JPH081494A - ウエハー材縁端部研磨装置 - Google Patents
ウエハー材縁端部研磨装置Info
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- JPH081494A JPH081494A JP16735394A JP16735394A JPH081494A JP H081494 A JPH081494 A JP H081494A JP 16735394 A JP16735394 A JP 16735394A JP 16735394 A JP16735394 A JP 16735394A JP H081494 A JPH081494 A JP H081494A
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- tape
- wafer
- polishing
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- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【構成】 ウエハー材Ｗをその軸線廻りに支持回転させ
る回転機構１と、研磨テープＴをウエハー材の接線方向
に連続移送させるテープ移送機構４と、テープ移送機構
を進退移動させる移動機構５と、研磨テープをウエハー
材の表裏両端縁を挟み込む状態の略Ｖ状に案内可能なテ
ープガイド部２８とからなる。 【効果】 回転機構によりウエハー材をその軸線廻りに
支持回転させ、テープ移送機構によりテープガイド部に
よってウエハー材の表裏両端縁を挟み込む状態の略Ｖ状
に案内された研磨テープをウエハー材の接線方向に連続
移送させ、テープ移送機構を移動機構により移動させる
ことにより研磨テープをウエハー材の端縁部分に圧接し
てウエハー材の回転及び研磨テープの移送作用によりウ
エハー材の表裏両端縁を研磨することができる。
る回転機構１と、研磨テープＴをウエハー材の接線方向
に連続移送させるテープ移送機構４と、テープ移送機構
を進退移動させる移動機構５と、研磨テープをウエハー
材の表裏両端縁を挟み込む状態の略Ｖ状に案内可能なテ
ープガイド部２８とからなる。 【効果】 回転機構によりウエハー材をその軸線廻りに
支持回転させ、テープ移送機構によりテープガイド部に
よってウエハー材の表裏両端縁を挟み込む状態の略Ｖ状
に案内された研磨テープをウエハー材の接線方向に連続
移送させ、テープ移送機構を移動機構により移動させる
ことにより研磨テープをウエハー材の端縁部分に圧接し
てウエハー材の回転及び研磨テープの移送作用によりウ
エハー材の表裏両端縁を研磨することができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は例えばシリコンからなる
半導体ウエハーの縁端面の研磨加工に用いられるウエハ
ー材縁端部研磨装置に関するものである。
半導体ウエハーの縁端面の研磨加工に用いられるウエハ
ー材縁端部研磨装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来この種の半導体ウエハーの縁端面を
加工する装置としてベベリング装置なるものが知られて
いる。
加工する装置としてベベリング装置なるものが知られて
いる。
【０００３】図１３、１４に示すように、例えばウエハ
ー材Ｗは厚さｔ＝６００〜７００μｍのシリコン等から
なる薄板状に形成され、例えばＤ＝６インチの円周状の
端縁Ｆ1及びＢ＝４７ｍｍの直線状の端縁Ｆ2（オリエン
テーションフラット）からなる端縁Ｆを有し、この端縁
Ｆ1及び端縁Ｆ2の表裏両端縁形状は例えば端面Ｓの幅ｔ
1＝２００μｍ、Ｎ＝２００〜４００μｍ、各々の傾斜
縁面Ｍ・Ｍの角度θ＝２２゜、Ｒ＝１２５μｍに定めら
れている。
ー材Ｗは厚さｔ＝６００〜７００μｍのシリコン等から
なる薄板状に形成され、例えばＤ＝６インチの円周状の
端縁Ｆ1及びＢ＝４７ｍｍの直線状の端縁Ｆ2（オリエン
テーションフラット）からなる端縁Ｆを有し、この端縁
Ｆ1及び端縁Ｆ2の表裏両端縁形状は例えば端面Ｓの幅ｔ
1＝２００μｍ、Ｎ＝２００〜４００μｍ、各々の傾斜
縁面Ｍ・Ｍの角度θ＝２２゜、Ｒ＝１２５μｍに定めら
れている。
【０００４】そして上記従来構造のものは、ウエハー材
Ｗの表裏両端縁形状に適合させた凹周面を有する総形状
の回転砥石を用い、この回転砥石をウエハー材Ｗの縁端
面Ｆに圧接させて研磨加工を行うように構成されてい
る。
Ｗの表裏両端縁形状に適合させた凹周面を有する総形状
の回転砥石を用い、この回転砥石をウエハー材Ｗの縁端
面Ｆに圧接させて研磨加工を行うように構成されてい
る。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら回転砥石
を用いる従来構造の場合、砥石のドレッシング加工が不
可欠となり、かつ砥石の回転作用のみによる研磨作用で
あるため満足し得る研磨面の状態にならないことがある
とともにチッピングが生じ易いという不都合を有してい
る。
を用いる従来構造の場合、砥石のドレッシング加工が不
可欠となり、かつ砥石の回転作用のみによる研磨作用で
あるため満足し得る研磨面の状態にならないことがある
とともにチッピングが生じ易いという不都合を有してい
る。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明はこのような課題
を解決することを目的とするもので、その要旨は、ウエ
ハー材をその軸線廻りに支持回転させる回転機構と、研
磨テープをウエハー材の接線方向に連続移送させるテー
プ移送機構と、該テープ移送機構を進退移動させる移動
機構と、該研磨テープをウエハー材の表裏両端縁を挟み
込む状態の略Ｖ状に案内可能なテープガイド部とを具備
したことを特徴とするウエハー材縁端部研磨装置にあ
る。
を解決することを目的とするもので、その要旨は、ウエ
ハー材をその軸線廻りに支持回転させる回転機構と、研
磨テープをウエハー材の接線方向に連続移送させるテー
プ移送機構と、該テープ移送機構を進退移動させる移動
機構と、該研磨テープをウエハー材の表裏両端縁を挟み
込む状態の略Ｖ状に案内可能なテープガイド部とを具備
したことを特徴とするウエハー材縁端部研磨装置にあ
る。
【０００７】この際、上記テープ移送機構をウエハー材
の接線方向に揺振運動させる揺振機構を設けることが望
ましく、また上記テープ移送機構をウエハー材の接線方
向に送り運動させる送り機構を設けることができ、又上
記テープガイド部に上記ウエハー材の表裏両端縁の各々
の傾斜縁面に対面する方向に進退可能な一対の押圧部材
を配設し、該押圧部材を該傾斜縁面側に弾圧可能な弾圧
機構を配設し、該ウエハー材の端面に当接可能な位置決
め部材を配設することができ、又上記押圧部材の首振揺
動を可能とする首振機構を配設することが望ましい。
の接線方向に揺振運動させる揺振機構を設けることが望
ましく、また上記テープ移送機構をウエハー材の接線方
向に送り運動させる送り機構を設けることができ、又上
記テープガイド部に上記ウエハー材の表裏両端縁の各々
の傾斜縁面に対面する方向に進退可能な一対の押圧部材
を配設し、該押圧部材を該傾斜縁面側に弾圧可能な弾圧
機構を配設し、該ウエハー材の端面に当接可能な位置決
め部材を配設することができ、又上記押圧部材の首振揺
動を可能とする首振機構を配設することが望ましい。
【０００８】
【作用】回転機構によりウエハー材をその軸線廻りに支
持回転させ、テープ移送機構によりテープガイド部によ
ってウエハー材の表裏両端縁を挟み込む状態の略Ｖ状に
案内された研磨テープをウエハー材の接線方向に連続移
送させ、テープ移送機構を移動機構により移動させるこ
とにより研磨テープをウエハー材の端縁部分に圧接して
ウエハー材の回転及び研磨テープの移送作用によりウエ
ハー材の表裏両端縁を研磨することになる。
持回転させ、テープ移送機構によりテープガイド部によ
ってウエハー材の表裏両端縁を挟み込む状態の略Ｖ状に
案内された研磨テープをウエハー材の接線方向に連続移
送させ、テープ移送機構を移動機構により移動させるこ
とにより研磨テープをウエハー材の端縁部分に圧接して
ウエハー材の回転及び研磨テープの移送作用によりウエ
ハー材の表裏両端縁を研磨することになる。
【０００９】この際上記テープ移送機構を揺振機構によ
りウエハー材の接線方向に揺振運動させることによりウ
エハー材の端縁部分をウエハー材の回転、研磨テープの
移送及び研磨テープの揺振の三つの複合作用により研磨
でき、またこの際上記テープ移送機構を送り機構により
ウエハー材の接線方向に送り運動させることができ、ま
た上記テープガイド部に上記ウエハー材の表裏両端縁の
各々の傾斜縁面に対面する方向に進退可能な一対の押圧
部材を配設し、押圧部材を弾圧機構により傾斜縁面側に
弾圧し、よって研磨テープを傾斜縁面に平行に押圧し、
ウエハー材の端面に当接可能な位置決め部材を配設する
ことにより上記所定の角度をもつ各傾斜縁面をその角度
を保持しつつ良好に研磨することができ、又上記押圧部
材の首振揺動を可能とする首振機構により傾斜縁面に倣
って研磨することができる。
りウエハー材の接線方向に揺振運動させることによりウ
エハー材の端縁部分をウエハー材の回転、研磨テープの
移送及び研磨テープの揺振の三つの複合作用により研磨
でき、またこの際上記テープ移送機構を送り機構により
ウエハー材の接線方向に送り運動させることができ、ま
た上記テープガイド部に上記ウエハー材の表裏両端縁の
各々の傾斜縁面に対面する方向に進退可能な一対の押圧
部材を配設し、押圧部材を弾圧機構により傾斜縁面側に
弾圧し、よって研磨テープを傾斜縁面に平行に押圧し、
ウエハー材の端面に当接可能な位置決め部材を配設する
ことにより上記所定の角度をもつ各傾斜縁面をその角度
を保持しつつ良好に研磨することができ、又上記押圧部
材の首振揺動を可能とする首振機構により傾斜縁面に倣
って研磨することができる。
【００１０】
【実施例】図１乃至図１２は本発明の実施例を示し、１
は回転機構であって、図外のモータ等により回転する回
転軸２の端部に負圧吸引作用を有する吸着パッド３を取
付け、この吸着パッド３によりウエハー材Ｗの板面を吸
着し、回転軸２によりウエハー材Ｗをその軸線Ｗ1の廻
りに支持回転させるように構成している。
は回転機構であって、図外のモータ等により回転する回
転軸２の端部に負圧吸引作用を有する吸着パッド３を取
付け、この吸着パッド３によりウエハー材Ｗの板面を吸
着し、回転軸２によりウエハー材Ｗをその軸線Ｗ1の廻
りに支持回転させるように構成している。
【００１１】４はテープ移送機構、５は移動機構、６は
揺振機構、７は送り機構であって、この場合移動機構５
にあっては、機台８上に基台９を固定し、基台９上に摺
動部１０により前後移動台１１を図２の左右方向である
前後方向に移動可能に設け、前後移動台１１を前後移動
させる前後動用シリンダ１２を設けてなり、また送り機
構７は、この前後移動台１１上に摺動部１３により送り
移動台１４を図１の上下方向であるウエハー材Ｗの接線
方向に移動可能に設け、送り移動台１４を左右移動させ
る送り用シリンダ１５を設けて構成されている。
揺振機構、７は送り機構であって、この場合移動機構５
にあっては、機台８上に基台９を固定し、基台９上に摺
動部１０により前後移動台１１を図２の左右方向である
前後方向に移動可能に設け、前後移動台１１を前後移動
させる前後動用シリンダ１２を設けてなり、また送り機
構７は、この前後移動台１１上に摺動部１３により送り
移動台１４を図１の上下方向であるウエハー材Ｗの接線
方向に移動可能に設け、送り移動台１４を左右移動させ
る送り用シリンダ１５を設けて構成されている。
【００１２】また揺振機構６は、上記送り移動台１４上
に摺動部１６により揺振台１７を図１の上下方向である
ウエハー材Ｗの接線方向に移動可能に設け、上記送り移
動台１４上にブラケット１８を取付け、ブラケット１８
に揺振用モータ１９を取付け、ブラケット１８に駆動軸
２０を軸受けし、駆動軸２０の上端部に揺振用モータ１
９の主軸を連結し、駆動軸２０の下端部に偏心軸部２０
ａを形成し、偏心軸部２０ａにカムフォロワー２１を取
付け、揺振台１７上に二個のガイド板２２をカムフォロ
ワー２１を挟装する状態に対向して取付け、揺振用モー
タ１９の駆動により駆動軸２０を回転させ、偏心軸部２
０ａに取り付けたカムフォロワー２１とガイド板２２と
の作用で上記摺動部１６によって揺振台１７を揺振運動
させるように構成している。
に摺動部１６により揺振台１７を図１の上下方向である
ウエハー材Ｗの接線方向に移動可能に設け、上記送り移
動台１４上にブラケット１８を取付け、ブラケット１８
に揺振用モータ１９を取付け、ブラケット１８に駆動軸
２０を軸受けし、駆動軸２０の上端部に揺振用モータ１
９の主軸を連結し、駆動軸２０の下端部に偏心軸部２０
