JPH0722018B2 - 黒鉛電極の製造方法 - Google Patents
黒鉛電極の製造方法Info
- Publication number
- JPH0722018B2 JPH0722018B2 JP63051821A JP5182188A JPH0722018B2 JP H0722018 B2 JPH0722018 B2 JP H0722018B2 JP 63051821 A JP63051821 A JP 63051821A JP 5182188 A JP5182188 A JP 5182188A JP H0722018 B2 JPH0722018 B2 JP H0722018B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- graphite
- electrode
- layer
- deposited
- iron group
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01M—PROCESSES OR MEANS, e.g. BATTERIES, FOR THE DIRECT CONVERSION OF CHEMICAL ENERGY INTO ELECTRICAL ENERGY
- H01M4/00—Electrodes
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/22—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
- C23C16/26—Deposition of carbon only
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01M—PROCESSES OR MEANS, e.g. BATTERIES, FOR THE DIRECT CONVERSION OF CHEMICAL ENERGY INTO ELECTRICAL ENERGY
- H01M4/00—Electrodes
- H01M4/86—Inert electrodes with catalytic activity, e.g. for fuel cells
- H01M4/96—Carbon-based electrodes
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E60/00—Enabling technologies; Technologies with a potential or indirect contribution to GHG emissions mitigation
- Y02E60/30—Hydrogen technology
- Y02E60/50—Fuel cells
Description
【発明の詳細な説明】 （イ）産業上の利用分野 本発明は黒鉛電極の製造方法に関する。さらに詳しく
は、小型化、薄型化指向の各種電子機器の電源に適した
薄型電池用黒鉛電極が効率良く製造できる黒鉛電極の製
造方法に関する。
は、小型化、薄型化指向の各種電子機器の電源に適した
薄型電池用黒鉛電極が効率良く製造できる黒鉛電極の製
造方法に関する。
（ロ）従来の技術 従来、薄型電池等の黒鉛電極の製造に際し、鉄族元素
が、種々の炭化水素化合物の熱分解反応に対する解媒作
用を有し、更に炭素の黒鉛化を促進する働きを持つた
め、熱分解法で黒鉛を堆積する場合の基材として用いら
れている。しかし、例えば通常の板状体のように比表面
積の小さな形態のものである場合には実用上必要とする
だけ速い黒鉛堆積速度は得られず、網状体を用いても充
分に改善されない。そこで、比表面積の大きな発泡メタ
ルが専ら基材として用いられ、例えば発泡ニッケル上に
黒鉛を熱分解により気相成長させる方法が知られてい
る。
が、種々の炭化水素化合物の熱分解反応に対する解媒作
用を有し、更に炭素の黒鉛化を促進する働きを持つた
め、熱分解法で黒鉛を堆積する場合の基材として用いら
れている。しかし、例えば通常の板状体のように比表面
積の小さな形態のものである場合には実用上必要とする
だけ速い黒鉛堆積速度は得られず、網状体を用いても充
分に改善されない。そこで、比表面積の大きな発泡メタ
ルが専ら基材として用いられ、例えば発泡ニッケル上に
黒鉛を熱分解により気相成長させる方法が知られてい
る。
（ハ）発明が解決しようとする課題 しかし、このような従来の黒鉛電極の製造法では、発泡
メタルの比表面積のばらつきが大きいために、その表面
への黒鉛の堆積量の制御が難しい。従って得られる黒鉛
電極の特性にばらつきが大きくなるという実用上の支障
をきたす。
メタルの比表面積のばらつきが大きいために、その表面
