JPH0722685A - 光線の焦点合成方法及びその焦点合成装置 - Google Patents
光線の焦点合成方法及びその焦点合成装置Info
- Publication number
- JPH0722685A JPH0722685A JP5148844A JP14884493A JPH0722685A JP H0722685 A JPH0722685 A JP H0722685A JP 5148844 A JP5148844 A JP 5148844A JP 14884493 A JP14884493 A JP 14884493A JP H0722685 A JPH0722685 A JP H0722685A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- laser beam
- reflected
- light beam
- focus
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Landscapes
- Lasers (AREA)
- Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 複数の光線の焦点を容易に一致できるように
する。 【構成】 第一レーザビーム発振器１から発振された第
一レーザビーム１１を穴部３ｂが形成された第一反射板
３で環状をなすよう反射すると共に、第二レーザビーム
発振器２から発振された第二レーザビーム１２を第一レ
ーザビーム１１と同軸をなすよう穴部３ｂへ向けて発振
し、これら同軸をなした第一レーザビーム１１と第二レ
ーザビーム１２との光束を集束レンズ６で焦点が一致す
るよう集束させてワーク１０１上で合成し、ワーク１０
１を加工する。
する。 【構成】 第一レーザビーム発振器１から発振された第
一レーザビーム１１を穴部３ｂが形成された第一反射板
３で環状をなすよう反射すると共に、第二レーザビーム
発振器２から発振された第二レーザビーム１２を第一レ
ーザビーム１１と同軸をなすよう穴部３ｂへ向けて発振
し、これら同軸をなした第一レーザビーム１１と第二レ
ーザビーム１２との光束を集束レンズ６で焦点が一致す
るよう集束させてワーク１０１上で合成し、ワーク１０
１を加工する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、複数の光線の焦点が一
致するよう合成する方法及びその装置に関するものであ
り、特に、溶接、切断、表面処理などに用いられるレー
ザビーム加工装置に応用すると、高い効果が得られるも
のである。
致するよう合成する方法及びその装置に関するものであ
り、特に、溶接、切断、表面処理などに用いられるレー
ザビーム加工装置に応用すると、高い効果が得られるも
のである。
【０００２】
【従来の技術】種々の光線の中でも、指向性が強いもの
としてレーザビームが挙げられる。このレーザビームの
特徴を応用して、ワークの表面にレーザビームを集束さ
せると、ワークに溶接、切断、表面処理などの各種加工
を行うことができる。このような用途にレーザビームを
用いる場合には、レーザビームの高出力化を図るため、
複数のレーザビーム発振器からレーザビームをそれぞれ
発振し、これらレーザビームの焦点がワークの表面で一
致するよう合成している。
としてレーザビームが挙げられる。このレーザビームの
特徴を応用して、ワークの表面にレーザビームを集束さ
せると、ワークに溶接、切断、表面処理などの各種加工
を行うことができる。このような用途にレーザビームを
用いる場合には、レーザビームの高出力化を図るため、
複数のレーザビーム発振器からレーザビームをそれぞれ
発振し、これらレーザビームの焦点がワークの表面で一
致するよう合成している。
【０００３】このような場合に用いられる従来のレーザ
ビームの焦点合成装置を図４に示す。レーザビーム発振
器２１ａから発振されたレーザビーム２０ａは、反射板
２２ａで反射されて加工ノズル２３ａ内に送られ、集束
レンズ２４ａにより、ワーク１０１上で焦点が合うよう
に集束される。一方、レーザビーム発振器２１ｂから発
振されたレーザビーム２０ｂは、反射板２２ｂで反射さ
れて加工ノズル２３ｂ内に送られ、集束レンズ２４ｂに
より、レーザビーム２０ａの焦点と一致するようワーク
１０１上に集束される。
ビームの焦点合成装置を図４に示す。レーザビーム発振
器２１ａから発振されたレーザビーム２０ａは、反射板
２２ａで反射されて加工ノズル２３ａ内に送られ、集束
レンズ２４ａにより、ワーク１０１上で焦点が合うよう
に集束される。一方、レーザビーム発振器２１ｂから発
振されたレーザビーム２０ｂは、反射板２２ｂで反射さ
れて加工ノズル２３ｂ内に送られ、集束レンズ２４ｂに
より、レーザビーム２０ａの焦点と一致するようワーク
１０１上に集束される。
【０００４】これにより、ワーク１０１は、高効率で加
工されるのである。
工されるのである。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】前述したレーザビーム
の焦点合成方法では、各レーザビーム２０ａ、２０ｂの
焦点がワーク１０１上で一致するようそれぞれの集束レ
ンズ２４ａ、２４ｂを調節しなければならないので、焦
点合成作業に非常に手間がかかってしまう。また、切断
などでワーク１０１の被加工部分が徐々に内部へ移動す
る場合では、焦点のずれを補正するよう切断の進行状況
に合わせて集束レンズ２４ａ、２４ｂを常に調節しなけ
ればならないので、多大な労力を要する。
の焦点合成方法では、各レーザビーム２０ａ、２０ｂの
焦点がワーク１０１上で一致するようそれぞれの集束レ
ンズ２４ａ、２４ｂを調節しなければならないので、焦
点合成作業に非常に手間がかかってしまう。また、切断
などでワーク１０１の被加工部分が徐々に内部へ移動す
る場合では、焦点のずれを補正するよう切断の進行状況
に合わせて集束レンズ２４ａ、２４ｂを常に調節しなけ
ればならないので、多大な労力を要する。
【０００６】
【課題を解決するための手段】前述した課題を解決する
ため、本発明は、送り出された第一光線の進行方向に対
して直交する方向の断面形状が環状をなすよう当該第一
光線を反射すると共に、前記第一光線の反射光と同軸を
なすよう第二光線を送り出し、これら同軸をなす前記第
一光線と第二光線との光束を集束して焦点を合成するこ
とにより、光線の焦点合成方法を構成したのである。
ため、本発明は、送り出された第一光線の進行方向に対
して直交する方向の断面形状が環状をなすよう当該第一
光線を反射すると共に、前記第一光線の反射光と同軸を
なすよう第二光線を送り出し、これら同軸をなす前記第
一光線と第二光線との光束を集束して焦点を合成するこ
とにより、光線の焦点合成方法を構成したのである。
【０００７】また、第一光線を送り出す第一光線送出器
と、前記第一光線を被照射体へ照射するよう当該第一光
線のパスライン上に設けられ且つ当該第一光線の入射光
及び反射光と同軸をなす穴部が形成された第一反射板
と、この第一反射板で反射された前記第一光線の前記反
射光と同軸をなすよう前記第一反射板の前記穴部へ第二
光線を送り出す第二光線送出器と、同軸をなした前記第
一光線と前記第二光線との光束を前記被照射体上で焦点
が一致するよう集束させる集束レンズとを備えて、光線
の焦点合成装置を構成したのである。
と、前記第一光線を被照射体へ照射するよう当該第一光
線のパスライン上に設けられ且つ当該第一光線の入射光
及び反射光と同軸をなす穴部が形成された第一反射板
と、この第一反射板で反射された前記第一光線の前記反
射光と同軸をなすよう前記第一反射板の前記穴部へ第二
光線を送り出す第二光線送出器と、同軸をなした前記第
一光線と前記第二光線との光束を前記被照射体上で焦点
が一致するよう集束させる集束レンズとを備えて、光線
の焦点合成装置を構成したのである。
【０００８】
【作用】前述した構成による光線の焦点合成装置では、
第一光線送出器から送り出された第一光線が第一反射板
に入射すると、第一反射板に穴部が形成されているの
で、第一光線は、環状をなすように反射される。一方、
第二光線送出器から第二光線が送り出されると、第二光
線は、第一反射板の穴部を通り抜けるので、第一光線と
第二光線とは、同軸をなして進行する。この第一光線と
第二光線との光束が集束レンズを通過すると、同軸の光
束をなしているので、第一光線の焦点と第二光線の焦点
とは、常に一致する。
第一光線送出器から送り出された第一光線が第一反射板
に入射すると、第一反射板に穴部が形成されているの
で、第一光線は、環状をなすように反射される。一方、
第二光線送出器から第二光線が送り出されると、第二光
線は、第一反射板の穴部を通り抜けるので、第一光線と
第二光線とは、同軸をなして進行する。この第一光線と
第二光線との光束が集束レンズを通過すると、同軸の光
束をなしているので、第一光線の焦点と第二光線の焦点
とは、常に一致する。
【０００９】
【実施例】本発明による光線の焦点同調合成方法を用い
た光線の焦点同調合成装置をレーザビーム加工装置に応
用した場合の一実施例を図１、２に基づいて説明する。
なお、図１には、その概略構成を示し、図２には、その
主要部の拡大を示す。
た光線の焦点同調合成装置をレーザビーム加工装置に応
用した場合の一実施例を図１、２に基づいて説明する。
なお、図１には、その概略構成を示し、図２には、その
