JPH08190070A - 光走査装置 - Google Patents
光走査装置Info
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- JPH08190070A JPH08190070A JP7003588A JP358895A JPH08190070A JP H08190070 A JPH08190070 A JP H08190070A JP 7003588 A JP7003588 A JP 7003588A JP 358895 A JP358895 A JP 358895A JP H08190070 A JPH08190070 A JP H08190070A
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- Japan
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 光学系の構成を複雑化させずに高解像、高精
度な走査を可能とし、かつ、低価格でコンパクトな光走
査装置を提供することにある。 【構成】 レーザ光源１からコリメータレンズ２，シリ
ンドリカルレンズ４を介してレーザ光が照射され、変形
自在に形成された反射面を有する可変鏡３と、可変鏡３
で反射されたレーザ光を反射偏向するポリゴンミラー５
と、ポリゴンミラー５で偏向されたレーザ光を所定の大
きさおよび形状に設定し、走査面７に集光するｆθレン
ズ６ａ，６ｂと、可変鏡３で反射される光の波面形状の
変形量を検出する波面形状検出器８より構成される。
度な走査を可能とし、かつ、低価格でコンパクトな光走
査装置を提供することにある。 【構成】 レーザ光源１からコリメータレンズ２，シリ
ンドリカルレンズ４を介してレーザ光が照射され、変形
自在に形成された反射面を有する可変鏡３と、可変鏡３
で反射されたレーザ光を反射偏向するポリゴンミラー５
と、ポリゴンミラー５で偏向されたレーザ光を所定の大
きさおよび形状に設定し、走査面７に集光するｆθレン
ズ６ａ，６ｂと、可変鏡３で反射される光の波面形状の
変形量を検出する波面形状検出器８より構成される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はレーザプリンタ、ＰＯＳ
スキャナー、光測定装置に使用される光走査装置に関
し、特に、レンズの枚数を増加させることなく高解像，
高精度な走査を可能とし、同時に、低コスト，コンパク
ト化を実現する光走査装置に関する。
スキャナー、光測定装置に使用される光走査装置に関
し、特に、レンズの枚数を増加させることなく高解像，
高精度な走査を可能とし、同時に、低コスト，コンパク
ト化を実現する光走査装置に関する。
【０００２】
【従来技術】従来、レーザ光源等の光源のビーム光をポ
リゴンミラーで偏向し、偏向光をｆθ光学系を介して感
光体に照射する光走査装置は、レーザプリンタ、ＰＯＳ
スキャナー、光測定装置に使用されており、その用途に
応じて走査速度、走査光スポットの大きさや形状，走査
線の直線性などの性能が要求されている。特に、近年で
はレーザプリンタの普及が進み、こうした機器に利用さ
れる光走査装置にはより高い解像度や走査速度が求めら
れ、かつ、コンパクトで低価格であることが要求されて
いる。
リゴンミラーで偏向し、偏向光をｆθ光学系を介して感
光体に照射する光走査装置は、レーザプリンタ、ＰＯＳ
スキャナー、光測定装置に使用されており、その用途に
応じて走査速度、走査光スポットの大きさや形状，走査
線の直線性などの性能が要求されている。特に、近年で
はレーザプリンタの普及が進み、こうした機器に利用さ
れる光走査装置にはより高い解像度や走査速度が求めら
れ、かつ、コンパクトで低価格であることが要求されて
いる。
【０００３】このような光走査装置の高解像化を図るも
のとして、レンズ枚数を増加させたｆθ光学系が提案さ
れている。しかし、レンズの枚数が増加すると光学系の
構成が大型化し、加えて、レンズ製造に要するコストが