への黒鉛の堆積量の制御が難しい。従って得られる黒鉛
電極の特性にばらつきが大きくなるという実用上の支障
をきたす。
また、この発泡ニッケルの表面に黒鉛を能率よく成長さ
せるためには、発泡メタルがある程度の総表面積を有し
ている必要があるため少なくとも1mm以上の厚さを有し
ている必要がある。従って、最終的に薄型電極を得るに
は、これをプレスして所定の厚さにする必要があり、し
かもこのプレス工程で成長した黒鉛層の破壊や脱落が起
こるため、電極容量が低下してしまうという問題点があ
った。
せるためには、発泡メタルがある程度の総表面積を有し
ている必要があるため少なくとも1mm以上の厚さを有し
ている必要がある。従って、最終的に薄型電極を得るに
は、これをプレスして所定の厚さにする必要があり、し
かもこのプレス工程で成長した黒鉛層の破壊や脱落が起
こるため、電極容量が低下してしまうという問題点があ
った。
この発明は前記の課題を解決するすべくなされたもので
あり、電極容量が高く、しかも厚さが1mm以下の黒鉛電
極を簡単に能率よく製造できる方法を提供するものであ
る。
あり、電極容量が高く、しかも厚さが1mm以下の黒鉛電
極を簡単に能率よく製造できる方法を提供するものであ
る。
（ニ）課題を解決するための手段 上記観点から本発明者らは鋭意研究を行なった結果、電
極基材上に形成させる通常の黒鉛の粒子よりも大きな粒
径を有する黒鉛球状微細粒子の堆積層を該基材上に形成
させこの堆積層を鉄族元素等の金属薄膜で被覆して形成
した微細な凹凸状面上に熱分解CVD法で通常の黒鉛層を
形成させることにより、この黒鉛層の堆積速度が著しく
向上する事実を見出し、この発明に到達した。
極基材上に形成させる通常の黒鉛の粒子よりも大きな粒
径を有する黒鉛球状微細粒子の堆積層を該基材上に形成
させこの堆積層を鉄族元素等の金属薄膜で被覆して形成
した微細な凹凸状面上に熱分解CVD法で通常の黒鉛層を
形成させることにより、この黒鉛層の堆積速度が著しく
向上する事実を見出し、この発明に到達した。
かくしてこの発明によれば、（ａ）電極基材上に熱分解
CVD法により黒鉛球状微細粒子を堆積して黒鉛層を形成
した後、（ｂ）その黒鉛層上に、鉄族元素又は鉄族元素
の合金からなる金属膜を形成し、かつこの金属膜上へ熱
分解CVD法により黒鉛層を形成する工程を１又は複数回
行って、（ｃ）厚さが1mm以下の黒鉛層が形成された電
極を得ることを特徴とする黒鉛電極の製造方法が提供さ
れる。
CVD法により黒鉛球状微細粒子を堆積して黒鉛層を形成
した後、（ｂ）その黒鉛層上に、鉄族元素又は鉄族元素
の合金からなる金属膜を形成し、かつこの金属膜上へ熱
分解CVD法により黒鉛層を形成する工程を１又は複数回
行って、（ｃ）厚さが1mm以下の黒鉛層が形成された電
極を得ることを特徴とする黒鉛電極の製造方法が提供さ
れる。
この発明においては、電極基材上にまず黒鉛球状微細粒
子の堆積層を形成させる。電極基材としては、導電性材
料であればよいが、この中でも、鉄族元素又は鉄族元素
の合金例えばステンレス、フェロアロイ、モネルメタ
ル、パーマロイ、Ni−Mo系合金、Fe−Co系合金、超耐熱
合金、Co−Ni系合金、Co−Cr−Ｗ−Mo合金等は炭化水素
化合物の熱分解反応に対する触媒作用を有し、更に炭素
の黒鉛化を促進するので好ましい。電極基材の形状は製
造する電極の形状によって種々のものが採用され、例え
ば板状体、棒状体、箔または網状体等があり、場合によ
っては焼結や発泡等によって得られた多孔体例えば発泡
メタルを用いてもよい。
子の堆積層を形成させる。電極基材としては、導電性材
料であればよいが、この中でも、鉄族元素又は鉄族元素
の合金例えばステンレス、フェロアロイ、モネルメタ
ル、パーマロイ、Ni−Mo系合金、Fe−Co系合金、超耐熱
合金、Co−Ni系合金、Co−Cr−Ｗ−Mo合金等は炭化水素
化合物の熱分解反応に対する触媒作用を有し、更に炭素
の黒鉛化を促進するので好ましい。電極基材の形状は製
造する電極の形状によって種々のものが採用され、例え
ば板状体、棒状体、箔または網状体等があり、場合によ
っては焼結や発泡等によって得られた多孔体例えば発泡
メタルを用いてもよい。
この発明における黒鉛球状微細粒子とは、１〜10μｍ程
度の比較的球径が大きな黒鉛粒子を意味し、この堆積層
はかかる黒鉛粒子の単層からなるものであってもよい。
かかる黒鉛球状粒子の堆積層は、例えばベンゼン、プロ
パン等の炭化水素の熱分解CVD法を用いて形成でき、こ
とに、熱分解CVD法における原料炭化水素の濃度を大き
くしかつその供給速度を小さくすることにより形成でき
る。例えば通常の熱分解CVD装置を用いて分子量150以下
の炭化水素を原料ガスとする場合、炭化水素供給速度0.
