JPH0976148A - ウェーハのノッチ部研磨装置 - Google Patents
ウェーハのノッチ部研磨装置Info
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- JPH0976148A JPH0976148A JP7259398A JP25939895A JPH0976148A JP H0976148 A JPH0976148 A JP H0976148A JP 7259398 A JP7259398 A JP 7259398A JP 25939895 A JP25939895 A JP 25939895A JP H0976148 A JPH0976148 A JP H0976148A
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- wafer
- reel
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- polishing
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- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ノッチ部の内面を効率良く研磨でき、しかも
研磨面の均質性をいじすることができる、ウェーハのノ
ッチ部研磨装置を提供する。 【解決手段】 ウェーハＷのノッチ部Ｎを研磨するため
の研磨装置であって、表面に砥粒が担持されたテープＴ
と、テープＴが巻回保持されテープＴを繰り出しする繰
出し用リール５と、繰り出されたテープＴを巻き取る巻
取り用リール６と、外周形状がノッチ部Ｎ内面の形状に
対応しており、繰出し用リール５および巻取り用リール
６間でテープＴの裏面からテープＴの表面をノッチ部Ｎ
内面に押圧可能であって、テープＴの走行に連動して回
動自在な押圧ホイール３と、押圧ホイール３をウェーハ
Ｗに対して接近離反させるエアシリンダ２と、テープＴ
の表面とノッチ部Ｎ内面との圧接を保持した状態で繰出
し用リール５および巻取り用リール６を動作させてテー
プＴを往復走行させるテープ往復手段とを備えたもので
ある。
研磨面の均質性をいじすることができる、ウェーハのノ
ッチ部研磨装置を提供する。 【解決手段】 ウェーハＷのノッチ部Ｎを研磨するため
の研磨装置であって、表面に砥粒が担持されたテープＴ
と、テープＴが巻回保持されテープＴを繰り出しする繰
出し用リール５と、繰り出されたテープＴを巻き取る巻
取り用リール６と、外周形状がノッチ部Ｎ内面の形状に
対応しており、繰出し用リール５および巻取り用リール
６間でテープＴの裏面からテープＴの表面をノッチ部Ｎ
内面に押圧可能であって、テープＴの走行に連動して回
動自在な押圧ホイール３と、押圧ホイール３をウェーハ
Ｗに対して接近離反させるエアシリンダ２と、テープＴ
の表面とノッチ部Ｎ内面との圧接を保持した状態で繰出
し用リール５および巻取り用リール６を動作させてテー
プＴを往復走行させるテープ往復手段とを備えたもので
ある。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ウェーハの位置合
せあるいは方位合せに用いられるノッチ部を研磨するた
めのノッチ部研磨装置に関するものである。
せあるいは方位合せに用いられるノッチ部を研磨するた
めのノッチ部研磨装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】シリコン単結晶ウェーハあるいは化合物
半導体ウェーハなど（以下ウェーハと言う）に半導体集
積回路のパターンを形成する場合、ホトリソグラフィ技
術が用いられているが、このホトリソグラフィ技術の適
用にあたっては、ウェーハの高度な位置合せや方位合せ
が必要となる。このため、ウェーハ外周部の一部を円弧
状またはＶ字状に切り欠いた、いわゆるノッチ部を設
