JPH0723112Y2 - 熱切断機におけるスパッタ処理装置 - Google Patents
熱切断機におけるスパッタ処理装置Info
- Publication number
- JPH0723112Y2 JPH0723112Y2 JP1989086508U JP8650889U JPH0723112Y2 JP H0723112 Y2 JPH0723112 Y2 JP H0723112Y2 JP 1989086508 U JP1989086508 U JP 1989086508U JP 8650889 U JP8650889 U JP 8650889U JP H0723112 Y2 JPH0723112 Y2 JP H0723112Y2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- guide hole
- wall surface
- work
- dust collecting
- collecting pipe
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- Expired - Lifetime
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Description
【考案の詳細な説明】 [考案の目的] (産業上の利用分野) この考案は、熱切断機のスパッタ処理装置に関するもの
で、レーザ加工機、パンチ・レーザ複合機、或は、プラ
ズマ加工機等に利用できる。
で、レーザ加工機、パンチ・レーザ複合機、或は、プラ
ズマ加工機等に利用できる。
(従来の技術) レーザビーム、或はプラズマ炎等をワーク面に照射して
加工を行う熱切断機にあっては、熱切断ノズルの下方位
置にワークを支持しかつ上部案内穴を備えたワーク支持
部材が設けてあり、このワーク支持部材の下側には上部
案内穴に連通した下部案内穴を備えた集塵パイプが設け
てある。そして、スパッタは、上部案内穴、下部案内穴
を介して集塵パイプに設けたスパッタボックス内へ案内
している。
加工を行う熱切断機にあっては、熱切断ノズルの下方位
置にワークを支持しかつ上部案内穴を備えたワーク支持
部材が設けてあり、このワーク支持部材の下側には上部
案内穴に連通した下部案内穴を備えた集塵パイプが設け
てある。そして、スパッタは、上部案内穴、下部案内穴
を介して集塵パイプに設けたスパッタボックス内へ案内
している。
このようなスパッタが上部案内穴の内壁面又は下部案内
穴における内壁面に突当たると、スパッタはこれらの内
壁面に付着し易いために、上記内壁面に冷却水を直接流
すことによって、スパッタを冷却水と共に流出処理する
技術がある。
穴における内壁面に突当たると、スパッタはこれらの内
壁面に付着し易いために、上記内壁面に冷却水を直接流
すことによって、スパッタを冷却水と共に流出処理する
技術がある。
(考案が解決しようとする課題) このような案内穴の内壁面に直接冷却水を流す構成で
は、スパッタを含んだ冷却水を流出処理した後に、スパ
ッタと冷却水を分離する装置が必要となり、スパッタ処
理装置の構成が複雑化するという問題があった。
は、スパッタを含んだ冷却水を流出処理した後に、スパ
ッタと冷却水を分離する装置が必要となり、スパッタ処
理装置の構成が複雑化するという問題があった。
また、冷却水によって集塵パイプの内壁面等にさびが発
生し、スパッタ処理装置の保守・点検が厄介になるとい
う問題があった。
生し、スパッタ処理装置の保守・点検が厄介になるとい
う問題があった。
[考案の構成] (課題を解決するための手段) 前述のごとき従来の問題点を解決するため本発明におい
ては、熱切断ビームを照射する熱切断ノズルの下方位置
に、ワークを支持するワーク支持部材を設け、このワー
ク支持部材は上部案内穴を備え、このワーク支持部材の
下側に上部案内穴を連通した下部案内穴を備えた集塵パ
イプを設け、上記上部案内穴の内壁面を冷却せしめるた
め、上記ワーク支持部材の内部における内壁面側に循環
可能な冷却液の上部冷却通路を形成し、上記下部案内穴
の内壁面を冷却せしめるため、上記集塵パイプの内部に
おける内壁面側に循環可能な冷却液の下部冷却通路を形
成してなることを特徴とする。
ては、熱切断ビームを照射する熱切断ノズルの下方位置
に、ワークを支持するワーク支持部材を設け、このワー
ク支持部材は上部案内穴を備え、このワーク支持部材の