005〜1.5モル／時間、分子数密度1.3×1022〜2.6×1022
分子/l、流速0.3〜10cm/分、熱分解温度450〜1300℃好
ましくは700〜1200℃の条件で数μｍ程度の黒鉛粒子の
堆積層を効率良く形成することができる。
度の比較的球径が大きな黒鉛粒子を意味し、この堆積層
はかかる黒鉛粒子の単層からなるものであってもよい。
かかる黒鉛球状粒子の堆積層は、例えばベンゼン、プロ
パン等の炭化水素の熱分解CVD法を用いて形成でき、こ
とに、熱分解CVD法における原料炭化水素の濃度を大き
くしかつその供給速度を小さくすることにより形成でき
る。例えば通常の熱分解CVD装置を用いて分子量150以下
の炭化水素を原料ガスとする場合、炭化水素供給速度0.
005〜1.5モル／時間、分子数密度1.3×1022〜2.6×1022
分子/l、流速0.3〜10cm/分、熱分解温度450〜1300℃好
ましくは700〜1200℃の条件で数μｍ程度の黒鉛粒子の
堆積層を効率良く形成することができる。
次いで該黒鉛球状微細粒子堆積層上に鉄族元素又は鉄族
元素の合金からなる金属膜の形成とこの金属膜上への黒
鉛層の形成との組合わせによる黒鉛積層工程が１又は複
数回行なわれる。鉄族元素又は鉄族の合金から成る金属
膜の形成工程は黒鉛球状微細粒子堆積層上に鉄族元素又
は鉄族の合金、例えばフェロアロイ、モネルメタル、パ
ーマロイ、Ni−Mo系合金、Fe−Co系合金、Co−Ni系合
金、Co−Cr−Ｗ−Mo合金等を、例えばメッキ、蒸着又は
スパッタリングによって行われ、通常膜厚約１〜10μｍ
に形成するのが適している。
元素の合金からなる金属膜の形成とこの金属膜上への黒
鉛層の形成との組合わせによる黒鉛積層工程が１又は複
数回行なわれる。鉄族元素又は鉄族の合金から成る金属
膜の形成工程は黒鉛球状微細粒子堆積層上に鉄族元素又
は鉄族の合金、例えばフェロアロイ、モネルメタル、パ
ーマロイ、Ni−Mo系合金、Fe−Co系合金、Co−Ni系合
金、Co−Cr−Ｗ−Mo合金等を、例えばメッキ、蒸着又は
スパッタリングによって行われ、通常膜厚約１〜10μｍ
に形成するのが適している。
この金属膜上への黒鉛層の形成は前述と同様に、熱分解
CVD法で行うのが適しているが、前記した黒鉛微細粒子
層の形成条件にとくに制限されず、電極活物質として良
好な特性を示す黒鉛層が形成できる一般的な条件が種々
適用できる。例えば、分子量150以下の炭化水素化合物
を用いた場合、炭化水素供給速度0.005〜15モル／時
間、分子数密度0.5×1021〜2.6×1022分子/l、流速0.3
〜70cm/分、熱分解温度450〜1300℃（好ましくは700〜1
200℃）の条件下で効率良く形成することができる。た
だし、上記黒鉛堆積工程を複数回行う場合、最外層の下
地となる前段で形成する黒鉛層は前述した黒鉛微細粒子
の形成条件で行うのが堆積速度の向上の点で好ましい。
CVD法で行うのが適しているが、前記した黒鉛微細粒子
層の形成条件にとくに制限されず、電極活物質として良
好な特性を示す黒鉛層が形成できる一般的な条件が種々
適用できる。例えば、分子量150以下の炭化水素化合物
を用いた場合、炭化水素供給速度0.005〜15モル／時
間、分子数密度0.5×1021〜2.6×1022分子/l、流速0.3
〜70cm/分、熱分解温度450〜1300℃（好ましくは700〜1
200℃）の条件下で効率良く形成することができる。た
だし、上記黒鉛堆積工程を複数回行う場合、最外層の下
地となる前段で形成する黒鉛層は前述した黒鉛微細粒子
の形成条件で行うのが堆積速度の向上の点で好ましい。
上記黒鉛積層工程は、意図する黒鉛の担持量、電極厚み
等に応じて１又は複数回行う。例えば、特に薄い黒鉛電
極を製造するときはこの黒鉛積層工程は１回行ない、黒
鉛の堆積量を多く必要とする黒鉛電極を製造するときは
所定量の黒鉛が堆積されるまでこの黒鉛積層工程はくり
返し複数回行う。
等に応じて１又は複数回行う。例えば、特に薄い黒鉛電
極を製造するときはこの黒鉛積層工程は１回行ない、黒
鉛の堆積量を多く必要とする黒鉛電極を製造するときは
所定量の黒鉛が堆積されるまでこの黒鉛積層工程はくり
返し複数回行う。
上記黒鉛積層工程を１回行って製造された黒鉛電極の模
式図を第２図に示す。図中、４は基材、８は黒鉛球状粒
子の堆積層、９は鉄族元素または鉄族元素の合金の膜、
10は黒鉛の堆積層である。
式図を第２図に示す。図中、４は基材、８は黒鉛球状粒
子の堆積層、９は鉄族元素または鉄族元素の合金の膜、
10は黒鉛の堆積層である。
（ホ）作用 電極基材上に形成される黒鉛球状微細粒子の堆積層は多
数の凹凸表面を有するものであり、それによりこの堆積
層上に被覆される金属膜は著しく増加された表面積を有
するものとなる。そしてこの表面積の増加に基づいて、
基材の形状にかわらず、黒鉛層の堆積速度を著しく向上
できると考えられ、例えば条件により堆積速度を従来の
10〜15倍程度まで上昇させることができる。
数の凹凸表面を有するものであり、それによりこの堆積
層上に被覆される金属膜は著しく増加された表面積を有
するものとなる。そしてこの表面積の増加に基づいて、
基材の形状にかわらず、黒鉛層の堆積速度を著しく向上
できると考えられ、例えば条件により堆積速度を従来の
10〜15倍程度まで上昇させることができる。
（ヘ）実施例 実施例１ 第１図は本発明の実施例に用いられる熱分解CVD装置の
概略図である。加熱炉１の中を貫通した真空装置７にの