主要部の拡大を示す。
【００１０】これらの図に示すように、第一光線送出器
である第一レーザビーム発振器１が発振する第一光線で
ある第一レーザビーム１１のパスライン上には、入射光
に対して反射光が直交する方向となるよう第一レーザビ
ーム１１を反射する第一反射板３が設けられている。
である第一レーザビーム発振器１が発振する第一光線で
ある第一レーザビーム１１のパスライン上には、入射光
に対して反射光が直交する方向となるよう第一レーザビ
ーム１１を反射する第一反射板３が設けられている。
【００１１】第一反射板３には、図２に示すように、第
一レーザビーム１１の入射光及び反射光と同軸をなす穴
部３ａが形成されている。
一レーザビーム１１の入射光及び反射光と同軸をなす穴
部３ａが形成されている。
【００１２】つまり、第一レーザビーム発振器１から発
振された第一レーザビーム１１は、第一反射板３によ
り、入射光に対して直交する方向へ環状をなして反射さ
れると共に、第一反射板３の穴部３ａに対応する入射光
は、反射されずにそのまま直進するのである。
振された第一レーザビーム１１は、第一反射板３によ
り、入射光に対して直交する方向へ環状をなして反射さ
れると共に、第一反射板３の穴部３ａに対応する入射光
は、反射されずにそのまま直進するのである。
【００１３】この第一反射板３の穴部３ａを通り抜けた
第一レーザビーム１１は、そのパスライン上に設けられ
たビームダンパ５に吸収されるようになっている。
第一レーザビーム１１は、そのパスライン上に設けられ
たビームダンパ５に吸収されるようになっている。
【００１４】また、第二光線送出器である第二レーザビ
ーム発振器２が発振する第二光線である第二レーザビー
ム１２のパスライン上となる第一レーザビーム１１の反
射光の延長上には、入射光に対して反射光が直交する方
向となるよう第二レーザビーム１２を反射する第二反射
板４が設けられている。
ーム発振器２が発振する第二光線である第二レーザビー
ム１２のパスライン上となる第一レーザビーム１１の反
射光の延長上には、入射光に対して反射光が直交する方
向となるよう第二レーザビーム１２を反射する第二反射
板４が設けられている。
【００１５】つまり、第二レーザビーム発振器２から発
振された第二レーザビーム１２は、第二反射板４によ
り、環状をなす第二レーザビーム１２の中央部分で同軸
をなして進行するよう第一反射板３の穴部３ａへ送られ
るのである。
振された第二レーザビーム１２は、第二反射板４によ
り、環状をなす第二レーザビーム１２の中央部分で同軸
をなして進行するよう第一反射板３の穴部３ａへ送られ
るのである。
【００１６】第一反射板３及び第二反射板４でそれぞれ
反射されて同軸をなして進行する第一レーザビーム１１
及び第二レーザビーム１２のパスライン上には、内部に
集束レンズ６を同軸に取り付けた加工ノズル７が同軸を
なして設けられている。
反射されて同軸をなして進行する第一レーザビーム１１
及び第二レーザビーム１２のパスライン上には、内部に
集束レンズ６を同軸に取り付けた加工ノズル７が同軸を
なして設けられている。
【００１７】つまり、第一レーザビーム１１と第二レー
ザビーム１２とは、集束レンズ６により、焦点が一致す
るよう集束され、加工ノズル７の先端側に設けられた被
照射体であるワーク１０１上で合成されるのである。
ザビーム１２とは、集束レンズ６により、焦点が一致す
るよう集束され、加工ノズル７の先端側に設けられた被
照射体であるワーク１０１上で合成されるのである。
【００１８】このようなレーザビーム加工装置を用いて
ワークを加工するには、第一レーザビーム発振器１及び
第二レーザビーム発振器２を起動し、第一レーザビーム
１１及び第二レーザビーム１２を発振する。
ワークを加工するには、第一レーザビーム発振器１及び
第二レーザビーム発振器２を起動し、第一レーザビーム
１１及び第二レーザビーム１２を発振する。
【００１９】発振された第一レーザビーム１１は、第一
反射板３により、その一部が穴部３ａを通り抜けてビー
ムダンパ５に吸収され、その残りが環状に反射される。
発振された第二レーザビーム１２は、第二反射板４によ
り、環状の第一レーザビーム１１と同軸をなして進行す
るよう第一反射板３の穴部３ａへ向けて反射される。同
軸をなして進行する第一レーザビーム１１と第二レーザ
ビーム１２とは、集束レンズ６により、焦点が一致する
よう集束され、加工ノズル７の先端側からワーク１０１
の表面上で合成される。
反射板３により、その一部が穴部３ａを通り抜けてビー
ムダンパ５に吸収され、その残りが環状に反射される。
発振された第二レーザビーム１２は、第二反射板４によ
り、環状の第一レーザビーム１１と同軸をなして進行す