け、このノッチ部でもってウェーハの位置合せや方位合
せを行うものが実用化されている。
半導体ウェーハなど（以下ウェーハと言う）に半導体集
積回路のパターンを形成する場合、ホトリソグラフィ技
術が用いられているが、このホトリソグラフィ技術の適
用にあたっては、ウェーハの高度な位置合せや方位合せ
が必要となる。このため、ウェーハ外周部の一部を円弧
状またはＶ字状に切り欠いた、いわゆるノッチ部を設
け、このノッチ部でもってウェーハの位置合せや方位合
せを行うものが実用化されている。
【０００３】このノッチ部は、例えば図５に示すような
鼓形砥石７０を使用して形成される。しかし、形成され
たノッチ部の内面は比較的粗いため、このノッチ部の形
成後に、その内面を研磨することが必要となる。ノッチ
部の内面が粗い場合には、位置合せや方位合せの際に硬
質の位置決めピン（図示せず）にノッチ部の内面が接触
した際に粒塵が発生し、この粒塵がウェーハＷの表面に
乗ったりして、ホトリソグラフィ工程における微細加工
の阻害原因となるからである。
鼓形砥石７０を使用して形成される。しかし、形成され
たノッチ部の内面は比較的粗いため、このノッチ部の形
成後に、その内面を研磨することが必要となる。ノッチ
部の内面が粗い場合には、位置合せや方位合せの際に硬
質の位置決めピン（図示せず）にノッチ部の内面が接触
した際に粒塵が発生し、この粒塵がウェーハＷの表面に
乗ったりして、ホトリソグラフィ工程における微細加工
の阻害原因となるからである。
【０００４】そこで、従来、このノッチ部の内面を、例
えば円板状の回転バフ（図示せず）の外周で研磨してい
た。
えば円板状の回転バフ（図示せず）の外周で研磨してい
た。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ノッチ
部の内面は、図６の平面図および図７の縦断面図に示す
ように、ノッチ部Ｎの厚み方向中央部分が外側に膨らみ
出し、複雑な形状となっている。
部の内面は、図６の平面図および図７の縦断面図に示す
ように、ノッチ部Ｎの厚み方向中央部分が外側に膨らみ
出し、複雑な形状となっている。
【０００６】そのため、前記回転バフによって、ノッチ
部Ｎの内面を研磨するには、回転バフがノッチ部Ｎの全
面に接触するように移動させる必要があり、その作業は
煩雑で時間がかかり、しかも、その内面を美麗に研磨す
ることは困難であった。
部Ｎの内面を研磨するには、回転バフがノッチ部Ｎの全
面に接触するように移動させる必要があり、その作業は
煩雑で時間がかかり、しかも、その内面を美麗に研磨す
ることは困難であった。
【０００７】また、回転バフを用いる場合、回転バフの
同一部分で研磨することになるため、回転バフが摩耗し
て研磨面の均質性を長時間維持できないことから、比較
的頻繁に、回転バフの交換をしなければならないという
問題があった。さらに、バフ研磨ではスラリーが必要で
あるが、そのスラリーにより製品（ウェーハ）の研磨部
分以外の所がエッチングされるという問題があった。
同一部分で研磨することになるため、回転バフが摩耗し
て研磨面の均質性を長時間維持できないことから、比較
的頻繁に、回転バフの交換をしなければならないという
問題があった。さらに、バフ研磨ではスラリーが必要で
あるが、そのスラリーにより製品（ウェーハ）の研磨部
分以外の所がエッチングされるという問題があった。
【０００８】本発明は、かかる点に鑑みてなされたもの
で、ノッチ部の内面を効率良く研磨でき、しかも研磨面
の均質性を維持することができる、ウェーハのノッチ部
研磨装置を提供することを目的としている。
で、ノッチ部の内面を効率良く研磨でき、しかも研磨面
の均質性を維持することができる、ウェーハのノッチ部
研磨装置を提供することを目的としている。
【０００９】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の研磨装置
