JPH0730687Y2 - バンプめっき装置 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案はウエハ上のIC電極上へバンプめっきを行うため
のめっき装置に関するものである。

〔考案の概要〕

本考案は、バンプめっき（金バンプ、はんだバンプな
ど）のウエハ内のめっきのバラツキを押さえ、歩留よく
バンプめっきを行うためのめっき装置の改良に係るもの
で、カップ状めっき槽においてバンプめっきを行うめっ
き装置のウエハ固定用三点式電極治具がバネ性を有する
材料で形成され、ウエハ外周を下部より支える部位、ウ
エハ側面（厚み方向）より電気的接続を可能にする部
位、ウエハをカップ状めっき槽中心方向にバネ力で押さ
え込むための部位およびカップ状めっき槽外縁部にネジ
固定可能な電極端子部位で構成され、かつ電気的接続部
以外を耐めっき性のマスキングがなされた治具でウエハ
固定がされていることを特徴としている。

〔従来の技術〕

従来、めっき槽がカップ状でめっき液を下部より供給
し、上部よりオーバーフローさせる型式で、陽極をカッ
プ状めっき槽下部に配置し、ウエハをめっき液がオーバ
ーフローする液面部で三点式電極治具で固定し、電気的
接続をカップ状めっき槽の外縁部に形成した陽極および
陰極となる三点式電極治具の電極端子部に上部より接点
ピンを接続して取る構造のウエハ上のIC電極上へのバン
プめっき装置において、そのウエハの固定構造は第３図
に示すように電極治具をカップ状めっき槽の外縁部にネ
ジで固定された電極端子部よりある程度剛性を有するワ
イヤを曲げ加工したものをカップ状めっき槽内に導入
し、その先端部をとがらせ、電気接続部以外をマスキン
グしたものとし、ウエハはこのような電極治具の先端部
３本にて、ウエハ外周付近の表面で支えられ、かつ先端
部がウエハ表面のレジストを突き破る形で電気的接続が
なされる構造となっていた。

〔考案が解決しようとする問題点〕

このようなウエハ固定構造においては、ウエハ表面に電
極治具先端が位置し、ウエハの支えと電気的接続を行う
ことから、この先端があたった部分のICチップは確実に
不良となり、歩留を落とすだけでなく、めっき時陰極よ
り気泡が発生するめっきの場合、この先端部で気泡の発
生が激しく、めっきの厚さバラツキ等が発生しやすく、
さらにはウエハ先端部がウエハ内の表面に位置すること
で、電流分布やめっき液、泡の流れに影響し、同様なバ
ラツキの原因となっていた。

〔問題点を解決するための手段〕

本考案は上記のような問題点を解決し、めっきのバラツ
キを押さえ、歩留よくバンプめっきを行うため、ウエハ
側面より電気的接続を行い、極力ウエハ表面に障害物が
できないようなウエハ固定構造を提供しようとするもの
で、三点式電極治具をバネ性を有する材料とし、ウエハ
外周を下部より支える部位、ウエハ側面より電気的接続
を可能にする部位、ウエハをカップ状めっき槽中心方向
にバネ力で押さえ込むための部位およびカップ状めっき
槽外縁部にネジ固定可能な電極端子部位で構成し、かつ
電気的接続部以外を耐めっき性のマスキングし、これに
よりウエハを固定する構造とした。

〔作用〕

このようにすることで、気泡を激しく発生する電気接続
部はウエハ表面より遠ざけられ、ウエハ表面を押す鋭い
先端もなく、電極治具によるめっき液の流れ、電流分布
も格段に向上する。

以下本考案を実施例により説明する。

〔実施例〕

カップ状めっき槽は下部にめっき噴出口を有し、上部外
縁部に平面形状が三角形、四角形の柱が６本オーバーフ
ロー部より突出した形状の一般に使用されるものであ
る。上記柱のうち１本が陽極用電極端子に、うち３年が
陰極電極端子として使用される。本実施例においては、
上記柱が三角柱であるものを例にとって以下説明する。

