JP2561312Y2 - Ｘ線分光器 - Google Patents
Ｘ線分光器Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この考案は、Ｘ線源から発生する
Ｘ線を大きな立体角で取り出す集中法式のＸ線分光器に
関するものである。
Ｘ線を大きな立体角で取り出す集中法式のＸ線分光器に
関するものである。
【０００２】
【従来の技術】蛍光Ｘ線分析装置は、励起Ｘ線を分析試
料に照射し、この分析試料からの蛍光Ｘ線の強度を検出
し、分析試料の元素や組成の分析を行うものである。こ
の種の分析装置では、分析試料から発生した蛍光Ｘ線を
分光器で単色化して、所定の波長のＸ線のみをＸ線検出
器で検出する場合が多い。上記分光器として、従来よ
り、ヨハン型分光器とヨハンソン型分光器が用いられて
いる。これらの分光器を用いた蛍光Ｘ線分析装置の一例
を図４（ａ），（ｂ）に示す。
料に照射し、この分析試料からの蛍光Ｘ線の強度を検出
し、分析試料の元素や組成の分析を行うものである。こ
の種の分析装置では、分析試料から発生した蛍光Ｘ線を
分光器で単色化して、所定の波長のＸ線のみをＸ線検出
器で検出する場合が多い。上記分光器として、従来よ
り、ヨハン型分光器とヨハンソン型分光器が用いられて
いる。これらの分光器を用いた蛍光Ｘ線分析装置の一例
を図４（ａ），（ｂ）に示す。
【０００３】図４（ａ）はヨハン型分光器を用いたもの
である。この図において、Ｘ線管３から出射された一次
Ｘ線Ｂ１は、分析試料１の被照射部分（Ｘ線源）１ａの
原子を励起して、分析試料１を構成する元素固有の蛍光
Ｘ線Ｂ２を発生させる。発生した蛍光Ｘ線Ｂ２は、分析
試料１から出射されて、湾曲型の分光結晶４０に入射し
て、ブラッグの式を満足する所定の波長を有する蛍光Ｘ
線のみが回折される。この回折により、蛍光Ｘ線は単色
化つまり分光される。この分光結晶４０によって反射さ
れた回折Ｘ線Ｂ３は、受光スリット５を通過してＸ線検
出器６に入射する。入射した回折Ｘ線Ｂ３はＸ線検出器
６で検出され、図示しない分析器により、所定のＸ線分
析がなされる。なお、分析試料１、分光結晶４０および
受光スリット５は、一点鎖線で示す半径Ｒのローランド
円Ｃ上に配置されている。
である。この図において、Ｘ線管３から出射された一次
Ｘ線Ｂ１は、分析試料１の被照射部分（Ｘ線源）１ａの
原子を励起して、分析試料１を構成する元素固有の蛍光
Ｘ線Ｂ２を発生させる。発生した蛍光Ｘ線Ｂ２は、分析
試料１から出射されて、湾曲型の分光結晶４０に入射し
て、ブラッグの式を満足する所定の波長を有する蛍光Ｘ
線のみが回折される。この回折により、蛍光Ｘ線は単色
化つまり分光される。この分光結晶４０によって反射さ
れた回折Ｘ線Ｂ３は、受光スリット５を通過してＸ線検
出器６に入射する。入射した回折Ｘ線Ｂ３はＸ線検出器
６で検出され、図示しない分析器により、所定のＸ線分
析がなされる。なお、分析試料１、分光結晶４０および
受光スリット５は、一点鎖線で示す半径Ｒのローランド
円Ｃ上に配置されている。
【０００４】ここで、一次Ｘ線Ｂ１を分析試料１の微小
部分に照射した場合のように、蛍光Ｘ線Ｂ２の強度が弱
い場合には、周方向に長い分光結晶４０を用いて、Ｘ線
検出器６に入射する回折Ｘ線Ｂ３のＸ線強度を強くする
必要がある。しかし、上記ヨハン型分光器の分光結晶４
０は、結晶平面が網平面と一致しているが、半径２Ｒの
円筒状に曲げられており、そのため、分光結晶４０の長
さを長くすると、収差が大きくなる。その結果、分解能
が低下し、分析精度が低下する。
部分に照射した場合のように、蛍光Ｘ線Ｂ２の強度が弱
い場合には、周方向に長い分光結晶４０を用いて、Ｘ線
検出器６に入射する回折Ｘ線Ｂ３のＸ線強度を強くする
必要がある。しかし、上記ヨハン型分光器の分光結晶４
０は、結晶平面が網平面と一致しているが、半径２Ｒの
円筒状に曲げられており、そのため、分光結晶４０の長
さを長くすると、収差が大きくなる。その結果、分解能
が低下し、分析精度が低下する。
【０００５】一方、ヨハンソン型の分光器の分光結晶４
１は、図４（ｂ）に示すように、その表面が半径Ｒのロ
ーランド円Ｃに沿っており、理論的には収差が生じな
い。しかし、このヨハンソン型の分光結晶４１は、ま
ず、平板結晶を半径２Ｒで円筒状に曲げ、ついで、ロー
ランド円Ｃに沿うように結晶を研磨することにより製作
される。そのため、分光結晶４１の長さを長くしようと
すると、両端４１ａの厚みが厚くなるから、長い分光結
晶を製作することができない。
１は、図４（ｂ）に示すように、その表面が半径Ｒのロ
ーランド円Ｃに沿っており、理論的には収差が生じな
い。しかし、このヨハンソン型の分光結晶４１は、ま
ず、平板結晶を半径２Ｒで円筒状に曲げ、ついで、ロー
ランド円Ｃに沿うように結晶を研磨することにより製作
される。そのため、分光結晶４１の長さを長くしようと
すると、両端４１ａの厚みが厚くなるから、長い分光結
晶を製作することができない。
【０００６】そこで、従来より、図５に示すように、分
析試料１の被照射部分１ａと受光スリット５の開口５ａ
を、分光結晶４の表面を形成する円筒面４ａの軸線Ｓ上
に配置した分光器１０が知られている。この分光器１０
によれば、分光結晶４を周方向に長くすることで、立体
角φを大きくして、強いＸ線強度が得られる一方で、分
光結晶４の中心４ｃで蛍光Ｘ線Ｂ２を回折するので、理
論的には収差もないから、分析精度が向上する。しか
も、ヨハンソン型と異なり、分光結晶４を研磨する必要
もないので、製作も容易である。
析試料１の被照射部分１ａと受光スリット５の開口５ａ
を、分光結晶４の表面を形成する円筒面４ａの軸線Ｓ上
に配置した分光器１０が知られている。この分光器１０
によれば、分光結晶４を周方向に長くすることで、立体
角φを大きくして、強いＸ線強度が得られる一方で、分
光結晶４の中心４ｃで蛍光Ｘ線Ｂ２を回折するので、理
論的には収差もないから、分析精度が向上する。しか
も、ヨハンソン型と異なり、分光結晶４を研磨する必要
もないので、製作も容易である。
【０００７】
【考案が解決しようとする課題】しかし、上記図５の従
来技術では、分光結晶４の入射角θおよび回折角θが定
まっており、そのため、蛍光Ｘ線Ｂ２を複数種類の波長
に分光することができない。したがって、たとえば複数
種類の元素についての分析ができない。この考案は、Ｘ
線源と受光スリットの開口を円筒状の分光結晶の軸線上
に配置したＸ線分光器において、複数種類の波長に分光
することが可能なＸ線分光器を提供することを目的とす
る。
来技術では、分光結晶４の入射角θおよび回折角θが定
まっており、そのため、蛍光Ｘ線Ｂ２を複数種類の波長
に分光することができない。したがって、たとえば複数
種類の元素についての分析ができない。この考案は、Ｘ
線源と受光スリットの開口を円筒状の分光結晶の軸線上
に配置したＸ線分光器において、複数種類の波長に分光
することが可能なＸ線分光器を提供することを目的とす
る。
【０００８】
【課題を解決するための手段および作用】上記目的を達
成するために、請求項１の考案は、円筒状の分光結晶を
円筒の軸線に平行に複数配設するとともに、各分光結晶
に対応する複数の受光スリットを設けている。請求項１
の考案によれば、円筒状の分光結晶を円筒の軸線に平行
に複数配設したから、各分光結晶ごとに異なる回折角
で、Ｘ線を分光することができる。
成するために、請求項１の考案は、円筒状の分光結晶を
円筒の軸線に平行に複数配設するとともに、各分光結晶
に対応する複数の受光スリットを設けている。請求項１
の考案によれば、円筒状の分光結晶を円筒の軸線に平行
に複数配設したから、各分光結晶ごとに異なる回折角
で、Ｘ線を分光することができる。
【０００９】請求項２の考案は、Ｘ線源と受光スリット
の開口を円筒状の分光結晶の軸線上に配置した関係を保
ちながら、上記分光結晶および受光スリットをスライド
移動させるスライド移動装置を設けている。この場合、
上記Ｘ線源または分光結晶のいずれか一方を回転させる
回転装置を設けて、Ｘ線源からのＸ線の取出角を一定に
保つのが好ましい。
の開口を円筒状の分光結晶の軸線上に配置した関係を保
ちながら、上記分光結晶および受光スリットをスライド
移動させるスライド移動装置を設けている。この場合、
上記Ｘ線源または分光結晶のいずれか一方を回転させる
回転装置を設けて、Ｘ線源からのＸ線の取出角を一定に
保つのが好ましい。
【００１０】請求項２の考案によれば、分光結晶および
受光スリットをスライド移動させることにより、異なる
回折角でＸ線を分光することができる。また、回転装置
を設けて、Ｘ線源からのＸ線の取出角を一定に保った場
合は、Ｘ線源から分光結晶へ向かうＸ線の強度を所定の
大きな一定値に保つことができる。
受光スリットをスライド移動させることにより、異なる
回折角でＸ線を分光することができる。また、回転装置
を設けて、Ｘ線源からのＸ線の取出角を一定に保った場
合は、Ｘ線源から分光結晶へ向かうＸ線の強度を所定の
大きな一定値に保つことができる。
【００１１】
【実施例】以下、この考案の実施例を図面にしたがって
説明する。図１は第１実施例を示す。図１（ａ）におい
て、円筒状の分光結晶４は、円筒の軸線Ｓに沿って平行
に複数個（たとえば２つ）配設されている。つまり、各
分光結晶４から軸線Ｓまでの距離は、図１（ｂ）のよう
に、全て等しくｒになっている。一方、上記軸線Ｓ上に
は、分析試料１の被照射部分１ａと、複数の受光スリッ
ト５の開口５ａとが配設されている。
説明する。図１は第１実施例を示す。図１（ａ）におい
て、円筒状の分光結晶４は、円筒の軸線Ｓに沿って平行
に複数個（たとえば２つ）配設されている。つまり、各
分光結晶４から軸線Ｓまでの距離は、図１（ｂ）のよう
に、全て等しくｒになっている。一方、上記軸線Ｓ上に
は、分析試料１の被照射部分１ａと、複数の受光スリッ
ト５の開口５ａとが配設されている。
【００１２】各分光結晶４は、その結晶平面が網平面と
一致しており、異なる入射角θｎで入射した蛍光Ｘ線Ｂ
２を、それぞれ異なる回折角θｎで回折する。各受光ス
リット５は、それぞれ、分光結晶４に対応して設けられ
ており、回折Ｘ線Ｂ３を通過させて、Ｘ線検出器６に入
射させる。その他の構成は、図５の従来例と同様であ
り、同一部分または相当部分に同一符号を付して、その
詳しい説明を省略する。
一致しており、異なる入射角θｎで入射した蛍光Ｘ線Ｂ
２を、それぞれ異なる回折角θｎで回折する。各受光ス
リット５は、それぞれ、分光結晶４に対応して設けられ
ており、回折Ｘ線Ｂ３を通過させて、Ｘ線検出器６に入
射させる。その他の構成は、図５の従来例と同様であ
り、同一部分または相当部分に同一符号を付して、その
詳しい説明を省略する。
【００１３】上記構成においては、分光結晶４を円筒の
軸線Ｓに沿って平行に２個配設したので、蛍光Ｘ線Ｂ２
が異なる回折角θ1 ，θ2 で回折され、受光スリット５
ａを通過して、Ｘ線検出器６に入射する。したがって、
蛍光Ｘ線Ｂ２を２種類の波長に分光することができる。
軸線Ｓに沿って平行に２個配設したので、蛍光Ｘ線Ｂ２
が異なる回折角θ1 ，θ2 で回折され、受光スリット５
ａを通過して、Ｘ線検出器６に入射する。したがって、
蛍光Ｘ線Ｂ２を２種類の波長に分光することができる。
【００１４】なお、上記実施例では、分光結晶４、受光
スリット５およびＸ線検出器６からなる分光器１０を２
個づつ設けたが、必要に応じて分光器１０を３個以上設
けてもよい。
スリット５およびＸ線検出器６からなる分光器１０を２
個づつ設けたが、必要に応じて分光器１０を３個以上設
けてもよい。
【００１５】図２は第２実施例を示す。図２（ａ）にお
いて、この実施例は、分光器１０を１つだけ設けた走査
型分光器である。この分光器１０には、一対の案内ロッ
ド１１，１２を有するスライド移動装置と、受光スリッ
ト回転装置１３（図２（ｂ））と、全体回転装置１４と
を有している。
いて、この実施例は、分光器１０を１つだけ設けた走査
型分光器である。この分光器１０には、一対の案内ロッ
ド１１，１２を有するスライド移動装置と、受光スリッ
ト回転装置１３（図２（ｂ））と、全体回転装置１４と
を有している。
【００１６】上記各案内ロッド１１，１２は、各々、図
２（ｂ）の第１および第２スライダ１１Ｓおよび１２Ｓ
を介して、図２（ａ）の分光結晶４および受光スリット
５を案内するもので、軸線Ｓに平行に配設されており、
図示しない連結材により一体となっている。スライド移
動装置は、図示していないが、たとえば１：２の歯車比
を有する一対のピニオンと、このピニオンに係合するラ
ックを有し、図２（ｃ）のように、分光結晶４と受光ス
リット５を、案内ロッド１１，１２に沿って１：２の変
位量で移動させるものである。つまり、スライド移動装
置は、分光結晶４と受光スリット５の開口５ａを、分光
結晶４の軸線Ｓ上に配置した関係を保ちながら、分光結
晶４および受光スリット５を平行にスライド移動させ
る。
２（ｂ）の第１および第２スライダ１１Ｓおよび１２Ｓ
を介して、図２（ａ）の分光結晶４および受光スリット
５を案内するもので、軸線Ｓに平行に配設されており、
図示しない連結材により一体となっている。スライド移
動装置は、図示していないが、たとえば１：２の歯車比
を有する一対のピニオンと、このピニオンに係合するラ
ックを有し、図２（ｃ）のように、分光結晶４と受光ス
リット５を、案内ロッド１１，１２に沿って１：２の変
位量で移動させるものである。つまり、スライド移動装
置は、分光結晶４と受光スリット５の開口５ａを、分光
結晶４の軸線Ｓ上に配置した関係を保ちながら、分光結
晶４および受光スリット５を平行にスライド移動させ
る。
【００１７】図２（ｂ）の受光スリット回転装置１３
は、第１スライダ１１Ｓを中心に回転する案内リンク１
５と、この案内リンク１５に対して摺動自在で、かつ、
第２スライダ１２Ｓに対して回転自在な第３スライダ１
５Ｓを有している。上記受光スリット５（図２（ｂ））
は第３スライダ１５Ｓに固定されており、したがって、
図２（ａ）の受光スリット５は、分光結晶４を中心に回
転する。なお、Ｘ線検出器６は受光スリット５と一体に
なっており、したがって、受光スリット５と共に移動
し、回転する。
は、第１スライダ１１Ｓを中心に回転する案内リンク１
５と、この案内リンク１５に対して摺動自在で、かつ、
第２スライダ１２Ｓに対して回転自在な第３スライダ１
５Ｓを有している。上記受光スリット５（図２（ｂ））
は第３スライダ１５Ｓに固定されており、したがって、
図２（ａ）の受光スリット５は、分光結晶４を中心に回
転する。なお、Ｘ線検出器６は受光スリット５と一体に
なっており、したがって、受光スリット５と共に移動
し、回転する。
【００１８】上記全体回転装置１４は、２本の案内ロッ
ド１１，１２を含む上記分光器１０全体を、図２（ｃ）
ないし（ｄ）のように、分析試料１の被照射部分１ａを
中心に回転させて、分析試料１からの蛍光Ｘ線Ｂ２の取
出角αを一定に保つものである。なお、取出角αはＸ線
管３（実際には図に示した大きさよりも大きく、かつ、
分析試料１に近接している。）に干渉しない範囲におい
て、できる限り大きく設定する。その他の構成は、上記
第１実施例と同様であり、同一部分または相当部分に同
一符号を付して、その詳しい説明を省略する。
ド１１，１２を含む上記分光器１０全体を、図２（ｃ）
ないし（ｄ）のように、分析試料１の被照射部分１ａを
中心に回転させて、分析試料１からの蛍光Ｘ線Ｂ２の取
出角αを一定に保つものである。なお、取出角αはＸ線
管３（実際には図に示した大きさよりも大きく、かつ、
分析試料１に近接している。）に干渉しない範囲におい
て、できる限り大きく設定する。その他の構成は、上記
第１実施例と同様であり、同一部分または相当部分に同
一符号を付して、その詳しい説明を省略する。
【００１９】つぎに、上記構成の動作を説明する。ま
ず、図２（ａ）のように、検出すべき蛍光Ｘ線の波長λ
1 に対応する回折角θ1 において、回折Ｘ線Ｂ３を検出
する。ついで、図２（ｃ）のように、分光結晶４および
受光スリット５を、案内ロッド１１，１２に沿って、
１：２の変位量で移動させることにより、他の検出すべ
き蛍光Ｘ線の波長にλ2 に応じて、回折角θ2 を設定す
る。この際、受光スリット５およびＸ線検出器６は、受
光スリット回転装置１３（図２（ｂ））により、所定角
度回転する。上記移動後、図２（ｄ）のように、全体回
転装置１４により、分光器１０全体を回転角β（＝α−
θ2 ）だけ回転させる。この全体回転により取出角αが
一定に保たれる。上記全体回転後、回折Ｘ線Ｂ３を検出
する。こうして、２種類の波長λ1 ，λ2 を有する回折
Ｘ線Ｂ３を検出することで、所定のＸ線分析がなされ
る。
ず、図２（ａ）のように、検出すべき蛍光Ｘ線の波長λ
1 に対応する回折角θ1 において、回折Ｘ線Ｂ３を検出
する。ついで、図２（ｃ）のように、分光結晶４および
受光スリット５を、案内ロッド１１，１２に沿って、
１：２の変位量で移動させることにより、他の検出すべ
き蛍光Ｘ線の波長にλ2 に応じて、回折角θ2 を設定す
る。この際、受光スリット５およびＸ線検出器６は、受
光スリット回転装置１３（図２（ｂ））により、所定角
度回転する。上記移動後、図２（ｄ）のように、全体回
転装置１４により、分光器１０全体を回転角β（＝α−
θ2 ）だけ回転させる。この全体回転により取出角αが
一定に保たれる。上記全体回転後、回折Ｘ線Ｂ３を検出
する。こうして、２種類の波長λ1 ，λ2 を有する回折
Ｘ線Ｂ３を検出することで、所定のＸ線分析がなされ
る。
【００２０】上記構成においては、全体回転装置１４を
設けて、分析試料１からの蛍光Ｘ線Ｂ２の取出角αを図
３のように、大きな一定値に保っているので、この蛍光
Ｘ線Ｂ２の強度を所定の大きな一定値に保つことができ
るから、分析精度が向上する。
設けて、分析試料１からの蛍光Ｘ線Ｂ２の取出角αを図
３のように、大きな一定値に保っているので、この蛍光
Ｘ線Ｂ２の強度を所定の大きな一定値に保つことができ
るから、分析精度が向上する。
【００２１】ところで、この実施例では、図２の分光結
晶４および受光スリット５を案内する案内ロッド１１，
１２を一体とし、図２（ｃ），（ｄ）のように、分光器
１０全体を全体回転装置１４で回転させるから、従来の
ヨハン型またはヨハンソン型分光器において取出角を一
定に保つために分光結晶４および受光スリット５を別々
に回転させるのに比べ、制御が容易になる。
晶４および受光スリット５を案内する案内ロッド１１，
１２を一体とし、図２（ｃ），（ｄ）のように、分光器
１０全体を全体回転装置１４で回転させるから、従来の
ヨハン型またはヨハンソン型分光器において取出角を一
定に保つために分光結晶４および受光スリット５を別々
に回転させるのに比べ、制御が容易になる。
【００２２】なお、上記実施例では、全体回転装置１４
により、分光結晶４、受光スリット５およびＸ線検出器
６を回転させて、取出角αを一定に保ったが、図２
（ｃ）の状態からＸ線管３および分析試料１を反時計回
りに角度β回転させて、取出角αを一定に保ってもよ
い。
により、分光結晶４、受光スリット５およびＸ線検出器
６を回転させて、取出角αを一定に保ったが、図２
（ｃ）の状態からＸ線管３および分析試料１を反時計回
りに角度β回転させて、取出角αを一定に保ってもよ
い。
【００２３】また、分光器１０を走査型とする場合に、
上記取出角αを一定に保つ必要はなく、たとえば、図２
の全体回転装置１４を設けずに、図２（ａ），（ｃ）の
状態で、それぞれ、蛍光Ｘ線Ｂ３の強度を検出すること
としてもよい。
上記取出角αを一定に保つ必要はなく、たとえば、図２
の全体回転装置１４を設けずに、図２（ａ），（ｃ）の
状態で、それぞれ、蛍光Ｘ線Ｂ３の強度を検出すること
としてもよい。
【００２４】また、上記各実施例では、分析試料１をＸ
線源とする分光器について説明したが、Ｘ線管のように
ターゲットに電子を衝突させて、ターゲットからの一次
Ｘ線を分光する分光器についてもこの考案を適用でき
る。
線源とする分光器について説明したが、Ｘ線管のように
ターゲットに電子を衝突させて、ターゲットからの一次
Ｘ線を分光する分光器についてもこの考案を適用でき
る。
【００２５】
【考案の効果】以上説明したように、請求項１の考案に
よれば、円筒状の分光結晶を円筒の軸線に平行に複数配
設するとともに、各分光結晶に対応する複数の受光スリ
ットを円筒の軸線上に設けたので、分光結晶ごとに異な
る回折角でＸ線を分光して、弱い強度のＸ線を複数種類
の波長に分光することができる。
よれば、円筒状の分光結晶を円筒の軸線に平行に複数配
設するとともに、各分光結晶に対応する複数の受光スリ
ットを円筒の軸線上に設けたので、分光結晶ごとに異な
る回折角でＸ線を分光して、弱い強度のＸ線を複数種類
の波長に分光することができる。
【００２６】また、請求項２の考案によれば、Ｘ線源と
受光スリットの開口を円筒状の分光結晶の軸線上に配置
した関係を保ちながら、分光結晶および受光スリットを
スライド移動させるので、１つの分光結晶および受光ス
リットにより、Ｘ線を複数種類の波長に分光することが
できる。
受光スリットの開口を円筒状の分光結晶の軸線上に配置
した関係を保ちながら、分光結晶および受光スリットを
スライド移動させるので、１つの分光結晶および受光ス
リットにより、Ｘ線を複数種類の波長に分光することが
できる。
【００２７】さらに、請求項３の考案によれば、Ｘ線源
からのＸ線の取出角を一定に保っているので、分光結晶
に向かうＸ線の強度を所定の大きな一定値に保つことが
できるから、分析精度が向上する。
からのＸ線の取出角を一定に保っているので、分光結晶
に向かうＸ線の強度を所定の大きな一定値に保つことが
できるから、分析精度が向上する。
【図１】（ａ）はこの考案の第１実施例を示すＸ線分光
器の斜視図、（ｂ）は同断面図である。
器の斜視図、（ｂ）は同断面図である。
【図２】（ａ）は第２実施例を示すＸ線分光器の断面
図、（ｂ）は受光スリット回転装置を示すスケルトン、
（ｃ）および（ｄ）はそれぞれ分光器の動作を示す断面
図である。
図、（ｂ）は受光スリット回転装置を示すスケルトン、
（ｃ）および（ｄ）はそれぞれ分光器の動作を示す断面
図である。
【図３】第２実施例を示すＸ線分光器の斜視図である。
【図４】従来例を示し、（ａ）はヨハン型分光器の概略
構成図、（ｂ）はヨハンソン型分光器の概略構成図であ
る。
構成図、（ｂ）はヨハンソン型分光器の概略構成図であ
る。
【図５】円筒型の分光結晶を用いた従来の分光器を示す
斜視図である。
斜視図である。
１ａ…Ｘ線源（分析試料の被照射部分）、４…分光結
晶、５…受光スリット、５ａ…開口、１４…（全体）回
転装置、Ｂ２…（蛍光）Ｘ線、Ｂ３…回折Ｘ線。
晶、５…受光スリット、５ａ…開口、１４…（全体）回
転装置、Ｂ２…（蛍光）Ｘ線、Ｂ３…回折Ｘ線。
Claims (3)
- 【請求項１】 Ｘ線源から出射されたＸ線を回折して単
色化する円筒状の分光結晶と、この分光結晶によって反
射された回折Ｘ線を通過させる受光スリットとを備え、
上記Ｘ線源と受光スリットの開口を円筒の軸線上に配置
したＸ線分光器において、 上記分光結晶を上記円筒の軸線に平行に複数配設すると
ともに、上記分光結晶に対応する複数の受光スリットを
設けたことを特徴とするＸ線分光器。 - 【請求項２】 Ｘ線源から出射されたＸ線を回折して単
色化する円筒状の分光結晶と、この分光結晶によって反
射された回折Ｘ線を通過させる受光スリットとを備え、
上記Ｘ線源と受光スリットの開口を円筒の軸線上に配置
したＸ線分光器において、 上記Ｘ線源、分光結晶および受光スリットの上記配置関
係を保ちながら、上記分光結晶および受光スリットをス
ライド移動させるスライド移動装置を設けたことを特徴
とするＸ線分光器。 - 【請求項３】 請求項２において、上記Ｘ線源または分
光結晶のいずれか一方を回転させて、上記Ｘ線源からの
Ｘ線の取出角を一定に保つ回転装置を設けたＸ線分光
器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1611292U JP2561312Y2 (ja) | 1992-02-17 | 1992-02-17 | Ｘ線分光器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1611292U JP2561312Y2 (ja) | 1992-02-17 | 1992-02-17 | Ｘ線分光器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0566599U JPH0566599U (ja) | 1993-09-03 |
| JP2561312Y2 true JP2561312Y2 (ja) | 1998-01-28 |
Family
ID=11907436
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1611292U Expired - Fee Related JP2561312Y2 (ja) | 1992-02-17 | 1992-02-17 | Ｘ線分光器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2561312Y2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3624207B2 (ja) * | 1997-08-06 | 2005-03-02 | 理学電機工業株式会社 | 点集束型ｘ線分光装置 |
| WO2003036677A1 (fr) * | 2001-10-24 | 2003-05-01 | Jeol Ltd. | Microscope electronique dote d'un spectrometre a rayons x |
-
1992
- 1992-02-17 JP JP1611292U patent/JP2561312Y2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0566599U (ja) | 1993-09-03 |
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