JPS61291484A - 黒鉛るつぼ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は単結晶引上用の黒鉛るつぼに関する。

（従来の技術） 単結晶の製造にはチョクラウスキー法（ＣＺ法）が多用
されている。この方法は石英るつぼ内に例えば多結晶シ
リコンを入れ９周囲よシ加熱して該多結晶シリコンを溶
融させ９種結晶を用い上方に引上げて単結晶とするもの
でアシ、加熱時の石英るつぼの塑性変形を防止するため
に９石英るつぼの外周に黒鉛るつぼを密着して設置する
のが一般である。

（発明が解決しようとする問題点） しかしながら、１３００℃付近から石英るつぼと黒鉛る
つぼの反応が始まシ９発生したＳｉＯガスが黒鉛るつぼ
と　ＳｉＯ＋　２　Ｃ−＋ＳｉＣ＋　Ｃｏ　　のように
反応して黒鉛るつぼの表面が珪化されてＳｉＣ層が形成
される。このＳｉＣ層は黒鉛るつぼの気孔率が大きいほ
ど厚くなシ、このＳｉＣ層と黒鉛るつぼの熱膨張差によ
ってＳｉＣ層にクラックが入り更に内部までＳｉＣ化さ
れて黒鉛るつぼが破損する問題がある。

この対策として気孔率の小さい黒鉛るつぼの表面にあら
かじめＳｉＣ被膜を形成させておき、前記反応を抑制す
ることが提案されているが、　ＳｉＣ被膜形成時の反応
応力によって黒鉛るつぼが変形したシ、黒鉛るつぼ重量
が大きくなる問題がある。

本発明は上記した問題を解消する単結晶引上用の黒鉛る
つぼを提供することを目的とする。

（問題点を解決するための手段） 発明者は、黒鉛るつぼの表面に熱分解黒鉛の被膜を形成
すれば、　８ｉ０ガスの黒鉛るつぼ内への浸入が防止さ
れ、かつ黒鉛るつぼと熱分解黒鉛の熱膨張率がほぼ同一
であることから上記目的を達成し得ることを見出し本発
明に到達した。

本発明は２表面に熱分解黒鉛の被膜を形成した単結晶引
上用の黒鉛るつぼに関する。

本発明に用いる黒鉛るつぼは２人造黒鉛製のものが純度
９機械的強度の点で好ましい。熱分解黒鉛の被膜の形成
手段は公知のＣＶＤ法を採用すればよく特に制限はない
。

尚黒鉛るつぼの内表面にだけ被膜を形成したい場合には
外表面をマスキングしてＣＶＤ処理をすればよい。

（実施例） 次に実施例を説明する。

実施例１ 人造黒鉛材料（日立化成工業製、ＰＤ−３２０）を加工
して、外径５００ｍｍ、高さ４０〇−及び卑さ３０ｍｍ
の黒鉛るつぼを作成した。これをＣＶＤ炉に入れ高周波
誘導によ、９２０００℃に加熱し。

窒素ガスをキャリアーガスにしてプロパンガスを炉内に
供給し、黒鉛るつぼの表面に厚さ５００μｍの熱分解黒
鉛の被膜を形成した。

・′実施例２ 実施例１と同様にして被膜の厚さが１０００μｍの単結
晶引上用の黒鉛るつぼを得た。

実施例で得た黒鉛るつぼ及び比叔例として熱分解黒鉛を
被覆しない黒鉛るつぼを電気抵抗炉内に入れて１５００
℃に加熱し、コークスとシリカとを反応させて得たＳｉ
Ｏガスを供給してＳｉＯガスとの反応性を調査した。こ
の結果、第１表に示すように実施例の黒鉛るつぼは表面
に形成されるＳｉＣ層の厚みが小さい。また実施例の黒
鉛るつぼは変形、ＳｉＣ層のクラック等が見られなかっ
た。

（発明の効果） 本発明になる黒鉛るつほは表面の変質が小さいから単結
晶の引上に使用してその寿命を長くすることが可能とな
る。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、表面に熱分解黒鉛の被膜を形成した単結晶引上用の
   黒鉛るつぼ。