ａを形成し、偏心軸部２０ａにカムフォロワー２１を取
付け、揺振台１７上に二個のガイド板２２をカムフォロ
ワー２１を挟装する状態に対向して取付け、揺振用モー
タ１９の駆動により駆動軸２０を回転させ、偏心軸部２
０ａに取り付けたカムフォロワー２１とガイド板２２と
の作用で上記摺動部１６によって揺振台１７を揺振運動
させるように構成している。
【００１３】またテープ移送機構４は、この場合上記揺
振台１７上にポリエステルフィルム、メタル、クロス等
の基材に酸化アルミニュウム、酸化クロム、シリコンカ
ーバイド、ダイヤモンド等の所定粒度の研磨粒子をコー
ティング又は結合してなる研磨テープＴの実巻リール２
３及び巻取リール２４を軸着し、揺振台１７上に軸受台
部２５を配設し、軸受台部２５に回り止め状態で支持筒
２６を配設し、支持筒２６に回り止め状態で支持軸２７
を配設し、この支持筒２６及び支持軸２７にテープガイ
ド部２８を配設し、実巻リール２３より引き出した研磨
テープＴをローラー、テープガイド部２８、ローラー、
一対の挟装ローラー２９ａ・２９ｂの間、ローラーを介
して巻取リール２４に巻回し、実巻リール２４をサーボ
モータ３０により駆動すると共に挟装ローラー２９ａを
サーボモータ３０ａにより駆動させ、かつ巻取リール２
４に挟装ローラー２９ｂの回転を図外のベルト伝導機構
により駆動し、研磨テープＴをバックテンションを付与
しつつ一方向に連続移送させるように構成している。
振台１７上にポリエステルフィルム、メタル、クロス等
の基材に酸化アルミニュウム、酸化クロム、シリコンカ
ーバイド、ダイヤモンド等の所定粒度の研磨粒子をコー
ティング又は結合してなる研磨テープＴの実巻リール２
３及び巻取リール２４を軸着し、揺振台１７上に軸受台
部２５を配設し、軸受台部２５に回り止め状態で支持筒
２６を配設し、支持筒２６に回り止め状態で支持軸２７
を配設し、この支持筒２６及び支持軸２７にテープガイ
ド部２８を配設し、実巻リール２３より引き出した研磨
テープＴをローラー、テープガイド部２８、ローラー、
一対の挟装ローラー２９ａ・２９ｂの間、ローラーを介
して巻取リール２４に巻回し、実巻リール２４をサーボ
モータ３０により駆動すると共に挟装ローラー２９ａを
サーボモータ３０ａにより駆動させ、かつ巻取リール２
４に挟装ローラー２９ｂの回転を図外のベルト伝導機構
により駆動し、研磨テープＴをバックテンションを付与
しつつ一方向に連続移送させるように構成している。
【００１４】また上記テープガイド部２８は、上記支持
筒２６に左右に向けて二股状に保持アーム３１を突設
し、保持アーム３１の先端部に折返案内面３２を形成
し、かつ保持アーム３１に山形ガイドローラ３３を取付
け、左右両側の折返案内面３２間の研磨テープＴを左右
の山形ガイドローラ３３により長手方向に沿って略Ｖ状
に折曲案内するように構成している。
筒２６に左右に向けて二股状に保持アーム３１を突設
し、保持アーム３１の先端部に折返案内面３２を形成
し、かつ保持アーム３１に山形ガイドローラ３３を取付
け、左右両側の折返案内面３２間の研磨テープＴを左右
の山形ガイドローラ３３により長手方向に沿って略Ｖ状
に折曲案内するように構成している。
【００１５】この場合、上記テープガイド部２８の上記
支持軸２７に取付板３４を取付け、取付板３４に支持部
材３５を取付け、支持部材３５に突出限を規制して摺動
軸３６を回り止め状態で摺動自在に挿通し、摺動軸３６
をナット体３７及びバネ部材３８により弾圧し、摺動軸
３６の先端部にウエハー材Ｗの端面Ｓに当接可能な位置
決め部材３９を取付け、一方上記支持部材３５の側面に
略Ｃ状の取付盤４０を取付け、取付盤４０に環状凹溝４
０ａを形成し、二個の取付部材４１・４１にＣ環状溝４
０ａに摺動嵌合可能な弧状凸部４１ａを形成し、取付盤
４０の上下位置に取付部材４１をそれぞれ取付ボルト４
２ｂ及び長穴４２ｃにより回動位置調節自在に取付け、
各取付部材４１・４１に押圧軸４２・４２を上記ウエハ
ー材Ｗの表裏両端縁の各々の傾斜縁面Ｍ・Ｍに対面する
方向に進退摺動自在に回り止め部４３により回り止め状
態で挿通して構成されている。
支持軸２７に取付板３４を取付け、取付板３４に支持部
材３５を取付け、支持部材３５に突出限を規制して摺動
軸３６を回り止め状態で摺動自在に挿通し、摺動軸３６
をナット体３７及びバネ部材３８により弾圧し、摺動軸
３６の先端部にウエハー材Ｗの端面Ｓに当接可能な位置
決め部材３９を取付け、一方上記支持部材３５の側面に
略Ｃ状の取付盤４０を取付け、取付盤４０に環状凹溝４
０ａを形成し、二個の取付部材４１・４１にＣ環状溝４
０ａに摺動嵌合可能な弧状凸部４１ａを形成し、取付盤
４０の上下位置に取付部材４１をそれぞれ取付ボルト４
２ｂ及び長穴４２ｃにより回動位置調節自在に取付け、
各取付部材４１・４１に押圧軸４２・４２を上記ウエハ
ー材Ｗの表裏両端縁の各々の傾斜縁面Ｍ・Ｍに対面する
方向に進退摺動自在に回り止め部４３により回り止め状
態で挿通して構成されている。
【００１６】４４・４４は押圧部材、４５は首振機構、
４６は弾圧機構であって、この場合上記取付部材４１・
４１の後部にブラケット４７を取付け、ブラケット４１
・４１に調節ボルト４８を螺着し、調節ボルト４８と押
圧軸４２との間にバネ部材４９を介装し、押圧軸４２に
枢軸５０により押圧部材４４を首振動作自在に枢着して
いる。
４６は弾圧機構であって、この場合上記取付部材４１・
４１の後部にブラケット４７を取付け、ブラケット４１
・４１に調節ボルト４８を螺着し、調節ボルト４８と押
圧軸４２との間にバネ部材４９を介装し、押圧軸４２に
枢軸５０により押圧部材４４を首振動作自在に枢着して
いる。
【００１７】この押圧部材４４・４４は、互いに同一形
状に形成され、二個の凸条部４４ａ及び凹溝部４４ｂが
形成されてなり、互いに突き合わせて略Ｖ状に配置さ
れ、対向する各々の凸条部４４ａと凹溝部４４ｂとが基
部側において咬合可能に形成され、凸条部４４ａの端面
にはウレタンゴム等の弾性材４４ｃが接着され、押圧部
材４４の進退に応じて咬合深さが可変することになる。
状に形成され、二個の凸条部４４ａ及び凹溝部４４ｂが
形成されてなり、互いに突き合わせて略Ｖ状に配置さ
れ、対向する各々の凸条部４４ａと凹溝部４４ｂとが基
部側において咬合可能に形成され、凸条部４４ａの端面
にはウレタンゴム等の弾性材４４ｃが接着され、押圧部
材４４の進退に応じて咬合深さが可変することになる。
【００１８】この実施例は上記構成であるから、図１１
の如く、ウエハー材Ｗの円周状の端縁Ｆ1を研磨加工す
る場合にあっては、回転機構１によりウエハー材Ｗをそ
の軸線Ｗ1廻りに支持回転させ、かつテープ移送機構４
によりテープガイド部２８によってウエハー材Ｗの表裏
両端縁を挟み込む状態の略Ｖ状に案内された研磨テープ
Ｔをウエハー材Ｗの接線方向に連続移送させ、この状態
でテープ移送機構４を移動機構５により前進移動させる
ことにより研磨テープＴをウエハー材Ｗの端縁部分に圧
接し、この圧接によって、ウエハー材Ｗの回転及び研磨
テープＴの移送作用の複合によりウエハー材Ｗの表裏両
端縁を同時に研磨することができ、従って研磨作業能率
を向上することができると共に片面ずつ研磨することに
比して、表裏両端縁を連続した滑らかな面に研磨するこ
とができ、良好な研磨加工を行うことができる。
の如く、ウエハー材Ｗの円周状の端縁Ｆ1を研磨加工す
る場合にあっては、回転機構１によりウエハー材Ｗをそ
の軸線Ｗ1廻りに支持回転させ、かつテープ移送機構４
によりテープガイド部２８によってウエハー材Ｗの表裏
両端縁を挟み込む状態の略Ｖ状に案内された研磨テープ
Ｔをウエハー材Ｗの接線方向に連続移送させ、この状態
でテープ移送機構４を移動機構５により前進移動させる
ことにより研磨テープＴをウエハー材Ｗの端縁部分に圧
接し、この圧接によって、ウエハー材Ｗの回転及び研磨
テープＴの移送作用の複合によりウエハー材Ｗの表裏両
端縁を同時に研磨することができ、従って研磨作業能率
を向上することができると共に片面ずつ研磨することに
比して、表裏両端縁を連続した滑らかな面に研磨するこ
とができ、良好な研磨加工を行うことができる。
【００１９】この場合、上記テープ移送機構４を揺振機
構６によりウエハー材Ｗの接線方向に揺振運動させるこ
とができ、よってウエハー材Ｗの端縁Ｆ1部分をウエハ
ー材Ｗの回転、研磨テープＴの移送及び研磨テープＴの
揺振の三つの複合作用により研磨でき、それだけ良好な
研磨加工を行うことができる。
構６によりウエハー材Ｗの接線方向に揺振運動させるこ
とができ、よってウエハー材Ｗの端縁Ｆ1部分をウエハ
ー材Ｗの回転、研磨テープＴの移送及び研磨テープＴの
揺振の三つの複合作用により研磨でき、それだけ良好な
研磨加工を行うことができる。
【００２０】また図１２の如く、ウエハー材Ｗの直線状
の端縁Ｆ2を研磨加工する場合にあっては、ウエハー材
Ｗの回転を停止させ、テープ移送機構４によりテープガ
イド部２８によってウエハー材Ｗの表裏両端縁を挟み込
む状態の略Ｖ状に案内された研磨テープＴをウエハー材
Ｗの接線方向に連続移送させ、かつこの状態でテープ移
送機構４を移動機構５により前進移動させることにより
研磨テープＴをウエハー材Ｗの端縁部分に圧接させると
共に送り機構７によりウエハー材Ｗの接線方向に送り運
動させ、この圧接及び送り運動によって、研磨テープＴ
の移送及び送り作用の複合によりウエハー材Ｗの表裏両
端縁を同時に研磨することができる。
の端縁Ｆ2を研磨加工する場合にあっては、ウエハー材
Ｗの回転を停止させ、テープ移送機構４によりテープガ
イド部２８によってウエハー材Ｗの表裏両端縁を挟み込
む状態の略Ｖ状に案内された研磨テープＴをウエハー材
Ｗの接線方向に連続移送させ、かつこの状態でテープ移
送機構４を移動機構５により前進移動させることにより
研磨テープＴをウエハー材Ｗの端縁部分に圧接させると
共に送り機構７によりウエハー材Ｗの接線方向に送り運
動させ、この圧接及び送り運動によって、研磨テープＴ
の移送及び送り作用の複合によりウエハー材Ｗの表裏両
端縁を同時に研磨することができる。
【００２１】またこの場合上記テープガイド部２８に上
記ウエハー材Ｗの表裏両端縁の各々の傾斜縁面Ｍ・Ｍに
対面する方向に進退可能な一対の押圧部材４４・４４が
配設され、押圧部材４４・４４は弾圧機構により傾斜縁
面Ｍ側に弾圧され、よって研磨テープＴは傾斜縁面Ｍ・
Ｍに平行に押圧され、かつウエハー材Ｗの端面Ｓに当接
可能な位置決め部材３９が配設されているから、例えば
上記一対の弾圧部材として、一対の単なる平板状部材の
基部をＶ状に枢着してなる構造の場合には各弾性部材を
接近離反動作させるとハ状に開閉するので、この構造に
比べて、上記所定の角度θをもつ各傾斜縁面Ｍ・Ｍのそ
の角度を保持しつつ良好に研磨することができる。
記ウエハー材Ｗの表裏両端縁の各々の傾斜縁面Ｍ・Ｍに
対面する方向に進退可能な一対の押圧部材４４・４４が
配設され、押圧部材４４・４４は弾圧機構により傾斜縁
面Ｍ側に弾圧され、よって研磨テープＴは傾斜縁面Ｍ・
Ｍに平行に押圧され、かつウエハー材Ｗの端面Ｓに当接
可能な位置決め部材３９が配設されているから、例えば
上記一対の弾圧部材として、一対の単なる平板状部材の
基部をＶ状に枢着してなる構造の場合には各弾性部材を
接近離反動作させるとハ状に開閉するので、この構造に
比べて、上記所定の角度θをもつ各傾斜縁面Ｍ・Ｍのそ
の角度を保持しつつ良好に研磨することができる。
【００２２】またこの場合、上記押圧部材４４・４４の
首振揺動を可能とする首振機構４５が配設されているか
ら、傾斜縁面Ｍ・Ｍに倣って研磨することができ、それ
だけ良好な研磨加工を行うことができる。
首振揺動を可能とする首振機構４５が配設されているか
ら、傾斜縁面Ｍ・Ｍに倣って研磨することができ、それ
だけ良好な研磨加工を行うことができる。
【００２３】尚、本発明は上記実施例に限られるもので
はなく、例えば上記実施例では移動機構５、送り機構７
としてシリンダ構造を採用しているが、ボールネジ機構
とサーボモータとの組み合わせ構造を採用することもで
き、また回転機構として吸着パッドを採用しているが、
割出テ−ブル上に複数個のウエハー材Ｗを各々回転自在
に配置してなる回転構造も採用され、その他の構造につ
いても適宜変更して設計されるものである。
はなく、例えば上記実施例では移動機構５、送り機構７
としてシリンダ構造を採用しているが、ボールネジ機構
とサーボモータとの組み合わせ構造を採用することもで
き、また回転機構として吸着パッドを採用しているが、
割出テ−ブル上に複数個のウエハー材Ｗを各々回転自在
に配置してなる回転構造も採用され、その他の構造につ
いても適宜変更して設計されるものである。
【００２４】
【発明の効果】本発明は上述の如く、回転機構によりウ
エハー材をその軸線廻りに支持回転させ、テープ移送機
構によりテープガイド部によってウエハー材の表裏両端
縁を挟み込む状態の略Ｖ状に案内された研磨テープをウ
エハー材の接線方向に連続移送させ、テープ移送機構を
移動機構により移動させることにより研磨テープをウエ
ハー材の端縁部分に圧接してウエハー材の回転及び研磨
テープの移送作用によりウエハー材の表裏両端縁を研磨
することができ、ウエハー材の表裏両端縁を同時に研磨
することができ、従って研磨作業能率を向上することが
できると共に片面ずつ研磨することに比して、表裏両端
縁を連続した滑らかな面に研磨することができて良好な
研磨加工を行うことができる。
エハー材をその軸線廻りに支持回転させ、テープ移送機
構によりテープガイド部によってウエハー材の表裏両端
縁を挟み込む状態の略Ｖ状に案内された研磨テープをウ
エハー材の接線方向に連続移送させ、テープ移送機構を
移動機構により移動させることにより研磨テープをウエ
ハー材の端縁部分に圧接してウエハー材の回転及び研磨
テープの移送作用によりウエハー材の表裏両端縁を研磨
することができ、ウエハー材の表裏両端縁を同時に研磨
することができ、従って研磨作業能率を向上することが
できると共に片面ずつ研磨することに比して、表裏両端
縁を連続した滑らかな面に研磨することができて良好な
研磨加工を行うことができる。
【００２５】この際上記テープ移送機構を揺振機構によ
りウエハー材の接線方向に揺振運動させることによりウ
エハー材の端縁部分をウエハー材の回転、研磨テープの
移送及び研磨テープの揺振の三つの複合作用により研磨
でき、また上記テープ移送機構を送り機構によりウエハ
ー材の接線方向に送り運動させることができ、また上記
テープガイド部に上記ウエハー材の表裏両端縁の各々の
傾斜縁面に対面する方向に進退可能な一対の押圧部材を
配設し、押圧部材を弾圧機構により傾斜縁面側に弾圧
し、よって研磨テープを傾斜縁面に平行に押圧し、ウエ
ハー材の端面に当接可能な位置決め部材を配設すること
により上記所定の角度をもつ各傾斜縁面をその角度を保
持しつつ良好に研磨することができ、さらに上記押圧部
材の首振揺動を可能とする首振機構により傾斜縁面に倣
って研磨することができて良好な研磨加工を行うことが
できる。
りウエハー材の接線方向に揺振運動させることによりウ
エハー材の端縁部分をウエハー材の回転、研磨テープの
移送及び研磨テープの揺振の三つの複合作用により研磨
でき、また上記テープ移送機構を送り機構によりウエハ
ー材の接線方向に送り運動させることができ、また上記
テープガイド部に上記ウエハー材の表裏両端縁の各々の
傾斜縁面に対面する方向に進退可能な一対の押圧部材を
配設し、押圧部材を弾圧機構により傾斜縁面側に弾圧
し、よって研磨テープを傾斜縁面に平行に押圧し、ウエ
ハー材の端面に当接可能な位置決め部材を配設すること
により上記所定の角度をもつ各傾斜縁面をその角度を保
持しつつ良好に研磨することができ、さらに上記押圧部
材の首振揺動を可能とする首振機構により傾斜縁面に倣
って研磨することができて良好な研磨加工を行うことが
できる。
【００２６】以上、所期の目的を充分達成することがで
きる。
きる。
【図１】本発明の実施例の全体平面図である。
【図２】本発明の実施例の部分側断面図である。
【図３】本発明の実施例の部分側面図である。
【図４】本発明の実施例の部分側断面図である。
【図５】本発明の実施例の部分平断面図である。
【図６】本発明の実施例の部分前断面図である。
【図７】本発明の実施例の拡大部分側断面図である。
【図８】本発明の実施例の拡大部分側断面図である。
【図９】本発明の実施例の拡大部分正面図である。
【図１０】本発明の実施例の部分拡大側面図である。
【図１１】本発明の実施例の使用状態の説明斜視図であ
る。
る。
【図１２】本発明の実施例の他の使用状態の説明斜視図
である。
である。
【図１３】本発明の実施例のウエハー材の斜視図であ
る。
る。
【図１４】本発明の実施例のウエハー材の部分断面図で
ある。
ある。
Ｗ ウエハー材 Ｔ 研磨テープ Ｆ 端縁 １ 回転機構 ４ テープ移送機構 ５ 移動機構 ６ 揺振機構 ７ 送り機構 ２８ テープガイド部 ３９ 位置決め部材 ４４ 押圧部材 ４５ 首振機構 ４５ 弾圧機構
Claims (5)
- 【請求項１】 ウエハー材をその軸線廻りに支持回転さ
せる回転機構と、研磨テープをウエハー材の接線方向に
連続移送させるテープ移送機構と、該テープ移送機構を
進退移動させる移動機構と、該研磨テープをウエハー材
の表裏両端縁を挟み込む状態の略Ｖ状に案内可能なテー
プガイド部とを具備したことを特徴とするウエハー材縁
端部研磨装置。 - 【請求項２】 上記テープ移送機構をウエハー材の接線
方向に揺振運動させる揺振機構を設けてなる請求項１記
載のウエハー材縁端部研磨装置。 - 【請求項３】 上記テープ移送機構をウエハー材の接線
方向に送り運動させる送り機構を設けてなる請求項１又
は２記載のウエハー材縁端部研磨装置。 - 【請求項４】 上記テープガイド部に上記ウエハー材の
表裏両端縁の各々の傾斜縁面に対面する方向に進退可能
な一対の押圧部材を配設し、該押圧部材を該傾斜縁面側
に弾圧可能な弾圧機構を配設し、該ウエハー材の端面に
当接可能な位置決め部材を配設してなる請求項１乃至３
記載のウエハー材縁端部研磨装置。 - 【請求項５】 上記押圧部材の首振揺動を可能とする首
振機構を配設してなる請求項４記載のウエハー材縁端部
研磨装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16735394A JPH081494A (ja) | 1994-06-27 | 1994-06-27 | ウエハー材縁端部研磨装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16735394A JPH081494A (ja) | 1994-06-27 | 1994-06-27 | ウエハー材縁端部研磨装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH081494A true JPH081494A (ja) | 1996-01-09 |
Family
ID=15848155
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16735394A Pending JPH081494A (ja) | 1994-06-27 | 1994-06-27 | ウエハー材縁端部研磨装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH081494A (ja) |
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6933234B2 (en) | 2001-11-26 | 2005-08-23 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Method for manufacturing semiconductor device and polishing apparatus |
| US7014529B1 (en) | 2004-10-15 | 2006-03-21 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Substrate processing method and substrate processing apparatus |
| WO2006041196A1 (en) * | 2004-10-15 | 2006-04-20 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Polishing apparatus and polishing method |
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| DE102021104526A1 (de) | 2021-02-25 | 2022-08-25 | APEX Automatisierungs- & Präzisionstechnik GmbH | Werkzeug mit einem Schleifbandhalter |
-
1994
- 1994-06-27 JP JP16735394A patent/JPH081494A/ja active Pending
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