高くなるという不都合がある。一方、レンズを非球面の
プラスチック等でコンパクトに形成したとしても、例え
ば、温度の変化によりビーム光の集光位置が変動して解
像度が低下するという不都合がある。
のとして、レンズ枚数を増加させたｆθ光学系が提案さ
れている。しかし、レンズの枚数が増加すると光学系の
構成が大型化し、加えて、レンズ製造に要するコストが
高くなるという不都合がある。一方、レンズを非球面の
プラスチック等でコンパクトに形成したとしても、例え
ば、温度の変化によりビーム光の集光位置が変動して解
像度が低下するという不都合がある。
【０００４】上記した問題を解決するものとして、光走
査装置に設けられたシリンドリカルレンズの位置を光軸
方向に変位させる機構を備え、ビーム集光位置の変動を
補正するようにした特開平３−５４５１４号に開示され
る方法や、ピエゾ素子に取り付けた反射鏡の変位によっ
て結像レンズの前焦点を移動させ、ビーム集光位置を補
正する特開平６−４３３７３号に開示される方法が提案
されている。
査装置に設けられたシリンドリカルレンズの位置を光軸
方向に変位させる機構を備え、ビーム集光位置の変動を
補正するようにした特開平３−５４５１４号に開示され
る方法や、ピエゾ素子に取り付けた反射鏡の変位によっ
て結像レンズの前焦点を移動させ、ビーム集光位置を補
正する特開平６−４３３７３号に開示される方法が提案
されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかし、このような方
法はいずれもビーム光の光軸方向における集光位置を補
正する方法であるため、光走査装置の構成に起因する走
査線の曲がり（ボウ）や、光学系の収差によって生じた
集光スポットの形状を補正することができないという問
題がある。従って、本発明の目的は、光学系の構成を複
雑化させずに高解像、高精度な走査を可能とし、かつ、
低価格でコンパクトな光走査装置を提供することにあ
る。
法はいずれもビーム光の光軸方向における集光位置を補
正する方法であるため、光走査装置の構成に起因する走
査線の曲がり（ボウ）や、光学系の収差によって生じた
集光スポットの形状を補正することができないという問
題がある。従って、本発明の目的は、光学系の構成を複
雑化させずに高解像、高精度な走査を可能とし、かつ、
低価格でコンパクトな光走査装置を提供することにあ
る。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は光学系の構成を
複雑化させずに高解像、高精度な走査を可能とし、か
つ、低価格でコンパクトな構成とするため、レーザ光の
光路上に設けられ、レーザ光の波面形状を所定の形状に
変形させる波面形状変形手段を備えた光走査装置を提供
する。
複雑化させずに高解像、高精度な走査を可能とし、か
つ、低価格でコンパクトな構成とするため、レーザ光の
光路上に設けられ、レーザ光の波面形状を所定の形状に
変形させる波面形状変形手段を備えた光走査装置を提供
する。
【０００７】本発明は上記した目的を達成するため、波
面形状変形手段がレーザ光を反射する反射面の形状を可
変させる可変鏡、あるいは印加する電圧に基づいて屈折
率が変化する電気光学空間位相変調素子であることが好
ましい。
面形状変形手段がレーザ光を反射する反射面の形状を可
変させる可変鏡、あるいは印加する電圧に基づいて屈折
率が変化する電気光学空間位相変調素子であることが好
ましい。
【０００８】
【作用】本発明の光走査装置によると、波面形状変形手
段は予め定められた通りに、あるいは波面形状が所定の
形状になるようにレーザ光の波面形状を変形させる。こ
の変形は、例えば、複数のアクチュエータによって変形
自在に構成される反射面を有する反射鏡を変形させる
か、あるいは、電子光学空間位相変調素子に印加する電
圧を変化させて屈折率を変化させることによって行う。
段は予め定められた通りに、あるいは波面形状が所定の
形状になるようにレーザ光の波面形状を変形させる。こ
の変形は、例えば、複数のアクチュエータによって変形
