JPH07103707A - アクチュエータの位置検出装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ストロークの特定した範囲の位置を精度良く
検出することができる直線移動アクチュエータの位置検
出装置において測定範囲の設定または温度変化から生じ
る検出誤差を補償する。 【構成】 測定範囲設定手段（７４）によって設定され
た測定範囲内の磁気センサから出力される位置信号を温
度センサから出力される温度信号に従って基準温度にお
けるデジタル位置信号へと補正しさらに該デジタル位置
信号を前記磁石の位置と比例すべく補償する領域・温度
補償手段（７３）と、該領域・温度補償手段により補償
された位置信号に従ってアクチュエータの可動部分の前
記測定範囲にある位置または前記アクチュエータの可動
部分が前記測定範囲内にあるか否かを検出する検出手段
（７３）を備えている。

Description

【発明の詳細な説明】

【産業上の利用分野】この発明は、直線移動アクチュエ
ータの位置の検出に関し、詳しくは空気圧などで作動す
るシリンダのようなアクチュエータのピストンの直線移
動の基準面からの位置または距離を検出する位置検出装
置に関する。

【従来の技術】本出願人によって位置検出装置を空気圧
シリンダに適用した装置が提案された。図３はその全体
構成図である。図３において、空気圧シリンダ１は電磁
弁（図示されたない）を介して空気圧の供給を受け、シ
リンダピストン２が図中、ＸまたはＹ方向に直線移動す
る。このシリンダピストン２の先端部には磁石３が装着
されている。この磁石３は例えば近接スイッチに使用さ
れる磁石を利用しても良い。また、シリンダピストン２
の可動部分に対して固定されるシリンダ本体４には磁気
センサ５が取付けられている。この磁気センサ５は振動
や粉塵などから保護するためにケース６内に収納されて
いる。磁気センサ５は、ブリッジとして構成され、この
ブリッジを構成する４つの磁歪素子が磁界の強さに比例
してその抵抗を変化する性質を利用して磁界の強さの変
化を電気信号として取り出している。この磁気センサ５
からの出力はデータ処理回路７に送られ、所要のデータ
処理が行われる。図４は、磁気センサ５から出力される
信号レベルとシリンダピストン２の位置の関係を表した
図である。磁気センサ５の位置をＣとし、このＣの位
置、即ち磁石３が磁気センサ５と同一直線上にあるとき
は磁気センサ５からの磁界は検出されず、その出力は零
となる。図３において、Ｃ位置からＸ、Ｙ方向に向かっ
てそれぞれ位置Ａ、Ｂ、Ｄ、Ｅを定めると、磁石３が各
位置に達した時に磁気センサ５から出力される信号レベ
ルは図４のａ、ｂ、ｄ、ｅにそれぞれ対応する。この結
果、シリンダピストン２の移動に伴って図４の実線で示
すような位置Ｃに対して点対称の信号レベルの軌跡が出
力されることになる。図４を着目すると、位置Ｃを中心
とした範囲ＢＤに磁石３がある場合はその磁石の位置に
比例したレベルの位置信号が磁気センサ５から出力され
ることがわかる。この事実に着目し、図５に示すよう
に、磁気センサ５から出力される信号のうち線形的に変
化する領域ＢＤのみ、即ちシリンダピストン２のストロ
ークの一部の特定された領域を測定領域として利用する
ものである。このため、磁石５から出力される線形領域
ＢＤの信号レベルは磁石３の位置を直接示すことにな
る。図３に示すシリンダピストン２の移動距離によって
一方の面が定盤９に密着された被検査物８の厚さが許容
範囲あるか否かの検出を行う場合の測定範囲の設定は次
のようにする。まず、シリンダピストン２の磁石３を磁
気センサ５の位置、即ち位置Ｃに合わせ、シリンダピス
トン２を微調整して位置検出信号が零になる位置Ｃを確
認する。次に位置Ｃを基準として測定する公差の上限位
置Ｄまでシリンダピストン２をＸ方向に移動し、このと
きの位置検出信号を上限位置Ｄとして設定する。同様
に、位置Ｃを基準とする公差の下限位置Ｂまでシリンダ
ピストン２をＹ方向に移動し、このときの位置検出信号
を下限位置Ｂとして設定する。しかして、シリンダピス
トン２をＸ方向に移動させて被検査物８と衝突する位置
を磁気センサ５により位置信号として検出することによ
り、被検査物８の厚さ許容誤差内、即ち測定範囲ＢＤ内
にあるか否かが自動的に表示される。