びる排気口６と炭化水素供給口５を有する反応管２の中
に反応台３を設け、その上に電極基材として大きさが10
mm×10mm、厚さ100μｍのニッケル金網４を置き、反応
管内を加熱した。次に反応管２の中へベンゼンを、供給
速度0.15モル／時間、流速0.7cm/分、分子数密度1.5×1
022分子/lとなるように供給してニッケル金網からなる
基材４の上へベンゼンの熱分解CVDにより黒鉛を堆積さ
せ、この堆積を約10分間行うことにより、第３図の顕微
鏡写真のスケッチで示すように、ニッケル金網４の上に
直径１〜３μｍ程度の黒鉛球状微細粒子の堆積層を形成
した。
概略図である。加熱炉１の中を貫通した真空装置７にの
びる排気口６と炭化水素供給口５を有する反応管２の中
に反応台３を設け、その上に電極基材として大きさが10
mm×10mm、厚さ100μｍのニッケル金網４を置き、反応
管内を加熱した。次に反応管２の中へベンゼンを、供給
速度0.15モル／時間、流速0.7cm/分、分子数密度1.5×1
022分子/lとなるように供給してニッケル金網からなる
基材４の上へベンゼンの熱分解CVDにより黒鉛を堆積さ
せ、この堆積を約10分間行うことにより、第３図の顕微
鏡写真のスケッチで示すように、ニッケル金網４の上に
直径１〜３μｍ程度の黒鉛球状微細粒子の堆積層を形成
した。
次に、この黒鉛球状微細粒子の堆積層の上にニッケルを
厚さ８μｍになるように常法により蒸着してニッケル膜
を形成した後、前記黒鉛球状微細粒子の堆積層を形成条
件における、供給速度0.15モル／時間を1.5モル／時間
に、流速0.7cm/分を1.5cm/分に、分子数密度1.5×1022
分子/lを1.0×1022分子/l、反応管内温度900℃を950℃
にそれぞれ変更し、この他は前記黒鉛球状微細粒子の堆
積層を形成した条件と同様にして20分間黒鉛の堆積を行
ったところ、10mgの黒鉛堆積層を成長させることができ
た。この際の平均黒鉛堆積速度は20mg/時間と著しく速
いものであった。このようにして得られた黒鉛電極の厚
さは0.12mmで薄いものであった。
厚さ８μｍになるように常法により蒸着してニッケル膜
を形成した後、前記黒鉛球状微細粒子の堆積層を形成条
件における、供給速度0.15モル／時間を1.5モル／時間
に、流速0.7cm/分を1.5cm/分に、分子数密度1.5×1022
分子/lを1.0×1022分子/l、反応管内温度900℃を950℃
にそれぞれ変更し、この他は前記黒鉛球状微細粒子の堆
積層を形成した条件と同様にして20分間黒鉛の堆積を行
ったところ、10mgの黒鉛堆積層を成長させることができ
た。この際の平均黒鉛堆積速度は20mg/時間と著しく速
いものであった。このようにして得られた黒鉛電極の厚
さは0.12mmで薄いものであった。
実施例２ 実施例１において、ニッケル金網の上に黒鉛球状微粒子
の堆積層を形成させた後、ニッケルを電気メッキする以
外は実施例１と同様にして行ったところ平均黒鉛成長速
度、電極の厚さは実施例１の場合とほぼ同じ良好な値が
得られた。
の堆積層を形成させた後、ニッケルを電気メッキする以
外は実施例１と同様にして行ったところ平均黒鉛成長速
度、電極の厚さは実施例１の場合とほぼ同じ良好な値が
得られた。
実施例３ 実施例１において、電極基材を厚さ100μｍのニッケル
金網の代わりに厚さ50μｍの鉄箔に、ベンゼンの代わり
にプロパンに、電極基材上に形成する黒鉛球状微細粒子
の堆積層形成時の、反応管内温度を900℃の代わりに950
℃に、分子数密度1.5×1022分子/lの代わりに2.3×1022
分子/lに、堆積時間約10分を約15分に変更しこの他は実
施例１と同様にして行ったところ10mgの黒鉛堆積層を形
成させることができ、平均黒鉛堆積速度は13mg/時間で
速かった。電極の厚さは0.07mmで薄いものであった。
金網の代わりに厚さ50μｍの鉄箔に、ベンゼンの代わり
にプロパンに、電極基材上に形成する黒鉛球状微細粒子
の堆積層形成時の、反応管内温度を900℃の代わりに950
℃に、分子数密度1.5×1022分子/lの代わりに2.3×1022
分子/lに、堆積時間約10分を約15分に変更しこの他は実
施例１と同様にして行ったところ10mgの黒鉛堆積層を形
成させることができ、平均黒鉛堆積速度は13mg/時間で
速かった。電極の厚さは0.07mmで薄いものであった。
比較例１ 実施例１において、電極基材上に黒鉛層を堆積させると
きの供給速度0.15モル／時間を1.5モル／時間に、流速
0.7cm/分を1.5cm/分に、分子密度1.5×1022分子/lを1.0
×1022分子/lに、反応管内温度900℃を950℃に、黒鉛層
の堆積時間10分を10時間に変更して行い、その上へのニ
ッケルの蒸着を行わなかったところ黒鉛層の堆積量は10
mgであり、平均黒鉛堆積速度は1mg/時間で遅く、実用的
ではなかった。
きの供給速度0.15モル／時間を1.5モル／時間に、流速
0.7cm/分を1.5cm/分に、分子密度1.5×1022分子/lを1.0
×1022分子/lに、反応管内温度900℃を950℃に、黒鉛層
の堆積時間10分を10時間に変更して行い、その上へのニ
ッケルの蒸着を行わなかったところ黒鉛層の堆積量は10
mgであり、平均黒鉛堆積速度は1mg/時間で遅く、実用的
ではなかった。
比較例２ 実施例１において、電極基材をニッケル金網の代わりに
大きさが10mm×10mm厚さ2.0mmの発泡ニッケルに、電極