下側に上部案内穴を連通した下部案内穴を備えた集塵パ
イプを設け、上記上部案内穴の内壁面を冷却せしめるた
め、上記ワーク支持部材の内部における内壁面側に循環
可能な冷却液の上部冷却通路を形成し、上記下部案内穴
の内壁面を冷却せしめるため、上記集塵パイプの内部に
おける内壁面側に循環可能な冷却液の下部冷却通路を形
成してなることを特徴とする。
(作用) 前記の構成において、上部冷却通路、下部冷却通路に冷
却液をそれぞれ循環させることにより、ワーク支持部材
における上部案内穴の内壁面、集塵パイプにおける下部
案内穴の内壁面に冷却せしめる。この状態の下で、熱切
断ノズルから熱切断ビームを照射することにより、ワー
ク支持部材に支持されたワークに対して所望の熱切断加
工を行う。このとき、熱切断加工によって発生するスパ
ッタは、ワーク支持部材における上部案内穴、及び集塵
パイプにおける下部案内穴に案内されて落下処理され
る。また、上記スパッタは、上部案内穴の冷却された内
壁面又は下部案内穴の冷却された内壁面に突当たると、
スパッタは間接的に冷却せしめられて、これらの内壁面
に付着することなく、直ちに落下処理される。
却液をそれぞれ循環させることにより、ワーク支持部材
における上部案内穴の内壁面、集塵パイプにおける下部
案内穴の内壁面に冷却せしめる。この状態の下で、熱切
断ノズルから熱切断ビームを照射することにより、ワー
ク支持部材に支持されたワークに対して所望の熱切断加
工を行う。このとき、熱切断加工によって発生するスパ
ッタは、ワーク支持部材における上部案内穴、及び集塵
パイプにおける下部案内穴に案内されて落下処理され
る。また、上記スパッタは、上部案内穴の冷却された内
壁面又は下部案内穴の冷却された内壁面に突当たると、
スパッタは間接的に冷却せしめられて、これらの内壁面
に付着することなく、直ちに落下処理される。
(実施例) 以下、この考案の実施例を図面にもとづいて詳細に説明
する。
する。
第6図はこの考案を実施する熱切断機に係るレーザ加工
機である。加工機本体1は、上面にワークWを載置する
ワーク受台3を有する下部機体5と、この上方に位置し
てこの下部機体5に向けてレーザビームLBを照射するレ
ーザヘッド7を有する上部機体9とを備えている。これ
ら上下機体9,5間には、ワークWを挾持して加工移送す
るクランプ11等を移動自在とする加工間隙部13が形成さ
れている。加工機本体1の一側には、レーザビームLBを
発振するレーザ発振器15が設けられ、このレーザ発振器
15から発振するレーザビームLBを、上部機体9内に設け
られた反射鏡17で下方のレーザヘッド7へ反射させる構
成としている。又、符号19は数値制御装置でレーザ加工
の自動加工制御の制御条件を設定する数値制御装置であ
る。
機である。加工機本体1は、上面にワークWを載置する
ワーク受台3を有する下部機体5と、この上方に位置し
てこの下部機体5に向けてレーザビームLBを照射するレ
ーザヘッド7を有する上部機体9とを備えている。これ
ら上下機体9,5間には、ワークWを挾持して加工移送す
るクランプ11等を移動自在とする加工間隙部13が形成さ
れている。加工機本体1の一側には、レーザビームLBを
発振するレーザ発振器15が設けられ、このレーザ発振器
15から発振するレーザビームLBを、上部機体9内に設け
られた反射鏡17で下方のレーザヘッド7へ反射させる構
成としている。又、符号19は数値制御装置でレーザ加工
の自動加工制御の制御条件を設定する数値制御装置であ
る。
ワーク受台3上面には、ワークWの下面を移動自在に支
持するフリーローラを配設し、このワーク受台3の上側
適宜間隔の位置には、一側のガイドレール21によって水
平横方向(以下Y軸方向と云う。)へ移動自在のキャリ
ッジベース23が設けられている。又、このキャリッジベ
ース23は、Y軸方向と同平面において直交する水平縦方
向(以下X軸方向と云う。)に沿って長い形態に設けら
れ、このX軸方向に沿って移動自在のキャリッジ25が前
記キャリッジベース23に設けられている。ワークWを挾
持するクランプ11は、このキャリッジ25に沿って複数個
設けられている。そしてこれらキャリッジベース23のY
軸方向の移動と、キャリッジ25のX軸方向の移動とによ
って、クランプ11に挾持するワークWを、ワーク受台3
上面に沿って所定の加工移動制御をするものである。
持するフリーローラを配設し、このワーク受台3の上側
