JPS60247145A - X線分光装置 - Google Patents
X線分光装置Info
- Publication number
- JPS60247145A JPS60247145A JP59104092A JP10409284A JPS60247145A JP S60247145 A JPS60247145 A JP S60247145A JP 59104092 A JP59104092 A JP 59104092A JP 10409284 A JP10409284 A JP 10409284A JP S60247145 A JPS60247145 A JP S60247145A
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- JP
- Japan
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- ray
- spectral
- wavelength
- spectroscopic
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- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
- G01N23/20—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by using diffraction of the radiation by the materials, e.g. for investigating crystal structure; by using scattering of the radiation by the materials, e.g. for investigating non-crystalline materials; by using reflection of the radiation by the materials
- G01N23/207—Diffractometry using detectors, e.g. using a probe in a central position and one or more displaceable detectors in circumferential positions
- G01N23/2076—Diffractometry using detectors, e.g. using a probe in a central position and one or more displaceable detectors in circumferential positions for spectrometry, i.e. using an analysing crystal, e.g. for measuring X-ray fluorescence spectrum of a sample with wavelength-dispersion, i.e. WDXFS
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(イ)、産業上の利用分野
本発明は試料から放射されるX線を分光結晶により分光
し、分光されたX線を計測するX線分光システムに関す
る。
し、分光されたX線を計測するX線分光システムに関す
る。
(ロ)、従来技術
一般にEPMAなど、試料から放出されたX線を分光す
るX線分光装置においては、分光結晶を用いて特定波長
のX線に分光するいわゆる波長分散形のX線分光器を備
えたものがある。この、X線分光器では使用する分光結
晶の格子間隔やX線分光器の配置上の物理的な制約等か
ら1台のX線分光器で分光できる波長範囲は自から限界
がある。
るX線分光装置においては、分光結晶を用いて特定波長
のX線に分光するいわゆる波長分散形のX線分光器を備
えたものがある。この、X線分光器では使用する分光結
晶の格子間隔やX線分光器の配置上の物理的な制約等か
ら1台のX線分光器で分光できる波長範囲は自から限界
がある。
従って、通常の分析時に必要な波長範囲(1,OA”〜
150A’程度)を全てカバーしようとすると、分光結
晶の格子間隔が互いに異なる複数台のX線分光器が必要
となる。しかしながら、多数のX線分光器を装備すると
、装置が高価となり、しかも取付スペースが制限を受け
るなど不具合を生じる。
150A’程度)を全てカバーしようとすると、分光結
晶の格子間隔が互いに異なる複数台のX線分光器が必要
となる。しかしながら、多数のX線分光器を装備すると
、装置が高価となり、しかも取付スペースが制限を受け
るなど不具合を生じる。
このため、従来の装置の中には1台のX線分光器に複数
個の分光結晶を設け、分光波長範囲に応じて分光結晶を
選択できるようにしたものがある。
個の分光結晶を設け、分光波長範囲に応じて分光結晶を
選択できるようにしたものがある。
ところが、従来のものでは各分光結晶を互いに関係をも
たせて配置するのではなくて個々独立して設けている。
たせて配置するのではなくて個々独立して設けている。
このため、X線分光器を走査する際は、測定波長範囲に
応じて分光結晶を交換する毎にX線分光器を−から走査
し直さねばならない。
応じて分光結晶を交換する毎にX線分光器を−から走査
し直さねばならない。
すなわち、従来のものは全波長範囲を分析する場合複数
回往復走査せねばならず、本質的には複数のX線分光器
を使用するのと変らず、測定操作が煩雑になるという問
題がある。
回往復走査せねばならず、本質的には複数のX線分光器
を使用するのと変らず、測定操作が煩雑になるという問
題がある。
(ハ)、目的
本発明は従来のかかる問題点を解決し、1台のX線分光
器の1回の走査で実用上必要な全波長範囲をカバーして
X線分光測定ができるようにすることを目的とする。
器の1回の走査で実用上必要な全波長範囲をカバーして
X線分光測定ができるようにすることを目的とする。
(ニ)、構成
本発明はζ、のような目的を達成するために、1台のX
線分光器に配置された複数の分光結晶を時分割で選択使
用し、各分光結晶で分光したX線のX線検出器に゛よる
出力を各X線計数器に自動的に振り分けられるようにし
たものである。すなわち、本発明のX線分光装置は、互
いに異なる格子間隔を有する分光結晶の複数個を共通軸
の周囲に配置するとともに、この共通軸に共通軸回動用
の駆動部を取付けてX線分光器を構成する一方、前記各
分光結晶に対応して設けられたX線計数器にX線検出器
の出力を切換える切換回路を設け、かつ、前記駆動部と
切換回路とに前記各分光結晶とX線計数器とを同期して
選択させる選択手段をそれぞれ接続したことを特徴とし
ている。
線分光器に配置された複数の分光結晶を時分割で選択使
用し、各分光結晶で分光したX線のX線検出器に゛よる
出力を各X線計数器に自動的に振り分けられるようにし
たものである。すなわち、本発明のX線分光装置は、互
いに異なる格子間隔を有する分光結晶の複数個を共通軸
の周囲に配置するとともに、この共通軸に共通軸回動用
の駆動部を取付けてX線分光器を構成する一方、前記各
分光結晶に対応して設けられたX線計数器にX線検出器
の出力を切換える切換回路を設け、かつ、前記駆動部と
切換回路とに前記各分光結晶とX線計数器とを同期して
選択させる選択手段をそれぞれ接続したことを特徴とし
ている。
(ホ)、実施例
以下、本発明を図面に示す一実施例に基づいて詳細に説
明する。
明する。
第1図はこの実施例のX線分光装置の構成図、第2図は
X線分光器の平面図である。これらの図において符号1
はX線分光装置を示し、2は試料、4はX線分光器であ
る。このX線分光器4はζ本例の場合、結晶直進形のも
ので、互いに異なる格子間隔を有するわん画形をした4
つの分光結晶6a〜6dが共通軸8に固着された固定部
材10の外周に配置されるとともに、上記共通軸8に共
通軸回動用の駆動部12が取付けられて構成される。
X線分光器の平面図である。これらの図において符号1
はX線分光装置を示し、2は試料、4はX線分光器であ
る。このX線分光器4はζ本例の場合、結晶直進形のも
ので、互いに異なる格子間隔を有するわん画形をした4
つの分光結晶6a〜6dが共通軸8に固着された固定部
材10の外周に配置されるとともに、上記共通軸8に共
通軸回動用の駆動部12が取付けられて構成される。
なお、駆動部12としてはパルスモータ等が適用される
。14はX線検出器であり、このX線検出器14と上記
試料2ならびにX線分光器4は共にローランド円上に常
に位置するように構成される。
。14はX線検出器であり、このX線検出器14と上記
試料2ならびにX線分光器4は共にローランド円上に常
に位置するように構成される。
16はX線検出器14の検出出力を増幅する増幅器、1
8a〜18dは前記各分光結晶6a〜6dに対応して設
けられたX線計数器である。また20は各X線計数器1
8a〜18dにX線検出器14の出力を切換える切換回
路である。22は前記各分光結晶6a〜6dとX線計数
器18a〜18dとを同期して選択するための選択手段
としての分配器であり、この分配器22はX線分光器4
の駆動部12と切換回路20とにそれぞれ接続されてい
る。
8a〜18dは前記各分光結晶6a〜6dに対応して設
けられたX線計数器である。また20は各X線計数器1
8a〜18dにX線検出器14の出力を切換える切換回
路である。22は前記各分光結晶6a〜6dとX線計数
器18a〜18dとを同期して選択するための選択手段
としての分配器であり、この分配器22はX線分光器4
の駆動部12と切換回路20とにそれぞれ接続されてい
る。
このような構成において、X線分光測定を行なうには、
X線分光器4が試料2との距離1を変化させつつ所定の
分光範囲L#にわたって直進走査される。その際X線検
出器14もローランド円上に位置するように変位される
。そして、X線分光器4と試料2との距離!変化にとも
ない測定する分光波長が変化される。今、低波長側から
高波長側に向ってX線分光器4を走査するものとする。
X線分光器4が試料2との距離1を変化させつつ所定の
分光範囲L#にわたって直進走査される。その際X線検
出器14もローランド円上に位置するように変位される
。そして、X線分光器4と試料2との距離!変化にとも
ない測定する分光波長が変化される。今、低波長側から
高波長側に向ってX線分光器4を走査するものとする。
このときには、まず低波長用の分光結晶(たとえば6a
)が選定される。この分光結晶6aが第3図に示すよ
うに測定可能な波長範囲A□まで走査されると、分配器
22から選択信号が出力され、この選択信号がX線分光
器4の駆動部12と切換回路20とにそれぞれ与えられ
る。駆動部12は入力された選択信号により、共通軸8
を所定の角度回転する。従って、次の測定波長範囲A2
に適合する中間波長用の分光結晶6bが分光位置にセッ
トされる。同時に、切換回路20は分配器22からの選
択信号に応答して、新たに選定された分光結晶6bに対
応するX線計数器18bに接続を切換える。このように
、順次所定の測定波長範囲A1〜A4を有する分光結晶
68〜6dが分光位置にセットされ、かつ、これに同期
して分光結晶68〜6dに対応するX線計数器18a〜
18dがX線検出器14と接続される。従って、たとえ
ば電子ビーム照射により試料2から放出されたX線はX
線分光器4の直進走査にともないその測定波長に適合し
た分光結晶6a〜6dで分光されてX線検出器14で検
出される。そしてX線検出器14の検出出力は増幅器1
6で増幅された後、切換回路20を介して特定の分光結
晶6a〜6dに対応するX線計数器18a〜18dに与
えられる。
)が選定される。この分光結晶6aが第3図に示すよ
うに測定可能な波長範囲A□まで走査されると、分配器
22から選択信号が出力され、この選択信号がX線分光
器4の駆動部12と切換回路20とにそれぞれ与えられ
