JPH08190070A - Optical scanner - Google Patents
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- JPH08190070A JPH08190070A JP7003588A JP358895A JPH08190070A JP H08190070 A JPH08190070 A JP H08190070A JP 7003588 A JP7003588 A JP 7003588A JP 358895 A JP358895 A JP 358895A JP H08190070 A JPH08190070 A JP H08190070A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明はレーザプリンタ、ＰＯＳ
スキャナー、光測定装置に使用される光走査装置に関
し、特に、レンズの枚数を増加させることなく高解像，
高精度な走査を可能とし、同時に、低コスト，コンパク
ト化を実現する光走査装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION The present invention relates to a laser printer, a POS.
The present invention relates to an optical scanning device used for a scanner and an optical measuring device, and particularly, it has a high resolution without increasing the number of lenses.
The present invention relates to an optical scanning device that enables highly accurate scanning, and at the same time realizes low cost and compactness.
【０００２】[0002]
【従来技術】従来、レーザ光源等の光源のビーム光をポ
リゴンミラーで偏向し、偏向光をｆθ光学系を介して感
光体に照射する光走査装置は、レーザプリンタ、ＰＯＳ
スキャナー、光測定装置に使用されており、その用途に
応じて走査速度、走査光スポットの大きさや形状，走査
線の直線性などの性能が要求されている。特に、近年で
はレーザプリンタの普及が進み、こうした機器に利用さ
れる光走査装置にはより高い解像度や走査速度が求めら
れ、かつ、コンパクトで低価格であることが要求されて
いる。2. Description of the Related Art Conventionally, an optical scanning device which deflects a light beam of a light source such as a laser light source by a polygon mirror and irradiates the deflected light on a photoconductor through an fθ optical system is a laser printer, a POS.
It is used in scanners and optical measuring devices, and performances such as scanning speed, size and shape of scanning light spot, and linearity of scanning lines are required depending on its application. In particular, in recent years, laser printers have become widespread, and optical scanning devices used in such devices are required to have higher resolution and scanning speed, and to be compact and inexpensive.
【０００３】このような光走査装置の高解像化を図るも
のとして、レンズ枚数を増加させたｆθ光学系が提案さ
れている。しかし、レンズの枚数が増加すると光学系の
構成が大型化し、加えて、レンズ製造に要するコストが
高くなるという不都合がある。一方、レンズを非球面の
プラスチック等でコンパクトに形成したとしても、例え
ば、温度の変化によりビーム光の集光位置が変動して解
像度が低下するという不都合がある。As an attempt to improve the resolution of such an optical scanning device, an fθ optical system with an increased number of lenses has been proposed. However, when the number of lenses increases, the configuration of the optical system becomes large, and in addition, the cost required for lens production increases. On the other hand, even if the lens is made compact with an aspherical plastic or the like, there is a disadvantage that the condensing position of the beam light is changed due to a change in temperature and the resolution is lowered.
【０００４】上記した問題を解決するものとして、光走
査装置に設けられたシリンドリカルレンズの位置を光軸
方向に変位させる機構を備え、ビーム集光位置の変動を
補正するようにした特開平３−５４５１４号に開示され
る方法や、ピエゾ素子に取り付けた反射鏡の変位によっ
て結像レンズの前焦点を移動させ、ビーム集光位置を補
正する特開平６−４３３７３号に開示される方法が提案
されている。In order to solve the above-mentioned problems, a mechanism for displacing the position of the cylindrical lens provided in the optical scanning device in the optical axis direction is provided to correct the fluctuation of the beam focusing position. A method disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 6-43373 is proposed, in which the front focal point of an imaging lens is moved by displacement of a reflecting mirror attached to a piezo element to correct the beam focusing position. ing.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】しかし、このような方
法はいずれもビーム光の光軸方向における集光位置を補
正する方法であるため、光走査装置の構成に起因する走
査線の曲がり（ボウ）や、光学系の収差によって生じた
集光スポットの形状を補正することができないという問
題がある。従って、本発明の目的は、光学系の構成を複
雑化させずに高解像、高精度な走査を可能とし、かつ、
低価格でコンパクトな光走査装置を提供することにあ
る。However, since all of these methods are methods for correcting the focus position of the light beam in the optical axis direction, the bending of the scanning line (bow ) Or the shape of the focused spot caused by the aberration of the optical system cannot be corrected. Therefore, an object of the present invention is to enable high resolution and highly accurate scanning without complicating the configuration of the optical system, and
An object is to provide a low-cost and compact optical scanning device.
