JPH07297255A - 基板保持装置 - Google Patents
基板保持装置Info
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- JPH07297255A JPH07297255A JP8878094A JP8878094A JPH07297255A JP H07297255 A JPH07297255 A JP H07297255A JP 8878094 A JP8878094 A JP 8878094A JP 8878094 A JP8878094 A JP 8878094A JP H07297255 A JPH07297255 A JP H07297255A
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- Japan
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- substrate holding
- substrate
- pair
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
- Manipulator (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 上下に間隔を隔てて配置された1対のハンド
50,51の間隔変更時における振動を減衰する。 【構成】 この基板保持装置14は、1対のハンド5
0,51と間隔制御機構52と振動減衰機構53とを備
えている。1対のハンド50,51は上下に間隔を隔て
てかつ上下方向に相対移動可能に配置され、それぞれが
基板を保持可能である。間隔制御機構52は、1対のハ
ンド50,51の一端側を保持するとともに、両者の間
隔を第1間隔と第1間隔より広い第2間隔とに制御す
る。振動減衰機構53は、1対のハンド50,51が第
1間隔から第2間隔に及び第2間隔から第1間隔にそれ
ぞれ相対移動された際に両者の振動を減衰する。
50,51の間隔変更時における振動を減衰する。 【構成】 この基板保持装置14は、1対のハンド5
0,51と間隔制御機構52と振動減衰機構53とを備
えている。1対のハンド50,51は上下に間隔を隔て
てかつ上下方向に相対移動可能に配置され、それぞれが
基板を保持可能である。間隔制御機構52は、1対のハ
ンド50,51の一端側を保持するとともに、両者の間
隔を第1間隔と第1間隔より広い第2間隔とに制御す
る。振動減衰機構53は、1対のハンド50,51が第
1間隔から第2間隔に及び第2間隔から第1間隔にそれ
ぞれ相対移動された際に両者の振動を減衰する。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、基板保持装置、特に基
板搬送時に基板を保持する基板搬送装置の基板保持装置
に関する。
板搬送時に基板を保持する基板搬送装置の基板保持装置
に関する。
【0002】
【従来の技術】液晶表示基板や半導体基板等の製造プロ
セスにおいては、回転式洗浄装置、回転式塗布装置、回
転式現像装置、オーブン等の基板処理装置に基板を順次
搬送し、各装置内で処理が行われる。このような製造プ
ロセスに用いられる従来の基板搬送装置としては、たと
えば特開平2−132840号公報に示される装置があ
る。この装置では、1つの基板処理装置からその装置に
おける処理が完了した処理済み基板を搬出し、その後に
その装置における処理がまだなされていない未処理基板
をその装置に搬入するように構成されている。
セスにおいては、回転式洗浄装置、回転式塗布装置、回
転式現像装置、オーブン等の基板処理装置に基板を順次
搬送し、各装置内で処理が行われる。このような製造プ
ロセスに用いられる従来の基板搬送装置としては、たと
えば特開平2−132840号公報に示される装置があ
る。この装置では、1つの基板処理装置からその装置に
おける処理が完了した処理済み基板を搬出し、その後に
その装置における処理がまだなされていない未処理基板
をその装置に搬入するように構成されている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】従来の基板搬送装置で
は、基板処理装置に対して処理済み基板の搬出と未処理
基板の搬入とが経時的に行われるので、基板の搬送に時
間を要し、製造効率が悪いという問題がある。そこで、
本件出願人は、基板処理装置に対する基板の導入及び取
り出しを効率良く行うことができる基板交換装置を既に
提案している(特願平5−151160号)。この装置
では、上下に間隔を隔てて1対の基板保持部が配置され
ており、これらの1対の基板保持部の間隔を制御するこ
とが可能である。そしてこのような1対の基板保持部を
用いることにより、一方の基板保持部によって未処理基
板を保持して各基板処理装置に搬入すると同時に、他方
の基板保持部によってその基板処理装置において処理済
みの基板を搬出することができる。この場合、1対の基
板保持部は互いの間隔が制御され、互いに接近する第1
の間隔と離反する第2の間隔とをとり得る。
は、基板処理装置に対して処理済み基板の搬出と未処理
基板の搬入とが経時的に行われるので、基板の搬送に時
間を要し、製造効率が悪いという問題がある。そこで、
本件出願人は、基板処理装置に対する基板の導入及び取
り出しを効率良く行うことができる基板交換装置を既に
提案している(特願平5−151160号)。この装置
では、上下に間隔を隔てて1対の基板保持部が配置され
ており、これらの1対の基板保持部の間隔を制御するこ
とが可能である。そしてこのような1対の基板保持部を
用いることにより、一方の基板保持部によって未処理基
板を保持して各基板処理装置に搬入すると同時に、他方
の基板保持部によってその基板処理装置において処理済
みの基板を搬出することができる。この場合、1対の基
板保持部は互いの間隔が制御され、互いに接近する第1
の間隔と離反する第2の間隔とをとり得る。
