JPH0789776A - 窒化硼素被覆炭素材料の製造法 - Google Patents
窒化硼素被覆炭素材料の製造法Info
- Publication number
- JPH0789776A JPH0789776A JP6060831A JP6083194A JPH0789776A JP H0789776 A JPH0789776 A JP H0789776A JP 6060831 A JP6060831 A JP 6060831A JP 6083194 A JP6083194 A JP 6083194A JP H0789776 A JPH0789776 A JP H0789776A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- boron nitride
- carbon material
- boron
- film
- coated carbon
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
- C04B41/009—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone characterised by the material treated
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
- C04B41/45—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements
- C04B41/50—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements with inorganic materials
- C04B41/5053—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements with inorganic materials non-oxide ceramics
- C04B41/5062—Borides, Nitrides or Silicides
- C04B41/5064—Boron nitride
Abstract
(57)【要約】
【目的】 炭素材料との密着性及び耐熱衝撃性に優れた
窒化硼素被覆炭素材料の製造法を提供する。 【構成】 窒素を含む雰囲気中で転化法により炭素材料
の表面に窒化硼素の被膜を形成する窒化硼素被覆炭素材
料の製造法及びさらに該窒化硼素被膜の上面に転化法以
外の方法で窒化硼素被膜を厚付けする窒化硼素被覆炭素
材料の製造法。
窒化硼素被覆炭素材料の製造法を提供する。 【構成】 窒素を含む雰囲気中で転化法により炭素材料
の表面に窒化硼素の被膜を形成する窒化硼素被覆炭素材
料の製造法及びさらに該窒化硼素被膜の上面に転化法以
外の方法で窒化硼素被膜を厚付けする窒化硼素被覆炭素
材料の製造法。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、炭素材料の表面を窒化
硼素で被覆した窒化硼素被覆炭素材料の製造法に関す
る。
硼素で被覆した窒化硼素被覆炭素材料の製造法に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】炭素材料は優れた耐熱性を有し、高温下
で使用される各種の部材として極めて有用である。しか
しながら炭素材料には、高温での耐酸化性、場合によっ
ては化学的安定性に欠けるという問題があり、このよう
な問題点を補うために、各種セラミックスで炭素材料の
表面を被覆することが広く行われている。この被覆材の
うち、窒化硼素（ＢＮ）は、耐熱性、化学的安定性に優
れるだけでなく、熱伝導率が高い、潤滑性に優れる、電
気絶縁性、耐電圧に優れる等の特長も有している。この
ため窒化硼素被覆炭素材料は、半導体単結晶引上げ用、
アルミニウム溶融用等のルツボ、ヒーター、ホットプレ
ス用ダイス、ロケットノズルなどに使用されている。
で使用される各種の部材として極めて有用である。しか
しながら炭素材料には、高温での耐酸化性、場合によっ
ては化学的安定性に欠けるという問題があり、このよう
な問題点を補うために、各種セラミックスで炭素材料の