【０００６】[0006]
【課題を解決するための手段】本発明は光学系の構成を
複雑化させずに高解像、高精度な走査を可能とし、か
つ、低価格でコンパクトな構成とするため、レーザ光の
光路上に設けられ、レーザ光の波面形状を所定の形状に
変形させる波面形状変形手段を備えた光走査装置を提供
する。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention enables high resolution and high precision scanning without complicating the structure of an optical system, and has a low cost and compact structure. Provided is an optical scanning device which is provided on a road and includes wavefront shape changing means for changing the wavefront shape of laser light into a predetermined shape.
【０００７】本発明は上記した目的を達成するため、波
面形状変形手段がレーザ光を反射する反射面の形状を可
変させる可変鏡、あるいは印加する電圧に基づいて屈折
率が変化する電気光学空間位相変調素子であることが好
ましい。In order to achieve the above-mentioned object, the present invention achieves the above object by using a variable mirror for changing the shape of the reflecting surface for reflecting the laser light by the wavefront shape changing means, or an electro-optic spatial phase in which the refractive index changes based on the applied voltage. It is preferably a modulator.
【０００８】[0008]
【作用】本発明の光走査装置によると、波面形状変形手
段は予め定められた通りに、あるいは波面形状が所定の
形状になるようにレーザ光の波面形状を変形させる。こ
の変形は、例えば、複数のアクチュエータによって変形
自在に構成される反射面を有する反射鏡を変形させる
か、あるいは、電子光学空間位相変調素子に印加する電
圧を変化させて屈折率を変化させることによって行う。According to the optical scanning device of the present invention, the wavefront shape deforming means deforms the wavefront shape of the laser light so that the wavefront shape becomes a predetermined shape or a predetermined wavefront shape. This deformation is performed, for example, by deforming a reflecting mirror having a reflecting surface configured to be deformable by a plurality of actuators, or by changing the voltage applied to the electron optical spatial phase modulator to change the refractive index. To do.
【０００９】[0009]
【実施例】以下、本発明の光走査装置を図面を参照しつ
つ詳細に説明する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The optical scanning device of the present invention will be described in detail below with reference to the drawings.
【００１０】図１は、本発明の一実施例における光走査
装置を示し、レーザ光源１からコリメータレンズ２，シ
リンドリカルレンズ４を介してレーザ光が照射され、変
形自在に形成された反射面を有する可変鏡３と、可変鏡
３で反射されたレーザ光を反射偏向するポリゴンミラー
５と、ポリゴンミラー５で偏向されたレーザ光を所定の
大きさおよび形状に設定し、走査面７に集光するｆθレ
ンズ６ａ，６ｂと、可変鏡３で反射される光の波面形状
の変形量（反射鏡３の反射面の変形量）を検出する波面
形状検出器８とを有する。FIG. 1 shows an optical scanning device according to an embodiment of the present invention, which has a reflecting surface which is deformably formed by being irradiated with laser light from a laser light source 1 through a collimator lens 2 and a cylindrical lens 4. The variable mirror 3, the polygon mirror 5 that reflects and deflects the laser light reflected by the variable mirror 3, the laser light deflected by the polygon mirror 5 is set to a predetermined size and shape, and is condensed on the scanning surface 7. It has fθ lenses 6a and 6b, and a wavefront shape detector 8 that detects the amount of deformation of the wavefront shape of the light reflected by the variable mirror 3 (the amount of deformation of the reflecting surface of the reflecting mirror 3).
【００１１】図２は、可変鏡３の断面図を示し、基板３
ａ上に配置された複数のアクチュエータ３ｂと、アクチ
ュエータ３ｂの突出子３ｃの先端に固定され、表面に反
射面３ｄが形成された板状のガラス３ｅより構成されて
いる。ガラス３ｅはアクチュエータ３ｂの突出子３ｃの
突出量に基づいて弾性変形し、表面の反射面３ｄを変形
させる。FIG. 2 is a sectional view of the deformable mirror 3, showing the substrate 3
It is composed of a plurality of actuators 3b arranged on a, and a plate-shaped glass 3e fixed to the tip of the protrusion 3c of the actuator 3b and having a reflecting surface 3d formed on the surface. The glass 3e elastically deforms based on the protrusion amount of the protrusion 3c of the actuator 3b, and deforms the reflecting surface 3d on the surface.
【００１２】図３は、波面形状検出器８を示しており、
波面形状モニタ用光源９より照射される光を平行光に変
換する波面形状モニタ用光学系１０と、可変鏡３への光
路上に配置される半透鏡（ハーフミラー）１１と、半透
鏡１１で分岐された可変鏡方向とは異なる分岐光路上に
配置され、同一の焦点距離を有する複数のマイクロレン
ズアレー１２と、マイクロレンズアレー１２の集光位置
に配置された結像部１３より構成されており、波面形状
モニタ用光源９より照射され、可変鏡３で反射された光
を半透鏡１１を介してマイクロレンズアレー１２に導
き、マイクロレンズアレー１２によって結像部１３上に
集光される結像点の配列から可変鏡３が与える変形量分
布を検出する。この装置はシャックハルトマン装置と呼
ばれる。FIG. 3 shows a wavefront shape detector 8,
The wavefront shape monitoring optical system 10 for converting the light emitted from the wavefront shape monitoring light source 9 into parallel light, the semi-transparent mirror (half mirror) 11 arranged on the optical path to the variable mirror 3, and the semi-transparent mirror 11. It is composed of a plurality of microlens arrays 12 arranged on a branching optical path different from the direction of the branched variable mirrors and having the same focal length, and an image forming unit 13 arranged at a condensing position of the microlens array 12. The light emitted from the wavefront shape monitor light source 9 and reflected by the variable mirror 3 is guided to the microlens array 12 via the semitransparent mirror 11 and is condensed by the microlens array 12 on the imaging unit 13. The deformation amount distribution given by the deformable mirror 3 is detected from the array of image points. This device is called the Shack-Hartmann device.
【００１３】上記した光走査装置の動作を以下に説明す
る。レーザ光源１からコリメータレンズ２，シリンドリ
カルレンズ４を介して照射されるレーザ光は可変鏡３で
ポリゴンミラー５の方向へ反射され、ポリゴンミラー５
において反射偏向される。反射偏向されたレーザ光はｆ
θレンズ６ａ，６ｂによって走査面７に所定の大きさお
よび形状の集光スポットを形成するように集光される。The operation of the above optical scanning device will be described below. Laser light emitted from the laser light source 1 through the collimator lens 2 and the cylindrical lens 4 is reflected by the variable mirror 3 toward the polygon mirror 5, and the polygon mirror 5
Is reflected and deflected at. The reflected and deflected laser light is f
The light is focused by the θ lenses 6a and 6b so that a focused spot having a predetermined size and shape is formed on the scanning surface 7.
【００１４】この状態で、波面形状検出器８では、波面
形状モニタ用光源９から光を照射し、可変鏡３で反射さ
れた光を半透鏡１１を介してマイクロレンズアレー１２
に導くことによって、結像部１３上に結像点を形成させ
る。In this state, in the wavefront shape detector 8, light is emitted from the wavefront shape monitor light source 9, and the light reflected by the variable mirror 3 is passed through the semi-transparent mirror 11 to the microlens array 12.
To form an image forming point on the image forming unit 13.
【００１５】ここで、図３に示すように半透鏡１１を介
してマイクロレンズアレー１２に導かれた可変鏡３の反
射光が非直線性の波面形状Ａを有していると、結像部１
３上に形成される結像点の配列は点線Ｂに示すように不
規則となる。Here, as shown in FIG. 3, when the reflected light of the variable mirror 3 guided to the microlens array 12 via the semi-transparent mirror 11 has a non-linear wavefront shape A, the image forming section. 1
The array of the image formation points formed on 3 is irregular as shown by the dotted line B.
