JPH09127470A - 液晶パネルの検査装置および検査方法 - Google Patents
液晶パネルの検査装置および検査方法Info
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- JPH09127470A JPH09127470A JP27935895A JP27935895A JPH09127470A JP H09127470 A JPH09127470 A JP H09127470A JP 27935895 A JP27935895 A JP 27935895A JP 27935895 A JP27935895 A JP 27935895A JP H09127470 A JPH09127470 A JP H09127470A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 駆動用回路未実装の液晶パネルの表示品位検
査と端子間抵抗検査を効率的に行う。 【解決手段】 駆動用回路未実装の液晶パネルに直接駆
動用回路をコンタクトさせて液晶パネルの表示品位検査
を行う検査装置において、直接駆動用回路の駆動用半導
体装置に、表示品位検査と端子間抵抗検査とを切り替え
る検査切り替え手段と、前記端子間抵抗検査における出
力状態を設定する出力状態設定手段とを具備した端子間
抵抗測定用のマトリックス回路とを設け、検査切り替え
手段を切り替えることによって液晶パネルの表示品位検
査と端子間抵抗検査を行う液晶パネルの検査装置を構成
する。また、端子間抵抗検査は、上述した液晶パネルの
検査装置の駆動用半導体装置の消費電流を測定して行
う。 【効果】 液晶パネルの表示品位検査と端子間抵抗検査
が同一工程で実施でき、工程が簡略化できる。
査と端子間抵抗検査を効率的に行う。 【解決手段】 駆動用回路未実装の液晶パネルに直接駆
動用回路をコンタクトさせて液晶パネルの表示品位検査
を行う検査装置において、直接駆動用回路の駆動用半導
体装置に、表示品位検査と端子間抵抗検査とを切り替え
る検査切り替え手段と、前記端子間抵抗検査における出
力状態を設定する出力状態設定手段とを具備した端子間
抵抗測定用のマトリックス回路とを設け、検査切り替え
手段を切り替えることによって液晶パネルの表示品位検
査と端子間抵抗検査を行う液晶パネルの検査装置を構成
する。また、端子間抵抗検査は、上述した液晶パネルの
検査装置の駆動用半導体装置の消費電流を測定して行
う。 【効果】 液晶パネルの表示品位検査と端子間抵抗検査
が同一工程で実施でき、工程が簡略化できる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は液晶パネルの表示品
位検査と端子間抵抗検査とを行う検査装置、および端子
間抵抗の検査方法に関するものである。
位検査と端子間抵抗検査とを行う検査装置、および端子
間抵抗の検査方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図３および図４を参照して従来の液晶パ
ネルの検査工程について説明する。液晶パネル１８の検
査工程では、駆動用回路未実装の液晶パネル１８に直接
駆動用回路をコンタクトさせて欠陥箇所を検出する表示
品位検査と、液晶パネル内部の電流のリーク量を検出す
る端子間抵抗検査が行われる。
ネルの検査工程について説明する。液晶パネル１８の検
査工程では、駆動用回路未実装の液晶パネル１８に直接
駆動用回路をコンタクトさせて欠陥箇所を検出する表示
品位検査と、液晶パネル内部の電流のリーク量を検出す
る端子間抵抗検査が行われる。
【０００３】従来、上記の表示品位検査は、図３に示す
ように、液晶パネルを実駆動点灯（駆動用半導体装置に
よる点灯）させるための信号を入力する液晶パネル駆動
信号発生装置１１と、入力信号を制御するための液晶パ
ネル駆動制御回路１５と、液晶パネル１８を点灯表示さ
せるための駆動用半導体装置１６と、液晶パネル１８の
端子部に駆動用半導体装置１６の出力をコンタクトさせ
るための検査プローブ１７と、これら駆動回路とバック
ライト１９により点灯表示した液晶パネル１８の表示画
面を撮影し読み取るためのＣＣＤカメラユニット２０
と、そのＣＣＤカメラユニット２０を制御するためのＣ