表面を被覆することが広く行われている。この被覆材の
うち、窒化硼素（ＢＮ）は、耐熱性、化学的安定性に優
れるだけでなく、熱伝導率が高い、潤滑性に優れる、電
気絶縁性、耐電圧に優れる等の特長も有している。この
ため窒化硼素被覆炭素材料は、半導体単結晶引上げ用、
アルミニウム溶融用等のルツボ、ヒーター、ホットプレ
ス用ダイス、ロケットノズルなどに使用されている。
【０００３】窒化硼素を炭素材料の表面に被覆するに
は、これまでにいくつかの方法が提案されている。窒化
硼素は焼結性が悪いため、単に粒子を塗布して焼付けを
行っただけでは良好な被覆を得ることはできない。また
窒化硼素粒子を有機質バインダーに分散させて塗布した
場合は、使用可能な温度が低温に限られてしまう。そこ
で、特公昭５２−８３２６号公報及び特公昭５２−８３
２７号公報においては、窒化硼素粒子とシリカゾル又は
けい酸エチルエーテルとの混合物からなる被膜材料を提
案している。また特開昭６０−１７６９８３号公報、特
開昭６０−２５５６９８号公報等においては、ＣＶＤ法
又はプラズマＣＶＤ法で炭素材料の表面に窒化硼素被膜
を形成する方法が提案されている。さらに特開平４−１
７５２８４号公報においては、硼素水溶液又はボラジン
を有機溶媒に溶解した溶液を炭素繊維強化炭素複合材
（Ｃ／Ｃ複合材）表面に塗布し、乾燥後窒素雰囲気中で
窒化焼成して、窒化硼素被膜を形成する方法が提案され
ている。
は、これまでにいくつかの方法が提案されている。窒化
硼素は焼結性が悪いため、単に粒子を塗布して焼付けを
行っただけでは良好な被覆を得ることはできない。また
窒化硼素粒子を有機質バインダーに分散させて塗布した
場合は、使用可能な温度が低温に限られてしまう。そこ
で、特公昭５２−８３２６号公報及び特公昭５２−８３
２７号公報においては、窒化硼素粒子とシリカゾル又は
けい酸エチルエーテルとの混合物からなる被膜材料を提
案している。また特開昭６０−１７６９８３号公報、特
開昭６０−２５５６９８号公報等においては、ＣＶＤ法
又はプラズマＣＶＤ法で炭素材料の表面に窒化硼素被膜
を形成する方法が提案されている。さらに特開平４−１
７５２８４号公報においては、硼素水溶液又はボラジン
を有機溶媒に溶解した溶液を炭素繊維強化炭素複合材
（Ｃ／Ｃ複合材）表面に塗布し、乾燥後窒素雰囲気中で
窒化焼成して、窒化硼素被膜を形成する方法が提案され
ている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら特公昭５
２−８３２６号公報及び特公昭５２−８３２７号公報に
示される方法では、炭素材料の表面上に窒化硼素被膜が
形成されるため、窒化硼素被膜と炭素材料の密着性が十
分とはいえず、熱衝撃を受けた場合剥離する恐れがあ
る。また窒化硼素以外にＳｉＯ2を含有することから、
Ｓｉが不純物として問題となる用途には使用できない。
また特開昭６０−１７６９８３号公報、特開昭６０−２
５５６９８号公報等に示される方法では、やはり炭素材
料の表面上に窒化硼素被膜が形成されるため、炭素材料
と窒化硼素被膜との熱膨張係数の差により、剥離が生じ
やすい。さらに特開平４−１７５２８４号公報に示され
る方法においても、窒化硼素被膜の密着性が十分ではな
い。
２−８３２６号公報及び特公昭５２−８３２７号公報に
示される方法では、炭素材料の表面上に窒化硼素被膜が
形成されるため、窒化硼素被膜と炭素材料の密着性が十
分とはいえず、熱衝撃を受けた場合剥離する恐れがあ
る。また窒化硼素以外にＳｉＯ2を含有することから、
Ｓｉが不純物として問題となる用途には使用できない。
また特開昭６０−１７６９８３号公報、特開昭６０−２
５５６９８号公報等に示される方法では、やはり炭素材
料の表面上に窒化硼素被膜が形成されるため、炭素材料
と窒化硼素被膜との熱膨張係数の差により、剥離が生じ
やすい。さらに特開平４−１７５２８４号公報に示され
る方法においても、窒化硼素被膜の密着性が十分ではな
い。
【０００５】本発明は炭素材料と窒化硼素被膜との密着
性及び耐熱衝撃性に優れた、窒化硼素被覆炭素材料の製
造法を提供するものである。
性及び耐熱衝撃性に優れた、窒化硼素被覆炭素材料の製
造法を提供するものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明者らは、前述の目
