JPH08222620A - ウェーハ自動移載機の自動ティーチング方法 - Google Patents
ウェーハ自動移載機の自動ティーチング方法Info
- Publication number
- JPH08222620A JPH08222620A JP2242395A JP2242395A JPH08222620A JP H08222620 A JPH08222620 A JP H08222620A JP 2242395 A JP2242395 A JP 2242395A JP 2242395 A JP2242395 A JP 2242395A JP H08222620 A JPH08222620 A JP H08222620A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- automatic
- cassette
- boat
- reference wafer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 作業者によるティーチング作業を自動化する
ことができるウェーハ自動移載機の自動ティーチング方
法を提供する。 【構成】 カセット1とボート2との間でウェーハ3を
ウェーハ自動移載機4により移載する方法において、カ
セット1及びボート2に載置されている基準ウェーハ3
Aの位置をセンサ5及びセンサ7により検出し、そのオ
ン・オフのタイミングとエンコーダより出力するデータ
から基準ウェーハ3A及び該基準ウェーハを保持して移
載するツィーザ6の座標を計測し、前データとのシフト
量を自動補正することにより自動ティーチングすること
を特徴とする。
ことができるウェーハ自動移載機の自動ティーチング方
法を提供する。 【構成】 カセット1とボート2との間でウェーハ3を
ウェーハ自動移載機4により移載する方法において、カ
セット1及びボート2に載置されている基準ウェーハ3
Aの位置をセンサ5及びセンサ7により検出し、そのオ
ン・オフのタイミングとエンコーダより出力するデータ
から基準ウェーハ3A及び該基準ウェーハを保持して移
載するツィーザ6の座標を計測し、前データとのシフト
量を自動補正することにより自動ティーチングすること
を特徴とする。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体製造装置や基板
処理装置のウェーハ自動移載機に係り、特にその自動テ
ィーチング方法に関するものである。
処理装置のウェーハ自動移載機に係り、特にその自動テ
ィーチング方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来は、図2を参照して説明すると、反
応室(処理室)内に搬入されて,載置されているウェー
ハ(基板)の成膜,熱処理に供する処理用治具(石英ボ
ート)とカセットとの間でウェーハをウェーハ自動移載
機により移載する場合、目視による移載機ロボットティ
ーチングによりウェーハ移載を行っている。
応室(処理室)内に搬入されて,載置されているウェー
ハ(基板)の成膜,熱処理に供する処理用治具(石英ボ
ート)とカセットとの間でウェーハをウェーハ自動移載
機により移載する場合、目視による移載機ロボットティ
ーチングによりウェーハ移載を行っている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】上記従来例にあって
は、ウェーハ移載を目視によるロボットティーチングに
より行っていたため作業者の教育や人手が必要であっ
た。またウェーハをカセットから処理用治具に自動にて
移し替える場合、カセットの精度や治具精度にバラツキ
があるため、治具交換の際にティーチング作業を行い、
ウェーハが治具に接触することなく自動搬送が行えるよ
う位置確認及び調整せねばならない。
は、ウェーハ移載を目視によるロボットティーチングに
より行っていたため作業者の教育や人手が必要であっ
た。またウェーハをカセットから処理用治具に自動にて
移し替える場合、カセットの精度や治具精度にバラツキ
があるため、治具交換の際にティーチング作業を行い、
ウェーハが治具に接触することなく自動搬送が行えるよ
う位置確認及び調整せねばならない。
【0004】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記従来の課
題である作業者によるティーチング作業を自動化するこ
とができるウェーハ自動移載機の自動ティーチング方法
を提供しようとするものである。即ち、本発明方法は、
カセット1とボート2との間でウェーハ3をウェーハ自
動移載機4により移載する方法において、カセット1及
びボート2に載置されている基準ウェーハ3Aの位置を
センサ5により検出し、そのオン・オフのタイミングと
エンコーダより出力するデータから基準ウェーハ3A及
び該基準ウェーハを保持して移載するツィーザ6の座標
を計測し、前データとのシフト量を自動補正することに
より自動ティーチングすることを特徴とする。
題である作業者によるティーチング作業を自動化するこ
とができるウェーハ自動移載機の自動ティーチング方法
を提供しようとするものである。即ち、本発明方法は、
カセット1とボート2との間でウェーハ3をウェーハ自
動移載機4により移載する方法において、カセット1及
びボート2に載置されている基準ウェーハ3Aの位置を
センサ5により検出し、そのオン・オフのタイミングと
エンコーダより出力するデータから基準ウェーハ3A及
び該基準ウェーハを保持して移載するツィーザ6の座標
を計測し、前データとのシフト量を自動補正することに
より自動ティーチングすることを特徴とする。
【0005】
【作 用】上記の構成においてカセット1とボート2に
載置されている基準ウェーハの位置がセンサ5により検
出され、このセンサ5のオン・オフのタイミングとエン
コーダより出力する前データ値から基準ウェーハの座標
及びこれを保持して移載するツィーザ6の座標が計測さ
れ、前データとのシフト量が自動補正されて自動ティー
チングされることになる。
載置されている基準ウェーハの位置がセンサ5により検
出され、このセンサ5のオン・オフのタイミングとエン
コーダより出力する前データ値から基準ウェーハの座標
及びこれを保持して移載するツィーザ6の座標が計測さ
れ、前データとのシフト量が自動補正されて自動ティー
チングされることになる。
【0006】
【実施例】図1は本発明方法の1実施例の説明図、図2
は本発明方法を実施するウェーハ自動移載機の動作説明
用正面図、図3は同じくその平面図である。図2,図3
において1はカセット、2はボート、8はボートエレベ
ータ、4はウェーハ自動移載機、9は移載機エレベー
タ、10はクリーンユニットである。本発明方法は、石
英ボート2の形状変化に伴う、ティーチング作業を自動
化するためのものである。従って、基準となるカセット
ステージ、移載機、ボートステージのレベル及び直線性
はあらかじめ、工場組立時に規格内に調整される。本実
施方法の要旨は、カセットステージの最上段に設けられ
たスポットセンサ5によりツィーザ6及び基準ウェーハ
3Aの位置を検出し、該スポットセンサ5のオン・オフ
のタイミングとエンコーダの出力パルス値を突合せ、ツ
ィーザ6及び基準ウェーハ3AのX,Y座標を計測し、
かつZ座標はウェーハ自動移載機4の最先端に設けられ
た吸着センサ7のオン・オフのタイミングとエンコーダ
の出力パルス値を突合せることにより計測し、前データ
とのシフト量を自動補正することにより自動ティーチン
グする。
は本発明方法を実施するウェーハ自動移載機の動作説明
用正面図、図3は同じくその平面図である。図2,図3
において1はカセット、2はボート、8はボートエレベ
ータ、4はウェーハ自動移載機、9は移載機エレベー
タ、10はクリーンユニットである。本発明方法は、石
英ボート2の形状変化に伴う、ティーチング作業を自動
化するためのものである。従って、基準となるカセット
ステージ、移載機、ボートステージのレベル及び直線性
はあらかじめ、工場組立時に規格内に調整される。本実
施方法の要旨は、カセットステージの最上段に設けられ
たスポットセンサ5によりツィーザ6及び基準ウェーハ
3Aの位置を検出し、該スポットセンサ5のオン・オフ
のタイミングとエンコーダの出力パルス値を突合せ、ツ
ィーザ6及び基準ウェーハ3AのX,Y座標を計測し、
かつZ座標はウェーハ自動移載機4の最先端に設けられ
た吸着センサ7のオン・オフのタイミングとエンコーダ
の出力パルス値を突合せることにより計測し、前データ
とのシフト量を自動補正することにより自動ティーチン
グする。
【0007】本実施方法を更に具体的に詳細に記述する
と、作業者はカセット1とボート2の最上下溝に基準ウ
ェーハ3Aをセットし、カセットステージにカセット1
をチャージする。 まず、カセットステージの最上段位置に設けられてい
るスポットセンサ5によりツィーザ6の位置を検出し、
該センサ5のオン・オフのタイミングとX,Yエンコー
ダの出力パルス値からツィーザ6のX,Y座標及び中心
座標を計測する(図1(A)参照)。 次にカセット1の最上段溝内基準ウェーハ3Aをツィ
ーザ6により吸着することによりZ方向にずれがないこ
とを確認する。その後、基準ウェーハ3Aをカセット1
から取出し、基準ウェーハ3AのX,Y座標をスポット
センサ5とX,Yエンコーダにより上記と同様に計測し
(図1(B),(D)参照)、基準ウェーハ3Aの中心
及びX送り込み量を計算する。基準ウェーハ3Aの中心
とツィーザ6の中心はほぼ同一となる。中心ずれが許容
値を遙かに超えた場合は、カセット1に変形があるた
め、自動ティーチングを中止し、作業者に知らせる。 しかる後、カセット1の最下段内基準ウェーハ3Aに
ついても同様にX,Y座標を計測し、その中心及びX送
り込み量を計測する。カセットによほどの変形がないか
ぎり、本動作は行わなくてもよい。
と、作業者はカセット1とボート2の最上下溝に基準ウ
ェーハ3Aをセットし、カセットステージにカセット1
をチャージする。 まず、カセットステージの最上段位置に設けられてい
るスポットセンサ5によりツィーザ6の位置を検出し、
該センサ5のオン・オフのタイミングとX,Yエンコー
ダの出力パルス値からツィーザ6のX,Y座標及び中心
座標を計測する(図1(A)参照)。 次にカセット1の最上段溝内基準ウェーハ3Aをツィ
ーザ6により吸着することによりZ方向にずれがないこ
とを確認する。その後、基準ウェーハ3Aをカセット1
から取出し、基準ウェーハ3AのX,Y座標をスポット
センサ5とX,Yエンコーダにより上記と同様に計測し
(図1(B),(D)参照)、基準ウェーハ3Aの中心
及びX送り込み量を計算する。基準ウェーハ3Aの中心
とツィーザ6の中心はほぼ同一となる。中心ずれが許容
値を遙かに超えた場合は、カセット1に変形があるた
め、自動ティーチングを中止し、作業者に知らせる。 しかる後、カセット1の最下段内基準ウェーハ3Aに
ついても同様にX,Y座標を計測し、その中心及びX送
り込み量を計測する。カセットによほどの変形がないか
ぎり、本動作は行わなくてもよい。
【0008】ボート2の最上段溝内基準ウェーハ3A
を上記に記したカセットの溝内基準ウェーハの場合と
同等に吸着し、Z方向のずれを吸着センサ7とエンコー
ダにより上記と同様に計測した後、スポットセンサ5に
よりツィーザ6の基準ウェーハ3AのX,Y座標を計測
し(図1(C),(E)参照)、上記で求めた座標と
のシフト量を算出する(図1(C),(E)参照)。 ボート2の最上段溝に基準ウェーハ3Aを戻した後、
シフト量補正を行い、再度スポットセンサ5により確認
する。 ボート2の最下段溝内基準ウェーハ3Aについても同
様に行い、最上下段溝内基準ウェーハ3AのX,Y座標
と、ボート2の溝内ウェーハ3のX,Y座標が同一とな
るようシフト量を自動補正し、データ交換を行って作業
を完了する。ボート2の上下溝内ウェーハ3のX座標シ
フトについては、シフト量を溝数で割った量を補正可能
とする。ボート2の上下溝内ウェーハのY座標シフトに
ついては、許容限界値を越えた場合、“ボート不良”と
して中止する。しかしながら作業者がウェーハ上下のY
方向を個々に補正し(右傾斜の場合、最下段ウェーハを
右詰め、最上段ウェーハを左詰めにする。左傾斜の場合
はその逆)、再計測した結果、許容値を満たすものであ
れば完了とする。
を上記に記したカセットの溝内基準ウェーハの場合と
同等に吸着し、Z方向のずれを吸着センサ7とエンコー
ダにより上記と同様に計測した後、スポットセンサ5に
よりツィーザ6の基準ウェーハ3AのX,Y座標を計測
し(図1(C),(E)参照)、上記で求めた座標と
のシフト量を算出する(図1(C),(E)参照)。 ボート2の最上段溝に基準ウェーハ3Aを戻した後、
シフト量補正を行い、再度スポットセンサ5により確認
する。 ボート2の最下段溝内基準ウェーハ3Aについても同
様に行い、最上下段溝内基準ウェーハ3AのX,Y座標
と、ボート2の溝内ウェーハ3のX,Y座標が同一とな
るようシフト量を自動補正し、データ交換を行って作業
を完了する。ボート2の上下溝内ウェーハ3のX座標シ
フトについては、シフト量を溝数で割った量を補正可能
とする。ボート2の上下溝内ウェーハのY座標シフトに
ついては、許容限界値を越えた場合、“ボート不良”と
して中止する。しかしながら作業者がウェーハ上下のY
方向を個々に補正し(右傾斜の場合、最下段ウェーハを
右詰め、最上段ウェーハを左詰めにする。左傾斜の場合
はその逆)、再計測した結果、許容値を満たすものであ
れば完了とする。
【0009】
【発明の効果】本発明方法を実施することにより、従来
の作業者によるロボットティーチング作業を自動化する
ことが可能となり、メンテナンスに必要な人件費や作業
ミスによる損害,ロボット取扱いによる危険性等を回避
することができる。
の作業者によるロボットティーチング作業を自動化する
ことが可能となり、メンテナンスに必要な人件費や作業
ミスによる損害,ロボット取扱いによる危険性等を回避
することができる。
【図1】本発明方法の1実施例の説明図である。
【図2】本発明方法を実施するウェーハ自動移載機の動
作説明用正面図である。
作説明用正面図である。
【図3】同じくその平面図である。
1 カセット 2 ボート 3 ウェーハ 3A 基準ウェーハ 4 ウェーハ自動移載機 5 第1(スポット)センサ 6 ツィーザ 7 第2(吸着)センサ 8 ボートエレベータ 9 移載機エレベータ 10 クリーンユニット
Claims (2)
- 【請求項1】 カセットとボートとの間でウェーハをウ
ェーハ自動移載機により移載する方法において、カセッ
ト及びボートに載置されている基準ウェーハの位置をセ
ンサにより検出し、そのオン・オフのタイミングとエン
コーダより出力するデータから基準ウェーハ及び該基準
ウェーハを保持して移載するツィーザの座標を計測し、
前データとのシフト量を自動補正することにより自動テ
ィーチングすることを特徴とするウェーハ自動移載機の
自動ティーチング方法。 - 【請求項2】 カセットステージの最上段位置に設けら
れている第1センサによりツィーザの位置を検出し、そ
のX,Y座標及び中心位置座標を該第1センサのオン・
オフのタイミングとエンコーダの出力パルス値から計測
し、カセット内の基準ウェーハをツィーザで保持して取
出し、該基準ウェーハの位置を第1センサにより検出
し、そのX,Y座標を上記と同様に計測してX方向送り
込み量を計算し、しかる後、ボート内の基準ウェーハに
ついても同様に計測し、ツィーザによる基準ウェーハの
保持のタイミングをウェーハ自動移載機の最上端に設置
されている第2センサにより検出し、そのZ座標を該第
2センサのオン・オフのタイミングとエンコーダの出力
パルス値から計測し、Z方向のずれを計算してから、
X,Y,Z座標と前データとのシフト量を算出し、基準
ウェーハをボート内に戻した後、シフト量を自動補正す
ることを特徴とする請求項1のウェーハ自動移載機の自
動ティーチング方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2242395A JPH08222620A (ja) | 1995-02-10 | 1995-02-10 | ウェーハ自動移載機の自動ティーチング方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2242395A JPH08222620A (ja) | 1995-02-10 | 1995-02-10 | ウェーハ自動移載機の自動ティーチング方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH08222620A true JPH08222620A (ja) | 1996-08-30 |
Family
ID=12082281
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2242395A Pending JPH08222620A (ja) | 1995-02-10 | 1995-02-10 | ウェーハ自動移載機の自動ティーチング方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH08222620A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5981966A (en) * | 1997-02-20 | 1999-11-09 | Tokyo Electron Limited | Auto-teaching method in semiconductor processing system |
JP2006069687A (ja) * | 2004-08-31 | 2006-03-16 | Asyst Shinko Inc | 懸垂式昇降搬送装置における搬送台車の教示装置 |
JP2014072263A (ja) * | 2012-09-28 | 2014-04-21 | Hitachi High-Technologies Corp | 試料搬送装置のティーチング方法 |
CN116190294A (zh) * | 2023-04-24 | 2023-05-30 | 上海果纳半导体技术有限公司 | 一种天车示教装置和示教方法 |
-
1995
- 1995-02-10 JP JP2242395A patent/JPH08222620A/ja active Pending
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5981966A (en) * | 1997-02-20 | 1999-11-09 | Tokyo Electron Limited | Auto-teaching method in semiconductor processing system |
KR100501616B1 (ko) * | 1997-02-20 | 2005-09-26 | 동경 엘렉트론 주식회사 | 반도체처리시스템에서의자동티칭방법과자동티칭용검출장치및자동티칭이가능한종형열처리시스템 |
JP2006069687A (ja) * | 2004-08-31 | 2006-03-16 | Asyst Shinko Inc | 懸垂式昇降搬送装置における搬送台車の教示装置 |
JP4543833B2 (ja) * | 2004-08-31 | 2010-09-15 | ムラテックオートメーション株式会社 | 懸垂式昇降搬送装置における搬送台車の教示装置 |
JP2014072263A (ja) * | 2012-09-28 | 2014-04-21 | Hitachi High-Technologies Corp | 試料搬送装置のティーチング方法 |
CN116190294A (zh) * | 2023-04-24 | 2023-05-30 | 上海果纳半导体技术有限公司 | 一种天车示教装置和示教方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6005299B2 (ja) | ロボットシステムおよびロボットシステムの制御方法 | |
US8255082B2 (en) | Method for teaching carrier means, storage medium and substrate processing apparatus | |
JP4376116B2 (ja) | 基板受け渡し位置の調整方法 | |
JP4621605B2 (ja) | 板材の面取装置における加工寸法の計測方法及び補正方法 | |
CN101501831B (zh) | 圆盘状基板的检查装置和检查方法 | |
TWI375293B (en) | Method to position a wafer | |
US7551979B2 (en) | Robot calibration system and method | |
TWI739093B (zh) | 用於半導體加工的無線基板狀教學感測器 | |
JP2008084938A (ja) | 基板処理装置に対する各種設定値の教示方法、教示用装置及びその校正治具 | |
JP6598898B2 (ja) | 芯ズレ検出装置および芯ズレ検出方法 | |
JPH02105543A (ja) | 再現可能な位置決めの誤差を修正する方法及び装置 | |
KR20060073491A (ko) | 기판 처리장치 및 그 반송 위치 설정 방법 | |
US20100211210A1 (en) | Position correcting apparatus, vacuum processing equipment and position correcting method | |
JP7522178B2 (ja) | 基板搬送装置及び基板位置ずれ測定方法 | |
JP2005262367A (ja) | 搬送ロボットの搬送ズレ確認方法及び処理装置 | |
WO2009116383A1 (ja) | 制御装置及び制御方法 | |
KR20220106734A (ko) | 기판 처리 장치, 기판 처리 장치의 운전 방법 및 기억 매체 | |
JPH08222620A (ja) | ウェーハ自動移載機の自動ティーチング方法 | |
JP2002124556A (ja) | ウエハ搬送装置 | |
JPH09252039A (ja) | 搬送装置におけるティーチング位置設定方法及びティーチング位置設定装置 | |
JP3651026B2 (ja) | ストッカ用ロボットの教示方法 | |
JPH09203612A (ja) | 段積み中子の位置検出装置 | |
JP2004261881A (ja) | ワーク溶接システム、ワーク溶接方法、および、ワーク溶接プログラム | |
JPH0774229A (ja) | 半導体基板位置検知装置 | |
JP2001092523A (ja) | 搬送用ロボットの教示方法 |