適宜間隔の位置には、一側のガイドレール21によって水
平横方向(以下Y軸方向と云う。)へ移動自在のキャリ
ッジベース23が設けられている。又、このキャリッジベ
ース23は、Y軸方向と同平面において直交する水平縦方
向(以下X軸方向と云う。)に沿って長い形態に設けら
れ、このX軸方向に沿って移動自在のキャリッジ25が前
記キャリッジベース23に設けられている。ワークWを挾
持するクランプ11は、このキャリッジ25に沿って複数個
設けられている。そしてこれらキャリッジベース23のY
軸方向の移動と、キャリッジ25のX軸方向の移動とによ
って、クランプ11に挾持するワークWを、ワーク受台3
上面に沿って所定の加工移動制御をするものである。
第1図において、レーザヘッド7は、上部機体9から加
工間隔部13に垂下するレーザ筒27を主体とし、下端部に
は、上方の反射鏡17で反射されるレーザビームLBを集光
する集光レンズ29が設けられていると共に、ガス供給口
31からアシストガスの供給を受けるノズル室33が設けら
れている。更にこのノズル室33の下端部には集光レンズ
29で集光されたレーザビームLBを下方のワーク受台3へ
照射するレーザノズル35が設けられている。
工間隔部13に垂下するレーザ筒27を主体とし、下端部に
は、上方の反射鏡17で反射されるレーザビームLBを集光
する集光レンズ29が設けられていると共に、ガス供給口
31からアシストガスの供給を受けるノズル室33が設けら
れている。更にこのノズル室33の下端部には集光レンズ
29で集光されたレーザビームLBを下方のワーク受台3へ
照射するレーザノズル35が設けられている。
第2図、第3図において、ワーク受台3の上面には、フ
リーベアリング37が適当間隔に設けられて、板材等のワ
ークWの下面を移動自在に支持する。このワーク受台3
のレーザヘッド7の直下部には、上部案内穴47を備えた
ワーク支持部材43が設けてある。このワーク支持部材43
の下側には上部案内穴47に連通した下部案内穴55を備え
た集塵パイプ45が設けてある。ワーク支持部材43の案内
壁面39は、円錐形状に形成されて、集塵パイプ45の円筒
形状の案内壁面41を垂下方向へ連通させ、レーザノズル
35から下方へ照射されるレーザビームLBの外周部を囲撓
する。
リーベアリング37が適当間隔に設けられて、板材等のワ
ークWの下面を移動自在に支持する。このワーク受台3
のレーザヘッド7の直下部には、上部案内穴47を備えた
ワーク支持部材43が設けてある。このワーク支持部材43
の下側には上部案内穴47に連通した下部案内穴55を備え
た集塵パイプ45が設けてある。ワーク支持部材43の案内
壁面39は、円錐形状に形成されて、集塵パイプ45の円筒
形状の案内壁面41を垂下方向へ連通させ、レーザノズル
35から下方へ照射されるレーザビームLBの外周部を囲撓
する。
ワーク支持部材43の上端面は、この外周のワーク受台3
の上面より若干高く形成し、案内壁面39で囲われる上部
案内穴47の外周部上面には複数個のフリーベアリング37
が設けられている。又、このワーク支持部材43には、案
内壁面39から適宜肉厚の内部に上部案内穴47を囲撓する
環状の上部冷却通路49が設けられている。この上部冷却
通路49の一側部には冷却水等の冷却液を供給する供給口
51が設けられていると共に、他側部には排出口53が設け
られ、冷却液を常時上部冷却通路49へ循環させる。
の上面より若干高く形成し、案内壁面39で囲われる上部
案内穴47の外周部上面には複数個のフリーベアリング37
が設けられている。又、このワーク支持部材43には、案
内壁面39から適宜肉厚の内部に上部案内穴47を囲撓する
環状の上部冷却通路49が設けられている。この上部冷却
通路49の一側部には冷却水等の冷却液を供給する供給口
51が設けられていると共に、他側部には排出口53が設け
られ、冷却液を常時上部冷却通路49へ循環させる。
集塵パイプ45は、案内壁面41で囲われる下部案内穴55の
外周部における適宜肉厚の内部に下部冷却通路57を設け
ている。この下部冷却通路57は、第4図、第5図のよう
に集塵パイプ45を上下にじぐざぐに蛇行しながら囲撓す
る形態で、一側部に設けられた供給口59から冷却水等の
冷却液を供給して他側部に設けられた排出口61へ流出さ
せて循環している。
外周部における適宜肉厚の内部に下部冷却通路57を設け
ている。この下部冷却通路57は、第4図、第5図のよう
