JPH0819927A

JPH0819927A - 真空吸着装置とその製造方法

Info

Publication number: JPH0819927A
Application number: JP15244794A
Authority: JP
Inventors: Hiroyuki Morioka; 裕之森岡; Kazuhiko Mishima; 和彦三嶋; Koichi Nagasaki; 浩一長崎; Shinichi Yamaguchi; 新一山口
Original assignee: Kyocera Corp
Current assignee: Kyocera Corp
Priority date: 1994-07-04
Filing date: 1994-07-04
Publication date: 1996-01-23
Anticipated expiration: 2020-06-22
Also published as: JP3663215B2

Abstract

(57)【要約】【構成】多孔質部からなる吸着部と緻密質部からなる支
持部とを備えた真空吸着装置の吸着板全体を同一組成の
セラミックスにより形成し、吸着部をなす多孔質部と、
該多孔質部を囲繞する支持部をなす緻密質部とを一体的
に形成する。また、その製造方法は同一組成のセラミッ
ク粉末に対し、焼成時に燃えてなくなる焼失材を添加混
合し、各セラミック原料を型内の所定位置にそれぞれ充
填したあと成形し、しかるのちセラミック粉末を焼結さ
せる温度にて焼成する。【効果】多孔質部からなる吸着部と緻密質部からなる支
持部を備えた真空吸着装置の吸着板において、全体的に
どの部分をとっても同程度の硬度を備え、且つ機械的強
度、耐薬品性、及び耐熱性に優れたものとするととも
に、上記吸着板を効率的に製造できる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、多孔質部からなる吸着
部と緻密質部からなる支持部とを備える吸着板を具備し
た真空吸着装置とその製造方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来より、真空吸着装置には、吸着板の
吸着部材が多孔質体からなるポーラスタイプのものと、
吸着部材に多数のピン孔を穿設した多ピンタイプのもの
があるが、被加工物を載置面の全面で均一に吸着固定で
きるポーラスタイプの吸着板を具備した真空吸着装置が
好適に使用されている。

【０００３】上記ポーラスタイプの吸着板は、例えば図
４（ａ），（ｂ）に示すように、中央に吸着部材１１と
して円板状の多孔質セラミック材を備え、その周囲に支
持部材１２としてリング状の緻密質セラミック材をガラ
ス１３で接合したものがあった。そして、吸着部材１１
をなす多孔質セラミック材の気孔を吸引孔とし、真空ポ
ンプ（不図示）により吸引することで被加工物１４を載
置面１０ａ上に吸着固定するようになっていた。このと
き載置面１０ａは、凹凸面であると被加工物１４との間
に隙間が生じ吸着力が低下することから、平滑平坦な面
に仕上げられていた。

【０００４】また、上記吸着板１０を構成するセラミッ
ク材としては、セラミック主原料に所定の焼結助剤とバ
インダーとをぞれぞれ添加して混練乾燥したのち顆粒を
製作し、この顆粒を金型中に充填して各々所定の形状に
成形し、支持部材１２をなす緻密質セラミック材は通常
の焼成温度で、吸着部材１１をなす多孔質セラミック材
は通常の焼成温度より少し低い温度で焼成されたもので
あった。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところが、上記のよう
な真空吸着装置の吸着板１０は、吸着部材１１と支持部
材１２をガラス接合するためにガラス１３の融点近傍ま
で加熱するために、軟化したガラス１３の一部が吸着部
材１１を構成する多孔質セラミック材の気孔中に流入し
て接合部全面にガラス１３を介在させることができず、
十分な接合強度を得ることができなかった。その為、こ
のような吸着板１０を真空吸着装置に装着して使用する
と、吸引力に耐えきれず吸着部材１１が支持部材１２か
ら脱落する恐れがあった。

【０００６】また、吸着部材１１をなす多孔質セラミッ
ク材は通常の焼成温度より低い温度で焼成されたもので
あるためにセラミック粒子同士が完全に焼結されておら
ず、支持部材１２をなす緻密質セラミック材に比べ硬度
が低かった。その為、載置面１０ａ全体に切削加工を施
すと、支持面１２ａに比べ吸着面１１ａが多く削られて
しまい、載置面１０ａ全体を平滑平坦な面とすることが
難しかった。

