JPH0877617A

JPH0877617A - 光ディスク原盤記録装置

Info

Publication number: JPH0877617A
Application number: JP6212245A
Authority: JP
Inventors: Isao Hoshino; 功星野; Toyoki Taguchi; 豊喜田口
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 1994-09-06
Filing date: 1994-09-06
Publication date: 1996-03-22

Abstract

(57)【要約】【目的】高密度な光ディスクの原盤を製作するための
光ディスク原盤記録装置の記録精度を向上することを目
的とする。【構成】情報記録期間中は記録ビームの反射光で焦点
制御を行い、それ以外の期間は別光源を設けてこの反射
光を検出して焦点制御するダブルフォーカス制御法とす
る。また、原盤上の光スポット観測系に収差要素を付与
して焦点ずれを観測する。さらには対物レンズのアクチ
ュエータのサスペンションに粘弾性体でサンドイッチし
た板バネを使う。【効果】記録期間中の焦点制御を記録ビームそのもの
を使うようにしたので焦点制御精度が向上した。また、
観測系の感度が高くなったので記録中の異常事態が容易
に分かるようになり、総じて記録精度を向上することが
できた。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、光ディスクの原盤を
記録するための光ディスク原盤記録装置に係り、とくに
信頼性の高い記録を実現するための施策に関する。

【０００２】

【従来の技術】

１．焦点制御光ディスク原盤記録装置は、微小なピットを正確に記録
するために波長の短いレーザを光源として使い、フォト
レジストを記録媒体としている。このため、通常の光デ
ィスク装置のように焦点誤差検出に情報を記録するため
の光源を用いると、フォトレジストはフォトケミカル記
録媒体なので微小な光出力を照射していても蓄積効果で
記録状態に達してしまうことと共に焦点誤差を検出する
光検出器の分光感度が波長が短くなると低下してしまう
ことと相まって安定な制御を実現することが困難であっ
た。

【０００３】このため、従来は、長い波長の光源を別に
設け、この光ビームを検出して焦点誤差検出を行ってい
た。２．ビームモニター原盤上の光スポットをＴＶカメラの受光面に拡大投影し
て、スポットの大きさの変化（直径が変化する円）を観
測していた。

【０００４】３．アクチュエータ動かす対物レンズの重量（１０〜１５ｇ）が、通常の光
ディスク装置（〜０．１ｇ）とは比べ物にならないほど
重い。そのため、ほとんど移動しないような板バネで不
要振動を押さえるように構成したサスペンションを使っ
たアクチュエータで、対物レンズの光軸方向の位置を制
御していた。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】上述したように従来の
方法では、１．光ディスクの記録密度が高くなるにつれて、光ディ
スク原盤記録装置の光源の波長が短くなり、対物レンズ
は一層特殊なレンズ構成となって、情報を記録する光源
の波長（例えば、３５１ｎｍ）と焦点誤差を検出するた
めの光源の波長（例えば、６３３ｎｍ）の２波長に対し
て同じ焦点距離に作ることがはなはだ困難になる。これ
は、図３に示すようにレンズを構成する硝材の屈折率が
短波長になると屈折率の増大分が大きくなっていること
に起因している。そのため、長波長の光源で焦点誤差を
検出しても、実際に情報を記録する光源の光ビームが原
盤上に合焦状態にあるか定かでなくなると言う問題が生
じていた。

【０００６】２．上記と同様に、光ディスクの記録密度
が高くなるに連れて、光ディスク原盤上の光スポットも
小さいことが要求される。光スポットが小さくなると、
焦点深度は一層浅くなり、僅かな焦点ずれでも記録状態
に大きく影響することになる。従来のビームモニター系
は、単に光ビームの直径変化を観測するように構成して
いたので、微小な焦点ずれや焦点オフセットなどを判定
するにははなはだ不十分であった。

【０００７】３．従来のレンズアクチュエータのサスペ
ンションは、同心円状の板バネの外周側を固定端とし、
内周側はレンズを取り付けた自由端になっていた。この
内周と外周は径方向に直線で接続されるリムが放射状に
配設されるなどの構造として、板バネの不要振動を押さ
えていたが、光軸方向の可動量が著しく小さい。また、
板バネの主共振周波数におけるダンピングも十分で無
く、焦点制御系の精度を制限する要因になっていた。

【０００８】

【課題を解決するための手段】

１．原盤に情報を記録している期間中は、情報を記録す
るための光ビームを使って原盤からの反射光を検出して
焦点誤差信号を生成し、記録期間以外は別に設けた光源
の光ビームで制御するように構成する。情報記録用の光
ビームを使うことによる光検出器の感度の低下に対し
て、焦点誤差検出系の検出感度を高く設定する。

【０００９】２．情報を記録する光ビームの原盤からの
反射光に対して、焦点ずれによるビーム形状が対称形状
でない形状変化（例えば、非点収差を与えたときのビー
ム形状の変化）をするように収差（非点収差や混合収差
など）を与えてＩＴＶカメラで受光し、情報を記録する
光ビームの焦点ずれを監視する。

【００１０】３．板バネの外周側と内周側をスパイラル
状のリムで接続すると共に、この外周側と内周側に挟ま
れた領域のすべてを粘弾性体で板バネをサンドイッチす
るように構成する。

【００１１】

【作用】

１．情報記録用の光ビームを使って焦点制御を行うた
め、対物レンズの収差が小さいので焦点誤差検出が高精
度にできる。また、記録期間中のみ記録用の光ビームを
使うので光出力が大きく、これも高制度な検出ができる
要因となる。一方、記録期間以外では記録用の光ビーム
が原盤に照射されていないが、この期間に対しては従来
と同様に波長の長い別の光源を設け、この光ビームの原
盤からの反射光を検出して焦点制御を行うように構成す
ることで、記録の開始時点から正確に情報を記録するこ
とができる。

【００１２】２．微小な焦点ずれでも光ビームの形状に
歪みが生じるので、容易に焦点ずれをモニターすること
ができる。また、制御が安定していると従来の方法では
判断できなかった定常的な焦点ずれでも形状が合焦の時
とは異なるため、これも容易に異常を見分けることがで
きる。

【００１３】３．スパイラル状のリムで内外周を結合し
たので、対物レンズを光軸方向に移動する距離が長く取
れるだけでなく、粘弾性体で全面をサンドイッチしたの
でリムの不要振動を著しく抑圧でき、焦点制御の制御帯
域も高くできるので制御精度が向上し高密度の原盤記録
に一層効果的である。

【００１４】

【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例を説明
する。図１は本発明の一実施例に係る光ディスク原盤記
録装置の概略の構成を示したものであり、光源１、光変
調器２、移動光学系３、スライダー４、スピンドルモー
タ６、ターンテーブル７、ビームモニター系８、焦点誤
差検出系９を備えている。移動光学系３上には、対物レ
ンズを上下に制御するアクチュエータに取り付けたレン
ズユニット１０と光源１２を用いた焦点誤差検出系とが
設けてある。

【００１５】光源１は例えばＫｒイオンレーザのような
短波長（３５１ｎｍ：紫外線）のレーザ光を発する光源
である。この光源１から出射する光ビームはほぼ平行光
である。記録する情報に応じて光ビームの強度を変調す
るために、光変調器２が設けられている。図示したのは
ＡＯ変調器を使うときで、記録信号の周波数が高いため
ＡＯ変調器へはレンズで集光した光ビームを入射する。
また、ＡＯ変調器では回析した１次光が変調された光ビ
ームであり、この光ビームを再び平行光に変換するため
のレンズが設けられる。光変調器２からの光ビームは、
ミラーやビームスプリッタを経た後ダイクロイックミラ
ー１５で反射し、レンズユニット１０の対物レンズを介
して、原盤５上に微小スポットを形成する。なお、原盤
５は基板上に記録媒体としてフォトレジストを塗布した
ものである。原盤５は、スピンドルモータ６のターンテ
ーブル７上に取り付けられ回転する。情報の記録中は、
原盤の回転に連動してスライダー４上の移動光学系３が
原盤の径方向に移動制御されてスパイラル状に情報の記
録が行われる。

【００１６】一方、原盤５で反射した光源１の光ビーム
は、対物レンズ、ダイクロイックミラー１５を往路とは
逆に通り、ビームスプリッター１９で反射する。この光
ビームは、焦点誤差検出系９に導かれ、対物レンズと原
盤との焦点ずれを検出する。図示の例では非点収差によ
る焦点誤差検出系を構成した例を示している。この検出
系は非常に一般的な方式であるため、改めて説明の必要
は無いものと考えられるので省略する。本願は、検出方
式が特徴になるのではなく、光ディスク原盤記録装置の
状況に応じて、焦点誤差の検出に使われる光ビームが異
なっていることが発明の主眼である。また、原盤からの
反射光の一部はビームスプリッター１９を通過して、ビ
ームスプリッター２０で反射してビームモニター系８へ
と導かれる。ビームモニタ系８は、焦点誤差検出系９と
同様に非点収差系が構成されている。ただし、焦点誤差
検出系９とは異なり、光検出器２３に変えてＩＴＶカメ
ラなどのビーム形状を観測する手段が設けられている。
ビームモニター系に入射した光ビームに対して付与する
収差は非点収差に限らず、特開平３−２５７「光メモリ
装置」に記載されているような、混合収差を付与するも
のでもよい。

【００１７】一方、移動光学系３上には、ステージ１１
でレンズユニット１０を上下に移動して対物レンズの位
置を原盤５に対して粗調整する機構と長波長のレーザ１
２を光源とした焦点誤差検出系が設けられている。図示
した例では、長波長のレーザ１２を光源とした焦点誤差
検出系も、非点収差法によるものである。この検出系も
また、焦点誤差検出系９と同様に検出方式に特徴を有す
るものではないことを書き添えておく。移動光学系上に
設けた長波長のレーザによる焦点誤差検出系と、記録ビ
ームの原盤からの反射光を受けて、焦点誤差を検出する
焦点誤差検出系９とは、記録ビームによる焦点誤差検出
系の方を検出感度が高くなるように光学定数を設定す
る。これは、記録用の光ビームに対する光検出器の受光
感度の低下分を補うと共に、制御系のＳＮ比を高くして
制御精度を向上することにある。図１０に、光検出器と
して一般的な、ＰＩＮシリコンフォトダイオードの分光
感度特性を示す。別光源を設けて焦点誤差を検出時に使
われる、Ｈｅ−Ｎｅガスレーザ（６３３ｎｍ）や赤色半
導体レーザ（６７０ｎｍ）などの波長に比べて、紫外線
レーザ（例えば３５１ｎｍ）では３倍ほど低くなってい
る。光検出器の感度低下と共に、記録用の光源の波長が
短波長化してくると、記録媒体のフォトレジストの感度
が高くなる。図１１に、フォトレジストの分光感度特性
の一例を示す。光ディスクの原盤記録装置に使われてい
る記録用光源は、Ａｒイオンレーザの４５８ｎｍ、同じ
く４０７ｎｍそしてＫｒイオンレーザの３５１ｎｍなど
の順に、記録密度が高くなるに連れて変遷してきた。Ｋ
ｒイオンレーザの３５１ｎｍでは、４５８ｎｍに対して
９倍程度の感度差がある。この為、原盤を照射する光出
力が低くなるので、記録ビームによる焦点誤差検出系の
検出感度を高く設定することが肝要になってくる。