に集塵パイプ45を上下にじぐざぐに蛇行しながら囲撓す
る形態で、一側部に設けられた供給口59から冷却水等の
冷却液を供給して他側部に設けられた排出口61へ流出さ
せて循環している。
前記各冷却通路57,49の供給口59,51、及び排出口61,53
等は、ホース乃至パイプ等を経て、冷却液タンクやポン
プ等の冷却液循環系に連通して設けられている。
等は、ホース乃至パイプ等を経て、冷却液タンクやポン
プ等の冷却液循環系に連通して設けられている。
冷却通路57,49の循環される冷却液によって、上部案内
穴47の案内壁面39と、下部案内穴55の案内壁面41とを常
時冷却する構成としている。
穴47の案内壁面39と、下部案内穴55の案内壁面41とを常
時冷却する構成としている。
前記ワーク支持部材43、集塵パイプ45は、下部機体5に
設けられて、集塵パイプ45の下端部は、下部機体5の下
部のスパッタボックス63内へのぞませている。
設けられて、集塵パイプ45の下端部は、下部機体5の下
部のスパッタボックス63内へのぞませている。
ワーク受台3上面に供給されるワークWをクランプ11で
挾持して、キャリッジベース23及びキャリッジ25等の、
数値制御装置19による制御移動よって、ワークWはレー
ザビームLBで熱切断加工を受ける。レーザ発振器15から
発振され、反射鏡17で直下方向へ反射されるレーザビー
ムLBは集光レンズ29で集光されて、レーザノズル35から
下方のワークW面に照射され、熱切断作用が行われる。
これと同時にノズル室33にガス供給口31からアシストガ
スが供給されて、そのレーザノズル35からワークW面へ
噴出される。
挾持して、キャリッジベース23及びキャリッジ25等の、
数値制御装置19による制御移動よって、ワークWはレー
ザビームLBで熱切断加工を受ける。レーザ発振器15から
発振され、反射鏡17で直下方向へ反射されるレーザビー
ムLBは集光レンズ29で集光されて、レーザノズル35から
下方のワークW面に照射され、熱切断作用が行われる。
これと同時にノズル室33にガス供給口31からアシストガ
スが供給されて、そのレーザノズル35からワークW面へ
噴出される。
このようにして、レーザノズル35から照射されるレーザ
ビームLBによってワークWを熱切断するときに、スパッ
タが発生して、案内穴47,55へ飛散される。
ビームLBによってワークWを熱切断するときに、スパッ
タが発生して、案内穴47,55へ飛散される。
又、冷却通路49,57には冷却液が供給口51,59から排出口
53,61へ循環されていて、案内壁面39,41等が冷却されて
いるために、飛散するスパッタが、これらの案内壁面3
9,41に当っても、直ちに冷却凝固されて、下方のスパッ
タボックス63へ落下収容される。
53,61へ循環されていて、案内壁面39,41等が冷却されて
いるために、飛散するスパッタが、これらの案内壁面3
9,41に当っても、直ちに冷却凝固されて、下方のスパッ
タボックス63へ落下収容される。
以上のごとき本実施例によれば、ワーク支持部材43にお
ける上部案内穴47の内壁面39及び集塵パイプ45における
下部案内穴55の内壁面41をそれぞれ冷却せしめることが
でき、レーザ切断加工時に発生するスパッタが、上部案
内穴47の内壁面39又は下部案内穴55の内壁面41に突当っ
ても、これらの内壁面39,41に付着することなく、落下
処理される。したがって、スパッタ処理の能率が向上す
ると共に、スパッタ処理装置におけるワーク支持部材4
3、集塵パイプ45の保守,点検が簡単になる。
ける上部案内穴47の内壁面39及び集塵パイプ45における
下部案内穴55の内壁面41をそれぞれ冷却せしめることが
でき、レーザ切断加工時に発生するスパッタが、上部案
内穴47の内壁面39又は下部案内穴55の内壁面41に突当っ
ても、これらの内壁面39,41に付着することなく、落下
処理される。したがって、スパッタ処理の能率が向上す
ると共に、スパッタ処理装置におけるワーク支持部材4
3、集塵パイプ45の保守,点検が簡単になる。
また、冷却液をスパッタに対して噴出して直接冷却せし
めることなく、ワーク支持部材43の内部における内壁面
39側に形成した上部冷却通路49、集塵パイプ45の内部に
おける内壁面41側に形成した下部冷却通路57にそれぞれ
冷却液を循環させることにより、スパッタを間接的に冷
却せしめることにしたため、冷却水がワーク支持部材4