【0004】ここで、1対の基板保持部は、基板の出し
入れがスムーズに行えるように片持ち支持されているの
で、間隔制御した際の終端、すなわち第1の間隔から第
2の間隔に変更された際の動作の終了時や、逆の場合の
動作の終了時に基板保持部が上下方向に振動するという
問題がある。このため、その振動が減衰するのを待って
基板を搬入及び搬出する必要があり、基板交換に時間が
かかるという問題がある。また、基板保持部に基板を載
置した後に振動により基板の載置位置がずれてしまうと
いう問題がある。
入れがスムーズに行えるように片持ち支持されているの
で、間隔制御した際の終端、すなわち第1の間隔から第
2の間隔に変更された際の動作の終了時や、逆の場合の
動作の終了時に基板保持部が上下方向に振動するという
問題がある。このため、その振動が減衰するのを待って
基板を搬入及び搬出する必要があり、基板交換に時間が
かかるという問題がある。また、基板保持部に基板を載
置した後に振動により基板の載置位置がずれてしまうと
いう問題がある。
【0005】本発明の目的は、互いの間隔が可変な1対
の基板保持部を備えた基板保持装置において、その間隔
が変えられた時の基板保持部の振動を速やかに減衰させ
ることにある。本発明のさらなる目的は、簡単な構成の
基板保持装置を提供することにある。本発明のさらなる
目的は、基板保持部と基板処理装置との間の基板の受渡
しが容易な基板保持装置を提供することにある。
の基板保持部を備えた基板保持装置において、その間隔
が変えられた時の基板保持部の振動を速やかに減衰させ
ることにある。本発明のさらなる目的は、簡単な構成の
基板保持装置を提供することにある。本発明のさらなる
目的は、基板保持部と基板処理装置との間の基板の受渡
しが容易な基板保持装置を提供することにある。
【0006】本発明のさらなる目的は、1対の基板保持
部間の制御されるべき間隔が変更された場合にも容易に
基板保持部の振動を速やかに減衰させることが可能な基
板保持装置を提供することにある。
部間の制御されるべき間隔が変更された場合にも容易に
基板保持部の振動を速やかに減衰させることが可能な基
板保持装置を提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明に係る基板保持装
置は、基板搬送時に基板を保持するものであり、1対の
基板保持部と、間隔制御機構と、振動減衰手段とを備え
ている。1対の基板保持部は上下に間隔を隔ててかつ上
下方向に相対移動可能に配置され、それぞれが基板を保
持可能である。間隔制御機構は、1対の基板保持部の一
端側を支持するとともに、両者の間隔を第1間隔と第1
間隔より広い第2間隔とに制御する機構である。振動減
衰手段は、1対の基板保持部が第1間隔から第2間隔に
及び第2間隔から第1間隔にそれぞれ相対移動された際
に両者の振動を減衰する手段である。
置は、基板搬送時に基板を保持するものであり、1対の
基板保持部と、間隔制御機構と、振動減衰手段とを備え
ている。1対の基板保持部は上下に間隔を隔ててかつ上
下方向に相対移動可能に配置され、それぞれが基板を保
持可能である。間隔制御機構は、1対の基板保持部の一
端側を支持するとともに、両者の間隔を第1間隔と第1
間隔より広い第2間隔とに制御する機構である。振動減
衰手段は、1対の基板保持部が第1間隔から第2間隔に
及び第2間隔から第1間隔にそれぞれ相対移動された際
に両者の振動を減衰する手段である。
【0008】前記振動減衰手段は、1対の基板保持部が
相対移動した際に、相対移動終端において互いに当接し
て1対の基板保持部の振動を減衰する振動減衰部材を有
しているのが好ましい。また、前記振動減衰部材は、1
対の基板保持部が第1間隔から第2間隔に相対移動した
際に互いに当接して両者の間隔が第2間隔より広がるの
を禁止する1対の第1当接部材と、1対の基板保持部が
第2間隔から第1間隔に相対移動した際に互いに当接し
て両者の間隔が第1間隔より狭くなるのを禁止する1対
の第2当接部材とを有しているのが好ましい。さらに、
前記1対の第1当接部材及び第2当接部材は、それぞれ
1対の基板保持部に対して着脱自在であるのが好まし
い。
相対移動した際に、相対移動終端において互いに当接し
て1対の基板保持部の振動を減衰する振動減衰部材を有
しているのが好ましい。また、前記振動減衰部材は、1
対の基板保持部が第1間隔から第2間隔に相対移動した
際に互いに当接して両者の間隔が第2間隔より広がるの
を禁止する1対の第1当接部材と、1対の基板保持部が
第2間隔から第1間隔に相対移動した際に互いに当接し
て両者の間隔が第1間隔より狭くなるのを禁止する1対
の第2当接部材とを有しているのが好ましい。さらに、
前記1対の第1当接部材及び第2当接部材は、それぞれ
1対の基板保持部に対して着脱自在であるのが好まし
い。
【0009】前記振動減衰手段は、1対の基板保持部の
基端部に配置されているのが好ましい。前記1対の基板
保持部は、互いに異なる固有振動数を有しているのが好
ましい。
基端部に配置されているのが好ましい。前記1対の基板
保持部は、互いに異なる固有振動数を有しているのが好
ましい。
【0010】
【作用】本発明に係る基板保持装置では、基板搬送時に
おいて、1対の基板保持部のそれぞれに基板を保持可能
である。そして、たとえば基板の移載時において、1対
の基板保持部が相対移動させられ、両者の間隔が第1間
隔から第2間隔にあるいはその逆に駆動される。この間
隔駆動によって基板保持部から基板処理部への未処理基
板の搬入と処理済みの基板の基板処理部からの搬出とが
行われる。1対の基板保持部が相対移動した際に、その
終端時、すなわち相対移動の終了時に1対の基板保持部
が振動しようとするが、この振動は振動減衰手段によっ
て減衰される。
おいて、1対の基板保持部のそれぞれに基板を保持可能
である。そして、たとえば基板の移載時において、1対
の基板保持部が相対移動させられ、両者の間隔が第1間
隔から第2間隔にあるいはその逆に駆動される。この間
