KR100506083B1 - 엑스선 형광분석이 가능한 엑스선 전자분광분석기 - Google Patents

엑스선 형광분석이 가능한 엑스선 전자분광분석기 Download PDF

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Abstract

전자분광분석기가 개시된다. 개시된 전자분광분석기는 엑스선을 발생시키는 광원과, 광원에서 출사되는 엑스선 중 일정폭을 가지는 영역의 엑스선만을 통과시키는 제1슬릿과, 제1슬릿을 통과한 엑스선 중 소정의 단색 엑스선을 보강간섭시켜 강한 회절파가 형성되도록 하는 복수개의 단결정 모노크로메터와, 단결정 모노크로메터에서 회절되는 엑스선 중 소정 에너지를 가진 엑스선만을 통과시키는 제2슬릿과, 측정하고자 하는 시료가 위치하며, 상기 제2슬릿을 통과한 엑스선이 조사되는 시료홀더와, 시료에서 발생한 형광엑스선을 수광하여 형광엑스선의 에너지를 검출하는 에너지분산검출기와, 에너지분산검출기의 출력단에 연결되어 출력신호를 형광엑스선의 에너지별로 분류하는 다중채널분석기와, 시료에서 방출되는 전자를 검출하기 위한 전자검출기와, 다중채널분석기 및 전자검출기로부터의 출력신호를 처리하는 정보처리장치를 구비한다. 본 발명은 하나의 전자분광분석장치로 형광엑스선분석 및 전자분석을 동시에 할 수 있다.

Description

엑스선 형광분석이 가능한 엑스선 전자분광분석기{Electron spectroscopic analyzer for X-ray fluorescence}
본 발명은 엑스선 전자분광분석기(XIEES; X-ray Induced Electron Emission Spectroscopy)에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 엑스선 형광분석이 가능한 엑스선 전자분광분기에 관한 것이다.
일반적으로 엑스선 전자분광분석기 또는 엑스선 형광분석기는, 산업상 이용물질 즉, 반도체 재료나 촉매, 비정질 재료 등의 원자 및 전자구조에 관한 정보를 얻기 위한 분석장치이다.
종래의 엑스선 전자분광분석기는 엑스선을 발생시키는 광원과, 엑스선이 조사된 시료로부터 방출되는 전자의 신호를 측정하여 상기 시료를 분석할 수 있는 광학계로 이루어져 있다. 엑스선 전자분광분석기는, 엑스선이 시료에 조사된 후 시료로부터 방출되는 전자증배관(Channel Electron Multiplier)으로 검출하여 시료의 정성(定性)을 분석한다.
이와는 달리 엑스선 형광분석기는, 엑스선이 시료에 조사된 후 시료에서 발생되는 형광엑스선의 에너지를 검출하여 시료의 정성을 분석한다. 이러한 종래의 엑스선 형광분석기에는, 엑스선을 발생시키는 광원과 단색 엑스선을 얻기 위한 하나의 단결정 모노크로메터 및 상기 단결정 모노크로메터(Monochrometer)로부터 회절된 엑스선이 시료에서 조사된 다음 상기 시료로부터 방출되는 형광엑스선의 에너지를 검출하는 검출기로 구성된 장치와, 단결정 모노크로메터를 사용하지 않고 백색 엑스선원을 발생시키는 광원과 상기 백색 엑스선원이 시료에 조사된 다음 상기 시료로부터 방출되는 형광엑스선의 에너지를 검출하는 검출기로 구성된 장치가 있다.
종래의 전자분광분석기는 시료로부터 방출되는 전자종래의 전자분광분석기는 시료로부터 방출되는 전자를 검출하기 때문에 진공 상태에서 분석을 실시해야 하고, 분석을 실시하는 동안 시료에 조사하는 엑스선의 에너지를 연속적으로 변화시켜가면서 시료로부터 방출되는 전자를 전자증배관으로 검출하여 시료의 정성을 분석하기 때문에 하나의 특정 에너지를 사용하여 엑스선 형광분석을 실시할 때보다 분석에 소요되는 시간이 길어진다는 단점이 있다.
하나의 단결정 모노크로메터를 사용하는 종래의 형광분석장치는 특정한 하나의 에너지를 사용하므로 분석하고자 하는 원소별로 감도차이가 발생하는 문제가 있을 수 있다. 즉, 단색 엑스선의 에너지와 비슷한 에너지 영역에서는 감도가 좋으나 단색 엑스선의 에너지에서 멀어질수록 감도가 저하된다는 단점이 있다.