ＣＤカメラ制御装置１３、および撮像し読み取った表示
画面を画像処理し欠陥検出するための欠陥検出装置１４
とを備えた検出装置を用い、駆動回路を検査プローブ１
７を介し、または、直接コンタクトすることで液晶パネ
ル１８を実駆動点灯させて行われていた。
ように、液晶パネルを実駆動点灯（駆動用半導体装置に
よる点灯）させるための信号を入力する液晶パネル駆動
信号発生装置１１と、入力信号を制御するための液晶パ
ネル駆動制御回路１５と、液晶パネル１８を点灯表示さ
せるための駆動用半導体装置１６と、液晶パネル１８の
端子部に駆動用半導体装置１６の出力をコンタクトさせ
るための検査プローブ１７と、これら駆動回路とバック
ライト１９により点灯表示した液晶パネル１８の表示画
面を撮影し読み取るためのＣＣＤカメラユニット２０
と、そのＣＣＤカメラユニット２０を制御するためのＣ
ＣＤカメラ制御装置１３、および撮像し読み取った表示
画面を画像処理し欠陥検出するための欠陥検出装置１４
とを備えた検出装置を用い、駆動回路を検査プローブ１
７を介し、または、直接コンタクトすることで液晶パネ
ル１８を実駆動点灯させて行われていた。
【０００４】一方、端子間抵抗検査は、図４に示すよう
に、端子間抵を測定するための端子間抵抗測定装置１２
と、被測定端子を選択するための端子間抵抗測定用マト
リックス回路２１と、端子間抵抗測定装置１２と液晶パ
ネル１８の端子部を端子間抵抗測定用マトリックス回路
２１を介して直接コンタクトさせるための検査プローブ
１７とを備えた検査装置を用い、液晶パネル１８の端子
部に検査プローブ１７を介し端子間抵抗測定装置１２を
接続することにより行われていた。
に、端子間抵を測定するための端子間抵抗測定装置１２
と、被測定端子を選択するための端子間抵抗測定用マト
リックス回路２１と、端子間抵抗測定装置１２と液晶パ
ネル１８の端子部を端子間抵抗測定用マトリックス回路
２１を介して直接コンタクトさせるための検査プローブ
１７とを備えた検査装置を用い、液晶パネル１８の端子
部に検査プローブ１７を介し端子間抵抗測定装置１２を
接続することにより行われていた。
【０００５】しかしながら、上述した表示品位検査と端
子間抵抗検査は、駆動用回路未実装の液晶パネル１８を
検査するという共通点があるにもかかわらず、表示品位
検査においては駆動用回路を用いて実駆動点灯させる
が、駆動用回路を必要としない端子間抵抗検査は別工程
での検査となるため、高価な検査装置が各々必要にな
り、また、必要以上に時間を要するという問題点を有し
ていた。
子間抵抗検査は、駆動用回路未実装の液晶パネル１８を
検査するという共通点があるにもかかわらず、表示品位
検査においては駆動用回路を用いて実駆動点灯させる
が、駆動用回路を必要としない端子間抵抗検査は別工程
での検査となるため、高価な検査装置が各々必要にな
り、また、必要以上に時間を要するという問題点を有し
ていた。
【０００６】そこで本発明は、従来のこのような問題点
を解決するため、液晶パネルに駆動用回路をコンタクト
させた状態でも端子間抵抗検査ができる液晶パネルの検
査装置および検査方法を提供することを目的とするもの
である。
を解決するため、液晶パネルに駆動用回路をコンタクト
させた状態でも端子間抵抗検査ができる液晶パネルの検
査装置および検査方法を提供することを目的とするもの
である。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明はかかる課題に鑑
みなされたものであって、駆動用回路未実装の液晶パネ
ルに直接駆動用回路をコンタクトさせて液晶パネルの表
示品位検査を行う検査装置において、前記直接駆動用回
路の駆動用半導体装置に、表示品位検査と端子間抵抗検
査とを切り替える検査切り替え手段と、前記端子間抵抗
検査における出力状態を設定する出力状態設定手段とを
具備した端子間抵抗測定用のマトリックス回路とを設
け、前記検査切り替え手段を切り替えることによって液
晶パネルの表示品位検査と端子間抵抗検査を行う液晶パ
ネルの検査装置を構成する。
みなされたものであって、駆動用回路未実装の液晶パネ
ルに直接駆動用回路をコンタクトさせて液晶パネルの表
示品位検査を行う検査装置において、前記直接駆動用回