基材上に黒鉛層を堆積させるときの供給速度0.15モル／
時間を1.5モル／時間に、流速0.7cm/分を1.5cm/分に、
分子密度1.5×1022分子/lを1.0×1022分子/lに、反応管
内温度900℃を950℃に、黒鉛層の堆積時間10分を30分間
に変更して行い、その上へのニッケルの蒸着を行わなか
ったところ黒鉛層の堆積量は10mgであり、平均黒鉛堆積
速度は20mg/時間で速かったが、厚さは3.2mmもあり、薄
型電極を製造するため厚さが0.2mmになるようにプレス
で成形したところ、黒鉛堆積層が破壊して脱落が発生し
た。
大きさが10mm×10mm厚さ2.0mmの発泡ニッケルに、電極
基材上に黒鉛層を堆積させるときの供給速度0.15モル／
時間を1.5モル／時間に、流速0.7cm/分を1.5cm/分に、
分子密度1.5×1022分子/lを1.0×1022分子/lに、反応管
内温度900℃を950℃に、黒鉛層の堆積時間10分を30分間
に変更して行い、その上へのニッケルの蒸着を行わなか
ったところ黒鉛層の堆積量は10mgであり、平均黒鉛堆積
速度は20mg/時間で速かったが、厚さは3.2mmもあり、薄
型電極を製造するため厚さが0.2mmになるようにプレス
で成形したところ、黒鉛堆積層が破壊して脱落が発生し
た。
（ト）発明の効果 この発明の黒鉛電極の製造法によれば、板状、棒状、箔
状、金網状等の表面積が小さな電極基材上に、高堆積速
度で黒鉛層を担持させることができる。従って、従来の
ごとく発泡メタルをとくに用いることなく容量が高い黒
鉛電極を効率良く製造することができる。さらに、発泡
メタルを用いる必要がないため、プレス工程を行うこと
なく厚さ1mm以下の薄型電極を簡便に製造することがで
きると共に特性のばらつきやプレス工程での黒鉛の脱落
による容量低下を防止することができる。
状、金網状等の表面積が小さな電極基材上に、高堆積速
度で黒鉛層を担持させることができる。従って、従来の
ごとく発泡メタルをとくに用いることなく容量が高い黒
鉛電極を効率良く製造することができる。さらに、発泡
メタルを用いる必要がないため、プレス工程を行うこと
なく厚さ1mm以下の薄型電極を簡便に製造することがで
きると共に特性のばらつきやプレス工程での黒鉛の脱落
による容量低下を防止することができる。
第１図は本発明の実施例に用いられる装置の概略図であ
る。第２図はこの発明の実施例によって得られた黒鉛電
極の模式的断面図である。第３図はこの発明の実施例に
よって得られたニッケル金網の上に成長した黒鉛球状微
細粒子の堆積層表面の拡大斜視図（顕微鏡写真のスケッ
チで、白色帯状部は光の反射によるもの）である。 １……加熱炉、２……反応管、３……反応台、４……基
材、５……炭化水素供給口、６……排気口、７……真空
装置、８……黒鉛球状微細粒子の堆積層、９……鉄族元
素または鉄族元素の合金の膜、10……黒鉛の堆積層。
る。第２図はこの発明の実施例によって得られた黒鉛電
極の模式的断面図である。第３図はこの発明の実施例に
よって得られたニッケル金網の上に成長した黒鉛球状微
細粒子の堆積層表面の拡大斜視図（顕微鏡写真のスケッ
チで、白色帯状部は光の反射によるもの）である。 １……加熱炉、２……反応管、３……反応台、４……基
材、５……炭化水素供給口、６……排気口、７……真空
装置、８……黒鉛球状微細粒子の堆積層、９……鉄族元
素または鉄族元素の合金の膜、10……黒鉛の堆積層。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 吉田 勝 大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号 シ ャープ株式会社内 (56)参考文献 特開 昭63−24555（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−163261（ＪＰ，Ａ)
Claims (1)
- 【請求項１】（ａ）電極基材上に熱分解CVD法により黒
鉛球状微細粒子を堆積して黒鉛層を形成した後、 （ｂ）その黒鉛層上に、鉄族元素又は鉄族元素の合金か
らなる金属膜を形成し、かつこの金属膜上へ熱分解CVD
法により黒鉛層を形成する工程を１又は複数回行って、 （ｃ）厚さが1mm以下の黒鉛層が形成された電極を得る
ことを特徴とする黒鉛電極の製造方法。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63051821A JPH0722018B2 (ja) | 1988-03-04 | 1988-03-04 | 黒鉛電極の製造方法 |
| US07/318,339 US5068126A (en) | 1988-03-04 | 1989-03-03 | Process for producing graphite electrodes |
| EP89302187A EP0334501B1 (en) | 1988-03-04 | 1989-03-03 | Process for producing graphite electrodes |
| DE8989302187T DE68900844D1 (de) | 1988-03-04 | 1989-03-03 | Verfahren zur herstellung von graphitelektroden. |