的を達成するために種々検討を重ねた結果、炭素材料の
表面を転化法で窒化硼素に転化する方法及びその上面に
さらにＣＶＤ法等の方法で窒化硼素の被膜を厚付けする
という方法で炭素材料との密着性に優れた、窒化硼素被
覆炭素材料が得られることを見い出し、本発明を完成す
るに到った。
的を達成するために種々検討を重ねた結果、炭素材料の
表面を転化法で窒化硼素に転化する方法及びその上面に
さらにＣＶＤ法等の方法で窒化硼素の被膜を厚付けする
という方法で炭素材料との密着性に優れた、窒化硼素被
覆炭素材料が得られることを見い出し、本発明を完成す
るに到った。
【０００７】本発明は、窒素を含む雰囲気中で転化法に
より炭素材料の表面に窒化硼素の被膜を形成する窒化硼
素被覆炭素材料の製造法及び窒素を含む雰囲気中で転化
法により炭素材料の表面に窒化硼素の被膜を形成した
後、さらにこの上面に転化法以外の方法で窒化硼素の被
膜を厚付けする窒化硼素被覆炭素材料の製造法に関す
る。
より炭素材料の表面に窒化硼素の被膜を形成する窒化硼
素被覆炭素材料の製造法及び窒素を含む雰囲気中で転化
法により炭素材料の表面に窒化硼素の被膜を形成した
後、さらにこの上面に転化法以外の方法で窒化硼素の被
膜を厚付けする窒化硼素被覆炭素材料の製造法に関す
る。
【０００８】本発明において用いる炭素材料は、一般に
知られている等方性や異方性の人造黒鉛材、炭素繊維強
化炭素複合材（Ｃ／Ｃ複合材）等であり、特に制限はな
い。
知られている等方性や異方性の人造黒鉛材、炭素繊維強
化炭素複合材（Ｃ／Ｃ複合材）等であり、特に制限はな
い。
【０００９】炭素材料の表面を窒化硼素に転化するに
は、炭素材料と硼素化合物を反応させて窒化硼素を生成
する転化法が用いられる。具体的にはＢ2Ｏ3、Ｂ2Ｏ2、
Ｂ2Ｏ等の硼素酸化物と炭素材料とを窒素を含む雰囲気
中で反応させ、炭素材料の表面を窒化硼素に転化する方
法が好ましいが、本発明においてはこの方法に制限する
ものではなく、上記の硼素酸化物のガスを炭素材料に供
給し、それを窒素を含む雰囲気中で反応させてもよく、
また硼素酸化物と炭素粉の混合物中に炭素材料を配置
し、そこに窒素を含むガスを導入して反応を行ってもよ
い。
は、炭素材料と硼素化合物を反応させて窒化硼素を生成
する転化法が用いられる。具体的にはＢ2Ｏ3、Ｂ2Ｏ2、
Ｂ2Ｏ等の硼素酸化物と炭素材料とを窒素を含む雰囲気
中で反応させ、炭素材料の表面を窒化硼素に転化する方
法が好ましいが、本発明においてはこの方法に制限する
ものではなく、上記の硼素酸化物のガスを炭素材料に供
給し、それを窒素を含む雰囲気中で反応させてもよく、
また硼素酸化物と炭素粉の混合物中に炭素材料を配置
し、そこに窒素を含むガスを導入して反応を行ってもよ
い。
【００１０】反応温度は、反応速度及び十分な厚さの窒
化硼素の被膜を形成する点で１６００℃以上が好まし
く、１７００℃以上であればさらに好ましい。反応雰囲
気は、窒素を含む雰囲気中で反応することが必要であ
る。即ち窒素ガス又はアンモニアなどの窒素化合物のガ
スを用いることが必要である。なお本発明においては、
最初上記の硼素酸化物と炭素材料とを、アルゴン、ヘリ
ウム等の反応に関与しない不活性ガス雰囲気又は減圧な
どの手段で窒素及び酸素を除去した雰囲気で反応させ、
炭素材料の表面を炭化硼素に転化した後、窒素を含む雰
囲気中で反応させ、炭化硼素を窒化硼素に転化しても差
し支えない。またこの場合、炭化硼素の窒化硼素への転
化が完全でなく、窒化硼素と炭素との間に炭化硼素層が
残留しても問題はない。炭化硼素に転化する場合の反応
温度及び炭化硼素を窒化硼素に転化する場合の反応温度
は、１６００℃以上が好ましく、１７００℃以上であれ
ばさらに好ましい。
化硼素の被膜を形成する点で１６００℃以上が好まし
く、１７００℃以上であればさらに好ましい。反応雰囲
気は、窒素を含む雰囲気中で反応することが必要であ
る。即ち窒素ガス又はアンモニアなどの窒素化合物のガ
スを用いることが必要である。なお本発明においては、
最初上記の硼素酸化物と炭素材料とを、アルゴン、ヘリ
ウム等の反応に関与しない不活性ガス雰囲気又は減圧な
どの手段で窒素及び酸素を除去した雰囲気で反応させ、
炭素材料の表面を炭化硼素に転化した後、窒素を含む雰
囲気中で反応させ、炭化硼素を窒化硼素に転化しても差
し支えない。またこの場合、炭化硼素の窒化硼素への転
化が完全でなく、窒化硼素と炭素との間に炭化硼素層が
残留しても問題はない。炭化硼素に転化する場合の反応
温度及び炭化硼素を窒化硼素に転化する場合の反応温度
は、１６００℃以上が好ましく、１７００℃以上であれ
ばさらに好ましい。
【００１１】また本発明においては、転化法により炭素
材料の表面に窒化硼素の被膜を形成した後、さらにこの
上面に転化法以外の方法、例えばＣＶＤ法、プラズマＣ
ＶＤ法、窒化硼素粒子を有機バインダーに分散させて塗
布する方法等の方法で窒化硼素の被膜を厚付けしてもよ
い。
材料の表面に窒化硼素の被膜を形成した後、さらにこの
上面に転化法以外の方法、例えばＣＶＤ法、プラズマＣ
ＶＤ法、窒化硼素粒子を有機バインダーに分散させて塗
布する方法等の方法で窒化硼素の被膜を厚付けしてもよ
い。
【００１２】
【作用】本発明によって得られる窒化硼素の被膜は、基
材の炭素材料を、窒素を含む雰囲気中で硼素化合物と反
応させることにより、表面が窒化硼素に転化して形成さ
れる。即ち上記の方法によって得られる窒化硼素被覆炭
素材料は、表面から内部に向い未反応の炭素が連続的に
増加する傾斜機能材料的構造を有するため、窒化硼素の
被膜と基材の炭素材料との密着性に優れ、さらに熱膨張
率の相違も緩和されるため、高い耐熱衝撃性を有する。
材の炭素材料を、窒素を含む雰囲気中で硼素化合物と反
応させることにより、表面が窒化硼素に転化して形成さ
れる。即ち上記の方法によって得られる窒化硼素被覆炭
素材料は、表面から内部に向い未反応の炭素が連続的に
増加する傾斜機能材料的構造を有するため、窒化硼素の
被膜と基材の炭素材料との密着性に優れ、さらに熱膨張
率の相違も緩和されるため、高い耐熱衝撃性を有する。
【００１３】また炭素材料の表面に転化法で窒化硼素の
被膜を形成し、さらにその上面に窒化硼素を厚付けする
場合は、最初に形成した窒化硼素の被膜は、上記と同様
に基材の炭素材料との密着性に優れ、また最初に形成し
た窒化硼素の被膜とその上面に厚付けする窒化硼素との
密着性も双方が同物質であるため優れる。さらに上記と
同様に熱膨張率の相違も緩和されるため、高い耐熱衝撃
性を有する。
被膜を形成し、さらにその上面に窒化硼素を厚付けする
場合は、最初に形成した窒化硼素の被膜は、上記と同様
に基材の炭素材料との密着性に優れ、また最初に形成し
た窒化硼素の被膜とその上面に厚付けする窒化硼素との
密着性も双方が同物質であるため優れる。さらに上記と
同様に熱膨張率の相違も緩和されるため、高い耐熱衝撃
性を有する。
【００１４】
実施例１ ２０×２０×５mmに加工した等方性黒鉛材（日立化成工
業製、商品名ＰＤ−６００）を高周波誘導炉内に配置
し、１７００℃に加熱し、一方これとは別の加熱炉内
で、酸化硼素粉と黒鉛粉の混合物を１６００℃に加熱し
て酸化硼素ガスを発生させ、窒素ガスとともに前述の高
周波誘導炉内に導入し、１時間保持した。冷却後炉内か
ら取り出した試料の表面層は窒化硼素に転化されてお
り、その厚さは５００μｍであった。この試料を真空中
で１７００℃で１時間加熱し、加熱後室温まで冷却する
という耐熱衝撃性試験を１０回繰り返し行った。試験後
の試料を観察したが、窒化硼素被膜には剥離、亀裂等は
発生していなかった。
業製、商品名ＰＤ−６００）を高周波誘導炉内に配置
し、１７００℃に加熱し、一方これとは別の加熱炉内
で、酸化硼素粉と黒鉛粉の混合物を１６００℃に加熱し
て酸化硼素ガスを発生させ、窒素ガスとともに前述の高
周波誘導炉内に導入し、１時間保持した。冷却後炉内か
ら取り出した試料の表面層は窒化硼素に転化されてお
り、その厚さは５００μｍであった。この試料を真空中
で１７００℃で１時間加熱し、加熱後室温まで冷却する
という耐熱衝撃性試験を１０回繰り返し行った。試験後
の試料を観察したが、窒化硼素被膜には剥離、亀裂等は
発生していなかった。
【００１５】実施例２ ２０×２０×５mmに加工したＣ／Ｃ複合材（日立化成工
業製、商品名ＰＣＣ−２Ｓ）を高周波誘導炉内に配置
し、１７５０℃に加熱し、一方これとは別の加熱炉内
で、酸化硼素粉と黒鉛粉の混合物を１６００℃に加熱し
て酸化硼素ガスを発生させ、アルゴンガスとともに前述
の高周波誘導炉内に導入し、３０分保持した後、炉内に
窒素ガスを導入し１８００℃の温度で１時間保持した。
冷却後炉内から取り出した試料の表面層は窒化硼素に転
化されており、その厚さは７００μｍであった。この試
料の耐熱衝撃性試験を実施例１と同様の方法で行い、試
験後の試料を観察したが、窒化硼素被膜には剥離、亀裂
等は発生していなかった。
業製、商品名ＰＣＣ−２Ｓ）を高周波誘導炉内に配置
し、１７５０℃に加熱し、一方これとは別の加熱炉内
で、酸化硼素粉と黒鉛粉の混合物を１６００℃に加熱し
て酸化硼素ガスを発生させ、アルゴンガスとともに前述
の高周波誘導炉内に導入し、３０分保持した後、炉内に
窒素ガスを導入し１８００℃の温度で１時間保持した。
冷却後炉内から取り出した試料の表面層は窒化硼素に転
化されており、その厚さは７００μｍであった。この試
料の耐熱衝撃性試験を実施例１と同様の方法で行い、試
験後の試料を観察したが、窒化硼素被膜には剥離、亀裂
等は発生していなかった。
【００１６】実施例３ 実施例１で得られた表面層が窒化硼素に転化した炭素材
料を真空加熱炉内に配置し、三塩化硼素ガスとアンモニ
アガスを炉内に導入し、温度１８５０℃、圧力１０Torr
の状態で２時間保持した。冷却後炉内から取り出した試
料の表面には熱分解窒化硼素が析出しており、その厚さ
は２００μｍであった。この試料の耐熱衝撃性試験を実
施例１と同様の方法で行い、試験後の試料を観察した
が、窒化硼素被膜には剥離、亀裂等は発生していなかっ
た。
料を真空加熱炉内に配置し、三塩化硼素ガスとアンモニ
アガスを炉内に導入し、温度１８５０℃、圧力１０Torr
の状態で２時間保持した。冷却後炉内から取り出した試
料の表面には熱分解窒化硼素が析出しており、その厚さ
は２００μｍであった。この試料の耐熱衝撃性試験を実
施例１と同様の方法で行い、試験後の試料を観察した
が、窒化硼素被膜には剥離、亀裂等は発生していなかっ
た。
【００１７】実施例４ 高周波誘導炉内に黒鉛ルツボを配置し、黒鉛ルツボの内
部に酸化硼素粉を入れ、その上部に２０×２０×５mmに
加工したＣ／Ｃ複合材（日立化成工業製、商品名ＰＣＣ
−２Ｓ）を配置し、アルゴンガスを炉内に導入し、１７
００℃の温度で３０分間保持した。次に、炉内に窒素と
アンモニアの混合ガスを導入し１７００℃の温度で１時
間保持した。冷却後炉内から取り出した試料の表面層は
窒化硼素に転化されており、その厚さは６００μｍであ
った。この試料の耐熱衝撃性試験を実施例１と同様に行
い、試験後の試料を観察したが、窒化硼素被膜には剥
離、亀裂等は発生していなかった。
部に酸化硼素粉を入れ、その上部に２０×２０×５mmに
加工したＣ／Ｃ複合材（日立化成工業製、商品名ＰＣＣ
−２Ｓ）を配置し、アルゴンガスを炉内に導入し、１７
００℃の温度で３０分間保持した。次に、炉内に窒素と
アンモニアの混合ガスを導入し１７００℃の温度で１時
間保持した。冷却後炉内から取り出した試料の表面層は
窒化硼素に転化されており、その厚さは６００μｍであ
った。この試料の耐熱衝撃性試験を実施例１と同様に行
い、試験後の試料を観察したが、窒化硼素被膜には剥
離、亀裂等は発生していなかった。
【００１８】比較例１ ２０×２０×５mmに加工した等方性黒鉛材（日立化成工
業製、商品名ＰＤ−６００）及びＣ／Ｃ複合材（日立化
成工業製、ＰＣＣ−２Ｓ）を真空加熱炉内に配置し、以
下実施例３と同様の方法で２００μｍの厚さの熱分解窒
化硼素の被膜を形成した。この試料の耐熱衝撃性試験を
実施例１と同じ条件で行おうとしたが、加熱、冷却が３
回の時点で窒化硼素被膜の剥離が発生した。
業製、商品名ＰＤ−６００）及びＣ／Ｃ複合材（日立化
成工業製、ＰＣＣ−２Ｓ）を真空加熱炉内に配置し、以
下実施例３と同様の方法で２００μｍの厚さの熱分解窒
化硼素の被膜を形成した。この試料の耐熱衝撃性試験を
実施例１と同じ条件で行おうとしたが、加熱、冷却が３
回の時点で窒化硼素被膜の剥離が発生した。
【００１９】
【発明の効果】本発明によれば、被膜と基材の密着性が
良く、被膜と基材の熱膨張率の差が緩和されるので、耐
熱衝撃性に優れた窒化硼素被覆炭素材料を得ることがで
きる。
良く、被膜と基材の熱膨張率の差が緩和されるので、耐
熱衝撃性に優れた窒化硼素被覆炭素材料を得ることがで
きる。
Claims (2)
- 【請求項１】 窒素を含む雰囲気中で転化法により炭素
材料の表面に窒化硼素の被膜を形成することを特徴とす
る窒化硼素被覆炭素材料の製造法。 - 【請求項２】 窒素を含む雰囲気中で転化法により炭素
材料の表面に窒化硼素の被膜を形成した後、さらにこの
上面に転化法以外の方法で窒化硼素の被膜を厚付けする
ことを特徴とする窒化硼素被覆炭素材料の製造法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6060831A JPH0789776A (ja) | 1993-07-27 | 1994-03-30 | 窒化硼素被覆炭素材料の製造法 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5-184294 | 1993-07-27 | ||
| JP18429493 | 1993-07-27 | ||
| JP6060831A JPH0789776A (ja) | 1993-07-27 | 1994-03-30 | 窒化硼素被覆炭素材料の製造法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0789776A true JPH0789776A (ja) | 1995-04-04 |
Family
ID=26401886
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6060831A Pending JPH0789776A (ja) | 1993-07-27 | 1994-03-30 | 窒化硼素被覆炭素材料の製造法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0789776A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1999000325A1 (en) * | 1997-06-30 | 1999-01-07 | Nippon Steel Corporation | Carbonaceous particles and carbonaceous fibers both coated with boron nitride, and lithium secondary cells produced by using the same as negative active material |
| JP2002235279A (ja) * | 2001-02-08 | 2002-08-23 | Showa Denko Kk | 電気絶縁体被覆気相法炭素繊維及びその製造方法並びにその用途 |
| JP2011506248A (ja) * | 2007-12-13 | 2011-03-03 | スネクマ・プロピュルシオン・ソリド | Ｃ／ｃ複合材製のパーツ上に耐火性カーバイド層を作る方法 |
| JP2015107888A (ja) * | 2013-12-04 | 2015-06-11 | 信越化学工業株式会社 | 炭素繊維強化炭素複合材 |
| WO2022050238A1 (ja) * | 2020-09-01 | 2022-03-10 | 信越化学工業株式会社 | 耐熱コート部材包装体および耐熱コート部材の包装方法 |
-
1994
- 1994-03-30 JP JP6060831A patent/JPH0789776A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1999000325A1 (en) * | 1997-06-30 | 1999-01-07 | Nippon Steel Corporation | Carbonaceous particles and carbonaceous fibers both coated with boron nitride, and lithium secondary cells produced by using the same as negative active material |
