JPH07164364A - 真空吸引盤としてことに有用な真空吸引保持装置 - Google Patents

真空吸引盤としてことに有用な真空吸引保持装置

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JPH07164364A
JPH07164364A JP5296613A JP29661393A JPH07164364A JP H07164364 A JPH07164364 A JP H07164364A JP 5296613 A JP5296613 A JP 5296613A JP 29661393 A JP29661393 A JP 29661393A JP H07164364 A JPH07164364 A JP H07164364A
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vacuum
suction
guide groove
casing
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JP5296613A
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Yossie Kleinman
ヨシエ、クラインマン
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Orbotech Ltd
Original Assignee
Orbotech Ltd
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Publication date
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    • B25HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25BTOOLS OR BENCH DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR, FOR FASTENING, CONNECTING, DISENGAGING OR HOLDING
    • B25B11/00Work holders not covered by any preceding group in the subclass, e.g. magnetic work holders, vacuum work holders
    • B25B11/005Vacuum work holders

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Abstract

(57)【要約】 【目的】 複数個の真空吸引開口を有する真空吸引保持
装置ないし真空吸引盤において、比較的小さい物品を保
持する際に、これにより被覆されていない吸引開口にお
いて吸引力が浪費され、またこれを流過する空気により
騒音が生じないように構成された装置を提供すること。 【構成】 真空室を、保持外表面に穿設されている複数
の吸引開口61と、制御導溝31を介して連通する複数
の相互連通真空室21に分割し、各制御導溝31用のバ
ルブ部材5をケーシングに装着した装着部分および弾性
接合部分と一体的に形成し、常態的にこれを押圧して対
応制御導溝31を開放し、その吸引開口61に吸引力を
もたらし得るように構成し、複数吸引開口61が保持さ
れるべき物品で被覆されない場合、分割された各吸引室
21からの吸引力により対応するバルブ部材5を変形な
いし移動させて、対応する吸引開口61に通ずる制御導
溝31を閉鎖させるように構成した真空吸引保持装置。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【技術分野】本発明は吸引により物品を保持するための
真空保持装置に関するものであって、ことにプリント回
路板などの種々の物品を、検査しあるいはその他の処理
をする間、保持するための真空吸引盤として構成すると
きは、ことに有用である。従って本発明は、ことにこの
ような真空吸引盤として以下に説明する。
【0002】
【従来の技術】真空吸引盤は、種々の形態の物品を、こ
の検査その他の処理の間、保持するために広く使用され
ている。このような真空吸引盤は、その上方面に形成さ
れ、かつ真空吸引室に接続される複数個の吸引開口を有
し、これらは盤に当接された物品により被覆され、当該
物品は吸引力により盤に保持される。しかしながら、こ
のような真空吸引盤は、各種各様の寸法を有する物品に
対応し得るように比較的大きい寸法に構成されるのが好
ましい。この場合、若干の吸引開口が物品によって被覆
閉鎖されず、従って単に吸引力が無駄になるだけでな
く、物品により被覆されない吸引開口を空気が流過する