は、ウェーハのノッチ部を研磨するための研磨装置であ
って、表面に砥粒が担持されたテープと、このテープが
巻回保持され当該テープを繰り出しする繰出し用リール
と、この繰出し用リールによって繰り出されたテープを
巻き取る巻取り用リールと、外周形状がノッチ部内面の
形状に対応しており、前記繰出し用リールおよび前記巻
取り用リール間でテープの裏面からテープの表面を前記
ノッチ部内面に押圧可能であるとともに、テープの走行
に連動して回動自在なテープ押圧部材と、このテープ押
圧部材をウェーハに対して接近離反させる押圧付勢手段
と、前記テープの表面と前記ノッチ部内面との圧接を保
持した状態で前記繰出し用リールおよび前記巻取り用リ
ールを動作させて前記テープを往復走行させるテープ往
復手段とを備えたことを特徴とするものである。
は、ウェーハのノッチ部を研磨するための研磨装置であ
って、表面に砥粒が担持されたテープと、このテープが
巻回保持され当該テープを繰り出しする繰出し用リール
と、この繰出し用リールによって繰り出されたテープを
巻き取る巻取り用リールと、外周形状がノッチ部内面の
形状に対応しており、前記繰出し用リールおよび前記巻
取り用リール間でテープの裏面からテープの表面を前記
ノッチ部内面に押圧可能であるとともに、テープの走行
に連動して回動自在なテープ押圧部材と、このテープ押
圧部材をウェーハに対して接近離反させる押圧付勢手段
と、前記テープの表面と前記ノッチ部内面との圧接を保
持した状態で前記繰出し用リールおよび前記巻取り用リ
ールを動作させて前記テープを往復走行させるテープ往
復手段とを備えたことを特徴とするものである。
【００１０】請求項２記載の研磨装置は、請求項１記載
の研磨装置において、ウェーハとテープ押圧部材とは相
対的に三次元移動可能であり、テープの走行方向はウェ
ーハの表裏方向であって、テープ幅はテープがノッチ部
内面に押し付けられた状態でノッチ部の幅以上であるこ
とを特徴とするものである。
の研磨装置において、ウェーハとテープ押圧部材とは相
対的に三次元移動可能であり、テープの走行方向はウェ
ーハの表裏方向であって、テープ幅はテープがノッチ部
内面に押し付けられた状態でノッチ部の幅以上であるこ
とを特徴とするものである。
【００１１】上記した手段によれば、テープを往復走行
させることにより、テープの新しい部分をウェーハのノ
ッチ部内面に押圧させて研磨することができるので、研
磨面の均質性を長時間維持できることになる。
させることにより、テープの新しい部分をウェーハのノ
ッチ部内面に押圧させて研磨することができるので、研
磨面の均質性を長時間維持できることになる。
【００１２】また、テープ押圧部材によりテープをノッ
チ部内面に押し付けながら研磨するので、加工速度が速
くなり、効率良く研磨できる。さらに、スラリーを用い
る必要がないので、ウェーハがエッチングされることも
ない。
チ部内面に押し付けながら研磨するので、加工速度が速
くなり、効率良く研磨できる。さらに、スラリーを用い
る必要がないので、ウェーハがエッチングされることも
ない。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下、図面に基づいて、本発明の
実施形態係る研磨装置について説明する。
実施形態係る研磨装置について説明する。
【００１４】図１には実施形態の研磨装置１の外観が示
されている。この研磨装置１は、上下方向（ウェーハＷ
の表裏方向）に往復走行するテープＴの途中部分を、エ
アシリンダ２により進退移動する押圧ホイール３を介し
て、ウェーハＷのノッチ部Ｎの内面に所定圧で押し付け
ながら研磨する構造となっている。
されている。この研磨装置１は、上下方向（ウェーハＷ
の表裏方向）に往復走行するテープＴの途中部分を、エ
アシリンダ２により進退移動する押圧ホイール３を介し
て、ウェーハＷのノッチ部Ｎの内面に所定圧で押し付け
ながら研磨する構造となっている。
【００１５】テープＴは、図２に示すように、テープ基