| US07/738,615 US5169508A (en) | 1988-03-04 | 1991-07-31 | Graphite electrode |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63051821A JPH0722018B2 (ja) | 1988-03-04 | 1988-03-04 | 黒鉛電極の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01227354A JPH01227354A (ja) | 1989-09-11 |
| JPH0722018B2 true JPH0722018B2 (ja) | 1995-03-08 |
Family
ID=12897559
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63051821A Expired - Fee Related JPH0722018B2 (ja) | 1988-03-04 | 1988-03-04 | 黒鉛電極の製造方法 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5068126A (ja) |
| EP (1) | EP0334501B1 (ja) |
| JP (1) | JPH0722018B2 (ja) |
| DE (1) | DE68900844D1 (ja) |
Families Citing this family (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2999085B2 (ja) * | 1992-02-04 | 2000-01-17 | シャープ株式会社 | 炭素複合体電極材料およびその炭素複合体電極材料の製造方法 |
| US5776610A (en) * | 1993-02-03 | 1998-07-07 | Sharp Kabushiki Kaisha | Carbon composite electrode material and method of making thereof |
| US5387479A (en) * | 1993-06-16 | 1995-02-07 | Valence Technology, Inc. | Electrodes for rechargeable lithium batteries |
| US6153327A (en) * | 1995-03-03 | 2000-11-28 | Southwest Research Institute | Amorphous carbon comprising a catalyst |
| US6159533A (en) * | 1997-09-11 | 2000-12-12 | Southwest Research Institute | Method of depositing a catalyst on a fuel cell electrode |
| JP3044683B2 (ja) * | 1995-03-17 | 2000-05-22 | 科学技術振興事業団 | グラファイト層の形成方法、該方法によって形成されたグラファイト層を有するｘ線光学素子及びｘ線光学素子の製造方法 |
| AU3137097A (en) | 1996-05-16 | 1997-12-05 | Lockheed Martin Energy Systems, Inc. | Low temperature material bonding technique |
| US6610436B1 (en) * | 1998-09-11 | 2003-08-26 | Gore Enterprise Holdings | Catalytic coatings and fuel cell electrodes and membrane electrode assemblies made therefrom |
| US6287717B1 (en) | 1998-11-13 | 2001-09-11 | Gore Enterprise Holdings, Inc. | Fuel cell membrane electrode assemblies with improved power outputs |
| US6300000B1 (en) | 1999-06-18 | 2001-10-09 | Gore Enterprise Holdings | Fuel cell membrane electrode assemblies with improved power outputs and poison resistance |
| KR101501599B1 (ko) | 2008-10-27 | 2015-03-11 | 삼성전자주식회사 | 그라펜 시트로부터 탄소화 촉매를 제거하는 방법 및 그라펜시트의 전사 방법 |
| US10989575B1 (en) * | 2020-09-08 | 2021-04-27 | King Abdulaziz University | Multifunctional pressure, displacement and temperature gradient sensor |
