JPH09201819A - 油性スラリー廃液の再利用システム - Google Patents
油性スラリー廃液の再利用システムInfo
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- JPH09201819A JPH09201819A JP8011587A JP1158796A JPH09201819A JP H09201819 A JPH09201819 A JP H09201819A JP 8011587 A JP8011587 A JP 8011587A JP 1158796 A JP1158796 A JP 1158796A JP H09201819 A JPH09201819 A JP H09201819A
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- oil
- waste liquid
- liquid
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- slurry waste
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-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
- B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
- B28D1/00—Working stone or stone-like materials, e.g. brick, concrete or glass, not provided for elsewhere; Machines, devices, tools therefor
- B28D1/02—Working stone or stone-like materials, e.g. brick, concrete or glass, not provided for elsewhere; Machines, devices, tools therefor by sawing
- B28D1/025—Use, recovery or regeneration of abrasive mediums
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mining & Mineral Resources (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Grinding-Machine Dressing And Accessory Apparatuses (AREA)
- Treatment Of Sludge (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 油性スラリー廃液から有効砥粒、オイル及び
水を回収し再利用することにより、廃棄される油性スラ
リー廃液の総量の低減化を実現し、油性スラリー廃液を
燃焼させる際の二酸化炭素の発生を減少させることがで
き、環境問題の解決策の一つとしても有効な油性スラリ
ー廃液の再利用システムを提供する。 【解決手段】 (a)オイルと砥粒を含有する油性スラ
リー廃液の粘度を水を加えることによって低下させる工
程と、(b)上記低粘度化した油性スラリー廃液を有効
砥粒と浮遊固体及び液体分(オイル+水)からなる排液
とに分級する工程と、(c)上記浮遊固体分及び液体分
からなる排液を浮遊固体分とオイルと水の固液3相に分
離し、該浮遊固体分を不要スラッジとして廃棄する工程
とからなり、分級した有効砥粒と分離したオイルと水と
を再利用する。
水を回収し再利用することにより、廃棄される油性スラ
リー廃液の総量の低減化を実現し、油性スラリー廃液を
燃焼させる際の二酸化炭素の発生を減少させることがで
き、環境問題の解決策の一つとしても有効な油性スラリ
ー廃液の再利用システムを提供する。 【解決手段】 (a)オイルと砥粒を含有する油性スラ
リー廃液の粘度を水を加えることによって低下させる工
程と、(b)上記低粘度化した油性スラリー廃液を有効
砥粒と浮遊固体及び液体分(オイル+水)からなる排液
とに分級する工程と、(c)上記浮遊固体分及び液体分
からなる排液を浮遊固体分とオイルと水の固液3相に分
離し、該浮遊固体分を不要スラッジとして廃棄する工程
とからなり、分級した有効砥粒と分離したオイルと水と