【００１６】従って、可変鏡３のアクチュエータ３ｂの
突出子３ｃの突出量を結像部１３らの信号に応じて制御
してガラス３ｅを弾性変形させ、反射面３ｄの表面形状
を変化させる。反射面３ｄの変形量の分布、即ち、レー
ザ光に与える波面変形量の分布ξ（ｘ，ｙ）は（１）式
で求められる。 ｇ（ｘ，ｙ）≒ψ（ｘ，ｙ）＋ξ（ｘ，ｙ） ここで、ｇ（ｘ，ｙ）は走査面７に向かう波面の理想形
状であり、ψ（ｘ，ｙ）は反射面３ｄの表面形状を変形
させないときの波面形状である。Therefore, the protrusion amount of the protrusion 3c of the actuator 3b of the variable mirror 3 is controlled according to the signal from the image forming unit 13 to elastically deform the glass 3e and change the surface shape of the reflecting surface 3d. The distribution of the amount of deformation of the reflecting surface 3d, that is, the distribution ξ (x, y) of the amount of wavefront deformation given to the laser light is obtained by the equation (1). g (x, y) ≈ψ (x, y) + ξ (x, y) where g (x, y) is the ideal shape of the wavefront toward the scanning surface 7, and ψ (x, y) is the reflection surface. It is a wavefront shape when the surface shape of 3d is not deformed.
【００１７】以上の光走査装置において、レーザ光源１
から照射されたレーザ光を偏向する手段としてポリゴン
ミラーを使用しているが、これに限定されるものではな
く、回転するホログラムディスクや電気光学偏向素子を
使用することもできる。また、波面形状検出器８につい
ても同様であり、可変鏡３が与える変形量分布を検出で
きるものであれば他の検出装置を使用しても良い。In the above optical scanning device, the laser light source 1
Although a polygon mirror is used as a means for deflecting the laser beam emitted from the above, the present invention is not limited to this, and a rotating hologram disk or an electro-optical deflecting element can also be used. The same applies to the wavefront shape detector 8, and another detection device may be used as long as it can detect the deformation amount distribution given by the deformable mirror 3.
【００１８】図４は、本発明の他の実施例における光走
査装置を示し、図１の実施例においてアクチュエータ３
ｂと走査面７を具体化したものである。図１の実施例と
同じように、レーザ光源１からコリメータレンズ２，シ
リンドリカルレンズ４を介してレーザ光が照射され、変
形自在に形成された反射面を有する可変鏡１４と、可変
鏡１４で反射されたレーザ光を反射偏向するポリゴンミ
ラー１６と、ポリゴンミラー１６で偏向されたレーザ光
を所定の大きさおよび形状に集光するｆθレンズ６と、
ｆθレンズ６で集光されたレーザ光を反射して感光体ド
ラム１８上に照射するミラー１７と、可変鏡１４で反射
される光の波面形状の変形量を検出する波面形状検出器
８とを有する。FIG. 4 shows an optical scanning device according to another embodiment of the present invention. In the embodiment shown in FIG. 1, the actuator 3 is used.
b and the scanning surface 7 are embodied. As in the embodiment of FIG. 1, laser light is emitted from the laser light source 1 through the collimator lens 2 and the cylindrical lens 4 and is reflected by the variable mirror 14 and the variable mirror 14 which have a deformable reflecting surface. A polygon mirror 16 for reflecting and deflecting the reflected laser light; an fθ lens 6 for condensing the laser light deflected by the polygon mirror 16 into a predetermined size and shape;
A mirror 17 that reflects the laser light focused by the fθ lens 6 and irradiates it onto the photosensitive drum 18 and a wavefront shape detector 8 that detects the amount of deformation of the wavefront shape of the light reflected by the variable mirror 14. Have.
