | 2001-02-23 | 2002-08-29 | 윤영환 | 폐 페인트의 재활용방법 |
| KR100923467B1 (ko) * | 2003-04-21 | 2009-10-27 | 주식회사 포스코 | 스트립 그라인더 집진 설비의 스와프 필터링 장치 |
| CN105881759A (zh) * | 2016-06-21 | 2016-08-24 | 苏友谊 | 一种石材切割的冷却*** |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| MY129786A (en) | 2007-04-30 |
| EP0786317A3 (en) | 1998-06-17 |
| EP0786317A2 (en) | 1997-07-30 |
| JP3199159B2 (ja) | 2001-08-13 |
| US5830369A (en) | 1998-11-03 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH09201819A (ja) | 油性スラリー廃液の再利用システム | |
| JP3249373B2 (ja) | 水溶性スラリー廃液の再利用システム | |
| CN1280077C (zh) | 废乙二醇基浆料的分离,再生和重新使用的方法 | |
| Nishijima et al. | Recycling of abrasives from wasted slurry by superconducting magnetic separation | |
| US6929537B2 (en) | Slurry recycling method | |
| KR101179521B1 (ko) | 폐 실리콘웨이퍼 슬러지의 재활용 방법 및 장치 | |
| KR100776966B1 (ko) | 반도체 웨이퍼 제조시 발생하는 폐슬러리의 재생장치 | |
| CN102275930B (zh) | 硅粉回收方法 | |
| JP3768891B2 (ja) | 廃スラッジの再利用システム | |
| KR101333966B1 (ko) | 멤브레인공정을 이용한 반도체 및 태양전지용 웨이퍼 폐슬러리중 절삭액의 고효율 재생방법 및 재생시스템 | |
| CN102275926B (zh) | 硅粉回收方法 | |
| JPH11156719A (ja) | ワイヤソー砥粒スラリーの再生方法及び装置 | |
| KR100625283B1 (ko) | 반도체 웨이퍼 제조시 발생하는 폐슬러지의 재생 장치 및방법 | |
| US5919124A (en) | Apparatus for continuous separation of fine solid particles from a liquid by centrifugal force | |
| US6821437B1 (en) | Method for separating a machining suspension into fractions | |
| JP2010221337A (ja) | 使用済み研削液の再利用方法 | |
| KR100703963B1 (ko) | 반도체 웨이퍼 제조시 발생하는 폐슬러지의 재생방법 | |
| JP2010047443A (ja) | シリコン精製方法、シリコン精製装置および再生砥粒 | |
| JP4414364B2 (ja) | シリコン含有材料の回収方法 | |
| JP4369054B2 (ja) | 使用済グリコール系スラリーの分離、再生および再使用法 | |
| JP2011083845A (ja) | 研磨用固液回収分離装置 | |
| KR101331446B1 (ko) | 폐절삭연마혼합액 재생방법 | |
| JP7090564B2 (ja) | ごみ焼却灰の資源化方法及び資源化装置 | |
| KR20150141031A (ko) | 폐슬러리 재생방법 | |
| KR20150141032A (ko) | 폐슬러리 재생방법 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |