JPH08244019A

JPH08244019A - セラミックグリーンシートの積層方法

Info

Publication number: JPH08244019A
Application number: JP8180495A
Authority: JP
Inventors: Tetsuya Urano; 哲也浦野
Original assignee: Taiyo Yuden Co Ltd
Current assignee: Taiyo Yuden Co Ltd
Priority date: 1995-03-13
Filing date: 1995-03-13
Publication date: 1996-09-24

Abstract

(57)【要約】【目的】セラミックグリーンシート１４を積層しなが
ら、その都度そのキャリアフィルム１３を剥離するに当
り、積層体全体の印刷パターンの歪が起こりにくくす
る。【構成】セラミックグリーンシート１４を積層しなが
ら、ドラム２の外周面を負圧として、そこにセラミック
グリーンシート１４上のキャリアフィルム１３の端縁部
を吸着し、その後ドラム２をキャリアフィルム１３の他
方の端縁部に向かって移動させると共に、回転させるな
がら、キャリアフィルム１３を剥離する。この場合に、
ドラム２を交互に反対方向に移動し、回転させながらキ
ャリアフィルム１３を剥離する。これにより、セラミッ
クグリーンシート１４の歪を交互に相殺し、積層体全体
の印刷パターンの歪をキャンセルする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、積層チップコンデンサ
ーや積層チップインダクター等の積層電子部品を製造す
るためのセラミックグリーンシートであって、キャリア
フィルムに保持された状態のものを積層し、その都度キ
ャリアフィルムを剥離しながら、複数枚のセラミックグ
リーンシートを積層する方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】積層電子部品の最も代表的な例である積
層セラミックコンデンサは、内部電極を有する誘電体セ
ラミック層が多数積み重ねられ、内部電極が積層体の端
面に交互に引き出されている。そして、これらの内部電
極が引き出された積層体の端面に外部電極が形成されて
いる。

【０００３】このような積層セラミックコンデンサの従
来の製造方法は、誘電体セラミック粉末を有機バインダ
ーに分散させたセラミックスラリーをシート状に成形し
てグリーンシートを作り、スクリーン印刷法等により、
このグリーンシートの上に導電ペーストで内部電極パタ
ーンを印刷する。そして、この内部電極パターンが印刷
されたグリーンシートを所定の順序で積層し、さらにそ
の両側に内部電極パターンが印刷されてないグリーンシ
ートを複数枚積み重ねる。こうして得られた積層体を内
部電極が端面に露出するようにしてチップ状に切断し、
これを焼成する。これにより、焼結された積層体が得ら
れる。そして、この焼結された積層体の内部電極が露出
した端面に導電ペーストを塗布し、これを焼き付けて外
部電極を形成することにより、積層チップコンデンサが
完成する。

【０００４】多くの回路部品が小型化される中で、この
ような積層セラミックコンデンサについても、小型化、
大容量化が要求されている。このような背景の中で、厚
さ１０μｍ以下の極めて薄いグリーンシートを積層して
積層セラミックコンデンサを製造することが行なわれる
ようになった。このようなコンデンサを歩留り良く製造
するためには、前記のような極めて薄いグリーンシート
に精度良く印刷し、これを積層する技術が必要である。
この場合、セラミックグリーンシートが極端に薄いの
で、それを搬送し、印刷し、積層する際に、同グリーン
シートが伸びたり歪んだりしないよう、その取扱いに慎
重を要する。

【０００５】セラミックグリーンシートは、ポリエチレ
ンテレフタレートフィルム等のキャリアフィルム上にセ
ラミックスラリーを一定の膜厚に塗布し、乾燥して形成
される。従来、薄いセラミックグリーンシートについて
は、前記のようにしてキャリアフィルム上に形成した
後、それを同キャリアフィルムごと所定の大きさに打ち
抜き、内部電極パターンの印刷を印刷し、さらにこれを
順次積層しながら、キャリアフィルムを剥離していく方
法が採用されている。

【０００６】この方法において、セラミックグリーンシ
ートからキャリアフィルムを剥離する場合は、キャリア
フィルムの表面の縁に近い部分に吸盤を吸着し、この吸
盤によりキャリアフィルムの端をセラミックグリーンシ
ートから剥し、続いて他方の端に向かってキャリアフィ
ルムの全体をセラミックグリーンシートから剥していく
という方法が一般にとられていた。

【０００７】ところが、このようなキャリアフィルムの
剥離手段の場合、キャリアフィルムと共に上側のセラミ
ックグリーンシートが下側のセラミックグリーンシート
から剥がれて浮き上がりやすい。このため、折角仮圧着
したセラミックグリーンシートの間に空気が入ってしま
ったり、積層したセラミックグリーンシートがずれてし
まうという問題があった。

【０００８】そこで、特開平６−２５５８８０号公報に
示されたように、円周面の一部に平坦な吸着面を有する
ドラムを使用し、キャリアフィルム付セラミックグリー
ンシートを積層台の上に順次積み重ねながら、その都度
キャリアフィルムを剥離し、セラミックグリーンシート
を積層する方法が提案されている。この方法では、前記
のドラムの吸着面を負圧として、そこにセラミックグリ
ーンシート上のキャリアフィルムの端縁部を吸着し、そ
の後ドラムをキャリアフィルムの他方の端縁部に向かっ
て移動させると共に、回転さてキャリアフィルムを剥離
する。

【発明が解決しようとしている課題】

【０００９】しかし、前記のようなドラムを使用したキ
ャリアフィルムの剥離方法では、キャリアフィルムをセ
ラミックグリーンシートから剥離するときにセラミック
グリーンシートに与えられるストレスにより、その歪が
一方に偏ってしまい、セラミックグリーンシートの積層
体全体の印刷パターンが変形してしまうという課題があ
った。そこで、本発明は、前記の課題に鑑み、キャリア
フィルム付セラミックグリーンシートを積層しながら、
その都度キャリアフィルムを剥離する方法において、積
層体全体の印刷パターンの歪が起こりにくいセラミック
グリーンシートの積層方法を提供することを目的とす
る。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明では、前記の目的
を達成するため、セラミックグリーンシート１４を積層
しながら、そのセラミックグリーンシート１４からその
都度キャリアフィルム１３を剥離していく場合に、ドラ
ム２を交互に反対方向に移動し、回転させながらキャリ
アフィルム１３を剥離するようにした。これにより、セ
ラミックグリーンシート１４の歪を交互に相殺し、積層
体全体の印刷パターンの歪をキャンセルできるようにし
たものである。

【００１１】すなわち、本発明によるセラミックグリー
ンシートの積層方法は、キャリアフィルム１３を上側に
して積層台６上にキャリアフィルム付セラミックグリー
ンシート１１を載せた後、上側のキャリアフィルム１３
をセラミックグリーンシート１４から剥離し、次にこの
セラミックグリーンシート１４の上に同様にしてキャリ
アフィルム付セラミックグリーンシート１１を載せた
後、同様にしてそのキャリアフィルム１３を剥離し、以
下これを適当な回数繰り返して、積層台６上にセラミッ
クグリーンシート１１を積層する。この場合に、円筒面
状の外周面が負圧とされるドラム２を用いる。まず、こ
のドラム２の外周面を負圧として、そこにセラミックグ
リーンシート１４上のキャリアフィルム１３の端縁部を
吸着し、その後ドラム２をキャリアフィルム１３の他方
の端縁部に向かって移動させると共に、回転させるなが
ら、キャリアフィルム１３を剥離する。以下、その上の
キャリアフィルム付セラミックグリーンシート１１につ
いて、ドラム２の移動方向を交互に変えながらキャリア
フィルム１３を順次剥離していく。

【００１２】ここで、前記ドラム２の回転による外周面
の周速と、同ドラム２のセラミックグリーンシート１４
の表面に沿う移動速度とを互いに等しくする。前記ドラ
ム２の外周面は、全面が円筒面状となっているもので
も、また、その外周面の一部縦方向に平坦面３を有し、
この平坦面３にキャリアフィルム１３の端縁部を吸着す
るものであってもよい。これらのドラム２の外周面は、
その全面が負圧とされるものであってもよいが、特に後
者のドラム２の場合は、その平坦面３のみが負圧とされ
る。

【００１３】

【作用】前記本発明によるセラミックグリーンシートの
キャリアフィルム剥離方法では、ドラム２の外周面を負
圧として、そこにセラミックグリーンシート１４上のキ
ャリアフィルム１３を吸着するため、キャリアフィルム
１３を、その広い範囲で確実に吸着することができる。
そして、ドラム２をキャリアフィルム１３の他方の端縁
部に向かって移動させると共に、回転させることによ
り、セラミックグリーンシート１４をドラム２の周面で
上から押えた状態で、前記外周面に吸着したキャリアフ
ィルム１３を、その一方の端縁部から他方の端縁部へ向
けてセラミックグリーンシート１４から剥すことができ
る。これにより、セラミックグリーンシート１４の層間
剥がれを防止しながら、キャリアフィルム１３のみを確
実に剥すことができる。

【００１４】さらに、前記ドラム２を交互に反対側に移
動させながら、上下のセラミックグリーンシート１４に
ついて、そのキャリアフィルム１３を交互に反対方向か
ら剥離するため、セラミックグリーンシート１４の歪が
交互に逆方向となり、上下のセラミックグリーンシート
１４の歪が互いに相殺される。このため、積層体全体と
ては、歪がキャンセルされ、印刷パターンのずれが起ら
ない。さらに、前記ドラム２の回転による外周面の周速
と、同ドラム２のセラミックグリーンシート１４の表面
に沿う移動速度とを互いに等しくすることにより、キャ
リアフィルム１３を巻き込んだドラム２は、セラミック
グリーンシート１４の表面を転がりながら移動すること
になり、セラミックグリーンシート１４に平面方向の歪
を与えない。

【００１５】なお、ドラム２の外周面の全面が円筒面状
となっている場合は、キャリアフィルム１３を介してセ
ラミックグリーンシート１４に局部的な圧力がかかりに
くく、セラミックグリーンシート１４の厚み方向の変形
も防げる。さらに、このドラム２の外周面の全面が負圧
とされる場合は、ドラム２の外周面に当たるキャリアフ
ィルム１３を、その広い範囲で吸着し、保持することが
できるので、キャリアフィルム１３をセラミックグリー
ンシート１４から確実に剥すことができる。

【００１６】他方、ドラム２の外周面の一部縦方向に平
坦面３を有し、この平坦面３のみを負圧として、そこに
キャリアフィルム１３の端縁部を吸着する場合は、キャ
リアフィルム１３の端縁部のみを吸着するので、ドラム
２を移動させながら回転させると、キャリアフィルム１
３の他の部分はドラム２の外周面に巻き込まれるだけと
なる。このため、セラミックグリーンシート１４からキ
ャリアフィルム１３を剥離した後、ドラム２からキャリ
アフィルム１３をスムーズに離すことができる。

【００１７】

【実施例】次に、図面を参照しながら、本発明の実施例
について具体的且つ詳細に説明する。図１〜図４に示す
ように、セラミックグリーンシート１４を積層する積層
台６が設けられ、この積層台６は、その内部を真空状態
とすることにより、その上面を負圧とすることができ
る。また、積層台６の内部を大気圧またはそれより高い
気圧とすることにより、前記上面の負圧を解除しまたは
正圧とすることができるようになっている。この積層台
６の上にガイドレール４が架設され、このガイドレール
４に沿って移動自在にスライダー１が取り付けられてい
る。このスライダー１は、図３に示すリニア駆動モータ
ー９により、ガイドレール４に沿って走行される。

【００１８】スライダー１にエアシリンダーからなる上
下動機構７が取り付けられ、この上下動機構７を介して
スライダー１からベアリング８が吊り下げられている。
このベアリング８には、ドラム２が回転自在に軸支さ
れ、このドラム２は、モーター１０により回転される。
このドラム２を回転させるモーター１０とスライダー１
を移動させる前記リニア駆動モーター９とは、ドラム２
の周速とスライダー１の速度とが互いに等しくなるよう
相互に制御される。

【００１９】ドラム２の外周面は、全体が通気性を有す
る円筒面であり、図示しない真空配管路を介してドラム
２内部を真空状態とすることにより、ドラム２の外周面
が負圧とすることができる。また、ドラム２の内部を大
気圧またはそれより高い気圧とすることにより、負圧を
解除し、または正圧とすることができるようになってい
る。これにより、ドラム２の外周面にキャリアフィルム
付セラミックグリーンシート１１のキャリアフィルム１
３を吸着し、或はその吸着を解除することができる。な
お、図示の実施例では、ドラム２の片側だけがベアリン
グ８により軸支されているが、ガイドレール４を平行に
２本架設して、ドラム２をその両端側から軸支すること
ももちろん可能である。

【００２０】次ぎに、この装置を用いた本発明によるセ
ラミックグリーンシート１４の積層方法について説明す
る。例えば、積層セラミックコンデンサを製造するた
め、セラミックグリーンシート１４の積層体を作る場
合、まず誘電体セラミック粉末を有機バインダーに分散
させたセラミックスラリーを、ドクターブレード法等の
既知の塗工法により、ポリエチレンテレフタレートフィ
ルム等からなる長尺なキャリアフィルム１３上に均一な
厚みで薄く塗布し、キャリアフィルム付セラミックグリ
ーンシート１１を作る。図４（ａ）は、このキャリアフ
ィルム付セラミックグリーンシート１１を示している。

【００２１】次に、このキャリアフィルム付セラミック
グリーンシート１４を所定の矩形状に打ち抜く。このと
き同時に、四角に位置決孔１５を穿孔する。図４（ｂ）
は、同図（ａ）で示すような長尺なキャリアフィルム付
セラミックグリーンシート１１から矩形状に打ち抜いた
キャリアフィルム付セラミックグリーンシート１１を示
す。次に、こうして打ち抜いたキャリアフィルム付セラ
ミックグリーンシート１１のセラミックグリーンシート
１４の表面に、スクリーン印刷法等により、導電ペース
トで内部電極パターン１６を印刷する。次に、この内部
電極パターン１６が印刷されたキャリアフィルム付セラ
ミックグリーンシート１１を、セラミックグリーンシー
ト１４側を下にして図３に示すような積層台６の上に載
せる。このとき、前記位置決孔１５を基準として搭載位
置の位置決めをする。

【００２２】次に、この積層台６上において、キャリア
フィルム付セラミックグリーンシート１１からキャリア
フィルム１３が剥離される。図１は、最も上のセラミッ
クグリーンシート１４からそのキャリアフィルム１３を
剥離する状態を示しており、図２は、さらに図１におい
て最も上のセラミックグリーンシート１４の上に重ねら
れたセラミックグリーンシート１４からキャリアフィル
ム１３を剥離する状態を示している。

【００２３】まず、図１（ａ）に示すように、ドラム２
の外周面の最も低い部分がキャリアフィルム１３の端縁
部の真上に位置するようにスライダー１が移動し、上下
動機構７によりドラム２が下降される。これにより、ド
ラム２の外周面がキャリアフィルム１３の端縁部に当た
る。ここで、ドラム２の外周面が負圧とされ、キャリア
フィルム１３の端縁部が同外周面に吸着される。続い
て、ドラム２が矢印で示す方向に回転すると共に、スラ
イダー１が矢印で示す方向にドラム２の外周面の周速と
同じ速度で移動する。これにより、図１（ｂ）で示され
たように、ドラム２はキャリアフィルム１３上を転がり
ながら回転し、キャリアフィルム１３を巻き込んだドラ
ム２の周面がセラミックグリーンシートを擦らない。そ
して、ドラム２は、その外周面が常にキャリアフィルム
１３の表面に上から接触した状態で回転しながら矢印方
向に移動する。このため、積層されたセラミックグリー
ンシート１４が浮き上がらないように上から押えなが
ら、平坦な吸着面３に吸着したキャリアフィルム１３を
一方の端縁部から他方の端縁部に向かってセラミックグ
リーンシート１４から剥していく。

【００２４】セラミックグリーンシート１４からキャリ
アフィルム１３が完全に剥された後、ドラム２の吸着面
３の負圧が解除され、剥したキャリアフィルム１３がド
ラム２から離れ、廃棄される。次に、キャリアフィルム
１３が剥離されたセラミックグリーンシート１４の上
に、別のキャリアフィルム付セラミックグリーンシート
１１が載せられる。このキャリアフィルム付セラミック
グリーンシート１１は、セラミックグリーンシート１４
側を下にして載せられ、これによりセラミックグリーン
シート１４同士が重ね合わせられる。

【００２５】その後、図２（ａ）に示すように、ドラム
２の外周面の最も低い部分がキャリアフィルム１３の前
記とは反対側の端縁部の真上に位置するようにスライダ
ー１が移動し、上下動機構７によりドラム２が下降され
る。これにより、ドラム２の外周面がキャリアフィルム
１３の端縁部に当たる。ここで、ドラム２の外周面が負
圧とされ、キャリアフィルム１３の端縁部が同外周面に
吸着される。

【００２６】続いて、ドラム２が矢印で示す方向、すな
わち前回とは逆方向に回転すると共に、スライダー１が
矢印で示す方向、すなわち前回とは逆方向にドラム２の
周速と同じ速度で移動する。これにより、図２（ｂ）で
示されたように、ドラム２は、その外周面が常にキャリ
アフィルム１３の表面に上から接触した状態で回転しな
がら矢印方向に移動する。このため、前回と同様に、キ
ャリアフィルム１３のみを一方の端縁部から他方の端縁
部に向かってセラミックグリーンシート１４から剥して
いく。その剥離していく方向は、前回とは逆である。

【００２７】こうしてキャリアフィルム１３を剥した
後、ドラム２の吸着面３の負圧が解除され、剥したキャ
リアフィルム１３がドラム２から離れ、廃棄される。以
下、これを繰り返すことにより、セラミックグリーンシ
ート１４が積層される。図４（ｄ）は、こうして得られ
たセラミックグリーンシート１４の積層体１７を示す。
なお、前述の実施例では、積層セラミックコンデンサー
の積層体を得るための積層体を作る工程を中心に述べた
が、多層印刷配線基板や積層セラミックインダクター等
を得るための積層体を作る工程について前記の工程をそ
のまま実施することができるのはもちろんである。

【００２８】次に、図７と図８の実施例について説明す
ると、この実施例では、ドラム２として、その外周面の
一部縦方向に平坦となった平坦面３を有するものを使用
している。また、このドラム２は、その全外周面が負圧
とされるのではなく、前記平坦面３のみが負圧とされ
る。この実施例では、図７（ａ）に示すように、前記平
坦面３を積層体６上のキャリアフィルム１４の端縁部に
当て、この状態で同平坦面３を負圧として、そこにキャ
リアフィルム１３の端縁部を吸引保持する。その後上下
動機構７によりドラム２を僅かに上昇させ、続いて、矢
印で示すように、ドラム２を図７において右方向に移動
させながら、矢印で示す方向に回転させる。これによっ
て、図７（ｂ）で示すように、キャリアフィルム１３が
ドラム２の外周面に巻き込まれながら、セラミックグリ
ーンシート１４から剥離されていく。

【００２９】さらに、その上に載せられた次のキャリア
フィルム付セラミックグリーンシート１１については、
図７と反対方向にドラム２を移動させながらキャリアフ
ィルム１３をセラミックグリーンシート１４から剥離し
ていくのは、前述の実施例と全く同様である。次に、具
体的数値等をあげながら、本発明の具体例とその比較例
について説明する。

【００３０】（実施例）誘電体セラミック粉末を、同粉
末に対して９重量％のポリビニルブチラールに分散した
セラミックスラリーを用い、これをポリエチレンテレフ
タレートからなるキャリアフィルム上に塗布し、厚さ５
０μｍのセラミックグリーンシート１４を有するキャリ
アフィルム付セラミックグリーンシート１１を得た。こ
のキャリアフィルム付セラミックグリーンシート１１を
縦１０５ｍｍ、横８０ｍｍの矩形に打ち抜いた。

【００３１】次に、打ち抜いたキャリアフィルム付セラ
ミックグリーンシート１１のセラミックグリーンシート
１４の表面に、図５に示すようなパターンでＰｄペース
トを印刷し、乾燥した。この乾燥した状態において、キ
ャリアフィルム上の印刷済みセラミックグリーンシート
１４の厚さは、５０μｍであった。セラミックグリーン
シート１４側を下にして、このキャリアフィルム付セラ
ミックグリーンシート１１を加湿した積層台６の上に載
せ、吸着、保持した。その後、キャリアフィルム１３の
上からセラミックグリーンシート１４を２００Ｋｇ／ｃ
ｍ² の圧力で加圧した後、前述の図１に示す方法でキャ
リアフィルム１３を剥離した。

【００３２】その後、セラミックグリーンシート１４側
を下にして、別のキャリアフィルム付セラミックグリー
ンシート１１を前記セラミックグリーンシート１３の上
に載せた後、キャリアフィルム１３の上からセラミック
グリーンシート１４を２００Ｋｇ／ｃｍ² の圧力で加圧
した後、前述の図２に示す方法、すなわち前回とは逆方
向にドラム２を移動させながらキャリアフィルム１３を
剥離した。以下、これを５回繰り返し、セラミックグリ
ーンシート１４を１０枚積層し、図６に示すような積層
体を得た。

【００３３】この積層体１７を、図５において各々ａ〜
ｅのように、内部電極パターン１６の配列に沿って切断
した。図６に示すように、切断面に露出した電極パター
ン１６を両側の２組に分け、その外側の距離Ｌ₁、Ｌ₂を
各々前記ａ〜ｅの切断面ごと測定した。この結果を、表
１に、またその平均と偏差を表２に示す。なお、距離Ｌ
₁、Ｌ₂の設計値は、何れも４０．１０ｍｍである。

【００３４】（比較例）前記実施例において、ドラム２
の移動方向を図１に示す方向のみに限定し、キャリアフ
ィルム付セラミックグリーンシート１１からのキャリア
フィルム１３の剥離を行った以外は、前記実施例と同様
にしてセラミックグリーンシートの積層体１７を得た。
そして、前記実施例と同様にして、積層体１７を切断
し、切断面における内部電極パターンの前記距離Ｌ₁、
Ｌ₂を各々前記ａ〜ｅの切断面ごと測定した。この結果
を、表１に、またその平均と偏差を表２に示す。表１及
び表２から明かな通り、前記実施例では、比較例に比べ
て距離Ｌ₁、Ｌ₂の設計値との差が何れも小さく、また切
断位置ごとのばらつきも小さいことが分かる。すなわ
ち、積層体全体のセラミックグリーンシートの変形が小
さいことを示している。

【００３５】

【表１】 ━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━ 距離Ｌ₁（ｍｍ）距離Ｌ₂（ｍｍ）切断位置ａｂｃｄｅａｂｃｄｅ ─────────────────────────────────── 実施例 40.13 40.16 40.09 40.09 40.11 40.12 40.08 40.16 40.15 40.10 比較例 40.13 40.12 40.19 40.15 40.10 40.28 40.26 40.29 40.21 40.33 ───────────────────────────────────