【００１８】また、光ディスク原盤記録装置の構成とし
ては、ダイクロイックミラー１５に入射する記録用の光
ビームの光軸を中心に９０度回転した面上に記録用の光
ビームに係る光学系が展開されるものが一般的な構成で
ある。さらには、光ディスク原盤記録装置では、対物レ
ンズに入射する光ビームの直径やごみ等の回析の影響を
軽減するために光ビームを一旦集光し、ピンホールを介
して再び平行光とするものなど、本願と直接関係の無い
ものはほとんど省略して記載している。

【００１９】図１で特記すべきことは、記録用の光ビー
ムを光源とする焦点誤差検出系と長波長の光源で構成す
る焦点誤差検出系の２つの検出系があること、ビームモ
ニター系には、非点収差などの収差付与手段が設けられ
ていること、である。

【００２０】この光ディスク原盤記録装置の制御方法を
説明する前に、ここで用いられる対物レンズや対物レン
ズを光軸方向に移動制御するためのアクチュエータにつ
いて説明する。

【００２１】図２は、一般的な対物レンズの構成例とし
て、「波長３５／ｎｍ，ＮＡＵ．９０の光記録用対物レ
ンズ」光学第２３巻、第６号（１９９４年６月）を示
す。７枚のレンズで構成されており、原盤に一番近い面
のレンズは、平行平板になっている。このように多数の
面からなる対物レンズは、記録用の光源の波長に対して
反射防止なるように各面の表面を処理しているが、それ
以外の波長に対しても反射防止条件を満たすことがはな
はだ困難なため反射光が発生する。本願に限らず、記録
用の光ビームと異なる波長の光ビームを設けて焦点誤差
を検出するように構成すると、これら対物レンズを構成
するレンズ群の各面で反射した光ビームが迷光となる。
焦点誤差検出系に対して、この迷光が単に光量が増減す
るだけのインコヒーレントな影響であれば、焦点誤差検
出への影響はそれほど大きいものとはならない。しか
し、現実には迷光同士が干渉するようなコヒーレントな
影響があるので、迷光に対して対策することが必要であ
る。記録用の光源の波長が可視光であるうちは、対物レ
ンズの多くは顕微鏡の対物レンズを用いていたので可視
領域で反射防止が施されており、この問題が顕在化する
ことはなかった。しかし、今日のように紫外光が光源に
なっている状況では、対物レンズは特種化しており、広
い波長範囲で反射防止が施されていないのが実情であ
る。本願は、この問題に対して、長波長の光源に可干渉
性の低いレーザを光源として用いることで、迷光どうし
が干渉することを防ぎ、インコヒーレントな重ね合わせ
になるようにすることで迷光の検出系への影響を低減し
た。可干渉性の低いレーザとは、自励発振している半導
体レーザや高周波を重畳して駆動している半導体レーザ
である。

【００２２】図４は、レンズユニット１０の構成要件を
模式的に示したものである。対物レンズ３３は、上下に
配置したサスペンション３４で支持されており、永久磁
石３５で構成される磁気回路とコイル３６の電磁作用で
上下方向に移動制御が可能に構成されている。対物レン
ズが光軸と直交する方向に動く要因があると、記録した
情報のピット列の半径方向の並び（トラックピッチ）が
乱れる。記録密度の高い光ディスクの原盤を記録すると
きは、一層トラックピッチが正確でなければならなくな
ってくる。本願は、対物レンズの光軸方向以外の動きを
抑制するために、サスペンション３４に工夫を施した。

【００２３】図５は、本装置のサスペンションの構成を
示したものである。図５（ａ）では、板バネ３７の外周
側と内周側をスパイラル状のリムで接続すると共に、こ
の外周側と内周側に挟まれた領域のすべてを粘弾性体３
８で板バネ３７をサンドイッチするように構成してい
る。なお、粘弾性体３８としては、例えばゴムを用い
る。このように構成すると、リム部分で発生する不要振
動を抑圧すると共に板バネの主共振点の振動応答に対し
てもダンピング作用を呈し、アクチュエータとして好ま
しい特性を得ることができる。このように振動特性の良
いアクチュエータは、さらに制御精度を高めるための制
御系の高帯域化を達成できるなど、相乗効果を呈する。

【００２４】そして、図５（ｂ），（ｃ）は、板バネ３
７と同円形状の粘弾性体３８を、スパイラル状に打ち抜
き形成された板バネ３７の上下に貼り合せたものであ
る。このように構成しても、上記効果が得られる。

【００２５】これから制御系の構成について説明する。
図６は、焦点制御系の構成ブロック図である。原盤に情
報を記録するための記録用光ビームの制御は示していな
い。ただし、記録用の光ビームが原盤５上に照射される
と、光検出器２３に原盤からの反射光が入射することは
自明のことである。ここでは、光ディスク原盤記録装置
の操作手順にしたがって、焦点制御系の動作を、図６と
図７を使って説明する。まず、ターンテーブル７上に、
原盤５がセットされる。原盤取り付け時はステージ１１
の上方に位置していたレンズユニット１０が、ゆくっり
と原盤５に近づくように移動する。するとレーザ１２が
原盤５で反射した光ビームが光検出器１８で受光される
ようになる。実際の光検出器１８は、複数の受光面を持
っている。この複数の受光面からなる光検出器１８の出
力は演算処理部４１を経て、焦点誤差信号の差分（ＦＳ
１）と和（ＦＡ１）が出力される。この差分信号ＦＳ１
を、図７（ａ）に示す。横軸は、レンズユニット１０と
原盤５との距離で、出力が零のときがほぼ記録ビームの
合焦位置に相当するように検出系が調整されている。図
７（ａ）に示すフォーカスロック検出出力“Ｈレベル”
すなわち引き込み可能領域にレンズユニット１０が到達
すると、レンズユニット１０自体の移動を停止する。こ
れらの判定は、図６のロック判定・引き込み処理回路４
１で行われる。そして、この判定出力が光ディスク原盤
記録装置全体を制御しているシステムコントローラに送
られる。システムコントローラーは、この信号を受け
て、制御信号“ＯＮ”の指令をロック判定・引き込み処
理回路４３に出力する。ロック判定・引き込み処理回路
４３はこの信号を受けると、引き込み制御回路４４にＡ
ＧＣ回路４２を経たＦＳ１を出力するように指示する。
すると、スイッチ４５、補償フィルタ４６、駆動回路４
７を介して、制御信号ＦＳ１の出力に応じた電流がコイ
ル３６に流れ、対物レンズの位置が制御される。ＦＳ１
で制御状態しているときにフォーカスロック検出出力が
“Ｈレベル”を示すときは、ＦＳ１の信号が零レベルに
なるような位置に対物レンズが制御されているときとな
る。この制御で、およそ記録ビームの焦点位置に原盤が
位置するようになる。しかし、対物レンズの色収差（波
長で焦点距離が異なる）などに起因して、記録と異なる
波長で検出した制御信号は、原盤の厚さや反りの影響で
誤差を含んでいる。これに対して、本願では、実際の記
録を開始すると、原盤で反射した記録用光ビームが光検
出器２３で受光され、この制御信号に基づいた制御に切
り替わる。この動作の様子を、図６と図７を使って説明
する。

【００２６】光検出器２３は、光検出器１８と同様に複
数の受光面を持っている。この複数の受光面からなる光
検出器２３の出力は演算処理部４８を経て、焦点誤差信
号の差分（ＦＳ２）と和（ＦＡ２）が出力される。この
差分信号ＦＳ２を図７（ｂ）に、和信号ＦＡ２を図７
（ｃ）に示す。横軸は、対物レンズ３３と原盤５との距
離で、ＦＳ２の出力が零のときが記録ビームの合焦位置
に相当するように検出系が調整されている。ＦＳ２はＡ
ＧＣ回路４９を介して自動切換回路５０に、ＦＡ２信号
と共に入力される。自動切換回路５０では、ＦＡ２の出
力レベルが所定値（Ｖｒｅｆ）以上であるかの判断を行
い、図７（ｄ）に示すようなスイッチ４５を切換えるた
めの信号ＳＰを出力する。スイッチ４５が図示の下方と
接続すると焦点制御系への制御信号は、ゲイン調整回路
５１を経たＦＳ２信号となる。すなわち、原盤記録用の
光ビームで生成された制御信号に切り替わる。そして、
ＦＳ１の制御信号のときと同様に、ＦＳ２の制御信号に
基づいて対物レンズ３３の原盤５に対する位置の制御が
成される。図６に示すように構成された制御系は、図７
（ｅ）に示すようなＦＳ１とＦＳ２が合成されたＦＳ０
で制御していることになる。

【００２７】図８、図９には、制御信号を自動的に切換
える為の、切換信号の生成回路を示している。図８は、
和信号のＦＡ２を用いて切換信号を生成する一実施例で
ある。ＦＡ２の信号は、切り換え後の動作を安定なもの
とするために対物レンズを移動制御するアクチュエータ
の新動特性と同じ周波数特性を持つフィルター６１（一
般的には低周波通過型フィルター）を介してコンパレー
タ６２に入力する。コンパレータ６２は、所定レベルを
示すＶｒｅｆと比較し、Ｖｒｅｆよりもフィルター６１
を介して入力されたＦＡ２の方が大きいときに“Ｈレベ
ル”となる。この条件とＦＡ１の制御信号で制御されて
いることを示すフォーカスロック検出出力が“Ｈレベ
ル”になっていることが満たされる時、制御信号の切り
換え信号ＳＰが“Ｈレベル”になるように構成されてい
る。これらの信号の様子は、図７の（ｃ）と（ｄ）に示
している。

【００２８】図９は、さらに確実な切り換えを実現する
ための、切換信号を生成する一実施例である。図８の制
御信号の切り換え信号ＳＰの出力条件に、差信号のＦＳ
２がＶ＋とＶ−の範囲内にあるときは、制御信号をＦＳ
２に切換えるようにしている。

【００２９】

【発明の効果】本発明によれば、記録期間中の焦点制御
を記録ビームそのものを使うようにしたので焦点制御精
度が向上した。また、記録開始以前にプロフォーカスす
るために可干渉性の低い半導体レーザを光源に使い、対
物レンズで生じる迷光同志が干渉しないようにして焦点
誤差検出系を構成したので、プリフォーカスの精度も向
上した。また、記録中の異常事態を監視するために設け
られるビームモニター系に対して、反射光ビームに収差
を付与して僅かな焦点ずれもでビーム形状の変化が明ら
かに判定できるようして、観測系の良否判別精度が向上
した。さらには、制御される対物レンズのアクチュエー
タに対しても、不要振動を抑圧するように対策し、総じ
て光ディスク原盤記録装置の記録精度を向上することが
できた。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例に係る光ディスク原盤記録
装置の要部を模式的に示す図。