るよう第一反射板３の穴部３ａへ向けて反射される。同
軸をなして進行する第一レーザビーム１１と第二レーザ
ビーム１２とは、集束レンズ６により、焦点が一致する
よう集束され、加工ノズル７の先端側からワーク１０１
の表面上で合成される。
【００２０】これにより、ワーク１０１は、合成された
第一レーザビーム１１と第二レーザビーム１２により高
出力で加工されるのである。
第一レーザビーム１１と第二レーザビーム１２により高
出力で加工されるのである。
【００２１】従って、２つのレーザビーム発振器１、２
からそれぞれ発振されたレーザビーム１１、１２は、１
つの集束レンズ７で集束されるので、ワーク１０１の表
面上でレーザビームの焦点を容易に一致させることがで
きるのである。
からそれぞれ発振されたレーザビーム１１、１２は、１
つの集束レンズ７で集束されるので、ワーク１０１の表
面上でレーザビームの焦点を容易に一致させることがで
きるのである。
【００２２】また、他の実施例を図３に基づいて説明す
る。なお、図３には、その概略構造を示す。但し、前述
した実施例と同様な部分については、同一の符号を用い
て説明を省略する。
る。なお、図３には、その概略構造を示す。但し、前述
した実施例と同様な部分については、同一の符号を用い
て説明を省略する。
【００２３】図３に示すように、第一レーザビーム発振
器１の発振口部分は、リングモードに設定されている。
つまり、第一レーザビーム発振器１から発振される第一
レーザビーム１１は、発振時に既に環状をなして発振さ
れるのである。これにより、ビームダンパが不要となる
ばかりか、ビームダンパで吸収されていた分も第一反射
板３で反射されて、ワーク１０１の加工に用いられるの
で、より高出力でワーク１０１を加工することができ
る。
器１の発振口部分は、リングモードに設定されている。
つまり、第一レーザビーム発振器１から発振される第一
レーザビーム１１は、発振時に既に環状をなして発振さ
れるのである。これにより、ビームダンパが不要となる
ばかりか、ビームダンパで吸収されていた分も第一反射
板３で反射されて、ワーク１０１の加工に用いられるの
で、より高出力でワーク１０１を加工することができ
る。
【００２４】なお、本実施例では、二つのレーザビーム
発振器１、２からそれぞれ発振されるレーザビーム１
１、１２を合成したが、例えば、同軸をなして進行する
二本の光線は、一本の光束となっているので、この光束
を第一光線と見なせば、前述した実施例を応用すること
により、三本の光線を同様に合成することができる。こ
れにより、さらに高出力化を図りながらも、焦点の合成
は、一本の光線の場合と何ら変わりなく行うことができ
る。
発振器１、２からそれぞれ発振されるレーザビーム１
１、１２を合成したが、例えば、同軸をなして進行する
二本の光線は、一本の光束となっているので、この光束
を第一光線と見なせば、前述した実施例を応用すること
により、三本の光線を同様に合成することができる。こ
れにより、さらに高出力化を図りながらも、焦点の合成
は、一本の光線の場合と何ら変わりなく行うことができ
る。
【００２５】
【発明の効果】前述したように、本発明による光線の焦
点合成方法及びその焦点合成装置によると、環状をなす
よう反射された第一光線に同軸をなすよう第二光線を送
り出し、これらの光束を集束して焦点を合成するので、
光線毎にそれぞれ集束して焦点が一致するよう合成する
必要がなく、容易に光線の焦点を合成することができ
る。
点合成方法及びその焦点合成装置によると、環状をなす
よう反射された第一光線に同軸をなすよう第二光線を送
り出し、これらの光束を集束して焦点を合成するので、
光線毎にそれぞれ集束して焦点が一致するよう合成する
必要がなく、容易に光線の焦点を合成することができ
る。
【００２６】また、本発明をレーザビーム加工装置に応
用した場合には、ワークの被加工位置が徐々に深くなっ
ても、複数のレーザビームを一つの集束レンズで集束す
るので、容易に被加工部分に焦点を合わすことができ
る。さらに、違う波長のレーザビームを同軸で合成する
ことができるので、高出力化だけでなく、より精度の高
い加工を行うことができる。
用した場合には、ワークの被加工位置が徐々に深くなっ
ても、複数のレーザビームを一つの集束レンズで集束す
るので、容易に被加工部分に焦点を合わすことができ
る。さらに、違う波長のレーザビームを同軸で合成する
ことができるので、高出力化だけでなく、より精度の高
い加工を行うことができる。
【図１】本発明による光線の焦点合成装置をレーザビー
ム加工装置に応用した場合の一実施例の概略構成図であ
る。
ム加工装置に応用した場合の一実施例の概略構成図であ
る。