際に可成り高いレベルの騒音が発生する。
【0003】これと同様の問題は、上述した態様の真空
吸引盤のみでなく、他の態様の真空保持装置、例えば物
品を把持し、他の位置に搬送する装置においても生起す
る。
【0004】
【発明の要約】しかるに上述の技術的課題は、真空発生
源と接続し得る内部真空室および保持されるべき物品と
接触可能であり、かつ制御導溝を経て上記真空室と連通
する吸引開口が穿設されている外方保持面を有するケー
シングと、このケーシング内に在って、上記制御導溝を
開放して、これにより上記真空室から上記吸引開口に吸
引作用をもたらし、上記制御導溝を閉鎖して、これによ
り上記真空室から上記吸引開口への吸引作用を遮断する
ように移動ないし変形し得るバルブ部材とを具備し、上
記ケーシングの上記吸引開口が、常態的に外気に被曝さ
れているが、上記ケーシング保持面との接触によりこの
物品により被覆され、上記バルブ部材が、ケーシングに
装着されている装着部分およびバルブ部材を常態的に押
圧して上記制御導溝を開放し、吸引力を上記吸引開口に
もたらし得るようになされた弾性接合部分と一体的に形
成されており、吸引開口が保持されるべき物品により被
覆されない場合、このバルブ部材が上記真空室からもた
らされる吸引力により変形ないし移動して上記制御導溝
を閉鎖し得るようになされていることを特徴とする、真
空吸引により物品を保持する真空吸引保持装置により解
決され得ることが本発明者らによって見出された。
【0005】本発明は、上記ケーシングが真空吸引盤の
形態に構成され、その外方保持面を吸引開口が穿設さ
れ、かつ当接された物品を受領し、保持するようになさ
れた上方板体として構成することによりことに有用にな
される。この真空吸引盤において、真空室を分割して、
制御導溝が形成された仕切り部材により被覆される複数
の相互連通真空室とするのがことに好ましい。この真空
吸引盤は、さらに仕切り部材を、上方板体内方面から隔
離し、これにより各制御導溝を介して、分割された各真
空室および吸引開口と連通する複数の出口室を形成する
ための間隔保持部材を設けるのが好ましい。
【0006】以下においてさらに詳述するように、真空
吸引保持装置、ことに上述した特徴を有する真空吸引盤
は、保持されるべき物品により被覆された吸引開口に関
してのみ真空状態をもたらし、物品により被覆されない
吸引開口は真空状態がもたらされないように遮断され
る。このような真空吸引保持装置ないし真空吸引盤は、
各種寸法の物品に対応し得るように比較的大きい寸法に
構成される場合、必要な吸引力を低減し、また装置稼働
の間に発生する騒音をも低減する。
【0007】
【実施例】以下において、実施態様を例示的に図示する
添付図面を参照して、本発明をさらに具体的に説明す
る。
【0008】図1および図2に示される真空吸引盤は、
プリント回路盤(PCB)のような物品を、検査および
/または加工処理のために、受領し、保持するのに有効
である。この真空吸引盤は、あらゆる寸法のプリント回
路盤に対応できるようになるべく大きく構成するのが好
ましい。従って真空吸引盤に穿設された吸引開口の多く
のものは、一般的にプリント回路盤により被覆されな
い。そこで図示された真空吸引盤は、プリント回路盤P
CBにより被覆されている開口にのみ吸引力が及ぼさ
れ、プリント回路盤PCBにより被覆されていない開口
には吸引力が全くもしくはほとんど及ぼされないように
構成されており、これにより吸引力の無駄を省き、また
これが重要であるが、被覆されていない開口を空気が自
由に流過する場合の騒音を低減させる。
【0009】図1および図2に示される真空吸引盤T1
は、以下の主要部分、すなわち剛性基板部材2、その上
方の仕切り部材3、その上方の間隔保持部材4、複数の
バルブ部材を包囲形成する、その上方の板体5、複数個
の吸引開口61が穿設されており、プリント回路板PC
Bを受領し、保持するようになされている表面板体6を
有する。上記各主要部分を以下に詳述する。真空吸引盤
体は、真空導管9を介して真空発生源8に接続されるよ
うになされている。
【0010】剛性基板部材2には、複数個の上向きのキ
ャビティー21が設けられ、各キャビティは、それぞれ
が相互に接続されるように溝孔23を有する壁板22で
包囲されている。キャビティ21の上方は仕切り部材3
により閉鎖されており、これと基板部材2と共に、溝孔
23で相互に接続されている複数個の真空室を包囲形成
している。
【0011】仕切り部材3は、例えばアルミニウムもし
くはプラスチックで構成された板状体であって、複数個
の開口がそれぞれの真空室のために穿設されている。仕
切り部材3には、さらに複数個の小孔32が穿設されて
おり、この仕切り部材を下方の剛性基板部材2および上
方の間隔保持部材4に接着結合するのに役立つ。
【0012】間隔保持部材4も板状体であって、これは
剛性基板部材2に形成された各真空室キャビティ21と