백색 엑스선을 사용하는 종래의 형광분석장치는 광원에서 발생되는 엑스선과 시료에서 발생되는 형광엑스선간의 간섭으로 인해 엑스선 형광 데이터 분석이 어려워지는 단점이 있어 현재에는 잘 이용되지 않고 있다.
종래에는 이와 같이 전자를 검출하여 시료의 정성을 분석하는 전자분광분석기와, 시료에서 발생되는 형광엑스선의 에너지를 검출하여 시료의 정성을 분석하는 형광분석분광기를 별개로 사용하여, 시료에 엑스선을 조사하였을 경우 방출되는 전자와 발생되는 형광엑스선을 각각 별개로 검출한다.
따라서 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 상술한 종래 기술적 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 하나의 분석장치로 엑스선 전자분석과 엑스선 형광분석을 동시에 수행할 수 있는 엑스선 전자분광분석기를 제공하는 것이다.
상술한 기술적 과제를 달성하기 위하여 본 발명은, 엑스선을 발생시키는 광원;과 상기 광원에서 출사되는 엑스선 중 일정폭을 가지는 영역의 엑스선만을 통과시키는 제1슬릿;과 상기 제1슬릿을 통과한 엑스선 중 소정의 단색 엑스선을 보강간섭시켜 강한 회절파가 형성되도록 하는 복수개의 단결정 모노크로메터;와 상기 단결정 모노크로메터에서 회절되는 엑스선 중 소정 에너지를 가진 엑스선만을 통과시키는 제2슬릿;과 측정하고자 하는 시료가 위치하며, 상기 제2슬릿을 통과한 엑스선이 조사되는 시료홀더;와 상기 시료에서 발생한 형광엑스선을 수광하여 상기 형광엑스선의 에너지를 검출하는 에너지분산검출기;와 상기 에너지분산검출기의 출력단에 연결되어 출력신호를 상기 형광엑스선의 에너지별로 분류하는 다중채널분석기;와 상기 시료에서 방출되는 전자를 검출하기 위한 전자검출기; 및 상기 다중채널분석기 및 상기 전자검출기로부터의 출력신호를 처리하는 정보처리장치;를 구비하는 것을 특징으로 하는 전자분광분석기를 제공한다.
바람직하게는 상기 모노크로메터는 복수개의 단결정을 포함하는 단결정드럼일 수 있다.
삭제
여기서, 상기 에너지분산검출기와 상기 다중채널분석기의 사이에 상기 검출기의 출력신호를 증폭하여 상기 다중채널분석기로 전송하는 증폭기를 더 구비하는 것이 바람직하다.
여기서, 상기 전자검출기와 상기 정보처리장치 사이에 상기 전자검출기의 출력신호를 증폭하여 상기 정보처리장치로 전송하는 증폭기를 더 구비하는 것이 바람직하다.
상기 제2슬릿은 상기 시료홀더를 차폐하는 소정 차폐기에 마련되어 있는 것임을 특징으로 한다.
본 발명은 전자분광분석기와 형광분석분광기의 기능을 모두 할 수 있는 전자분석장치를 제공한다.
이하 본 발명에 따른 엑스선 전자분광분석기의 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 엑스선 전자분광분석기에는 엑스레이를 발생시키는 광원(11)과, 광원(11)에서 발생된 엑스선중 엑스선의 발산을 차단하며 일정폭을 가지는 영역의 엑스선을 통과시키는 제1슬릿(13)과, 제1슬릿(13)을 통과한 엑스선 중 특정 파장의 단색 엑스선을 보강간섭시켜 강한 회절파가 되도록 하는 단결정 모노크로메터를 복수개 가지는 단결정드럼(15)과, 단결정드럼(15)에서 회절된 단색 엑스선 중 특정 에너지를 가지는 엑스선의 일정폭만을 통과시키는 제2슬릿(17)과, 단색 엑스선이 조사되는 시료(18)가 마련된 시료홀더(19)가 구비되어 있다.
본 발명의 실시예에 따른 형광분석이 가능한 전자분광분석기(10)는, 형광엑스선(30)을 검출하여 시료(18)의 정성을 분석하는 장치인 형광엑스선분석기와, 전자(40)를 검출하여 시료(18)의 정성을 분석하는 장치인 전자분광분석기의 기능을 모두 가짐으로써 시료(19)로부터 방출되는 형광엑스선(30)과 전자(40)를 모두 검출할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 형광분석이 가능한 전자분광분석기(10)의 형광엑스선분석기에는 시료(18)에서 방출되는 형광엑스선(30, FLX-ray; Fluorescent X-ray)을 수광하여 그 에너지를 검출하는 에너지분산검출기(21)와, 에너지분산검출기(21)의 출력단에 연결되어 출력신호를 상기 형광엑스선의 에너지별로 분류하는 다중채널분석기(25)와, 다중채널분석기(25)로부터의 출력신호를 처리하는 정보처리장치인 컴퓨터(27)가 마련되어 있다. 에너지분산검출기(21)와 다중채널분석기(25)사이에 에너지분산검출기(21)의 출력신호를 증폭할 수 있는 증폭기(23)가 더 구비될 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 형광분석이 가능한 전자분광분석기(10)의 전자분석장치부분에는, 시료(18)에서 방출되는 전자(40)를 검출하는 전자검출기(33)와, 전자검출기(33)로부터의 출력신호를 처리하는 정보처리장치인 컴퓨터(27)가 마련되어 있다. 전자검출기(33)와 컴퓨터(27)사이에 전자검출기(33)의 출력신호를 증폭할 수 있는 증폭기(35, 37)가 더 구비될 수 있다.
광원(11)은 백색 엑스선을 발생시킨다. 이 때 발생되는 엑스선(20)은 시료(18)에 포함되어 있을 것으로 예상되는 원소의 흡수에너지보다 큰 에너지를 가져야 한다. 시료(18)에 포함되어 있는 원소의 흡수에너지보다 작은 에너지를 가지는 엑스선(20)을 시료(18)에 조사하는 경우 엑스선(20)은 시료(18)에 포함되어 있는 원소를 여기시키지 못하므로 원소의 여기에 의한 전자(40)나 특성 엑스선(30)이 방출되지 않으므로 시료(18)의 정성을 분석할 수 없게 된다.
제1슬릿(13)은 엑스선(20)의 발산을 차단하며 엑스선 중 슬릿의 폭에 해당하는 영역을 가지는 엑스선만을 통과시키는 엑스선(20)이 단결정 모노크로메터(14a, 14b, 14c, 14d, 14e, 14f) 중 어느 하나에 정확히 입사될 수 있도록 한다. 제1슬릿(13)은 광원을 중심에 둔 특정 장치에 위치하여 동일한 기능을 할 수 있도록 제작될 수 있다. 제1슬릿(13)을 통과하는 엑스선(20)중 제1슬릿(13)에 의한 엑스선 회절은 본 발명에 영향을 주지 않을 정도로 제1슬릿(13)을 통과하면서 약하게 회절된다.
단결정드럼(15)은 복수개의 단결정 모노크로메터, 본 발명에서는 여섯 개의 모노크로메터(14a, 14b, 14c, 14d, 14e, 14f)를 구비한다. 본 발명에 사용된 단결정 모노크로메터는 LiF(422), SiO2(3140), Ge(111), Ge(111)-flat, SiO2(11-11), KAP(002)등이다. 시료(18)에 포함되어 있을 것으로 예상되는 원소의 흡수에너지를 고려하여 서로 다른 범위의 에너지를 가지는 엑스선을 방출할 수 있는 단결정을 선택하게 된다.
예를 들어, LiF(422)는 7.7-41.8keV 의 에너지를 가지는 엑스선을 방출하며 LiF(200)은 3.1-17.1keV 의 에너지를 가지는 엑스선을 방출한다. 따라서 원소의 흡수에너지가 18keV 정도인 경우 사용할 수 있는 단결정은 LiF(422)이며, 단결정 LiF(200)은 원소의 흡수에너지보다 작은 에너지를 가지는 엑스선을 방출하므로 사용할 수 없음을 알 수 있다.
단결정 모노크로메터(14a, 14b, 14c, 14d, 14e, 14f)에서 회절된 엑스선은 단색 엑스선으로 방출된다. 본 발명의 실시예에 따른 전자분광분석기에는 복수개의 단결정 모노크로메터(14a, 14b, 14c, 14d, 14e, 14f)를 가지는 드럼이 마련되므로, 넓은 에너지 영역에서 단색광을 얻을 수 있다. 여기서, 단결정 모노크로메터(14a, 14b, 14c, 14d, 14e, 14f)는 단결정 드럼의 형태가 아닌 다른 형태로 제작될 수 있다. 예를 들어, 단결정 모노크로메터(14a, 14b, 14c, 14d, 14e, 14f)는 엑스선의 경로에 복수개의 단결정이 일렬로 배열된 형태로 제작될 수도 있다.
제2슬릿(17)은 단결정드럼(15)에서 회절되는 엑스선 중 특정 파장의 단색 엑스선만을 통과시켜 엑스선이 정확히 시료(18)에 조사될 수 있도록 한다. 제2슬릿(17)은 시료홀더(19)를 차폐시키는 차폐실(미도시)에 형성되어질 수 있다. 차폐실은 엑스선이 입사되는 제2슬릿을 구비하고 시료로부터 방출되는 전자(40) 및 형광엑스선(30)중 일정폭만이 통과할 수 있도록 제3 및 제4슬릿을 구비하거나, 에너지분산검출기와 전자검출기를 구비할 수 있다.
시료홀더(19)에는 시료(18)가 마련되며, 시료(18)에 포함된 원소는 단결정 모노크로메터(14a, 14b, 14c, 14d, 14e, 14f)에서 회절된 단색 엑스선의 에너지를 흡수하여 전자(40) 또는 형광엑스선(30)을 방출한다.
시료(18)에서 방출된 형광엑스선(30)은 에너지분산검출기로 검출하며, 시료에서 방출된 전자(40)는 전자검출기로 검출한다.
형광분석분광기에 구비되는 에너지분산검출기(21)는 시료(18)에서 방출된 형광엑스선의 에너지를 분석하여 출력신호를 다중채널분석기(25)로 전송한다. 에너지분산검출기(21)와 다중채널분석기(25)사이에 증폭기(23)가 더 마련되어 에너지분산검출기(21)의 마이크로볼트(microvolt)정도의 작은 신호를 증폭하여 다중채널분석기(25)에 전송하는 것이 바람직하다.
다중채널분석기(25)는 에너지분산검출기(21)의 출력신호를 엑스선 에너지별로 분류하여 컴퓨터(27)로 전송한다. 컴퓨터(27)는 다중채널분석기(25)에서 전송된 출력신호를 스펙트럼으로 제시하고 데이터를 저장한다.
전자분광분석기에 구비되는 전자검출기(33)는 시료(18)에서 방출되는 전자를 그 종류에 관계없이, 즉 광전자(Photoelectron), 오제전자(Auger Electron), 이차전자(Secondary electron)를 모두 수용하여, 전류신호를 출력신호로 하여 컴퓨터(27)로 전송한다. 여기서, 광전자란 가시광선, 자외선 등을 금속에 조사한 경우 금속의 표면에서 방출되는 전자를 말한다. 오제전자란 전도대의 전자가 가전자대로 이동하면서 방출한 에너지를 전달받아 방사되는 전자를 말한다. 이차전자란 고체의 표면에 전자 또는 이온이 일정속도로 충돌하여 그 에너지에 의해 표면에서 2차적으로 방출되는 전자를 말한다.
전자검출기(33)와 컴퓨터(27)사이에는 프리앰프(35) 및 증폭기(37)가 더 마련되어 전자검출기(33)의 출력신호를 증폭하여 컴퓨터(27)로 전송시키는 것이 바람직하다.
본 발명에서 사용되는 엑스선의 에너지를 선택하는 방법은 도 3에 도시되어 있다. 도 3은 브랙법칙(Brag's law)을 만족하면서 광원(11)을 중심으로 단결정드럼(15)과 시료홀더(19) 및 에너지분산검출기(21)의 위치가 엑스선의 에너지에 따라 변하는 위치를 나타내고 있다.
도 2는 브랙법칙을 나타낸 도면이다. 브랙법칙이란 결정격자에 엑스선 또는 입자선의 입사각이 브랙각도(θ)를 만족시키는 경우 격자면에서 반사되는 반사파가 동상으로 서로 보강간섭을 하여 강한 회절파가 형성되는 것을 말한다. 즉 브랙법칙은 수학식 1로 나타낼 수 있으며, 수학식 1은 경로차(2x=2dsinθ)가 파장의 정수배가 되면 보강간섭이 형성되는 것을 나타낸다.
여기서, d는 결정격자간의 간격, λ는 입사파의 파장, θ는 입사파와 격자면이 이루는 각이다.
엑스선의 에너지(E)는 수학식 2에 따라 파장(λ)에 의해 결정되어지며, 파장(λ)은 수학식1의 관계식에 의해 결정격자의 간격(d)와 브랙각도(θ)에 의해 결정되어진다. 즉 특정 에너지(E)를 가지는 엑스선을 선택하기 위해 결정격자의 간격(d)와 브랙각도(θ)를 적절히 선택해야 한다.
여기서 h는 플랑크 상수(Planck's constant, 6.625*10-34Js), c는 광속(=3*108m/s2)이다.
도 3의 (a)는 엑스선의 에너지가 고에너지인 경우, (b)는 엑스선의 에너지가 중에너지인 경우, (c)는 엑스선의 에너지가 저에너지인 경우에 있어서 각각의 시료홀더 및 검출기의 위치를 나타낸 도면이다.
고에너지를 얻기 위해서는 수학식 1 및 2에 따라 d 및 θ를 감소시켜야 한다. d는 결정격자간의 간격이므로 d는 결정격자간의 간격을 조정하여 감소시킬 수 있으며, θ는 수학식 3에 따라 롤랜드 서클(Roland circle)의 반경(R) 및 중심에서 시료까지의 거리(L)에 의해 결정되므로 거리(L)을 감소시킴으로써 감소시킬 수 있다. 여기서 반경(R)은 고정되어 있는 값이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 전자분광분석기 중 광원(11), 다중채널분석기(25) 및 컴퓨터(27)를 제외한 다른 장치가 설치되는 진공챔버내의 구조를 나타낸 도면이다. 도 4를 참조하면, 진공챔버내에 광원(11)과, 단결정드럼(15)과, 시료홀더(19), 에너지분산검출기(21) 및 전자검출기(33)가 장착된 이송장치(39)가 롤랜드 서클을 유지하는 상관관계를 가지도록 배치된다.
선택하고자 하는 에너지 영역에 따라 이송장치를 이동시켜 거리(L)을 조정할 수 있으며, 거리(L)에 따라 각도(θ)를 조정할 수 있다. 또한 단결정 모노크로메터의 격자간격(d)이 다른 여러개의 모노크로메터 중 하나를 선택하여 필요한 에너지 영역을 가지는 엑스선을 선택할 수 있다. 본 발명의 실시예에 따른 엑스선 전자분광분석기는 500eV 까지 낮은 에너지에서 분광분석을 하기 위해 모든 광학계가 진공에서 구동하도록 설계되어 있으므로 경원소 분석이 가능한 장점이 있다.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 전자분광분석기를 이용하여 단결정 모노크로메터에서 회절되는 엑스선이 Mo Ka1(17.429keV)일 때 Pt(200nm), PZT(200nm)/Si 시료에서 얻은 형광엑스선 스펙트럼을 나타낸 그래프이다.
도 5를 참조하면, 형광엑스선이 Pt, Pb등 시료를 구성하고 있는 원소들의 위치에서 피크(peak)를 나타내고 있음을 알 수 있다. 입사 엑스선의 에너지가 17.429keV 이며 Zr의 엑스선 흡수 에너지가 18.0keV 정도이므로 이 그래프에서는 Zr에서 피크선이 나타나지 않는 것을 알 수 있다.
즉 상술한 바와 같이, 엑스선은 시료에 포함되어 있을 것으로 예상되는 원소의 흡수에너지보다 큰 에너지를 가지도록 선택해야 한다.
도 5에 도시된 그래프와 유사하게 전자검출기에서 전자를 검출하여 나타낼 수 있는 출력신호에 따른 그래프도 시료에 포함된 특정 원소의 에너지에서 강도가 높게 나타나는 피크로부터 정성을 분석할 수 있다.
본 발명은 시료의 정성분석을 위해 전자분석기와 형광분석기를 동시에 이용하는 전자분광분석기를 제공하여 시료의 정성을 정확히 분석할 수 있다는 장점이 있다. 또한 백색 엑스선을 광원으로 이용하고 복수개의 단결정 모노크로메터가 구비된 단결정 드럼을 이용함으로써 엑스선 에너지를 선택할 수 있는 폭이 넓은 장점이 있다.
상기한 설명에서 많은 사항이 구체적으로 기재되어 있으나, 그들은 발명의 범위를 한정하는 것이라기보다, 바람직한 실시예의 예시로서 해석되어야 한다. 예를 들어 본 발명이 속한 기술분야의 당업자라면 복수개의 단결정 모노크로메터를 구비하는 단결정 드럼을 본 발명의 기술적 사상에 따라 다른 형태의 모노크로메터를 제작할 수 있으며, 시료홀더를 차폐시키는 차폐실을 따로 더 구비하고 제2슬릿이 이 차폐실에 마련되도록 할 수 있다. 이것은 또한 제1슬릿의 경우에도 광원을 중심에 둔 특정 장치를 설치하고 이 특정 장치에 제1슬릿이 마련되도록 할 수 있다. 따라서 본 발명의 범위는 설명된 실시예에 의하여 정하여 질 것이 아니고 특허 청구범위에 기재된 기술적 사상에 의해 정하여져야 한다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 의한 전자분석장치의 장점은 형광분석기 및 전자분석기의 기능을 동시에 수행할 수 있어 하나의 분석장치로 형광분석과 전자분석을 동시에 할 수 있다는 것이다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 전자분광분석기의 구성을 나타낸 도면,
도 2는 브랙법칙을 나타낸 도면,
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 전자분광분석기의 각 에너지영역을 나타낸 도면,
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 전자분광분석기의 진공챔버를 나타낸 평면도,
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 전자분광분석기로부터 구한 엑스선 형광스펙트럼을 나타낸 도면.
<도면의 주요부분에 대한 부호설명>
10 : 전자분광분석기 11 : 광원
13 : 제1슬릿
14a, 14b, 14c, 14d, 14e, 14f; 단결정 모노크로메터
15 : 단결정드럼 17 : 제2슬릿
18 : 시료 19 : 시료홀더
20 : 엑스선 21 : 에너지분산검출기
23, 35, 37 ; 증폭기 25 : 다중채널분석기
27 : 컴퓨터 30 : 형광엑스선
31 : 롤랜드 섹터 33 : 전자검출기
39 : 이송장치 40 : 전자

Claims (9)

  1. 엑스선을 발생시키는 광원;
    상기 광원에서 출사되는 엑스선 중 일정폭을 가지는 영역의 엑스선만을 통과시키는 제1슬릿;
    상기 제1슬릿을 통과한 엑스선 중 소정의 단색 엑스선을 보강간섭시켜 강한 회절파가 형성되도록 하는 복수개의 단결정 모노크로메터;
    상기 단결정 모노크로메터에서 회절되는 엑스선 중 소정 에너지를 가진 엑스선만을 통과시키는 제2슬릿;
    측정하고자 하는 시료가 위치하며, 상기 제2슬릿을 통과한 엑스선이 조사되는 시료홀더;
    상기 시료에서 발생한 형광엑스선을 수광하여 상기 형광엑스선의 에너지를 검출하는 에너지분산검출기;
    상기 에너지분산검출기의 출력단에 연결되어 출력신호를 상기 형광엑스선의 에너지별로 분류하는 다중채널분석기;
    상기 시료에서 방출되는 전자를 검출하기 위한 전자검출기; 및
    상기 다중채널분석기 및 상기 전자검출기로부터의 출력신호를 처리하는 정보처리장치;를 구비하는 것을 특징으로 하는 전자분광분석기.
  2. 삭제
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 모노크로메터는 복수개의 단결정을 포함하는 단결정드럼인 것을 특징으로 하는 전자분광분석기.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 에너지분산검출기와 상기 다중채널분석기의 사이에 상기 검출기의 출력신호를 증폭하여 상기 다중채널분석기로 전송하는 증폭기를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 전자분광분석기.
  5. 삭제
  6. 제 3 항에 있어서,
    상기 에너지분산검출기와 상기 다중채널분석기의 사이에 상기 검출기의 출력신호를 증폭하여 상기 다중채널분석기로 전송하는 증폭기를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 전자분광분석기.
  7. 제 4 항 또는 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 전자검출기와 상기 정보처리장치 사이에 상기 전자검출기의 출력신호를 증폭하여 상기 정보처리장치로 전송하는 증폭기를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 전자분광분석기.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 시료홀더를 차폐하는 차폐기가 더 구비되어 있으며, 상기 제2슬릿은 상기 차폐기에 마련되어 있는 것을 특징으로 하는 전자분광분석기.
  9. 제 7 항에 있어서,
    상기 시료홀더를 차폐하는 차폐기가 더 구비되어 있으며, 상기 제2슬릿은 상기 차폐기에 마련되어 있는 것을 특징으로 하는 전자분광분석기.
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