【０００７】さらに、被加工物１４がＳｉウエハなどで
ある場合、載置面１０ａをクリーンな状態に保たなけれ
ばならないことから頻繁に洗浄が繰り返えされるのであ
るが、上記多孔質セラミック材はセラミック粒子同士が
完全に焼結したものでないことから耐薬品性が低く、強
酸や強アルカリの洗浄液によってセラミック粒子同士を
結合させるガラス成分などが浸食を受け、数回の洗浄に
より表面のセラミック粒子が脱落して載置面１０ａが凹
凸面となり、その度に切削加工を施さなければならない
といった不都合があった。しかも、支持部材１２をなす
緻密質セラミック材と吸着部材１１をなす多孔質セラミ
ック材もガラス１３で接合されているために、洗浄の繰
り返しにより接合強度が低下し、使用中に吸着部材１１
が支持部材１２から脱落する恐れもあった。さらに、洗
浄以外でもＳｉウエハのエッチング又はラッピング処理
工程においても強アルカリの液が使用されるため、上述
のような課題があった。

【０００８】また、このような吸着板１０を製造する場
合、多孔質セラミック材と緻密質セラミック材とをそれ
ぞれ別々に製作したあとに、各セラミック材同士をガラ
ス１３で接合しなければならず製造効率が悪かった。

【０００９】

【課題を解決するための手段】そこで、本発明は上記問
題に鑑み、多孔質部からなる吸着部と緻密質部からなる
支持部とを備える真空吸着装置の吸着板全体を、同一組
成のセラミックスにより形成し、吸着部をなす多孔質部
と、該多孔質部を囲繞する支持部をなす緻密質部とを一
体構造としたものであり、さらに、吸着部をなす多孔質
部の気孔率を５．０〜３５％で、且つ平均気孔径を１５
〜４５μｍの範囲で設けたものである。また、本発明
は、アルミナ、ジルコニア、炭化珪素、窒化珪素のうち
一種からなる主原料に対し、所望の焼結助剤とバインダ
ーとをそれぞれ添加したセラミック原料と、さらに、焼
成時に燃えてなくなる焼失材を添加したセラミック原料
とを、金型中の所定位置にそれぞれ充填して圧縮成形
し、しかるのち１１００〜２０００℃の焼成温度にて焼
成することにより、支持部をなす多孔質部を一体的に形
成した真空吸着装置の吸着板を製造したものである。

【００１０】

【作用】本発明によれば、吸着板全体を同一組成のセラ
ミックスにより一体的に形成してあるため、吸着部をな
す多孔質部と支持部をなす緻密質部との境界には接合部
が存在せず、また、多孔質部は完全に焼結されたセラミ
ックスからなる。その為、吸着板のどの部分をとっても
同程度の硬度を有するとともに、機械的強度、耐薬品性
及び耐熱性に優れている。

【００１１】また、本発明によれば、主原料に対し、所
望の焼結助剤とバインダーとをそれぞれ添加したセラミ
ック原料と、さらに、焼成時に燃えてなくなる焼失材を
添加したセラミック原料とを、金型中の所定位置にそれ
ぞれ充填して成形し、しかるのち主原料を完全に焼結さ
せる温度で焼成して吸着板を形成するというように、一
度の成形及び焼成工程を経るだけで、吸着部をなす多孔
質部と支持部をなす緻密質部とを一体的に形成した吸着
板を効率的に製造することができる。しかも、吸着板の
多孔質部を形成するために、主原料に焼失材を適宜調整
して添加してあることから、主原料を完全に焼結させる
温度で焼成することができる。その為、セラミック粒子
同士が完全に焼結した多孔質部とすることができるとと
もに、吸引面から吸着面にかけて連通する貫通気孔を備
えている。

【００１２】

【実施例】以下、本発明実施例を説明する。

【００１３】図１（ａ）は本発明実施例に係る真空吸着
装置の概略を示す斜視図であり、図１（ｂ）は（ａ）に
示す吸着板１のＸ−Ｘ線断面図である。

【００１４】図１（ａ）に示すように、本発明実施例に
係る真空吸着装置は、中央に多孔質セラミックス４から
なる吸着部２と、該吸着部２の周囲に緻密質セラミック
ス５からなる支持部３とを備える円板状の吸着板１を具
備してなり、上記吸着板１の載置面１ａ上に被加工物１
４を載置して他方の吸引面２ｂより吸引管１５を介して
真空ポンプ（不図示）により吸引することで、被加工物
１４を載置面１ａ上に吸着固定するようになっている。
なお、吸着板１の載置面１０ａは、凹凸面であると被加
工物１４との間に隙間を生じ吸着力が低下することか
ら、平滑平坦な面に仕上げてある。

【００１５】また、上記吸着板１は全体を同一組成のセ
ラミックスにより構成してあり、吸着部２をなす多孔質
部４と、該多孔質部４を囲繞する支持部３をなす緻密質
部５とは一体的に形成してある。即ち、図１（ｂ）に示
すように、吸着部２をなす多孔質部４及び支持部３をな
す緻密質部５は互いが完全に焼結した同一組成のセラミ
ックスからなるため、多孔質部４は、緻密質部５と同程
度の硬度を有するとともに、耐薬品性及び耐熱性に優れ
ている。さらに、多孔質部４と緻密質部５との境界には
接合部が存在しない一体構造となっているため、緻密質
部３を構成するセラミック粒子同士の結合力と同程度の
力で緻密質部３のセラミック粒子と多孔質部２のセラミ
ック粒子とが焼結しており機械的強度にも優れている。

【００１６】その為、この吸着板１の載置面１ａに切削
加工を施せば、多孔質部２及び緻密質部３とも同じ量だ
け切削することができることから、載置面１ａを容易に
平滑平坦な面とすることができる。しかも、耐薬品性及
び耐熱性にも優れることから、吸着板１を強酸や強アル
カリの洗浄液に浸したとしてもセラミック粒子の脱落
や、吸着板１の破損を生じることがなく、また、高温下
で使用したとしても図４（ａ），（ｂ）に示す従来の吸
着板１０のように大きな強度劣化を生じ吸着部材１１が
支持部材１２から脱落するといったことがない。

【００１７】また、被加工物１４を載置面１ａの全面で
均一に吸着固定するためには、吸着部２をなす多孔質部
４には、適度な大きさの径を有する気孔が吸着面２ａか
ら吸引面２ｂにかけて連通する貫通気孔２ｃを備えてい
なければならないことから、吸着部２をなす多孔質部４
の気孔率を５．０〜３５％で、且つ平均気孔径を１５〜
４５μｍの範囲に設けてある。

【００１８】即ち、多孔質部４の気孔率が５．０％未満
であると、内部に殆ど気孔が存在しておらず、吸着面２
ａから吸引面２ｂにかけて連通する貫通気孔２ｃが少な
いため十分な吸着力が得られないからである。ただし、
多孔質部４の気孔率が３５％より大きくなると、機械的
強度並びに硬度が大幅に低下するとともに、製造が困難
となる。また、多孔質部４の平均気孔径が１５μｍ未満
であると、気孔の径が小さすぎるために十分な吸引力を
得ることができず、載置面１ａ上に被加工物１４を吸着
固定することができず、逆に、多孔質部４の平均気孔径
を４５μｍより大きくすることは製造が困難となるから
である。

【００１９】さらに、上記吸着板１を構成することがで
きるセラミックスとしては、アルミナセラミックス、ジ
ルコニアセラミックスなどの酸化物系セラミックスや、
炭化珪素質セラミックスや窒化珪素質セラミックスなど
の非酸化物系セラミックスなどさまざまなものを使用す
ることができ、これらは使用目的および使用条件などに
応じて適宜設定すればよい。

【００２０】次に、図１に示す吸着板１を例にとってそ
の製造方法を説明する。

【００２１】まず、主原料をなすセラミック粉末に、所
定の焼結助剤あるいは安定化剤とバインダーをそれぞれ
添加したセラミック原料を用意する。例えば、Ａｌ₂Ｏ
₃に対しては焼結助剤としてＭｇＯ、ＣａＯ、ＳｉＯ₂
のうち少なくとも一種を添加し、ＺｒＯ₂に対しては安
定化剤としてＭｇＯ、ＣａＯ、Ｙ₂Ｏ₃、ＣｅＯ₂等の
うち少なくとも一種を、ＳｉＣに対してはＣ、Ｂ、Ｂ₄
Ｃ、Ａｌ₂Ｏ₃、Ｙ₂Ｏ₃等のうち少なくとも一種を、
Ｓｉ₃Ｎ₄に対しては周期律表2a、3a族元素の酸化物や
窒化物のうち少なくとも一種をそれぞれ焼結助剤として
添加する。また、高純度の吸着板１を製造する時には、
高純度のセラミック粉末を準備すれば良い。

【００２２】そして、このセラミック原料を２つに分
け、一方のセラミック原料に３〜２０重量％の範囲で焼
失材を添加混合する。ここで、焼失材とは焼成時に燃え
てなくなる材質のことであり、例えば、粉末ポリエチレ
ン、酢酸ビニール、セルロース、ポリプロピレン、ポリ
ビニルアルコール、アクリル樹脂などの樹脂剤、あるい
は炭酸マグネシウム、炭酸カルシウムなどを好適に用い
ることができる。

【００２３】一方、図２に示すように、一軸方向加圧成
形機の金型２０中に、ステンレス、プラスチック、樹脂
などからなる薄肉円筒状の仕切り板２１を載置し、この
仕切り板２１により仕切られた円筒の内側２２に焼失材
を含むセラミック原料Ａを、円筒の外側２３に焼失材を
含まないセラミック原料Ｂをそれぞれ充填したあと、上
記仕切り板２１を取り除いて上下のパンチ２４，２５に
より圧縮成形することで、中央が焼失材を含んだセラミ
ック原料Ａからなり、焼失材を含まないセラミック原料
Ｂが上記セラミック原料Ａを囲繞した円板状の成形体を
得る。

【００２４】なお、上記成形工程において、焼失材を含
んだセラミック原料Ａと焼失材を含まないセラミック原
料Ｂとを区隔する仕切り板２１は、抜き取りの時、各々
のセラミック原料Ａ，Ｂに充填密度のバラツキを生じな
いようにするため、できるだけ薄肉のものを使用するこ
とが重要で、少なくとも肉厚ｈが１０ｍｍ以下、好まし
くは１ｍｍ以下の仕切り板２１を使用すれば、充填密度
のバラツキを生じることなく成形することができる。ま
た、一軸方向加圧成形機以外に、硬質ゴムからなる型の
中に仕切り板２１を配置して焼失材を含んだセラミック
原料Ａと焼失材を含まないセラミック原料Ｂとをそれぞ
れ所定位置に充填したあと、均一に静水圧をかけて成形
するＣＩＰ（冷間静水圧プレス）やＨＩＰ（熱間静水圧
プレス）により成形することもできる。

【００２５】このようにして得た成形体を、主原料がＡ
ｌ₂Ｏ₃に対しては１６００〜１７５０℃の焼成温度
で、主原料がＺｒＯ₂に対しては１４００〜１７００℃
の焼成温度で、主原料がＳｉＣに対しては、１７００〜
１９００℃の焼成温度で、Ｓｉ₃Ｎ₄に対しては１８０
０〜２０００℃の焼成温度というように、各セラミック
粉末を完全に焼結させる温度にて焼成すれば、セラミッ
ク原料Ａ中の焼失材が燃えてなくなり、その跡が気孔と
なって残るため、図１に示すような中央が多孔質部４か
らなり、緻密質部５が上記多孔質部４を囲繞するととも
に、多孔質部２と緻密質部３とが一体構造をなし完全に
焼結されている真空吸着装置の吸着板１を得ることがで
きる。

【００２６】なお、上記実施例では、中央が円板状の多
孔質部２からなり、その周囲を環状の緻密質部３が囲繞
した吸着板１についてのみ示したが、その他の実施例と
して、例えば、図３（ａ）に示すような緻密質部５から
なる円板状支持体３’の中央に２つの直方体をした吸着
部２をなす多孔質部４を並設した吸着板１を形成するこ
とができ、この場合、金型２０の中央に２つの角筒体を
した仕切り板２１を並設して載置し、各々の仕切り板２
１の内側にセラミック原料Ａを、その外側にセラミック
原料Ｂを充填して仕切り板２１を取り除いたあと、成形
及び焼成すれば良い。また、図３（ｂ）に示すような支
持部３，３''をなす緻密質部５，５''と吸着部２，２''
をなす多孔質部４，４''が同心円状に交互に設けられた
吸着板１も形成することができ、この場合、金型２０中
に直径の異なる３つの円筒状をした仕切り板２１を同心
円状に載置し、中央からセラミック原料Ａ、セラミック
原料Ｂ、セラミック原料Ａ、セラミック原料Ｂという順
序で充填して各仕切り板２１を取り除き、成形・焼成す
れば良い。特に図３（ｂ）に示す吸着板１は、一つの吸
着板１で大きさの異なる被加工物を吸着固定することが
でき、吸着板１として最適である。

【００２７】また、吸着部２をなす多孔質部４の気孔率
及び平均気孔径は、焼失材の粒子径や添加量を適宜調整
することにより、所望の大きさに調整することができ、
異なる気孔率及び平均気孔径を有する多孔質部４を持っ
た吸着板１を形成することもできる。

【００２８】上述のように製造すれば、一度の成形・焼
成工程を経ることにより、多孔質部２と緻密質部３とを
一体的に形成した吸着板１を効率的に製造することがで
き、従来のように各セラミック材を別々に製作したあと
ガラス接合する必要がない。しかも、この方法によれ
ば、多孔質部２及び緻密質部３ともに完全に焼結した吸
着板１とすることができるため、図４（ａ），（ｂ）に
示す従来の吸着板１０と比べ機械的強度並びに硬度が高
く、且つ耐薬品性、耐熱性に優れた吸着板１とすること
ができる。

【００２９】（実施例）ここで、アルミナセラミック製
の吸着板の具体的実施例を示す。

【００３０】まず、主原料として純度９９％、平均粒子
径０．１〜１．０μｍ程度のアルミナ粒子を用い、この
アルミナ粉末に焼結助剤としてＭｇＯ、ＳｉＯ₂、Ｃａ
Ｏとバインダーとをそれぞれ所定量添加して２種類のセ
ラミック原料を用意するとともに、そのうちの一方に焼
失材として直径９０μｍの球状をした粉末ポリエチレン
を７重量％添加混合した。次に、肉厚１ｍｍ程度のステ
ンレスにより形成した薄肉円筒状の仕切り板を金型中に
配置し、仕切り板の内側に焼失材を混合したセラミック
原料を、仕切り板の外側には焼失材を混合していないセ
ラミック原料をそれぞれ充填したあと、仕切り板を取り
除き１ｔｏｎ／ｃｍ²の成形圧で圧縮形成した。次に、
得られた成形体を焼成温度１７００℃程度で焼成するこ
とにより、中央の多孔質部と、該多孔質部を囲繞する緻
密質部からなるアルミナセラミック製の吸着板を得た。
なお、この吸着板の特性はアルミナ純度が９３％で、吸
着部をなす多孔質部の気孔率が１０．６％、ロックウエ
ル硬度（Ｈ_R15Y）が９７．９ｋｇ／ｃｍ²であり、吸着
面から吸引面にかけて連通する貫通気孔を備えていた。

【００３１】（実験例）ここで、焼失材の添加量をそれ
ぞれ変えて、上記アルミナセラミック製の吸着板を形成
したときの成形性および吸着板としての使用可能性につ
いて実験を行った。

【００３２】吸着板の製造条件は上記実施例の通り行
い、まず、焼失材として直径９０μｍの球状をした粉末
ポリエチレンを０〜３０重量％の範囲でそれぞれ添加し
て成形体を形成した時の成形性を確認し、次に、成形体
を焼成して得た吸着板の載置面上に被加工物として８イ
ンチのＳｉウエハを載置し、真空ポンプにより吸引して
吸着固定できるか否かの使用可能性について確認した。

【００３３】それぞれの結果は表１に示す通りである。

【００３４】

【表１】

【００３５】表１より判るように、比較例の試料Ｎｏ．
１は、焼失材の添加量が０重量％であるために内部に殆
ど気孔が存在せず、また、吸着面から吸引面にかけて連
通する貫通気孔を備えていなかった。その為、８インチ
のＳｉウエハを載置面上に吸着固定することができなか
った。

【００３６】また、比較例の試料Ｎｏ．２は、焼失材を
１重量％添加してあるため、吸着面から吸引面にかけて
連通する貫通気孔を備えていたものの、吸着部の平均気
孔径が小さすぎるため、充分な吸引力を得ることができ
ず、８インチのＳｉウエハを載置面上に吸着固定するこ
とができなかった。

【００３７】一方、比較例の試料Ｎｏ．９では、焼失材
の添加量が３０重量％と多すぎるために、成形工程にお
いて焼失材の弾性回復が大きすぎ、成形体にラミネーシ
ョンを生じ、吸着板を製造することができなかった。

【００３８】これに対し、本発明の範囲にある試料Ｎ
ｏ．３〜８は、焼失材を３〜２０重量％の範囲で添加し
てあるため、吸着部の気孔率が５．０〜３５％で、且つ
平均気孔径が１５〜４５μｍの範囲にあり、吸着面から
吸引面まで連通する貫通気孔を備えていた。その為、充
分な吸引力が得られ、８インチのＳｉウエハを載置面上
に強固に吸着固定することができた。

【００３９】この結果より、吸着板として使用するため
には、焼失材の添加量は３〜２０重量％の範囲で添加す
れば良いことが判る。

【００４０】なお、上記実験例では、アルミナセラミッ
ク製の吸着板についてのみ示したが、他にジルコニアセ
ラミックスや窒化珪素質セラミックス、あるいは炭化珪
素質セラミックスにより形成した吸着板であっても、焼
失材を３〜２０重量％の範囲で添加すれば、吸着部をな
す多孔質部の気孔率が５．０〜３５％で、且つ平均気孔
径が１５〜４５μｍの範囲あり、且つ吸引面から吸着面
にかけて連通する貫通気孔を備えた吸着板を形成するこ
とができ、Ｓｉウエハなどの被加工物を載置面上に強固
に吸着固定することができた。

【００４１】

【発明の効果】以上のように、本発明の真空吸着装置に
備える吸着板は、吸着部をなす多孔質部と支持部をなす
緻密質部とが共に同一組成のセラミックスにより一体的
に形成してあることから、多孔質部は緻密質部と同程度
の硬度を有するとともに、機械的強度、耐薬品性、及び
耐熱性に優れている。その為、載置面を容易に平滑平坦
な面とすることができるため、被加工物を強固に吸着固
定することができるととに、吸引力により支持部から吸
着部が脱落することがない。また、洗浄を繰り返したと
してもセラミック粒子の脱落がなく、高温下での使用に
おいても大幅な強度劣化を生じることがないため、長期
間にわたり使用することができる。

【００４２】また、本発明は、吸着板の吸着部をなす多
孔質部を構成するために、セラミック原料中に焼成時に
燃えてなくなる焼失材を添加して成形し、しかるのちセ
ラミック粉末を完全に焼結させる温度で焼成して製造し
たことにより、従来のように各セラミック材を別々に制
作し、その後ガラス接合するというような面倒な作業を
することなく、一度の成形・焼成工程を経るだけで、多
孔質部と緻密質部とを一体的に形成した吸着板を効率良
く製造することができる。しかも、この方法により製造
すれば多孔質部も完全に焼結したセラミックスとするこ
とができる。

【００４３】その為、上記吸着板を備える本発明の真空
吸着装置を用いれば、長期間にわたり被加工物を吸着板
の載置面上に強固に固定することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】（ａ）は本発明に係る真空吸着装置の概略を示
す斜視図であり、（ｂ）は（ａ）に示す吸着板のＸーＸ
線断面図である。

【図２】本発明の真空吸着装置に備える吸着板の成形工
程を示す斜視図である。

【図３】（ａ），（ｂ）はそれぞれ本発明に係る真空吸
着装置に備える吸着板の他の実施例を示す斜視図であ
る。

【図４】（ａ）は従来の真空吸着装置の概略を示す斜視
図であり、（ｂ）は（ａ）に示す吸着板のＹーＹ線断面
図である。

【符号の説明】

１…吸着板２…吸着部３…支持部４…多孔質部５…緻密質部２０…金型２１…仕切り板

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者山口新一鹿児島県国分市山下町１番１号京セラ株式会社鹿児島国分工場内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】多孔質部からなる吸着部と緻密質部からな
る支持部とを備える吸着板を具備した真空吸着装置であ
って、該吸着板を構成する多孔質部と、該多孔質部を囲
繞する緻密質部とを共に同一組成のセラミックスにより
一体的に形成してなる真空吸着装置。
【請求項２】上記吸着部をなす多孔質部の気孔率が５．
０〜３５％で、且つ平均気孔径が１５〜４５μｍの範囲
ある請求項１に記載の真空吸着装置。
【請求項３】アルミナ、ジルコニア、炭化珪素、窒化珪
素のうち一種からなる主原料に対し、所望の焼結助剤と
バインダーを添加したセラミック原料と、さらに、焼成
時に燃えてなくなる焼失材を添加したセラミック原料と
を型内の所定位置にそれぞれ充填して圧縮成形し、しか
るのち１１００〜２０００℃の温度範囲にて焼成するこ
とにより、吸着部をなす多孔質部と、支持部をなす多孔
質部を一体的に形成した吸着板を製作する工程からなる
真空吸着装置の製造方法。