隔駆動によって基板保持部から基板処理部への未処理基
板の搬入と処理済みの基板の基板処理部からの搬出とが
行われる。1対の基板保持部が相対移動した際に、その
終端時、すなわち相対移動の終了時に1対の基板保持部
が振動しようとするが、この振動は振動減衰手段によっ
て減衰される。
【0011】ここでは、間隔制御の終端時に基板保持部
の振動が減衰されるので、基板保持部の姿勢が速やかに
安定し、次の動作に素早く移行できる。前記振動減衰手
段が、1対の基板保持部が相対移動した際に、相対移動
終端において互いに当接する振動減衰部材を有している
場合は、振動減衰部材が当接することによって1対の基
板保持部の振動が減衰される。ここでは、簡単な構成に
よって振動を減衰できる。また、相対移動の途中では振
動減衰のための作用がなされないので、相対移動中にお
ける抵抗が少なく速やかな移動が可能である。
の振動が減衰されるので、基板保持部の姿勢が速やかに
安定し、次の動作に素早く移行できる。前記振動減衰手
段が、1対の基板保持部が相対移動した際に、相対移動
終端において互いに当接する振動減衰部材を有している
場合は、振動減衰部材が当接することによって1対の基
板保持部の振動が減衰される。ここでは、簡単な構成に
よって振動を減衰できる。また、相対移動の途中では振
動減衰のための作用がなされないので、相対移動中にお
ける抵抗が少なく速やかな移動が可能である。
【0012】前記振動減衰部材が第1当接部材及び第2
当接部材を有している場合は、1対の基板保持部が第1
間隔から第2間隔に相対移動した際に第1当接部材が互
いに当接し、1対の基板保持部の間隔が第2間隔より広
がるのを禁止する。また、逆に第2間隔から第1間隔に
相対移動した際に第2当接部材が互いに当接し、両者の
間隔が第1間隔より狭くなるのを禁止する。ここでは、
当接部材によって振動の片側の振幅分が禁止されるの
で、簡単な構成で振動を減衰できる。
当接部材を有している場合は、1対の基板保持部が第1
間隔から第2間隔に相対移動した際に第1当接部材が互
いに当接し、1対の基板保持部の間隔が第2間隔より広
がるのを禁止する。また、逆に第2間隔から第1間隔に
相対移動した際に第2当接部材が互いに当接し、両者の
間隔が第1間隔より狭くなるのを禁止する。ここでは、
当接部材によって振動の片側の振幅分が禁止されるの
で、簡単な構成で振動を減衰できる。
【0013】前記1対の第1当接部材及び第2当接部材
を、それぞれ1対の基板保持部に対して着脱自在とした
場合は、制御すべき間隔が変更された場合に、当接部材
を変更するだけで容易に対応できる。前記振動減衰手段
が1対の基板保持部の基端部に配置されている場合は、
基板保持部の先端側から基板を容易に出し入れできる。
を、それぞれ1対の基板保持部に対して着脱自在とした
場合は、制御すべき間隔が変更された場合に、当接部材
を変更するだけで容易に対応できる。前記振動減衰手段
が1対の基板保持部の基端部に配置されている場合は、
基板保持部の先端側から基板を容易に出し入れできる。
【0014】前記1対の基板保持部が互いに異なる固有
振動数を有している場合は、両者が当接部材等を介して
当接した場合に、振動の減衰が促進される。
振動数を有している場合は、両者が当接部材等を介して
当接した場合に、振動の減衰が促進される。
【0015】
【実施例】図1は本発明の一実施例による基板保持装置
が採用された基板処理システムの概略配置図である。こ
の基板処理システム1は、液晶表示用基板を被処理基板
とし、この被処理基板の表面に電極等のパターンを形成
するためのレジスト膜を塗布するシステムであり、被処
理基板に対して一連の処理を行う処理部A1と、この処
理部A1に沿って図1のX方向(水平方向)に被処理基
板を搬送する搬送部A2とを有している。
が採用された基板処理システムの概略配置図である。こ
の基板処理システム1は、液晶表示用基板を被処理基板
とし、この被処理基板の表面に電極等のパターンを形成
するためのレジスト膜を塗布するシステムであり、被処
理基板に対して一連の処理を行う処理部A1と、この処
理部A1に沿って図1のX方向(水平方向)に被処理基
板を搬送する搬送部A2とを有している。
【0016】基板処理システム1は、図1及び図2に示
すように、複数の基板処理装置を多段に配列した多段構
成となっている。第1段部分AF1の処理部A1には、
回転式洗浄装置としてのスピンスクラバーSS、回転式
塗布装置としてのスピンコーターSC、エッジ及びバッ
クリンス部ERがX方向に配列されている。また、被処
理基板を一時的に載置可能なインターフェイス部IF2
が配置されている。
すように、複数の基板処理装置を多段に配列した多段構
成となっている。第1段部分AF1の処理部A1には、
回転式洗浄装置としてのスピンスクラバーSS、回転式
塗布装置としてのスピンコーターSC、エッジ及びバッ
クリンス部ERがX方向に配列されている。また、被処
理基板を一時的に載置可能なインターフェイス部IF2
が配置されている。
【0017】第1段部分AF1の上方には第2段部分A
F2が設けられている。第2段AF2は多層構造になっ
ており、第1層目にはホットプレートHP1、HP4〜
HP5、クールプレートCP1〜CP3が配列されてい
る。また、第2層目には被処理基板を一時的に載置可能
なインターフェイス部IF1が配置されている。処理部
A1の前面側には、X方向に延びるフレーム2が設けら
れている。その設置高さは、スピンコーターSCにおけ
る被処理基板の出し入れ高さ、すなわちパスラインPS
1と、上段の基板処理装置CP3,HP6のそれぞれに
おける出し入れ高さPL1,PL2のうち高位のもの
(すなわち図示の例ではPL2)とのほぼ中間の位置で
ある。フレーム2には、X方向に延びる2本の平行ガイ
ドレール2a,2bがZ方向(上下方向)に間隔を隔て
て固定されている。上方のガイドレール2aには基板搬
送装置3が設けられており、基板搬送装置3はガイドレ
ール2aによってガイドされつつX方向に移動自在であ
る。また、下方のガイドレール2bには2台の基板搬送
