JPH07140308A - 透過率/反射率の比率が可変なハーフミラー - Google Patents

透過率/反射率の比率が可変なハーフミラー

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JPH07140308A
JPH07140308A JP6194589A JP19458994A JPH07140308A JP H07140308 A JPH07140308 A JP H07140308A JP 6194589 A JP6194589 A JP 6194589A JP 19458994 A JP19458994 A JP 19458994A JP H07140308 A JPH07140308 A JP H07140308A
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JP
Japan
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half mirror
substrate
transmittance
ecd
film
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JP6194589A
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English (en)
Inventor
Norimasa Kishi
則政 岸
Masayuki Takada
雅行 高田
Kuniharu Matsuda
国治 松田
Tatsuo Niwa
達雄 丹羽
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Nikon Corp
Nissan Motor Co Ltd
Original Assignee
Nikon Corp
Nissan Motor Co Ltd
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  • Electrochromic Elements, Electrophoresis, Or Variable Reflection Or Absorption Elements (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 透過率/反射率の比率が可変なハーフミラー
を提供する。 【構成】 少なくとも、素子基板上又は素子基板間に設
けられた消衰係数や光透過率が任意に変化する素子1,
3,4,5と、該素子の封止基板であって、ハーフミラ
ー反射膜7を設けてハーフミラーを形成してなる封止基
板8と、を有する透過率/反射率の比率が可変なハーフ
ミラー。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、透過率/反射率の比率
が可変である新規なハーフミラーに関するものである。
【0002】
【従来の技術】複数の光束を一本にまとめるために、ま
たは一本の光束を複数に分離するために、プリズムやハ
ーフミラーが用いられている。このうち、ハーフミラー
は、小型薄膜化が容易であり、また加工精度がプリズム
程には要求されないので、応用範囲の広い光学素子とし
て、用いられている。
【0003】従来、ハーフミラーには、ガラス等の基板
上に金属薄膜や誘電体薄膜を形成したものが、一般に用
いられてきた。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来のハーフ
ミラーでは、透過率/反射率の比率が一定であり、任意
に変化させることができないという問題点があった。ま
た、ハーフミラー膜の設計が複雑なために、前記比率を
細かく調整することができないという問題点があった。
本発明の目的は、かかる問題点の解決にある。
【0005】
【課題を解決するための手段】そのため、本発明は、第
一に「少なくとも、素子基板上または素子基板間に設け
られた消衰係数や光透過率が任意に変化する素子と、該
素子の封止基板であって、ハーフミラー反射膜を設けて
ハーフミラーを形成してなる封止基板と、を有する透過
率/反射率の比率が可変なハーフミラー(請求項1)」
を提供する。