【００３６】

【表２】 ━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━ 切断位置ａ〜ｅの距離Ｌ₁、Ｌ₂の平均（ｍｍ）偏差 ──────────────────────────── 実施例 40.10 0.028 比較例 40.33 0.077 ────────────────────────────

【００３７】

【発明の効果】以上説明した通り、本発明によれば、キ
ャリアフィルム付セラミックグリーンシート１１を積層
台６上に積層しながらキャリアフィルム１３を剥離して
いくに当り、剥離時のセラミックグリーンシート１３の
変形が小さく、従って内部電極パターン１６のずれの小
さな積層体が得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例によるセラミックグリーンシー
トの積層方法のキャリアフィルムの剥離工程を示す側面
図である。

【図２】同実施例によるセラミックグリーンシートの積
層方法の別のキャリアフィルムの剥離工程を示す側面図
である。

【図３】同実施例によるセラミックグリーンシートの積
層方法に使用する装置を示す斜視図である。

【図４】同実施例によるセラミックグリーンシートの積
層方法の各工程ごとのワークの状態を示す説明図であ
る。

【図５】本発明の具体的実施例におけるセラミックグリ
ーンシートの内部電極パターンを示す平面図である。

【図６】同具体的実施例により得られた積層体を示す側
面図である。

【図７】本発明の他の実施例によるセラミックグリーン
シートの積層方法のキャリアフィルムの剥離工程を示す
側面図である。

【図８】同実施例によるセラミックグリーンシートの積
層方法に使用する装置を示す斜視図である。

【符号の説明】

１スライダー２ドラム３ドラムの吸着面４ガイドレール７上下動機構８ベアリング９リニア駆動モーター１０ドラム回転用のモーター１１キャリアフィルム付セラミックグリーンシート１３キャリアフィルム１４セラミックグリーンシート１６内部電極パターン１７積層体

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】キャリアフィルム（１３）を上側にして
積層台（６）上にキャリアフィルム付セラミックグリー
ンシート（１１）を載せた後、上側のキャリアフィルム
（１３）をセラミックグリーンシート（１４）から剥離
し、次にこのセラミックグリーンシート（１４）の上に
同様にしてキャリアフィルム付セラミックグリーンシー
ト（１１）を載せた後、同様にしてそのキャリアフィル
ム（１３）を剥離し、以下これを適当な回数繰り返し
て、積層台（６）上にセラミックグリーンシート（１
１）を積層する方法において、円筒面状の外周面が負圧
とされるドラム（２）を用い、このドラム（２）の外周
面を負圧として、そこにセラミックグリーンシート（１
４）上のキャリアフィルム（１３）の端縁部を吸着し、
その後ドラム（２）をキャリアフィルム（１３）の他方
の端縁部に向かって移動させると共に、回転させるなが
ら、キャリアフィルム（１３）を剥離することを、ドラ
ム（２）の移動方向を交互に変えながら順次行うことを
特徴とするセラミックグリーンシートの積層方法。
【請求項２】前記ドラム（２）の外周面は、全面が円
筒面状となっていることを特徴とする請求項１に記載の
セラミックグリーンシートの積層方法。
【請求項３】前記ドラム（２）の外周面の一部縦方向
に平坦面（３）を有し、この平坦面（３）にキャリアフ
ィルム（１３）の端縁部を吸着することを特徴とする請
求項１に記載のセラミックグリーンシートの積層方法。
【請求項４】前記ドラム（２）の外周面の全面が負圧
とされることを特徴とする請求項１〜３の何れかに記載
のセラミックグリーンシートの積層方法。
【請求項５】前記ドラム（２）の平坦面（３）のみが
負圧とされることを特徴とする請求項３に記載のセラミ
ックグリーンシートの積層方法。
【請求項６】前記ドラム（２）の回転による外周面の
周速と、同ドラム（２）のセラミックグリーンシート
（１４）の表面に沿う移動速度とを互いに等しくするこ
とを特徴とする請求項１〜５の何れかに記載のセラミッ
クグリーンシートの積層方法。