JPH0698759B2 - 液体噴射記録ヘツド - Google Patents

液体噴射記録ヘツド

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JPH0698759B2
JPH0698759B2 JP61241386A JP24138686A JPH0698759B2 JP H0698759 B2 JPH0698759 B2 JP H0698759B2 JP 61241386 A JP61241386 A JP 61241386A JP 24138686 A JP24138686 A JP 24138686A JP H0698759 B2 JPH0698759 B2 JP H0698759B2
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Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、液体噴射記録ヘッド、詳しくは、インク等の
記録用液体の小滴を発生させ、それを紙などの被記録材
に付着させて記録を行なう液体噴射記録方式に用いる記
録用液体の小滴発生用の記録ヘッドに関する。
〔従来の技術〕
インク等の記録用液体の小滴を発生させ、それを紙など
の被記録材に付着させて記録を行なう液体噴射記録方式
は、記録時の騒音の発生が無視できる程度に極めて小さ
く、かつ高速記録が可能であり、しかも普通紙に定着な
どの特別な処理を必要とせずに記録を行なうことのでき
る記録方式として注目され、最近種々のタイプのものが
活発に研究されている。
液体噴射記録方式に用いられる記録装置の記録ヘッド部
は、一般に、記録用液体を吐出するためのオリフィス
（液体吐出口）と、該オリフィスに連通し、記録用液体
を吐出するためのエネルギーが記録用液体に作用する部
分を有する液体通路と、該液体通路に供給する記録用液
体を貯留するための液室とを有して構成されている。
記録の際に、記録用液体を吐出するためのエネルギー
は、液体通路の一部を構成する記録用液体に吐出エネル
ギーを作用させる部分（エネルギー作用部）の所定の位
置に配置された発熱素子、圧電素子等の種々のタイプの
吐出エネルギー発生素子によって発生されるものが多
い。
このような構成の液体噴射記録ヘッドを製造する方法と
しては、例えば、ガラス、金属等の平板に切削やエッチ
ング等によって、微細な溝を形成し、更にこの溝を形成
した平板に他の適当な板を接合して液体通路を形成する
工程を含む方法、あるいは例えば吐出エネルギー発生素
子の配置された基板上に硬化した感光性樹脂の溝壁をフ
ォトリソグラフィー工程によって形成して、基板上に液
体通路となる溝を設け、このようにして形成された溝付
き板に、他の平板（覆い）を接合して液体通路を形成す
る工程を含む方法が知られている（例えば特開昭57-438
76号）。
これらの液体噴射記録ヘッドの製造方法のなかでは、感
光性樹脂を使用した後者の方法は、前者の方法に対し
て、液体通路をより精度良く、かつ歩留り良く微細加工
でき、しかも量産化が容易であるので、品質が良く、よ
り安価な液体噴射記録ヘッドを提供することができると
いう利点を有している。
このような記録ヘッドの製造に用いる感光性樹脂として
は、印刷版、プリント配線等におけるパターン形成用と
して用いられてきたもの、あるいはガラス、金属、セラ
ミックス等に用いる光硬化型の塗料や接着剤として知ら
れているものが用いられており、また作業能率などの面
からドライフィルムタイプの樹脂が主に利用されてき
た。
〔発明が解決しようとする問題点〕
感光性樹脂の硬化膜を用いた記録ヘッドにおいては、高
度な記録特性、耐久性及び信頼性等の優れた特性を得る
ために、記録ヘッドに用いる感光性樹脂には、 （１）特に、硬化膜としての基板との接着性に優れてい
る、 （２）硬化した際の機械的強度及び耐久性等に優れてい
る、 （３）パターン露光を用いたパターンニングの際の感度
及び解像度に優れている などの特性を有していることが要求される。
ところが、これまでに知られている液体噴射記録ヘッド
の形成に用いられる感光性樹脂としては、上記の要求特
性を全て満足したものが見当たらないのが現状である。
すなわち、記録ヘッド用の感光性樹脂として、印刷版、
プリント配線等におけるパターン形成用として用いられ
ているものは、感度及び解像度においては優れている
が、基板として用いられるガラス、セラミックス、プラ
スチックフィルムなどに対する接着性や密着性に劣り、
しかも硬化した際の機械的強度や耐久性が十分でない。
そのため、記録ヘッドの製造段階において、または使用
にともなって、例えば液体通路内の記録用液体の流れを
阻害したり、あるいは液滴吐出方向を不安定にするなど
して記録特性を低下させる等、記録ヘッドの信頼性を著
しく損なう原因となる樹脂硬化膜の変形や基板からの剥
離、損傷などが起き易いという欠点を有している。
一方、ガラス、金属、セラミックス等に用いる光硬化型
の塗料や接着剤として知られているものは、これらの材
質からなる基板に対する密着性や接着性に優れ、かつ硬
化した際に十分な機械的強度や耐久性が得られるという
利点を有しているものの、感度及び解像度に劣るため
に、より高強度の露光装置や長時間の露光操作が必要と
され、また、その特性上、解像度良く精密な高密度パタ
ーンを得ることができないために、特に微細な精密加工
が要求される記録ヘッド用としては向いていないという
問題点を有している。
本発明は、このような問題点に鑑みなされたものであ
り、前述したような諸要求特性を全て満足した樹脂硬化
膜からなる液体通路壁を有し、安価で精密であり、信頼
性が高く、耐久性に優れた液体噴射記録ヘッドを提供す
ることを目的とする。
本発明の他の目的は、液体通路が精度良くかつ歩留り良
く微細加工された構成を有した液体噴射記録ヘッドを提
供することにある。
本発明の他の目的は、マルチオリフィス化された場合に
も信頼性が高く、耐久性に優れた液体噴射記録ヘッドを
提供することにある。
〔問題点を解決するための手段〕
上記の目的は以下の本発明によって達成することができ
る。
本発明は、基板面に設けられ、液体の吐出口に連通する
液体通路が、活性エネルギー線によって硬化する樹脂組
成物からなる層に、該活性エネルギー線を用いた所定の
パターン露光を為して前記樹脂組成物の硬化領域を形成
し、該層から未硬化領域を除去して形成されている液体
噴射記録ヘッドであって、前記樹脂組成物が （Ａ）分子中に、１個の（メタ）アクリロイル基と一般
式（Ｉ） （但し、上記式中のＺは、 で表わされる５員環を表わし、R1およびR2は、水素原子
