JPH0661275A - 薄板搬送における表裏反転機構 - Google Patents
薄板搬送における表裏反転機構Info
- Publication number
- JPH0661275A JPH0661275A JP20765892A JP20765892A JPH0661275A JP H0661275 A JPH0661275 A JP H0661275A JP 20765892 A JP20765892 A JP 20765892A JP 20765892 A JP20765892 A JP 20765892A JP H0661275 A JPH0661275 A JP H0661275A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】薄板の搬送機構において、薄板を吸着または把
持するハンドリング移載機構を不要とした表裏反転を行
なう。 【構成】薄板のリードフレーム6を上下方向からベルト
1aによって挟み、ベルト1aをスプロケット1bと電
動モータ1cで駆動する左右1対の搬送機構1をリード
フレーム6の両側面に配置し、搬送機構1をピニオン部
2に結合し、ピニオン部2の回転運動を軸受部4で支持
するとともに、ラック部3の往復運動に連結することに
より、搬送機構1を搬送ラインLの中心軸まわりに18
0度回転させてリードフレーム6の表裏反転を行う。
持するハンドリング移載機構を不要とした表裏反転を行
なう。 【構成】薄板のリードフレーム6を上下方向からベルト
1aによって挟み、ベルト1aをスプロケット1bと電
動モータ1cで駆動する左右1対の搬送機構1をリード
フレーム6の両側面に配置し、搬送機構1をピニオン部
2に結合し、ピニオン部2の回転運動を軸受部4で支持
するとともに、ラック部3の往復運動に連結することに
より、搬送機構1を搬送ラインLの中心軸まわりに18
0度回転させてリードフレーム6の表裏反転を行う。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は薄板搬送機構に関し、特
に短冊状の薄板をベルト搬送し且つ表裏反転させる機能
を兼ね備えた機構に関する。
に短冊状の薄板をベルト搬送し且つ表裏反転させる機能
を兼ね備えた機構に関する。
【0002】
【従来の技術】従来の薄板搬送における表裏反転機構
は、図3に示すように、搬送ラインL上をA部からB1
部に搬送した薄板をB1部にて真空吸着または把持し、
L軸とは異なるL1軸を回転中心とするハンドラーで1
80度回転させて表裏反転後、L2軸状のB2部に乗せ
換える機構であった。
は、図3に示すように、搬送ラインL上をA部からB1
部に搬送した薄板をB1部にて真空吸着または把持し、
L軸とは異なるL1軸を回転中心とするハンドラーで1
80度回転させて表裏反転後、L2軸状のB2部に乗せ
換える機構であった。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】この従来の表裏反転機
構では、薄板を吸着または把持するハンドリング移載機
構が必要であり、このハンドリング移載機構の回転軸が
搬送ラインと異なるため、B1部からB2部への移載が
必ず行なわれ、搬送ラインがL軸とL2軸で異なってし
まう。また、反転・移載が必然的に行われてしまい、表
裏反転の実施を任意に選択することが困難である、など
の問題点があった。
構では、薄板を吸着または把持するハンドリング移載機
構が必要であり、このハンドリング移載機構の回転軸が
搬送ラインと異なるため、B1部からB2部への移載が
必ず行なわれ、搬送ラインがL軸とL2軸で異なってし
まう。また、反転・移載が必然的に行われてしまい、表
裏反転の実施を任意に選択することが困難である、など
の問題点があった。
【0004】
【課題を解決するための手段】本発明の薄板搬送におけ
る表裏反転機構は、搬送ライン上に設けられ搬送対象で
ある薄板をベルトによって上下に挟む左右1対の搬送機
構と、この1対の搬送機構を前記搬送ラインの中心軸上
にて180度回転させるピニオン部と、このピニオン部
の回転を案内する軸受部と、前記ピニオン部に噛み合い
往復運動して前記ピニオン部の回転運動を惹起するラッ
ク部と、このラック部を往復運動させるべく駆動する駆
動源とを備えており、また前記左右1対の搬送機構の相
互間の間隔を調節自在とする幅調整機構を有していても
よいし、更に前記前記搬送機構の回転動作の要・不要を
任意に選択できる構成となっていてもよい。
る表裏反転機構は、搬送ライン上に設けられ搬送対象で
ある薄板をベルトによって上下に挟む左右1対の搬送機
構と、この1対の搬送機構を前記搬送ラインの中心軸上
にて180度回転させるピニオン部と、このピニオン部
の回転を案内する軸受部と、前記ピニオン部に噛み合い
往復運動して前記ピニオン部の回転運動を惹起するラッ
ク部と、このラック部を往復運動させるべく駆動する駆
動源とを備えており、また前記左右1対の搬送機構の相
互間の間隔を調節自在とする幅調整機構を有していても
よいし、更に前記前記搬送機構の回転動作の要・不要を
任意に選択できる構成となっていてもよい。
【0005】
【実施例】次に、本発明について図面を参照して説明す
る。図1は本発明の一実施例を示し(a)は正面図、
(b)は部分断面を含む側面図、図2は本実施例による
薄板の搬送状態を概念的に示す図で、(a)は平面図、
(b)は側面図である。
る。図1は本発明の一実施例を示し(a)は正面図、
(b)は部分断面を含む側面図、図2は本実施例による
薄板の搬送状態を概念的に示す図で、(a)は平面図、
(b)は側面図である。
【0006】本実施例は半導体の製造工程において、搬
送ラインL上で短冊状の薄板であって搬送対象のリード
フレーム6を上下方向からエンドレスのベルト1a によ
って挟み、ベルト1a をスプロケット1b と電動モータ
1c で駆動する左右1対の搬送機構1をリードフレーム
6の両側面に配置し、この1対の搬送機構1の相互の間
隔を任意のリードフレーム幅に対応するように副調整し
て位置決めする搬送機構幅調整機構5を介してピニオン
部2に結合する。ピニオン部2は搬送ラインLの中心軸
上にて180度回転するもので、その回転運動は軸受部
4で支持され、図示しない、アクチュエータに駆動され
て矢印F方向に動くラック部3の往復運動に連結して回
転運動が起る構成となっている。
送ラインL上で短冊状の薄板であって搬送対象のリード
フレーム6を上下方向からエンドレスのベルト1a によ
って挟み、ベルト1a をスプロケット1b と電動モータ
1c で駆動する左右1対の搬送機構1をリードフレーム
6の両側面に配置し、この1対の搬送機構1の相互の間
隔を任意のリードフレーム幅に対応するように副調整し
て位置決めする搬送機構幅調整機構5を介してピニオン
部2に結合する。ピニオン部2は搬送ラインLの中心軸
上にて180度回転するもので、その回転運動は軸受部
4で支持され、図示しない、アクチュエータに駆動され
て矢印F方向に動くラック部3の往復運動に連結して回
転運動が起る構成となっている。
【0007】図2に本実施例によるリードフレーム6の
搬送状態を示す。搬送ラインL上をA部からB部に搬送
したリードフレーム6は、B部において上述したピニオ
ン部2の回転運動による搬送機構1の回転によって18
0度回転し表裏反転後、A部・B部と同一の搬送ライン
L上を次工程のC部へと搬送される。なお、リードフレ
ーム6の表裏反転動作が不要なときには、B部における
搬送機構1の回転を実施しなければよく、従って表裏反
転動作は任意に選択することができる。
搬送状態を示す。搬送ラインL上をA部からB部に搬送
したリードフレーム6は、B部において上述したピニオ
ン部2の回転運動による搬送機構1の回転によって18
0度回転し表裏反転後、A部・B部と同一の搬送ライン
L上を次工程のC部へと搬送される。なお、リードフレ
ーム6の表裏反転動作が不要なときには、B部における
搬送機構1の回転を実施しなければよく、従って表裏反
転動作は任意に選択することができる。
【0008】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、搬送機構
全体を薄板の搬送中心軸に対して180度回転する構造
としたので、薄板のハンドリング機構を不要とし、かつ
一直線状の搬送を可能とする効果がある。さらに、表裏
反転動作を任意に選択することも可能となる。
全体を薄板の搬送中心軸に対して180度回転する構造
としたので、薄板のハンドリング機構を不要とし、かつ
一直線状の搬送を可能とする効果がある。さらに、表裏
反転動作を任意に選択することも可能となる。
【図1】本発明の一実施例を示し、(a)は正面図、
(b)は部分断面を含む側面図である。
(b)は部分断面を含む側面図である。
【図2】本発明の実施例による薄板の搬送状態を概念的
に示す図で、(a)は平面図、(b)は側面図である。
に示す図で、(a)は平面図、(b)は側面図である。
【図3】従来の薄板の搬送・表裏反転方式を概念的に示
す図で、(a)は平面図、(b)は側面図である。
す図で、(a)は平面図、(b)は側面図である。
1 搬送機構 1a 搬送ベルト 1b スプロケット 1c 電動モーター 1d 搬送ガイド 2 ピニオン部 3 ラック部 4 軸受部 5 搬送機構幅調整機構 6 リードフレーム
Claims (3)
- 【請求項1】 搬送ライン上に設けられ搬送対象である
薄板をベルトによって上下に挟む左右1対の搬送機構
と、この1対の搬送機構を前記搬送ラインの中心軸上に
て180度回転させるピニオン部と、このピニオン部の
回転を案内する軸受部と、前記ピニオン部に噛み合い往
復運動して前記ピニオン部の回転運動を惹起するラック
部と、このラック部を往復運動させるべく駆動する駆動
源とを備えることを特徴とする薄板搬送における表裏反
転機構。 - 【請求項2】 前記左右1対の搬送機構の相互間の間隔
を調節自在とする幅調整機構を有するこを特徴とする請
求項1記載の薄板搬送における表裏反転機構。 - 【請求項3】 前記搬送機構の回転動作の要・不要を任
意に選択できる構成となっていることを特徴とする請求
項1または2記載の薄板搬送における表裏反転機構。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP20765892A JP2785598B2 (ja) | 1992-08-04 | 1992-08-04 | 薄板搬送における表裏反転機構 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP20765892A JP2785598B2 (ja) | 1992-08-04 | 1992-08-04 | 薄板搬送における表裏反転機構 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0661275A true JPH0661275A (ja) | 1994-03-04 |
JP2785598B2 JP2785598B2 (ja) | 1998-08-13 |
Family
ID=16543420
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP20765892A Expired - Lifetime JP2785598B2 (ja) | 1992-08-04 | 1992-08-04 | 薄板搬送における表裏反転機構 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2785598B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100775054B1 (ko) * | 2006-09-13 | 2007-11-08 | (주) 인텍플러스 | 트레이 핸들링 장치 및 그를 이용한 반도체 소자 검사 방법 |
EP1894869A2 (en) * | 2006-08-23 | 2008-03-05 | Pitney Bowes, Inc. | Sheet material inverter |
-
1992
- 1992-08-04 JP JP20765892A patent/JP2785598B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1894869A2 (en) * | 2006-08-23 | 2008-03-05 | Pitney Bowes, Inc. | Sheet material inverter |
EP1894869A3 (en) * | 2006-08-23 | 2008-03-12 | Pitney Bowes, Inc. | Sheet material inverter |
US7520503B2 (en) | 2006-08-23 | 2009-04-21 | Pitney Bowes Inc. | Sheet material inverter |
KR100775054B1 (ko) * | 2006-09-13 | 2007-11-08 | (주) 인텍플러스 | 트레이 핸들링 장치 및 그를 이용한 반도체 소자 검사 방법 |
WO2008032983A1 (en) * | 2006-09-13 | 2008-03-20 | Intekplus Co., Ltd. | Tray handling apparatus and semiconductor device inspecting method using the same |
US8056698B2 (en) | 2006-09-13 | 2011-11-15 | Intekplus Co., Ltd. | Tray handling apparatus and semiconductor device inspecting method using the same |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2785598B2 (ja) | 1998-08-13 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19980428 |