【図２】図１の装置に使われる対物レンズの構成例を
示す図。

【図３】図２に示す対物レンズに使われるような硝材
の、波長による屈折率化を示す図。

【図４】図１に示すレンズユニットの要部を模式的に
示す図。

【図５】本発明の実施例に係わるサスペンションの要
部を示す断面図。

【図６】本発明の実施例に係わる焦点制御系のブロッ
ク図。

【図７】本発明の実施例に係わる焦点検出系の各信号
を模式的に示す図。

【図８】本発明の実施例に係わる焦点制御信号切り換
え部のブロック図。

【図９】本発明の実施例に係わる焦点制御信号切り換
え部の他のブロック図。

【図１０】光検出部の分光感度特性の例を示す図。

【図１１】フォトレジストの分光感度特性の例を示す
図。

【符号の説明】

１…光源２…光変調器３…移動光学系４…スライダー５…原盤６…スピンドルモータ７…ターンテーブル８…ビームモニター系９…焦点誤差検出系１０…レンズユニット１２…光源１５…ダイクロイックミラー１８，２３…光検出器３３…対物レンズ３４…サスペンション３５…永久磁石３６…コイル３７…板バネ３８…粘弾性体４１，４８…演算処理部４３…ロック判定・引き込み処理回路４４…引き込み制御回路５０…自動切換回路

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】光ディスク原盤に信号を記録するための第
１の光源と、前記第１の光源からの光ビームを前記光ディスク原盤上
に集光するための対物レンズと、前記対物レンズと前記光ディスク原盤との焦点ずれを検
出する第２の光源を設け、前記光ディスク原盤に信号を記録している期間中は、前記第１の光源の前記光ディスク原盤からの反射光を演
算処理して得られる第１の焦点誤差信号に基づいて焦点
ずれを制御するように構成したことを特徴とする光ディ
スク原盤記録装置。
【請求項２】前記光ディスク原盤に信号を記録していな
い期間中は、前記第２の光源の前記光ディスク原盤からの反射光を演
算処理して得られる第２の焦点誤差信号に基づいて焦点
ずれを制御するように構成したことを特徴とする請求項
１記載の光ディスク原盤記録装置。
【請求項３】前記第２の光源は、可干渉性が低いレーザ
を光源とすることを特徴とする請求項１および２記載の
光ディスク原盤記録装置。
【請求項４】前記第１の焦点誤差信号の焦点誤差検出範
囲は、前記第２の焦点誤差検出信号の焦点誤差検出範囲
よりも狭くなるように検出光学系を設定していることを
特徴とする請求項１、２および３記載の光ディスク原盤
記録装置。
【請求項５】前記請求項１、２、３および４記載の光デ
ィスク原盤記録装置において、前記第１の焦点誤差信号と前記第２の焦点誤差信号の切
り替えの判定は前記第２の焦点誤差検出信号に基づいて
自動的に行うように構成したことを特徴とする光ディス
ク原盤記録装置。
【請求項６】光ディスク原盤に信号を記録するための光
源と、前記光源からの光ビームを前記光ディスク原盤上に集光
するための対物レンズと、前記対物レンズと前記光ディスク原盤との焦点ずれをモ
ニターするビームモニター系とを少なくとも備えている
光ディスク原盤記録装置において、前記ビームモニター系は前記光源の前記光ディスク原盤
からの反射光に収差を付与して得られるビーム形状の変
化をモニターして前記焦点ずれを観測するように構成し
たことを特徴とする光ディスク原盤記録装置。
【請求項７】前記収差を付与する集差要素が、非点収差
であることを特徴とする請求項６記載の光ディスク原盤
記録装置。
【請求項８】前記収差を付与する収差要素が、混合収差
であることを特徴とする請求項６記載の光ディスク原盤
記録装置。
【請求項９】光ディスク原盤に信号を記録するための光
源と、前記光源からの光ビームを前記光ディスク原盤上に集光
するための対物レンズと、前記対物レンズと前記光ディスク原盤との相対位置ずれ
（焦点ずれ）を相殺するように前記対物レンズを光軸方
向に移動するためのアクチュエータとを少なくとも備え
ている光ディスク原盤記録装置において、前記対物レンズを光軸方向に移動可能に支持するサスペ
ンションは板バネを粘弾性体でサンドイッチした構造で
あることを特徴とする光ディスク原盤記録装置。
【請求項１０】前記粘弾性体とは、ゴムであることを特
徴とする請求項９記載の光ディスク原盤記録装置。