| US6194067B1 (en) * | 1997-06-30 | 2001-02-27 | Nippon Steel Corporation | Carbonaceous particles and carbonaceous fibers both coated with boron nitride, and lithium secondary cells produced by using the same as negative active material |
| JP2002235279A (ja) * | 2001-02-08 | 2002-08-23 | Showa Denko Kk | 電気絶縁体被覆気相法炭素繊維及びその製造方法並びにその用途 |
| JP2011506248A (ja) * | 2007-12-13 | 2011-03-03 | スネクマ・プロピュルシオン・ソリド | Ｃ／ｃ複合材製のパーツ上に耐火性カーバイド層を作る方法 |
| JP2015107888A (ja) * | 2013-12-04 | 2015-06-11 | 信越化学工業株式会社 | 炭素繊維強化炭素複合材 |
| WO2022050238A1 (ja) * | 2020-09-01 | 2022-03-10 | 信越化学工業株式会社 | 耐熱コート部材包装体および耐熱コート部材の包装方法 |
| KR20230058629A (ko) | 2020-09-01 | 2023-05-03 | 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤 | 내열 코트 부재 포장체 및 내열 코트 부재의 포장 방법 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2749759B2 (ja) | 静電チャック付セラミックスヒーター | |
| US4717693A (en) | Process for producing beta silicon nitride fibers | |
| JPH0789776A (ja) | 窒化硼素被覆炭素材料の製造法 | |
| JP3638345B2 (ja) | 熱分解窒化硼素容器 | |
| US6054187A (en) | Method of manufacturing a boron carbide film on a substrate | |
| JPS62153189A (ja) | 窒化ホウ素被覆ルツボおよびその製造方法 | |
| JP2002097092A (ja) | ＳｉＣ膜被覆ガラス状炭素材およびその製造方法 | |
| JPH01104879A (ja) | 複合炭素繊維及びその製造方法 | |
| JPH0692761A (ja) | ＣＶＤ−ＳｉＣコートＳｉ含浸ＳｉＣ製品およびその製造方法 | |
| JP3617676B2 (ja) | 炭化珪素成形体の製造方法 | |
| JPS61291484A (ja) | 黒鉛るつぼ | |
| JP3146737B2 (ja) | 核融合装置のプラズマ対向材 | |
| JPH03100160A (ja) | ケイ化モリブデン多孔体の製造方法 | |
| JPS63166789A (ja) | シリコン単結晶引上装置用黒鉛製ルツボとその製造方法 | |
| JPH10209061A (ja) | 半導体拡散炉用の構成部材 | |
| JP4105776B2 (ja) | 炭化ケイ素被膜の形成方法 | |
| JPS61219787A (ja) | 高純度半導体単結晶製造用ルツボ | |
| JPH08253876A (ja) | Ｃ／ｃ複合材料用高密着性耐酸化被覆層及びその形成方法 | |
| JPH05124864A (ja) | 高純度炭化珪素体の製造方法 | |
| JPH11171669A (ja) | 炭化硼素皮膜の製造方法 | |
| JPH1135391A (ja) | 炭化ケイ素被覆サセプタ− | |
| JPS5916969A (ja) | 窒化硼素被覆部品 | |
| JP2622609B2 (ja) | 半導体製造用ｓｉｃ質セラミックス製品 | |
| JPH05139870A (ja) | 炭化硼素被覆炭素材料 | |
| JPH03295880A (ja) | 炭化珪素質部材及びその製造方法 |