【図２】その主要部の拡大図である。
【図３】本発明による光線の焦点合成装置をレーザビー
ム加工装置に応用した場合の他の実施例の概略構成図で
ある。
ム加工装置に応用した場合の他の実施例の概略構成図で
ある。
【図４】従来のレーザビーム加工装置の概略構成図であ
る。
る。
１ 第一レーザビーム発振器 ２ 第二レーザビーム発振器 ３ 第一反射板 ３ｂ 穴部 ４ 第二反射板 ５ ビームダンパ ６ 集束レンズ ７ 加工ノズル １１ 第一レーザビーム １２ 第二レーザビーム １０１ ワーク
Claims (2)
- 【請求項１】 送り出された第一光線の進行方向に対し
て直交する方向の断面形状が環状をなすよう当該第一光
線を反射すると共に、前記第一光線の反射光と同軸をな
すよう第二光線を送り出し、これら同軸をなす前記第一
光線と第二光線との光束を集束して焦点を合成すること
を特徴とする光線の焦点合成方法。 - 【請求項２】 第一光線を送り出す第一光線送出器と、
前記第一光線を被照射体へ照射するよう当該第一光線の
パスライン上に設けられ且つ当該第一光線の入射光及び
反射光と同軸をなす穴部が形成された第一反射板と、こ
の第一反射板で反射された前記第一光線の前記反射光と
同軸をなすよう前記第一反射板の前記穴部へ第二光線を
送り出す第二光線送出器と、同軸をなした前記第一光線
と前記第二光線との光束を前記被照射体上で焦点が一致
するよう集束させる集束レンズとを備えたことを特徴と
する光線の焦点合成装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5148844A JPH0722685A (ja) | 1993-06-21 | 1993-06-21 | 光線の焦点合成方法及びその焦点合成装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5148844A JPH0722685A (ja) | 1993-06-21 | 1993-06-21 | 光線の焦点合成方法及びその焦点合成装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0722685A true JPH0722685A (ja) | 1995-01-24 |
Family
ID=15462005
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5148844A Withdrawn JPH0722685A (ja) | 1993-06-21 | 1993-06-21 | 光線の焦点合成方法及びその焦点合成装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0722685A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002331588A (ja) * | 2001-05-11 | 2002-11-19 | Honda Motor Co Ltd | レーザ溶着方法 |
| WO2006134729A1 (ja) * | 2005-06-15 | 2006-12-21 | Hamamatsu Photonics K.K. | レーザ装置 |
| US7605979B2 (en) | 2005-04-19 | 2009-10-20 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Device for directing radiation to a layer, apparatus with such device and method using such apparatus |
| CN102747214A (zh) * | 2012-06-29 | 2012-10-24 | 中国科学院力学研究所 | 一种多光路组合冲击强化*** |
| CN110587124A (zh) * | 2019-03-30 | 2019-12-20 | 苏州福唐智能科技有限公司 | 一种飞秒激光加工装置 |
| CN111224315A (zh) * | 2019-11-28 | 2020-06-02 | 山东华光光电子股份有限公司 | 一种金锡工艺的ld红光to激光器封装方法 |
| CN114523207A (zh) * | 2022-03-02 | 2022-05-24 | 河北科技大学 | 激光焊接装置、激光焊接设备及激光焊接方法 |
-
1993
- 1993-06-21 JP JP5148844A patent/JPH0722685A/ja not_active Withdrawn
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002331588A (ja) * | 2001-05-11 | 2002-11-19 | Honda Motor Co Ltd | レーザ溶着方法 |
| JP4731040B2 (ja) * | 2001-05-11 | 2011-07-20 | 本田技研工業株式会社 | レーザ溶着方法 |
| US7605979B2 (en) | 2005-04-19 | 2009-10-20 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Device for directing radiation to a layer, apparatus with such device and method using such apparatus |
| WO2006134729A1 (ja) * | 2005-06-15 | 2006-12-21 | Hamamatsu Photonics K.K. | レーザ装置 |
| US7764432B2 (en) | 2005-06-15 | 2010-07-27 | Hamamatsu Photonics K.K. | Laser equipment |
| CN102747214A (zh) * | 2012-06-29 | 2012-10-24 | 中国科学院力学研究所 | 一种多光路组合冲击强化*** |
| CN110587124A (zh) * | 2019-03-30 | 2019-12-20 | 苏州福唐智能科技有限公司 | 一种飞秒激光加工装置 |
| CN111224315A (zh) * | 2019-11-28 | 2020-06-02 | 山东华光光电子股份有限公司 | 一种金锡工艺的ld红光to激光器封装方法 |
| CN114523207A (zh) * | 2022-03-02 | 2022-05-24 | 河北科技大学 | 激光焊接装置、激光焊接设备及激光焊接方法 |
| CN114523207B (zh) * | 2022-03-02 | 2024-03-29 | 河北科技大学 | 激光焊接方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6875951B2 (en) | Laser machining device | |
| JPH04231190A (ja) | 亜鉛メッキ鋼板のレーザ溶接方法と装置 | |
| US3972599A (en) | Method and apparatus for focussing laser beams | |
| KR100491558B1 (ko) | 광 조사 장치와 광 조사 방법 | |
| JPH0722685A (ja) | 光線の焦点合成方法及びその焦点合成装置 | |
| JPS58159514A (ja) | レ−ザビ−ム空間分布形成方法 | |
| KR20010040140A (ko) | 레이저 가공 장치 및 레이저 가공 방법 | |
| JPH0436794B2 (ja) | ||
| JP2009039732A (ja) | レーザ加工装置 | |
| JP2001287071A (ja) | レーザ加工装置 | |
| JP2004230466A (ja) | レーザ加工装置 | |
| JP2000275569A (ja) | ビームモード変換光学系 | |
| JPH02284782A (ja) | 波長の異なるレーザの集光方法 | |
| JP3177775B2 (ja) | 光合成方法及び合成出射光学系 | |
| JP2005186099A (ja) | レーザ加工装置およびレーザ加工方法 | |
| JPH01233085A (ja) | レーザ溶接方法 | |
| JP2002035980A (ja) | レーザ加工装置及びレーザ加工方法、並びにレーザ発振器 | |
| JPH09122950A (ja) | 複合溶接ヘッド | |
| JPH05138385A (ja) | レーザ加工方法及びその装置 | |
| JP2001205469A (ja) | レーザ出射光学系 | |
| JPH03184687A (ja) | レーザ加工装置 | |
| JP3716179B2 (ja) | レーザ装置 | |
| JP2002001565A (ja) | レーザ加工装置 | |
| JPS58122195A (ja) | レ−ザ加工方法 | |
| JPS5930494A (ja) | レ−ザ加工装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20000905 |