【0006】また、本発明は、第二に「少なくとも、素
子基板上又は素子基板間に設けられた消衰係数や光透過
率が任意に変化する素子と、該素子の素子基板であっ
て、ハーフミラー反射膜を設けてハーフミラーを形成し
てなる素子基板と、を有する透過率/反射率の比率が可
変なハーフミラー(請求項2)」を提供する。
【0007】また、本発明は、第三に「少なくとも、素
子基板上又は素子基板間に設けられた消衰係数や光透過
率が任意に変化する素子と、該素子の封止基板と、を有
する透過率/反射率の比率が可変なハーフミラー(請求
項3)」を提供する。
【0008】また、本発明は、第四に「少なくとも、素
子基板上または素子基板間に設けられた消衰係数や光透
過率が任意に変化する素子と、該素子と隔離して配置し
てなる基板であって、ハーフミラー反射膜を設けてハー
フミラーを形成してなる基板と、を有する透過率/反射
率の比率が可変なハーフミラー(請求項4)」を提供す
る。
【0009】また、本発明は、第五に「前記隔離して配
置してなる基板に反射防止膜を設けたことを特徴とする
請求項4記載のハーフミラー(請求項5)」を提供す
る。
【0010】また、本発明は、第六に「少なくとも、素
子基板上又は素子基板間に設けられた消衰係数や光透過
率が任意に変化する素子と、該素子の素子基板及び/又
は封止基板に接合された基板であって、ハーフミラー反
射膜を設けてハーフミラーを形成してなる接合基板と、
を有する透過率/反射率の比率が可変なハーフミラー
(請求項6)」を提供する。
【0011】また、本発明は、第七に「前記接合基板に
反射防止膜を設けたことを特徴とする請求項6記載のハ
ーフミラー(請求項7)」を提供する。
【0012】また、本発明は、第八に「前記素子の素子
基板及び/又は封止基板に反射防止膜を設けたことを特
徴とする請求項1〜7記載のハーフミラー(請求項
8)」を提供する。
【0013】
【作用】本発明にかかるハーフミラー反射膜としては、
誘電体薄膜又は金属薄膜が使用できるが、誘電体薄膜は
光の吸収が殆どないので、反射及び透過の機能が要求さ
れるハーフミラー反射膜として特に好ましい。金属薄膜
は光の吸収があり、吸収はハーフミラーとしての機能の
障害となるので、できるだけ吸収の少ないものを使用す
ることが好ましい。
【0014】誘電体薄膜の材料としては、例えば、Mg
F2、氷晶石 (Na3AlF6)、CeO2、ZnS 、TiO2、ZrO2、PbI
、CsI 、PbCl2 、Sb2O3 などが使用できるが、これら
に限定されるものではない。金属薄膜の材料としては、
例えば、Ag、Al、Au、Rh、Cu、Tiなどが使用できるが、
これらに限定されるものではない。
【0015】本発明にかかる、消衰係数や光透過率が任
意に変化する素子としては、例えばエレクトロクロミッ
ク(以下、ECと略称する)素子、フォトクロミック
(以下PCと略称する)素子、液晶素子などが使用でき
る。
【0016】PC素子は、紫外線照射によって着色種が
生成する現象(フォトクロミズム)を利用したものであ
り、例えば調光サングラスに応用されている。現状のP
C素子では、透過率の変化速度(調光速度)が遅く、ま
た任意の透過率(濃度)に設定することが困難である
が、透過率の変化幅(調光幅)は十分に大きい。従って
現状のPC素子でも、迅速な調光を必要としない場合に
は、本発明にかかる素子として使用できる。
【0017】液晶素子は散乱光量を制御して、見かけ
上、光透過率を変化させる。現状の液晶素子は、消色時
でも透過率が50%以下であるため、明るさが十分でな
く、また視野角依存性があるが、調光速度が非常に速
い。従って、現状の液晶素子でも限られた視野角や透過
率の範囲においては、本発明にかかる素子として使用で
きる。
【0018】EC素子は、調光幅が十分に大きく、任意
の濃度設定が可能で、視野角依存性がなく、しかも調光
速度が適度である。また、EC素子は一旦、ある濃度
(透過率)状態にすると、電圧印加を止めても、その状
態が維持されるというメモリー性を有する。従って、本
発明にかかる素子としては、EC素子が特に好ましい。
以下、EC素子について詳述する。
【0019】電圧を印加すると可逆的に電解酸化または
還元反応が起こり、可逆的に着消色する現象をエレクト
ロクロミズムという。
【0020】このような現象を示すEC物質を用いて、