【００１９】図５は、可変鏡１４の断面図を示し、基板
１４ａ上には複数のピエゾアクチュエータ１４ｂが配置
され、ピエゾアクチュエータ１４ｂの突出子１４ｃには
研磨された表面に反射膜を蒸着して形成された反射鏡部
１４ｄを有するガラス１４ｅが固定されている。その他
の構成および動作は図１の光走査装置に準じるので重複
する説明を省略する。FIG. 5 shows a cross-sectional view of the deformable mirror 14, in which a plurality of piezo actuators 14b are arranged on a substrate 14a, and a projection film 14c of the piezo actuator 14b is provided with a reflective film deposited on its polished surface. The glass 14e having the formed reflecting mirror portion 14d is fixed. Since other configurations and operations are the same as those of the optical scanning device of FIG. 1, duplicate description will be omitted.
【００２０】図６は、本発明の更に他の実施例における
光走査装置を示し、レーザ光源１からコリメータレンズ
２，シリンドリカルレンズ４を介してレーザ光が照射さ
れる光路上に設けられる電気光学空間位相変調素子１９
と、電気光学空間位相変調素子１９より出射されるレー
ザ光を分岐する半透鏡２０と、半透鏡２０の透過側の分
岐光路上に設けられ、ｆθレンズ６を介して感光体ドラ
ム１８の副走査方向にレーザ光を偏向する電気光学偏向
素子２１と、半透鏡２０の反射側の分岐光路上に設けら
れる波面形状検出器８とを有する。FIG. 6 shows an optical scanning device according to still another embodiment of the present invention, which is an electro-optical space provided on an optical path on which laser light is emitted from a laser light source 1 through a collimator lens 2 and a cylindrical lens 4. Phase modulator 19
And a semi-transparent mirror 20 for splitting the laser light emitted from the electro-optical spatial phase modulator 19, and a semi-transparent optical path on the transmission side of the semi-transparent mirror 20, which is sub-scanned on the photosensitive drum 18 via the fθ lens 6. It has an electro-optical deflecting element 21 for deflecting the laser light in a direction, and a wavefront shape detector 8 provided on a branching optical path on the reflection side of the semitransparent mirror 20.
【００２１】図７は、電気光学空間位相変調素子１９の
構造を示し、電気光学効果を有する板状の結晶部材１９
ａと、結晶部材１９ａの入射側と出射側に取り付けら
れ、２次元に配置されたセグメント状の透明電極１９ｂ
および１９ｃを有している。FIG. 7 shows the structure of the electro-optic spatial phase modulator 19, which is a plate-shaped crystal member 19 having an electro-optic effect.
a, and segment-shaped transparent electrodes 19b attached to the incident side and the outgoing side of the crystal member 19a and arranged two-dimensionally.
And 19c.
【００２２】電気光学空間位相変調素子１９は、透明電
極に電圧を印加することにより、例えば、ａの方向に電
場が形成されると、そのセグメントにおける結晶部材１
９ａの屈折率が変化することによって、矢印の方向に透
過するレーザ光の波面形状をＡからＢに変化させる。一
方、電圧が印加されないセグメントでは屈折率は変化せ
ず、レーザ光はそのまま透過する。In the electro-optic spatial phase modulation element 19, when a voltage is applied to the transparent electrode to form an electric field in the direction of a, for example, the crystal member 1 in the segment is formed.
By changing the refractive index of 9a, the wavefront shape of the laser light transmitted in the direction of the arrow is changed from A to B. On the other hand, in the segment to which the voltage is not applied, the refractive index does not change and the laser light is transmitted as it is.
【００２３】従って、波面形状検出器８でレーザ光の波
面形状を観察しながら、電気光学空間位相変調素子１９
の２次元配置された透明電極１９ｂおよび１９ｃを適宜
選択して電圧を印加することによって、ｆθレンズ６を
介して感光体ドラム１８に照射されるレーザ光の波面形
状を所望の形状に設定することができる。図７では透過
型の電気光学空間位相変調素子１９を用いているが、こ
れに限定されるものではなく、例えば、反射型のものを
使用しても良い。Therefore, while observing the wavefront shape of the laser beam with the wavefront shape detector 8, the electro-optic spatial phase modulator 19
By appropriately selecting the two-dimensionally arranged transparent electrodes 19b and 19c and applying a voltage, the wavefront shape of the laser beam irradiated to the photosensitive drum 18 via the fθ lens 6 can be set to a desired shape. You can Although the transmissive electro-optic spatial phase modulator 19 is used in FIG. 7, the present invention is not limited to this, and a reflective type may be used, for example.
【００２４】[0024]
【発明の効果】以上説明した通り、本発明の光走査装置
によると、レーザ光の光路上に設けられ、レーザ光の波
面形状を所定の形状に変形させる波面形状変形手段を有
するようにしたため、光学系の構成を複雑化させずに高
解像、高精度な走査を可能とし、かつ、低価格でコンパ
クトな構成とすることができる。As described above, according to the optical scanning device of the present invention, the optical scanning device of the present invention is provided on the optical path of the laser beam, and has the wavefront shape deforming means for deforming the wavefront shape of the laser beam into a predetermined shape. It is possible to realize high resolution and high precision scanning without complicating the configuration of the optical system, and to make the configuration low-priced and compact.
【図１】本発明の一実施例における光走査装置の構成を
示す説明図である。FIG. 1 is an explanatory diagram showing a configuration of an optical scanning device according to an embodiment of the present invention.
【図２】本発明の一実施例における可変鏡を示す断面図
である。FIG. 2 is a cross-sectional view showing a deformable mirror according to an embodiment of the present invention.
【図３】本発明の一実施例における波面形状検出器８の
構成を示す説明図である。FIG. 3 is an explanatory diagram showing a configuration of a wavefront shape detector 8 in one embodiment of the present invention.
【図４】本発明の他の実施例における光走査装置の構成
を示す説明図である。FIG. 4 is an explanatory diagram showing a configuration of an optical scanning device according to another embodiment of the present invention.
【図５】本発明の他の実施例における波面形状検出器１
４の構成を示す説明図である。FIG. 5 is a wavefront shape detector 1 according to another embodiment of the present invention.
It is explanatory drawing which shows the structure of 4.
【図６】本発明の更に他の実施例における光走査装置の
構成を示す説明図である。FIG. 6 is an explanatory diagram showing a configuration of an optical scanning device according to still another embodiment of the present invention.
【図７】電気光学空間位相変調素子１９の構造を示す断
面図である。FIG. 7 is a cross-sectional view showing the structure of an electro-optic spatial phase modulator 19.
１，レーザ光源 ２，コリメータレンズ ３，可変鏡 ３ａ，基板 ３ｂ，アクチュエータ ３ｃ，突出子 ３ｄ，反射面 ３ｅ，ガラス ４，シリンドリカルレンズ ５，ポリゴンミラー ６，６ａ，６ｂ，ｆθレンズ ７，走査面 ８，波面形状検出器 ９，波面形状モニタ用光源 １０，波面形状モニタ用光学系 １１，半透鏡 １２，マイクロレンズアレー １３，結像部 １４，可変鏡 １４ａ，基板 １４ｂ，ピエゾアクチュエータ １４ｃ，突出子 １４ｄ，反射鏡部 １４ｅ，ガラス １６，ポリゴンミラー １７，ミラー １８，感光体ドラム １９，電気光学空間位相変調素子 １９ａ，結晶部材 １９ｂ，１９ｃ，透明電極 ２０，半透鏡 ２１，電気光学偏向素子 1, Laser Light Source 2, Collimator Lens 3, Variable Mirror 3a, Substrate 3b, Actuator 3c, Projector 3d, Reflection Surface 3e, Glass 4, Cylindrical Lens 5, Polygon Mirror 6, 6a, 6b, fθ Lens 7, Scanning Surface 8 , Wavefront shape detector 9, wavefront shape monitor light source 10, wavefront shape monitor optical system 11, semi-transparent mirror 12, microlens array 13, image forming unit 14, variable mirror 14a, substrate 14b, piezo actuator 14c, protrusion 14d. , Reflection mirror part 14e, glass 16, polygon mirror 17, mirror 18, photoconductor drum 19, electro-optic spatial phase modulator 19a, crystal members 19b, 19c, transparent electrode 20, semi-transparent mirror 21, electro-optic deflector
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｇ０２Ｂ 26/00 Ｇ０２Ｆ 1/03 ５０５ Ｈ０４Ｎ 1/113 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (51) Int.Cl. 6 Identification code Internal reference number FI Technical display location G02B 26/00 G02F 1/03 505 H04N 1/113
Claims (3)
向させる光偏向手段と、前記光偏向手段によって偏向さ
れた前記レーザ光を集光して走査面上に光スポットを生
成する結像光学手段を備えた光走査装置において、 前記レーザ光の光路上に設けられ、前記レーザ光の波面
形状を所定の形状に変形させる波面形状変形手段を備え
たことを特徴とする光走査装置。1. A light deflecting means for deflecting laser light emitted from a laser light source, and an image forming optical means for condensing the laser light deflected by the light deflecting means to generate a light spot on a scanning surface. An optical scanning device comprising: an optical scanning device, which is provided on an optical path of the laser beam, and includes a wavefront shape deforming unit that deforms a wavefront shape of the laser beam into a predetermined shape.
