JPS60247145A - Ｘ線分光装置 - Google Patents
Ｘ線分光装置Info
- Publication number
- JPS60247145A JPS60247145A JP59104092A JP10409284A JPS60247145A JP S60247145 A JPS60247145 A JP S60247145A JP 59104092 A JP59104092 A JP 59104092A JP 10409284 A JP10409284 A JP 10409284A JP S60247145 A JPS60247145 A JP S60247145A
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- JP
- Japan
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- ray
- spectral
- wavelength
- spectroscopic
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- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
- G01N23/20—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by using diffraction of the radiation by the materials, e.g. for investigating crystal structure; by using scattering of the radiation by the materials, e.g. for investigating non-crystalline materials; by using reflection of the radiation by the materials
- G01N23/207—Diffractometry using detectors, e.g. using a probe in a central position and one or more displaceable detectors in circumferential positions
- G01N23/2076—Diffractometry using detectors, e.g. using a probe in a central position and one or more displaceable detectors in circumferential positions for spectrometry, i.e. using an analysing crystal, e.g. for measuring X-ray fluorescence spectrum of a sample with wavelength-dispersion, i.e. WDXFS
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（イ）、産業上の利用分野
本発明は試料から放射されるＸ線を分光結晶により分光
し、分光されたＸ線を計測するＸ線分光システムに関す
る。
し、分光されたＸ線を計測するＸ線分光システムに関す
る。
（ロ）、従来技術
一般にＥＰＭＡなど、試料から放出されたＸ線を分光す
るＸ線分光装置においては、分光結晶を用いて特定波長
のＸ線に分光するいわゆる波長分散形のＸ線分光器を備
えたものがある。この、Ｘ線分光器では使用する分光結
晶の格子間隔やＸ線分光器の配置上の物理的な制約等か
ら１台のＸ線分光器で分光できる波長範囲は自から限界
がある。
るＸ線分光装置においては、分光結晶を用いて特定波長
のＸ線に分光するいわゆる波長分散形のＸ線分光器を備
えたものがある。この、Ｘ線分光器では使用する分光結
晶の格子間隔やＸ線分光器の配置上の物理的な制約等か
ら１台のＸ線分光器で分光できる波長範囲は自から限界
がある。
従って、通常の分析時に必要な波長範囲（１，ＯＡ”〜
１５０Ａ’程度）を全てカバーしようとすると、分光結
晶の格子間隔が互いに異なる複数台のＸ線分光器が必要
となる。しかしながら、多数のＸ線分光器を装備すると
、装置が高価となり、しかも取付スペースが制限を受け
るなど不具合を生じる。
