JPH09132309A - 基板搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 サーマルヘッド用等の小型角型基板を搬送ロ
ーラにより搬送しながら、基板の適切な搬送及び生産効
率の向上を達成する。 【解決手段】 幅方向に延び、搬送方向に並設されて回
転駆動される複数本の搬送ローラ４０を搬入部１２〜搬
出部２６に亘って配置し、これにより基板Ｂを搬送する
ように基板搬送装置３８を構成した。搬送ローラ４０の
軸方向に基板Ｂの短辺寸法に対応した細軸部分４１を所
定間隔で３箇所形成し、これらの細軸部分４１で基板Ｂ
を受けるようにして、３枚の基板Ｂを並列に搬送できる
ようにする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、液晶用ガラス角型
基板、サーマルヘッド用角型基板、イメージスキャナー
ヘッド用角型基板等の各種角型基板を搬送しながら基板
に所定の処理を施すように構成された基板処理装置に適
用される基板搬送装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来から、液晶用ガラス角型基板等の精
密電子基板の製造においては、例えば、洗浄処理部や乾
燥処理部といった複数の処理部を配設し、搬送ローラに
よって被処理基板（以下、基板と略す）を水平な状態に
支持して搬送しつつ各処理部において処理を施すように
した装置が知られている。

【０００３】上記のように搬送ローラにより基板を搬送
する方法は、主に、大型基板を製造する装置に適用され
ており、サーマルヘッド用等の小型角型基板の製造に用
いられることは殆どなかった。すなわち、サーマルヘッ
ド用等の小型で細長の角型基板では、基板の長辺方向を
搬送方向に一致させて搬送させると基板一枚当たりの搬
送に時間がかり搬送効率が悪く、一方、基板の短辺方向
を搬送方向に一致させて搬送すると基板が搬送ローラ間
から脱落したり、あるいはローラ間に嵌まり込む等、適
切な搬送が望めないといった理由によるものである。

【０００４】そこで、サーマルヘッド用等の小型角型基
板の製造においては、一般に、図８に示すように、回転
移動される無端状の搬送ベルト８０を用い、この搬送ベ
ルト８０上に、短辺方向を搬送方向に一致させた状態で
基板Ｂを載置し、この搬送ベルト８０の回転移動に伴い
基板Ｂを搬送することで、基板Ｂの適切な搬送と、搬送
効率の確保を達成するようにしている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、搬送ベ
ルトを用いて基板を搬送する搬送方法は、搬送ローラを
用いて基板を搬送する搬送方法に比べてパーティクルが
発生し易く、そのため、サーマルヘッド用等の小型角型
基板の製造においてもローラ搬送を採用して基板を搬送
できる方が処理品質を確保する上で望ましい。

【０００６】また、サーマルヘッド用等の細長基板の製
造装置においては、図８に示すように、処理部８２で処
理を終えた基板Ｂを専用のカセット８４に収納すること
が行われるが、サーマルヘッド用等の細長の基板Ｂの製
造装置においては、スペース効率等を考慮して、搬送ベ
ルト８０に向かって開口し、かつ長辺方向が搬送方向と
平行となるようなカセット８４を搬送ベルト８０の側方
に配置する場合が多い。そのため、短辺方向を搬送方向
に一致させて基板Ｂを搬送するベルト搬送の装置では、
ロボット等により基板Ｂを水平面上で９０°だけ回転さ
せてカセット８４に基板Ｂを収納する必要があり、これ
がタクトタイムの短縮化を妨げる原因の一つとなってい
る。

【０００７】本発明は、上記問題を解決するためになさ
れたものであり、サーマルヘッド用等の小型角型基板の
製造において、基板を搬送ローラにより搬送しながら、
基板の適切な搬送及び生産効率の向上を達成することが
できる基板搬送装置を提供することを目的としている。