を再利用する。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、脆性材料、例え
ば、半導体インゴット、即ち化合物半導体結晶やシリコ
ン半導体結晶等をワイヤーソー装置を用いて切断する際
に用いられた油性スラリー廃液の再利用を可能としたシ
ステムに関する。
ば、半導体インゴット、即ち化合物半導体結晶やシリコ
ン半導体結晶等をワイヤーソー装置を用いて切断する際
に用いられた油性スラリー廃液の再利用を可能としたシ
ステムに関する。
【0002】
【関連技術】脆性材料、例えば、化合物半導体結晶やシ
リコン半導体結晶等を切断する手段としてワイヤーソー
装置が知られている。このワイヤーソー装置において
は、図3に示すごとく、互いに同一構成のメインローラ
と呼ばれる3本(又は4本)の樹脂ローラ10A,10
B,10Cがそれらの軸を互いに平行して配置され、該
ローラ10A〜10C表面に一定ピッチで形成されたリ
ング状溝14a,14b,14cにワイヤー12が巻回
されている。駆動モータ16に接続された駆動ローラ1
0Cからの回転をワイヤー12を介して、従動ローラ1
0A,10Bに伝える構造となっている。
リコン半導体結晶等を切断する手段としてワイヤーソー
装置が知られている。このワイヤーソー装置において
は、図3に示すごとく、互いに同一構成のメインローラ
と呼ばれる3本(又は4本)の樹脂ローラ10A,10
B,10Cがそれらの軸を互いに平行して配置され、該
ローラ10A〜10C表面に一定ピッチで形成されたリ
ング状溝14a,14b,14cにワイヤー12が巻回
されている。駆動モータ16に接続された駆動ローラ1
0Cからの回転をワイヤー12を介して、従動ローラ1
0A,10Bに伝える構造となっている。
【0003】ワイヤー12の始端側は、張力調節機構2
0を介してワイヤー巻取りドラム22に巻回されてい
る。同様に、ワイヤー12の終端側は、張力調節機構3
0を介してワイヤー巻取りドラム32に巻回されてい
る。24及び34はトルクモータである。
0を介してワイヤー巻取りドラム22に巻回されてい
る。同様に、ワイヤー12の終端側は、張力調節機構3
0を介してワイヤー巻取りドラム32に巻回されてい
る。24及び34はトルクモータである。
【0004】ワーク40は、例えば半導体インゴットで
あり、そのオリエンテーションフラット面が昇降可能な
ワークホルダー42に接着されている。
あり、そのオリエンテーションフラット面が昇降可能な
ワークホルダー42に接着されている。
【0005】このような構成により、駆動ローラ10C
が回転すると、ワイヤー12がその線方向に走行し、そ
れとともに砥粒を含む加工液がワイヤー12に流し当て
られる。この状態でワーク40を下降させワイヤー12
に接触させると、ラッピング作用によりワーク40が切
断され、多数枚のウェーハが同時に切断形成される。
が回転すると、ワイヤー12がその線方向に走行し、そ
れとともに砥粒を含む加工液がワイヤー12に流し当て
られる。この状態でワーク40を下降させワイヤー12
に接触させると、ラッピング作用によりワーク40が切
断され、多数枚のウェーハが同時に切断形成される。
【0006】上記加工液としては、鉱油をベースとした
オイル(油性クーラント)とSiC等の砥粒を混合した
油性スラリーが用いられている。そして、この油性スラ
リーは使用後は油性スラリー廃液となり、産業廃棄物と
して燃焼処理するのが一般的であった。この油性スラリ
ー廃液を処理する上での問題は、油性スラリー廃液の粘
度が高く、通常の濾過操作によって、オイルと砥粒に簡
単に分離する方法が無いということである。そのため、
この油性スラリー廃液を処理する方法としては、産業廃
棄物として、燃焼させることが主流であった。しかし、
油性スラリー廃液を燃焼する際に発生する二酸化炭素
(CO2 )は地球温暖化等の環境問題の一因に挙げられ
るものであり、このような燃焼処理は好ましいことでは
なかった。
オイル(油性クーラント)とSiC等の砥粒を混合した
油性スラリーが用いられている。そして、この油性スラ
リーは使用後は油性スラリー廃液となり、産業廃棄物と
して燃焼処理するのが一般的であった。この油性スラリ
ー廃液を処理する上での問題は、油性スラリー廃液の粘
度が高く、通常の濾過操作によって、オイルと砥粒に簡
単に分離する方法が無いということである。そのため、
この油性スラリー廃液を処理する方法としては、産業廃
棄物として、燃焼させることが主流であった。しかし、
油性スラリー廃液を燃焼する際に発生する二酸化炭素
(CO2 )は地球温暖化等の環境問題の一因に挙げられ