材４ａの上に接着剤４ｂを介して固定砥粒４ｃを接着し
たものである。なお、このテープＴとしては、図示はし
ないが、テープ基材の上に固定砥粒を混ぜた塗料を塗布
した型のものを用いることもできる。
材４ａの上に接着剤４ｂを介して固定砥粒４ｃを接着し
たものである。なお、このテープＴとしては、図示はし
ないが、テープ基材の上に固定砥粒を混ぜた塗料を塗布
した型のものを用いることもできる。
【００１６】テープＴは、図１に示すように、繰出し用
リール５に巻回されており、この繰出し用リール５から
繰り出されるテープＴは、繰出し用リール５の上方に配
置された巻取り用リール６に巻き取られるようになって
いる。また、テープＴは、両リール５，６間でローラ
７，８にそれぞれ巻き掛けられている。さらに、巻取り
用リール６の近傍に配置されたローラ８には、ローラ８
と相俟ってテープＴを挟持することによりテープＴの走
行ズレを防止するローラ９が圧接されている。一方、繰
出し用リール５側のローラ７は、中高にしてテープＴの
走行ズレを防止するとよく、テープＴの張力を調整する
張り車の機能をもたせてもよい。
リール５に巻回されており、この繰出し用リール５から
繰り出されるテープＴは、繰出し用リール５の上方に配
置された巻取り用リール６に巻き取られるようになって
いる。また、テープＴは、両リール５，６間でローラ
７，８にそれぞれ巻き掛けられている。さらに、巻取り
用リール６の近傍に配置されたローラ８には、ローラ８
と相俟ってテープＴを挟持することによりテープＴの走
行ズレを防止するローラ９が圧接されている。一方、繰
出し用リール５側のローラ７は、中高にしてテープＴの
走行ズレを防止するとよく、テープＴの張力を調整する
張り車の機能をもたせてもよい。
【００１７】繰出し用リール５および巻取り用リール６
には、図示は省略したが、それぞれ駆動源（テープ往復
手段）が接続されており、この駆動源は、各リール５，
６を正逆方向に回転させることで、テープＴを往復走行
できるように同期制御されている。
には、図示は省略したが、それぞれ駆動源（テープ往復
手段）が接続されており、この駆動源は、各リール５，
６を正逆方向に回転させることで、テープＴを往復走行
できるように同期制御されている。
【００１８】繰出し用リール５と巻取り用リール６との
間には、テープＴの裏面側にテープＴの押圧ユニット１
０が設けられている。この押圧ユニット１０は、図１、
図３および図４に示すように、略コ字状に形成された枠
体１１と、この枠体１１をノッチ部Ｎの最深部の曲率中
心Ａ（図４参照）を旋回中心として上下に所定角度θず
つ旋回させるモータ１２と、枠体１１に固設された押圧
付勢手段としてのエアシリンダ２と、このエアシリンダ
２によって進退移動されるテープ押圧部材としての略円
板状の押圧ホイール３とから概略構成されている。
間には、テープＴの裏面側にテープＴの押圧ユニット１
０が設けられている。この押圧ユニット１０は、図１、
図３および図４に示すように、略コ字状に形成された枠
体１１と、この枠体１１をノッチ部Ｎの最深部の曲率中
心Ａ（図４参照）を旋回中心として上下に所定角度θず
つ旋回させるモータ１２と、枠体１１に固設された押圧
付勢手段としてのエアシリンダ２と、このエアシリンダ
２によって進退移動されるテープ押圧部材としての略円
板状の押圧ホイール３とから概略構成されている。
【００１９】エアシリンダ２は、テープ押圧力（研磨
圧）が所定値となるように制御できるようになってい
る。エアシリンダ２のロッド２ａは、枠体１１を貫通し
ており、その先端には、コ字状のホイール支持枠１３が
取り付けられている。このホイール支持枠１３の両分岐
先端部には、軸受け１４がそれぞれ内設されている。そ
して、これら軸受け１４には、押圧ホイール３の支持軸
１５が挿通されている。また、枠体１１には、ホイール
支持枠１３を囲繞するようにしてコ字状の案内枠１６が
