JPH07302831A - 共用試料ホールダ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】大きさの異なるウエーハやその他の形状の試料
を用いる場合、試料ホールダを交換することなく、同じ
ホールダで処理すること。 【構成】ストッパーＡ２はウエーハ６の位置を決めるた
めにあらかじめ試料ホールダ本体１の定められた位置に
固定される。ストッパーＢ５はスライダー４に固定され
ウエーハ６を押し付け、その位置を固定する。スライダ
ー４はアーム７に取り付けられており、アームの移動に
従って移動する。アーム７は両端に支点８，真空可動シ
リンダ３が接続されており、真空可動シリンダの伸縮を
スライダー４に伝える。ストッパーＡおよびＢの位置は
ウエーハの大きさに従ってその位置が替えられる。 【効果】大きさの異なる各種ウエーハから小さな試料ま
で１つのホールダで保持出来るため、非常に経済的であ
ると同時に効率的である。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は例えば集束イオンビーム
装置のように大きさの異なるシリコンウエーハなどを保
持して処理する装置においてウエーハを保持するホール
ダの改良に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来は例えば大きさの異なるシリコンウ
エーハを保持する場合は、別の専用のホールダを用いて
いた。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】例えば集束イオンビー
ム装置のように大きさの異なるウエーハや形状の異なる
試料を用いる場合、試料ホールダを交換することなく、
同じホールダで処理すること。

【０００４】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に本発明の試料ホールダではホールダの表面にウエーハ
の規格にあった複数のストッパーを設け、保持するウエ
ーハの規格に合ったストッパーのみを有効にして、この
うち１点のストッパーは真空排気をすることによってウ
エーハを他のストッパーの方向に押し付ける構造とし
た。

【０００５】

【作用】ストッパーＡは試料（ウエーハ）の位置を決め
るためにあらかじめ試料ホールダ本体の定められた位置
に固定される。ストッパーＢはスライダー４に固定され
ウエーハ６を押し付け、その位置を固定する。スライダ
ー４はアーム７に回転自在に取り付けられており、アー
ムの移動に従って移動する。アーム７は両端に支点８，
真空可動シリンダ３が接続されており、真空可動シリン
ダの伸縮をスライダー４に伝える。

【０００６】ストッパーＡおよびＢの位置はウエーハの
大きさに従ってその位置が替えられる。

【０００７】

【実施例】図１に本発明の実施例を示す。試料ホールダ
本体１の３点にストッパーＡ２が差し込まれている。こ
のうち２点はオリフラ部に他の１点は反時計方向に９０
度で８インチウエーハの外周に接する位置に固定されて
いる。この点から更に135度の位置にあるスライダー４
上の８インチの点にストッパーＢ５が配置されている。
スライダー４はアーム７の端に回転自在な支点で接続さ
れている。アームの他端には真空可動シリンダ３が回転
自在な支点でアームの中間点には本体との支点８が取り
付けられている。真空可動シリンダ３はベローズで構成
されており、この他端は本体と回転自在に接続されてい
る。試料ホールダを８インチのウエーハを乗せた状態で
真空中に導入するとべローズの外圧が低下するため真空
可動シリンダ３が膨張してストッパーＢ５が押し付けら
れ、この結果ウエーハは固定される。異なった大きさの
ウエーハを装着する場合はストッパーの位置を替えるこ
とによって行う。ストッパーの位置を替える場合は図２
に示すごとくピン２を手で抜き差しすることによって行
うことが出来る。例えば６インチウエーハを装着する場
合はストッパーＡ，ストッパーＢを６インチの場所に移
すことによって行う。ピンの位置を変える他の方法は図
３に示すごとくウエーハ６が乗せられた場所のピンはウ
エーハの自重で押し下げられることによって達成され
る。その他のピン位置を変える方法としてねじによる付
け替え，ねじによって高さを調整する方法等が考えられ
る。真空可動シリンダは単なるバネでも同様の機能が実
現出来るが、真空による駆動ではなくなるため、大気中
で押し付けること、支点８の位置が８′の位置に移動さ
せる必要がある。以上説明したごとく本発明の共用ホー
ルダを用いれば大きさの異なるウエーハを１つのホール
ダで保持出来るため、多種類のホールダを用意する必要
がなく経済的である。また仕事の処理効率も向上する。

【０００８】次にウエーハ以外の試料を装着する場合に
ついて説明する。この場合は図４に示した第２試料ホー
ルダ１０を３インチウエーハの場所に同様の方法で取り
付ける。図４において試料Ａ１１，試料Ｂ１２はそれぞ
れねじＡ１３，ねじＢ１４に接着テープなどで固定され
ている。試料の高さはねじを回転させることによって調
節することが出来る。また特殊な形状の試料でも第２試
料ホールダ１０の形状を、外形寸法は変えずに、変える
ことにより対応出来る。このホールダを用いることによ
りウエーハばかりでなく小さな試料，高さの異なる試料
も同じホールダに装着可能となった。

【０００９】

【発明の効果】本発明の試料ホールダを用いると大きさ
の異なる各種ウエーハから小さな試料まで１つのホール
ダで保持出来るため、非常に経済的であると同時に効率
的である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の試料ホールダの平面図である。

【図２】ピンの差し替えを説明するためのピン部断面図
である。

【図３】第２のピン差し替えを説明するためのピン部断
面図である。

【図４】特殊な形状の試料を保持するための試料ホール
ダの平面及び断面を示す図である。

【符号の説明】

１…試料ホールダ本体、２…ストッパーＡ、３…真空可
動シリンダ、４…スライダー、５…ストッパーＢ、６…
ウエーハ、７…アーム、８…支点、９…スプリング、１
０…第２試料ホールダ、１１…試料Ａ、１２…試料Ｂ、
１３…ねじＡ、１４…ねじＢ。

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】試料ホールダ上の定められた位置に複数の
   高さを可変可能なストッパーＡと駆動源とこの駆動源か
   ら力をうけて移動するスライダー、このスライダー上に
   配置された複数の高さ可変可能なストッパーＢを備え、
   上記ピンの高さを高くする位置に従って大きさの異なる
   複数の試料を保持出来ることを特徴とする共用試料ホー
   ルダ。
2. 【請求項２】ストッパーの高さを替える手段はピンを差
   し替えることによって実施することを特徴とする請求項
   １記載の共用試料ホールダ。
3. 【請求項３】ストッパーの高さを替える手段は試料の置
   かれた部分のピンが試料の自重によって沈むことで行う
   ことを特徴とする請求項１記載の共用試料ホールダ。
4. 【請求項４】試料と同じ方式で固定される別の試料ホー
   ルダを備え、この試料ホールダに試料を保持可能とした
   ことを特徴とする請求項１記載の共用試料ホールダ。