まず電極治具に使用される材料としては、バネ性を有す
るSUS、Be−Cu、リン青銅などの板材が使用され、これ
をフォトエッチングあるいはプレス抜きにより加工し、
曲げ加工を行って電極治具とする。この際の板厚として
は0.5〜1.5mmがウエハを固定するバネ力を得るに適して
いる。

この電極治具の形状他について第２図、第４図を参考に
して詳述する。

まず第１にウエハ外周部を下から支え、めっき槽に落下
しないような部位を有するようにする。この際の支え長
さとしては、めっき時に液の流れ等に影響を与えず、IC
チップの収率に関係がないよう3mm以下がよい。

第２にウエハ側面から電気的接続を可能にするための部
位であるが、これはめっき液の流れを阻害せず、接触を
確実にする意味で厚み方向の断面がウエハ側面に接触す
るようにする。

第３にウエハをカップ状めっき槽中心方向にバネ力で押
さえ込むための部位であるが、これは４インチウエハで
長さ２〜3mm程度の柄の部分を作り、そのソリによるバ
ネ力を利用して押さえ込む形状とする。

最後に電極端子部位が三角柱を上部から包み込む形で、
三角柱上部にはめ込む形とし、上部をネジで固定可能な
ように穴が形成される。

以上のような基本構成を有する電極治具として第４図の
ような形状のものを作製した。

これを曲げ加工を行い、電極端子部のネジで三角柱に固
定する面およびウエハ側面との電気的接続を可能にする
に必要最小限の部分を除いて、フッ素樹脂、エポキシ樹
脂に代表される耐めっき性マスキング剤でマスキングを
行い、電極治具とした。

このような電極治具を３個使用して、第１図のようにカ
ップ状めっき槽にネジ固定し、ウエハを第１図、第２図
に示すような形でセットした。

ウエハ固定状態は３点からバネ力で押さえ込まれ、落ち
つき状態もよく、電気的接続も良好であった。

この状態で、金、はんだ等のバンプめっきを行い、その
めっき品質を確認した所、従来のような欠点もなく、高
い歩留が達成できた。

〔考案の効果〕

以上述べてきたように本考案によれば、ウエハ表面で電
気的接続を行わないため、ICチップを傷つけることがな
く歩留低下がない。

またウエハ表面からウエハ側面へ電気的接続部を移動し
たことで、激しい気泡の影響もなく、めっき厚等のバラ
ツキが低減できる。

さらにウエハ支えをICチツプに関係のない最外周で行う
ことで、電流分布、めっき液、泡の流れも向上し、めっ
きバラツキを低減できるものである。

なお、本考案の要点である電極治具の形状については、
実施例にこだわることなく、前記に説明してきたような
基本構造を有すものであれば、種々の形成が可能である
ことはいうまでもない。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案のウエハの固定構造を示す平面図、第２
図はその部分断面図、第３図は従来のウエハの固定構造
を示す部分断面図、第４図は本考案で用いる電極治具の
概略平面図である。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】めっき槽がカップ状で、めっき液を下部よ
   り供給し、上部よりオーバーフローさせる型式で、陽極
   をカップ状めっき槽下部に配置し、ウエハをめっき液が
   オーバーフローする液面部で三点式電極治具で固定し、
   電気的接続をカップ状めっき槽の外縁部に形成した電極
   端子部に上部より接点ピンを接続して取る構造のウエハ
   上のIC電極上へのバンプめっき装置において、上記ウエ
   ハ固定用電極治具がバネ性を有する材料で形成され、そ
   の構成としてウエハ外周を下部より支える部位、ウエハ
   側面より電気的接続を可能にする部位、ウエハをカップ
   状めっき槽中心方向にバネ力で押さえこむための部位お
   よびカップ状めっき槽外縁部にネジ固定可能な電極端子
   部で構成され、かつ電気的接続部以外を耐めっき性のマ
   スキングがなされた治具でウエハを固定することを特徴
   とするバンプめっき装置。