自在に構成される反射面を有する反射鏡を変形させる
か、あるいは、電子光学空間位相変調素子に印加する電
圧を変化させて屈折率を変化させることによって行う。
【０００９】
【実施例】以下、本発明の光走査装置を図面を参照しつ
つ詳細に説明する。
つ詳細に説明する。
【００１０】図１は、本発明の一実施例における光走査
装置を示し、レーザ光源１からコリメータレンズ２，シ
リンドリカルレンズ４を介してレーザ光が照射され、変
形自在に形成された反射面を有する可変鏡３と、可変鏡
３で反射されたレーザ光を反射偏向するポリゴンミラー
５と、ポリゴンミラー５で偏向されたレーザ光を所定の
大きさおよび形状に設定し、走査面７に集光するｆθレ
ンズ６ａ，６ｂと、可変鏡３で反射される光の波面形状
の変形量（反射鏡３の反射面の変形量）を検出する波面
形状検出器８とを有する。
装置を示し、レーザ光源１からコリメータレンズ２，シ
リンドリカルレンズ４を介してレーザ光が照射され、変
形自在に形成された反射面を有する可変鏡３と、可変鏡
３で反射されたレーザ光を反射偏向するポリゴンミラー
５と、ポリゴンミラー５で偏向されたレーザ光を所定の
大きさおよび形状に設定し、走査面７に集光するｆθレ
ンズ６ａ，６ｂと、可変鏡３で反射される光の波面形状
の変形量（反射鏡３の反射面の変形量）を検出する波面
形状検出器８とを有する。
【００１１】図２は、可変鏡３の断面図を示し、基板３
ａ上に配置された複数のアクチュエータ３ｂと、アクチ
ュエータ３ｂの突出子３ｃの先端に固定され、表面に反
射面３ｄが形成された板状のガラス３ｅより構成されて
いる。ガラス３ｅはアクチュエータ３ｂの突出子３ｃの
突出量に基づいて弾性変形し、表面の反射面３ｄを変形
させる。
ａ上に配置された複数のアクチュエータ３ｂと、アクチ
ュエータ３ｂの突出子３ｃの先端に固定され、表面に反
射面３ｄが形成された板状のガラス３ｅより構成されて
いる。ガラス３ｅはアクチュエータ３ｂの突出子３ｃの
突出量に基づいて弾性変形し、表面の反射面３ｄを変形
させる。
【００１２】図３は、波面形状検出器８を示しており、
波面形状モニタ用光源９より照射される光を平行光に変
換する波面形状モニタ用光学系１０と、可変鏡３への光
路上に配置される半透鏡（ハーフミラー）１１と、半透
鏡１１で分岐された可変鏡方向とは異なる分岐光路上に
配置され、同一の焦点距離を有する複数のマイクロレン
ズアレー１２と、マイクロレンズアレー１２の集光位置
に配置された結像部１３より構成されており、波面形状
モニタ用光源９より照射され、可変鏡３で反射された光
を半透鏡１１を介してマイクロレンズアレー１２に導
き、マイクロレンズアレー１２によって結像部１３上に
集光される結像点の配列から可変鏡３が与える変形量分
布を検出する。この装置はシャックハルトマン装置と呼
ばれる。
波面形状モニタ用光源９より照射される光を平行光に変
換する波面形状モニタ用光学系１０と、可変鏡３への光
路上に配置される半透鏡（ハーフミラー）１１と、半透
鏡１１で分岐された可変鏡方向とは異なる分岐光路上に
配置され、同一の焦点距離を有する複数のマイクロレン
ズアレー１２と、マイクロレンズアレー１２の集光位置
に配置された結像部１３より構成されており、波面形状
モニタ用光源９より照射され、可変鏡３で反射された光
を半透鏡１１を介してマイクロレンズアレー１２に導
き、マイクロレンズアレー１２によって結像部１３上に
集光される結像点の配列から可変鏡３が与える変形量分
布を検出する。この装置はシャックハルトマン装置と呼
ばれる。
【００１３】上記した光走査装置の動作を以下に説明す
る。レーザ光源１からコリメータレンズ２，シリンドリ
カルレンズ４を介して照射されるレーザ光は可変鏡３で
ポリゴンミラー５の方向へ反射され、ポリゴンミラー５
において反射偏向される。反射偏向されたレーザ光はｆ
θレンズ６ａ，６ｂによって走査面７に所定の大きさお
よび形状の集光スポットを形成するように集光される。
る。レーザ光源１からコリメータレンズ２，シリンドリ