3、集塵パイプ45の外部において飛散することがなく、
ワーク支持部材43、集塵パイプ45にさびが生じることを
極力押え、スパッタ処理装置の保守、点検がより一層簡
単になる。同様の理由により、本実施例に係るスパッタ
処理装置は、冷却液とスパッタを分離する装置を必要と
しないことにより、スパッタ処理装置の構成が簡単にな
る。
めることなく、ワーク支持部材43の内部における内壁面
39側に形成した上部冷却通路49、集塵パイプ45の内部に
おける内壁面41側に形成した下部冷却通路57にそれぞれ
冷却液を循環させることにより、スパッタを間接的に冷
却せしめることにしたため、冷却水がワーク支持部材4
3、集塵パイプ45の外部において飛散することがなく、
ワーク支持部材43、集塵パイプ45にさびが生じることを
極力押え、スパッタ処理装置の保守、点検がより一層簡
単になる。同様の理由により、本実施例に係るスパッタ
処理装置は、冷却液とスパッタを分離する装置を必要と
しないことにより、スパッタ処理装置の構成が簡単にな
る。
なお、この考案は前述した実施例に限定されることな
く、適宜の変更を行なうことにより、その他の態様で実
施し得るものである。本実施例ではレーザ加工機を例に
とって説明したが、パンチ・レーザ複合加工機やプラズ
マ加工機などその他の熱切断機にも対応可能である。
く、適宜の変更を行なうことにより、その他の態様で実
施し得るものである。本実施例ではレーザ加工機を例に
とって説明したが、パンチ・レーザ複合加工機やプラズ
マ加工機などその他の熱切断機にも対応可能である。
[考案の効果] 以上のごとき実施例の説明により理解されるように、本
考案によれば、ワーク支持部材における上部案内穴の内
壁面及び集塵パイプにおける下部案内穴の内壁面をそれ
ぞれ冷却せしめることができ、熱切断加工時に発生する
スパッタが、上部案内穴の内壁面又は下部案内穴の内壁
面に突当っても、これらの内壁面に付着することなく、
落下処理される。したがって、スパッタ処理の能率が向
上すると共に、スパッタ処理装置におけるワーク支持部
材、集塵パイプの保守、点検が簡単になる。
考案によれば、ワーク支持部材における上部案内穴の内
壁面及び集塵パイプにおける下部案内穴の内壁面をそれ
ぞれ冷却せしめることができ、熱切断加工時に発生する
スパッタが、上部案内穴の内壁面又は下部案内穴の内壁
面に突当っても、これらの内壁面に付着することなく、
落下処理される。したがって、スパッタ処理の能率が向
上すると共に、スパッタ処理装置におけるワーク支持部
材、集塵パイプの保守、点検が簡単になる。
また、冷却液をスパッタに対して噴出して直接冷却せし
めることなく、ワーク支持部材の内部における内壁面側
に形成した上部冷却通路、集塵パイプの内部における内
壁面側に形成した下部冷却通路にそれぞれ冷却液を循環
させることにより、スパッタを間接的に冷却せしめるこ
とにしたため、冷却水がワーク支持部材、集塵パイプの
外部において飛散することがなく、ワーク支持部材、集
塵パイプにさびが生じることを極力押え、スパッタ処理
装置の保守、点検がより一層簡単になる。同様の理由に
より、本考案のスパッタ処理装置は、冷却液とスパッタ
を分離する装置を必要としないことにより、スパッタ処
理装置の構成が簡単になる。
めることなく、ワーク支持部材の内部における内壁面側
に形成した上部冷却通路、集塵パイプの内部における内
壁面側に形成した下部冷却通路にそれぞれ冷却液を循環
させることにより、スパッタを間接的に冷却せしめるこ
とにしたため、冷却水がワーク支持部材、集塵パイプの
外部において飛散することがなく、ワーク支持部材、集
塵パイプにさびが生じることを極力押え、スパッタ処理
装置の保守、点検がより一層簡単になる。同様の理由に
より、本考案のスパッタ処理装置は、冷却液とスパッタ
を分離する装置を必要としないことにより、スパッタ処
理装置の構成が簡単になる。
図はこの考案の実施例を示すもので、第1図は第6図の
I矢視部の正断面図、第2図はその一部案内筒の拡大正
断面図、第3図は第2図における平面図、第4図は冷却
液室経路を示す斜視図、第5図はその展開側面図、第6
図はタレットパンチプレスの正面図である。 3……ワーク受台、35……レーザノズル 39……案内壁面、41……案内壁面 43……案内筒、45……案内筒 LB……レーザビーム、W……ワーク
I矢視部の正断面図、第2図はその一部案内筒の拡大正