形成されている。さらに、案内枠１６の先端部には、エ
アシリンダ２のロッド２ａと平行な長孔１７がそれぞれ
形成されており、押圧ホイール３の支持軸１５の両端部
は、その長孔１７内に摺動自在に挿入されている。つま
り、押圧ホイール３は、テープＴの裏面側に位置し、エ
アシリンダ２の押圧力によりテープＴの表面をノッチ部
Ｎ内面に所定圧で押圧できるようになっており、テープ
Ｔの走行に連動して回動し、また長孔１７の長さ範囲内
の距離でウェーハＷに対して接近離反できるようになっ
ている。
圧）が所定値となるように制御できるようになってい
る。エアシリンダ２のロッド２ａは、枠体１１を貫通し
ており、その先端には、コ字状のホイール支持枠１３が
取り付けられている。このホイール支持枠１３の両分岐
先端部には、軸受け１４がそれぞれ内設されている。そ
して、これら軸受け１４には、押圧ホイール３の支持軸
１５が挿通されている。また、枠体１１には、ホイール
支持枠１３を囲繞するようにしてコ字状の案内枠１６が
形成されている。さらに、案内枠１６の先端部には、エ
アシリンダ２のロッド２ａと平行な長孔１７がそれぞれ
形成されており、押圧ホイール３の支持軸１５の両端部
は、その長孔１７内に摺動自在に挿入されている。つま
り、押圧ホイール３は、テープＴの裏面側に位置し、エ
アシリンダ２の押圧力によりテープＴの表面をノッチ部
Ｎ内面に所定圧で押圧できるようになっており、テープ
Ｔの走行に連動して回動し、また長孔１７の長さ範囲内
の距離でウェーハＷに対して接近離反できるようになっ
ている。
【００２０】押圧ホイール３は、図３に示すように、外
周部３ａがウレタンゴムなどの弾性材により形成されて
いる。また、その外周形状は、ノッチ部Ｎの内面形状に
対応して形成されている。本実施形態では、ウェーハＷ
のノッチ部Ｎの形状はＶ字状であるので、押圧ホイール
３の外周は、厚み方向中央部分が外側に膨らみ出した形
状となっている。さらに、押圧ホイール３の厚みは、ノ
ッチ部Ｎの幅とほぼ同一となるように形成されており、
テープＴがノッチ部Ｎの内面幅全体に均一な圧力で押圧
されて線接触するようになっている。もちろん、テープ
Ｔの幅は、テープＴがノッチ部Ｎ内面に押し付けられた
状態でノッチ部Ｎの幅からはみ出す程度になっている。
周部３ａがウレタンゴムなどの弾性材により形成されて
いる。また、その外周形状は、ノッチ部Ｎの内面形状に
対応して形成されている。本実施形態では、ウェーハＷ
のノッチ部Ｎの形状はＶ字状であるので、押圧ホイール
３の外周は、厚み方向中央部分が外側に膨らみ出した形
状となっている。さらに、押圧ホイール３の厚みは、ノ
ッチ部Ｎの幅とほぼ同一となるように形成されており、
テープＴがノッチ部Ｎの内面幅全体に均一な圧力で押圧
されて線接触するようになっている。もちろん、テープ
Ｔの幅は、テープＴがノッチ部Ｎ内面に押し付けられた
状態でノッチ部Ｎの幅からはみ出す程度になっている。
【００２１】ウェーハＷ支持装置３０は、図４に示すよ
うに、真空ポンプ（図示省略）に連結されウェーハＷを
裏面から支持する吸着盤３１と、この吸着盤３１ひいて
はウェーハＷを小さい角度範囲で正逆に回転させるモー
タ（図示省略）とから構成されている。なお、この研磨
装置１は、図示はしないが、吸着盤３１をテープＴに対
して相対的に接近離反させる手段を備えている。
うに、真空ポンプ（図示省略）に連結されウェーハＷを
裏面から支持する吸着盤３１と、この吸着盤３１ひいて
はウェーハＷを小さい角度範囲で正逆に回転させるモー
タ（図示省略）とから構成されている。なお、この研磨
装置１は、図示はしないが、吸着盤３１をテープＴに対
して相対的に接近離反させる手段を備えている。
【００２２】次に、このように構成された研磨装置１の
用い方について説明する。
用い方について説明する。
【００２３】まず、ウェーハ支持装置３０の吸着盤３１
にウェーハＷを吸着させるとともに、図示しないモータ
によってウェーハＷを回転させて、ウェーハＷのノッチ
部Ｎと押圧ホイール３とを対向させ、当該モータの回転
を止める。
にウェーハＷを吸着させるとともに、図示しないモータ
によってウェーハＷを回転させて、ウェーハＷのノッチ
部Ｎと押圧ホイール３とを対向させ、当該モータの回転
を止める。
【００２４】そして、図示しない手段によってウェーハ
Ｗを押圧ホイール３に相対的に近づけた後、エアシリン
ダ２を駆動させ、ノッチ部Ｎの内面の幅全体に、押圧ホ
イール３に押圧されたテープ部分を所定圧（研磨圧）で
線接触させる。次いで、テープＴが所定圧でノッチ部Ｎ
内面に押圧された状態を保持しつつ、巻取り用リール６
および繰出し用リール５を動作させてテープＴを往復走
行させ、研磨する。テープＴの走行は、往路が復路より
長くなるように、すなわち巻取り用リール６にテープＴ
が次第に巻き取られていくように行う。なお、この際、
押圧ホイール３は、テープＴの走行に連動して回動す
る。
Ｗを押圧ホイール３に相対的に近づけた後、エアシリン
ダ２を駆動させ、ノッチ部Ｎの内面の幅全体に、押圧ホ
イール３に押圧されたテープ部分を所定圧（研磨圧）で
線接触させる。次いで、テープＴが所定圧でノッチ部Ｎ
内面に押圧された状態を保持しつつ、巻取り用リール６
および繰出し用リール５を動作させてテープＴを往復走
行させ、研磨する。テープＴの走行は、往路が復路より
長くなるように、すなわち巻取り用リール６にテープＴ
が次第に巻き取られていくように行う。なお、この際、
押圧ホイール３は、テープＴの走行に連動して回動す
る。
【００２５】また、モータ１２を駆動させて、押圧ユニ
ット１０をノッチ部Ｎの最深部の曲率中心Ａ（図４参
照）を旋回中心として上下に所定角度θ内で旋回させ、
ノッチ部Ｎの全面を連続的に研磨する。
ット１０をノッチ部Ｎの最深部の曲率中心Ａ（図４参
照）を旋回中心として上下に所定角度θ内で旋回させ、
ノッチ部Ｎの全面を連続的に研磨する。
【００２６】さらに、ノッチ部Ｎの両脇部とウェーハＷ
の外周部との境界部分は、ウェーハＷの両面とも、図示
しないモータによって吸着盤３１ひいてはウェーハＷを
小さい角度範囲で正逆に回転させることで、研磨する。
の外周部との境界部分は、ウェーハＷの両面とも、図示
しないモータによって吸着盤３１ひいてはウェーハＷを
小さい角度範囲で正逆に回転させることで、研磨する。
【００２７】このようにして、ウェーハＷのノッチ部Ｎ
の内面全体が研磨されることになる。
の内面全体が研磨されることになる。
【００２８】以上の実施形態によれば、次のような効果
を得ることができる。
を得ることができる。
【００２９】実施形態の研磨装置１によれば、テープＴ
を往復走行させることにより、テープＴの新しい部分を
ウェーハＷのノッチ部Ｎ内面に押圧させ、しかもエアシ
リンダ２により所定の押圧力を維持して研磨することが
できるので、研磨面の均質性を長時間維持できることに
なる。
を往復走行させることにより、テープＴの新しい部分を
ウェーハＷのノッチ部Ｎ内面に押圧させ、しかもエアシ
リンダ２により所定の押圧力を維持して研磨することが
できるので、研磨面の均質性を長時間維持できることに
なる。
【００３０】また、エアシリンダ２による所定の押圧力
でテープＴをノッチ部Ｎ内面に押し付けながら研磨する
ので、加工速度が速くなり、効率良く研磨できる。
でテープＴをノッチ部Ｎ内面に押し付けながら研磨する
ので、加工速度が速くなり、効率良く研磨できる。
【００３１】さらに、スラリーを用いる必要がないの
で、ウェーハＷがエッチングされることもない。
で、ウェーハＷがエッチングされることもない。
【００３２】以上、本発明者がなした実施形態について
説明したが、本発明は、かかる実施形態に限定されず、
その要旨を逸脱しない範囲において、種々の変形が可能
である。
説明したが、本発明は、かかる実施形態に限定されず、
その要旨を逸脱しない範囲において、種々の変形が可能
である。
【００３３】例えば、上記実施形態では、ノッチ部Ｎの
切り欠き形状がＶ字状であるので、テープの走行方向を
ウェーハＷの表裏方向としたが、ノッチ部の切り欠き形
状が円弧状であれば、その円弧形状に合致した円筒形の
テープ押圧部材を用い、それをノッチ部内で軸周りに回
転させることができるので、テープの走行方向をウェー
ハＷの面内方向としてもよい。さらに、この場合、テー
プの可撓性が十分であれば、ノッチ部に嵌合する大きさ
の鼓形のテープ押圧部材を用いることにより、押圧ユニ
ットを旋回させなくてもテープがノッチ部に面接触し、
一度にノッチ部全体を研磨することができる。
切り欠き形状がＶ字状であるので、テープの走行方向を
ウェーハＷの表裏方向としたが、ノッチ部の切り欠き形
状が円弧状であれば、その円弧形状に合致した円筒形の
テープ押圧部材を用い、それをノッチ部内で軸周りに回
転させることができるので、テープの走行方向をウェー
ハＷの面内方向としてもよい。さらに、この場合、テー
プの可撓性が十分であれば、ノッチ部に嵌合する大きさ
の鼓形のテープ押圧部材を用いることにより、押圧ユニ
ットを旋回させなくてもテープがノッチ部に面接触し、
一度にノッチ部全体を研磨することができる。
【００３４】
【発明の効果】本発明は、ウェーハのノッチ部を研磨す
るための研磨装置であって、表面に砥粒が担持されたテ
ープと、このテープが巻回保持され当該テープを繰り出
しする繰出し用リールと、この繰出し用リールによって
繰り出されたテープを巻き取る巻取り用リールと、外周
形状がノッチ部内面の形状に対応しており、前記繰出し
用リールおよび前記巻取り用リール間でテープの裏面か
らテープの表面を前記ノッチ部内面に押圧可能であると
ともに、テープの走行に連動して回動自在なテープ押圧
部材と、このテープ押圧部材をウェーハに対して接近離
反させる押圧付勢手段と、前記テープの表面と前記ノッ
チ部内面との圧接を保持した状態で前記繰出し用リール
および前記巻取り用リールを動作させて前記テープを往
復走行させるテープ往復手段とを備えているので、ノッ
チ部内面を効率良く研磨でき、しかも研磨面の均質性を
長時間維持することができる。また、スラリーを用いる
必要がないので、ウェーハがエッチングされることもな
い。
るための研磨装置であって、表面に砥粒が担持されたテ
ープと、このテープが巻回保持され当該テープを繰り出
しする繰出し用リールと、この繰出し用リールによって
繰り出されたテープを巻き取る巻取り用リールと、外周
形状がノッチ部内面の形状に対応しており、前記繰出し
用リールおよび前記巻取り用リール間でテープの裏面か
らテープの表面を前記ノッチ部内面に押圧可能であると
ともに、テープの走行に連動して回動自在なテープ押圧
部材と、このテープ押圧部材をウェーハに対して接近離
反させる押圧付勢手段と、前記テープの表面と前記ノッ
チ部内面との圧接を保持した状態で前記繰出し用リール
および前記巻取り用リールを動作させて前記テープを往
復走行させるテープ往復手段とを備えているので、ノッ
チ部内面を効率良く研磨でき、しかも研磨面の均質性を
長時間維持することができる。また、スラリーを用いる
必要がないので、ウェーハがエッチングされることもな
い。
【図１】実施形態の研磨装置の斜視図である。
【図２】実施形態のテープの縦断面図である。
【図３】実施形態の研磨装置の横断平面図である。
【図４】実施形態の研磨装置のテープ押圧状態における
縦断側面図である。
縦断側面図である。
【図５】ノッチ部の形成に用いられる鼓形砥石の斜視図
である。
である。
【図６】図５の鼓形砥石によりノッチ部を形成している
状態を示す平面図である。
状態を示す平面図である。
【図７】図５の鼓形砥石によりノッチ部を形成している
状態を示す縦断面図である。
状態を示す縦断面図である。
１ 研磨装置 ２ エアシリンダ ３ 押圧ホイール ４ａ テープ基材 ４ｂ 接着剤 ４ｃ 固定砥粒 ５ 繰出し用リール ６ 巻取り用リール １０ 押圧ユニット １２ モータ Ｎ ノッチ部 Ｔ テープ Ｗ ウェーハ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 山田 正幸 福島県西白河郡西郷村大字小田倉字大平 150番地 信越半導体株式会社半導体白河 研究所内 (72)発明者 小林 誠 福島県西白河郡西郷村大字小田倉字大平 150番地 信越半導体株式会社半導体白河 研究所内
Claims (2)
- 【請求項１】 ウェーハのノッチ部を研磨するための研
磨装置であって、表面に砥粒が担持されたテープと、こ
のテープが巻回保持され当該テープを繰り出しする繰出
し用リールと、この繰出し用リールによって繰り出され
たテープを巻き取る巻取り用リールと、外周形状がノッ
チ部内面の形状に対応しており、前記繰出し用リールお
よび前記巻取り用リール間でテープの裏面からテープの
表面を前記ノッチ部内面に押圧可能であるとともに、テ
ープの走行に連動して回動自在なテープ押圧部材と、こ
のテープ押圧部材をウェーハに対して接近離反させる押
圧付勢手段と、前記テープの表面と前記ノッチ部内面と
の圧接を保持した状態で前記繰出し用リールおよび前記
巻取り用リールを動作させて前記テープを往復走行させ
るテープ往復手段とを備えたことを特徴とするウェーハ
のノッチ部研磨装置。 - 【請求項２】 ウェーハとテープ押圧部材とは相対的に
三次元移動可能であり、テープの走行方向はウェーハの
表裏方向であって、テープ幅はテープがノッチ部内面に
押し付けられた状態でノッチ部の幅以上であることを特
徴とする請求項１記載のウェーハのノッチ部研磨装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7259398A JPH0976148A (ja) | 1995-09-12 | 1995-09-12 | ウェーハのノッチ部研磨装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7259398A JPH0976148A (ja) | 1995-09-12 | 1995-09-12 | ウェーハのノッチ部研磨装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0976148A true JPH0976148A (ja) | 1997-03-25 |
Family
ID=17333587
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7259398A Pending JPH0976148A (ja) | 1995-09-12 | 1995-09-12 | ウェーハのノッチ部研磨装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0976148A (ja) |
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- 1995-09-12 JP JP7259398A patent/JPH0976148A/ja active Pending
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20031225 |
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| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040527 |
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| A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20041124 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |