JPH0676780A - X線マイクロアナライザ - Google Patents
X線マイクロアナライザInfo
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- JPH0676780A JPH0676780A JP4230572A JP23057292A JPH0676780A JP H0676780 A JPH0676780 A JP H0676780A JP 4230572 A JP4230572 A JP 4230572A JP 23057292 A JP23057292 A JP 23057292A JP H0676780 A JPH0676780 A JP H0676780A
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- 238000004458 analytical method Methods 0.000 abstract description 2
- 238000004611 spectroscopical analysis Methods 0.000 abstract description 2
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 33
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 17
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 13
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 12
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 11
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 238000005211 surface analysis Methods 0.000 description 1
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- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Measurement Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 試料の走査を妨げることのなく大面積の試料
の分析が可能なX線マイクロアナライザを提供する。 【構成】 X線マイクロアナライザにおいて、特性X線
を分光する複数個の分光器4と、複数個の分光器4によ
って分光された特性X線を検出するX線検出器2とから
なり、複数個の分光器4を縦型に配置するとともに、X
線検出器2を試料10の試料面及びその移動延長上の上
方に配置し、また2次電子検出器15などの検出器も試
料10の試料面及びその移動延長上の上方に配置するも
のである。
の分析が可能なX線マイクロアナライザを提供する。 【構成】 X線マイクロアナライザにおいて、特性X線
を分光する複数個の分光器4と、複数個の分光器4によ
って分光された特性X線を検出するX線検出器2とから
なり、複数個の分光器4を縦型に配置するとともに、X
線検出器2を試料10の試料面及びその移動延長上の上
方に配置し、また2次電子検出器15などの検出器も試
料10の試料面及びその移動延長上の上方に配置するも
のである。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、表面分析等に使用され
るX線マイクロアナライザに関するものである。
るX線マイクロアナライザに関するものである。
【0002】
【従来の技術】X線マイクロアナライザは、試料表面に
電子ビームを照射し、その電子ビームによって発生する
特性X線、2次電子、反射電子等を観察することによっ
て、元素の同定、定量、または分布等を調べる装置であ
る。X線マイクロアナライザにおいて、特性X線を効率
よく正確に分光検出することは重要な事項であり、その
特性X線の分光検出を行うX線分光器には大別して波長
分散型X線分光器とエネルギー分散型X線分光器の2つ
が知られている。
電子ビームを照射し、その電子ビームによって発生する
特性X線、2次電子、反射電子等を観察することによっ
て、元素の同定、定量、または分布等を調べる装置であ
る。X線マイクロアナライザにおいて、特性X線を効率
よく正確に分光検出することは重要な事項であり、その
特性X線の分光検出を行うX線分光器には大別して波長
分散型X線分光器とエネルギー分散型X線分光器の2つ
が知られている。
【0003】前記波長分散型X線分光器の多くは、ブラ
ックの回折条件を利用した単結晶(及び擬似単結晶)分
光器を用いているが、回折格子分光器を用いるものも知
られている。試料上の微小点から発生して空間に発散し
てきたX線には、試料組成に対応した各エネルギー値、
すなわち各波長値を有した特性X線が含まれている。こ
の特性X線をその波長に応じて分光し、各波長値とその
波長値のX線強度を検出するものが波長分散型X線分光
器であり、分光器と検出器、及び両者をある条件のもと
で駆動する機械系によって構成される。
ックの回折条件を利用した単結晶(及び擬似単結晶)分
光器を用いているが、回折格子分光器を用いるものも知
られている。試料上の微小点から発生して空間に発散し
てきたX線には、試料組成に対応した各エネルギー値、
すなわち各波長値を有した特性X線が含まれている。こ
の特性X線をその波長に応じて分光し、各波長値とその
波長値のX線強度を検出するものが波長分散型X線分光
器であり、分光器と検出器、及び両者をある条件のもと
で駆動する機械系によって構成される。
【0004】図4は波長分散型X線分光器における分光
結晶とX線検出器の位置関係図である。図4において、
10は試料、20は電子ビーム、22はX線検出器、2
3はスリット、24は分光結晶、25は結晶直進方向、
26はX線発生源、27はローランド円である。
結晶とX線検出器の位置関係図である。図4において、
10は試料、20は電子ビーム、22はX線検出器、2
3はスリット、24は分光結晶、25は結晶直進方向、
26はX線発生源、27はローランド円である。
【0005】電子ビーム20が試料10に入射すると、
その試料10の微小領域のX線発生源26から特性X線
が発生する。この特性X線は分光結晶24によって回折
され、X線検出器22の前方に配置されたスリット23
を介してX線検出器22によって検出される。試料10
上の電子ビーム20の直下点と分光結晶24とX線検出
器22は、ローランド円27上にあり、常にブラックの
条件を満足する機構によって駆動される。
その試料10の微小領域のX線発生源26から特性X線
が発生する。この特性X線は分光結晶24によって回折
され、X線検出器22の前方に配置されたスリット23
を介してX線検出器22によって検出される。試料10
上の電子ビーム20の直下点と分光結晶24とX線検出
器22は、ローランド円27上にあり、常にブラックの
条件を満足する機構によって駆動される。
【0006】特性X線を一定の角度で取り出すために、
分光結晶24を試料10に対して直進する形で移動させ
る結晶直進式X線分光器がある。図4はその結晶直進式
X線分光器の例を示している。X線発生源26から分光
結晶24の中心までの距離l 0 とローランド円27の半
径rとの間に、l0 =2rsin θの関係があり、ブラッ
クの回折条件nλ=2dsin θのそれぞれの比をとる
と、nλ=d(l0 /r)となる。
分光結晶24を試料10に対して直進する形で移動させ
る結晶直進式X線分光器がある。図4はその結晶直進式
X線分光器の例を示している。X線発生源26から分光
結晶24の中心までの距離l 0 とローランド円27の半
径rとの間に、l0 =2rsin θの関係があり、ブラッ
クの回折条件nλ=2dsin θのそれぞれの比をとる
と、nλ=d(l0 /r)となる。
【0007】前記の関係から、例えばn=1の1次線の
場合には、波長λは面間隔dとX線発生源26から分光
結晶24の中心までの距離l0 とローランド円27上の
半径rとによって定まる。そして、面間隔dは分光器の
種類によって決まり、ローランド円27上の半径rは既
知であるので、波長λはd/rを比例定数としてl0に
正比例する。したがって、このl0 を読むことによって
波長λを求めることができ、さらにその波長から元素の
定性を知ることができる。
場合には、波長λは面間隔dとX線発生源26から分光
結晶24の中心までの距離l0 とローランド円27上の
半径rとによって定まる。そして、面間隔dは分光器の
種類によって決まり、ローランド円27上の半径rは既
知であるので、波長λはd/rを比例定数としてl0に
正比例する。したがって、このl0 を読むことによって
波長λを求めることができ、さらにその波長から元素の
定性を知ることができる。
【0008】前記波長分散型X線分光器における従来の
X線マイクロアナライザの構成を図5によって説明す
る。図5において、31は走査コイル、32は対物レン
ズ、33は光学系、34は光学観察系、35は2次電子
検出器、36は電子ビーム、41はX線分光器、42は
X線検出器、43はスリット、44は分光器、45は分
光器配列方向である。
X線マイクロアナライザの構成を図5によって説明す
る。図5において、31は走査コイル、32は対物レン
ズ、33は光学系、34は光学観察系、35は2次電子
検出器、36は電子ビーム、41はX線分光器、42は
X線検出器、43はスリット、44は分光器、45は分
光器配列方向である。
【0009】図示していない電子銃から発せられた電子
ビーム36は走査コイル31及び対物レンズ32を介し
て試料10上に照射され、そこから発生する2次電子は
2次電子検出器35によって検出され、また特性X線は
X線分光器41によって検出される。そして、試料10
の全面における分析は、試料10を電子ビーム36に対
して移動させることによって行われる。
ビーム36は走査コイル31及び対物レンズ32を介し
て試料10上に照射され、そこから発生する2次電子は
2次電子検出器35によって検出され、また特性X線は
X線分光器41によって検出される。そして、試料10
の全面における分析は、試料10を電子ビーム36に対
して移動させることによって行われる。
【0010】また、試料10の光学像は光学系33を介
して光学観察系34に導かれ、光学的観察が行われる。
一方、特性X線を検出するX線分光器41は、前記図4
に示すような構成をとり、分光器44は分光器配列方向
45に沿って複数個配列される。そして、X線検出器4
2と分光器44は、それらの間で前記したようなブラッ
クの条件を満足する位置関係をとりながら移動する。
して光学観察系34に導かれ、光学的観察が行われる。
一方、特性X線を検出するX線分光器41は、前記図4
に示すような構成をとり、分光器44は分光器配列方向
45に沿って複数個配列される。そして、X線検出器4
2と分光器44は、それらの間で前記したようなブラッ
クの条件を満足する位置関係をとりながら移動する。
【0011】前記分光器44の分光器配列方向45に沿
った配列の方法として、電子ビーム36と分光器配列方
向45とによって形成される平面と、分光器配列方向4
5とX線検出器42の移動軌跡面とによって形成される
平面とが平行となるように配置するもの(以下、この配
列を縦型配列という)がある。
った配列の方法として、電子ビーム36と分光器配列方
向45とによって形成される平面と、分光器配列方向4
5とX線検出器42の移動軌跡面とによって形成される
平面とが平行となるように配置するもの(以下、この配
列を縦型配列という)がある。
【0012】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記の
従来のX線マイクロアナライザにおいては、以下のよう
な問題点がある。 (1)従来の縦型配列によるX線マイクロアナライザに
おいて、試料の全面を分析する場合には、固定した電子
ビームの照射位置に対して試料を移動させるが、該試料
が大面積の場合にはその移動の際にX線分光器や2次電
子検出器等の装置と干渉する。
従来のX線マイクロアナライザにおいては、以下のよう
な問題点がある。 (1)従来の縦型配列によるX線マイクロアナライザに
おいて、試料の全面を分析する場合には、固定した電子
ビームの照射位置に対して試料を移動させるが、該試料
が大面積の場合にはその移動の際にX線分光器や2次電
子検出器等の装置と干渉する。
【0013】この干渉によって、試料の装填に支障が生
じたり、装填した試料の全面が走査できない。前記
(1)の問題点を解決する手段として、電子ビームと分
光器配列方向とによって形成される平面と、分光器配列
方向とX線検出器の移動軌跡面とによって形成される平
面が、ある角度を有するように分光器を横方向に配置す
るもの(以下、この配列を横型配列という)があり、こ
の配列によって試料に干渉しないように分光器を配置す
ることができる。
じたり、装填した試料の全面が走査できない。前記
(1)の問題点を解決する手段として、電子ビームと分
光器配列方向とによって形成される平面と、分光器配列
方向とX線検出器の移動軌跡面とによって形成される平
面が、ある角度を有するように分光器を横方向に配置す
るもの(以下、この配列を横型配列という)があり、こ
の配列によって試料に干渉しないように分光器を配置す
ることができる。
【0014】図6の分光器配列方向と分光器との位置関
係図、及び図7の分光器を横型配列したX線マイクロア
ナライザの構成図によって、従来の分光器を横型配列し
たX線マイクロアナライザについて説明する。図6の
(a)において、分光器配列方向45上にある分光器4
4を分光器配列方向45を中心として回転させると、該
分光器44によって分光された特性X線の放射方向も回
転する。
係図、及び図7の分光器を横型配列したX線マイクロア
ナライザの構成図によって、従来の分光器を横型配列し
たX線マイクロアナライザについて説明する。図6の
(a)において、分光器配列方向45上にある分光器4
4を分光器配列方向45を中心として回転させると、該
分光器44によって分光された特性X線の放射方向も回
転する。
【0015】図7において、試料10に対し電子ビーム
56を照射し、そこから放射される特性X線の放射方向
に沿って分光器配列方向65をとり、その分光器配列方
向65上に分光器64を横型配列する。横型配列された
分光器64によって分光される特性X線は、検出器配置
面66上に配置されたX線検出器62によって検出され
る。
56を照射し、そこから放射される特性X線の放射方向
に沿って分光器配列方向65をとり、その分光器配列方
向65上に分光器64を横型配列する。横型配列された
分光器64によって分光される特性X線は、検出器配置
面66上に配置されたX線検出器62によって検出され
る。
【0016】ここで、電子ビーム56と分光器配列方向
65とによって形成される平面と、分光器配列方向65
とX線検出器62の移動軌跡面とによって形成される平
面である検出器配置面66とはある角度を有しており、
分光器64によって分光される特性X線は横方向に分光
されることになる。 (2)しかしながら、前記従来の横型配列によるX線マ
イクロアナライザにおいては、その横方向に配置する構
成のために分光器の配置数に制限があり多数の分光器を
配置することができない。
65とによって形成される平面と、分光器配列方向65
とX線検出器62の移動軌跡面とによって形成される平
面である検出器配置面66とはある角度を有しており、
分光器64によって分光される特性X線は横方向に分光
されることになる。 (2)しかしながら、前記従来の横型配列によるX線マ
イクロアナライザにおいては、その横方向に配置する構
成のために分光器の配置数に制限があり多数の分光器を
配置することができない。
【0017】本発明は以上述べた問題点を除去し、試料
の走査を妨げることのなく大面積の試料の分析が可能な
X線マイクロアナライザを提供することを目的とする。
の走査を妨げることのなく大面積の試料の分析が可能な
X線マイクロアナライザを提供することを目的とする。
【0018】
【課題を解決するための手段】本発明は、前記の問題点
を克服するために、X線マイクロアナライザにおいて、
特性X線を分光する複数個の分光器と、複数個の分光器
によって分光された特性X線を検出するX線検出器とか
らなり、複数個の分光器を縦型に配置するとともに、X
線検出器を試料面及びその移動延長上の上方に配置する
ものである。
を克服するために、X線マイクロアナライザにおいて、
特性X線を分光する複数個の分光器と、複数個の分光器
によって分光された特性X線を検出するX線検出器とか
らなり、複数個の分光器を縦型に配置するとともに、X
線検出器を試料面及びその移動延長上の上方に配置する
ものである。
【0019】また、2次電子検出器などの検出器も試料
面及びその移動延長上の上方に配置するものである。さ
らに、複数の分光器を多種類の分光素子の組み合わせに
よって構成するものである。
面及びその移動延長上の上方に配置するものである。さ
らに、複数の分光器を多種類の分光素子の組み合わせに
よって構成するものである。
【0020】
【作用】本発明によれば、 (1)複数個の分光器を縦型に配置するとともに、X線
検出器を試料面及びその移動延長上の上方に配置するこ
とによって、X線検出器と試料との干渉を除くことがで
きる。 (2)したがって、従来、装填や走査を行うことができ
なかった大面積の試料の全面の走査、分析を行うことが
できる。 (3)また、駆動領域が小さくなることによって起きる
分光領域の欠落を、複数の分光器に多種類の分光素子を
組み合わせることによって補い、従来の分光領域を保つ
ことができる。
検出器を試料面及びその移動延長上の上方に配置するこ
とによって、X線検出器と試料との干渉を除くことがで
きる。 (2)したがって、従来、装填や走査を行うことができ
なかった大面積の試料の全面の走査、分析を行うことが
できる。 (3)また、駆動領域が小さくなることによって起きる
分光領域の欠落を、複数の分光器に多種類の分光素子を
組み合わせることによって補い、従来の分光領域を保つ
ことができる。
【0021】
【実施例】以下、本発明の実施例を図を参照しながら詳
細に説明する。図1は本発明のX線マイクロアナライザ
の構成図であり、前記従来のX線マイクロアナライザを
説明する際に用いたのと同様に波長分散型X線分光器に
よって説明する。
細に説明する。図1は本発明のX線マイクロアナライザ
の構成図であり、前記従来のX線マイクロアナライザを
説明する際に用いたのと同様に波長分散型X線分光器に
よって説明する。
【0022】図1において、1はX線分光器、2はX線
検出器、3はスリット、4は分光器、5は分光器配列方
向、11は走査コイル、12は対物レンズ、13は光学
系、14は光学観察系、15は2次電子検出器、16は
電子ビームである。また、C1 〜C5 は分光器配列方向
5に沿って配置されたそれぞれの分光器4を示し、D1
〜D5 はX線検出器2の移動位置を示している。
検出器、3はスリット、4は分光器、5は分光器配列方
向、11は走査コイル、12は対物レンズ、13は光学
系、14は光学観察系、15は2次電子検出器、16は
電子ビームである。また、C1 〜C5 は分光器配列方向
5に沿って配置されたそれぞれの分光器4を示し、D1
〜D5 はX線検出器2の移動位置を示している。
【0023】図示していない電子銃から発せられた電子
ビーム16は走査コイル11及び対物レンズ12を介し
て試料10上に照射され、そこから発生する2次電子は
2次電子検出器15によって検出され、また特性X線は
X線分光器1によって検出される。また、試料10の光
学像は光学系13を介して光学観察系14に導かれ、光
学的観察が行われる。
ビーム16は走査コイル11及び対物レンズ12を介し
て試料10上に照射され、そこから発生する2次電子は
2次電子検出器15によって検出され、また特性X線は
X線分光器1によって検出される。また、試料10の光
学像は光学系13を介して光学観察系14に導かれ、光
学的観察が行われる。
【0024】一方、特性X線を検出するX線分光器1
は、前記図4に示すような構成をとり、分光器4は分光
器配列方向5に沿って複数個配列される。そして、X線
検出器2は、前記分光器4との間で前記したようなブラ
ックの条件を満足する位置関係をとりながら移動する。
前記分光器4の分光器配列方向5に沿った配列の方法
は、電子ビーム16と分光器配列方向5とによって形成
される平面と、分光器配列方向5とX線検出器2の移動
軌跡面とによって形成される平面とが平行となるように
配置する縦型配列によって行う。
は、前記図4に示すような構成をとり、分光器4は分光
器配列方向5に沿って複数個配列される。そして、X線
検出器2は、前記分光器4との間で前記したようなブラ
ックの条件を満足する位置関係をとりながら移動する。
前記分光器4の分光器配列方向5に沿った配列の方法
は、電子ビーム16と分光器配列方向5とによって形成
される平面と、分光器配列方向5とX線検出器2の移動
軌跡面とによって形成される平面とが平行となるように
配置する縦型配列によって行う。
【0025】分光器配列方向5に沿った配列された分光
器4は、X線分光器1の本体内に設置され、図1におい
てC1 〜C5 で示される位置付近において分光器配列方
向5に移動される。また、X線検出器2は、前記のよう
にして移動する分光器4に応じてブラックの条件を満足
する位置関係をとりながら、それぞれD1 〜D5 で示さ
れる位置に移動し、分光器4によって分光される特性X
線を検出する。
器4は、X線分光器1の本体内に設置され、図1におい
てC1 〜C5 で示される位置付近において分光器配列方
向5に移動される。また、X線検出器2は、前記のよう
にして移動する分光器4に応じてブラックの条件を満足
する位置関係をとりながら、それぞれD1 〜D5 で示さ
れる位置に移動し、分光器4によって分光される特性X
線を検出する。
【0026】従来のX線マイクロアナライザにおいて
は、遠方に配置された分光器4にによって分光される特
性X線を検出するX線検出器2は、その移動に伴って試
料10の面よりも下方に配置されるのに対して、本発明
のX線マイクロアナライザにおいては、X線検出器2は
全て試料10の面及びその移動延長上よりも上方に配置
され、試料10の面よりも下方には移動しないよう構成
される。
は、遠方に配置された分光器4にによって分光される特
性X線を検出するX線検出器2は、その移動に伴って試
料10の面よりも下方に配置されるのに対して、本発明
のX線マイクロアナライザにおいては、X線検出器2は
全て試料10の面及びその移動延長上よりも上方に配置
され、試料10の面よりも下方には移動しないよう構成
される。
【0027】このX線検出器2の配置構成によって、試
料10はX線検出器2に干渉されることなく移動を行う
ことができ、大面積の試料10の装填や、大面積の試料
10の全面の走査が可能となる。また、前記のようにX
線検出器2が試料10の面及びその移動延長上よりも下
方に移動しないよう分光器4及びX線検出器2を配置構
成すると、X線検出器2の駆動領域は縮小され、従来の
X線マイクロアナライザと比較してその分光範囲が狭ま
るが、この狭まった分光範囲は以下の構成によって補償
される。
料10はX線検出器2に干渉されることなく移動を行う
ことができ、大面積の試料10の装填や、大面積の試料
10の全面の走査が可能となる。また、前記のようにX
線検出器2が試料10の面及びその移動延長上よりも下
方に移動しないよう分光器4及びX線検出器2を配置構
成すると、X線検出器2の駆動領域は縮小され、従来の
X線マイクロアナライザと比較してその分光範囲が狭ま
るが、この狭まった分光範囲は以下の構成によって補償
される。
【0028】つまり、本発明のX線マイクロアナライザ
においては分光範囲の補償を行うために、複数の分光器
に多種類の分光素子を組み合わせることによって行われ
る。以下に、複数の分光器に多種類の分光素子を組み合
わせることによる分光範囲の補償について説明する。図
2は従来の分光器の分光範囲の図であり、図3は本発明
の分光器の分光範囲の図である。
においては分光範囲の補償を行うために、複数の分光器
に多種類の分光素子を組み合わせることによって行われ
る。以下に、複数の分光器に多種類の分光素子を組み合
わせることによる分光範囲の補償について説明する。図
2は従来の分光器の分光範囲の図であり、図3は本発明
の分光器の分光範囲の図である。
【0029】図2の(a)において、全体の分光領域を
Δλとする。この分光領域Δλを3枚の分光素子a、
b、cによってカバーする場合を例にして説明する。分
光素子a、b、cの面間隔のda 、db 、dc の間にd
a <db <dc の関係を持たせる。この関係において、
分光素子aによる分光範囲と分光素子bによる分光範囲
をオーバーラップさせ、また、分光素子bによる分光範
囲と分光素子cによる分光範囲をオーバーラップさせる
ことによって、全ての分光領域Δλをカバーする。
Δλとする。この分光領域Δλを3枚の分光素子a、
b、cによってカバーする場合を例にして説明する。分
光素子a、b、cの面間隔のda 、db 、dc の間にd
a <db <dc の関係を持たせる。この関係において、
分光素子aによる分光範囲と分光素子bによる分光範囲
をオーバーラップさせ、また、分光素子bによる分光範
囲と分光素子cによる分光範囲をオーバーラップさせる
ことによって、全ての分光領域Δλをカバーする。
【0030】このとき、X線検出器2を試料10の面及
びその移動延長上よりも下方に移動しないよう分光器4
及びX線検出器2の配置構成をとると、それぞれの分光
素子の分光領域の長波長側が削られることになる。この
分光領域の長波長側の減少は、次の理由による。つま
り、前記図4におけるλ=dl0 /nrの関係におい
て、分光器の駆動範囲が試料面より下に行かないように
構成することによって、前記式のl0 で示される試料1
0と分光器21との距離が大きくとれないことになり、
これによって各分光素子の分光領域の長波長側が削られ
ることになるためである。
びその移動延長上よりも下方に移動しないよう分光器4
及びX線検出器2の配置構成をとると、それぞれの分光
素子の分光領域の長波長側が削られることになる。この
分光領域の長波長側の減少は、次の理由による。つま
り、前記図4におけるλ=dl0 /nrの関係におい
て、分光器の駆動範囲が試料面より下に行かないように
構成することによって、前記式のl0 で示される試料1
0と分光器21との距離が大きくとれないことになり、
これによって各分光素子の分光領域の長波長側が削られ
ることになるためである。
【0031】そのため、分光素子a、b、cの長波長側
が削られて、それぞれオーバーラップする分光領域にお
いて隙間m、あるいは欠落nが生じ、分光ができなくな
る領域が生じることになる。この状態を図2の(b)に
示す。図2の(b)において、分光素子a、b、cの破
線で示される部分が削られる部分である。
が削られて、それぞれオーバーラップする分光領域にお
いて隙間m、あるいは欠落nが生じ、分光ができなくな
る領域が生じることになる。この状態を図2の(b)に
示す。図2の(b)において、分光素子a、b、cの破
線で示される部分が削られる部分である。
【0032】そこで、本発明のX線分光器においては、
図3に示すように、それぞれ隣接する分光素子の間に生
じた分光領域の隙間の部分を埋めるような分光範囲を持
つ他の分光素子を分光器に載せたり、また、最長波長側
の分光領域の欠落した部分を補う分光範囲を持つ他の分