【０００８】

【課題を解決するための手段】請求項１に係る基板搬送
装置は、所定の処理を施すための処理部において長方形
の細長の角形基板を水平に搬送する基板搬送装置であっ
て、上記基板の短片方向を幅方向としてこの方向に延び
るとともに、基板の長辺方向を搬送方向としてこの方向
に並設されて回転駆動される複数本の搬送ローラにより
搬送経路が形成され、上記各搬送ローラが、複数の基板
をその幅方向に並列支持可能で、かつ各基板の幅方向の
移動を規制し得るように構成されることにより、上記搬
送経路に、その幅方向に複数の基板を並列搬送可能とす
る複数の単位搬送経路が基板搬送方向に亘って形成され
てなるものである。

【０００９】この装置によれば、基板の長辺方向と搬送
方向とが一致した状態で、しかも搬送ローラの幅方向に
複数の基板が並べられた状態で、搬送ローラの回転に伴
い基板の搬送が行われる。このように長辺方向と搬送方
向とが一致した状態で搬送が行われることにより適切な
基板の搬送が行われ、また、複数の基板が並列搬送され
ることにより基板の搬送効率が高められる。そのため、
サーマルヘッド等の長方形の細長基板に対する処理にお
いて、搬送ローラにより基板を適切に搬送しながらも搬
送効率が十分に確保される。

【００１０】請求項２に係る基板搬送装置は、請求項１
記載の基板搬送装置において、上記搬送経路の側方に、
搬送経路に向かって開口し、かつ長辺方向が搬送方向と
平行となる基板収納カセットが配置されるものであっ
て、上記基板収納カセットに対応して、長辺方向を搬送
方向に一致させた状態を維持しつつ基板を搬送方向と直
交する方向に移動させて、上記基板収納カセットからの
基板の取出しもしくは基板収納カセットへの基板の収納
の少なくとも一方を可能とする基板移載手段が上記搬送
経路に設けられてなるものである。

【００１１】この装置によれば、搬送経路にある基板が
搬送方向と直交する方向に移動させられるだけで基板収
納カセットに対して基板の出し入れが行われる。そのた
め、カセットに対する基板の出し入れに際して基板の回
転動作が不要となる。

【００１２】

【発明の実施の形態】本発明の実施の形態について図面
を用いて説明する。図１は本発明の基板搬送装置の一例
が適用される基板処理装置を概略的に示す平面図であ
る。同図に示す基板処理装置１０は、サーマルヘッド用
の小型の細長角形基板（以下、基板Ｂという）に所定の
処理を施す装置であって、基板Ｂの搬入部１２と搬出部
２６とを備え、これらの搬入部１２と搬出部２６の間に
基板Ｂに所定の処理を施すための複数の処理部を直列に
備えている。

【００１３】具体的には、搬入された基板Ｂを洗浄する
基板洗浄部１４と、洗浄された基板Ｂを加熱して乾燥さ
せるとともに、所定温度まで冷却させる第１乾燥部１６
と、基板Ｂの表面にレジスト塗布のための密着強化剤を
塗布する密着強化処理部１８と、フォトレジスト液を塗
布する薄膜形成部２０と、基板端縁に形成された不要な
薄膜を除去する端縁処理部２２と、端縁処理後の基板Ｂ
を乾燥させる第２乾燥部２４とが設けられ、これらの各
処理部１４〜２４がこの順番で上記搬入部１２と搬出部
２６との間にライン状に配設されている。

【００１４】図２に示すように、基板処理装置１０に
は、上記搬入部１２から各処理部１４〜２４を経て搬出
部２６に至る基板搬送装置３８が配置されており、搬入
部１２で搬入された基板Ｂがこの基板搬送装置３８によ
り左方から右方に向かって搬送されつつ各処理部１４〜
２４において所定の処理が施された後、搬出部２６から
搬出されるようになっている（図１に基板Ｂの流れを矢
印で示す）。

【００１５】上記搬入部１２には、基板搬送装置３８の
側方にカセット載置台３０ａ〜３０ｃが設けられ、これ
らが基板Ｂの搬送方向（以下、単に搬送方向という）に
一列に並設されるとともに、これらの各カセット載置台
３０ａ〜３０ｃにそれぞれ多数の基板Ｂを収納したカセ
ット３２ａ〜３２ｃが載置されている。カセット載置台
３０ａ〜３０ｃは、それぞれ図外の移動機構に連結され
ており、この移動機構の駆動によりカセット３２ａ〜３
２ｃを上下動及び搬送方向と直交する方向に移動させ得
るように構成されている。

【００１６】各カセット３２ａ〜３２ｃは、それぞれ図
外のＡＧＶ（自動搬送装置）によりカセット載置台３０
ａ〜３２ｃに搬入されるようになっており、位置決めさ
れた状態でカセット載置台３０ａ〜３０ｂ上にセットさ
れている。

【００１７】各カセット３２ａ〜３２ｃは、いずれも基
板搬送装置３８側に向かって側面が開口した同一形状の
箱型を有しており、その内部には、上下に複数の基板収
納部が形成され、これらの各基板収納部にそれぞれ基板
Ｂが収納されている。具体的に説明すると、各基板収納
部には、カセット３２ａ〜３２ｃの内壁に、基板Ｂの搬
送方向両側から突出する一対の支持片３５（図４に示
す）が設けられており、基板Ｂの長手方向両端縁部がこ
れらの各支持片３５によって受けられることにより長辺
方向を搬送装置に平行にした状態で各カセット３２ａ〜
３２ｃ内に基板Ｂが収納されている。

【００１８】一方、上記搬出部２６にも、基板搬送装置
３８の側方にカセット載置台３４ａ〜３４ｃが設けら
れ、これらが搬送方向に一列に並設されるとともに、こ
れらの各カセット載置台３４ａ〜３４ｃに、多数の基板
Ｂを収納するカセット３６ａ〜３６ｃがそれぞれ載置さ
れている。なお、各カセット載置台３４ａ〜３４ｃ及び
各カセット３６ａ〜３６ｃの構成は、それぞれ上記搬入
部１２のカセット載置台３０ａ〜３０ｂ及び各カセット
３２ａ〜３２ｃと同一構成となっている。

【００１９】上記基板搬送装置３８は、図２に示すよう
に、搬入部１２から搬出部２６に亘って所定の間隔で配
設される多数の搬送ローラ４０を有しており、図外の駆
動手段によりこれらの搬送ローラ４０が回転駆動される
ことにより、基板Ｂを下方から支持して水平に搬送する
ように構成されている。

【００２０】各搬送ローラ４０には、図３に示すよう
に、その軸方向に基板Ｂの短辺寸法に対応した細軸部分
４１が所定の間隔で同図では三箇所形成されており、こ
れらの細軸部分４１で基板Ｂが支持されることにより搬
送ローラ４０の軸方向に３枚の基板Ｂが並列に支持され
得るようになっている。つまり、このように搬送ローラ
４０が構成されることで、上記基板搬送装置３８による
基板Ｂの搬送経路に、その搬送経路に亘って、搬送方向
と直交する方向に３枚の基板Ｂを同時に搬送することが
できる３列の単位搬送経路が形成されている。なお、以
下の説明においては、搬送ローラ４０の軸方向において
搬入部１２及び搬出部２６に近い側（図３では左側）の
細軸部分４１によって形成される単位搬送経路を第１搬
送経路３８ａとし、他を順に第２搬送経路３８ｂ，第３
搬送経路３８ｃとして説明する。

【００２１】上記基板搬送装置３８において、搬入部１
２及び搬出部２６に対応する部分には、さらに、カセッ
ト３２ａ〜３２ｃから第１〜第３搬送経路３８ａ〜３８
ｃにそれぞれ基板Ｂを搬入し、あるいは第１〜第３搬送
経路３８ａ〜３８ｃにある基板Ｂを各カセット３６ａ〜
３６ｃに収納する機構（基板移載機構）が設けられてい
る。

【００２２】詳しくは、図２に示すように、カセット３
２ａに収納された基板Ｂを第３搬送経路３８ｃに搬入す
る搬入機構４４と、カセット３２ｂに収納された基板Ｂ
を第２搬送経路３８ｂに搬入する搬入機構４６と、カセ
ット３２ｃに収納された基板Ｂを第１搬送経路３８ａに
搬入する搬入機構４８とが設けられ、これらの各搬入機
構４４，４６，４８が搬入部１２の各カセット３２ａ〜
３２ｃに対応して設けられている。一方、搬出部２６に
ついては、第１搬送経路３８ａにある基板Ｂを搬出して
カセット３６ａに収納する搬出機構５０と、第２搬送経
路３８ｂにある基板Ｂを搬出してカセット３６ｂに収納
する搬出機構５２と、第３搬送経路３８ｃにある基板Ｂ
を搬出してカセット３６ｃに収納する搬出機構５４とが
設けられ、これらの搬出機構５０，５２，５４が搬出部
２６の各カセット３６ａ〜３６ｃに対応して設けられて
いる。

【００２３】これらの各搬入及び搬出機構は、いずれも
基本構成は共通しており、以下、上記搬入機構４８を例
にこれらの搬入及び搬出機構について説明する。

【００２４】図２及び図４に示すように、搬入機構４８
は、例えば搬送ローラ４０を挟んで搬送方向に配置さ
れ、搬送方向と直交する方向においてカセット載置台３
０ｃと第１搬送経路３８ａとに亘って伸びる一対のベル
トコンベア４８ａ，４８ｂから構成されている。

【００２５】各ベルトコンベア４８ａ，４８ｂは、それ
ぞれ搬送方向と直交する方向に伸びるフレーム６４と、
このフレーム６４の長手方向両端に軸支されて図外のモ
ータにより回転駆動される一対のプーリ６０と、これら
のプーリ６０に掛け渡される無端状のベルト６２とを有
している。上記各フレーム６４は、搬送ローラ４０の下
方に配設されるエアシリンダ６６の出力軸６７に連結さ
れており、これより上記エアシリンダ６６へのエア圧の
給排切換えに応じてベルトコンベア４８ａ，４８ｂが搬
送ローラ４０の上方に位置する駆動位置（同図の二点鎖
線に示す位置）と、搬送ローラ４０の下方に位置する退
避位置（同図の実線に示す位置）とに変位するように搬
入機構４８が構成されている。

【００２６】そして、この搬入機構４８において、ベル
トコンベア４８ａ，４８ｂが上記駆動位置に配置された
状態で上記プーリ６０が駆動されることにより、上記ベ
ルト６２が回転移動してカセット３２ｃから基板Ｂを引
き出して第１搬送経路３８ａの上方に移動させる。そし
て、基板Ｂが第１搬送経路３８ａの上方に達するタイミ
ングでプーリ６０の駆動が停止され、この後、上記ベル
トコンベア４８ａ，４８ｂが退避位置に移動させられる
ことにより、基板Ｂが搬送ローラ４０上に載置されて基
板Ｂが第１搬送経路３８ａに搬入されるようになってい
る。

【００２７】このような搬入機構４８の作動において
は、上記カセット載置台３０ｃが上下動させられるとと
もに、搬送方向と直交する方向に搬入機構４８に対して
相対的に進退移動され、これにより図４に示すように、
上記ベルトコンベア４８ａ，４８ｂの端部（図４では左
側端部）がカセット３２ｃの内部に若干介在して、搬入
すべき基板Ｂの先端部下面に接するようにカセット３２
ｃと搬入機構４８の相対的な位置関係がセットされるよ
うになっている。

【００２８】以上は、搬入機構４８の構成であるが、搬
入部１２に対応する他の搬入機構４４，４６も、ベルト
コンベアによる搬送ストロークが第２及び第３搬送経路
３８ｂ，３８ｃにそれぞれ対応して設定されている以外
は上記搬入機構４８と同一の構成となっている。また、
搬出部２６に対応する各搬出機構５０，５２，５４もベ
ルトの回転移動方向が異なる以外は、搬入部１２に対す
る各搬入機構４４，４６，４８と同一の構成となってい
る。

【００２９】以上のように構成された上記基板処理装置
１０における基板Ｂの搬送動作について説明する。

【００３０】基板処理装置１０の稼働中は、各搬入機構
４４，４６，４８の作動に伴い、図２に示すように、搬
入部１２において、カセット３２ａから第３搬送経路３
８ｃに、カセット３２ｂから第２搬送経路３８ｂに、カ
セット３２ｃから第１搬送経路３８ａにそれぞれ基板Ｂ
が搬入され、搬送ローラ４０の回転駆動に応じて各基板
Ｂが搬送経路に沿って搬送される。

【００３１】このとき、例えば、先ずカセット３２ａか
ら第３搬送経路３８ｃに基板Ｂが搬入され、この基板Ｂ
がカセット３２ｂに対応する位置に達するタイミングで
カセット３２ｂから第２搬送経路３８ｂに基板Ｂが搬入
され、さらに、これらの基板Ｂがカセット３２ｃに対応
する位置に達するタイミングでカセット３２ｃから第１
搬送経路３８ａに基板Ｂが搬入されるといった具合に、
所定のタイミングで搬入機構４４，４６，４８が同時に
作動することにより、３枚の基板Ｂが搬送方向と直交す
る方向に並列に並べられた状態とされ、この状態で基板
Ｂが各処理部１４〜２４に亘って搬送されるようになっ
ている。

【００３２】そして、各処理部１４〜２４での処理が完
了した基板Ｂに対しては、各搬出機構５０，５２，５４
の作動により、第１搬送経路３８ａにある基板Ｂがカセ
ット３６ａに、第２搬送経路３８ｂにある基板Ｂがカセ
ット３６ｂに、第３搬送経路３８ｃにある基板Ｂがカセ
ット３６ｃにそれぞれ収納される。

【００３３】このときも、基板Ｂの搬入時同様に、所定
のタイミングで各搬出機構５０，５２，５４が同時に作
動することにより、並列に並べられた３枚の基板Ｂのう
ち、先ず、第１搬送経路３８ａにある基板Ｂがカセット
３６ａに収納され、次に、第２搬送経路３８ｂにある基
板Ｂがカセット３６ｂに収納され、最後に、第３搬送経
路３８ｃにある基板Ｂがカセット３６ｂに収納される。

【００３４】以上説明したように、上記基板処理装置１
０においては、基板Ｂの長辺方向と搬送方向とが一致さ
せられた状態で、しかも搬送ローラ４０の幅方向に複数
の基板Ｂが並べられた状態で、搬送ローラ４０の回転に
伴い基板Ｂの搬送が行われるように基板搬送装置３８が
構成されているので、上述のように搬送ローラ４０によ
りサーマルヘッド等の細長基板Ｂを適切に搬送可能にし
ながらも、基板Ｂの搬送効率が十分に確保される。その
ため、従来のようなベルト搬送を用いることなくサーマ
ルヘッド等の細長基板Ｂの処理を行うことができるの
で、ベルト搬送を用いていた従来のこの種の装置に比
べ、パーティクルの発生を効果的に防止してサーマルヘ
ッド等の細長基板Ｂの処理を行うことができる。

【００３５】しかも、このようにローラによる搬送を採
用したことにより、ベルトによる搬送を採用していた従
来装置に比して上記乾燥部１６，２４における処理効率
を高めることができるという利点もある。

【００３６】すなわち、ベルトによる搬送を採用してい
た従来装置の乾燥部では、基板がベルト上に載置されて
いるため搬送経路の上方にのみヒータを配置して基板を
乾燥させざるを得なかったが、ローラによる搬送を採用
した上記基板処理装置１０では、図５に示すように、搬
送経路の上下にヒータ２３ａ，２３ｂを配し、各搬送ロ
ーラ４０の間を介して下方からも基板Ｂを乾燥させるこ
とができる。そのため、一連の処理工程のなかで比較的
時間を要していた乾燥処理時間を大幅に短縮することが
可能となり、その結果、サーマルヘッド用の小型基板Ｂ
の処理効率を効果的に向上させることができる。特に、
下側のヒータ２３ｂとして遠赤外線ヒータ等の放射熱源
を用いることにより、基板Ｂの下面側からであっても効
果的に基板Ｂの乾燥処理を行うことができる。