電圧操作により着消色するEC素子(以下、ECDと略
す場合がある)を作り、このECDを光量制御素子(例
えば調光ガラスや防眩ミラー等)や7セグメントを利用
した数字表示素子に利用しようとする試みは、20年以
上前から行われている。
【0021】例えば、ガラス基板の上に透明電極層(陰
極)、三酸化タングステン薄膜層、二酸化ケイ素のよう
な絶縁層、電極層(陽極)を順次積層してなるECD
(特公昭52−46098号公報参照)が全固体型EC
Dとして知られている。
【0022】このECDに電圧(着色電圧)を印加する
と、三酸化タングステン(WO3) 薄膜層が青色に着色す
る。その後、このECDに逆の電圧(消色電圧)を印加
するとWO3 薄膜層の青色が消えて、無色になる。この着
消色する機構は詳しくは解明されていないが、WO3
膜層及び絶縁層(イオン導電層)中に含まれる少量の水
分がWO3 の着消色を支配していると理解されている。
【0023】着色の反応式は、以下のように推定されて
いる。 H2O → H+ + OH- WO3 層(陰極側):WO3(無色透明) + n・H+ + ne-
HnWO3(青着色) 絶縁層(陽極側):OH- → (1/2)H2O + (1/4)O2↑+
(1/2)e-
【0024】その他にECDとして知られているもの
は、素子基板上の一対の電極層の間に還元着色性EC層
(例えばWO3)、イオン導電層、可逆的電解酸化層(例え
ば酸化または水酸化イリジウム)が積層され、両電極層
間に所定の電圧を印加できる構造となっている。
【0025】ところで、EC層を直接または間接的に挟
む一対の電極層は、EC層の着消色を外部に見せるため
に少なくとも一方は透明でなければならない。特に透過
型のECDの場合には両電極層とも透明でなければなら
ない。
【0026】透明な電極層材料としては、現在のとこ
ろ、SnO2、In2O3 、ITO( In2O3とSnO2の混合物)、ZnO
等が知られているが、これらの材料は比較的透明度が悪
いために薄くせねばならず、この理由及びその他の理由
からECDは基板(例えばガラス板やプラスチック板)
の上に形成されるのが普通である。
【0027】一対の電極層には、外部電源から電圧を印
加するために、外部配線との接続部である取り出し電極
を設ける。電極層として透明電極層を使用した場合に
は、透明電極層が外部配線に比べて高抵抗であるので、
透明電極層に重ねて(即ち、接触させて)低抵抗の取り
出し電極を設けることが多い。通常は、基板表面端部に
位置する透明電極層の周辺に帯状に低抵抗電極部を設け
て(例えば、金属製クリップを装着する)、低抵抗の取
り出し電極としている。
【0028】また、ECDは用途によって、素子を保護
するための封止基板を素子基板と対向するように配置
し、例えばエポキシ樹脂等を用いて密封封止して用いら
れる。
【0029】本発明にかかるECDの積層構造は、特に
どれと限定されるものではないが、固体型ECDの構造
としては、例えば、電極層/EC層/イオン導電層/
電極層のような4層構造、電極層/還元着色型EC層
/イオン導電層/可逆的電解酸化層/電極層のような5
層構造があげられる。
【0030】還元着色型EC層には、一般に、WO3 ,Mo
O3等が使用される。イオン導電層には、例えば酸化ケイ
素、酸化タンタル、酸化チタン、酸化アルミニウム、酸
化ニオブ、酸化ジルコニウム、酸化ハフニウム、酸化ラ
ンタン、フッ化マグネシウム等が使用される。
【0031】イオン導電層は、電子に対して絶縁体であ
るが、プロトン(H+)及びヒドロキシイオン(OH- )に
対しては良導体となる。EC層の着消色反応にはカチオ
ンが必要とされ、H+やLi+ をEC層その他に含有させる
必要がある。H+は初めからイオンである必要はなく、電
圧が印加された時にH+が生じればよく、従ってH+の代わ
りに水を含有させてもよい。この水は、非常に少なくて
十分であり、しばしば大気中から自然に侵入する水分で
も着消色する。
【0032】EC層とイオン導電層とは、どちらを上に
しても下にしてもよい。更にEC層に対して間にイオン
導電層を挟んで(場合により酸化着色性EC層ともな
る)可逆的電解酸化層ないし触媒層を配設してもよい。
【0033】このような層としては、例えば、酸化ない
し水酸化イリジウム、同じくニッケル、同じくクロム、
同じくバナジウム、同じくルテニウム、同じくロジウム
等があげられる。これらの物質は、イオン導電層または
透明電極層中に分散されていてもよいし、逆にそれらを
分散していてもよい。
【0034】以下、実施例により本発明を詳細に説明す
るが、本発明はこの実施例に限定されるものではない。
【0035】
【実施例】以下の実施例のハーフミラー反射膜は、誘電
体薄膜(例えば、MgF2、氷晶石、CeO2、ZnS 、TiO2、Zr
O2など)により形成した。
【0036】〔実施例1〕図1は本発明の第1の実施例
(実施例1)である透過率/反射率の比率が可変なハー
フミラーの構成を示す概念図である。
【0037】実施例1では、ECDの封止基板8にハー
フミラー反射膜7を設けてハーフミラーとしている。
【0038】また、素子基板1及び封止基板8に、反射
防止膜2,9をそれぞれ、設けている。封止基板8の反
射防止膜9の面と、素子基板1のECDの素子面とを対
向させずに、素子面とハーフミラー反射膜7の面とを対
向させて、ECDを封止しているが、これは2重像防止
のためである。
【0039】即ち、反射防止膜9の面とECDの素子面
とを対向させて、ECDを封止すると、封止材(接着
剤)6の屈折率が周囲環境を初めとする種々の要因で変
化するので、反射防止条件を決定することが困難とな
る。また、通常の反射防止膜では多くの場合、逆に反射
を増加させて2重像の原因となる。
【0040】尚、ハーフミラー反射膜7を設けた封止基
板8の厚さを小さくすることにより2重像を低減でき
る。
【0041】この例では、反射と透過の2本の光束を1
本にまとめているが、図1のAの方向から見た場合、反
射率は一定である。一方、透過光はECDを通過するの
で、ECDにより透過率を任意に変化させることができ
る。
【0042】ハーフミラーとして、透過率60%、反射
率40%のものを用いると、透過率/反射率の比率が4
0:57〜13:57の範囲で可変なハーフミラーが得られ
た。図1のBの方向から見た場合、透過率、反射率とも
に変化するが、反射光はECDを2回通過するので、反
射率の方がより大きく変化する。
【0043】〔実施例2〕図2は本発明の第2の実施例
(実施例2)である透過率/反射率の比率が可変なハー
フミラーの構成を示す概念図である。
【0044】実施例2では、ハーフミラー反射膜を用い
ていない。この例のハーフミラーは高い反射率を要しな
い用途に向いている。また、素子基板1及び封止基板8
のそれぞれに、反射防止膜2,9を設けている。
【0045】反射光は、主にECDの素子面にて反射す
るが、ECDを構成する各膜の厚さを変えて、反射率を
調整できる。また、ECDの着色時と消色時における反
射率を一定にすることもできる。
【0046】〔実施例3〕図3は本発明の第3の実施例
(実施例3)である透過率/反射率の比率が可変なハー
フミラーの構成を示す概念図である。
【0047】実施例3では、二つのECDを用いること
により透過率の可変幅を増大している。各ECDは、独
立的に駆動することができる。また、ハーフミラー反射
膜7を一方のECDの素子基板1に設けている。さら
に、別のECDの素子基板1’に反射防止膜2を設けて
いる。
【0048】ハーフミラーとして、透過率60%、反射
率40%のものを用いると、透過率/反射率の比率が3
0:60〜 3:60の範囲で可変なハーフミラーが得られ
た。
【0049】〔実施例4〕図4は本発明の第4の実施例
(実施例4)である透過率/反射率の比率が可変なハー
フミラーの構成を示す概念図である。
【0050】実施例4では、基板1の両面にECDを設
けて、二つのECDを用いることにより、透過率の可変
幅を増大している。各ECDは、独立的に駆動すること
ができる。また、ハーフミラー反射膜7を一方のECD
の封止基板8に設けている。さらに、各ECDの封止基
板8,8’に反射防止膜9を設けている。
【0051】この例では、基板の枚数が多くなるが、二
つのECDを連動して駆動する場合には、各ECDの電
極取り出しが容易となる。
【0052】〔実施例5〕図5は本発明の第5の実施例
(実施例5)である透過率/反射率の比率が可変なハー
フミラーの構成を示す概念図である。
【0053】実施例5では、ECDと、ハーフミラー反
射膜7を設けた基板10(ハーフミラー)とを分離し、
ECDを調光したい光路上に配置させた構成となってい
る。この構成では、立体視などに用いる場合に、輻輳角
を大きくとると、ECDを大きくする必要があるが、視
野が広くなく、実装空間に余裕があれば、簡単に作製可
能である。尚、素子基板1、封止基板8、及びハーフミ
ラーの基板10には、それぞれ反射防止膜2,9を設け
ている。
【0054】ハーフミラーとして、透過率60%、反射
率40%のものを用いると、透過率/反射率の比率が5
0:40〜13:40の範囲で可変なハーフミラーが得られ
た。
【0055】〔実施例6〕図6は本発明の第6の実施例
(実施例6)である透過率/反射率の比率が可変なハー
フミラーの構成を示す概念図である。
【0056】実施例6では、本発明にかかる素子として
PC素子を用いている。また、PC素子を設けた基板1
1には、ハーフミラー反射膜7を設けてある。着色は、
基板11前面に配置された紫外線光源14から紫外線を
照射することによってなされる。消色は、紫外線の照射
中止でなされるが、透明導電体(ヒーター)12に通電
して加熱することにより、消色をはやくすることができ
る。眼の保護のために紫外線カットフィルター13を光
路上に配置している。
【0057】〔実施例7〕図7は本発明の第7の実施例
(実施例7)である透過率/反射率の比率が可変なハー
フミラーの構成を示す概念図である。
【0058】実施例7では4つのECDを用い、これら
を貼り合わせた上にハーフミラーを貼り合わせている。
このハーフミラーは素子基板とは別のハーフミラー基板
10にハーフミラー反射膜7を設け、ハーフミラー反射
膜とは反対側に反射防止膜2を設けたものを用いてい
る。素子基板は同時に封止基板を兼ねている。
【0059】ハーフミラーとして透過率10%、反射率
90%のものを用いると、透過率/反射率の比率が 4:
90〜0.04:90の範囲で可変なハーフミラーが得られた。
【0060】〔実施例8〕図8は本発明の第8の実施例
(実施例8)である透過率/反射率の比率が可変なハー
フミラーの構成を示す概念図である。
【0061】実施例8では、ECDの封止基板8にハー
フミラー反射膜7を設けてハーフミラーとしている。素
子基板1、封止基板8共に曲率を有する基板を用いてい
る。二重像の防止のために封止基板には反射防止膜9を
設けている。
【0062】〔実施例9〕図9は本発明の第9の実施例
(実施例9)である透過率/反射率の比率が可変なハー
フミラーの構成を示す概念図である。
【0063】実施例9では、ECDの封止基板8にハー
フミラー反射膜7を設けてハーフミラーとしている。封
止基板のハーフミラー反射膜面とは反対の面には反射防
止膜9を設け、その上に中間膜16を設けている。この
中間膜を設けることにより、反射防止膜面を素子基板と
対向させて貼り合わせても反射防止膜が増反射膜となら
ないようにしている。
【0064】〔その他〕本発明にかかる透過率/反射率
の比率が可変なハーフミラーは、下記の視覚情報提供装
置に応用可能である。
【0065】この装置は、前方の景色もしくは前方に投
影された映像を、該ハーフミラーを透過してくる第1の
視覚情報とし、かつ、側方もしくは後方に向けられた撮
像手段から出力された映像またはコンピュータグラフィ
クスを、該ハーフミラーで反射してくる第2の視覚情報
として、第1及び第2の視覚情報を単独に又は重ねて提
示可能な視覚情報提供装置である。
【0066】
【発明の効果】本発明(請求項1〜8)によれば、ハー
フミラーの透過率/反射率の比率が可変である。
【0067】また、本発明(請求項1〜3及び6、8)
によれば、立体視に用いる場合に、消衰係数や光透過率
が任意に変化する素子を大型化することなく、輻輳角を
増大できるので、前記素子の応答性向上及び着色均一化
を図りながら、輻輳角の自由度を確保できる。
【0068】
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施例(実施例1)である透過
率/反射率の比率が可変なハーフミラーの構成を示す概
念図である。
【図2】本発明の第2の実施例(実施例2)である透過
率/反射率の比率が可変なハーフミラーの構成を示す概
念図である。
【図3】本発明の第3の実施例(実施例3)である透過
率/反射率の比率が可変なハーフミラーの構成を示す概
念図である。
【図4】本発明の第4の実施例(実施例4)である透過
率/反射率の比率が可変なハーフミラーの構成を示す概
念図である。
【図5】本発明の第5の実施例(実施例5)である透過
率/反射率の比率が可変なハーフミラーの構成を示す概
念図である。
【図6】本発明の第6の実施例(実施例6)である透過
率/反射率の比率が可変なハーフミラーの構成を示す概
念図である。
【図7】本発明の第7の実施例(実施例7)である透過
率/反射率の比率が可変なハーフミラーの構成を示す概
念図である。
【図8】本発明の第8の実施例(実施例8)である透過
率/反射率の比率が可変なハーフミラーの構成を示す概
念図である。
【図9】本発明の第9の実施例(実施例9)である透過
率/反射率の比率が可変なハーフミラーの構成を示す概
念図である。
【符号の説明】
1,1’・・・素子基板 2・・・反射防止膜 3・・・下部透明電極 4・・・エレクトロクロミック膜(消衰係数や光透過率
が任意に変化する素子の一例であるECDを構成する機
能性の膜) 5・・・上部透明電極 6・・・封止材(接着剤) 7・・・ハーフミラー反射膜 8,8’・・・封止基板 9・・・反射防止膜 10・・ハーフミラー基板 11・・フォトクロミック基板(消衰係数や光透過率が
任意に変化する素子の一例であるPC素子を設けた基
板) 12・・透明導電体(ヒーター) 13・・紫外線カットフィルター 14・・紫外線光源 15・・接着剤 16・・中間膜
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 松田 国治 東京都千代田区丸の内3丁目2番3号 株 式会社ニコン内 (72)発明者 丹羽 達雄 東京都千代田区丸の内3丁目2番3号 株 式会社ニコン内

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 少なくとも、素子基板上又は素子基板間
    に設けられた消衰係数や光透過率が任意に変化する素子
    と、該素子の封止基板であって、ハーフミラー反射膜を
    設けてハーフミラーを形成してなる封止基板と、を有す
    る透過率/反射率の比率が可変なハーフミラー。
  2. 【請求項2】 少なくとも、素子基板上又は素子基板間
    に設けられた消衰係数や光透過率が任意に変化する素子
    と、該素子の素子基板であって、ハーフミラー反射膜を
    設けてハーフミラーを形成してなる素子基板と、を有す
    る透過率/反射率の比率が可変なハーフミラー。
  3. 【請求項3】 少なくとも、素子基板上又は素子基板間
    に設けられた消衰係数や光透過率が任意に変化する素子
    と、該素子の封止基板と、を有する透過率/反射率の比
    率が可変なハーフミラー。
  4. 【請求項4】 少なくとも、素子基板上又は素子基板間
    に設けられた消衰係数や光透過率が任意に変化する素子
    と、該素子と隔離して配置してなる基板であって、ハー
    フミラー反射膜を設けてハーフミラーを形成してなる基
    板と、を有する透過率/反射率の比率が可変なハーフミ
    ラー。
  5. 【請求項5】 前記隔離して配置してなる基板に反射防
    止膜を設けたことを特徴とする請求項4記載のハーフミ
    ラー。
  6. 【請求項6】 少なくとも、素子基板上又は素子基板間
    に設けられた消衰係数や光透過率が任意に変化する素子
    と、該素子の素子基板及び/又は封止基板に接合された
    基板であって、ハーフミラー反射膜を設けてハーフミラ
    ーを形成してなる接合基板と、を有する透過率/反射率
    の比率が可変なハーフミラー。
  7. 【請求項7】 前記接合基板に反射防止膜を設けたこと
    を特徴とする請求項6に記載のハーフミラー。
  8. 【請求項8】 前記素子の素子基板及び/又は封止基板
    に反射防止膜を設けたことを特徴とする請求項1〜7の
    いずれかに記載のハーフミラー。
JP6194589A 1993-07-30 1994-07-28 透過率/反射率の比率が可変なハーフミラー Pending JPH07140308A (ja)

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