カルレンズ４を介して照射されるレーザ光は可変鏡３で
ポリゴンミラー５の方向へ反射され、ポリゴンミラー５
において反射偏向される。反射偏向されたレーザ光はｆ
θレンズ６ａ，６ｂによって走査面７に所定の大きさお
よび形状の集光スポットを形成するように集光される。
【００１４】この状態で、波面形状検出器８では、波面
形状モニタ用光源９から光を照射し、可変鏡３で反射さ
れた光を半透鏡１１を介してマイクロレンズアレー１２
に導くことによって、結像部１３上に結像点を形成させ
る。
形状モニタ用光源９から光を照射し、可変鏡３で反射さ
れた光を半透鏡１１を介してマイクロレンズアレー１２
に導くことによって、結像部１３上に結像点を形成させ
る。
【００１５】ここで、図３に示すように半透鏡１１を介
してマイクロレンズアレー１２に導かれた可変鏡３の反
射光が非直線性の波面形状Ａを有していると、結像部１
３上に形成される結像点の配列は点線Ｂに示すように不
規則となる。
してマイクロレンズアレー１２に導かれた可変鏡３の反
射光が非直線性の波面形状Ａを有していると、結像部１
３上に形成される結像点の配列は点線Ｂに示すように不
規則となる。
【００１６】従って、可変鏡３のアクチュエータ３ｂの
突出子３ｃの突出量を結像部１３らの信号に応じて制御
してガラス３ｅを弾性変形させ、反射面３ｄの表面形状
を変化させる。反射面３ｄの変形量の分布、即ち、レー
ザ光に与える波面変形量の分布ξ（ｘ，ｙ）は（１）式
で求められる。 ｇ（ｘ，ｙ）≒ψ（ｘ，ｙ）＋ξ（ｘ，ｙ） ここで、ｇ（ｘ，ｙ）は走査面７に向かう波面の理想形
状であり、ψ（ｘ，ｙ）は反射面３ｄの表面形状を変形
させないときの波面形状である。
突出子３ｃの突出量を結像部１３らの信号に応じて制御
してガラス３ｅを弾性変形させ、反射面３ｄの表面形状
を変化させる。反射面３ｄの変形量の分布、即ち、レー
ザ光に与える波面変形量の分布ξ（ｘ，ｙ）は（１）式
で求められる。 ｇ（ｘ，ｙ）≒ψ（ｘ，ｙ）＋ξ（ｘ，ｙ） ここで、ｇ（ｘ，ｙ）は走査面７に向かう波面の理想形
状であり、ψ（ｘ，ｙ）は反射面３ｄの表面形状を変形
させないときの波面形状である。
【００１７】以上の光走査装置において、レーザ光源１
から照射されたレーザ光を偏向する手段としてポリゴン
ミラーを使用しているが、これに限定されるものではな
く、回転するホログラムディスクや電気光学偏向素子を
使用することもできる。また、波面形状検出器８につい
ても同様であり、可変鏡３が与える変形量分布を検出で
きるものであれば他の検出装置を使用しても良い。
から照射されたレーザ光を偏向する手段としてポリゴン
ミラーを使用しているが、これに限定されるものではな
く、回転するホログラムディスクや電気光学偏向素子を
使用することもできる。また、波面形状検出器８につい
ても同様であり、可変鏡３が与える変形量分布を検出で
きるものであれば他の検出装置を使用しても良い。
【００１８】図４は、本発明の他の実施例における光走
査装置を示し、図１の実施例においてアクチュエータ３
ｂと走査面７を具体化したものである。図１の実施例と
同じように、レーザ光源１からコリメータレンズ２，シ
リンドリカルレンズ４を介してレーザ光が照射され、変
形自在に形成された反射面を有する可変鏡１４と、可変
鏡１４で反射されたレーザ光を反射偏向するポリゴンミ
ラー１６と、ポリゴンミラー１６で偏向されたレーザ光
を所定の大きさおよび形状に集光するｆθレンズ６と、
ｆθレンズ６で集光されたレーザ光を反射して感光体ド
ラム１８上に照射するミラー１７と、可変鏡１４で反射
される光の波面形状の変形量を検出する波面形状検出器
８とを有する。
査装置を示し、図１の実施例においてアクチュエータ３
ｂと走査面７を具体化したものである。図１の実施例と
同じように、レーザ光源１からコリメータレンズ２，シ
リンドリカルレンズ４を介してレーザ光が照射され、変
形自在に形成された反射面を有する可変鏡１４と、可変
鏡１４で反射されたレーザ光を反射偏向するポリゴンミ
ラー１６と、ポリゴンミラー１６で偏向されたレーザ光
を所定の大きさおよび形状に集光するｆθレンズ６と、
ｆθレンズ６で集光されたレーザ光を反射して感光体ド
ラム１８上に照射するミラー１７と、可変鏡１４で反射
される光の波面形状の変形量を検出する波面形状検出器
８とを有する。
【００１９】図５は、可変鏡１４の断面図を示し、基板
１４ａ上には複数のピエゾアクチュエータ１４ｂが配置
され、ピエゾアクチュエータ１４ｂの突出子１４ｃには
研磨された表面に反射膜を蒸着して形成された反射鏡部
１４ｄを有するガラス１４ｅが固定されている。その他
の構成および動作は図１の光走査装置に準じるので重複
する説明を省略する。
１４ａ上には複数のピエゾアクチュエータ１４ｂが配置
され、ピエゾアクチュエータ１４ｂの突出子１４ｃには
研磨された表面に反射膜を蒸着して形成された反射鏡部
１４ｄを有するガラス１４ｅが固定されている。その他
の構成および動作は図１の光走査装置に準じるので重複
する説明を省略する。
【００２０】図６は、本発明の更に他の実施例における
光走査装置を示し、レーザ光源１からコリメータレンズ
２，シリンドリカルレンズ４を介してレーザ光が照射さ
れる光路上に設けられる電気光学空間位相変調素子１９
と、電気光学空間位相変調素子１９より出射されるレー
ザ光を分岐する半透鏡２０と、半透鏡２０の透過側の分
岐光路上に設けられ、ｆθレンズ６を介して感光体ドラ
ム１８の副走査方向にレーザ光を偏向する電気光学偏向
素子２１と、半透鏡２０の反射側の分岐光路上に設けら
れる波面形状検出器８とを有する。
光走査装置を示し、レーザ光源１からコリメータレンズ
２，シリンドリカルレンズ４を介してレーザ光が照射さ
れる光路上に設けられる電気光学空間位相変調素子１９
と、電気光学空間位相変調素子１９より出射されるレー
ザ光を分岐する半透鏡２０と、半透鏡２０の透過側の分
岐光路上に設けられ、ｆθレンズ６を介して感光体ドラ
ム１８の副走査方向にレーザ光を偏向する電気光学偏向
素子２１と、半透鏡２０の反射側の分岐光路上に設けら
れる波面形状検出器８とを有する。
【００２１】図７は、電気光学空間位相変調素子１９の
構造を示し、電気光学効果を有する板状の結晶部材１９
ａと、結晶部材１９ａの入射側と出射側に取り付けら
れ、２次元に配置されたセグメント状の透明電極１９ｂ
および１９ｃを有している。
構造を示し、電気光学効果を有する板状の結晶部材１９
ａと、結晶部材１９ａの入射側と出射側に取り付けら
れ、２次元に配置されたセグメント状の透明電極１９ｂ
および１９ｃを有している。
【００２２】電気光学空間位相変調素子１９は、透明電
極に電圧を印加することにより、例えば、ａの方向に電
場が形成されると、そのセグメントにおける結晶部材１
９ａの屈折率が変化することによって、矢印の方向に透
過するレーザ光の波面形状をＡからＢに変化させる。一
方、電圧が印加されないセグメントでは屈折率は変化せ
ず、レーザ光はそのまま透過する。
極に電圧を印加することにより、例えば、ａの方向に電
場が形成されると、そのセグメントにおける結晶部材１
９ａの屈折率が変化することによって、矢印の方向に透
過するレーザ光の波面形状をＡからＢに変化させる。一
方、電圧が印加されないセグメントでは屈折率は変化せ
ず、レーザ光はそのまま透過する。
【００２３】従って、波面形状検出器８でレーザ光の波
面形状を観察しながら、電気光学空間位相変調素子１９
の２次元配置された透明電極１９ｂおよび１９ｃを適宜
選択して電圧を印加することによって、ｆθレンズ６を
介して感光体ドラム１８に照射されるレーザ光の波面形
状を所望の形状に設定することができる。図７では透過
型の電気光学空間位相変調素子１９を用いているが、こ
れに限定されるものではなく、例えば、反射型のものを
使用しても良い。
面形状を観察しながら、電気光学空間位相変調素子１９
の２次元配置された透明電極１９ｂおよび１９ｃを適宜
選択して電圧を印加することによって、ｆθレンズ６を
介して感光体ドラム１８に照射されるレーザ光の波面形
状を所望の形状に設定することができる。図７では透過
型の電気光学空間位相変調素子１９を用いているが、こ
れに限定されるものではなく、例えば、反射型のものを
使用しても良い。
【００２４】
【発明の効果】以上説明した通り、本発明の光走査装置
によると、レーザ光の光路上に設けられ、レーザ光の波
面形状を所定の形状に変形させる波面形状変形手段を有
するようにしたため、光学系の構成を複雑化させずに高
解像、高精度な走査を可能とし、かつ、低価格でコンパ
クトな構成とすることができる。
によると、レーザ光の光路上に設けられ、レーザ光の波
面形状を所定の形状に変形させる波面形状変形手段を有
するようにしたため、光学系の構成を複雑化させずに高
解像、高精度な走査を可能とし、かつ、低価格でコンパ
クトな構成とすることができる。
【図１】本発明の一実施例における光走査装置の構成を
示す説明図である。
示す説明図である。
【図２】本発明の一実施例における可変鏡を示す断面図
である。
である。
【図３】本発明の一実施例における波面形状検出器８の
構成を示す説明図である。
構成を示す説明図である。
【図４】本発明の他の実施例における光走査装置の構成
を示す説明図である。
を示す説明図である。
【図５】本発明の他の実施例における波面形状検出器１
４の構成を示す説明図である。
４の構成を示す説明図である。
【図６】本発明の更に他の実施例における光走査装置の
構成を示す説明図である。
構成を示す説明図である。
【図７】電気光学空間位相変調素子１９の構造を示す断
面図である。
面図である。
１，レーザ光源 ２，コリメータレンズ ３，可変鏡 ３ａ，基板 ３ｂ，アクチュエータ ３ｃ，突出子 ３ｄ，反射面 ３ｅ，ガラス ４，シリンドリカルレンズ ５，ポリゴンミラー ６，６ａ，６ｂ，ｆθレンズ ７，走査面 ８，波面形状検出器 ９，波面形状モニタ用光源 １０，波面形状モニタ用光学系 １１，半透鏡 １２，マイクロレンズアレー １３，結像部 １４，可変鏡 １４ａ，基板 １４ｂ，ピエゾアクチュエータ １４ｃ，突出子 １４ｄ，反射鏡部 １４ｅ，ガラス １６，ポリゴンミラー １７，ミラー １８，感光体ドラム １９，電気光学空間位相変調素子 １９ａ，結晶部材 １９ｂ，１９ｃ，透明電極 ２０，半透鏡 ２１，電気光学偏向素子
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｇ０２Ｂ 26/00 Ｇ０２Ｆ 1/03 ５０５ Ｈ０４Ｎ 1/113
Claims (3)
- 【請求項１】 レーザ光源より出射されるレーザ光を偏
向させる光偏向手段と、前記光偏向手段によって偏向さ
れた前記レーザ光を集光して走査面上に光スポットを生
成する結像光学手段を備えた光走査装置において、 前記レーザ光の光路上に設けられ、前記レーザ光の波面
形状を所定の形状に変形させる波面形状変形手段を備え
たことを特徴とする光走査装置。 - 【請求項２】 前記波面形状変形手段は、前記レーザ光
を反射する反射面の形状を可変させる可変鏡である請求
項第１項記載の光走査装置。 - 【請求項３】 前記波面形状変形手段は、印加する電圧
に基づいて屈折率が変化する電気光学空間位相変調素子
である請求項第１項記載の光走査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7003588A JPH08190070A (ja) | 1995-01-12 | 1995-01-12 | 光走査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7003588A JPH08190070A (ja) | 1995-01-12 | 1995-01-12 | 光走査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08190070A true JPH08190070A (ja) | 1996-07-23 |
Family
ID=11561628