装置4,5が設けられており、基板搬送装置4,5はガ
イドレール2bによってガイドされつつX方向に移動自
在となっている。これらの基板搬送装置3〜5は被処理
基板を各基板処理装置間で搬送するためのものである。
F2が設けられている。第2段AF2は多層構造になっ
ており、第1層目にはホットプレートHP1、HP4〜
HP5、クールプレートCP1〜CP3が配列されてい
る。また、第2層目には被処理基板を一時的に載置可能
なインターフェイス部IF1が配置されている。処理部
A1の前面側には、X方向に延びるフレーム2が設けら
れている。その設置高さは、スピンコーターSCにおけ
る被処理基板の出し入れ高さ、すなわちパスラインPS
1と、上段の基板処理装置CP3,HP6のそれぞれに
おける出し入れ高さPL1,PL2のうち高位のもの
(すなわち図示の例ではPL2)とのほぼ中間の位置で
ある。フレーム2には、X方向に延びる2本の平行ガイ
ドレール2a,2bがZ方向(上下方向)に間隔を隔て
て固定されている。上方のガイドレール2aには基板搬
送装置3が設けられており、基板搬送装置3はガイドレ
ール2aによってガイドされつつX方向に移動自在であ
る。また、下方のガイドレール2bには2台の基板搬送
装置4,5が設けられており、基板搬送装置4,5はガ
イドレール2bによってガイドされつつX方向に移動自
在となっている。これらの基板搬送装置3〜5は被処理
基板を各基板処理装置間で搬送するためのものである。
【0018】次に基板搬送装置3について説明する。他
の基板搬送装置4,5も上下対称でほぼ同様の構成であ
るので、ここでは基板搬送装置3についてのみ説明す
る。基板搬送装置3は、図3に示すように、基板搬送装
置3全体をX方向に移動させるためのX移動機構10を
有している。X移動機構10には、Z方向に伸縮する垂
直アーム機構11が連結されており、この垂直アーム機
構11上部にハウジング12が支持されている。ハウジ
ング12はY方向(X方向と直交する水平方向)の両端
が開口した中空の箱型形状であり、内部にはY方向に伸
縮可能な水平アーム機構13が収納されている。水平ア
ーム機構13の先端には、基板保持装置14が連結され
ている。
の基板搬送装置4,5も上下対称でほぼ同様の構成であ
るので、ここでは基板搬送装置3についてのみ説明す
る。基板搬送装置3は、図3に示すように、基板搬送装
置3全体をX方向に移動させるためのX移動機構10を
有している。X移動機構10には、Z方向に伸縮する垂
直アーム機構11が連結されており、この垂直アーム機
構11上部にハウジング12が支持されている。ハウジ
ング12はY方向(X方向と直交する水平方向)の両端
が開口した中空の箱型形状であり、内部にはY方向に伸
縮可能な水平アーム機構13が収納されている。水平ア
ーム機構13の先端には、基板保持装置14が連結され
ている。
【0019】X移動機構10は、ガイドレール2aを上
下方向から挟むように配置された車輪20,21を有し
ている。車輪20,21は支持部材22に回転自在に支
持されている。支持部材22の上面にはモータ23が固
定されており、モータ23の出力軸には、図4に示すよ
うに、駆動輪24が連結されている。駆動輪24はガイ
ドレール2aに当接している。このような構成によっ
て、基板搬送装置3はX方向にガイドレール2aに沿っ
て移動する。
下方向から挟むように配置された車輪20,21を有し
ている。車輪20,21は支持部材22に回転自在に支
持されている。支持部材22の上面にはモータ23が固
定されており、モータ23の出力軸には、図4に示すよ
うに、駆動輪24が連結されている。駆動輪24はガイ
ドレール2aに当接している。このような構成によっ
て、基板搬送装置3はX方向にガイドレール2aに沿っ
て移動する。
【0020】垂直アーム機構11は、図3及び図4に示
すように、第1垂直アーム30と第2垂直アーム31と
モータ32とを有している。第1垂直アーム30の基端
部はモータ32に連結されており、先端は第2垂直アー
ム31の一端に回動自在に連結されている。そして第2
垂直アーム31の先端はハウジング12の側部に回動自
在に連結されている。なお、モータ32は支持部材22
に固定されている。このようにして、垂直アーム機構1
1はいわゆるスカラロボット機構となっている。このた
め、モータ32が回転すると第1及び第2アーム30,
31がそれぞれ回転し、ハウジング12がその姿勢を水
平に維持しつつ上下方向に移動する。
すように、第1垂直アーム30と第2垂直アーム31と
モータ32とを有している。第1垂直アーム30の基端
部はモータ32に連結されており、先端は第2垂直アー
ム31の一端に回動自在に連結されている。そして第2
垂直アーム31の先端はハウジング12の側部に回動自
在に連結されている。なお、モータ32は支持部材22
に固定されている。このようにして、垂直アーム機構1
1はいわゆるスカラロボット機構となっている。このた
め、モータ32が回転すると第1及び第2アーム30,
31がそれぞれ回転し、ハウジング12がその姿勢を水
平に維持しつつ上下方向に移動する。
【0021】また、垂直アーム機構11は、図5に示す
ように、ハウジング12の左右両側にそれぞれ設けられ
ている。これらの垂直アーム機構11は水平方向に延び
る連結部材35によって相互に連結されている。このた
め、モータ32の駆動力は連結部材35を介して逆側の
垂直アーム機構11にも伝達される。なお、逆側の垂直
アーム機構11においては、片側の垂直アーム機構11
におけるモータ32とのバランスをとるためにトルクば
ね36が配置されている。
ように、ハウジング12の左右両側にそれぞれ設けられ
ている。これらの垂直アーム機構11は水平方向に延び
る連結部材35によって相互に連結されている。このた
め、モータ32の駆動力は連結部材35を介して逆側の
垂直アーム機構11にも伝達される。なお、逆側の垂直
アーム機構11においては、片側の垂直アーム機構11
におけるモータ32とのバランスをとるためにトルクば