路の駆動用半導体装置に、表示品位検査と端子間抵抗検
査とを切り替える検査切り替え手段と、前記端子間抵抗
検査における出力状態を設定する出力状態設定手段とを
具備した端子間抵抗測定用のマトリックス回路とを設
け、前記検査切り替え手段を切り替えることによって液
晶パネルの表示品位検査と端子間抵抗検査を行う液晶パ
ネルの検査装置を構成する。
【０００８】また、前記端子間抵抗検査は、請求項１に
記載した液晶パネルの検査装置の駆動用半導体装置の消
費電流を測定して行うことにより上記課題を解決する。
記載した液晶パネルの検査装置の駆動用半導体装置の消
費電流を測定して行うことにより上記課題を解決する。
【０００９】上記のように構成された液晶パネルの検査
装置は、液晶パネルの表示品位検査を実施する際には、
駆動回路からの駆動信号により駆動用半導体装置を介し
実駆動点灯され、実駆動による表示品位検査が可能とな
る。また、液晶パネルの端子間抵抗検査を実施する際に
は、上記駆動用半導体装置の検査切り替え手段により表
示品位検査状態から端子間抵抗検査に切り替え、その端
子間抵抗検査状態における出力状態を設定できる出力状
態設定手段により、駆動用半導体装置の出力状態を設定
することで液晶パネルの端子間に一定範囲内の電圧が印
加でき、そこに流れるリーク電流を測定することにより
端子間抵抗検査を行う。これにより、液晶パネルの表示
品位検査と端子間抵抗検査が同一工程で可能となり、工
程省略化が図れる。
装置は、液晶パネルの表示品位検査を実施する際には、
駆動回路からの駆動信号により駆動用半導体装置を介し
実駆動点灯され、実駆動による表示品位検査が可能とな
る。また、液晶パネルの端子間抵抗検査を実施する際に
は、上記駆動用半導体装置の検査切り替え手段により表
示品位検査状態から端子間抵抗検査に切り替え、その端
子間抵抗検査状態における出力状態を設定できる出力状
態設定手段により、駆動用半導体装置の出力状態を設定
することで液晶パネルの端子間に一定範囲内の電圧が印
加でき、そこに流れるリーク電流を測定することにより
端子間抵抗検査を行う。これにより、液晶パネルの表示
品位検査と端子間抵抗検査が同一工程で可能となり、工
程省略化が図れる。
【００１０】また、上記した液晶パネルの端子間抵抗検
査の端子間に印加される一定範囲内の電圧は、駆動用半
導体装置の電源端子から供給することで、駆動用半導体
装置の電源端子から供給される電圧が液晶パネルの端子
に印加されることになり、従って、駆動用半導体装置の
待機時の消費電流を測定することで端子間抵抗検査が行
われる。更に、電源端子から電圧を供給することで、駆
動用半導体装置に追加される端子間抵抗測定用の端子の
削減も実現できることになる。
査の端子間に印加される一定範囲内の電圧は、駆動用半
導体装置の電源端子から供給することで、駆動用半導体
装置の電源端子から供給される電圧が液晶パネルの端子
に印加されることになり、従って、駆動用半導体装置の
待機時の消費電流を測定することで端子間抵抗検査が行
われる。更に、電源端子から電圧を供給することで、駆
動用半導体装置に追加される端子間抵抗測定用の端子の
削減も実現できることになる。
【００１１】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態について、図
１および図２を参照して説明する。従来と同一部分につ
いては説明を簡略化する。
１および図２を参照して説明する。従来と同一部分につ
いては説明を簡略化する。
【００１２】まず、図２は本形態例の液晶パネル検査装
置の概略を示し、従来例と比して端子間抵抗測定装置１
２と、端子間抵抗を測定するために表示品位検査と抵抗
検査とを切り替える検査切り替え手段と、その端子間抵
抗検査における出力状態を設定できる出力状態設定手段
とを備えている端子間抵抗測定用のマトリックス回路を
搭載した駆動用半導体装置１６を具備した構成になって
いる。
置の概略を示し、従来例と比して端子間抵抗測定装置１
２と、端子間抵抗を測定するために表示品位検査と抵抗
検査とを切り替える検査切り替え手段と、その端子間抵
抗検査における出力状態を設定できる出力状態設定手段
とを備えている端子間抵抗測定用のマトリックス回路を
搭載した駆動用半導体装置１６を具備した構成になって