る。駆動部12は入力された選択信号により、共通軸8
を所定の角度回転する。従って、次の測定波長範囲A2
に適合する中間波長用の分光結晶6bが分光位置にセッ
トされる。同時に、切換回路20は分配器22からの選
択信号に応答して、新たに選定された分光結晶6bに対
応するX線計数器18bに接続を切換える。このように
、順次所定の測定波長範囲A1〜A4を有する分光結晶
68〜6dが分光位置にセットされ、かつ、これに同期
して分光結晶68〜6dに対応するX線計数器18a〜
18dがX線検出器14と接続される。従って、たとえ
ば電子ビーム照射により試料2から放出されたX線はX
線分光器4の直進走査にともないその測定波長に適合し
た分光結晶6a〜6dで分光されてX線検出器14で検
出される。そしてX線検出器14の検出出力は増幅器1
6で増幅された後、切換回路20を介して特定の分光結
晶6a〜6dに対応するX線計数器18a〜18dに与
えられる。
このため、各X線計数器18a〜18dにはそれぞれ独
立した波長範囲の信号が得られることになる。
立した波長範囲の信号が得られることになる。
なお、この実施例ではX線分光器4には4つの分光結晶
68〜6dを設けているが、これに限定されるものでな
いのは勿論である。また、この実施例のわん曲結晶を用
いた直進形X線分光器に限らず分光結晶を有するX線分
光装置であれば本発明を広く適用することができる。
68〜6dを設けているが、これに限定されるものでな
いのは勿論である。また、この実施例のわん曲結晶を用
いた直進形X線分光器に限らず分光結晶を有するX線分
光装置であれば本発明を広く適用することができる。
(へ)、効果
以上のように、本発明によれば、1台のX線分光器に配
置された複数の分光結晶を時分割で選択使用することが
でき、しかもX線検出器で検出した各分光結晶ごとのX
線の出力を各分光結晶に対応するX線計数器に自動的に
振り分けることができる。このため、1台のX線分光器
の1回の走査で実用上必要な全波長範囲をカバーしたX
線分光測定が可能となり、測定が迅速かつ、簡単に行な
えるという優れた効果が得られる。
置された複数の分光結晶を時分割で選択使用することが
でき、しかもX線検出器で検出した各分光結晶ごとのX
線の出力を各分光結晶に対応するX線計数器に自動的に
振り分けることができる。このため、1台のX線分光器
の1回の走査で実用上必要な全波長範囲をカバーしたX
線分光測定が可能となり、測定が迅速かつ、簡単に行な
えるという優れた効果が得られる。
図面は本発明の一実施例を示すもので、第1図はX線分
光装置の構成図、第2図はX線分光器の平面図、第3図
はX線分光器の走査動作の説明図である。 1・・・X線分光装置、4・・・X線分光器、68〜6
d・・・分光結晶、8・・共通軸、12・・駆動部、1
4・・X線検出器、18a〜18d・・・X線計数器、
2叶・切換回路、22・・選択手段(分配器)。 出願人 株式会社 高滓製作所 代理人 弁理士 岡 1)相方 第1図 ム 「 第2図 第3図
光装置の構成図、第2図はX線分光器の平面図、第3図
はX線分光器の走査動作の説明図である。 1・・・X線分光装置、4・・・X線分光器、68〜6
d・・・分光結晶、8・・共通軸、12・・駆動部、1
4・・X線検出器、18a〜18d・・・X線計数器、
2叶・切換回路、22・・選択手段(分配器)。 出願人 株式会社 高滓製作所 代理人 弁理士 岡 1)相方 第1図 ム 「 第2図 第3図
Claims (1)
- (1)、互いに異なる格子間隔を有する分光結晶の複数
個を共通軸の周囲に配置するとともに、この共通軸に共
通軸回動用の駆動部を取付けてX線分光器を構成する一
方、前記各分光結晶に対応して設けられたX線計数器に
X線検出器の出力を切換える切換回路を設け、かつ、前
記駆動部と切換回路とに前記各分光結晶と、X線計数器
とを同期して選択させる選択手段をそれぞれ接続したこ
とを特徴とするX線分光装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP59104092A JPS60247145A (ja) | 1984-05-22 | 1984-05-22 | X線分光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP59104092A JPS60247145A (ja) | 1984-05-22 | 1984-05-22 | X線分光装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS60247145A true JPS60247145A (ja) | 1985-12-06 |
Family
ID=14371474
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP59104092A Pending JPS60247145A (ja) | 1984-05-22 | 1984-05-22 | X線分光装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS60247145A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0676780A (ja) * | 1992-08-28 | 1994-03-18 | Shimadzu Corp | X線マイクロアナライザ |
-
1984
- 1984-05-22 JP JP59104092A patent/JPS60247145A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0676780A (ja) * | 1992-08-28 | 1994-03-18 | Shimadzu Corp | X線マイクロアナライザ |
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