るものであり、このような燃焼処理は好ましいことでは
なかった。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記した従
来技術の問題点を解決するためになされたもので、油性
スラリー廃液から有効砥粒、オイル及び水を回収し再利
用することにより、廃棄される油性スラリー廃液の総量
の低減化を実現し、油性スラリー廃液を燃焼させる際の
二酸化炭素の発生を減少させることができ、環境問題の
解決策の一つとしても有効な油性スラリー廃液の再利用
システムを提供することを目的とする。
来技術の問題点を解決するためになされたもので、油性
スラリー廃液から有効砥粒、オイル及び水を回収し再利
用することにより、廃棄される油性スラリー廃液の総量
の低減化を実現し、油性スラリー廃液を燃焼させる際の
二酸化炭素の発生を減少させることができ、環境問題の
解決策の一つとしても有効な油性スラリー廃液の再利用
システムを提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明の油性スラリー廃液の再利用システムは、
(a)オイルと砥粒を含有する油性スラリー廃液の粘度
を水を加えることによって低下させる工程と、(b)上
記低粘度化した油性スラリー廃液を有効砥粒と浮遊固体
分及び液体分(オイル+水)からなる排液とに分級する
工程と、(c)上記浮遊固体分及び液体分からなる排液
を浮遊固体分とオイルと水の固液3相に分離し、該浮遊
固体分を不要スラッジとして廃棄する工程とからなり、
分級した有効砥粒と分離したオイルと水とを再利用する
ことを特徴とする。
に、本発明の油性スラリー廃液の再利用システムは、
(a)オイルと砥粒を含有する油性スラリー廃液の粘度
を水を加えることによって低下させる工程と、(b)上
記低粘度化した油性スラリー廃液を有効砥粒と浮遊固体
分及び液体分(オイル+水)からなる排液とに分級する
工程と、(c)上記浮遊固体分及び液体分からなる排液
を浮遊固体分とオイルと水の固液3相に分離し、該浮遊
固体分を不要スラッジとして廃棄する工程とからなり、
分級した有効砥粒と分離したオイルと水とを再利用する
ことを特徴とする。
【0009】上記低粘度化した油性スラリー廃液の粘度
を水を加えることによって30mPa・s 以下に低下させ
ることにより、遠心分離機等による固液分離が容易とな
る。油性スラリー廃液の粘度は、低い方が固液分離処理
が容易となるが、低粘度化に伴い添加する水の量が増
え、固液分離処理すべき廃液量が増大してしまうため、
処理効率がそれだけ低下する不利がある。この低粘度化
した油性スラリー廃液の粘度の下限値は20mPa ・sと
するのが経済的観点からも好適である。
を水を加えることによって30mPa・s 以下に低下させ
ることにより、遠心分離機等による固液分離が容易とな
る。油性スラリー廃液の粘度は、低い方が固液分離処理
が容易となるが、低粘度化に伴い添加する水の量が増
え、固液分離処理すべき廃液量が増大してしまうため、
処理効率がそれだけ低下する不利がある。この低粘度化
した油性スラリー廃液の粘度の下限値は20mPa ・sと
するのが経済的観点からも好適である。
【0010】上記(b)工程を液体サイクロンによって
行なうことによって、分級された砥粒には再利用可能な
有効砥粒を有する有効砥粒径のみが含まれ、再利用でき
ない有効砥粒径未満の微細砥粒は含まれなくなる利点が
ある。
行なうことによって、分級された砥粒には再利用可能な
有効砥粒を有する有効砥粒径のみが含まれ、再利用でき
ない有効砥粒径未満の微細砥粒は含まれなくなる利点が
ある。
【0011】上記(c)工程における排液を浮遊固体分
とオイルと水の固液3相に分離する操作をスクリュウデ
カンタ形遠心分離機によって行なうことが好適である。
このスクリュウデカンタ形遠心分離機を用いることによ
って、上記排液を不要スラッジとオイルと水の3相にワ
ンステップで分離することができる。
とオイルと水の固液3相に分離する操作をスクリュウデ
カンタ形遠心分離機によって行なうことが好適である。
このスクリュウデカンタ形遠心分離機を用いることによ
って、上記排液を不要スラッジとオイルと水の3相にワ
ンステップで分離することができる。
【0012】
【発明の実施の形態】以下に本発明の一つの実施の形態
を添付図面にもとづいて説明する。図1は本発明の油性
スラリー廃液の再利用システムの1例を示す概略説明図
及び図2は本発明システムの工程順を示すフローチャー
トである。
を添付図面にもとづいて説明する。図1は本発明の油性