Family Cites Families (24)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US1897933A (en) * | 1928-08-02 | 1933-02-14 | Peoples Gas By Products Corp | Electrode for electron discharge tubes and method of forming the same |
| US3320093A (en) * | 1963-04-01 | 1967-05-16 | Air Prod & Chem | Method of forming a carbon containing fuel cell electrode |
| US3676179A (en) * | 1968-10-03 | 1972-07-11 | Gulf Oil Corp | Coated article and method for making same |
| FR1599959A (ja) * | 1968-12-23 | 1970-07-20 | ||
| US3769084A (en) * | 1968-12-25 | 1973-10-30 | Hitachi Ltd | Method for forming carbon coating and composite article with a carbonaceous coating thereon |
| US3725110A (en) * | 1969-11-13 | 1973-04-03 | Ducommun Inc | Process of coating articles with pyrolytic graphite and coated articles made in accordance with the process |
| GB1388172A (en) * | 1972-03-22 | 1975-03-26 | De Beers Ind Diamond | Metal coating of diamonds |
| US3969130A (en) * | 1973-02-05 | 1976-07-13 | General Atomic Company | Carbon-coated articles and method of making same |
| FR2236281A1 (ja) * | 1973-06-19 | 1975-01-31 | Bonnemay Maurice | |
| US3944686A (en) * | 1974-06-19 | 1976-03-16 | Pfizer Inc. | Method for vapor depositing pyrolytic carbon on porous sheets of carbon material |
| US4137373A (en) * | 1977-11-23 | 1979-01-30 | United Technologies Corporation | Platinum catalyst and method for making |
| GB2031954B (en) * | 1978-09-18 | 1983-02-09 | Secr Defence | Methods of forming pyrolitic carbon coatings |
| JPS5779169A (en) * | 1980-11-06 | 1982-05-18 | Sumitomo Electric Ind Ltd | Physical vapor deposition method |
| JPS5939527A (ja) * | 1982-08-30 | 1984-03-03 | Alps Electric Co Ltd | プラスチツクレンズ |
| SE442305B (sv) * | 1984-06-27 | 1985-12-16 | Santrade Ltd | Forfarande for kemisk gasutfellning (cvd) for framstellning av en diamantbelagd sammansatt kropp samt anvendning av kroppen |
| US4645713A (en) * | 1985-01-25 | 1987-02-24 | Agency Of Industrial Science & Technology | Method for forming conductive graphite film and film formed thereby |
| JPS62163261A (ja) * | 1986-01-10 | 1987-07-20 | Kuraray Co Ltd | 高導電性電極の製法 |
| JPH0756795B2 (ja) * | 1986-05-30 | 1995-06-14 | シャープ株式会社 | 非水系二次電池用電極 |
| US4863814A (en) * | 1986-03-27 | 1989-09-05 | Sharp Kabushiki Kaisha | Electrode and a battery with the same |
| JP2556840B2 (ja) * | 1986-03-27 | 1996-11-27 | シャープ株式会社 | 非水リチウム２次電池用負極 |