いる。
【００１３】図１の駆動用半導体装置の端子間抵抗測定
用のマトリックス回路１は、端子間抵抗を測定するため
の表示品位検査と抵抗検査を切り替える検査切り替え手
段、および、その端子間抵抗検査状態における出力状態
を設定できる出力状態設定手段とを備えている。また、
端子間抵抗を測定するために表示品位検査と抵抗検査と
を切り替える検査切り替え手段としてモード設定用入力
端子２があり、前記モード設定用入力端子２にハイレベ
ル、または、ローレベルの電圧を印加することによって
切り替えができるようになっている。
用のマトリックス回路１は、端子間抵抗を測定するため
の表示品位検査と抵抗検査を切り替える検査切り替え手
段、および、その端子間抵抗検査状態における出力状態
を設定できる出力状態設定手段とを備えている。また、
端子間抵抗を測定するために表示品位検査と抵抗検査と
を切り替える検査切り替え手段としてモード設定用入力
端子２があり、前記モード設定用入力端子２にハイレベ
ル、または、ローレベルの電圧を印加することによって
切り替えができるようになっている。
【００１４】例えば、モード設定用入力端子２にハイレ
ベルの電圧が入力された場合にスイッチ３がオンする
と、駆動用半導体装置１６の出力ＯＵＴ１〜ＯＵＴｎに
端子間抵抗測定用のマトリックス回路１が接続され、出
力設定端子４、５から入力される電圧レベルに対応して
出力電圧が設定される。この出力を検査プローブ１７を
介して液晶パネル１８の端子部にコンタクトすることで
液晶パネル１８の端子に検査用外部電圧が印加され、そ
こに流れる電流を測定することで抵抗検査が行われるも
のである。
ベルの電圧が入力された場合にスイッチ３がオンする
と、駆動用半導体装置１６の出力ＯＵＴ１〜ＯＵＴｎに
端子間抵抗測定用のマトリックス回路１が接続され、出
力設定端子４、５から入力される電圧レベルに対応して
出力電圧が設定される。この出力を検査プローブ１７を
介して液晶パネル１８の端子部にコンタクトすることで
液晶パネル１８の端子に検査用外部電圧が印加され、そ
こに流れる電流を測定することで抵抗検査が行われるも
のである。
【００１５】また、駆動用半導体装置１６の出力状態を
設定するため、上記出力設定端子４、５から、設定した
い出力状態に応じて、ハイレベル、または、ローレベル
の電圧を印加することにより、出力ＯＵＴ１〜ＯＵＴｎ
の出力電圧が設定でき、出力設定用入力端子６にハイレ
ベル、または、ローレベルの電圧を印加することで出力
設定ができる。
設定するため、上記出力設定端子４、５から、設定した
い出力状態に応じて、ハイレベル、または、ローレベル
の電圧を印加することにより、出力ＯＵＴ１〜ＯＵＴｎ
の出力電圧が設定でき、出力設定用入力端子６にハイレ
ベル、または、ローレベルの電圧を印加することで出力
設定ができる。
【００１６】例えば、前記モード設定用入力端子２から
の入力信号によって端子間抵抗検査のモードに設定した
後、出力設定用入力端子６にハイレベルの電圧が入力さ
れた場合にスイッチ７が図１に示すように設定される
と、出力設定端子４にハイレベルの電圧、出力設定端子
５にはローレベルの電圧を印加させたとき、奇数出力Ｏ
ＵＴ１、ＯＵＴ３・・・の出力は、出力設定端子４から
入力したハイレベルの電圧となり、偶数出力ＯＵＴ２、
ＯＵＴ４・・・の出力は、出力設定端子５から入力した
ローレベルの電圧になる。
の入力信号によって端子間抵抗検査のモードに設定した
後、出力設定用入力端子６にハイレベルの電圧が入力さ
れた場合にスイッチ７が図１に示すように設定される
と、出力設定端子４にハイレベルの電圧、出力設定端子
５にはローレベルの電圧を印加させたとき、奇数出力Ｏ
ＵＴ１、ＯＵＴ３・・・の出力は、出力設定端子４から
入力したハイレベルの電圧となり、偶数出力ＯＵＴ２、
ＯＵＴ４・・・の出力は、出力設定端子５から入力した
ローレベルの電圧になる。
【００１７】また、出力設定用端子６にローレベルの電
圧が入力された場合には、スイッチ７は上述した状態と
は逆になり、奇数出力ＯＵＴ１、ＯＵＴ３・・・の出力
は、出力設定端子５から入力したローレベルの電圧とな
り、偶数出力ＯＵＴ２、ＯＵＴ４・・・の出力は、出力
設定端子４から入力したハイレベルの電圧になる。
圧が入力された場合には、スイッチ７は上述した状態と
は逆になり、奇数出力ＯＵＴ１、ＯＵＴ３・・・の出力
は、出力設定端子５から入力したローレベルの電圧とな
り、偶数出力ＯＵＴ２、ＯＵＴ４・・・の出力は、出力
設定端子４から入力したハイレベルの電圧になる。
【００１８】つまり、出力ＯＵＴ１〜ＯＵＴｎは、出力
設定端子４、５から入力されるハイレベル、および、ロ
ーレベルの電圧により千鳥状態の設定となり、この出力
を検査プローブ１７を介して液晶パネル１８の端子部に
コンタクトし、出力設定端子４、または、出力設定端子
５に流れる電流を測定することで端子間抵抗検査を行う
ことができる。
設定端子４、５から入力されるハイレベル、および、ロ
ーレベルの電圧により千鳥状態の設定となり、この出力
を検査プローブ１７を介して液晶パネル１８の端子部に
コンタクトし、出力設定端子４、または、出力設定端子
５に流れる電流を測定することで端子間抵抗検査を行う
ことができる。
【００１９】このとき出力設定端子４、５を各々、駆動
用半導体装置１６の電源端子と接地端子、または、負電
源端子に接続するようにすれば、駆動用半導体装置１６
の待機時電源電流を測定することで、端子間抵抗検査が
行えることになる。尚、本形態例の図は、出力状態を千
鳥状態に設定して端子間抵抗検査を行うように設定して
あるが、出力設定端子４、５の接続、および、スイッチ
７の接点の設定を考慮することで、任意に出力状態を設
定可能となる。
用半導体装置１６の電源端子と接地端子、または、負電
源端子に接続するようにすれば、駆動用半導体装置１６
の待機時電源電流を測定することで、端子間抵抗検査が
行えることになる。尚、本形態例の図は、出力状態を千
鳥状態に設定して端子間抵抗検査を行うように設定して
あるが、出力設定端子４、５の接続、および、スイッチ
７の接点の設定を考慮することで、任意に出力状態を設
定可能となる。
【００２０】このように、本形態例の液晶パネル検査装
置では、端子間抵抗測定装置１２を備え、駆動用半導体
装置１６に端子間抵抗測定用のマトリクス回路１を搭載
することにより、実駆動での表示品位検査と端子間抵抗
検査が同一工程で同一検査用治具で実施することができ
るので、工程の簡略化が図れる。
置では、端子間抵抗測定装置１２を備え、駆動用半導体
装置１６に端子間抵抗測定用のマトリクス回路１を搭載
することにより、実駆動での表示品位検査と端子間抵抗
検査が同一工程で同一検査用治具で実施することができ
るので、工程の簡略化が図れる。
【００２１】
【発明の効果】従来の液晶パネル検査装置に抵抗測定装
置を備え、駆動回路の駆動用半導体装置に端子間抵抗測
定用のマトリックス回路を搭載することにより、表示品
位検査と端子間抵抗検査が同一工程で実施できるため、
端子間抵抗検査に要していた時間が省けると共に、同一
治具、装置で検査可能となるため、検査工程における設
備投資が削減できる。
置を備え、駆動回路の駆動用半導体装置に端子間抵抗測
定用のマトリックス回路を搭載することにより、表示品
位検査と端子間抵抗検査が同一工程で実施できるため、
端子間抵抗検査に要していた時間が省けると共に、同一
治具、装置で検査可能となるため、検査工程における設
備投資が削減できる。
【図１】本発明の一実施例における液晶パネル検査装置
の駆動用半導体装置に搭載した端子間抵測定用マトリッ
クス回路のブロック図である。
の駆動用半導体装置に搭載した端子間抵測定用マトリッ
クス回路のブロック図である。
【図２】本発明のよる液晶パネル検査装置の概略図であ
る。
る。
【図３】従来の液晶パネル検査装置の概略図である。
【図４】従来の端子間抵測検査装置の概略図である。
【符号の説明】 １ 端子間抵測定用マトリックス回路 ２ モード設定用入力端子（検査切り替え手段） ３ モード設定用スイッチ（検査切り替え手段） ４ 出力設定端子（出力状態設定手段） ５ 出力設定端子（出力状態設定手段） ６ 出力設定用入力端子（出力状態設定手段） ７ 出力設定用スイッチ（出力状態設定手段） １０ 液晶駆動信号出力回路 １１ 液晶パネル駆動信号発生回路 １２ 端子間抵抗測定装置 １３ ＣＣＤカメラ制御装置 １４ 欠陥検出装置 １５ 液晶パネル駆動制御回路 １６ 駆動用半導体装置 １７ 検査プローブ １８ 液晶パネル １９ バックライト ２０ ＣＣＤカメラユニット ２１ 端子間抵抗測定用マトリックス回路
Claims (2)
- 【請求項１】 駆動用回路未実装の液晶パネルに直接駆
動用回路をコンタクトさせて液晶パネルの表示品位検査
を行う検査装置において、 前記直接駆動用回路の駆動用半導体装置に、 表示品位検査と端子間抵抗検査とを切り替える検査切り
替え手段と、 前記端子間抵抗検査における出力状態を設定する出力状
態設定手段とを具備した端子間抵抗測定用のマトリック
ス回路とを設け、前記検査切り替え手段を切り替えるこ
とによって液晶パネルの表示品位検査と端子間抵抗検査
とを切り替えて行うことを特徴とする液晶パネルの検査
装置。 - 【請求項２】 前記端子間抵抗検査は、 請求項１に記載した液晶パネルの検査装置の駆動用半導
体装置の消費電流を測定して行うことを特徴とする端子
間抵抗の検査方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27935895A JPH09127470A (ja) | 1995-10-26 | 1995-10-26 | 液晶パネルの検査装置および検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27935895A JPH09127470A (ja) | 1995-10-26 | 1995-10-26 | 液晶パネルの検査装置および検査方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09127470A true JPH09127470A (ja) | 1997-05-16 |
Family
ID=17610062
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27935895A Pending JPH09127470A (ja) | 1995-10-26 | 1995-10-26 | 液晶パネルの検査装置および検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09127470A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5872610A (en) * | 1996-10-04 | 1999-02-16 | Seiko Epson Corporation | Liquid-crystal display panel and method for inspecting the same |
| JP2003042959A (ja) * | 2001-07-31 | 2003-02-13 | Espec Corp | 表示装置の検査装置、駆動信号供給装置、表示装置の検査システム |
-
1995
- 1995-10-26 JP JP27935895A patent/JPH09127470A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5872610A (en) * | 1996-10-04 | 1999-02-16 | Seiko Epson Corporation | Liquid-crystal display panel and method for inspecting the same |
| US5959713A (en) * | 1996-10-04 | 1999-09-28 | Seiko Epson Corporation | Liquid-crystal display panel and method for inspecting the same |
| JP2003042959A (ja) * | 2001-07-31 | 2003-02-13 | Espec Corp | 表示装置の検査装置、駆動信号供給装置、表示装置の検査システム |
| JP4627936B2 (ja) * | 2001-07-31 | 2011-02-09 | エスペック株式会社 | 表示装置の検査装置、表示装置の検査システム |
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