JPH0678954U - フォトマスク用のガラス基板 - Google Patents
フォトマスク用のガラス基板Info
- Publication number
- JPH0678954U JPH0678954U JP2183293U JP2183293U JPH0678954U JP H0678954 U JPH0678954 U JP H0678954U JP 2183293 U JP2183293 U JP 2183293U JP 2183293 U JP2183293 U JP 2183293U JP H0678954 U JPH0678954 U JP H0678954U
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- photomask
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- Surface Treatment Of Glass (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】フォトマスク用のガラス基板に関し、特に光照
射型表面異物検査装置で検査する為のフォトマスク用の
ガラス基板。 【構成】上面及び下面と垂直な側面とを有する直方体の
フォトマスク用のガラス基板において、上面及び下面と
垂直な側面との交差する角部を円弧状に丸めた形状にし
たことを特徴とするとするフォトマスク用のガラス基
板。
射型表面異物検査装置で検査する為のフォトマスク用の
ガラス基板。 【構成】上面及び下面と垂直な側面とを有する直方体の
フォトマスク用のガラス基板において、上面及び下面と
垂直な側面との交差する角部を円弧状に丸めた形状にし
たことを特徴とするとするフォトマスク用のガラス基
板。
Description
【0001】
フォトマスク用のガラス基板に関し、特に光照射型表面異物検査装置で検査す る為のフォトマスク用のガラス基板に関する。
【0002】
従来、フォトマスク用のガラス基板は、ガラス基板を垂直に切断し、図3のよ うに、斜めに削って角1を有する断面八角形に面取りして使用されていた。 このガラス基板の表面には、ガラス屑等の細かい異物が付着されていることが 多く、特にフォトマスク用のガラス基板においては、異物の存在が製品不良の原 因となり、事前に表面の異物検査しておく必要がある。
【0003】 光照射型表面異物検査装置(以後検査装置と称する)は、図4のように、水平 に置かれた検査体2の上方に、レーザー光の光源3と受光部4を一定の場所に位 置させ、例えば、受光部4は、光源3からのスポット状のレーザー光5を右斜め 上方から検査体2の表面に入射して、一部反射したレーザー光5の通り道6にな く、通り道6の下検査体2の置かれた水平面7上方に位置させてある。従って、 表面に異物がなければ、受光部4にレーザー光5を受光せず、表面に異物があれ ば、レーザー光5が異物に当たって散乱して受光部4にレーザー光5を受光して その散乱光強度を測定することで検出記録する。
【0004】 図4では、最初に検査体2を左側(受光部4側)において、検査体2の右端を 検査し、その後右側(光源3側)に水平に動かし、最後に検査体2の左端を検査 することにより、検査体2の左右の全表面を検査し異物の有無を調べるものであ る。
【0005】
ところが、前記検査装置による検査方法であると、図3のように、断面八角形 に面取りしたガラス基板2の水平面16の表面に照射されたレーザー光5がガラ ス基板2内に入り、大部分は抜け出るが、一部はガラス基板2の底面7で内部反 射(5A)して、或いは内部反射を繰り返したものが(5B)、ガラス基板2の 角1に到達ものがあり、その角1でレーザー光5が散乱し、受光部4で受光する ので、ガラス基板2の表面に異物がなくても、異物があるとの記録が現れる。
【0006】 このレーザー光5は繰り返しの内部反射で、大部分は抜け出て段々弱まり、受 光部4がレーザー光5を受光するのはせいぜい5回以下の繰り返しの内部反射し たレーザー光5と考えられる。 この5回以下の繰り返しが現れるのは、ガラス基板2を左から右に水平に動か してレーザー光5を当てて検査して行く時に、ガラス基板2の表面の左端部近辺 から左端の部分である。即ち、この部分において、異物がなくても受光すること があるので、異物の有無が判断できないから、この部分が使えないという問題点 があった。
【0007】 検査装置で、レーザー光の内部反射の影響をなくし、ガラス基板の表面の異物 だけを検査できるようにしたい、即ちガラス基板の使える範囲をできるだけ、広 くしたいという要望があった。
【0008】
本考案は、水平で平行な上面及び下面と垂直な側面とを有する直方体のフォト マスク用のガラス基板において、上面及び下面と垂直な側面との交差する角部を 円弧状に丸めた形状にしたことを特徴とするフォトマスク用のガラス基板である 。
【0009】
図1は、前記検査装置において、ガラス基板を左から右に操作して、この時の ガラス基板内で反射したレーザー光のガラス基板の左切断面付近の動きを説明す る断面図である。
【0010】 本考案は、角部を丸めた切断面にしたことにより、例えば図1のように、右側 斜め上方の光源から、ある角度(x度)でガラス基板2に入射したレーザー光5 は内部反射して、或いは内部反射を繰り返して、下部の丸め部12に当たったレ ーザー光5は左斜め下方に抜けでて、垂直部11に当たったレーザー光5は全反 射するのでガラス基板2の垂直部11の左側には行かず、上部の丸め部10に当 たったレーザー光5は左斜め上、Aの地帯に抜け出る。従って、斜線部がレーザ ー光5が行かない地帯13を作ることができる。
【0011】 このレーザー光5が行かない地帯に受光部を設置すれば、内部反射の影響はな くなり、表面の異物のみ検査できることになる。
【0012】
フォトマスク用のガラス基板2として、正方形上面(一辺127mm)及び正 方形下面と垂直な側面(側面の長さ2.3mm)を有する直方体の石英ガラス板 を用意した。図2は、この石英ガラス板の正方形上面内に、正方形の一辺に平行 な任意な線より下面に垂直に切断した断面図で、且つ断面図の左側のみ図示した ものである。
【0013】 図2のように、上の角部14より垂直な側面11に向かって0.5mm,上の 角部14より上面の右に向かって0.5mmの位置に中心点(o)を置く曲率半 径0.5mmの円周の1/4の円弧を描くように上の角部14に研磨して丸めて 、上の丸め部12を形成した。同様にして、下の角部16を研磨して丸めて、同 形状の下の丸め部10を形成した。又垂直部11を研磨した。
【0014】 この石英ガラス板の表面(予め異物がないことを確認してある)を、前記検査 器で、右側から20度の角度で直径0.5mmのスポット状のレーザー光5を当 てて、石英ガラス板を左から右へ操作して、検査したところ、石英ガラス板の水 平面18には受光を示す記録は現れなかった。即ち異物がなくても受光を示すこ とがないから水平面全面が使えることになる。
【0015】 更に、この石英ガラス板の丸め部を、図3のように、45度に研磨して、前記 異物検査器で、表面を検査したところ、端(垂直面)から幅12〜13mmの間 に、受光を示す記録は現れた。即ちこの部分は異物の有無が判断できない部分で あり、使えない部分であった。
【0016】
以上のように、光照射型表面異物検査装置において、ガラス基板の角を円弧状 に丸めた形状にすることにより、ガラス基板の水平面全面が使えるようになった 。
【図1】図1は、本考案のガラス基板の角部を丸めた左
切断面付近の断面図で、レーザー光のガラス基板の左切
断面付近の動きを説明する断面図である。
切断面付近の断面図で、レーザー光のガラス基板の左切
断面付近の動きを説明する断面図である。
【図2】図2は、実施例における正方形上面及び正方形
下面と垂直な側面を有する直方体のガラス基板の正方形
上面内に、正方形の一辺に平行な任意な線より下面に垂
直に切断した断面図で、且つ断面図の左側のみ図示した
ものである。
下面と垂直な側面を有する直方体のガラス基板の正方形
上面内に、正方形の一辺に平行な任意な線より下面に垂
直に切断した断面図で、且つ断面図の左側のみ図示した
ものである。
【図3】図3は、従来の角を斜めに削って面取りしたガ
ラス基板の断面図である。
ラス基板の断面図である。
【図4】図4は、検査装置の原理を示す断面図である。
1…角 2…検査体(ガラス基板) 3…光源 4…受光部 5…レーザー光 5A…内部反射レーザー光 5B…内部反射を繰り返したレーザー光 6…通り道 7…検査体の置かれた水平面 8…ガラス基板の底面 10…上部の丸め部 11…垂直部 12…下部の丸め部 13…レーザー光が行かない地帯 14…上の角部 15…下の角部 16…水平面 A…レーザー光の上部の丸め部より抜け出た地帯 o…中心点
Claims (1)
- 【請求項1】上面及び下面と垂直な側面とを有する直方
体のフォトマスク用のガラス基板において、上面及び下
面と垂直な側面との交差する角部を円弧状に丸めた形状
にしたことを特徴とするフォトマスク用のガラス基板。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2183293U JPH0678954U (ja) | 1993-04-26 | 1993-04-26 | フォトマスク用のガラス基板 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2183293U JPH0678954U (ja) | 1993-04-26 | 1993-04-26 | フォトマスク用のガラス基板 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0678954U true JPH0678954U (ja) | 1994-11-04 |
Family
ID=12066050
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2183293U Pending JPH0678954U (ja) | 1993-04-26 | 1993-04-26 | フォトマスク用のガラス基板 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0678954U (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2013031548A1 (ja) * | 2011-08-29 | 2013-03-07 | 旭硝子株式会社 | ガラス板 |
JP2020155507A (ja) * | 2019-03-19 | 2020-09-24 | 大日本印刷株式会社 | 被加工基板、インプリントモールド用基板及びインプリントモールド |
-
1993
- 1993-04-26 JP JP2183293U patent/JPH0678954U/ja active Pending
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2013031548A1 (ja) * | 2011-08-29 | 2013-03-07 | 旭硝子株式会社 | ガラス板 |
JP5382280B2 (ja) * | 2011-08-29 | 2014-01-08 | 旭硝子株式会社 | ガラス板 |
CN103764586A (zh) * | 2011-08-29 | 2014-04-30 | 旭硝子株式会社 | 玻璃板 |
TWI576204B (zh) * | 2011-08-29 | 2017-04-01 | Asahi Glass Co Ltd | glass plate |
JP2020155507A (ja) * | 2019-03-19 | 2020-09-24 | 大日本印刷株式会社 | 被加工基板、インプリントモールド用基板及びインプリントモールド |
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