【発明が解決しようとする課題】上述した知見に基づい
て製作された位置検出装置は、次の課題が存在すること
がわかった。即ち、図４において、磁石３の位置検出の
測定範囲を大きくした場合、図６に示すように磁気セン
サ５から出力される位置信号は前述したように必ずしも
線形ではなく、磁石の位置に比例すると予想される仮想
線形レベルから誤差ｄを含むことが知見された。この誤
差は一定長さ以上の測定範囲でデジタル処理後の測定誤
差の増大となり無視できない大きさであり、信頼性の高
いかつ精度の良い測定を行うためには何らかの補償が必
要であった。また、上述の位置検出装置は、測定範囲を
大きくした場合、図７に示すように測定温度が変化する
と磁気センサの出力特性にも変化が生じ、磁気センサ５
から出力される信号レベルは温度が高いほど低下する。
このため、測定温度に従って、磁気センサ５から出力さ
れる位置信号を磁石の位置に比例すべく補償することが
必要になる。この発明の目的は、磁石の位置検出の測定
範囲を広くして磁気センサから磁石の位置と非線形な位
置信号が出力される場合に、該位置信号を磁石の位置に
比例すべく補償して精度の良い測定ができるようにした
位置検出装置を提供することである。また、この発明の
目的は、測定温度の影響により磁気センサからの位置信
号が変化する場合に、温度の影響を補償して精度良い測
定ができるようにした位置検出装置を提供することであ
る。また、この発明の目的は、磁気センサから磁石の位
置と非線形な位置信号が出力されると共に温度により該
位置信号が変化する場合に、温度による影響を補償する
共に該位置信号を磁石の位置に比例すベく補償して精度
の良い測定ができるようにした位置検出装置を提供する
ことである。

【課題を解決するための手段】この発明は、アクチュエ
ータと、該アクチュエータの直線運動する可動部分に設
けられた磁石と、前記アクチュエータの固定位置に設け
られ、前記磁石の磁界の変動を電気信号に変えて出力す
ると共に前記磁石が特定範囲の位置に存在するときに該
位置に対応する非線形の位置信号を出力する磁気センサ
と、該磁気センサから出力する非線形のアナログ位置信
号のうち特定領域を測定範囲として設定する測定範囲設
定手段と、該測定範囲設定手段によって設定された測定
範囲内の前記磁気センサから出力されるアナログ位置信
号をデジタル位置信号に変換するアナログ／デジタル変
換器と、前記デジタル位置信号が前記磁石の位置と比例
すべく該デジタル位置信号を補償する領域補償手段と、
該領域補償手段により補償されたデジタル位置信号に従
って前記アクチュエータの可動部分の前記測定範囲にあ
る位置または前記アクチュエータの可動部分が前記測定
範囲内にあるか否かを検出する検出手段を備えている。
また、この発明は、アクチュエータと、該アクチュエー
タの直線運動する可動部分に設けられた磁石と、前記ア
クチュエータの固定位置に設けられ、前記磁石の磁界の
変動を電気信号に変えて出力すると共に前記磁石が特定
範囲の位置に存在するときに該位置に対応する位置信号
を出力する磁気センサと、該磁気センサから出力するア
ナログ位置信号のうち特定領域を測定範囲として設定す
る測定範囲設定手段と、前記アクチュエータの固定位置
であって前記磁気センサの近傍に設けられた温度センサ
と、前記測定範囲設定手段によって設定された測定範囲
内の前記磁気センサから出力されるアナログ位置信号を
デジタル位置信号に変換するアナログ／デジタル変換器
と、前記デジタル位置信号を基準温度におけるデジタル
位置信号へと前記温度センサから出力される温度に基づ
いて補償する温度補償手段と、該温度補償手段により補
償されたデジタル位置信号に従って前記アクチュエータ
の可動部分の前記測定範囲にある位置または前記アクチ
ュエータの可動部分が前記測定範囲内にあるか否かを検
出する検出手段を備えているまたこの発明は、アクチュ
エータと、該アクチュエータの直線運動する可動部分に
設けられた磁石と、前記アクチュエータの固定位置に設
けられ、前記磁石の磁界の変動を電気信号に変えて出力
すると共に前記磁石が特定範囲の位置に存在するときに
該位置と非線形の位置信号を出力する磁気センサと、該
磁気センサから出力するアナログ位置信号のうち特定領
域を測定範囲として設定する測定範囲設定手段と、前記
アクチュエータの固定位置であって前記磁気センサの近
傍に設けられた温度センサと、前記測定範囲設定手段に
よって設定された測定範囲内の前記磁気センサから出力
されるアナログ位置信号をデジタル位置信号に変換する
アナログ／デジタル変換器と、前記デジタル位置信号を
前記温度センサから出力される温度信号に従って基準温
度におけるデジタル位置信号へと補正しさらに該デジタ
ル位置信号を前記磁石の位置と比例すベく補償する領域
・温度補償手段と、該領域・温度補償手段により補償さ
れたデジタル位置信号に従って前記アクチュエータの可
動部分の前記測定範囲にある位置または前記アクチュエ
ータの可動部分が前記測定範囲内にあるか否かを検出す
る検出手段を備えている。

【作用】この発明は、磁気センサから出力される磁石の
位置を示す非線形の位置信号を磁石の位置に比例する線
形の位置信号に補償する領域補償手段を備えているか
ら、該領域補償手段により補償された位置信号を判定す
ることにより磁石の位置または磁石が測定範囲内にある
か否かを精度良く検出できる。またこの発明は、磁気セ
ンサの近傍に温度センサを設け、該温度センサから出力
される温度信号に基づいて、磁気センサから出力される
位置信号を基準温度における位置信号へとを補償する温
度補償手段を備えたから、磁石の位置または磁石が測定
範囲内にあるか否かを精度良く検出できる。またこの発
明は、磁気センサから出力される磁石の位置信号を前記
温度センサから出力される温度信号に従って基準温度に
おけるデジタル位置信号へと補正しさらに該デジタル位
置信号を前記磁石の位置と比例すべく補償する領域・温
度補償手段を備えたから、磁石の位置または磁石が測定
範囲内にあるか否かを精度良く検出できる。

【実施例】前述の図３の構成は本発明の位置検出装置に
ついても適用でき、本発明では磁気センサ５の近傍には
温度センサ１１が備えられ、該温度センサ１１の出力は
データ処理回路７に与えられる。温度センサ１１は、例
えば、温度センサＩＣにより構成され、磁気センサ５と
一体に構成しても良い。図１は本発明のデータ処理回路
７の一実施例を示したブロック図である。図１におい
て、磁気センサ５から出力されるシリンダピストン２の
位置検出信号および温度センサ１１から出力される温度
信号は共に波形整形回路７１に送られ、ここでノイズな
どが除去されて整形された後、Ａ／Ｄ（アナログ／デジ
タル）変換器７２に送られる。Ａ／Ｄ変換器７２により
デジタル信号に変換された位置検出信号および温度信号
はＣＰＵ（中央処理装置）７３に与えられる。ＣＰＵ７
３には比較・判別回路７３ａが備えられ、この比較・判
別回酪７３ａは外部からの測定指示命令を受けて動作す
るようにしても良い。比較・判別回路７３ａには測定範
囲設定回路７４から測定範囲基準信号が入力される。測
定範囲設定回路７４は磁気センサ１１から出力される位
置検出信号のうち所要の測定範囲を指定するもので、該
測定範囲の上限値を設定する上限設定回路７４ａと、下
限値を設定する下限設定回路７４ｂとが設けられてい
る。測定範囲設定回路７４によって設定された上限値お
よび下限値を示す信号は比較・判別回路７３ａに与えら
れる。比較・判別回路７３ａは波形整形回路７１、Ａ／
Ｄ変換器７２を介して入力する位置検出信号のレベルを
前記上限値および下限値と比較し、該位置検出信号の信
号レベルが上限値を越えたか、下限値以下であるかまた
は測定範囲内にあるかを判別し、その判別結果を外部装
置に出力すると共に表示回路７５に表示出力する。さら
に、測定範囲設定回路７４は指定した測定範囲、即ち上
限値および下限値を表示回路７５に表示出力する。表示
回路は、指示に従って所要の表示、例えば検出位置信号
が測定範囲内にあるか否かの表示を行う。なお、測定範
囲内にある位置検出信号の位置、即ちシリンダピストン
の位置の表示を行うようにしても良い。ＣＰＵ７３に
は、前記比較・判別回路７３ａの他に、演算回路７３
ｂ、ＲＯＭ７３ｃ、ＲＡＭ７３ｄ、制御回路７３ｅが備
えられている。ＲＯＭ７３ｃには、磁気センサ５からの
位置検出信号が磁石３の位置を表すように、換言すれば
位置検出信号が磁石の位置と線形になるように非線形の
位置検出信号を線形に補正するデータおよび位置補償用
のプログラムが記憶されている。本位置検出信号のよう
な非線形のデータを線形に補償する演算技術は一般に知
られており、位置検出信号の波形を細分化して実験から
得られた補正データを逐一演算することにより求められ
る。さらに、ＲＯＭ７３ｃには、位置検出信号の温度に
よる変動を補償するために、温度補償データが記憶され
ている。この温度補償データは、位置検出信号の波形を
細分化し、各区分ごとに基準となる（基準の温度におけ
る）基準位置検出信号に対して温度変化により変位した
各位置検出信号との比率を求め、各温度ごとに実験結果
より得られた該比率を表すものである。演算回路７３ｂ
は、ＲＯＭ７３ｃに記憶されたデータおよびプログラム
に従って位置検出信号の補償を行い、該位置検出信号が
磁石５の位置と線形になるように演算をおこなう。制御
回路７３ｅは、ＣＰＵ７３全体の制御動作を行う。ＣＰ
Ｕ７３のＲＯＭ７３ｃへの各種データの設定、プログラ
ムの記憶はキーボードなどの入力装置７６によって行う
ことができる。次に、図１のデータ処理回路７を使用し
た本発明の位置検出装置の使用態様について説明する。
測定範囲設定回路７４を補償を必要としない狭い範囲、
即ち磁気センサ５からの位置検出信号が磁石３の位置と
線形になる場合は、ＣＰＵ７３に入力する線形の該位置
検出信号は、ＣＰＵ７３において位置信号に比例する磁
石５の位置が求められ、温度および非線形領域の補償は
行われない。測定範囲設定回路７４を非線形補償を必要
とする広い範囲、即ち磁気センサ５からの位置検出信号
が磁石３の位置と非線形になる場合は、ＣＰＵ７３のＲ
ＯＭ７３ｃから位置補償用のプログラムが制御回路７３
ｅに読出され、該プログラムに従った演算がＲＯＭ７３
ｃに記憶された補正データに基づいて行われる結果、該
位置検出信号は、磁石の位置に比例する線形信号へと補
償される。以後、補償された位置検出信号に従って位置
検出またはアクチュエータの可動部分が測定範囲にある
か否か（磁石の位置が設定された測定範囲内にあるか否
か）の判断が行われる。磁気センサ５からの位置検出信
号が温度に従って変動する場合は、磁気センサ５および
温度センサ１１からＡ／Ｄ変換器７２を介してＣＰＵ７
３に入力する位置検出信号と温度信号は次の温度補償を
おこなう。即ち、ＣＰＵ７３において、入力する温度信
号の温度と対応しかつ補償されるべき位置検出信号の区
分に相当する温度補償データをＲＯＭ７３ｃから読出
し、該区分の位置検出信号に乗算して各区分ごとに温度
補償された基準温度位置信号を算出する。以後、温度補
償された基準の位置検出信号に従って位置検出またはア
クチュエータの可動部分が測定範囲にあるか否か（磁石
の位置が設定された測定範囲内にあるか否か）の判断が
行われる。磁気センサ５から位置検出信号が温度に従っ
て変動しかつ該位置検出信号が磁石の位置と非線形でる
場合は、次の温度・領域補償を行う。即ち、ＣＰＵ７３
において、入力する温度信号の温度と対応しかつ補償さ
れるべき位置検出信号の区分に相当する温度補償データ
をＲＯＭ７３ｃから読出し、該区分の位置検出信号に乗
算して各区分ごとに温度補償された基準温度位置信号を
算出する。次に、ＣＰＵ７３のＲＯＭ７３ｃから位置補
償用のプログラムが制御回路７３ｅに読出され、該プロ
グラムに従った演算がＲＯＭ７３ｃに記憶された補正デ
ータに基づいて前記基準温度位置信号に対して行われる
結果、該基準温度位置信号は、磁石の位置に比例する線
形信号へと補償される。以後、温度補償されかつ領域補
償された位置検出信号に従って位置検出またはアクチュ
エータの可動部分が測定範囲にあるか否か（磁石の位置
が設定された測定範囲内にあるか否か）の判断が行われ
る。上述した領域補償は、位置検出信号が非線形になる
一定範囲以上の設定測定範囲に対して自動的に行われ
る。また、温度補償は、前記領域補償と共に行われるよ
うに構成しても良く、また外部から温度補償指示を与え
ることにより単独にまたは領域補償と共に温度補償を行
うように構成しても良い。次に上述の領域・温度補償手
段を備えたアクチュエータの位置検出装置の好適な適用
例について図２に基づいて説明する。図２は、空気圧を
利用して物体を把持する、通称、ハンドと呼称されてい
る（市販されている）装置である。この装置は、ポート
Ａから空気が供給されると、室２０に空気が充満してピ
ストン２１が図５において右方へ、ポートＢに空気が供
給されるとピストン２１が左方へ移動する。ピストン２
１はロッド２２が結合されており、該ロッド２２は作動
軸２３によって２個のアーム２４に連結されている。該
アーム２４は支軸２５を中心に回動し、この運動はアー
ム２４の切込みに嵌合された作動軸２６に伝達される。
この作動軸２６はマスタジョウ２７に連結されており、
マスタジョウ２７にも回動運動が伝達されるものの、該
マスタジョウ２７は図示しないベアリングガイドにより
図２の矢印で示す上下方向の運動のみをおこなう。即
ち、ピストン２１の右方の運動に連動してマスタジョウ
２７は開き、左方の運動に連動してマスタジョウ２７は
閉じる。この２つのマスタジョウ２７の間に被測定物が
把持される。図２の装置において、ピストン３１には磁
石３が取り付けられ、また磁石３の位置を検出するため
の磁気センサ５と、該磁気センサ５の温度を検出するた
めの温度センサ１１がシリンダ本体２８の所要位置に配
設されている。磁気センサ１１および温度センサ１２か
らの出力は上述したデータ処理回路７に与えられ、上述
した動作が行われる。図２の装置においては、ピストン
２１と共に直線運動する磁石５の位置の検出が直接、２
つマスタジョウ２７の開度、即ちマスタジョウ２７に把
持された被測定物の大きさを示すので、図３に示す装置
と同様に被測定物の寸法および該被測定物が測定範囲に
有るか否かの検出を行うことができる。このハンドタイ
プの装置に本発明を適用すると、例えば機械加工品の寸
法検査などの搬送用ハンドと自動検査装置の２つとして
利用することができその応用範囲が広い。

【効果】以上説明したように、この発明は、磁気センサ
から出力される磁石の位置を示す非線形の位置検出信号
を磁石の位置に比例する線形の位置信号に補償する領域
補償手段を備えているから、測定範囲が広がって位置検
出信号が磁石の位置に比例しない場合にも該領域補償手
段により線形の位置検出信号へと補償することがでる。
従って、従来の装置に比べて著しく測定精度を向上させ
ることができる。またこの発明は、磁気センサの近傍に
温度センサを設け、該温度センサから出力される温度信
号に基づいて、磁気センサから出力される位置信号を基
準温度における位置信号へとを補償する温度補償手段を
備えたから、温度の変化に拘わらず精度良く検出でき
る。またこの発明は、磁気センサから出力される磁石の
位置信号を前記温度センサから出力される温度信号に従
って基準温度におけるデジタル位置信号へと補正しさら
に該デジタル位置信号を前記磁石の位置と比例すべく補
償する領域・温度補償手段を備えたから、測定範囲が広
がって位置検出信号が磁石の位置に比例せず、かつ温度
の変化に拘わらず磁石の位置または磁石が測定範囲内に
あるか否かを精度良く検出できる。またこの発明は、実
施例のようにハンドで使用する事により、機械加工ライ
ン等で従来までの検査工程をハンドでの搬送と同時に行
う事も可能になり工程の簡素化、ラインの短縮化、低コ
スト化に大いに貢献出来る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の位置検出装置のデータ処理装置の一実
施例を示す全体構成図である。

【図２】本発明の好適な適用例を示す平断面図。

【図３】本発明が適用できる位置検出装置の一例を示す
全体構成図である。

【図４】磁石の移動距離と磁気センサによる位置検出信
号のレベルとの関係を示す図である。

【図５】位置検出信号の線形領域を示す図である。

【図６】位置検出信号が非線形領域を含むことを示す図
である。

【図７】温度変化と磁気センサによる位置検出信号のレ
ベルとの関係を示す図である。

【符号の説明】

１ 空気圧シリンダ ２ シリンダピストン ３ 磁石 ５ 磁気センサ ７ データ処理装置 １１ 温度センサ ７３ ＣＰＵ ７３ａ 比較・判別回路 ７３ｂ 演算回路 ７３ｃ ＲＯＭ ７３ｄ ＲＡＭ ７３ｅ 制御回路 ７４ 測定範囲設定回路 ７５ 表示回路

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 アクチュエータと、該アクチュエータの
   直線運動する可動部分に設けられた磁石と、前記アクチ
   ュエータの固定位置に設けられ、前記磁石の磁界の変動
   を電気信号に変えて出力すると共に前記磁石が特定範囲
   の位置に存在するときに該位置に対応する非線形の位置
   信号を出力する磁気センサと、該磁気センサから出力す
   る非線形のアナログ位置信号のうち特定領域を測定範囲
   として設定する測定範囲設定手段と、該測定範囲設定手
   段によって設定された測定範囲内の前記磁気センサから
   出力されるアナログ位置信号をデジタル位置信号に変換
   するアナログ／デジタル変換器と、前記デジタル位置信
   号が前記磁石の位置と比例すべく該デジタル位置信号を
   補償する領域補償手段と、該領域補償手段により補償さ
   れたデジタル位置信号に従って前記アクチュエータの可
   動部分の前記測定範囲にある位置または前記アクチュエ
   ータの可動部分が前記測定範囲内にあるか否かを検出す
   る検出手段を備えてなる直線移動アクチュエータの位置
   検出装置。
2. 【請求項２】 アクチュエータと、該アクチュエータの
   直線運動する可動部分に設けられた磁石と、前記アクチ
   ュエータの固定位置に設けられ、前記磁石の磁界の変動
   を電気信号に変えて出力すると共に前記磁石が特定範囲
   の位置に存在するときに該位置に対応する位置信号を出
   力する磁気センサと、該磁気センサから出力するアナロ
   グ位置信号のうち特定領域を測定範囲として設定する測
   定範囲設定手段と、前記アクチュエータの固定位置であ
   って前記磁気センサの近傍に設けられた温度センサと、
   前記測定範囲設定手段によって設定された測定範囲内の
   前記磁気センサから出力されるアナログ位置信号をデジ
   タル位置信号に変換するアナログ／デジタル変換器と、
   前記デジタル位置信号を基準温度におけるデジタル位置
   信号へと前記温度センサから出力される温度に基づいて
   補償する温度補償手段と、該温度補償手段により補償さ
   れたデジタル位置信号に従って前記アクチュエータの可
   動部分の前記測定範囲にある位置または前記アクチュエ
   ータの可動部分が前記測定範囲内にあるか否かを検出す
   る検出手段を備えてなる直線移動アクチュエータの位置
   検出装置。
3. 【請求項３】 アクチュエータと、該アクチュエータの
   直線運動する可動部分に設けられた磁石と、前記アクチ
   ュエータの固定位置に設けられ、前記磁石の磁界の変動
   を電気信号に変えて出力すると共に前記磁石が特定範囲
   の位置に存在するときに該位置と非線形の位置信号を出
   力する磁気センサと、該磁気センサから出力するアナロ
   グ位置信号のうち特定領域を測定範囲として設定する測
   定範囲設定手段と、前記アクチュエータの固定位置であ
   って前記磁気センサの近傍に設けられた温度センサと、
   前記測定範囲設定手段によって設定された測定範囲内の
   前記磁気センサから出力されるアナログ位置信号をデジ
   タル位置信号に変換するアナログ／デジタル変換器と、
   前記デジタル位置信号を前記温度センサから出力される
   温度信号に従って基準温度におけるデジタル位置信号へ
   と補正しさらに該デジタル位置信号を前記磁石の位置と
   比例すべく補償する領域・温度補償手段と、該領域・温
   度補償手段により補償されたデジタル位置信号に従って
   前記アクチュエータの可動部分の前記測定範囲にある位
   置または前記アクチュエータの可動部分が前記測定範囲
   内にあるか否かを検出する検出手段を備えてなる直線移
   動アクチュエータの位置検出装置。