断面図、第3図は第2図における平面図、第4図は冷却
液室経路を示す斜視図、第5図はその展開側面図、第6
図はタレットパンチプレスの正面図である。 3……ワーク受台、35……レーザノズル 39……案内壁面、41……案内壁面 43……案内筒、45……案内筒 LB……レーザビーム、W……ワーク
Claims (1)
- 【請求項1】熱切断ビームを照射する熱切断ノズルの下
方位置に、ワークを支持するワーク支持部材を設け、こ
のワーク支持部材は上部案内穴を備え、このワーク支持
部材の下側に上部案内穴を連通した下部案内穴を備えた
集塵パイプを設け、上記上部案内穴の内壁面を冷却せし
めるため、上記ワーク支持部材の内部における内壁面側
に循環可能な冷却液の上部冷却通路を形成し、上記下部
案内穴の内壁面を冷却せしめるため、上記集塵パイプの
内部における内壁面側に循環可能な冷却液の下部冷却通
路を形成してなることを特徴とする熱切断機におけるス
パッタ処理装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1989086508U JPH0723112Y2 (ja) | 1989-07-25 | 1989-07-25 | 熱切断機におけるスパッタ処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1989086508U JPH0723112Y2 (ja) | 1989-07-25 | 1989-07-25 | 熱切断機におけるスパッタ処理装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0331085U JPH0331085U (ja) | 1991-03-26 |
JPH0723112Y2 true JPH0723112Y2 (ja) | 1995-05-31 |
Family
ID=31636063
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1989086508U Expired - Lifetime JPH0723112Y2 (ja) | 1989-07-25 | 1989-07-25 | 熱切断機におけるスパッタ処理装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0723112Y2 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006043745A (ja) * | 2004-08-06 | 2006-02-16 | Nagoya Industrial Science Research Inst | マルチピッチねじ、マルチピッチねじの製造方法及び製造装置 |
JP4991608B2 (ja) * | 2008-03-24 | 2012-08-01 | 株式会社トープラ | 脱落防止ねじ |
CN103069179B (zh) * | 2010-02-26 | 2015-02-25 | 艺术螺丝钉有限会社 | 紧固构件及紧固构造 |
TWI427222B (zh) * | 2011-07-19 | 2014-02-21 | Art Screw Co Ltd | 緊固構件及緊固構造 |
JP5974196B1 (ja) * | 2016-03-02 | 2016-08-23 | 甚太 芹澤 | ねじ部材、締結部材およびダーツ |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6272494A (ja) * | 1985-09-25 | 1987-04-03 | Anritsu Corp | レ−ザ加工機 |
JPH01109391U (ja) * | 1988-01-08 | 1989-07-24 | ||
JPH01278994A (ja) * | 1988-05-02 | 1989-11-09 | Amada Co Ltd | レーザ加工機の集麈装置 |
-
1989
- 1989-07-25 JP JP1989086508U patent/JPH0723112Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0331085U (ja) | 1991-03-26 |
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