【００３７】また、上記実施形態の基板処理装置１０に
おいては、上述のように、長辺方向と搬送方向とが一致
した状態で基板Ｂが搬送され、搬出部２６におけるカセ
ット３６ａ〜３６ｃへの基板Ｂの収納は、基板搬送装置
３８に設けられた搬出機構５０，５２，５４により基板
Ｂをそのままの状態で搬送方向と直交する方向に移動さ
せることにより行われるため、従来装置のように、いち
いち基板を回転させて基板をカセットに収納する必要が
ない。そのため、そのような回転動作が要求されない
分、従来装置に比してタクトタイムの短縮化を図ること
ができ、またそのような複雑な動作を行う装置が不要と
なる分、装置の簡略化を図ることができるという利点も
ある。なお、本実施形態においては、基板を搬入及び搬
出する機構としてベルトコンベアが用いられているた
め、この点でパーティクルの発生が懸念されるが、これ
らの機構は上述のように処理部１４〜２４の外に配置さ
れており、しかも搬送ストロークは搬送経路とその側方
のカセットとの間の極めて短い距離であるため基板の処
理品質に影響を与える虞は殆どない。但し、これらの機
構部分に対応して局所的に集塵設備等を設けるようにす
れば簡単な設備で確実にパーティクルを排出でき、上記
のような懸念を完全に解消することができる。

【００３８】なお、以上は本発明の基板搬送装置が適用
される基板処理装置の一実施形態であって、その具体的
な構成等は、本発明の要旨を逸脱しない範囲で適宜変更
可能である。

【００３９】例えば、上記搬出部２６及び基板搬送装置
３８を図６に示すように構成してもよい。すなわち、第
３搬送経路３８ｃにある基板Ｂを収納するためのカセッ
ト３６ｃ，カセット載置台３４ｃ及び搬出機構５４を、
基板搬送装置３８を挟んで、第１搬送経路３８ａにある
基板Ｂを収納するためのカセット３６ａ等に対向して配
置するようにしてもよい。この場合、搬出機構５４は、
上記搬出機構５０と同一の搬送ストロークを有するよう
に構成すればよい。このような構成によれば、第３搬送
経路３８ｃにある基板Ｂを搬出するための搬送ストロー
クが短くなるため、基板Ｂの搬出効率を高めることがで
きる。また、搬出部２６における搬送方向の構造をコン
パクト化できるという利点もある。勿論、このような構
成を搬入部１２にも採用すれば、基板Ｂの搬入効率をも
高めることができる。

【００４０】また、図７に示すように、搬入部１２と搬
出部２６が隣合うように２つの基板処理装置１０を並設
したり、あるいは全体がＵ字状となる基板処理装置１０
を構成し、例えば、同図に示すように搬入部１２と搬出
部２６の対応する各カセット載置台上方に亘って高架の
レール７０を設けるとともに、このレール７０に、吸着
によってカセットを吊上げ及び平面上で回転可能に支持
する搬送装置７２を移動可能に装着し、これにより基板
搬入後の搬入部１２のカセット３２ａ〜３２ｃをそれぞ
れ搬送装置７２により吊上げて１８０°回転させて搬出
部２６のカセット載置台３４ａ〜３４ｃにそれぞれセッ
トすることができるように基板処理装置１０を構成して
もよい。これによれば、基板搬入後は、基板搬入用のカ
セットをそのまま基板搬出用のカセットとして用いるこ
とができるので、カセットを有効に利用することができ
る。

【００４１】さらに、上記実施形態の基板搬送装置３８
は、搬送ローラ４０の軸方向三個所に細軸部分４１を形
成し、この細軸部分４１で基板Ｂをそれぞれ支持するこ
とにより３枚の基板Ｂを並列に搬送し得るように構成さ
れているが、例えば、単一構造のローラに複数の鍔部材
を装着することにより相対的に細軸部分を形成して基板
Ｂを並列に搬送できるようにしてもよい。また、並列に
搬送する基板Ｂの数は３枚に限られず、２枚でもよく、
また４枚以上のより多くの基板Ｂを並列に搬送できるよ
うに基板搬送装置３８を構成しても構わない。

【００４２】また、上述のように鍔部材を設ける場合に
は、鍔部材を軸方向に移動可能に設けるようにし、これ
によって基板Ｂのサイズ変更に効果的に対応できるよう
にしてもよい。さらに、軸方向の寸法が異なる複数の細
軸部分を搬送ローラに形成したり、あるいは上記鍔部材
の配設間隔を適宜設定することにより寸法の異なる複数
種類の基板Ｂを同時に並列に搬送できるように基板搬送
装置３８を構成するようにしてもよい。

【００４３】さらに、基板Ｂを搬入するための搬入機構
４４，４６，４８及び搬出するための搬出機構５０，５
２，５４も基板Ｂの搬送経路への搬入及び搬出を行う機
構としての一例であって、勿論、いわゆる水平関節型の
スカラ型ロボット等を用いて基板Ｂの搬送経路への搬入
及び搬出を行うようにしてもよい。

【００４４】

【発明の効果】以上説明したように、本発明の基板搬送
装置によれば、基板の長辺方向と搬送方向とが一致した
状態で、しかも搬送ローラの幅方向に複数の基板が並べ
られた状態で、搬送ローラの回転に伴い基板の搬送が行
われる。このように長辺方向と搬送方向とが一致させら
れた状態で搬送が行われることにより適切な基板の搬送
が達成され、また、複数の基板が並列搬送されることに
より基板の搬送効率が高められる。そのため、サーマル
ヘッド等の細長基板をローラ搬送により搬送しながら
も、適切に基板を搬送しつつ生産効率を高めることがで
きる。従って、サーマルヘッド等の細長基板の処理に際
してローラ搬送を有効に用いることができ、サーマルヘ
ッド等の細長基板の処理においてもパーティクルの発生
を効果的に防止することができる。

【００４５】特に、搬送経路の側方に、搬送経路に向か
って開口し、かつ長辺方向が搬送方向と平行となるよう
に基板収納カセットが配置される場合には、長辺方向を
搬送方向に一致させた状態を維持しつつ基板を搬送方向
と直交する方向に移動させることができる基板移載手段
を搬送経路に設けることにより、基板収納カセットに対
する基板の出し入れに際して従来装置のような基板の回
転動作が不要となる。そのため、そのような回転動作が
要求されない分、従来装置に比してタクトタイムの短縮
化を図ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明が適用される基板処理装置の構成を示す
概略平面図である。

【図２】搬入部、搬出部及び基板搬送装置の構成を示す
上記基板処理装置の要部拡大図である。

【図３】搬送ローラの構造を示す図２におけるＣ−Ｃ断
面図である。

【図４】搬入機構の構成を示す図２おけるＡ−Ａ断面図
である。

【図５】第２乾燥部の構成を示す断面略図である。

【図６】搬出部の変形例を示す平面図である。

【図７】基板処理装置の変形例を示す平面図である。

【図８】従来装置を示す平面概略図である。

【符号の説明】

１０ 基板処理装置 １２ 搬入部 １４ 基板洗浄部 １６ 第１乾燥部 １８ 密着強化処理部 ２０ 薄膜形成部 ２２ 端縁処理部 ２４ 第２乾燥部 ２６ 搬出部 ３８ 基板搬送装置 ３８ａ 第１搬送経路 ３８ｂ 第２搬送経路 ３８ｃ 第３搬送経路 ４０ 搬送ローラ

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 所定の処理を施すための処理部において
   長方形の細長の角形基板を水平に搬送する基板搬送装置
   であって、上記基板の短片方向を幅方向としてこの方向
   に延びるとともに、基板の長辺方向を搬送方向としてこ
   の方向に並設されて回転駆動される複数本の搬送ローラ
   により搬送経路が形成され、上記各搬送ローラが、複数
   の基板をその幅方向に並列支持可能で、かつ各基板の幅
   方向の移動を規制し得るように構成されることにより、
   上記搬送経路に、その幅方向に複数の基板を並列搬送可
   能とする複数の単位搬送経路が基板搬送方向に亘って形
   成されてなることを特徴とする基板搬送装置。
2. 【請求項２】 上記搬送経路の側方に、搬送経路に向か
   って開口し、かつ長辺方向が搬送方向と平行となる基板
   収納カセットが配置されるものであって、上記基板収納
   カセットに対応して、長辺方向を搬送方向に一致させた
   状態を維持しつつ基板を搬送方向と直交する方向に移動
   させて、上記基板収納カセットからの基板の取出しもし
   くは基板収納カセットへの基板の収納の少なくとも一方
   を可能とする基板移載手段が上記搬送経路に設けられて
   なることを特徴とする請求項１記載の基板搬送装置。