スラリー廃液の再利用システムの1例を示す概略説明図
及び図2は本発明システムの工程順を示すフローチャー
トである。
【0013】図1において、2は油性スラリー廃液で、
該油性スラリー廃液2は廃スラリータンクに貯蔵されて
いる。油性スラリーに用いられる鉱油をベースとしたオ
イルには、砥粒を分散させる分散剤等が添加されてい
る。油性スラリー廃液には、さらに、切断による被切断
物の切り粉が混入しており、200 〜300mPa・s と非常に
高粘度となっている。そのため、一般に用いられる遠心
分離機やフィルターシステム等によって、油性スラリー
廃液をそのまま固液に分離することは不可能であった。
該油性スラリー廃液2は廃スラリータンクに貯蔵されて
いる。油性スラリーに用いられる鉱油をベースとしたオ
イルには、砥粒を分散させる分散剤等が添加されてい
る。油性スラリー廃液には、さらに、切断による被切断
物の切り粉が混入しており、200 〜300mPa・s と非常に
高粘度となっている。そのため、一般に用いられる遠心
分離機やフィルターシステム等によって、油性スラリー
廃液をそのまま固液に分離することは不可能であった。
【0014】この油性スラリー廃液2の粘度を下げるた
めに、灯油等を用いて行なうことは、従来より知られて
いた。しかし、この灯油の添加によって油性スラリー廃
液のオイル量は最終的には増大してしまい、またその灯
油を添加した油性スラリー廃液も燃焼処理されることに
変わりはなかった。
めに、灯油等を用いて行なうことは、従来より知られて
いた。しかし、この灯油の添加によって油性スラリー廃
液のオイル量は最終的には増大してしまい、またその灯
油を添加した油性スラリー廃液も燃焼処理されることに
変わりはなかった。
【0015】そこで、本発明では、油性スラリー廃液2
の容量の1/2〜2倍程度の容量の水Wを加えて希釈す
ることにより、油性スラリー廃液の粘度を20〜30mPa ・
s に落とすこととした。即ち、油性スラリー廃液2の粘
度を低下させる工程(a)がまず実施される。この低粘
度化された油性スラリー廃液2に対しては固液分離が可
能である。
の容量の1/2〜2倍程度の容量の水Wを加えて希釈す
ることにより、油性スラリー廃液の粘度を20〜30mPa ・
s に落とすこととした。即ち、油性スラリー廃液2の粘
度を低下させる工程(a)がまず実施される。この低粘
度化された油性スラリー廃液2に対しては固液分離が可
能である。
【0016】粘度20〜30mPa ・s と低粘度化された油性
スラリー廃液2は、次に、分級機4によって有効砥粒P
とSS分(SUSPENDED SOLID、浮遊固体分) 及び液体分
(オイルO+水W)からなる排液に分級される。即ち、
有効砥粒Pと浮遊固体分及び液体分(オイルO+水W)
からなる排液とに分級する工程(b)が実施される。
スラリー廃液2は、次に、分級機4によって有効砥粒P
とSS分(SUSPENDED SOLID、浮遊固体分) 及び液体分
(オイルO+水W)からなる排液に分級される。即ち、
有効砥粒Pと浮遊固体分及び液体分(オイルO+水W)
からなる排液とに分級する工程(b)が実施される。
【0017】この分級処理においては、液体サイクロン
が好適に用いられる。液体サイクロンは上部排出口から
所定粒径より小さい砥粒、例えば、6μm以下の砥粒を
懸濁状態で含んだ砥粒液が排出され、下部排出口からは
所定粒径より大きい粒子、例えば6μm以上の砥粒を懸
濁状態で含んだ砥粒液が排出される(例えば、特公平7
−41535号公報)。この液体サイクロン式分級装置
としては、SRSシステム〔日立造船メタルワークス
(株)製〕が好適である。一般に用いられている遠心分
離機による分離(分級)であると、有効砥粒径未満の微
細砥粒等が含まれて分離(分級)されるので、分級され
た回収砥粒が再利用に適さない。
が好適に用いられる。液体サイクロンは上部排出口から
所定粒径より小さい砥粒、例えば、6μm以下の砥粒を
懸濁状態で含んだ砥粒液が排出され、下部排出口からは
所定粒径より大きい粒子、例えば6μm以上の砥粒を懸
濁状態で含んだ砥粒液が排出される(例えば、特公平7
−41535号公報)。この液体サイクロン式分級装置
としては、SRSシステム〔日立造船メタルワークス
(株)製〕が好適である。一般に用いられている遠心分
離機による分離(分級)であると、有効砥粒径未満の微
細砥粒等が含まれて分離(分級)されるので、分級され
た回収砥粒が再利用に適さない。
【0018】しかし、上記液体サイクロンを用いる分級
操作によれば、分級された回収砥粒には再利用可能な有
効砥粒径を有する有効砥粒Pのみが含まれ、再利用でき
ない有効砥粒径未満の微細砥粒は含まれないという利点
がある。なお、有効砥粒Pは、粒径が6μm以上の再利
用可能な砥粒をいい、粒径が6μmに満たない微細砥粒
は再利用できないものである。
操作によれば、分級された回収砥粒には再利用可能な有
効砥粒径を有する有効砥粒Pのみが含まれ、再利用でき
ない有効砥粒径未満の微細砥粒は含まれないという利点
がある。なお、有効砥粒Pは、粒径が6μm以上の再利
用可能な砥粒をいい、粒径が6μmに満たない微細砥粒
は再利用できないものである。
【0019】上記分級機4にとっては排液となるSS分
(浮遊固体分)と液体分は、次に遠心分離機6により、
SS分とオイルOと水Wの固液3相に分離され、SS分
は不要スラッジ(廃棄物)Lとして処理される。ここで
用いられる遠心分離機6としては、スクリュウデカンタ
形遠心分離機TPシリーズ(石川島播磨重工業(株)
製)を用いるのが好適である。即ち、浮遊固体分及び液
体分からなる排液を浮遊固体分とオイルOと水Wの固液
3相にワンステップで分離し、該浮遊固体分を不要スラ
ッジLとして廃棄する工程(c)が実施される。
(浮遊固体分)と液体分は、次に遠心分離機6により、
SS分とオイルOと水Wの固液3相に分離され、SS分
は不要スラッジ(廃棄物)Lとして処理される。ここで
用いられる遠心分離機6としては、スクリュウデカンタ
形遠心分離機TPシリーズ(石川島播磨重工業(株)
製)を用いるのが好適である。即ち、浮遊固体分及び液
体分からなる排液を浮遊固体分とオイルOと水Wの固液
3相にワンステップで分離し、該浮遊固体分を不要スラ
ッジLとして廃棄する工程(c)が実施される。
【0020】以上の操作により、油性スラリー廃液2は
有効砥粒Pと不要スラッジLとオイルOと水Wに分離さ
れる。有効砥粒Pは、乾燥工程Dにおいて低温(60℃
程度)で乾燥し再利用される。回収オイルOは、ワイヤ
ーソー用のオイル原料として再利用される。回収水W
は、油性スラリー廃液2の希釈用として循環使用され
る。このように油性スラリー廃液2を燃焼処理すること
なく再処理することにより、従来の油性スラリー廃液か
ら排出される不要スラッジ量に比較し、本発明での不要
スラッジの排出量は、1/5(重量比)に軽減された。
有効砥粒Pと不要スラッジLとオイルOと水Wに分離さ
れる。有効砥粒Pは、乾燥工程Dにおいて低温(60℃
程度)で乾燥し再利用される。回収オイルOは、ワイヤ
ーソー用のオイル原料として再利用される。回収水W
は、油性スラリー廃液2の希釈用として循環使用され
る。このように油性スラリー廃液2を燃焼処理すること
なく再処理することにより、従来の油性スラリー廃液か
ら排出される不要スラッジ量に比較し、本発明での不要
スラッジの排出量は、1/5(重量比)に軽減された。
【0021】
【発明の効果】以上述べたごとく、本発明によれば、油
性スラリー廃液から有効砥粒、オイル及び水を回収し再
利用することにより、廃棄される油性スラリー廃液の総
量の低減化を実現し、油性スラリー廃液を燃焼させる際
の二酸化炭素の発生を減少させることができ、環境問題
の解決策の一つとしても有効であるという大きな効果が
達成される。
性スラリー廃液から有効砥粒、オイル及び水を回収し再
利用することにより、廃棄される油性スラリー廃液の総
量の低減化を実現し、油性スラリー廃液を燃焼させる際
の二酸化炭素の発生を減少させることができ、環境問題
の解決策の一つとしても有効であるという大きな効果が
達成される。
【図1】本発明システムの構成の1例を示す概略説明図
である。
である。
【図2】本発明システムにおける工程順の1例を示すフ
ローチャートである。
ローチャートである。
【図3】ワイヤーソー装置の1例を示す概略説明図であ
る。
る。
2 油性スラリー廃液 4 分級機 6 遠心分離機 10A 従動ローラ 10B 従動ローラ 10C 駆動ローラ 12 ワイヤー 14a,14b,14c リング状溝 16 駆動モータ 20,30 張力調節機構 22,32 ワイヤー巻取りドラム 24,34 トルクモータ 40 ワーク 42 ワークホルダー O オイル P 有効砥粒 W 水
Claims (4)
- 【請求項1】 (a)オイルと砥粒を含有する油性スラ
リー廃液の粘度を水を加えることによって低下させる工
程と、(b)上記低粘度化した油性スラリー廃液を有効
砥粒と浮遊固体分及び液体分(オイル+水)からなる排
液とに分級する工程と、(c)上記浮遊固体分及び液体
分からなる排液を浮遊固体分とオイルと水の固液3相に
分離し、該浮遊固体分を不要スラッジとして廃棄する工
程とからなり、分級した有効砥粒と分離したオイルと水
とを再利用することを特徴とする油性スラリー廃液の再
利用システム。 - 【請求項2】 上記低粘度化した油性スラリー廃液の粘
度が20〜30mPa・s であることを特徴とする請求項
1記載の油性スラリー廃液の再利用システム。 - 【請求項3】 上記(b)工程を液体サイクロンによっ
て行なうことを特徴とする請求項1又は2記載の油性ス
ラリー廃液の再利用システム。 - 【請求項4】 上記(c)工程における排液を浮遊固体
分とオイルと水の固液3相に分離する操作をスクリュウ
デカンタ形遠心分離機によって行なうことを特徴とする
請求項1〜3のいずれか1項記載の油性スラリー廃液の
再利用システム。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP01158796A JP3199159B2 (ja) | 1996-01-26 | 1996-01-26 | 油性スラリー廃液の再利用システム |
US08/783,092 US5830369A (en) | 1996-01-26 | 1997-01-14 | System for reusing oily slurry waste fluid |
EP97100693A EP0786317A3 (en) | 1996-01-26 | 1997-01-17 | System for reusing oily slurry waste fluid |
MYPI97000255A MY129786A (en) | 1996-01-26 | 1997-01-23 | System for reusing oily slurry waste fluid |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP01158796A JP3199159B2 (ja) | 1996-01-26 | 1996-01-26 | 油性スラリー廃液の再利用システム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH09201819A true JPH09201819A (ja) | 1997-08-05 |
JP3199159B2 JP3199159B2 (ja) | 2001-08-13 |
Family
ID=11782043
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP01158796A Expired - Fee Related JP3199159B2 (ja) | 1996-01-26 | 1996-01-26 | 油性スラリー廃液の再利用システム |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5830369A (ja) |
EP (1) | EP0786317A3 (ja) |
JP (1) | JP3199159B2 (ja) |
MY (1) | MY129786A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6113473A (en) * | 1997-04-25 | 2000-09-05 | G.T. Equipment Technologies Inc. | Method and apparatus for improved wire saw slurry |
US6322710B1 (en) | 1997-12-26 | 2001-11-27 | Mitsubishi Kakoki Kaisha Ltd. | Slurry managing system and slurry managing method |
KR20020069071A (ko) * | 2001-02-23 | 2002-08-29 | 윤영환 | 폐 페인트의 재활용방법 |
KR100923467B1 (ko) * | 2003-04-21 | 2009-10-27 | 주식회사 포스코 | 스트립 그라인더 집진 설비의 스와프 필터링 장치 |
CN105881759A (zh) * | 2016-06-21 | 2016-08-24 | 苏友谊 | 一种石材切割的冷却*** |
Families Citing this family (26)
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