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7003588A Pending JPH08190070A (ja) | 1995-01-12 | 1995-01-12 | 光走査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08190070A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005249914A (ja) * | 2004-03-02 | 2005-09-15 | Ricoh Co Ltd | レーザ光走査装置 |
| JP2006043778A (ja) * | 2003-07-22 | 2006-02-16 | Ngk Insulators Ltd | アクチュエータ装置 |
| US7247841B2 (en) | 2004-10-07 | 2007-07-24 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Light scanning apparatus |
| US7635191B2 (en) | 2006-08-09 | 2009-12-22 | Funai Electric Co., Ltd. | Manufacturing method for variable shape mirror |
| JP2014509406A (ja) * | 2011-01-26 | 2014-04-17 | アルパオ | 容量式センサーを有する可変鏡 |
| CN114326093A (zh) * | 2021-12-17 | 2022-04-12 | 中国科学院光电技术研究所 | 一种基于快速倾斜镜和高密度变形镜的动态波前模拟装置 |
-
1995
- 1995-01-12 JP JP7003588A patent/JPH08190070A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006043778A (ja) * | 2003-07-22 | 2006-02-16 | Ngk Insulators Ltd | アクチュエータ装置 |
| JP2005249914A (ja) * | 2004-03-02 | 2005-09-15 | Ricoh Co Ltd | レーザ光走査装置 |
| JP4518380B2 (ja) * | 2004-03-02 | 2010-08-04 | 株式会社リコー | レーザ光走査装置 |
| US7247841B2 (en) | 2004-10-07 | 2007-07-24 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Light scanning apparatus |
| US7348549B2 (en) | 2004-10-07 | 2008-03-25 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Light scanning apparatus |
| US7635191B2 (en) | 2006-08-09 | 2009-12-22 | Funai Electric Co., Ltd. | Manufacturing method for variable shape mirror |
| JP2014509406A (ja) * | 2011-01-26 | 2014-04-17 | アルパオ | 容量式センサーを有する可変鏡 |
| CN114326093A (zh) * | 2021-12-17 | 2022-04-12 | 中国科学院光电技术研究所 | 一种基于快速倾斜镜和高密度变形镜的动态波前模拟装置 |
| CN114326093B (zh) * | 2021-12-17 | 2023-06-30 | 中国科学院光电技术研究所 | 一种基于快速倾斜镜和高密度变形镜的动态波前模拟装置 |
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