| US4863818A (en) * | 1986-06-24 | 1989-09-05 | Sharp Kabushiki Kaisha | Graphite intercalation compound electrodes for rechargeable batteries and a method for the manufacture of the same |
| JPH0815074B2 (ja) * | 1986-11-11 | 1996-02-14 | シャープ株式会社 | 炭素体電極の製造方法 |
| JPH0712924B2 (ja) * | 1987-03-17 | 1995-02-15 | シャープ株式会社 | 鉄族元素またはそれを含む合金を含有する粉末状高結晶性黒鉛 |
| KR890001484A (ko) * | 1987-07-08 | 1989-03-27 | 존 에스. 캠벨 | 방 수 화 |
-
1988
- 1988-03-04 JP JP63051821A patent/JPH0722018B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1989
- 1989-03-03 DE DE8989302187T patent/DE68900844D1/de not_active Expired - Lifetime
- 1989-03-03 EP EP89302187A patent/EP0334501B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1989-03-03 US US07/318,339 patent/US5068126A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0334501B1 (en) | 1992-02-26 |
| DE68900844D1 (de) | 1992-04-02 |
| EP0334501A1 (en) | 1989-09-27 |
| JPH01227354A (ja) | 1989-09-11 |
| US5068126A (en) | 1991-11-26 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0433507B1 (en) | Producing isotropically reinforced net-shape microcomposites | |
| JP5027167B2 (ja) | カーボンナノチューブ構造体及びその製造方法 | |
| CN103210530B (zh) | 用于电池电极的分支纳米结构 | |
| JPH0722018B2 (ja) | 黒鉛電極の製造方法 | |
| JP3961440B2 (ja) | カーボンナノチューブの製造方法 | |
| JP5131616B2 (ja) | カーボンファイバ製造用触媒担持基板およびカーボンファイバ製造用触媒担持基板の製造方法 | |
| US20020150684A1 (en) | Method of forming carbon nanotubes and apparatus therefor | |
| JP4157791B2 (ja) | カーボンナノファイバの製造方法 | |
| CN105206433B (zh) | 一种金属-碳纳米管复合多孔电极材料的制备方法 | |
| CN105256312A (zh) | 一种石墨烯和碳纳米管复合多孔电极材料的制备方法 | |
| JP2002348741A (ja) | 気相成長法による炭素繊維およびこれを用いた複合材 | |
| JP2017019718A (ja) | カーボンナノチューブの製造方法 | |
| US5169508A (en) | Graphite electrode | |
| US4970123A (en) | Isotropically reinforced net-shape microcomposites | |
| JP2003277029A (ja) | カーボンナノチューブ及びその製造方法 | |
| KR100511363B1 (ko) | 금속입자를 접착제로 사용하는 탄소나노튜브 혹은탄소나노파이버 전극의 제조방법 및 이에 의해 제조된 전극 | |
| TW200800397A (en) | Method of preparing catalyst for catalyzing carbon nanotubes growth | |
| JP2969503B2 (ja) | 炭素質ファイバーの作成方法 | |
| EP1288352B1 (en) | Vapor grown carbon fiber and electrode material for battery | |
| CN115537727A (zh) | 硅烯复合薄膜及其制备方法、电极及锂离子电池 | |
| JP2006045668A (ja) | ウィスカー被覆材料及びその製造方法 | |
| JP2000191302A (ja) | 水素吸蔵体及び水素吸蔵体の製造方法 | |
| CN113845183B (zh) | 一种基于掺杂金刚石颗粒的水处理三维电极及其制备方法 | |
| JP2002105765A (ja) | カーボンナノファイバー複合体およびカーボンナノファイバーの製造方法 | |
| JP2007091480A (ja) | 触媒配置構造 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |