JPH0353111A - 測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この発明は、測定結果を表示する表示手段を備え、且つ
測定結果を複数個のレンジで表示する測定装置に関する
。

［従来の技術］ 表示手段を備え、且つ測定結果を複数個のレンジで表示
するように構成されてなる測定装置は、従来、複数個の
レンジの中からある特定のレンジを選択すると、その選
択しているレンジに対応した値のみが前記表示手段に表
示される構成になっていた。

［発明が解決しようとする課題コ 表示手段を備え、且つ測定結果を複数個のレンジで表示
するように構或されてなる従来の測定装置では、複数個
のレンジの中からある特定のレンジを選択すると、その
選択しているレンジに対応した値のみが前記表示手段に
表示される。

ところで、測定結果を複数個のレンジで表示する意図は
、複数個の高さの精度で測定結果を得るためである。つ
まり、例えば低い精度のレンジに切換えて被測定物と測
定手段との凡その相対位置の位置決め、いわゆる被測定
物に対する測定手段のセッティングをし、測定の際には
より高いレンジに切替えて測定をおこなう。又、精度の
低いレンジに切替えることによって被測定物全体につい
ての大まかな測定結果を得、精度の高いレンジに切替え
ることによって被測定物の特定部分について極めて高い
精度の測定結果を得るということがおこなわれている。

従来の測定装置を用いて、最初に低い精度のレンジに切
替えて被測定物に対する測定手段のセッティングをおこ
ない、次に高い精度のレンジに切替えて被測定物の測定
をおこなう場合に、その測定の際に測定結果が選択して
いる高い精度のレンジに範囲を越える、いわゆるオーバ
レンジの状態になると、測定結果がどの程度レンジの範
囲をオーバしているかは知ることはできない。従って、
その選択したレンジで測定を続けるためには、被測定手
段と測定物との相対位置をそのレンジの範囲内になるよ
うに再びセッティングし直す必要がある。しかし、従来
の測定手段では、レンジの範囲を越えたといってもどの
程度だけオーバレンジしているかを知ることができない
ために、測定者は全く最初からセッティングをする必要
があり、操作が煩雑であり、又リセットに多くの時間が
かかるという問題があった。

又、被測定物全体の凡その測定結果とその被測定物の特
定部分の高い精度の測定結果を平行して得ようとする場
合には、低い精度のレンジに切替えて被測定物全体を測
定することによって全体についての測定結果を、高い精
度のレンジに切換えて被測定物の特定部分を測定するこ
とによってその特定部分についての測定結果をそれぞれ
個別に得、その後その特定部分についての測定結果を全
体についての測定結果の対応する部分に合わせるという
方法がとられる。しかし、この方法では、複数個の測定
を必要とし、又測定結果を互いに対応する部分同士で合
わせる必要があり、作業が煩雑になり、又多くの時間が
かかるという問題があった。加えて、例えば測定装置が
接触式の表面粗さを測定する装置である場合には、測定
を重ねることによって被測定物の表面粗さが変わり、先
におこなう精度の低いレンジでの測定と後におこなう精
度の高いレンジでの測定では測定結果が異なって、測定
結果が対応させにくい場合が出て来るという問題があっ
た。

この発明は上記の事情に鑑みてなされたものであり、測
定結果を複数個のレンジで表示でき、測定の際にオーバ
レンジが生じてリセットする場合にそのリセットが簡便
に、又短時間でおこない得る測定装置を提供するもので
ある。加えて、被測定物の測定において被測定物全体の
凡その測定結果と特定部分の高い精度の測定結果を平行
して得る場合に、作業が簡便で、且つ短時間で済すこと
ができ、しかもそれら複数個の測定結果がよく対応する
測定結果を提供するものである。

［課題を解決するための手段］ この発明は、測定結果を表示する際に複数個のレンジの
中から任意の数のレンジで表示できるように構威された
測定装置である。

その詳細な構或は、測定手段と、測定結果を表示する表
示手段と、その測定手段と表示手段との間に介在し、測
定結果を示す測定手段からの信号を複数個のレンジに対
応する信号に変換し得る演算手段が備えられ、上記表示
手段が測定結果を所望の数のレンジで表示し得るように
構成してなる測定装置である。

［作用］ 測定結果は、複数個のレンジの中から任意に選択した数
のレンジで同時に表示手段に表示される。

［実施例］ この発明を、第１〜２図に示す実施例に基づき詳述する
。しかし、この実施例によってこの発明が限定されるも
のではない。

測定装置である表面粗さ測定装置１は第１図に示すよう
に、基台２と、基台２に垂直に立設された支柱３と、被
測定物４の表面粗さを測定する接触式の測定手段５、測
定手段５を前後方向（矢印八方向）、及び上下方向（矢
印Ｂ方向）にそれぞれ移動させるための移動手段６、及
びスライド手段７と、測定手段５が検出した結果を表示
する表示手段８が備えられている。

被測定物４は基台２の上に配置した姿勢補正手段９（特
願平１−７２２８８号を参照）に載置支持され、被測定
面が測定手段５の移動方向と平行になるように構戊され
ている。

表示手段８は実質的にＣＲＴであって、表示面１０には
測定結果の他に測定をおこなう際のメニューが表示され
る。

表面粗さ測定装置１の作動に関わる構成は第２図に示す
ように、被測定物の表面粗さを検出して電気信号に変換
する測定手段５と、測定手段５からの検出信号に所定の
値を掛で（１×、１０×、及び１００ｘ）、それぞれの
最大幅が８μｍ，８０μｍ，及び８００μｍであるレン
ジに対応するように増幅する増幅手段１１と、増幅手段
１１からの三つの信号を、検波、平滑、Ａ／Ｄ変換を含
む所定の演算をおこなう演算手段１２と、演算手段１２
からの信号を人力して測定結果を表示する表示手段８と
、測定手段５、増幅千段１１，演算手段ｌ２、表示手段
８等に作動制御の信号を送る制御手段ｌ３からなる。尚
、増幅手段１１と、演算手段１２、及び制御手段工３は
、表示手段８の本体ケーシング１４内に配設されている
。又、１５は測定の際に測定者が測定操作をおこなうた
めのマウスであって、制御手段１３に接続されている。

以下において、表面粗さ測定装置１の使用を説明する。

まず、姿勢補正手段９に被測定物４を載置し、測定手段
５、移動手段６、及び姿勢補正手段９を作動させて被測
定物４の被測定面を移動手段６の移動方向に平行な状態
にする。ここで、表示手段８の表示面１０に表示されて
いるメニューを見ながらマウス１５を用いて、被測定物
４の表面粗さを測定するように操作する。制御手段１３
はマウス１５からの信号を受けて、測定手段５に被測定
物４の表面粗さを測定させるための制御信号を、移動手
段６に測定手段５を矢印八方向に移動させるための制御
信号を、増幅手段１１に測定手段５からの信号を三つの
レンジに対応するように増幅させるための制御信号を、
演算手段１２に増幅手段からの三つの信号に所定の演算
をおこなわすための制御信号を、表示手段８に演算手段
１２からの三つの信号に基づき被測定物４の表面粗さを
三つのレンジで表示させるための制御信号を、それぞれ
送る。

ここで、測定手段５は被測定物４の表面粗さを検出して
得た検出信号を増幅手段１１に送り、増幅手段１１は検
出信号を最大幅がそれぞれ８μｍ，８０μｍ，８００μ
ｍになるように増幅して信号で演算手段１２に送り、演
算手段１２は三つの信号に所定の演算を施してから演算
結果を信号で表示手段８に送り、表示手段８は演算手段
１２からの三つの信号に基づきそれぞれのレンジに対応
した値を表示面１０に表示する。

この測定の際に、例えば被測定面に段差があって測定結
果が８μｍより大きくなると、最大幅が８μｍのレンジ
の表示においてオーバレンジの状態となり、このオーバ
レンジの旨の信号を受けて制御手段１３は移動手段６に
停止のための信号を送る。つまり、最大幅が４μｍであ
るレンジでは、測定結果が表示されない状態となる。従
って、測定者は、測定手段５と被測定物４との相対位置
を最大幅が８μｍのレンジ内にあるようにリセットする
必要がある。しかし、この測定において、測定結果は同
時に最大幅が８０μｍであるレンジでも表示されている
から、測定者は最大幅が８０μｍのレンジで表示されて
いる測定結果からどの程度だけオーバレンジしているか
を読取り、その読取った結果に基づきマウス１５を用い
てスライド手段７に作動のための信号を送る。この信号
を送ることにより制御手段１３はスライド手段７に所望
距離だけ矢印Ｂ方向に測定手段５をスライドさせるため
の信号を送る。スライド手段７は制御手段１３からの信
号を受けて作動し、測定手段５は被測定物４の被測定面
に対して最大幅が８μｍのレンジ内に位置する。ここで
、測定手段５と被測定物との相対位置の再セッティング
が得られている。測定者は、再び測定を続けることがで
きる。

この再セッティングにおいて、測定手段５と被測定物４
との相対位置が、最大幅８μｍであるレンジの境界から
どの程度だけズレているかを最大幅８０μｍのレンジに
対応する表示から知ることができるから、測定者はその
再セッティングを簡便で、且つより短い時間でおこなう
ことができる。

又、上述した測定において、被測定物４の被測定面に段
差があって最大幅が８μｍであるレンジでオーバレンジ
となり測定が一時中断するまでの測定結果及び再セッテ
ィング後に測定再開によって得られる測定結果を、一つ
として最大幅が８０μｍのレンジで全体を通して二つに
は最大幅が８μｍのレンジで局部的に、しかも同時平行
的に得ようとする場合がある。この場合、最大幅か８μ
ｍのレンジに対応する表示も最大幅が８０μｍのレンジ
に対応する表示も同時に得られているから、測定者は局
部的な測定結果を最大幅が８μｍのレンジに対応する表
示から読取ることができる。他方、測定者は全体を通し
た測定結果を、最大幅が８０μｍのレンジに対応する表
示でリセットした点においてスライド手段７にスライド
させた距離だけのそのリセットのためにスライドさせた
と逆の方向にリセットした点以後の値をスライドさせる
ことによって得ることができる。

上述したように、被測定物４の測定面全体の凡その測定
結果と測定対象が局部的であってしかもより測定の精度
が高い場合の測定結果を平行して求める際に、表面粗さ
測定装置１では求めたい二つの測定結果が平行して同時
に得られるから、求めたい二つの測定結果をそれぞれ個
別に求めて、更にそれらの測定結果を対応させる場合に
比べて結果を得るための作業が簡便であり、しかもより
短い時間でおこなうことができる。

この実施例において、測定結果の表示は最大幅が８μｍ
のレンジと８０μｍのレンジについて述べたが、最大幅
が８００μｍのレンジにおいても測定結果は同時平行し
て表示されている。又、所望により、必要とするレンジ
のみ（単複共に）を選択して表示することもできる。

表面粗さ測定装置１は、最大幅が小さいレンジの表示に
おいてオーバレンジした際には被測定物４と測定手段５
との相対位置をスライドすることにより前記最大幅が小
さいレンジ内に測定結果を表示させ、この時最大幅が比
較的大きいレンジに前記スライドした分だけズレが生じ
て不連続となるが、スライドする距離を取込んで連続と
なって表示させ得る補正手段を加えた構成であってもよ
い。

表面粗さ測定装置１では最大幅が８μｍ，８０μｍ１及
び８００μｍである三種類のレンジを備えて構威されて
いるが、所望により或いは必要に応じてレンジの最大幅
、及びレンジの種類を適宜選択してもよい。

表面粗さ測定装１ｉｆｌでは表示手段８はＣＲＴを備え
てなるものであるが、表示手段は液晶ディスプレイ式の
ものでもよく、又プリンタによって測定結果が示される
ものであってもよい。

この発明は、表面粗さ測定装置に限定されず、例えば真
円度測定機、輪郭測定機といったように測定結果を複数
のレンジによって得る測定装置に広く適用できる。

［発明の効果］ この発明によれば、測定結果を複数個のレンジで同時平
行的に表示できるように構威したことにより、最大幅が
比較的小さいレンジにおいてオーバレンジした際に、最
大幅が比較的大きいレンジに表示されている測定結果に
基づき、簡便で、且つ短時間で測定結果を最大幅が比較
的小さいレンジ内にリセッティングすることができると
いう効果が得られている。加えて、被測定物全体の凡そ
の測定結果、及びその被測定物の局部的であって且つ高
い精度での測定結果を同時平行的に得る際に、・それら
二つの測定結果が簡便で、且つ短時間で得られるという
効果が得られている。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例を示す斜視図、第２図はこ
の実施例の作動を示す構或説明図である。 １・・・表面粗さ測定装置（測定装置）４・・・被測定
物、　　　５・・・測定手段、８・・・表示手段、　　
１０・・・表示面、１２・・・演算手段、　　１３・・
・制御手段。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、測定手段と、測定結果を表示する表示手段と、その
   測定手段と表示手段との間に介在し、測定結果を示す測
   定手段からの信号を複数個のレンジに対応する信号に変
   換し得る演算手段が備えられ、 上記表示手段が測定結果を所望の数のレンジで表示し得
   るように構成してなる測定装置。