１５０Ａ’程度）を全てカバーしようとすると、分光結
晶の格子間隔が互いに異なる複数台のＸ線分光器が必要
となる。しかしながら、多数のＸ線分光器を装備すると
、装置が高価となり、しかも取付スペースが制限を受け
るなど不具合を生じる。
このため、従来の装置の中には１台のＸ線分光器に複数
個の分光結晶を設け、分光波長範囲に応じて分光結晶を
選択できるようにしたものがある。
個の分光結晶を設け、分光波長範囲に応じて分光結晶を
選択できるようにしたものがある。
ところが、従来のものでは各分光結晶を互いに関係をも
たせて配置するのではなくて個々独立して設けている。
たせて配置するのではなくて個々独立して設けている。
このため、Ｘ線分光器を走査する際は、測定波長範囲に
応じて分光結晶を交換する毎にＸ線分光器を−から走査
し直さねばならない。
応じて分光結晶を交換する毎にＸ線分光器を−から走査
し直さねばならない。
すなわち、従来のものは全波長範囲を分析する場合複数
回往復走査せねばならず、本質的には複数のＸ線分光器
を使用するのと変らず、測定操作が煩雑になるという問
題がある。
回往復走査せねばならず、本質的には複数のＸ線分光器
を使用するのと変らず、測定操作が煩雑になるという問
題がある。
（ハ）、目的
本発明は従来のかかる問題点を解決し、１台のＸ線分光
器の１回の走査で実用上必要な全波長範囲をカバーして
Ｘ線分光測定ができるようにすることを目的とする。
器の１回の走査で実用上必要な全波長範囲をカバーして
Ｘ線分光測定ができるようにすることを目的とする。
（ニ）、構成
本発明はζ、のような目的を達成するために、１台のＸ
線分光器に配置された複数の分光結晶を時分割で選択使
用し、各分光結晶で分光したＸ線のＸ線検出器に゛よる
出力を各Ｘ線計数器に自動的に振り分けられるようにし
たものである。すなわち、本発明のＸ線分光装置は、互
いに異なる格子間隔を有する分光結晶の複数個を共通軸
の周囲に配置するとともに、この共通軸に共通軸回動用
の駆動部を取付けてＸ線分光器を構成する一方、前記各
分光結晶に対応して設けられたＸ線計数器にＸ線検出器
の出力を切換える切換回路を設け、かつ、前記駆動部と
切換回路とに前記各分光結晶とＸ線計数器とを同期して
選択させる選択手段をそれぞれ接続したことを特徴とし
ている。
線分光器に配置された複数の分光結晶を時分割で選択使
用し、各分光結晶で分光したＸ線のＸ線検出器に゛よる
出力を各Ｘ線計数器に自動的に振り分けられるようにし
たものである。すなわち、本発明のＸ線分光装置は、互
いに異なる格子間隔を有する分光結晶の複数個を共通軸
の周囲に配置するとともに、この共通軸に共通軸回動用
の駆動部を取付けてＸ線分光器を構成する一方、前記各
分光結晶に対応して設けられたＸ線計数器にＸ線検出器
の出力を切換える切換回路を設け、かつ、前記駆動部と
切換回路とに前記各分光結晶とＸ線計数器とを同期して
選択させる選択手段をそれぞれ接続したことを特徴とし
ている。
（ホ）、実施例
以下、本発明を図面に示す一実施例に基づいて詳細に説
明する。
明する。
第１図はこの実施例のＸ線分光装置の構成図、第２図は
Ｘ線分光器の平面図である。これらの図において符号１
はＸ線分光装置を示し、２は試料、４はＸ線分光器であ
る。このＸ線分光器４はζ本例の場合、結晶直進形のも
ので、互いに異なる格子間隔を有するわん画形をした４
つの分光結晶６ａ〜６ｄが共通軸８に固着された固定部
材１０の外周に配置されるとともに、上記共通軸８に共
通軸回動用の駆動部１２が取付けられて構成される。
Ｘ線分光器の平面図である。これらの図において符号１
はＸ線分光装置を示し、２は試料、４はＸ線分光器であ
る。このＸ線分光器４はζ本例の場合、結晶直進形のも
ので、互いに異なる格子間隔を有するわん画形をした４
つの分光結晶６ａ〜６ｄが共通軸８に固着された固定部
材１０の外周に配置されるとともに、上記共通軸８に共
通軸回動用の駆動部１２が取付けられて構成される。
なお、駆動部１２としてはパルスモータ等が適用される
。１４はＸ線検出器であり、このＸ線検出器１４と上記
試料２ならびにＸ線分光器４は共にローランド円上に常
に位置するように構成される。
。１４はＸ線検出器であり、このＸ線検出器１４と上記
試料２ならびにＸ線分光器４は共にローランド円上に常
に位置するように構成される。
１６はＸ線検出器１４の検出出力を増幅する増幅器、１
８ａ〜１８ｄは前記各分光結晶６ａ〜６ｄに対応して設
けられたＸ線計数器である。また２０は各Ｘ線計数器１
８ａ〜１８ｄにＸ線検出器１４の出力を切換える切換回
路である。２２は前記各分光結晶６ａ〜６ｄとＸ線計数
器１８ａ〜１８ｄとを同期して選択するための選択手段
としての分配器であり、この分配器２２はＸ線分光器４
の駆動部１２と切換回路２０とにそれぞれ接続されてい
る。
８ａ〜１８ｄは前記各分光結晶６ａ〜６ｄに対応して設
けられたＸ線計数器である。また２０は各Ｘ線計数器１
８ａ〜１８ｄにＸ線検出器１４の出力を切換える切換回
路である。２２は前記各分光結晶６ａ〜６ｄとＸ線計数
器１８ａ〜１８ｄとを同期して選択するための選択手段
としての分配器であり、この分配器２２はＸ線分光器４
の駆動部１２と切換回路２０とにそれぞれ接続されてい
る。
このような構成において、Ｘ線分光測定を行なうには、
Ｘ線分光器４が試料２との距離１を変化させつつ所定の
分光範囲Ｌ＃にわたって直進走査される。その際Ｘ線検
出器１４もローランド円上に位置するように変位される
。そして、Ｘ線分光器４と試料２との距離！変化にとも
ない測定する分光波長が変化される。今、低波長側から
高波長側に向ってＸ線分光器４を走査するものとする。
Ｘ線分光器４が試料２との距離１を変化させつつ所定の
分光範囲Ｌ＃にわたって直進走査される。その際Ｘ線検
出器１４もローランド円上に位置するように変位される
。そして、Ｘ線分光器４と試料２との距離！変化にとも
ない測定する分光波長が変化される。今、低波長側から
高波長側に向ってＸ線分光器４を走査するものとする。
このときには、まず低波長用の分光結晶（たとえば６ａ
）が選定される。この分光結晶６ａが第３図に示すよ
うに測定可能な波長範囲Ａ□まで走査されると、分配器
２２から選択信号が出力され、この選択信号がＸ線分光
器４の駆動部１２と切換回路２０とにそれぞれ与えられ
る。駆動部１２は入力された選択信号により、共通軸８
を所定の角度回転する。従って、次の測定波長範囲Ａ２
に適合する中間波長用の分光結晶６ｂが分光位置にセッ
トされる。同時に、切換回路２０は分配器２２からの選
択信号に応答して、新たに選定された分光結晶６ｂに対
応するＸ線計数器１８ｂに接続を切換える。このように
、順次所定の測定波長範囲Ａ１〜Ａ４を有する分光結晶
６８〜６ｄが分光位置にセットされ、かつ、これに同期
して分光結晶６８〜６ｄに対応するＸ線計数器１８ａ〜
１８ｄがＸ線検出器１４と接続される。従って、たとえ
ば電子ビーム照射により試料２から放出されたＸ線はＸ
線分光器４の直進走査にともないその測定波長に適合し
た分光結晶６ａ〜６ｄで分光されてＸ線検出器１４で検
出される。そしてＸ線検出器１４の検出出力は増幅器１
６で増幅された後、切換回路２０を介して特定の分光結
晶６ａ〜６ｄに対応するＸ線計数器１８ａ〜１８ｄに与
えられる。
）が選定される。この分光結晶６ａが第３図に示すよ
うに測定可能な波長範囲Ａ□まで走査されると、分配器
２２から選択信号が出力され、この選択信号がＸ線分光
器４の駆動部１２と切換回路２０とにそれぞれ与えられ
る。駆動部１２は入力された選択信号により、共通軸８
を所定の角度回転する。従って、次の測定波長範囲Ａ２
に適合する中間波長用の分光結晶６ｂが分光位置にセッ
トされる。同時に、切換回路２０は分配器２２からの選
択信号に応答して、新たに選定された分光結晶６ｂに対
応するＸ線計数器１８ｂに接続を切換える。このように
、順次所定の測定波長範囲Ａ１〜Ａ４を有する分光結晶
６８〜６ｄが分光位置にセットされ、かつ、これに同期
して分光結晶６８〜６ｄに対応するＸ線計数器１８ａ〜
１８ｄがＸ線検出器１４と接続される。従って、たとえ
ば電子ビーム照射により試料２から放出されたＸ線はＸ
線分光器４の直進走査にともないその測定波長に適合し
た分光結晶６ａ〜６ｄで分光されてＸ線検出器１４で検
出される。そしてＸ線検出器１４の検出出力は増幅器１
６で増幅された後、切換回路２０を介して特定の分光結
晶６ａ〜６ｄに対応するＸ線計数器１８ａ〜１８ｄに与
えられる。
このため、各Ｘ線計数器１８ａ〜１８ｄにはそれぞれ独
立した波長範囲の信号が得られることになる。
立した波長範囲の信号が得られることになる。
なお、この実施例ではＸ線分光器４には４つの分光結晶
６８〜６ｄを設けているが、これに限定されるものでな
いのは勿論である。また、この実施例のわん曲結晶を用
いた直進形Ｘ線分光器に限らず分光結晶を有するＸ線分
光装置であれば本発明を広く適用することができる。
６８〜６ｄを設けているが、これに限定されるものでな
いのは勿論である。また、この実施例のわん曲結晶を用
いた直進形Ｘ線分光器に限らず分光結晶を有するＸ線分
光装置であれば本発明を広く適用することができる。
（へ）、効果
以上のように、本発明によれば、１台のＸ線分光器に配
置された複数の分光結晶を時分割で選択使用することが
でき、しかもＸ線検出器で検出した各分光結晶ごとのＸ
線の出力を各分光結晶に対応するＸ線計数器に自動的に
振り分けることができる。このため、１台のＸ線分光器
の１回の走査で実用上必要な全波長範囲をカバーしたＸ
線分光測定が可能となり、測定が迅速かつ、簡単に行な
えるという優れた効果が得られる。
置された複数の分光結晶を時分割で選択使用することが
でき、しかもＸ線検出器で検出した各分光結晶ごとのＸ
線の出力を各分光結晶に対応するＸ線計数器に自動的に
振り分けることができる。このため、１台のＸ線分光器
の１回の走査で実用上必要な全波長範囲をカバーしたＸ
線分光測定が可能となり、測定が迅速かつ、簡単に行な
えるという優れた効果が得られる。
図面は本発明の一実施例を示すもので、第１図はＸ線分
光装置の構成図、第２図はＸ線分光器の平面図、第３図
はＸ線分光器の走査動作の説明図である。 １・・・Ｘ線分光装置、４・・・Ｘ線分光器、６８〜６
ｄ・・・分光結晶、８・・共通軸、１２・・駆動部、１
４・・Ｘ線検出器、１８ａ〜１８ｄ・・・Ｘ線計数器、
２叶・切換回路、２２・・選択手段（分配器）。 出願人 株式会社 高滓製作所 代理人 弁理士 岡 １）相方 第１図 ム 「 第２図 第３図
光装置の構成図、第２図はＸ線分光器の平面図、第３図
はＸ線分光器の走査動作の説明図である。 １・・・Ｘ線分光装置、４・・・Ｘ線分光器、６８〜６
ｄ・・・分光結晶、８・・共通軸、１２・・駆動部、１
４・・Ｘ線検出器、１８ａ〜１８ｄ・・・Ｘ線計数器、
２叶・切換回路、２２・・選択手段（分配器）。 出願人 株式会社 高滓製作所 代理人 弁理士 岡 １）相方 第１図 ム 「 第２図 第３図
Claims (1)
- （１）、互いに異なる格子間隔を有する分光結晶の複数
個を共通軸の周囲に配置するとともに、この共通軸に共
通軸回動用の駆動部を取付けてＸ線分光器を構成する一
方、前記各分光結晶に対応して設けられたＸ線計数器に
Ｘ線検出器の出力を切換える切換回路を設け、かつ、前
記駆動部と切換回路とに前記各分光結晶と、Ｘ線計数器
とを同期して選択させる選択手段をそれぞれ接続したこ
とを特徴とするＸ線分光装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59104092A JPS60247145A (ja) | 1984-05-22 | 1984-05-22 | Ｘ線分光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59104092A JPS60247145A (ja) | 1984-05-22 | 1984-05-22 | Ｘ線分光装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60247145A true JPS60247145A (ja) | 1985-12-06 |
Family
ID=14371474
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59104092A Pending JPS60247145A (ja) | 1984-05-22 | 1984-05-22 | Ｘ線分光装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60247145A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0676780A (ja) * | 1992-08-28 | 1994-03-18 | Shimadzu Corp | Ｘ線マイクロアナライザ |
-
1984
- 1984-05-22 JP JP59104092A patent/JPS60247145A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0676780A (ja) * | 1992-08-28 | 1994-03-18 | Shimadzu Corp | Ｘ線マイクロアナライザ |
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