または炭素数１〜３のアルキル基を表す。）で表わされ
るジシクロペンテニル誘導体基とを含有するモノマー
と、アルキル（メタ）アクリレート、アクリロニトリル
およびスチレンからなる群より選ばれた１種以上のモノ
マーとからなる構造単位を主体とする幹鎖に、（ａ）水
酸基含有（メタ）アクリルモノマー、（ｂ）アミノ若し
くはアルキルアミノ基含有（メタ）アクリルモノマー、
（ｃ）カルボキシル基含有（メタ）アクリル若しくはビ
ニルモノマー、（ｄ）Ｎ−ビニルピロリドン、（ｅ）ビ
ニルピリジン若しくはその誘導体および（ｆ）下記一般
式（II）で表わされる（メタ）アクリルアミド誘導体か
らなる群より選ばれた一種以上のモノマーに由来する構
造単位を主体とする枝鎖が付加されてなるグラフト共重
合高分子と、 （但し、上記式中のR1は、水素原子またはメチル基であ
り、R2は水素原子または炭素原子数が１〜４の水酸基を
有してもよいアルキル若しくはアシル基を表わす。） （Ｂ）エチレン性不飽和結合を有するモノマー とを有してなる活性エネルギー線硬化型樹脂組成物であ
ることを特徴とする液体噴射記録ヘッドである。
すなわち本発明の記録ヘッドは、基板と、少なくとも液
体通路となる溝を形成する樹脂硬化膜層とを有してな
り、記録ヘッドを構成する各部材の耐久性及び各部材間
での接着性に優れ、しかも樹脂硬化膜層が精度良く微細
加工されており、優れた記録特性を有し、信頼性も高
く、使用に際しての耐久性にも優れた記録ヘッドであ
る。
以下、図面に従って本発明の液体噴射記録ヘッドを詳細
に説明する。
第１図は本発明の液体噴射記録ヘッドの一例であり、第
１図（ａ）はその主要部の斜視図、第１図（ｂ）は第１
図（ａ）のC-C′線に添った切断断面図である。
この液体噴射記録ヘッドは、基本的に、基板１と、該基
板上に設けられ、所定の形状にパターンニングされた樹
脂硬化膜3Hと、該樹脂硬化膜上に積層された覆い７とを
有してなり、これらの部材によって、記録用液体を吐出
するためのオリフィス９、該オリフィスに連通し、記録
用液体を吐出するためのエネルギーが記録用液体に作用
する部分を有する液体通路6-2及び該液体通路に供給す
る記録用液体を貯留するための液室6-1が形成されてい
る。更に、覆いに設けられた貫通孔８には、記録ヘッド
外部から液室6-1に記録用液体を供給するための供給管1
0が接合されている。尚、第１図（ａ）には、供給管10
は省略してある。
記録の際に、記録用液体を吐出するためのエネルギー
は、液体通路6-2の一部を構成する記録用液体に吐出エ
ネルギーを作用させる部分の所定の位置に配設された発
熱素子、圧電素子等の種々のタイプの吐出エネルギー発
生素子２に、これら素子に接続してある配線（不図示）
を介して吐出信号を所望に応じて印加することにより発
生される。
本発明の記録ヘッドを構成する基板１は、ガラス、セラ
ミックス、プラスチックあるいは金属等からなり、発生
素子２が所望の個数所定位置に配設される。なお、第１
図の例においては発生素子が２個設けられているが、発
熱素子の個数及び配置は記録ヘッドの所定の構成に応じ
て適宜決定される。
また、覆い７は、ガラス、セラミックス、プラスチック
あるいは金属等の平板からなり、融着あるいは接着剤を
用いた接着方法により樹脂硬化膜3H上に接合されてお
り、また所定の位置に供給管10を接続するための貫通孔
８が設けられている。
本発明の記録ヘッドにおいて、液体通路6-2及び液室6-1
の壁を構成する所定の形状にパターンニングされた樹脂
硬化膜3Hは、基板１上に、あるいは覆い７上に設けた以
下に説明する組成の樹脂組成物からなる層をフォトリソ
グラフィー工程によってパターンニングして得られたも
のである。尚、この樹脂硬化膜3Hは、該樹脂組成物で形
成した覆い７と一体化してパターニングされたものであ
ってもよい。
このように少なくとも液体通路となる部分を構成するた
めの基板上に設けられた樹脂硬化膜を形成するために用
いる樹脂組成物は、 （Ａ）分子中に、１個の（メタ）アクリロイル基と一般
式（Ｉ） （但し、上記式中のＺは、 で表わされる５員環を表わし、R1およびR2は、水素原子
または炭素数１〜３のアルキル基を表す。）で表わされ
るジシクロペンテニル誘導体基とを含有するモノマー
と、アルキル（メタ）アクリレート、アクリロニトリル
およびスチレンからなる群より選ばれた１種以上のモノ
マーとからなる構造単位を主体とする幹鎖に、（ａ）水
酸基含有（メタ）アクリルモノマー、（ｂ）アミノ若し
くはアルキルアミノ基含有（メタ）アクリルモノマー、
（ｃ）カルボキシル基含有（メタ）アクリル若しくはビ
ニルモノマー、（ｄ）Ｎ−ビニルピロリドン、（ｅ）ビ
ニルピリジン若しくはその誘導体および（ｆ）下記一般
式（II）で表わされる（メタ）アクリルアミド誘導体か
らなる群より選ばれた一種以上のモノマーに由来する構
造単位を主体とする枝鎖が付加されてなるグラフト共重
合高分子と、 （但し、上記式中のR1は、水素原子またはメチル基であ
り、R2は水素原子または炭素原子数が１〜４の水酸基を
有してもよいアルキル若しくはアシル基を表わす。） （Ｂ）エチレン性不飽和結合を有するモノマー とを有してなる活性エネルギー線硬化型樹脂組成物であ
り、特に硬化膜とした際にガラス、プラスチック、セラ
ミックス等からなる基板に対して良好な接着性を有し、
かつインク等の記録用液体に対する耐性及び機械的強度
にも優れ、しかも活性エネルギー線によるパターニング
によって精密で高解像度のパターンを形成することがで
きるという液体噴射記録ヘッドの構成部材として優れた
特性を有するものである。更に、この樹脂組成物は、ド
ライフィルムとして用いることができ、その際にも上記
の優れた特性が発揮される。
以下、この本発明の記録ヘッドの形成に用いる活性エネ
ルギー硬化型樹脂組成物の組成について詳細に説明す
る。尚、本発明書全体における「（メタ）アクリロイル
基」、「（メタ）アクリレート」および「（メタ）アク
リル」という語は、それぞれ「アクリロイル基およびメ
タクロイル基」、「アクリレートおよびメタクリレー
ト」、「アクリルおよびメタクリル」の語を包含するも
のである。
上記活性エネルギー線硬化型樹脂組成物の必須成分であ
るグラフト共重合高分子（Ａ）は、構造材料としての適
性を有する比較的剛直で、耐熱性に優れた性状を有する
幹鎖に、親水性を有する上記（ａ）〜（ｆ）のモノマー
を主体にして、基板への優れた密着性を発揮する枝鎖を
グラフトしてなるものである。
上記グラフト共重合高分子の幹鎖を構成する必須成分で
あるジシクロペンテニル（メタ）アクリレート誘導体
は、ガラス転移点が非常に高く、且つ吸湿性が低い特徴
を有し、本発明に用いる樹脂組成物に高い耐熱性および
耐久性を付与するものである。
具体的に示せば、以下の構造の化合物が挙げられる。
ジシクロペンテニル（メタ）アクリレート誘導体の配合
割合は、モノマー全体中で１〜60重量％を占める割合が
好ましく、ドライフィルムとして用いる場合には、１〜
30重量％の範囲が特に好ましい。
グラフト共重合高分子の幹鎖を構成するもう一方のモノ
マーは、メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）
アクリレート、イソブチル（メタ）アクリレート、ｔ−
ブチル（メタ）アクリレート等のアルキル基の炭素数が
１〜４のアルキル（メタ）アクリレート、アクリロニト
リルおよびスチレンである。
幹鎖は上記モノマーのみに由来するものの外、例えば、
上記モノマーに、メチル（メタ）アクリレート、エチル
（メタ）アクリレート、ｎ−ブチル（メタ）アクリレー
ト、ラウリル（メタ）アクリレート、２−エチルヘキシ
ル（メタ）アクリレート、グリシジル（メタ）アクリレ
ート、酢酸ビニル等を０〜約50重量％までの範囲内で共
重合の成分として用いてなる幹鎖であってもよい。上記
幹鎖は本発明に用いる樹脂組成物において該組成物に高
い凝集強度および耐熱性を与える。
本発明におけるグラフト共重合高分子の枝鎖を構成する
モノマーを具体的に示せば、 （ａ）の水酸基含有（メタ）アクリルモノマーとして
は、 ２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、 ２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、 ３−クロロ−２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレ
ート、 ４−ヒドロキシブチル（メタ）アクリレート、 ３−ヒドロキシブチル（メタ）アクリレート、 ５−ヒドロキシペンチル（メタ）アクリレート、 ６−ヒドロキシヘキシル（メタ）アクリレートあるいは
1,4−シクロヘキサンジメタノールと（メタ）アクリル
酸とのモノエステル等が挙げられ、商品名アロニックス
M5700（東亜合成化学（株）製）、TONE M100（カプロラ
クトンアクリレート、ユニオンカーバイド（株）製）、
ライトエステルHO-mpp（共栄社油脂化学工業（株）
製）、ライトエステルN-600A（２−ヒドロキシ−３−フ
ェノキシプロピルアクリレートの商品名、共栄社油脂化
学工業（株）製）として知られているものや、二価アル
コール類、例えば、1,10−デカンジオール、ネオペンチ
ルグリコール、ビス（２−ヒドロキシエチル）テレフタ
レート、ビスフェノールＡとエチレンオキシドまたはプ
ロピレンオキシドとの付加反応物等と（メタ）アクリル
酸とのモノエステル等を使用することができる。
（ｂ）のアミノ若しくはアルキルアミノ基含有（メタ）
アクリルモノマーとしては、 （メタ）アクリルアミド、 N,N−ジメチルアミノエチル（メタ）アクリルアミド、 N,N−ジメチル（メタ）アクリルアミド、 N,N−ジメチルアミノプロピル（メタ）アクリルアミ
ド、 N,N−ジｔ−ブチルアミノエチル（メタ）アクリルアミ
ド等が挙げられる。
（ｃ）のカルボキシル基含有（メタ）アクリル若しくは
ビニルモノマーとしては、（メタ）アクリル酸、フマー
ル酸、イタコン酸あるいは東亜合成化学（株）製品の商
品名アロニックスM-5400、アロニックスM-5500等で知ら
れるものが挙げられる。
（ｄ）Ｎ−ビニルピロリドン。
（ｅ）のビニルピリジン若しくはその誘導体としては、 ２−ビニルピリジン、 ４−ビニルピリジン、 ２−ビニル−６−メチルピリジン、 ４−ビニル−１−メチルピリジン、 ２−ビニル−５−エチルピリジン、 ４−（４−ピペニリノエチル）ピリジン等が挙げられ
る。
上記（ａ）〜（ｄ）および（ｅ）のモノマーは、その何
れもが親水性を有するものであり、本発明に用いる樹脂
組成物がガラス、セラミックス、プラスチック等の基板
に接着する際に、強固な密着性を付与するものである。
（ｆ）の一般式（II）で表わされる（メタ）アクリルア
ミド誘導体としては、 Ｎ−メチロール（メタ）アクリルアミド、 Ｎ−プロポキシメチル（メタ）アクリルアミド、 Ｎ−ｎ−ブトキシメチル（メタ）アクリルアミド、 β−ヒドロキシエトキシメチル（メタ）アクリルアミ
ド、 Ｎ−エトキシメチル（メタ）アクリルアミド、 Ｎ−メトキシメチル（メタ）アクリルアミド等の親水性
で且つ熱架橋性を有するモノマーが挙げられる。これら
のモノマー（ｆ）は、親水性はもとより加熱により縮合
架橋性を有しており、一般には100℃以上の温度で水分
子あるいはアルコールが脱離し架橋結合を形成いてグラ
フト共重合高分子自体にも硬化後に網目構造を形成さ
せ、硬化して得られるパターンの耐薬品性および機械的
強度等をより一層向上させ、本発明をより効果的なもの
とするものである。
また、上記（ａ）〜（ｆ）のモノマーに、熱によって開
環し、架橋するモノマー、例えば、グリシジル（メタ）
アクリレート等を一部添加して枝鎖を構成することによ
って、上記（ｆ）におけると同様の効果が得られるもの
である。
上記熱架橋の他、同様の目的で本発明におけるグラフト
共重合高分子の枝鎖の一部に光重合性モノマーを導入
し、活性エネルギー線によってグラフト共重合高分子を
架橋させることも有効である。
このような、枝鎖に光重合性を付与させるための方法と
しては、例えば、 （イ）（メタ）アクリル酸等に代表されるカルボキシル
基含有モノマーまたはアミノ基若しくは三級アミノ基含
有モノマーを共重合させ、しかる後にグリシジル（メ
タ）アクリレート等と反応させる方法、 （ロ）１分子内に１個のイソシアネート基と１個以上の
（メタ）アクリルエステル基を持つ化合物と、枝鎖の水
酸基、アミノ基あるいはカルボキシル基とを反応させる
方法、 （ハ）枝鎖の水酸基に（メタ）アクリル酸クロライドを
反応させる方法、 （ニ）枝鎖の水酸基に酸無水物を反応させ、しかる後に
グリシジル（メタ）アクリレートを反応させる方法、 （ホ）枝鎖の水酸基と（ｆ）に例示した縮合架橋性モノ
マーとを縮合させ、側鎖に（メタ）アクリルアミド基を
残す方法、 （ヘ）枝鎖の水酸基にグリシジル（メタ）アクリレート
を反応させる方法、 等の方法を用いることができる。
本発明におけるグラフト共重合高分子の枝鎖が熱架橋性
である場合には、活性エネルギー線の照射によりパター
ンを形成した後に加熱を行なうことが好ましい。一方。
上記枝鎖が光重合性である場合にも、基板の耐熱性の面
で許容され得る範囲内で加熱を行なうことは何ら問題は
なく、むしろより好ましい結果を与える。
尚、枝鎖は前記（ａ）〜（ｆ）に例示したような親水性
モノマーにのみに由来するものの他、その他の種々の機
能を発揮させる各種の疎水性モノマー等を０〜約25重量
％での範囲内で共重合の成分として用いてなる枝鎖であ
ってもよい。
本発明における樹脂硬化膜形成用の樹脂組成物に用いら
れるグラフト共重合高分子は、硬化性を有しないもの、
光架橋性のものおよび熱架橋のものに大別されるが、何
れにしても該組成物の硬化工程（すなわち、活性エネル
ギー線照射および必要に応じての熱硬化）において、該
組成物に形態保持性を付与して精密なパターニングを可
能にするとともに、硬化して得られるパターンに対して
は優れた密着性、耐薬品性ならびに高い機械的強度を与
えるものである。
以上のようなグラフト共重合高分子は、公知の方法によ
って製造することが可能であり、具体的には、例えば、
「ポリマーアロイ基礎と応用」10〜35頁（高分子学会編
集、東京化学同人（株）発行、1981年）に記載されてい
るような種々の方法によって製造することができる。そ
れらの方法を例示すれば、（１）連鎖移動法、（２）放
射線を用いる方法、（３）酸化重合法、（４）イオング
ラフト重合法、（５）マクロモノマー法が挙げられる。
本発明に用いるグラフト共重合高分子は、枝鎖の長さが
そろっている方が界面活性効果が顕著となるので、
（４）および（５）の方法を用いるのが好ましく、中で
も（５）のマクロモノマー法が材料設計上有利であり特
に好ましい。グラフト共重合高分子の重量平均分子量
は、約5000〜30万の範囲が好ましく、ドライフィルムと
して用いる場合には、約３万〜30万の範囲が好ましい。
本発明における樹脂硬化膜形成用の樹脂組成物に用いる
もう一つの成分であるエチレン性不飽和結合を有するモ
ノマー（Ｂ）とは、該組成物に活性エネルギー線による
硬化性を発揮させるための成分であり、好ましくは大気
圧下で100℃以上の沸点を有し、エチレン性不飽和結合
を２個以上有するものであって、活性エネルギー線の照
射で硬化する公知の種々のモノマーを用いることができ
る。
そのような２個以上のエチレン性不飽和結合を有するモ
ノマーを具体的に示せば、例えば、 （イ）１分子中に２個以上のエポキシ基を有する多官能
エポキシ樹脂の（メタ）アクリル酸エステル、 （ロ）多価アルコールのアルキレンオキシド付加物の
（メタ）アクリル酸エステル、 （ハ）二塩基酸と二価アルコールからなる分子量500〜3
000のポリエステルの分子鎖末端に（メタ）アクリル酸
エステル基を持つポリエステル（メタ）アクリレート、 （ニ）多価イソシアネートと水酸基を有する（メタ）ア
クリル酸モノマーとの反応物が挙げられる。上記（イ）
〜（ニ）のモノマーは、分子内にウレタン結合を有する
ウレタン変性物であってもよい。
（イ）に属するモノマーとしては、ビスフェノールＡ
型、ノボラック型、脂環式に代表されるエポキシ樹脂、
あるいはビスフェノールＳ、ビスフェノールＦ、テトラ
ヒドロキシフェニルメタンテトラグリシジルエーテル、
レゾルシノールグリシジルエーテル、グリセリントリグ
ルシジルエーテル、ペンタエリストールトリグリシジル
エーテル、イソシアヌール酸トリグリシジルエーテルお
よび下記一般式（III） （但し、上記式中のＲはアルキル基またはオキシアルキ
ル基、Roは、 またはアルキル基を表わす。） で表わされるエポキシウレタン樹脂の（メタ）アクリル
酸エステル等が挙げられる。
（ロ）に属するモノマーとしては、 エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、 ジエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、 ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、1,6
ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、ポリエチレ
ングリコールジ（メタ）アクリレート、 ペンタエリストールトリ（メタ）アクリレート等が挙げ
られ、商品名KAYARAAD HX-220、HX-620、D-310、D-32
0、D-330、DPHA、R-604、DPCA-20、DPCA-30、DPCA-60、
DPCA-120（以上、日本化薬（株）製）、商品名NKエステ
ル、BPE-200、BPE-500、BPE-1300、A-BPE-4（以上、新
中村化学（株）製）等で知られるものを使用できる。
（ハ）に属するモノマーとしては、商品名アロニックス
M-6100、M-6200、M-6250、M-6300、M-6400、M-7100、M-
8030、M-8060、M-8100（以上、東亜合成化学（株）製）
等が挙げられる。
（ロ）に属しポリエステルのウレタン結合を含有するも
のとしては、商品名アロニックスM-1100、アロニックス
M-1200（以上、東亜合成化学（株）製）等として知られ
るものが挙げられる。
（ニ）に属するものとしては、 トイレンジイソシアナート、 イソホロンジイソシアナート、 ヘキサメチレンジイソシアナート、 トリメチルヘキサメチレンジイソシアナート、 リジンジイソシアナート、 ジフェニルメタンジイソシアナート等のポリイソシアナ
ートと水酸基含有（メタ）アクリルモノマーとの反応物
が挙げられ、商品名スミジュールＮ（ヘキサメチレンジ
イソシアナートのビュレット誘導体）、スミジュールＬ
（トリレンジイソシアナートのトリメチロールプロパン
変性体）（以上、住友バイエルウレタン（株）製）等で
知られるポリイソシアナート化合物に水酸基含有の（メ
タ）アクリル酸エステルを付加した反応物等を使用でき
る。ここで言う水酸基含有（メタ）アクリルモノマーと
しては、ヒドロキシエチル（メタ）アクリレートおよび
ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレートが好ましい。
また、本明細書中のグラフト共重合高分子の枝鎖に用い
られるものとして挙げた水酸基含有の他の（メタ）アク
リルモノマーも使用することができる。
上記したような２個以上のエチレン性不飽和結合を有す
るモノマーの他、これ等と共に例えば以下に列挙するよ
うなエチレン性不飽和結合を１個だけ有するモノマーも
用いることができる。
そのような１個のエチレン性不飽和結合を有するモノマ
ーを例示すれば、例えば、 （メタ）アクリル酸等のカルボキシル基含有不飽和モノ
マー； グリシジル（メタ）アクリレート等のグリシジル基含有
不飽和モノマー； ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、 ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート等の（メタ）
アクリル酸のC2〜C8ヒドロキシアルキルエステル； ポリエチレングリコールモノ（メタ）アクリレート、 ポリプロピレングリコールモノ（メタ）アクリレート等
の（メタ）アクリル酸とポリエチレングリコールまたは
ポリピレングリコールとのモノエステル； （メタ）アクリル酸メチル、（メタ）アクリル酸エチ
ル、（メタ）アクリル酸プロピル、（メタ）アクリル酸
イソプロピル、（メタ）アクリル酸ブチル、（メタ）ア
クリル酸ヘキシル、（メタ）アクリル酸オクチル、（メ
タ）アクリル酸ラウリル、（メタ）アクリル酸シクロヘ
キシル等の（メタ）アクリル酸のC1〜C12アルキルまた
はシクロアルキルエステル； その他のモノマーとして、例えば、スチレン、ビニルト
ルエン、メチルスチレン、酢酸ビニル、ビニルイソブチ
ルエーテル、アクリロニトリル、（メタ）アクリルアミ
ド、アルキルグリシジルエーテルの（メタ）アクリル酸
付加物、ビニルピロリドン、ジシクロペンテニルオキシ
エチル（メタ）アクリレート、ε−カプロラクトン変性
ヒドロキシアルキル（メタ）アクリレート、テトラヒド
ロフルフリル（メタ）アクリレート、フェノキシエチル
（メタ）アクリレート等；が挙げられる。
何れにしても、上記エチレン性不飽和結合を有するモノ
マーを使用することにより、本発明における樹脂硬化膜
形成用の樹脂組成物に活性エネルギー線による硬化性が
付与される。
本発明における樹脂硬化膜形成用の活性エネルギー線硬
化型樹脂組成物は、活性エネルギー線として波長250nm
〜450nmの活性エネルギー線が用いられる場合には、光
重合開始剤を該樹脂組成物中に添加しておくことが好ま
しい。光重合開始剤としては、光重合に用いられる公知
の物質を特に限定することなく使用できる。
そのような光重合開示剤を具体的に示せば、 ベンジル、 ベンゾインアルキルエーテル類： ベンゾインイソブチルエーテル、 ベンゾインイソプロピルエーテル、 ベンゾイン−ｎ−ブチルエーテル、 ベンゾインエチルエーテル、 ベンゾインメチルエーテル等、 ベンゾフェノン類： ベンゾフェノン、 4,4′−ビス（N,N−ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、 ベンゾフェノンメチルエーテル等、 アントラキノン類： ２−エチルアントラキノン、 ２−ｔブチルアントラキノン等、 キサントン類： 2,4−ジメチルチオキサントン、 2,4−ジイソピロピルチオキサントン等、 アセトフェノン類： 2,2−ジメトキシ−２−フェニルアセトフェノン、 α，α−ジクロロ−４−フェノキシアセトフェノン、 ｐ−tert−ブチルトリクロロアセトフェノン、 ｐ−tert−ブチルジクロロアセトフェノン、 2,2−ジエトキシアセトフェノン、 ｐ−ジメチルアミノアセトフェノン等、 あるいはヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン（イ
ルガキュア184、チバ・ガイギー（株）製）、１−（４
−イソプロピルフェニル）−２−ヒドロキシ−２−メチ
ルプロパン−１−オン（ダロキュア1116、メルク（MERC
K）（株）製）、 ２−ヒドロキシ−２−メチル−１−フェニル−プロパン
−１−オン（ダロキュア1173、メルク（株）製）等が好
適に用いられるものとして挙げられる。これらの光重合
開始剤に加えて、光重合促進剤としてアミノ化合物を添
加してもよい。
光重合促進剤に用いられるアミノ化合物としては、 エタノールアミンエチル−４−ジメチルアミノベンゾエ
ート、 ２−（ジメチルアミノ）エチルベンゾエート、 ｐ−ジメチルアミノ安息香酸ｎ−アミノエステル、 ｐ−ジメチルアミノ安息香酸イソアミルエステル等が挙
げられる。
本発明における樹脂硬化膜形成用の活性エネルギー線硬
化型樹脂組成物を構成する前記材料の構成比率は、グラ
フト共重合高分子20〜80重量部、好ましくは20〜50重量
部、エチレン性不飽和結合を有するモノマー80〜20重量
部、好ましくは50〜80重量部であり、光重合開始剤を用
いる場合において光重合開始剤は、グラフト共重合高分
子およびエチレン性不飽和結合を有するモノマーよりな
る樹脂成分100重量部に対して0.1〜20重量部、好ましく
は１〜10重量部の範囲である。
本発明における樹脂硬化膜形成用の活性エネルギー線硬
化型樹脂組成物を溶液状で用いる際、あるいはドライフ
ィルムのする際のフィルム基材であるプラスチックフィ
ルム上に塗布する場合等に用いる溶剤としては、アルコ
ール類、グリコールエーテル類、グリコールエステル類
等の親水性溶剤等が挙げられる。もちろん、これら親水
性溶剤を主体とし、それらに必要に応じてメチルエチル
ケトン、メチルイソブチルケトン等のケトン類、酢酸エ
チル、酢酸イソブチル等のエステル類、トルエン、キシ
レン等の芳香族炭化水素およびそのハロゲン置換体、塩
化メチレン、1,1,1-トリクロルエタン等の塩素含有の脂
肪族溶剤等を適宜混合したものを用いることもできる。
尚、これら溶剤は、パターン露光後の樹脂組成物の現像
液として用いることもできる。
本発明における樹脂硬化膜形成用の活性エネルギー線硬
化型樹脂組成物には、上記光重合開始剤あるいは溶剤の
他、例えば縮合架橋の触媒、熱重合禁止剤、着色剤（染
料および顔料）、微粒子状充填剤、密着促進剤、可塑剤
等の添加物を必要に応じて含有させることができる。
縮合架橋触媒としては、パラトルエンスルホン酸に代表
されるスルホン酸、ギ酸等のカルボン酸等が挙げられ
る。熱重合禁止剤としては、ハイドロキノンおよびその
誘導体、パラメトキシフェノール、フェノチアジン等が
挙げられる。着色剤としては、油溶性染料および顔料が
活性エネルギー線の透過を実質的に妨げない範囲で添加
され得る。充填剤は、塗膜の硬度上昇、着色、密着性、
機械的強度上昇のために、塗料一般で使用される体質顔
料、プラスチック微粒子等が用いられる。密着促進剤と
しては、無機質表面改質剤としてのシランカップリング
剤、低合子界面活性剤が有効である。
以上のような組成からなる樹脂組成物を活性エネルギー
線によって硬化させて、本発明の記録ヘッドの有する樹
脂硬化膜3Hが形成される。
以下、樹脂硬化膜3H形成用の樹脂組成物としてドライフ
ィルムタイプのもを用いた場合を一例として、図面を用
いて本発明の液体噴射記録ヘッドの製造方法を詳細に説
明する。
第２図〜第６図は、本発明の液体噴射記録ヘッドの製作
手順を説明するための模式図である。
本発明の液体噴射記録ヘッドを形成するには、まず、第
２図に示すように、ガラス、セラミック、プラスチック
あるいは金属等の基板１上に発熱素子やピエゾ素子等の
吐出エネルギー発生素子２が所望の個数配置される。
尚、必要に応じて記録用液体に対する耐性、電気絶縁性
等を基板１表面に付与する目的で、該表面にSiO2、Ta2O
5、ガラス等の保護層を被覆してもよい。また、吐出エ
ネルギー発生素子２には、図示されていないが、記録信
号入力用電極が接続してある。
次に、第２図の工程を経て得られた基板１の表面を清浄
化すると共に例えば80〜150℃で乾燥させた後、第３図
（ａ）及び第３図（ｂ）に示したようにドライフィルム
タイプ（膜厚、約25μｍ〜100μｍ）の前述した活性エ
ネルギー線硬化型樹脂組成物３を、40〜150℃程度に加
温して、例えば0.5〜0.4f/min.の速度、１〜3Kg/cm3の
加圧条件で基板面1A上にラミネートする。
続いて、第４図に示すように、基板面1A上に設けたドラ
イフィルム層３上に、活性エネルギー線を透過しない所
定の形状のパターン4Pを有するフォトマスク４を重ね合
わせた後、このフォトマスク４の上部から露光を行な
う。
なお、フォトマスク４と基板１との位置合わせは、露
光、現像処理等の工程を経て、最終的に形成される液体
通路領域中に上記素子２が位置するように行なわれ、例
えば、位置合せマークを、基板１とマスク４のそれぞれ
に予め描いておき、そのマークに従って位置合わせする
方法等によって実施できる。
このように露光を行うと、前記パターンに覆われた領域
以外、すなわちドライフィルム層３の露光された部分が
重合硬化し、露光されなかった部分が、溶剤可溶性のま
まであるのに対して溶剤不溶性となる。
このパターン露光に用いる活性エネルギー線としては、
既に広く実用化されている紫外線あるいは電子線などが
挙げられる。紫外線光源としては、波長250nm〜450nmの
光を多く含む高圧水銀灯、超高圧水銀灯、メタルハライ
ドランプ等が挙げられ、実用的に許容されるランプ−被
照射物間の距離において、365nmの近傍の光の強度が1mW
/cm2〜100mW/cm2程度のものが好ましい。電子線照射装
置としては、特に限定はないが、0.5〜20M Radの範囲の
線量を有する装置が実用的に適している。
ドライフィルム層３のパターン露光を終了したら、次
に、露光済みのドライフィルム３を、例えば1,1,1−ト
リクロルエタン等の揮発性有機溶剤中に浸漬しするなど
して現像処理し、溶剤可溶性であるドライフィルム層３
の未重合（未硬化）部分を基板１上から溶解除去し、第
５図（ａ）および第５図（ｂ）に示すように基板１上に
残存した樹脂硬化膜3Hによって最終的に液体通路6-2及
び液室6-1となる溝を形成する。
次に、活性エネルギー線硬化型樹脂組成物に熱硬化性の
グラフト共重合高分子を用いた場合等、基板１上の硬化
樹脂膜3Hを必要に応じて、例えば100℃で５〜10分程度
更に加熱して熱重合させる。
なお、本例の記録ヘッドにおいては、液体通路6-2及び
液室6-1となる溝の形成に、ドライフィルムタイプの樹
脂組成物、つまり固体状のものを使用した例について説
明しているが、本発明の記録ヘッドの形成に際して使用
できる活性エネルギー線硬化型樹脂組成物としては、固
体状のもののみに限られるものではなく、液状のものも
もちろん使用可能である。
基板上に液状の樹脂組成物を用いて該組成物からなる層
を形成する方法としては、例えばレリーフ画像の作製時
に用いられるスキージによる方法、すなわち所望の樹脂
組成物の塗膜の厚さに相当した高さの壁を基板の周囲に
設け、スキージによって余分な樹脂組成物を除去する方
法等を挙げることができる。この場合、樹脂組成物の粘
度は、100cp〜3000cpが適当である。また、基板の周囲
に置く壁の高さは、感光性樹脂組成物の含有する溶剤分
の蒸発による減量分を見込んで決定する必要がある。
また、固体状の樹脂組成物を用いる場合には、前記のよ
うにドライフィルムを基板上に加熱圧着して貼着する方
法等が好適である。
しかしながら、本発明の記録ヘッドを形成するに際して
は、取扱い上で、あるいは厚さの制御が容易かつ正確に
できる点に於いて、固体状のフィルムタイプのものが便
利である。
このようにして、樹脂硬化膜3Hによって最終的に液体通
路6-2及び液室6-1を構成する溝を形成した後、第６図
（ａ）及び第６図（ｂ）に示すように、溝の覆いとなる
平板７を樹脂硬化膜3H上に接合し、接合体を形成する。
第６図（ａ）及び第６図（ｂ）に示した工程に於いて、
覆い７を付設する具体的な方法としては、例えばガラ
ス、セラミック、金属、プラスチック等の平板７にエポ
キシ樹脂系接着剤を厚さ３〜４μｍにスピンコートした
後、予備加熱して接着剤層を、いわゆるＢステージ化さ
せ、これを硬化したドライフィルム3H上に貼り合わせた
後前記接着剤層を、本硬化させる等の方法があるが、ア
クリル系樹脂、ABS樹脂、ポリエチレン等の熱可塑性樹
脂の平板７を樹脂硬化膜3H上に、直接、熱融着させる等
の接着剤を使用しない方法でも良い。
また、覆い７の液体通路と接合する側に、本発明におけ
る樹脂硬化膜形成用の樹脂組成物からなる樹脂層を設
け、これを液体通路を形成した樹脂硬化膜3Hと熱融着さ
せ、しかる後に活性エネルギー線を照射して加熱すると
いう方法、すなわち本発明における樹脂硬化膜形成用の
樹脂組成物を接着剤として用いる方法も好ましい。
尚、第６図に於いて、6-1は液室、6-2は液体通路、８は
液室6-1に不図示の記録ヘッド外部から内部へ記録用媒
体を供給するための供給管（不図示）を連結するための
貫通孔を示す。
このようにして、基板１上に設けられた樹脂硬化膜3Hと
平板７との接合が完了した後、この接合体を第６図
（ａ）及び第６図（ｂ）に示した液体通路6-2の下流側
にあたるC-C′に添って切削して、切削面に於ける液体
通路の開口部である、記録用液体を吐出するためのオリ
フィスを形成する。
この工程は、吐出エネルギー発生素子２とオリフィス９
との間隔を適正化するために行なうものであり、ここで
切削する領域は適宜選択される。この切削に際しては、
半導体工業で通常採用されているダイジング法等を採用
することができる。
なお、本発明でいう液体通路下流部とは、記録ヘッドを
用いて記録を行なっている際の記録用液体の流れ方向に
於ける下流領域、具体的には、吐出エネルギー発生素子
２の設置位置より下流の液体通路の部分を言う。
切削が終了したところで、切削面を研磨して平滑化し、
貫通孔８に供給管10を取付けて第１図に示したような液
体噴射記録ヘッドを完成する。
なお、以上に説明した記録ヘッドに於いては、液体通路
6-2と液室6-1が樹脂硬化膜3Hによって一体成形されてい
るが、本発明の記録ヘッドはこのような構造に限定され
るものではなく、液体通路と液室を別々に成形したもの
でもよい。しかしながら、何れの構造を取る場合におい
ても、本発明の記録ヘッドは、液体通路を形成する樹脂
の少なくとも一部が、先に挙げた活性エネルギー線硬化
型樹脂組成物を用いて形成されたものである。
〔発明の効果〕
本発明の液体噴射記録ヘッドは、該ヘッドの構成部材で
ある活性エネルギー線硬化型樹脂組成物として、該組成
物に必須成分として含有されるエチレン性不飽和結合を
有するモノマーによって主に付与されるパターン形成材
料としての優れた感度と解像度を有するものを用いたも
のであり、該樹脂組成物を用いることにより、寸法精度
に優れた液体噴射記録ヘッドを歩留り良く得ることが可
能になった。また、本発明に用いる樹脂組成物は、主に
必須成分としてのグラフト共重合高分子によって付与さ
れる優れた基板との密着性、機械的強度および耐薬品性
をも有しており、該組成物を用いることによって長期の
耐久性を有する記録ヘッドを得ることも可能になった。
また、硬化性を有するグラフト共重合高分子を用いた活
性エネルギー線硬化型樹脂組成物を使用する場合には、
上記密着性、機械的強度あるいは耐薬品性が特に優れた
液体噴射記録ヘッドを得ることが可能である。
〔実施例〕
以下、合成例および実施例により本発明を更に詳細に説
明する。尚、文中、部または％とあるのは特に断りのな
い限り、重量基準である。
合成例 ブトキシメチルアクリルアミド70部、２−ヒドロキシエ
チルメタクリレート30部を用い、チオグリコール酸を連
鎖移動剤、アゾビスイソブチロニトリルを開始剤として
用い、ラジカル連鎖移動重合を行ない、分子鎖の片末端
にビニル基を持つ重合平均分子量約3000のマクロモノマ
ー（ポリ−ブトキシメチルアクリルアミド/2−ヒドロキ
シエチルメタクリレート）を得た。
このマクロモノマー25部、メチルメタクリレート55部、
ジシクロペンテニルメタクリレート15部およびアクリロ
ニトリル５部をメチルセロソルブ中で重合し、重量平均
分子量6.5万の熱架橋性を有するグラフト共重合高分子
（これをGP−４とする）を得た。
このGP−４を用い、下記組成の活性エネルギー線硬化型
樹脂組成物を調製した。
GP−４ 100部 トリメチロールプロパンのトリグリシジルエーテルのア
クリル酸エステル 40部 ウレタンアクリレート11R4003＊３ 40部 リポキシVR-60＊４ 40部 クリスタルバイオレット 0.2部 イルガキュア651 10部 メチルセロソルブ 300部 ＊3:長瀬化成（株）製のウレタンアクリレート ＊4:昭和高分子（株）製のエポキシアクリレート 次いで、上記樹脂組成物を16μｍのポリエチレンテレフ
タレートフィルムにワイアーバーで塗布し、100℃で20
分間乾燥することにより、膜厚75μｍの樹脂組成物層を
有する本発明に係わるドライフィルムを作成した。
実施例 合成例で製造したドライフィルムを用い、先に明細書中
で説明した第１図〜第６図の工程に従って、吐出エネル
ギー発生素子として発熱素子［ハフニウムボライド（Hf
B2）］10個のオリフィス（オリフィス寸法;75μｍ×50
μｍ、ピッチ0.125mm）を有するオンデマンド型液体噴
射記録ヘッドの作成を以下のようにして実施した。尚、
記録ヘッドは、同形状のものを各31個宛試作した。
まず、シリコンからなる基板上に発熱素子の複数を所定
の位置に配設し、これらの記録信号印加用電極を接続し
た。
次に、発熱素子が配設された基板面上に保護膜としての
SiO2層（厚さ1.0μｍ）を設け、保護層の表面を清浄化
すると共に乾燥させた後、保護層に重ねて、80℃に加温
された合成例に示した膜厚75μｍのドライフィルムを0.
4f/min.の速度、1Kg/cm3の加圧条件下でラミネートし
た。
続いて、基板面上に設けたドライフィルム上に、液体通
路及び液室の形状に対応したパターンを有するフォトマ
スクを重ね合わせ、最終的に形成される液体通路中に上
記素子が設けられるように位置合せを行なった後、この
フォトマスクの上部から8.2mW/cm2の強度を紫外線を用
いて15秒間ドライフィルムを露光した。
次に、露光済みのドライフィルムを、1,1,1−トリクロ
ルエタン中に浸漬して現像処理し、ドライフィルムの未
重合（未硬化）部分を基板上から溶解除去して、基板上
に残存した硬化ドライフィルム膜によって最終的に液体
通路及び液室となる溝を形成した。
現像処理を終了した後、基板上の硬化ドライフィルム膜
を、150℃で１時間加熱し、更に、これに50mW/cm2の強
度の紫外線を２分間照射して更に硬化させた。
このようにして、硬化ドライフィルム膜によって液体通
路及び液室となる溝を基板上に形成した後、形成した溝
の覆いとなるソーダガラスからなる貫通孔の設けられた
平板にエポキシ系樹脂接着剤を厚さ３μｍにスピンコー
トした後、予備加熱してＢステージ化させ、これを硬化
したドライフィルム上に貼り合わせ、更に、接着剤を本
硬化させて接着固定し、接合体を形成した。
続いて、接合体の液体通路の下流側、すなわ吐出エネル
ギー発生素子の設置位置から下流側へ0.150mmのところ
を液体通路に対して垂直に、市販のダイシング・ソー
（商品名;DAD 2H/6型、DISCO社製）を用いて切削し、記
録用液体を吐出するためのオリフィスを形成した。
最後に、切削面を洗浄したのち乾燥させ、更に、切削面
を研磨して平滑化し、貫通孔に記録用液体の供給管を取
付けて液体噴射記録ヘッドを完成した。得られた記録ヘ
ッドは、何れもマスクパターンを忠実に再現した液体通
路及び液室を有する寸法精度に優れたものであった。ち
なみに、オリフィス寸法は、50±５μｍ、オリフィスピ
ッチは、125±５μｍの範囲にあった。
このようにして試作した記録ヘッドの品質及び長期使用
に際しての耐久性を以下のようにして試験した。
まず、得られた記録ヘッドについて、次の各組成からな
る記録用液体中に、60℃で1000時間浸漬処理（記録ヘッ
ドの長期使用時に匹敵する環境条件）する耐久試験を実
施した。
記録用液体成分 １）H2O/ジエチレングリコール／グリセリン/C.I.ダイ
レクトブラック154＊１ （＝70/20/5/5重量部） pH＝8.0 ２）H2O/エチレングリコール/N-メチルピロリドン/C.I.