を反射する反射面の形状を可変させる可変鏡である請求
項第１項記載の光走査装置。2. The optical scanning device according to claim 1, wherein the wavefront shape deforming means is a variable mirror that changes the shape of a reflecting surface that reflects the laser light.
に基づいて屈折率が変化する電気光学空間位相変調素子
である請求項第１項記載の光走査装置。3. The optical scanning device according to claim 1, wherein the wavefront shape deforming means is an electro-optic spatial phase modulator whose refractive index changes according to an applied voltage.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7003588A JPH08190070A (en) | 1995-01-12 | 1995-01-12 | Optical scanner |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7003588A JPH08190070A (en) | 1995-01-12 | 1995-01-12 | Optical scanner |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08190070A true JPH08190070A (en) | 1996-07-23 |
Family
ID=11561628
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7003588A Pending JPH08190070A (en) | 1995-01-12 | 1995-01-12 | Optical scanner |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08190070A (en) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005249914A (en) * | 2004-03-02 | 2005-09-15 | Ricoh Co Ltd | Laser beam scanner |
| JP2006043778A (en) * | 2003-07-22 | 2006-02-16 | Ngk Insulators Ltd | Actuator device |
| US7247841B2 (en) | 2004-10-07 | 2007-07-24 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Light scanning apparatus |
| US7635191B2 (en) | 2006-08-09 | 2009-12-22 | Funai Electric Co., Ltd. | Manufacturing method for variable shape mirror |
| JP2014509406A (en) * | 2011-01-26 | 2014-04-17 | アルパオ | Variable mirror with capacitive sensor |
| CN114326093A (en) * | 2021-12-17 | 2022-04-12 | 中国科学院光电技术研究所 | Dynamic wavefront simulation device based on fast tilting mirror and high-density deformable mirror |
-
1995
- 1995-01-12 JP JP7003588A patent/JPH08190070A/en active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006043778A (en) * | 2003-07-22 | 2006-02-16 | Ngk Insulators Ltd | Actuator device |
| JP2005249914A (en) * | 2004-03-02 | 2005-09-15 | Ricoh Co Ltd | Laser beam scanner |
| JP4518380B2 (en) * | 2004-03-02 | 2010-08-04 | 株式会社リコー | Laser beam scanning device |
| US7247841B2 (en) | 2004-10-07 | 2007-07-24 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Light scanning apparatus |
| US7348549B2 (en) | 2004-10-07 | 2008-03-25 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Light scanning apparatus |
| US7635191B2 (en) | 2006-08-09 | 2009-12-22 | Funai Electric Co., Ltd. | Manufacturing method for variable shape mirror |
| JP2014509406A (en) * | 2011-01-26 | 2014-04-17 | アルパオ | Variable mirror with capacitive sensor |
| CN114326093A (en) * | 2021-12-17 | 2022-04-12 | 中国科学院光电技术研究所 | Dynamic wavefront simulation device based on fast tilting mirror and high-density deformable mirror |
| CN114326093B (en) * | 2021-12-17 | 2023-06-30 | 中国科学院光电技术研究所 | Dynamic wavefront simulation device based on fast tilting mirror and high-density deformable mirror |
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