同様の形状であって、これと斉合している同数の切開部
分41を有する。そこで、仕切り部材3に形成された制
御導溝としての各開口31は、一方面において剛性基板
部材2における各真空室キャビティ21の中央に、多方
面において間隔保持部材4における各切開部分41の中
央にそれぞれ配置される。
【0013】間隔保持部材4上に重ねられた、バルブ部
材を形成する板体5は、ステンレススチールのような金
属もしくはプラスチックから構成され、これには仕切り
部材3に穿設された制御導溝を構成する各開口31のた
めの、これと斉合する複数個のバルブ部材51が形成さ
れる。各バルブ部材51は、ことに図1によく示されて
いるように扁平であって、弾性接合部分52、およびす
べてのバルブ部材の装着部分として機能する共通外枠5
3と一体的に形成される。
【0014】真空盤を構成する表面板体6には、複数個
の吸引開口61が穿設されており、これらを経て真空盤
1 上に物品PCBを保持するための吸引力が及ぼされ
る。吸引開口61は、仕切り部材3に形成された接続導
溝を構成する開口31にくらべて、直径は比較的小さ
く、個数は比較的多い。この吸引開口61は、図2に示
されるように、矩形マトリックスを形成するように配置
されるのが好ましい。例えば3×3マトリックスを形成
する吸引開口61を形成し、間隔保持部材4の各切開部
分41と斉合するように配置すると、各切開部分41は
9個の吸引開口61のための共通の出口室を形成するこ
とになる。
【0015】図1および図2に示された真空吸引盤T1
は、以下のように作用する。
【0016】バルブ部材51は、その常態的な無応力状
態において、その共通外枠53とほぼ同じ面内に在る。
すなわち、その接合部分52は屈曲されていない。従っ
て、バルブ部材51は、図1のバルブ部材51aで示さ
れる位置に向けて常態的に押付けられ、対応する接続導
溝31aに開放されている。
【0017】しかるに真空発生源8が、導管9を介して
基板部材2のキャビティ21により形成される相互接続
室に接続されると、真空ないし減圧によりバルブ部材5
1をそれぞれの接続導溝31に向けて押圧して、図1の
バルブ部材51bにより示されるように導溝31bを閉
じる。このバルブ部材51の運動ないし変形は、真空吸
引盤T1 上の物品PCBにより被覆されていない吸引開
口に接続される接続導溝についてのみ生起する。
【0018】従って、これらプリント回路板PCBによ
り被覆されていない吸引開口に関し、バルブ部材51の
上方面は大気に被曝されるが、下方面はそれぞれ対応す
るキャビティ21内の真空に被曝され、従ってバルブ部
材51は仕切り部材3の上方面に対向して吸引され、図
1の接続導溝31bを閉じているバルブ部材51bで示
されるように、それぞれ対応する接続導溝(開口)31
bを閉じる。従って、間隔保持部材4に形成された切開
部分(出口室)41を経て接続導溝31に連通している
吸引開口61には真空吸引力は及ばない。
【0019】しかしながら、プリント回路板PCBによ
り閉鎖されている吸引開口61に関しては、各バルブ部
材51の上方面に大気圧が及ぼされず、従ってこれらバ
ルブ部材の上方、下方両面の圧力は同じであり、図1に
おいて接続導溝31aを開いているバルブ部材51aに
より示されるように、各バルブ部材51はその常態的開
放位置を占める。すなわち、各キャビティ21からの真
空ないし減圧は、接続導溝31を介して、間隔保持部材
4に形成された切開部分41、すなわち出口室に連通す
る吸引開口61に及ぼされ、これによりプリント回路板
PCBは真空吸引盤に確実に保持される。
【0020】そこで、図1および図2に示されている真
空吸引盤は、自動的にプリント回路板PCBにより実際
に被覆されている吸引開口にのみ真空を及ぼし、プリン
ト回路板PCBにより被覆されていない吸引開口には吸
引力を及ぼさない。従って、図示の実施態様により真空
吸引盤は種々の寸法の物品に対応するように比較的大き
い寸法に構成され、しかも比較的小さい寸法の物品を受
領、保持する場合にも吸引力を浪費せず、また物品によ
り被覆されていない吸引開口を流過する空気による騒音
をもたらさないようにすることができる。
【0021】図3から図5において、本発明による他の
実施態様の真空吸引盤T2 が示されており、これは剛性
基板部材102、仕切り部材103、バルブ部材10
4、無孔隙被覆板体105を具備する。吸引力は真空発
生源106から真空導管107を介して与えられる。
【0022】図3から図5に示される真空吸引盤T2
おいては、基板部材102は、物品、例えばプリント回
路板PCBを真空盤T2 上に保持するための複数個の吸
引開口122が穿設されている上方板体121と一体的
に形成されている。基板部材102には、また被覆板体
105と共に複数の接続された真空室を形成し、かつ溝
孔125を有する壁体124(図5)により包囲形成さ
れた下向きキャビティ123が設けられている。
【0023】仕切り部材103は、各キャビティごとに
設けられる。各仕切り部材103は、それぞれ対応する
キャビティ123と同様の寸法、形状を有し、中央開口
131を有する。この開口131は、図1および2の実
施態様における接続導溝(中央開口)31に対応する機
能を有する。しかしながら、図3から図5の実施態様に
おいては、仕切り部材103は、図1、2の仕切り部材
3のように共通板体ではなく、各キャビティ123ごと
の隔離部材の形態である。各仕切り部材103は、また
4面の側壁132を有し、これにより仕切り部材103
が基板部材102のキャビティ123中に嵌入し得るよ
うになされている。仕切り部材103の側壁132に
は、基板部材102の各キャビティを相互接続する基板
部材の溝孔125に対応する溝孔133が穿設されてい
る。
【0024】図3から5の真空盤T2 は、各真空室12
3ごとに、さらにそれぞれ別個のバルブ部材104を具
備する。このバルブ部材104も弾性金属もしくはプラ
スチックから構成され、しかも弾性接合部分142によ
り外方装着部分143に接合されているバルブ部材14
1と一体的に形成されている。バルブ部材104は、そ
の仕切り部材103と、剛性基板部材102の上方板体
121下方面との間において、それぞれの真空室123
中に挿入され、バルブ部材141を接続導溝131と斉
合配置する。
【0025】バルブ部材104を受容する各仕切り部材
132の面には、対応する各バルブ部材141の外方装
着部分143を包囲する周面リブ134(図4)が形成
されている。このリブ134は、図1、2における板状
の間隔保持部材4に対応する、間隔保持手段として作用
し、一方側で各接続導溝131と連通し、対向他方側で
基板部材102の上方板体121に穿設されている各吸
引開口(122)群と連通する複数個の出口室144
(図3)を包囲形成する。
【0026】図3から図5に示される真空盤T2 は、図
1および図2に示される上述真空盤T1 と本質的に同様
に作用する。すなわち、バルブ部材141は、常態的に
その枠として機能する外方装着部分143に対して扁平
状であり、仕切り部材103内において各接続導溝13
1を開放するよう常態的に押圧されている。真空ないし
吸引力が及ぼされると、盤T2 上のプリント回路板PC
Bにより被覆されていない吸引開口122は、各バルブ
部材141の上方面を大気圧に被曝し、従ってその下面
に及ぼされる吸引力はバルブ部材141を変形させて、
対応する接続導溝131を閉鎖し、これによりこれら吸
引開口122の吸引をブロックするが、プリント回路板
PCBにより被覆されている吸引開口122は、大気圧
が各バルブ部材141の上方面に及ぶのを阻止し、従っ
てこれらのバルブ部材にそれぞれの常態的押圧位置を執
らせ、対応する接続導溝131を開放させ、これにより
吸引開口122を閉鎖被覆しているプリント回路板PC
Bに吸引力を及ぼす。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明により構成された真空吸引盤の実施態
様を説明する縦断面図である。
【図2】 図1の真空吸引盤主要部を説明する部分的、
分解斜視図である。
【図3】 本発明により構成された真空吸引盤の第2実
施態様を説明する縦断面図である。
【図4】 図3の真空吸引盤主要部を説明する、上方か
ら見た部分的、分解斜視図である。
【図5】 図3の真空吸引盤主要部を説明する、下方か
ら見た部分的、分解斜視図である。
【符号の説明】
1 …真空(吸引)盤 2…剛性基板部材 21…キャビティ 22…壁板 23…溝孔 25…開口 3…仕切り部材 31…開口(接続導溝) 32…小孔 4…間隔保持部材 41…切開部分(共通出口室) 5…(バルブ部材を形成する)板体 51…バルブ部材 52…弾性接合部分 53…共通外枠 6…表面板体 61…吸引開口 8…真空発生源 9…真空導管 T2 …真空(吸引)盤 102…(剛性)基板部材 103…仕切り部材 104…バルブ部材 105…無孔隙被覆板体 106…真空発生源 107…真空導管 121…上方板体 122…吸引開口 123…下向きキャビティ(真空室) 124…壁体 125…溝孔 131…中央開口(接続導溝) 132…側壁 133…溝孔 134…リブ 141…バルブ部材 142…弾性接合部分 143…外方装着部分(枠) 144…出口室

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 真空発生源と接続し得る内部真空室およ
    び保持されるべき物品と接触可能であり、かつ制御導溝
    を経て上記真空室と連通する吸引開口が穿設されている
    外方保持面を有するケーシングと、 このケーシング内に在って、上記制御導溝を開放して、
    これにより上記真空室から上記吸引開口に吸引作用をも
    たらし、上記制御導溝を閉鎖して、これにより上記真空
    室から上記吸引開口への吸引作用を遮断するように移動
    ないし変形し得るバルブ部材とを具備し、 上記ケーシングの上記吸引開口が、常態的に外気に被曝
    されているが、上記ケーシング保持面との接触によりこ
    の物品により被覆され、 上記バルブ部材が、ケーシングに装着されている装着部
    分およびバルブ部材を常態的に押圧して上記制御導溝を
    開放し、吸引力を上記吸引開口にもたらし得るようにな
    された弾性接合部分と一体的に形成されており、吸引開
    口が保持されるべき物品により被覆されない場合、この
    バルブ部材が上記真空室からもたらされる吸引力により
    変形ないし移動して上記制御導溝を閉鎖し得るようにな
    されていることを特徴とする、真空吸引により物品を保
    持する真空吸引保持装置。
  2. 【請求項2】 請求項(1)による真空吸引保持装置で
    あって、上記制御導溝が仕切り部材中において、上記真
    空室と上記吸引開口の間に配置され、上記バルブ部材が
    上記仕切り部材と上記ケーシング保持面の間に位置する
    弾性板体の一部分であって、仕切り部材における上記制
    御導溝を常態的に開放するように押圧されていることを
    特徴とする装置。
  3. 【請求項3】 請求項(2)による真空吸引保持装置で
    あって、上記ケーシング保持面に、複数本の上記制御導
    溝を介して上記真空室に接続されている複数個の吸引開
    口が穿設されており、上記の各制御導溝に上記の各バル
    ブ部材が設けられ、これにより保持されるべき物品によ
    り被覆される吸引開口に吸引力がもたらされるが、保持
    されるべき物品により被覆されない吸引開口に関しては
    吸作力が遮断されることを特徴とする装置。
  4. 【請求項4】 請求項(3)による真空吸引保持装置で
    あって、上記ケーシングが真空吸引盤の形態に構成さ
    れ、上記外方保持面が吸引開口の穿設された上方板体で
    あり、これに当接される物品を受領、保持するようにな
    されていることを特徴とする装置。
  5. 【請求項5】 請求項(4)による真空吸引保持装置で
    あって、上記真空室が、制御導溝の形成されている上記
    仕切り部材によりそれぞれ被覆されている相互に連通し
    ている複数の真空室に分割されていることを特徴とする
    装置。
  6. 【請求項6】 請求項(5)による真空吸引保持装置で
    あって、上記仕切り部材を上記ケーシング上方板体の内
    方面から間隔を置くための間隔保持部材がさらに設けら
    れ、これにより上記の分割された各真空室と上記各吸引
    開口の間に、上記制御導溝を介して連通する複数の出口
    室を形成することを特徴とする装置。
  7. 【請求項7】 請求項(6)による真空吸引保持装置で
    あって、上記ケーシングが、上記の分割された相互連通
    真空室を構成する、複数個の上向き、相互連通キャビテ
    ィーが穿設されている剛性基板部材を有することを特徴
    とする装置。
  8. 【請求項8】 請求項(7)による真空吸引保持装置で
    あって、上記仕切り部材が、上記剛性基板部材と上記上
    方板体の間に在る板体であって、これに複数本の上記制
    御導溝が穿設されていることを特徴とする装置。
  9. 【請求項9】 請求項(6)による真空吸引保持装置で
    あって、上記上方板体が基板部の一体的部分をなし、こ
    の基板部材に上記の分割された相互連通真空室を構成す
    る複数個の下向き、相互連通キャビティがさらに設けら
    れており、上記ケーシングが上記相互連通真空室を被覆
    閉鎖する無孔被覆板体をさらに具備することを特徴とす
    る装置。
  10. 【請求項10】 請求項(9)による真空吸引保持装置
    であって、上記基板部材の各キャビティのために別個の
    仕切り部材が各キャビティ内に設けられ、それぞれに各
    制御導溝が設けられていることを特徴とする装置。
JP5296613A 1992-11-27 1993-11-26 真空吸引盤としてことに有用な真空吸引保持装置 Pending JPH07164364A (ja)

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IL10390692A IL103906A (en) 1992-11-27 1992-11-27 Vacuum holder particularly useful as a vacuum table
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