ダイレクトブルー199＊２ （＝60/25/10/5重量部） pH9.0 ３）H2O/エチレングリコール／トリエチレングリコール
/C.I.アシッドレッド94＊３ （＝60/25/10/5重量部） pH7.0 ４）H2O/ジエチレングリコール/C.I.ダイレクトブラッ
ク154 （＝75/20/5重量部） pH＝10.0 尚、注）＊１〜＊３は、水溶性染料であり、pHの調整に
はカセイソーダを用いた。
各記録用液体について、それぞれ記録ヘッド各５個を耐
久試験に供した。
耐久試験後、該試験を実施した各ヘッドにつき基板及び
覆いと硬化ドライフィルム膜の接合状態を観察した結
果、すべての記録ヘッドにおいて剥離や損傷は全く認め
られず、良好な密着性を示していた。
次いでこれとは別に、得られた記録ヘッドの10個につい
て、各ヘッドを記録装置に取付け、前記の記録用液体を
用いて108パルスの記録信号を14時間連続的に記録ヘッ
ドに印加して印字を行なう印字試験を実施した。何れの
記録ヘッドに関しても、印字開始直後と14時間経過後に
おいて、記録用液体の吐出性能及び印字状態共に性能の
低下が殆ど認められず、耐久性に優れた記録ヘッドであ
った。
比較例 膜厚75μｍの市販のドライフィルムVacrel（ドライフィ
ルムソルダーマスクの商品名、デュポンド・ネモアース
（株）製）、および膜厚50μｍの市販のドライフィルム
Photec SR-3000（商品名、日立化成工業（株）製）を用
いる以外は実施例と同様にして、記録ヘッドを作成し
た。
これらの記録ヘッドについて、実施例と同様の耐久試験
を実施した。
耐久試験の経過中、ドライフィルムとしてVacrelを用い
た場合は、10時間で２）および４）の記録用液体で剥離
が認められた。また、300時間で、１）および３）の記
録用液体で剥離が認められた。
一方、ドライフィルムとしてPhotec SR-3000を用いた場
合は、１）〜４）の各記録用液体で300時間で剥離が認
められた。
【図面の簡単な説明】
第１図〜第６図は本発明の液体噴射記録ヘッドならびに
その製造方法を説明するための模式図である。 1:基板 2:吐出エネルギー発生素子 3:樹脂層 3H:樹脂硬化膜 4:フォトマスク 4P:マスクパターン 6-1:液室 6-2:液体通路 7:覆い 8:貫通孔 9:オリフィス 10:供給管
フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭63−95950（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−16148（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−9958（ＪＰ，Ａ)

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】基板面に設けられ、液体の吐出口に連通す
    る液体通路が、活性エネルギー線によって硬化する樹脂
    組成物の層に、該活性エネルギー線を用いた所定のパタ
    ーン露光を為して前記樹脂組成物の硬化領域を形成し、
    該層から未硬化領域を除去して形成されている液体噴射
    記録ヘッドであって、前記樹脂組成物が （Ａ）分子中に、１個の（メタ）アクリロイル基と一般
    式（Ｉ） （但し、上記式中のＺは、 で表わされる５員環を表わし、R1およびR2は、水素原子
    または炭素数１〜３のアルキル基を表す。）で表わされ
    るジシクロペンテニル誘導体基とを含有するモノマー
    と、アルキル（メタ）アクリレート、アクリロニトリル
    およびスチレンからなる群より選ばれた１種以上のモノ
    マーとからなる構造単位を主体とする幹鎖に、（ａ）水
    酸基含有（メタ）アクリルモノマー、（ｂ）アミノ若し
    くはアルキルアミノ基含有（メタ）アクリルモノマー、
    （ｃ）カルボキシル基含有（メタ）アクリル若しくはビ
    ニルモノマー、（ｄ）Ｎ−ビニルピロリドン、（ｅ）ビ
    ニルピリジン若しくはその誘導体および（ｆ）下記一般
    式（II）で表わされる（メタ）アクリルアミド誘導体か
    らなる群より選ばれた一種以上のモノマーに由来する構
    造単位を主体とする枝鎖が付加されてなるグラフト共重
    合高分子と、 （但し、上記式中のR1は、水素原子またはメチル基であ
    り、R2は水素原子または炭素原子数が１〜４の水酸基を
    有してもよいアルキル若しくはアシル基を表わす。） （Ｂ）エチレン性不飽和結合を有するモノマーとを有し
    てなるものであることを特徴とする液体噴射記録ヘッ
    ド。
  2. 【請求項２】前記活性エネルギー線硬化型樹脂組成物が
    （Ａ）のグラフト共重合高分子20〜80重量部、および
    （Ｂ）のエチレン性不飽和結合を有するモノマー80〜20
    重量部を含有するものである特許請求の範囲第１項に記
    載の液体噴射記録ヘッド。
  3. 【請求項３】前記活性エネルギー線硬化型樹脂組成物が
    （Ａ）のグラフト共重合高分子および（Ｂ）のエチレン
    性不飽和結合を有するモノマーの合計量100重量部に対
    して、0.1〜20重量部の光重合開始剤を配合して成るも
    のである特許請求の範囲第１項または第２項に記載の液
    体噴射記録ヘッド。
  4. 【請求項４】前記活性エネルギー線硬化型樹脂組成物に
    おける（Ａ）のグラフト共重合高分子が、一般式（Ｉ）
    で示されるモノマーを１〜30重量％の範囲で配合されて
    成るものである特許請求の範囲第１項乃至第３項の何れ
    か一項に記載の液体噴射記録ヘッド。
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