ね36が配置されている。
【0022】水平アーム機構13は、第1水平アーム4
0と第2水平アーム41とモータ43(図3参照)とを
有している。第1水平アーム40の基端にはモータ43
が連結されており、その先端には第2水平アーム41の
基端が回動自在に連結されている。また、第2水平アー
ム41の先端は基板保持装置14の一部に回動自在に連
結されている。このように、水平アーム機構13はスカ
ラロボット機構となっており、モータ43を回転させる
ことにより、第1及び第2アーム40,41を旋回さ
せ、基板保持装置14をその姿勢を維持したまま進退さ
せることが可能である。
0と第2水平アーム41とモータ43(図3参照)とを
有している。第1水平アーム40の基端にはモータ43
が連結されており、その先端には第2水平アーム41の
基端が回動自在に連結されている。また、第2水平アー
ム41の先端は基板保持装置14の一部に回動自在に連
結されている。このように、水平アーム機構13はスカ
ラロボット機構となっており、モータ43を回転させる
ことにより、第1及び第2アーム40,41を旋回さ
せ、基板保持装置14をその姿勢を維持したまま進退さ
せることが可能である。
【0023】基板保持装置14は、図3及び図5に示す
ように、第1及び第2のハンド50,51と、両ハンド
50,51の間隔を制御するための間隔制御機構52
と、両ハンド50,51の間隔が制御された際に両者の
振動を減衰するための振動減衰機構53とが設けられて
いる。両ハンド50,51はそれぞれU字状のプレート
部材であり、そのそれぞれの上面には基板を保持するた
めの支持突起(図示せず)が設けられている。
ように、第1及び第2のハンド50,51と、両ハンド
50,51の間隔を制御するための間隔制御機構52
と、両ハンド50,51の間隔が制御された際に両者の
振動を減衰するための振動減衰機構53とが設けられて
いる。両ハンド50,51はそれぞれU字状のプレート
部材であり、そのそれぞれの上面には基板を保持するた
めの支持突起(図示せず)が設けられている。
【0024】間隔制御機構52は、第1及び第2ハンド
50,51の基端部の間に配置されており、両ハンド5
0,51の間隔を第1間隔と、第1間隔より広い第2間
隔とに制御する機構である。この間隔制御機構52は、
図7に示すように、本体部55と、本体部55に装着さ
れたエアシリンダ56とを有している。本体部55の一
端には孔55aが形成されており、この孔55aに第2
水平アーム41の先端が回動自在に連結されている。図
7に断面で示すように、本体部55には4本のレール5
7が垂直に形成されており、これらのレール57には2
つの摺動ブロック58,59が摺動自在に装着されてい
る。摺動ブロック58,59には第1及び第2ハンド5
0,51がそれぞれ固定されている。また、エアシリン
ダ56は圧送される空気圧により双方向に回転する駆動
軸60を有しており、この駆動軸60には2つの円形の
偏心カム61,62が固定されている。
50,51の基端部の間に配置されており、両ハンド5
0,51の間隔を第1間隔と、第1間隔より広い第2間
隔とに制御する機構である。この間隔制御機構52は、
図7に示すように、本体部55と、本体部55に装着さ
れたエアシリンダ56とを有している。本体部55の一
端には孔55aが形成されており、この孔55aに第2
水平アーム41の先端が回動自在に連結されている。図
7に断面で示すように、本体部55には4本のレール5
7が垂直に形成されており、これらのレール57には2
つの摺動ブロック58,59が摺動自在に装着されてい
る。摺動ブロック58,59には第1及び第2ハンド5
0,51がそれぞれ固定されている。また、エアシリン
ダ56は圧送される空気圧により双方向に回転する駆動
軸60を有しており、この駆動軸60には2つの円形の
偏心カム61,62が固定されている。
【0025】図8に示すように、摺動ブロック58,5
9には、偏心カム61,62が摺動可能なガイド溝58
a,59aが形成されている。これらのガイド溝58
a,59aは水平方向に延びており、上下1対の内側面
を有している。1対の偏心カム61,62は、互いに駆
動軸60を挟んで逆方向に偏心している。このような構
成により、駆動軸60が回転すると、偏心カム61,6
2が摺動ブロック58,59の一方を押し上げ、他方を
押し下げる。これにより、第1及び第2ハンド50,5
1が上下方向に移動して両者の間隔が制御される。
9には、偏心カム61,62が摺動可能なガイド溝58
a,59aが形成されている。これらのガイド溝58
a,59aは水平方向に延びており、上下1対の内側面
を有している。1対の偏心カム61,62は、互いに駆
動軸60を挟んで逆方向に偏心している。このような構
成により、駆動軸60が回転すると、偏心カム61,6
2が摺動ブロック58,59の一方を押し上げ、他方を
押し下げる。これにより、第1及び第2ハンド50,5
1が上下方向に移動して両者の間隔が制御される。
【0026】振動減衰機構53は、図3及び図9に示す
ように、第1及び第2ハンド50,51の基端部におい
て一側面側に設けられている。この振動減衰機構53
は、第1間隔用の1対の当接部材70,71と、第2間
隔用の1対の当接部材72,73とを有している。第1
間隔用上当接部材70及び第2間隔用上当接部材72は
それぞれ第1ハンド50の側面にボルトにより取り外し
自在に装着されており、第1間隔用下当接部材71及び
第2間隔用下当接部材73はそれぞれ第2ハンド51の
側面にボルトにより取り外し自在に装着されている。第
1間隔用の当接部材70,71は、それぞれ中央部にス
リット70a,71aを有しており、第1ハンド50と
第2ハンド51との間隔が第1間隔となったときに両者
が当接してそれ以上両ハンド50,51の間隔が狭くな
るのを禁止している。また第2間隔用上当接部材72は
L字状であり、また第2間隔用下当接部材73は逆L字
状となっている。そして、各当接部材72,73のほぼ
中央部には横方向に延びるスリット72a,73aが形
成されている。第2間隔用の当接部材72,73は、第
1ハンド50と第2ハンド51とが第1間隔より広い第
2間隔となったときに、互いにその一部が当接すること
によって係止し、両ハンド50,51の間隔が第2間隔
より広がるのを禁止している。
ように、第1及び第2ハンド50,51の基端部におい
て一側面側に設けられている。この振動減衰機構53
は、第1間隔用の1対の当接部材70,71と、第2間
隔用の1対の当接部材72,73とを有している。第1
間隔用上当接部材70及び第2間隔用上当接部材72は
それぞれ第1ハンド50の側面にボルトにより取り外し
自在に装着されており、第1間隔用下当接部材71及び
第2間隔用下当接部材73はそれぞれ第2ハンド51の
側面にボルトにより取り外し自在に装着されている。第
1間隔用の当接部材70,71は、それぞれ中央部にス
リット70a,71aを有しており、第1ハンド50と
第2ハンド51との間隔が第1間隔となったときに両者
が当接してそれ以上両ハンド50,51の間隔が狭くな
るのを禁止している。また第2間隔用上当接部材72は
L字状であり、また第2間隔用下当接部材73は逆L字
状となっている。そして、各当接部材72,73のほぼ
中央部には横方向に延びるスリット72a,73aが形
成されている。第2間隔用の当接部材72,73は、第
1ハンド50と第2ハンド51とが第1間隔より広い第
2間隔となったときに、互いにその一部が当接すること
によって係止し、両ハンド50,51の間隔が第2間隔
より広がるのを禁止している。
【0027】なお、第1ハンド50はチタンにより形成
され、第2ハンド51はステンレスにより形成されてい
る。そして、第1ハンド50の固有振動数は30Hz
に、第2ハンド51の固有振動数は50Hzになるよう
に設定されている。次に動作について説明する。図10
は、基板搬送装置3を用いて、たとえばホットプレート
HP等の基板処理装置80に未処理基板81を導入し、
また処理済み基板82を受け取る要領を示す模式図であ
る。ここで、基板処理装置80には、基板保持装置14
との間で基板の受渡しを行うための上下2段構造の棚8
3,84が設けられている。
され、第2ハンド51はステンレスにより形成されてい
る。そして、第1ハンド50の固有振動数は30Hz
に、第2ハンド51の固有振動数は50Hzになるよう
に設定されている。次に動作について説明する。図10
は、基板搬送装置3を用いて、たとえばホットプレート
HP等の基板処理装置80に未処理基板81を導入し、
また処理済み基板82を受け取る要領を示す模式図であ
る。ここで、基板処理装置80には、基板保持装置14
との間で基板の受渡しを行うための上下2段構造の棚8
3,84が設けられている。
【0028】基板処理装置80で処理が終了した処理済
み基板82は、たとえば上段の棚83に載置されてい
る。また未処理基板81は、第2ハンド51上に載置さ
れ、基板処理装置80の下段の棚84に搬入するものと
する。基板を交換する場合には、基板保持装置14の第
1ハンド50と第2ハンド51との間隔を第1間隔とす
る。この状態で水平アーム機構13を駆動して基板保持
装置14を基板処理装置80内に進入させる。第1ハン
ド50及び第2ハンド51が棚83と棚84とに挟まれ
る位置に到達したとき、水平アーム機構13の駆動を停
止する。このとき、第1ハンド50は処理済み基板82
の下方に位置し、第2ハンド51は下段の棚84の上方
に位置している。次に、間隔制御機構52により、両ハ
ンド50,51の間隔を第1間隔から第2間隔に拡張す
る。この拡張の過程で、処理済み基板82は棚83から
第1ハンド50上にすくい取られ、また第2ハンド51
上の未処理基板82は棚84上に載置される。
み基板82は、たとえば上段の棚83に載置されてい
る。また未処理基板81は、第2ハンド51上に載置さ
れ、基板処理装置80の下段の棚84に搬入するものと
する。基板を交換する場合には、基板保持装置14の第
1ハンド50と第2ハンド51との間隔を第1間隔とす
る。この状態で水平アーム機構13を駆動して基板保持
装置14を基板処理装置80内に進入させる。第1ハン
ド50及び第2ハンド51が棚83と棚84とに挟まれ
る位置に到達したとき、水平アーム機構13の駆動を停
止する。このとき、第1ハンド50は処理済み基板82
の下方に位置し、第2ハンド51は下段の棚84の上方
に位置している。次に、間隔制御機構52により、両ハ
ンド50,51の間隔を第1間隔から第2間隔に拡張す
る。この拡張の過程で、処理済み基板82は棚83から
第1ハンド50上にすくい取られ、また第2ハンド51
上の未処理基板82は棚84上に載置される。
【0029】次に、水平アーム機構13を駆動して基板
保持装置14を基板処理装置80から引き出す。このよ
うにして処理済み基板と未処理基板との交換が行われ
る。以上の基板交換工程において、第1及び第2ハンド
50,51の間隔が第1間隔からより広い第2間隔に拡
張されると、その拡張過程の終端において第2間隔用上
当接部材72と第2間隔用下当接部材73とが図9に示
すような状態で当接する。この場合には、両ハンド5
0,51の間隔は縮小可能であるが拡張が禁止される。
このため、間隔を変更した際の移動時終端における振動
のうちの半分がこれらの当接部材72,73の当接によ
って抑制され、振動が速やかに減衰される。このとき、
両ハンド50,51はそれぞれ異なる固有振動数を有し
ているので、振動の減衰がより促進される。
保持装置14を基板処理装置80から引き出す。このよ
うにして処理済み基板と未処理基板との交換が行われ
る。以上の基板交換工程において、第1及び第2ハンド
50,51の間隔が第1間隔からより広い第2間隔に拡
張されると、その拡張過程の終端において第2間隔用上
当接部材72と第2間隔用下当接部材73とが図9に示
すような状態で当接する。この場合には、両ハンド5
0,51の間隔は縮小可能であるが拡張が禁止される。
このため、間隔を変更した際の移動時終端における振動
のうちの半分がこれらの当接部材72,73の当接によ
って抑制され、振動が速やかに減衰される。このとき、
両ハンド50,51はそれぞれ異なる固有振動数を有し
ているので、振動の減衰がより促進される。
【0030】また逆に第2間隔からより狭い第1間隔に
駆動される場合には、間隔駆動の終端において、第1間
隔用の上下の当接部材70,71が当接する。ここで
も、前記同様に間隔制御のために移動させた際の終端に
おける振動の片側が規制され、振動が減衰される。な
お、上下の当接部材70,71及び72,73が当接し
た際、これらの当接部材にはそれぞれスリット70a,
71a,72a,73aが形成されているので、衝突時
の衝撃が緩和される。
駆動される場合には、間隔駆動の終端において、第1間
隔用の上下の当接部材70,71が当接する。ここで
も、前記同様に間隔制御のために移動させた際の終端に
おける振動の片側が規制され、振動が減衰される。な
お、上下の当接部材70,71及び72,73が当接し
た際、これらの当接部材にはそれぞれスリット70a,
71a,72a,73aが形成されているので、衝突時
の衝撃が緩和される。
【0031】このような実施例では、当接部材を設ける
だけで簡単に振動を減衰させることが可能となる。また
各当接部材70〜73は両ハンド50,51の基端部に
設けられているので、基板交換時の出し入れがこれらの
当接部材によって妨げられることはない。さらに、両ハ
ンド50,51の固有振動数を互いに異ならせているの
で、振動の減衰が促進される。さらに、各当接部材70
〜73にはスリットが設けられているので、当接時の衝
撃が緩和される。
だけで簡単に振動を減衰させることが可能となる。また
各当接部材70〜73は両ハンド50,51の基端部に
設けられているので、基板交換時の出し入れがこれらの
当接部材によって妨げられることはない。さらに、両ハ
ンド50,51の固有振動数を互いに異ならせているの
で、振動の減衰が促進される。さらに、各当接部材70
〜73にはスリットが設けられているので、当接時の衝
撃が緩和される。
【0032】ここで、各当接部材70〜73はボルトに
より着脱自在であるので、たとえば両ハンド50,51
の間隔が変更された場合にも、別の当接部材を装着する
ことによって容易に対応が可能である。しかも、本実施
例の振動減衰機構では、間隔駆動の途中では各当接部材
が当接しない。このため、間隔を制御する途中において
は抵抗がなく、速やかな間隔駆動が行える。
より着脱自在であるので、たとえば両ハンド50,51
の間隔が変更された場合にも、別の当接部材を装着する
ことによって容易に対応が可能である。しかも、本実施
例の振動減衰機構では、間隔駆動の途中では各当接部材
が当接しない。このため、間隔を制御する途中において
は抵抗がなく、速やかな間隔駆動が行える。
【0033】〔他の実施例〕 (a) 前記実施例では、ハンドの形状をU字形状とし
たが、ハンドの形状は前記実施例に限定されるものでは
ない。 (b) 前記実施例では各ハンドの固有振動数を材質を
変更することにより異ならせたが、形状を変更すること
によって固有振動数を異ならせ、振動減衰を促進するよ
うにしてもよい。 (c) 振動減衰機構としては当接部材に限定されるも
のではなく、たとえば油圧シリンダ等を両ハンドの間に
配置してもよい。
たが、ハンドの形状は前記実施例に限定されるものでは
ない。 (b) 前記実施例では各ハンドの固有振動数を材質を
変更することにより異ならせたが、形状を変更すること
によって固有振動数を異ならせ、振動減衰を促進するよ
うにしてもよい。 (c) 振動減衰機構としては当接部材に限定されるも
のではなく、たとえば油圧シリンダ等を両ハンドの間に
配置してもよい。
【0034】
【発明の効果】以上のように本発明に係る基板保持装置
では、間隔駆動の終端時に基板保持部の振動が減衰され
るので、基板保持部の姿勢が速やかに安定し、次の動作
に素早く移行することが可能である。振動減衰手段を、
相対移動終端において互いに当接する振動減衰部材とし
た場合には、簡単な構成によって振動を減衰できる。ま
た相対移動の途中で抵抗が発生しないので速やかな間隔
の変更が可能となる。
では、間隔駆動の終端時に基板保持部の振動が減衰され
るので、基板保持部の姿勢が速やかに安定し、次の動作
に素早く移行することが可能である。振動減衰手段を、
相対移動終端において互いに当接する振動減衰部材とし
た場合には、簡単な構成によって振動を減衰できる。ま
た相対移動の途中で抵抗が発生しないので速やかな間隔
の変更が可能となる。
【0035】また、前記振動減衰部材を、1対の基板保
持部が相対移動した際にそれらの間隔が互いに広がるの
を禁止したり、逆に狭くなるのを禁止するような部材と
した場合には、当接部材によって振動の片側の振幅分が
禁止されるので、簡単な構成で振動を減衰できる。各当
接部材の基板保持部に対して着脱自在とした場合には、
制御する間隔が変更された場合にも当接部材を変更する
だけで容易に対応できる。
持部が相対移動した際にそれらの間隔が互いに広がるの
を禁止したり、逆に狭くなるのを禁止するような部材と
した場合には、当接部材によって振動の片側の振幅分が
禁止されるので、簡単な構成で振動を減衰できる。各当
接部材の基板保持部に対して着脱自在とした場合には、
制御する間隔が変更された場合にも当接部材を変更する
だけで容易に対応できる。
【0036】振動減衰手段を基板保持部の基端部に配置
した場合には、基板保持部に対して基板を出し入れする
際に振動減衰手段が妨げとならない。1対の基板保持部
が互いに異なる固有振動数を有している場合には、当接
部材を介して両者が当接した場合に振動の減衰が促進さ
れる。
した場合には、基板保持部に対して基板を出し入れする
際に振動減衰手段が妨げとならない。1対の基板保持部
が互いに異なる固有振動数を有している場合には、当接
部材を介して両者が当接した場合に振動の減衰が促進さ
れる。