光素子を分光器に載せることによって、前記の分光領域
における隙間m、あるいは欠落nを補うものである。
図3に示すように、それぞれ隣接する分光素子の間に生
じた分光領域の隙間の部分を埋めるような分光範囲を持
つ他の分光素子を分光器に載せたり、また、最長波長側
の分光領域の欠落した部分を補う分光範囲を持つ他の分
光素子を分光器に載せることによって、前記の分光領域
における隙間m、あるいは欠落nを補うものである。
【0033】例えば、図3において、分光素子aと分光
素子bの間に生じる分光領域の隙間mの部分は分光素子
dによって補い、また、分光素子cの長波長側に生じる
分光領域の欠落nは間mの部分は分光素子eによって補
っている。これによって、全ての分光領域をカバーする
ことができる。このようにX線検出器2を試料10の面
及びその移動延長上よりも下方に移動しないような構成
においても、分光器を多種類の分光素子の組み合わせに
よって従来と同じ分光領域Δλをカバーすることが可能
となる。
素子bの間に生じる分光領域の隙間mの部分は分光素子
dによって補い、また、分光素子cの長波長側に生じる
分光領域の欠落nは間mの部分は分光素子eによって補
っている。これによって、全ての分光領域をカバーする
ことができる。このようにX線検出器2を試料10の面
及びその移動延長上よりも下方に移動しないような構成
においても、分光器を多種類の分光素子の組み合わせに
よって従来と同じ分光領域Δλをカバーすることが可能
となる。
【0034】また、同様に2次電子検出器などの検出器
等の配置も、試料面及びその移動延長上よりも上部に配
置する。この検出器等の配置によって、従来試料の側面
などに配置することによって大面積の試料が移動する場
合に生じている支障を解消して、大面積の試料の全面を
走査する場合においても試料と検出器との干渉を除くこ
とができる。
等の配置も、試料面及びその移動延長上よりも上部に配
置する。この検出器等の配置によって、従来試料の側面
などに配置することによって大面積の試料が移動する場
合に生じている支障を解消して、大面積の試料の全面を
走査する場合においても試料と検出器との干渉を除くこ
とができる。
【0035】なお、本発明は上記実施例に限定されるも
のではなく、本発明の趣旨に基づき種々の変形が可能で
あり、それらを本発明の範囲から排除するものではな
い。
のではなく、本発明の趣旨に基づき種々の変形が可能で
あり、それらを本発明の範囲から排除するものではな
い。
【0036】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、 (1)従来、装填や走査を行うことができなかった大面
積の試料の全面の走査、分析することができる。 (2)また、駆動領域が小さくなることによって起きる
分光領域の欠落を、複数の分光器に多種類の分光素子を
組み合わせることによって補い、従来の分光領域を保つ
ことができる。
積の試料の全面の走査、分析することができる。 (2)また、駆動領域が小さくなることによって起きる
分光領域の欠落を、複数の分光器に多種類の分光素子を
組み合わせることによって補い、従来の分光領域を保つ
ことができる。
【図1】本発明のX線マイクロアナライザの構成図であ
る。
る。
【図2】従来の分光器の分光範囲の図である。
【図3】本発明の分光器の分光範囲の図である。
【図4】波長分散型X線分光器における分光結晶とX線
検出器の位置関係図である。
検出器の位置関係図である。
【図5】従来のX線マイクロアナライザの構成図であ
る。
る。
【図6】従来のX線マイクロアナライザの分光器配列方
向と分光器との位置関係図である。
向と分光器との位置関係図である。
【図7】従来の分光器を横型配列したX線マイクロアナ
ライザの構成図である。
ライザの構成図である。
1…X線分光器、2…X線検出器、3…スリット、4…
分光器、5…分光器配列方向、10…試料、11…走査
コイル、12…対物レンズ、13…光学系、14…光学
観察系、15…2次電子検出器、16…電子ビーム
分光器、5…分光器配列方向、10…試料、11…走査
コイル、12…対物レンズ、13…光学系、14…光学
観察系、15…2次電子検出器、16…電子ビーム
Claims (1)
- 【請求項1】 X線マイクロアナライザにおいて、
(a)特性X線を分光する複数個の分光器と、(b)前
記複数個の分光器によって分光された特性X線を検出す
るX線検出器とからなり、(c)前記複数個の分光器を
縦型に配置するとともに、前記X線検出器を試料面及び
その移動延長上の上方に配置することを特徴とするX線
マイクロアナライザ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4230572A JPH0834092B2 (ja) | 1992-08-28 | 1992-08-28 | X線マイクロアナライザ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4230572A JPH0834092B2 (ja) | 1992-08-28 | 1992-08-28 | X線マイクロアナライザ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0676780A true JPH0676780A (ja) | 1994-03-18 |
JPH0834092B2 JPH0834092B2 (ja) | 1996-03-29 |
Family
ID=16909859
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4230572A Expired - Lifetime JPH0834092B2 (ja) | 1992-08-28 | 1992-08-28 | X線マイクロアナライザ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0834092B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1081370A2 (en) | 1999-09-03 | 2001-03-07 | Honda Giken Kogyo Kabushiki Kaisha | Intake and exhaust control systems for engine |
WO2003036677A1 (fr) * | 2001-10-24 | 2003-05-01 | Jeol Ltd. | Microscope electronique dote d'un spectrometre a rayons x |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60247145A (ja) * | 1984-05-22 | 1985-12-06 | Shimadzu Corp | X線分光装置 |
JPS6383647A (ja) * | 1986-09-27 | 1988-04-14 | Shimadzu Corp | 試料の表面分析方法 |
-
1992
- 1992-08-28 JP JP4230572A patent/JPH0834092B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60247145A (ja) * | 1984-05-22 | 1985-12-06 | Shimadzu Corp | X線分光装置 |
JPS6383647A (ja) * | 1986-09-27 | 1988-04-14 | Shimadzu Corp | 試料の表面分析方法 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1081370A2 (en) | 1999-09-03 | 2001-03-07 | Honda Giken Kogyo Kabushiki Kaisha | Intake and exhaust control systems for engine |
US6378471B1 (en) | 1999-09-03 | 2002-04-30 | Honda Giken Kogyo Kabushiki Kaisha | Intake and exhaust control systems for engine |
US6772588B2 (en) | 1999-09-03 | 2004-08-10 | Honda Giken Kogyo Kabushiki Kaisha | Intake and exhaust control systems for engine |
WO2003036677A1 (fr) * | 2001-10-24 | 2003-05-01 | Jeol Ltd. | Microscope electronique dote d'un spectrometre a rayons x |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0834092B2 (ja) | 1996-03-29 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 19980120 |