JPH11156719A - ワイヤソー砥粒スラリーの再生方法及び装置 - Google Patents
ワイヤソー砥粒スラリーの再生方法及び装置Info
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- JPH11156719A JPH11156719A JP32613897A JP32613897A JPH11156719A JP H11156719 A JPH11156719 A JP H11156719A JP 32613897 A JP32613897 A JP 32613897A JP 32613897 A JP32613897 A JP 32613897A JP H11156719 A JPH11156719 A JP H11156719A
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
- B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
- B28D1/00—Working stone or stone-like materials, e.g. brick, concrete or glass, not provided for elsewhere; Machines, devices, tools therefor
- B28D1/02—Working stone or stone-like materials, e.g. brick, concrete or glass, not provided for elsewhere; Machines, devices, tools therefor by sawing
- B28D1/025—Use, recovery or regeneration of abrasive mediums
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- Mining & Mineral Resources (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Grinding-Machine Dressing And Accessory Apparatuses (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 使用後の砥粒スラリーから砥粒と切削液体と
を効率的に分離回収して再使用する。 【解決手段】 ワイヤソー１に用いた使用後の砥粒スラ
リー３’を第１の遠心分離機２０に導いて、回収砥粒
５’と微細な切削屑及び破砕砥粒を含有する微粒混合液
体２３とに分離し、続いて前記微粒混合液体２３を高密
度電場内に通すことにより微粒混合液体２３中の微粒固
体の粒径を増大させた後、第２の遠心分離機２５に導い
て増径微粒固体２６と回収切削液体６’とに分離し、第
１の遠心分離機２０により分離した回収砥粒５’と第２
の遠心分離機２５により分離した回収切削液体６’とを
混合し砥粒スラリー３として再使用する。
を効率的に分離回収して再使用する。 【解決手段】 ワイヤソー１に用いた使用後の砥粒スラ
リー３’を第１の遠心分離機２０に導いて、回収砥粒
５’と微細な切削屑及び破砕砥粒を含有する微粒混合液
体２３とに分離し、続いて前記微粒混合液体２３を高密
度電場内に通すことにより微粒混合液体２３中の微粒固
体の粒径を増大させた後、第２の遠心分離機２５に導い
て増径微粒固体２６と回収切削液体６’とに分離し、第
１の遠心分離機２０により分離した回収砥粒５’と第２
の遠心分離機２５により分離した回収切削液体６’とを
混合し砥粒スラリー３として再使用する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、シリコンウェハー
等の切削或いは切断加工を行うワイヤソーの砥粒を循環
使用できるようにしたワイヤソー砥粒スラリーの再生方
法及び装置に関するものである。
等の切削或いは切断加工を行うワイヤソーの砥粒を循環
使用できるようにしたワイヤソー砥粒スラリーの再生方
法及び装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来よりシリコンウェハー等を切削加工
するための装置として、ワイヤソーが用いられている。
するための装置として、ワイヤソーが用いられている。
【０００３】ワイヤソーは、高速で移動するワイヤに、
炭化ケイ素（シリカ）系の切削材としての砥粒（粒径＝
１８．５〜２１．５ミクロン程度、比重ρ＝３．２程
度）と、切削液体（通常鉱物性オイルに水、各種添加剤
を混ぜたもの）とを混合した砥粒スラリーを、移動する
ワイヤに供給することによりシリコンウェハー等を切削
加工するようにしている。
炭化ケイ素（シリカ）系の切削材としての砥粒（粒径＝
１８．５〜２１．５ミクロン程度、比重ρ＝３．２程
度）と、切削液体（通常鉱物性オイルに水、各種添加剤
を混ぜたもの）とを混合した砥粒スラリーを、移動する
ワイヤに供給することによりシリコンウェハー等を切削
加工するようにしている。
【０００４】図３は上記従来のワイヤソーに用いられる
砥粒スラリーの供給経路を示したブロック図であり、図
中１は図示しないワイヤを備えてシリコンウェハー等の
切削加工を行うワイヤソーであり、該ワイヤソー１に
は、スラリー供給装置２からの砥粒スラリー３が供給さ
れるようになっている。
砥粒スラリーの供給経路を示したブロック図であり、図
中１は図示しないワイヤを備えてシリコンウェハー等の
切削加工を行うワイヤソーであり、該ワイヤソー１に
は、スラリー供給装置２からの砥粒スラリー３が供給さ
れるようになっている。
【０００５】スラリー供給装置２は、スラリー供給槽４
を備えており、該スラリー供給槽４に、新規な砥粒５と
新規な切削液体６を所要の割合になるように計量供給し
て、撹拌装置７にて撹拌することにより均一濃度の砥粒
スラリー３を生成させるようにし、該スラリー供給槽４
内の砥粒スラリー３を、供給ポンプ８を備えた供給管９
により前記ワイヤソー１の上部まで供給して、供給弁１
０を備えた下向供給管１１により前記ワイヤソー１に供
給し、又前記供給管９における供給弁１０の手前位置と
前記スラリー供給槽４との間を戻り管１２にて接続する
ことにより、前記供給弁１０が閉止の時に砥粒スラリー
３を循環させて供給管９内に砥粒５が沈殿するのを防止
している。
を備えており、該スラリー供給槽４に、新規な砥粒５と
新規な切削液体６を所要の割合になるように計量供給し
て、撹拌装置７にて撹拌することにより均一濃度の砥粒
スラリー３を生成させるようにし、該スラリー供給槽４
内の砥粒スラリー３を、供給ポンプ８を備えた供給管９
により前記ワイヤソー１の上部まで供給して、供給弁１
０を備えた下向供給管１１により前記ワイヤソー１に供
給し、又前記供給管９における供給弁１０の手前位置と
前記スラリー供給槽４との間を戻り管１２にて接続する
ことにより、前記供給弁１０が閉止の時に砥粒スラリー
３を循環させて供給管９内に砥粒５が沈殿するのを防止
している。
【０００６】また、前記ワイヤソー１に供給されて切削
加工に使用され、これにより切削屑及び破砕した砥粒を
含有する使用後の砥粒スラリー３’は、排出ポンプ１３
を備えた排出管１４を介して廃棄物処理装置１５に供給
するようにしている。
加工に使用され、これにより切削屑及び破砕した砥粒を
含有する使用後の砥粒スラリー３’は、排出ポンプ１３
を備えた排出管１４を介して廃棄物処理装置１５に供給
するようにしている。
【０００７】廃棄物処理装置１５では、前記使用後の砥
粒スラリー３’を導入して、砥粒とその破砕粒子及び切
削屑等からなる固形廃棄物１６と、切削液体からなる液
体廃棄物１７とに分離し、上記固形廃棄物１６と液体廃
棄物１７は、夫々廃棄物として処理するようにしてい
る。
粒スラリー３’を導入して、砥粒とその破砕粒子及び切
削屑等からなる固形廃棄物１６と、切削液体からなる液
体廃棄物１７とに分離し、上記固形廃棄物１６と液体廃
棄物１７は、夫々廃棄物として処理するようにしてい
る。
【０００８】しかし、図３に示した従来方式において
は、砥粒スラリー３を使い捨てとしているために、常に
高価な新規の砥粒５と新規の切削液体６とを供給する必
要があり、運転コストが増加するという問題を有してい
た。また、固形廃棄物１６と液体廃棄物１７の廃棄量が
多くなり環境保全上の問題を有すると共に、廃棄物の処
理のための費用も増加するという問題がある。
は、砥粒スラリー３を使い捨てとしているために、常に
高価な新規の砥粒５と新規の切削液体６とを供給する必
要があり、運転コストが増加するという問題を有してい
た。また、固形廃棄物１６と液体廃棄物１７の廃棄量が
多くなり環境保全上の問題を有すると共に、廃棄物の処
理のための費用も増加するという問題がある。
【０００９】この問題に対処するために、前記使用後の
砥粒スラリー３’から砥粒と切削液体を回収して、繰返
し使用する方法として、遠心分離機を２段に設けたり、
或いは遠心分離機と濾過膜等を組合わせた機械的・物理
的分離方法が提案されている。
砥粒スラリー３’から砥粒と切削液体を回収して、繰返
し使用する方法として、遠心分離機を２段に設けたり、
或いは遠心分離機と濾過膜等を組合わせた機械的・物理
的分離方法が提案されている。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】しかし、遠心力による
分離の効率は、分散粒子の粒径の２乗、及び分散粒子と
分散溶媒（液体）の密度差（比重差）に比例する関係に
あることが知られており、従ってシリコンウェハーの切
削屑のように粒径が非常に小さく（数ミクロン程度）、
且つ砥粒及び切削液体に対する比重差が小さい切削屑を
遠心分離機で効率よく分離することは困難である。
分離の効率は、分散粒子の粒径の２乗、及び分散粒子と
分散溶媒（液体）の密度差（比重差）に比例する関係に
あることが知られており、従ってシリコンウェハーの切
削屑のように粒径が非常に小さく（数ミクロン程度）、
且つ砥粒及び切削液体に対する比重差が小さい切削屑を
遠心分離機で効率よく分離することは困難である。
【００１１】また、濾過膜を用いた分離も使用後の砥粒
スラリーの粘度が高い（１５０〜２００ｃｐ）こと、切
削屑の粒径が小さいことから膜の詰まりを生じ易く、処
理量が小さい等の点から、連続生産ラインに使用する上
で問題が多い。
スラリーの粘度が高い（１５０〜２００ｃｐ）こと、切
削屑の粒径が小さいことから膜の詰まりを生じ易く、処
理量が小さい等の点から、連続生産ラインに使用する上
で問題が多い。
【００１２】本発明は、かかる従来方式のもつ問題点を
解決すべくなしたもので、使用後の砥粒スラリーから砥
粒と切削液体とを効率的に分離回収して再使用すること
により、新規の砥粒と新規の切削液体の使用量を極力少
なくすると共に、廃棄物の発生量を著しく減少させるこ
とができるようにしたワイヤソー砥粒スラリーの再生方
法及び装置を提供することを目的としている。
解決すべくなしたもので、使用後の砥粒スラリーから砥
粒と切削液体とを効率的に分離回収して再使用すること
により、新規の砥粒と新規の切削液体の使用量を極力少
なくすると共に、廃棄物の発生量を著しく減少させるこ
とができるようにしたワイヤソー砥粒スラリーの再生方
法及び装置を提供することを目的としている。
【００１３】
【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明
は、ワイヤソーに用いた使用後の砥粒スラリーを第１の
遠心分離機に導いて、回収砥粒と微細な切削屑及び破砕
砥粒を含有する微粒混合液体とに分離し、続いて前記微
粒混合液体を高密度電場内に通すことにより微粒混合液
体中の微粒固体の粒径を増大させた後、第２の遠心分離
機に導いて増径微粒固体と回収切削液体とに分離し、前
記第１の遠心分離機により分離した回収砥粒と第２の遠
心分離機により分離した回収切削液体とを混合し砥粒ス
ラリーとして再使用することを特徴とするワイヤソー砥
粒スラリーの再生方法、に係るものである。
は、ワイヤソーに用いた使用後の砥粒スラリーを第１の
遠心分離機に導いて、回収砥粒と微細な切削屑及び破砕
砥粒を含有する微粒混合液体とに分離し、続いて前記微
粒混合液体を高密度電場内に通すことにより微粒混合液
体中の微粒固体の粒径を増大させた後、第２の遠心分離
機に導いて増径微粒固体と回収切削液体とに分離し、前
記第１の遠心分離機により分離した回収砥粒と第２の遠
心分離機により分離した回収切削液体とを混合し砥粒ス
ラリーとして再使用することを特徴とするワイヤソー砥
粒スラリーの再生方法、に係るものである。
【００１４】請求項２に記載の発明は、ワイヤソーに用
いた使用後の砥粒スラリーを高密度電場内に通すことに
より砥粒スラリー中の固体粒子の粒径を増大させ、続い
て第１の遠心分離機に導いて回収砥粒と増径微粒固体を
含有する増径微粒混合液体とに分離し、更に前記増径微
粒混合液体を第２の遠心分離機に導いて増径微粒固体と
回収切削液体とに分離し、前記第１の遠心分離機により
分離した回収砥粒と第２の遠心分離機により分離した回
収切削液体とを混合し砥粒スラリーとして再使用するこ
とを特徴とするワイヤソー砥粒スラリーの再生方法、に
係るものである。
いた使用後の砥粒スラリーを高密度電場内に通すことに
より砥粒スラリー中の固体粒子の粒径を増大させ、続い
て第１の遠心分離機に導いて回収砥粒と増径微粒固体を
含有する増径微粒混合液体とに分離し、更に前記増径微
粒混合液体を第２の遠心分離機に導いて増径微粒固体と
回収切削液体とに分離し、前記第１の遠心分離機により
分離した回収砥粒と第２の遠心分離機により分離した回
収切削液体とを混合し砥粒スラリーとして再使用するこ
とを特徴とするワイヤソー砥粒スラリーの再生方法、に
係るものである。
【００１５】請求項３に記載の発明は、ワイヤソーから
の使用後の砥粒スラリーを導入して回収砥粒と微細な切
削屑及び破砕砥粒を含有する微粒混合液体とに分離する
第１の遠心分離機と、該第１の遠心分離機にて分離した
微粒混合液体に高密度電場を作用させて微粒混合液体中
の微粒固体の粒径を増加する高密度電場発生装置と、該
高密度電場発生装置により粒径が増加された増径微粒固
体と回収切削液体とを分離する第２の遠心分離機と、前
記第１の遠心分離機で分離された回収砥粒と前記第２の
遠心分離機で分離された回収切削液体を導入すると共に
新規な砥粒と新規な切削液体とを導入して砥粒スラリー
をワイヤソーに供給するスラリー供給装置とを備えたこ
とを特徴とするワイヤソー砥粒スラリーの再生装置、に
係るものである。
の使用後の砥粒スラリーを導入して回収砥粒と微細な切
削屑及び破砕砥粒を含有する微粒混合液体とに分離する
第１の遠心分離機と、該第１の遠心分離機にて分離した
微粒混合液体に高密度電場を作用させて微粒混合液体中
の微粒固体の粒径を増加する高密度電場発生装置と、該
高密度電場発生装置により粒径が増加された増径微粒固
体と回収切削液体とを分離する第２の遠心分離機と、前
記第１の遠心分離機で分離された回収砥粒と前記第２の
遠心分離機で分離された回収切削液体を導入すると共に
新規な砥粒と新規な切削液体とを導入して砥粒スラリー
をワイヤソーに供給するスラリー供給装置とを備えたこ
とを特徴とするワイヤソー砥粒スラリーの再生装置、に
係るものである。
【００１６】請求項４に記載の発明は、ワイヤソーから
の使用後の砥粒スラリーに高密度電場を作用させて砥粒
スラリー中の固体粒子の粒径を増加する高密度電場発生
装置と、該高密度電場発生装置により粒径が増加された
固体粒子を含有する砥粒スラリーを導入して回収砥粒と
増径微粒混合液体とを分離する第１の遠心分離機と、該
第１の遠心分離機にて分離された増径微粒混合液体から
増径微粒固体と回収切削液体とを分離する第２の遠心分
離機と、前記第１の遠心分離機で分離された回収砥粒と
前記第２の遠心分離機で分離された回収切削液体を導入
すると共に新規な砥粒と新規な切削液体を導入して砥粒
スラリーをワイヤソーに供給するスラリー供給装置とを
備えたことを特徴とするワイヤソー砥粒スラリーの再生
装置、に係るものである。
の使用後の砥粒スラリーに高密度電場を作用させて砥粒
スラリー中の固体粒子の粒径を増加する高密度電場発生
装置と、該高密度電場発生装置により粒径が増加された
固体粒子を含有する砥粒スラリーを導入して回収砥粒と
増径微粒混合液体とを分離する第１の遠心分離機と、該
第１の遠心分離機にて分離された増径微粒混合液体から
増径微粒固体と回収切削液体とを分離する第２の遠心分
離機と、前記第１の遠心分離機で分離された回収砥粒と
前記第２の遠心分離機で分離された回収切削液体を導入
すると共に新規な砥粒と新規な切削液体を導入して砥粒
スラリーをワイヤソーに供給するスラリー供給装置とを
備えたことを特徴とするワイヤソー砥粒スラリーの再生
装置、に係るものである。
【００１７】請求項５に記載の発明は、第１の遠心分離
機で分離された回収砥粒と第２の遠心分離機で分離され
た回収切削液体とを導入して異物を除去する異物除去装
置を備えたことを特徴とする請求項３又は４に記載のワ
イヤソー砥粒スラリーの再生装置、に係るものである。
機で分離された回収砥粒と第２の遠心分離機で分離され
た回収切削液体とを導入して異物を除去する異物除去装
置を備えたことを特徴とする請求項３又は４に記載のワ
イヤソー砥粒スラリーの再生装置、に係るものである。
【００１８】上記手段によれば、以下のように作用す
る。
る。
【００１９】請求項１及び３に記載の発明では、第１の
遠心分離機にて使用後の砥粒スラリーが回収砥粒と微粒
混合液体とに分離され、また、第１の遠心分離機にて分
離された微粒混合液体を高密度電場発生装置に導いて高
密度電場内に通すことにより、微粒混合液体中の微粒固
体の粒径を増加させて増径微粒混合液体とし、更に、該
増径微粒混合液体を第２の遠心分離機に導いて増径微粒
固体と回収切削液体とに分離し、前記回収砥粒と回収切
削液体とをスラリー供給装置に導いて再び砥粒スラリー
として利用するようにしているので、高価な新規の砥粒
と新規の切削液体の使用量を削減して、運転コストを大
幅に低減できる。
遠心分離機にて使用後の砥粒スラリーが回収砥粒と微粒
混合液体とに分離され、また、第１の遠心分離機にて分
離された微粒混合液体を高密度電場発生装置に導いて高
密度電場内に通すことにより、微粒混合液体中の微粒固
体の粒径を増加させて増径微粒混合液体とし、更に、該
増径微粒混合液体を第２の遠心分離機に導いて増径微粒
固体と回収切削液体とに分離し、前記回収砥粒と回収切
削液体とをスラリー供給装置に導いて再び砥粒スラリー
として利用するようにしているので、高価な新規の砥粒
と新規の切削液体の使用量を削減して、運転コストを大
幅に低減できる。
【００２０】請求項２及び４に記載の発明によれば、使
用後の砥粒スラリーを、高密度電場発生装置に導いて高
密度電場内に通すことにより、砥粒スラリー中の固体粒
子の粒径を増大させ、その後、第１の遠心分離機に導い
て回収砥粒と増径微粒固体を含有する増径微粒混合液体
とに分離し、更に増径微粒混合液体を第２の遠心分離機
に導いて増径微粒固体と回収切削液体とに分離し、前記
回収砥粒と回収切削液体とをスラリー供給装置に導いて
再び砥粒スラリーとして利用するようにしているので、
高価な新規の砥粒と新規の切削液体の使用量を削減し
て、運転コストを大幅に低減できる。
用後の砥粒スラリーを、高密度電場発生装置に導いて高
密度電場内に通すことにより、砥粒スラリー中の固体粒
子の粒径を増大させ、その後、第１の遠心分離機に導い
て回収砥粒と増径微粒固体を含有する増径微粒混合液体
とに分離し、更に増径微粒混合液体を第２の遠心分離機
に導いて増径微粒固体と回収切削液体とに分離し、前記
回収砥粒と回収切削液体とをスラリー供給装置に導いて
再び砥粒スラリーとして利用するようにしているので、
高価な新規の砥粒と新規の切削液体の使用量を削減し
て、運転コストを大幅に低減できる。
【００２１】請求項１〜４に記載の発明によれば、微粒
固体を増径させた増径微粒混合液体から増径微粒固体を
遠心分離機にて分離するようにしているので、使用後の
砥粒スラリー中の微粒を効果的に分離することができ
る。更に、第２の遠心分離機にて分離される増径微粒固
体の量は非常に少量であり、よって廃棄物の量が減少す
ることにより環境保全の点で有利になると共に、廃棄処
理費用も低減できる効果を奏する。
固体を増径させた増径微粒混合液体から増径微粒固体を
遠心分離機にて分離するようにしているので、使用後の
砥粒スラリー中の微粒を効果的に分離することができ
る。更に、第２の遠心分離機にて分離される増径微粒固
体の量は非常に少量であり、よって廃棄物の量が減少す
ることにより環境保全の点で有利になると共に、廃棄処
理費用も低減できる効果を奏する。
【００２２】請求項５に記載の発明によれば、回収砥粒
と回収切削液体とを導入する異物除去装置によって微粒
が凝集した粗粒或いは切削破片等の異物を分離除去する
ようにしているので、均質で良好な砥粒スラリーを得る
ことができる効果を奏する。
と回収切削液体とを導入する異物除去装置によって微粒
が凝集した粗粒或いは切削破片等の異物を分離除去する
ようにしているので、均質で良好な砥粒スラリーを得る
ことができる効果を奏する。
【００２３】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を、図
示例と共に説明する。
示例と共に説明する。
【００２４】図１は本発明を実施する形態の一例を示す
ブロック図であり、図３と同様のワイヤソー１にて使用
された使用後の砥粒スラリー３’は、排出ポンプ１３を
備えた排出管１４を介して使用済スラリー貯留槽１８に
供給されるようになっている。該使用済スラリー貯留槽
１８は撹拌装置１９を備えて使用後の砥粒スラリー３’
の砥粒が沈殿するのを防止するようにしている。
ブロック図であり、図３と同様のワイヤソー１にて使用
された使用後の砥粒スラリー３’は、排出ポンプ１３を
備えた排出管１４を介して使用済スラリー貯留槽１８に
供給されるようになっている。該使用済スラリー貯留槽
１８は撹拌装置１９を備えて使用後の砥粒スラリー３’
の砥粒が沈殿するのを防止するようにしている。
【００２５】図１中２０は第１の遠心分離機であり、該
第１の遠心分離機２０は、前記使用済スラリー貯留槽１
８内の使用後の砥粒スラリー３’を、ポンプ２１を備え
た導入管２２を介して導入するようにしており、前記使
用後の砥粒スラリー３’を回収砥粒５’と切削屑及び破
砕砥粒を含有する微粒混合液体２３とに分離するように
している。
第１の遠心分離機２０は、前記使用済スラリー貯留槽１
８内の使用後の砥粒スラリー３’を、ポンプ２１を備え
た導入管２２を介して導入するようにしており、前記使
用後の砥粒スラリー３’を回収砥粒５’と切削屑及び破
砕砥粒を含有する微粒混合液体２３とに分離するように
している。
【００２６】前記使用後の砥粒スラリー３’は、新規な
砥粒５と略同等の粒径（１８．５〜２１．５ミクロン程
度）を有した回収砥粒５’と、数ミクロン程度の大きさ
を有している切削屑と、数ミクロン程度の大きさに破砕
された破砕砥粒とが混合された状態となっている。
砥粒５と略同等の粒径（１８．５〜２１．５ミクロン程
度）を有した回収砥粒５’と、数ミクロン程度の大きさ
を有している切削屑と、数ミクロン程度の大きさに破砕
された破砕砥粒とが混合された状態となっている。
【００２７】前記第１の遠心分離機２０としては、例え
ばデカンタ型遠心分離機を用いて、遠心効果により前記
砥粒スラリー３’に３００〜１０００Ｇ（通常では４０
０〜５００Ｇ）を与えることにより、前記回収砥粒５’
と、他の切削屑及び破砕砥粒を含有する微粒混合液体２
３とに効果的に分離することができる。また、前記第１
の遠心分離機２０には、前記デカンタ型遠心分離機の他
に、液体サイクロン等も用いることができる。
ばデカンタ型遠心分離機を用いて、遠心効果により前記
砥粒スラリー３’に３００〜１０００Ｇ（通常では４０
０〜５００Ｇ）を与えることにより、前記回収砥粒５’
と、他の切削屑及び破砕砥粒を含有する微粒混合液体２
３とに効果的に分離することができる。また、前記第１
の遠心分離機２０には、前記デカンタ型遠心分離機の他
に、液体サイクロン等も用いることができる。
【００２８】図１中２４は前記微粒混合液体２３に高密
度電場を作用させて、微粒混合液体２３中の微粒固体の
粒径を増加するようにした高密度電場発生装置である。
度電場を作用させて、微粒混合液体２３中の微粒固体の
粒径を増加するようにした高密度電場発生装置である。
【００２９】電気エネルギーをパルス的（３０〜６０パ
ルス／秒）に短時間（１／１０００〜１００／１０００
秒）で放出させた高密度の電場内（５０００〜２５００
０Ｖ／ｃｍ）に、固体−液体の分散系を通すことによ
り、該分散系の固体粒子の粒径を増加させることができ
ることが知られている（米国特許４，９５７，６０
６）。
ルス／秒）に短時間（１／１０００〜１００／１０００
秒）で放出させた高密度の電場内（５０００〜２５００
０Ｖ／ｃｍ）に、固体−液体の分散系を通すことによ
り、該分散系の固体粒子の粒径を増加させることができ
ることが知られている（米国特許４，９５７，６０
６）。
【００３０】従って、電子エネルギーを使って液状分散
系に存在する固体粒子の粒径を大きくすることができる
高密度電場発生装置２４を利用すれば、微粒混合液体２
３中の微細な切削屑及び破砕砥粒の固体粒子の粒径を増
加させた増径微粒混合液体２３ａとすることができる。
系に存在する固体粒子の粒径を大きくすることができる
高密度電場発生装置２４を利用すれば、微粒混合液体２
３中の微細な切削屑及び破砕砥粒の固体粒子の粒径を増
加させた増径微粒混合液体２３ａとすることができる。
【００３１】高密度電場発生装置２４の下流には、第２
の遠心分離機２５が設けてあり、前記高密度電場発生装
置２４からの増径微粒混合液体２３ａを導入して、該増
径微粒混合液体２３ａを、固体粒子の粒径が増加された
増径微粒固体２６と、回収切削液体６’とに分離するよ
うにしている。
の遠心分離機２５が設けてあり、前記高密度電場発生装
置２４からの増径微粒混合液体２３ａを導入して、該増
径微粒混合液体２３ａを、固体粒子の粒径が増加された
増径微粒固体２６と、回収切削液体６’とに分離するよ
うにしている。
【００３２】使用後の砥粒スラリー３’は、前記したよ
うに比較的高い粘度を有しており、従ってこのように粘
度が高い微粒混合液体２３から、数ミクロン程度の切削
屑及び破砕砥粒を分離することは容易ではないが、前記
高密度電場発生装置２４により数ミクロンの固体粒子の
粒径を例えば数倍に増加することができれば、前記微粒
混合液体２３に３０００Ｇ程度を与えることができるデ
カンタ型遠心分離機を用いて分離を行うと、切削屑と破
砕砥粒からなる増径微粒固体２６と、回収切削液体６’
とに効果的に分離することができる。また、前記第２の
遠心分離機２５には、前記デカンタ型遠心分離機の他
に、分離板型遠心分離機等も用いることができる。
うに比較的高い粘度を有しており、従ってこのように粘
度が高い微粒混合液体２３から、数ミクロン程度の切削
屑及び破砕砥粒を分離することは容易ではないが、前記
高密度電場発生装置２４により数ミクロンの固体粒子の
粒径を例えば数倍に増加することができれば、前記微粒
混合液体２３に３０００Ｇ程度を与えることができるデ
カンタ型遠心分離機を用いて分離を行うと、切削屑と破
砕砥粒からなる増径微粒固体２６と、回収切削液体６’
とに効果的に分離することができる。また、前記第２の
遠心分離機２５には、前記デカンタ型遠心分離機の他
に、分離板型遠心分離機等も用いることができる。
【００３３】図１中２８は異物除去装置であり、該異物
除去装置２８は、前記第１の遠心分離機２０で分離した
回収砥粒５’を導入する一方、前記第２の遠心分離機２
５で分離されて回収切削液体貯溜槽２７に貯留された回
収切削液体６’を、ポンプ２９を備えた回収液体供給管
３０により導入しており、前記回収切削液体６’中の微
粒が凝集して成長した粗粒或いは回収砥粒５’に混合し
た切削破片等の異物３１を分離し、回収砥粒５’と回収
切削液体６’とからなる混合スラリー３２を取り出せる
ようにしている。
除去装置２８は、前記第１の遠心分離機２０で分離した
回収砥粒５’を導入する一方、前記第２の遠心分離機２
５で分離されて回収切削液体貯溜槽２７に貯留された回
収切削液体６’を、ポンプ２９を備えた回収液体供給管
３０により導入しており、前記回収切削液体６’中の微
粒が凝集して成長した粗粒或いは回収砥粒５’に混合し
た切削破片等の異物３１を分離し、回収砥粒５’と回収
切削液体６’とからなる混合スラリー３２を取り出せる
ようにしている。
【００３４】前記異物除去装置２８としては、湿式篩分
装置（振動篩装置）を用いることにより、前記第１の遠
心分離機２０で分離した回収砥粒５’を、第２の遠心分
離機２５で分離された回収切削液体貯溜槽２７からの回
収切削液体６’によって洗浄しながら、異物３１を効果
的に分離することができる。
装置（振動篩装置）を用いることにより、前記第１の遠
心分離機２０で分離した回収砥粒５’を、第２の遠心分
離機２５で分離された回収切削液体貯溜槽２７からの回
収切削液体６’によって洗浄しながら、異物３１を効果
的に分離することができる。
【００３５】前記異物除去装置２８からの混合スラリー
３２は、スラリー供給装置２のスラリー供給槽４に供給
されており、更にスラリー供給槽４には、新規な砥粒５
と新規な切削液体６が所要の割合になるように計量供給
されており、撹拌装置７によって撹拌された均一濃度の
砥粒スラリー３が供給ポンプ８の作動によりワイヤソー
１に供給されるようになっている。
３２は、スラリー供給装置２のスラリー供給槽４に供給
されており、更にスラリー供給槽４には、新規な砥粒５
と新規な切削液体６が所要の割合になるように計量供給
されており、撹拌装置７によって撹拌された均一濃度の
砥粒スラリー３が供給ポンプ８の作動によりワイヤソー
１に供給されるようになっている。
【００３６】以下、上記図１に示した実施の形態例の作
用を説明する。
用を説明する。
【００３７】図１に示すように、スラリー供給装置２に
おけるスラリー供給槽４内の砥粒スラリー３は、供給ポ
ンプ８より供給管９及び下向供給管１１を介してワイヤ
ソー１に供給され、図示しないワイヤと共にシリコンウ
ェハー等の切削加工を行う。
おけるスラリー供給槽４内の砥粒スラリー３は、供給ポ
ンプ８より供給管９及び下向供給管１１を介してワイヤ
ソー１に供給され、図示しないワイヤと共にシリコンウ
ェハー等の切削加工を行う。
【００３８】ワイヤソー１にて使用された使用後の砥粒
スラリー３’は、排出ポンプ１３により排出管１４を介
して使用済スラリー貯留槽１８に供給され、該使用済ス
ラリー貯留槽１８内の使用後の砥粒スラリー３’は、ポ
ンプ２１により導入管２２を介して第１の遠心分離機２
０に導入される。
スラリー３’は、排出ポンプ１３により排出管１４を介
して使用済スラリー貯留槽１８に供給され、該使用済ス
ラリー貯留槽１８内の使用後の砥粒スラリー３’は、ポ
ンプ２１により導入管２２を介して第１の遠心分離機２
０に導入される。
【００３９】第１の遠心分離機２０に導入された使用後
の砥粒スラリー３’は、デカンタ型遠心分離機等による
遠心効果によって３００〜１０００Ｇを与えて分離を行
うことにより、回収砥粒５’と切削屑及び破砕砥粒を含
有する微粒混合液体２３とに効果的に分離される。
の砥粒スラリー３’は、デカンタ型遠心分離機等による
遠心効果によって３００〜１０００Ｇを与えて分離を行
うことにより、回収砥粒５’と切削屑及び破砕砥粒を含
有する微粒混合液体２３とに効果的に分離される。
【００４０】電気エネルギーをパルス的（３０〜６０パ
ルス／秒）で短時間（１／１０００〜１００／１０００
秒）放出することにより高密度の電場（５０００〜２５
０００Ｖ／ｃｍ）を形成するようにしている高密度電場
発生装置２４の前記高密度電場内に、前記第１の遠心分
離機２０にて分離された切削屑及び破砕砥粒を含有する
微粒混合液体２３を通すことにより、該微粒混合液体２
３中の切削屑及び破砕砥粒を増径させて増径微粒混合液
体２３ａとすることができる。
ルス／秒）で短時間（１／１０００〜１００／１０００
秒）放出することにより高密度の電場（５０００〜２５
０００Ｖ／ｃｍ）を形成するようにしている高密度電場
発生装置２４の前記高密度電場内に、前記第１の遠心分
離機２０にて分離された切削屑及び破砕砥粒を含有する
微粒混合液体２３を通すことにより、該微粒混合液体２
３中の切削屑及び破砕砥粒を増径させて増径微粒混合液
体２３ａとすることができる。
【００４１】増径微粒混合液体２３ａは、デカンタ型遠
心分離機等によって遠心効果により３０００Ｇ程度を与
えることができる第２の遠心分離機２５に導入すること
により、脱液された増径微粒固体２６と回収切削液体
６’とに分離される。
心分離機等によって遠心効果により３０００Ｇ程度を与
えることができる第２の遠心分離機２５に導入すること
により、脱液された増径微粒固体２６と回収切削液体
６’とに分離される。
【００４２】前記第２の遠心分離機２５にて脱液除去さ
れる増径微粒固体２６は、砥粒スラリー３中の全固体分
の２〜３％程度であり、従って前記第１の遠心分離機２
０で分離されて再利用される回収砥粒５’の再生率は、
９７〜９８％に達することになる。従って、増径微粒固
体２６が除去された回収切削液体６’には、数ミクロン
程度の微粒が存在していることになるが、しかしこの程
度の微粒が砥粒スラリー３中に存在していてもワイヤソ
ー１の切削性能に有害でないことが実験により証明され
た。また、上記微粒は循環使用されることにより、再び
高密度電場発生装置２４に導かれて増径されることにな
り、増径された増径微粒固体２６は遠心分離機２５によ
って分離されるので、砥粒スラリー３中の微粒の濃度は
略一定に保持されるようになる。
れる増径微粒固体２６は、砥粒スラリー３中の全固体分
の２〜３％程度であり、従って前記第１の遠心分離機２
０で分離されて再利用される回収砥粒５’の再生率は、
９７〜９８％に達することになる。従って、増径微粒固
体２６が除去された回収切削液体６’には、数ミクロン
程度の微粒が存在していることになるが、しかしこの程
度の微粒が砥粒スラリー３中に存在していてもワイヤソ
ー１の切削性能に有害でないことが実験により証明され
た。また、上記微粒は循環使用されることにより、再び
高密度電場発生装置２４に導かれて増径されることにな
り、増径された増径微粒固体２６は遠心分離機２５によ
って分離されるので、砥粒スラリー３中の微粒の濃度は
略一定に保持されるようになる。
【００４３】前記第１の遠心分離機２０で分離した回収
砥粒５’を湿式篩分装置等からなる異物除去装置２８に
導くと共に、前記第２の遠心分離機２５で分離されて回
収切削液体貯溜槽２７に貯留された回収切削液体６’を
前記異物除去装置２８に導き、微粒が凝集して成長した
粗粒或いは切削破片等の異物３１を分離除去して、回収
砥粒５’と回収切削液体６’とからなる混合スラリー３
２をスラリー供給装置２のスラリー供給槽４に供給す
る。
砥粒５’を湿式篩分装置等からなる異物除去装置２８に
導くと共に、前記第２の遠心分離機２５で分離されて回
収切削液体貯溜槽２７に貯留された回収切削液体６’を
前記異物除去装置２８に導き、微粒が凝集して成長した
粗粒或いは切削破片等の異物３１を分離除去して、回収
砥粒５’と回収切削液体６’とからなる混合スラリー３
２をスラリー供給装置２のスラリー供給槽４に供給す
る。
【００４４】前記異物除去装置２８としては、湿式篩分
装置を用いることにより、前記第１の遠心分離機２０で
分離した回収砥粒５’を、第２の遠心分離機２５で分離
された回収切削液体６’によって洗浄しながら、異物３
１を効果的に分離することができる。
装置を用いることにより、前記第１の遠心分離機２０で
分離した回収砥粒５’を、第２の遠心分離機２５で分離
された回収切削液体６’によって洗浄しながら、異物３
１を効果的に分離することができる。
【００４５】スラリー供給装置２のスラリー供給槽４に
は、前記異物除去装置２８からの混合スラリー３２が供
給されると共に、新規な砥粒５と新規な切削液体６が計
量されて供給され、これによって所定濃度の砥粒スラリ
ー３を製造することができる。前記スラリー供給装置２
で所定濃度に調整された砥粒スラリー３は、供給ポンプ
８を備えた供給管９によりワイヤソー１に供給される。
は、前記異物除去装置２８からの混合スラリー３２が供
給されると共に、新規な砥粒５と新規な切削液体６が計
量されて供給され、これによって所定濃度の砥粒スラリ
ー３を製造することができる。前記スラリー供給装置２
で所定濃度に調整された砥粒スラリー３は、供給ポンプ
８を備えた供給管９によりワイヤソー１に供給される。
【００４６】上記したように、図１の形態例によれば、
第１の遠心分離機２０にて使用後の砥粒スラリー３’が
回収砥粒５’と微粒混合液体２３とに分離され、また、
第１の遠心分離機２０にて分離された微粒混合液体２３
を高密度電場発生装置２４に導いて高密度電場内に通す
ことにより、微粒混合液体２３中の微粒固体の粒径を増
加させて増径微粒混合液体２３ａとし、更に、該増径微
粒混合液体２３ａを第２の遠心分離機２５に導いて増径
微粒固体２６と回収切削液体６’とに分離し、前記回収
砥粒５’と回収切削液体６’とをスラリー供給装置２に
導いて再び砥粒スラリー３として利用するようにしてい
るので、高価な新規の砥粒５と新規の切削液体６の使用
量を削減して、運転コストを大幅に低減することができ
る。
第１の遠心分離機２０にて使用後の砥粒スラリー３’が
回収砥粒５’と微粒混合液体２３とに分離され、また、
第１の遠心分離機２０にて分離された微粒混合液体２３
を高密度電場発生装置２４に導いて高密度電場内に通す
ことにより、微粒混合液体２３中の微粒固体の粒径を増
加させて増径微粒混合液体２３ａとし、更に、該増径微
粒混合液体２３ａを第２の遠心分離機２５に導いて増径
微粒固体２６と回収切削液体６’とに分離し、前記回収
砥粒５’と回収切削液体６’とをスラリー供給装置２に
導いて再び砥粒スラリー３として利用するようにしてい
るので、高価な新規の砥粒５と新規の切削液体６の使用
量を削減して、運転コストを大幅に低減することができ
る。
【００４７】更に、第２の遠心分離機２５にて分離され
る増径微粒固体２６の量は非常に少量であり、よって廃
棄物の量が減少することにより環境保全の点で有利にな
ると共に、廃棄処理費用も低減することができる。
る増径微粒固体２６の量は非常に少量であり、よって廃
棄物の量が減少することにより環境保全の点で有利にな
ると共に、廃棄処理費用も低減することができる。
【００４８】また、回収砥粒５’と回収切削液体６’と
を導入する異物除去装置２８によって微粒が凝集した粗
粒或いは切削破片等の異物３１を分離除去するようにし
ているので、均質で良好な砥粒スラリー３を得ることが
できる。
を導入する異物除去装置２８によって微粒が凝集した粗
粒或いは切削破片等の異物３１を分離除去するようにし
ているので、均質で良好な砥粒スラリー３を得ることが
できる。
【００４９】図２は本発明を実施する形態の他の例を示
すブロック図であり、図１と同一のものには同一の符号
を付しており、図１と異なる点は、図１において第１の
遠心分離機２０と第２の遠心分離機２５との間に設けた
高密度電場発生装置２４を廃止し、使用済スラリー貯留
槽１８から第１の遠心分離機２０に使用後の砥粒スラリ
ー３’を供給する導入管２２に高密度電場発生装置２４
を備えた点にある。
すブロック図であり、図１と同一のものには同一の符号
を付しており、図１と異なる点は、図１において第１の
遠心分離機２０と第２の遠心分離機２５との間に設けた
高密度電場発生装置２４を廃止し、使用済スラリー貯留
槽１８から第１の遠心分離機２０に使用後の砥粒スラリ
ー３’を供給する導入管２２に高密度電場発生装置２４
を備えた点にある。
【００５０】図２の形態例においては、使用済スラリー
貯留槽１８からの使用後の砥粒スラリー３’を、先ず高
密度電場発生装置２４に導いて、高密度電場内に通すこ
とにより砥粒スラリー３’中の固体粒子の粒径を増大さ
せ、その後、第１の遠心分離機２０に導いて回収砥粒
５’と増径微粒固体を含有する増径微粒混合液体２３ａ
とに分離し、更に前記増径微粒混合液体２３ａを第２の
遠心分離機２５に導いて増径微粒固体２６と回収切削液
体６’とに分離するようにしているので、図１の形態例
と同様に、増径微粒混合液体２３ａから増径微粒固体２
６を効果的に分離して回収切削液体６’を効果的に回収
することができる。
貯留槽１８からの使用後の砥粒スラリー３’を、先ず高
密度電場発生装置２４に導いて、高密度電場内に通すこ
とにより砥粒スラリー３’中の固体粒子の粒径を増大さ
せ、その後、第１の遠心分離機２０に導いて回収砥粒
５’と増径微粒固体を含有する増径微粒混合液体２３ａ
とに分離し、更に前記増径微粒混合液体２３ａを第２の
遠心分離機２５に導いて増径微粒固体２６と回収切削液
体６’とに分離するようにしているので、図１の形態例
と同様に、増径微粒混合液体２３ａから増径微粒固体２
６を効果的に分離して回収切削液体６’を効果的に回収
することができる。
【００５１】尚、本発明は図示した形態例にのみ限定さ
れるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内に
おいて種々変更を加え得る。
れるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内に
おいて種々変更を加え得る。
【００５２】
【発明の効果】請求項１及び３に記載の発明によれば、
第１の遠心分離機にて使用後の砥粒スラリーが回収砥粒
と微粒混合液体とに分離され、また、第１の遠心分離機
にて分離された微粒混合液体を高密度電場発生装置に導
いて高密度電場内に通すことにより、微粒混合液体中の
微粒固体の粒径を増加させて増径微粒混合液体とし、更
に、該増径微粒混合液体を第２の遠心分離機に導いて増
径微粒固体と回収切削液体とに分離し、前記回収砥粒と
回収切削液体とをスラリー供給装置に導いて再び砥粒ス
ラリーとして利用するようにしているので、高価な新規
の砥粒と新規の切削液体の使用量を削減して、運転コス
トを大幅に低減できる効果を奏する。
第１の遠心分離機にて使用後の砥粒スラリーが回収砥粒
と微粒混合液体とに分離され、また、第１の遠心分離機
にて分離された微粒混合液体を高密度電場発生装置に導
いて高密度電場内に通すことにより、微粒混合液体中の
微粒固体の粒径を増加させて増径微粒混合液体とし、更
に、該増径微粒混合液体を第２の遠心分離機に導いて増
径微粒固体と回収切削液体とに分離し、前記回収砥粒と
回収切削液体とをスラリー供給装置に導いて再び砥粒ス
ラリーとして利用するようにしているので、高価な新規
の砥粒と新規の切削液体の使用量を削減して、運転コス
トを大幅に低減できる効果を奏する。
【００５３】請求項２及び４に記載の発明によれば、使
用後の砥粒スラリーを、高密度電場発生装置に導いて高
密度電場内に通すことにより、砥粒スラリー中の固体粒
子の粒径を増大させ、その後、第１の遠心分離機に導い
て回収砥粒と増径微粒固体を含有する増径微粒混合液体
とに分離し、更に増径微粒混合液体を第２の遠心分離機
に導いて増径微粒固体と回収切削液体とに分離し、前記
回収砥粒と回収切削液体とをスラリー供給装置に導いて
再び砥粒スラリーとして利用するようにしているので、
高価な新規の砥粒と新規の切削液体の使用量を削減し
て、運転コストを大幅に低減できる効果を奏する。
用後の砥粒スラリーを、高密度電場発生装置に導いて高
密度電場内に通すことにより、砥粒スラリー中の固体粒
子の粒径を増大させ、その後、第１の遠心分離機に導い
て回収砥粒と増径微粒固体を含有する増径微粒混合液体
とに分離し、更に増径微粒混合液体を第２の遠心分離機
に導いて増径微粒固体と回収切削液体とに分離し、前記
回収砥粒と回収切削液体とをスラリー供給装置に導いて
再び砥粒スラリーとして利用するようにしているので、
高価な新規の砥粒と新規の切削液体の使用量を削減し
て、運転コストを大幅に低減できる効果を奏する。
【００５４】請求項１〜４に記載の発明によれば、微粒
固体を増径させた増径微粒混合液体から増径微粒固体を
遠心分離機にて分離するようにしているので、使用後の
砥粒スラリー中の微粒を効果的に分離することができる
効果を奏する。
固体を増径させた増径微粒混合液体から増径微粒固体を
遠心分離機にて分離するようにしているので、使用後の
砥粒スラリー中の微粒を効果的に分離することができる
効果を奏する。
【００５５】更に、第２の遠心分離機にて分離される増
径微粒固体の量は非常に少量であり、よって廃棄物の量
が減少することにより環境保全の点で有利になると共
に、廃棄処理費用も低減できる効果を奏する。
径微粒固体の量は非常に少量であり、よって廃棄物の量
が減少することにより環境保全の点で有利になると共
に、廃棄処理費用も低減できる効果を奏する。
【００５６】請求項５に記載の発明によれば、回収砥粒
と回収切削液体とを導入する異物除去装置によって微粒
が凝集した粗粒或いは切削破片等の異物を分離除去する
ようにしているので、均質で良好な砥粒スラリーを得る
ことができる効果を奏する。
と回収切削液体とを導入する異物除去装置によって微粒
が凝集した粗粒或いは切削破片等の異物を分離除去する
ようにしているので、均質で良好な砥粒スラリーを得る
ことができる効果を奏する。
【図１】本発明を実施する形態の一例を示す系統ブロッ
ク図である。
ク図である。
【図２】本発明を実施する形態の他の例を示す系統ブロ
ック図である。
ック図である。
【図３】従来のワイヤソーにおける砥粒スラリーの供給
経路を示すブロック図である。
経路を示すブロック図である。
１ ワイヤソー ２ スラリー供給装置 ３ 砥粒スラリー ３’ 使用後の砥粒スラリー ５ 新規な砥粒 ５’ 回収砥粒 ６ 新規な切削液体 ６’ 回収切削液体 ２０ 第１の遠心分離機 ２３ 微粒混合液体 ２３ａ 増径微粒混合液体 ２４ 高密度電場発生装置 ２５ 第２の遠心分離機 ２６ 増径微粒固体 ２８ 異物除去装置 ３１ 異物
Claims (5)
- 【請求項１】 ワイヤソーに用いた使用後の砥粒スラリ
ーを第１の遠心分離機に導いて、回収砥粒と微細な切削
屑及び破砕砥粒を含有する微粒混合液体とに分離し、続
いて前記微粒混合液体を高密度電場内に通すことにより
微粒混合液体中の微粒固体の粒径を増大させた後、第２
の遠心分離機に導いて増径微粒固体と回収切削液体とに
分離し、前記第１の遠心分離機により分離した回収砥粒
と第２の遠心分離機により分離した回収切削液体とを混
合し砥粒スラリーとして再使用することを特徴とするワ
イヤソー砥粒スラリーの再生方法。 - 【請求項２】 ワイヤソーに用いた使用後の砥粒スラリ
ーを高密度電場内に通すことにより砥粒スラリー中の固
体粒子の粒径を増大させ、続いて第１の遠心分離機に導
いて回収砥粒と増径微粒固体を含有する増径微粒混合液
体とに分離し、更に前記増径微粒混合液体を第２の遠心
分離機に導いて増径微粒固体と回収切削液体とに分離
し、前記第１の遠心分離機により分離した回収砥粒と第
２の遠心分離機により分離した回収切削液体とを混合し
砥粒スラリーとして再使用することを特徴とするワイヤ
ソー砥粒スラリーの再生方法。 - 【請求項３】 ワイヤソーからの使用後の砥粒スラリー
を導入して回収砥粒と微細な切削屑及び破砕砥粒を含有
する微粒混合液体とに分離する第１の遠心分離機と、該
第１の遠心分離機にて分離した微粒混合液体に高密度電
場を作用させて微粒混合液体中の微粒固体の粒径を増加
する高密度電場発生装置と、該高密度電場発生装置によ
り粒径が増加された増径微粒固体と回収切削液体とを分
離する第２の遠心分離機と、前記第１の遠心分離機で分
離された回収砥粒と前記第２の遠心分離機で分離された
回収切削液体を導入すると共に新規な砥粒と新規な切削
液体とを導入して砥粒スラリーをワイヤソーに供給する
スラリー供給装置とを備えたことを特徴とするワイヤソ
ー砥粒スラリーの再生装置。 - 【請求項４】 ワイヤソーからの使用後の砥粒スラリー
に高密度電場を作用させて砥粒スラリー中の固体粒子の
粒径を増加する高密度電場発生装置と、該高密度電場発
生装置により粒径が増加された固体粒子を含有する砥粒
スラリーを導入して回収砥粒と増径微粒混合液体とを分
離する第１の遠心分離機と、該第１の遠心分離機にて分
離された増径微粒混合液体から増径微粒固体と回収切削
液体とを分離する第２の遠心分離機と、前記第１の遠心
分離機で分離された回収砥粒と前記第２の遠心分離機で
分離された回収切削液体を導入すると共に新規な砥粒と
新規な切削液体を導入して砥粒スラリーをワイヤソーに
供給するスラリー供給装置とを備えたことを特徴とする
ワイヤソー砥粒スラリーの再生装置。 - 【請求項５】 第１の遠心分離機で分離された回収砥粒
と第２の遠心分離機で分離された回収切削液体とを導入
して異物を除去する異物除去装置を備えたことを特徴と
する請求項３又は４に記載のワイヤソー砥粒スラリーの
再生装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32613897A JPH11156719A (ja) | 1997-11-27 | 1997-11-27 | ワイヤソー砥粒スラリーの再生方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32613897A JPH11156719A (ja) | 1997-11-27 | 1997-11-27 | ワイヤソー砥粒スラリーの再生方法及び装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11156719A true JPH11156719A (ja) | 1999-06-15 |
Family
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- 1997-11-27 JP JP32613897A patent/JPH11156719A/ja active Pending
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