【図1】本発明の一実施例による基板保持装置が採用さ
れる基板処理システムの概略配置図。
れる基板処理システムの概略配置図。
【図2】前記基板処理システムの概略側面図。
【図3】本実施例の基板保持装置を有する基板搬送装置
の斜視図。
の斜視図。
【図4】前記基板搬送装置の側面図。
【図5】前記基板搬送装置の一部断面平面図。
【図6】前記基板搬送装置の正面図。
【図7】基板保持装置の断面平面図。
【図8】前記基板保持装置の背面図。
【図9】振動減衰機構の斜視図。
【図10】基板保持部の動作を説明するための模式図。
3,4,5 基板搬送装置 14 基板保持装置 50 第1ハンド 51 第2ハンド 52 間隔制御機構 53 振動減衰機構 70,71 第1間隔用当接部材 72,73 第2間隔用当接部材 70a,71a,72a,73a スリット
フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 H01L 21/304 341 C
Claims (6)
- 【請求項1】基板搬送時に基板を保持する基板保持装置
であって、 上下に間隔を隔ててかつ上下方向に相対移動可能に配置
され、それぞれが基板を保持可能な1対の基板保持部
と、 前記1対の基板保持部の一端側を支持するとともに、両
者の間隔を第1間隔と前記第1間隔より広い第2間隔と
に制御する間隔制御機構と、 前記1対の基板保持部が前記第1間隔から第2間隔に及
び前記第2間隔から第1間隔にそれぞれ相対移動された
際に両者の振動を減衰する振動減衰手段と、を備えた基
板保持装置。 - 【請求項2】前記振動減衰手段は、前記1対の基板保持
部が相対移動した際に、相対移動終端において互いに当
接して前記1対の基板保持部の振動を減衰する振動減衰
部材を有している、請求項1に記載の基板保持装置。 - 【請求項3】前記振動減衰部材は、前記1対の基板保持
部が前記第1間隔から第2間隔に相対移動した際に互い
に当接して両者の間隔が前記第2間隔より広がるのを禁
止する1対の第1当接部材と、前記1対の基板保持部が
前記第2間隔から第1間隔に相対移動した際に互いに当
接して両者の間隔が前記第1間隔より狭くなるのを禁止
する1対の第2当接部材とを有している、請求項2に記
載の基板保持装置。 - 【請求項4】前記1対の第1当接部材及び第2当接部材
は、それぞれ1対の基板保持部に対して着脱自在であ
る、請求項3に記載の基板保持装置。 - 【請求項5】前記振動減衰手段は、前記1対の基板保持
部の基端部に配置されている、請求項1ないし4のいず
れかに記載の基板保持装置。 - 【請求項6】前記1対の基板保持部は、互いに異なる固
有振動数を有している、請求項1ないし5のいずれかに
記載の基板保持装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8878094A JPH07297255A (ja) | 1994-04-26 | 1994-04-26 | 基板保持装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8878094A JPH07297255A (ja) | 1994-04-26 | 1994-04-26 | 基板保持装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH07297255A true JPH07297255A (ja) | 1995-11-10 |
Family
ID=13952373
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP8878094A Pending JPH07297255A (ja) | 1994-04-26 | 1994-04-26 | 基板保持装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH07297255A (ja) |
Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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WO2009142446A3 (ko) * | 2008-05-21 | 2010-03-11 | 주식회사 아이피에스 | 진공처리시스템, 진공처리시스템에 사용되는 버퍼모듈 및 진공처리시스템의 트레이 이송방법 |
WO2010103876A1 (ja) * | 2009-03-13 | 2010-09-16 | 川崎重工業株式会社 | エンドエフェクタを備えたロボット及びその運転方法 |
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KR20170136521A (ko) | 2015-03-03 | 2017-12-11 | 가와사끼 쥬고교 가부시끼 가이샤 | 기판 반송 로봇 및 기판 처리 시스템 |
US10549420B2 (en) * | 2018-03-15 | 2020-02-04 | Kimball Electronics Indiana, Inc. | Over and under linear axis robot |
JP2021027057A (ja) * | 2019-07-31 | 2021-02-22 | 川崎重工業株式会社 | 保持装置、及びそれを備えるロボット |
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WO2023145325A1 (ja) * | 2022-01-25 | 2023-08-03 | 川崎重工業株式会社 | 基板保持ハンドおよび基板搬送ロボット |
-
1994
- 1994-04-26 JP JP8878094A patent/JPH07297255A/ja active Pending
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