JP2805397B2 - ウエハの把持装置 - Google Patents
ウエハの把持装置Info
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- JP2805397B2 JP2805397B2 JP9942691A JP9942691A JP2805397B2 JP 2805397 B2 JP2805397 B2 JP 2805397B2 JP 9942691 A JP9942691 A JP 9942691A JP 9942691 A JP9942691 A JP 9942691A JP 2805397 B2 JP2805397 B2 JP 2805397B2
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- Japan
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- arm
- wafer
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Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、例えば半導体ウエハを
把持するための把持装置に関する。
把持するための把持装置に関する。
【0002】
【従来の技術】一般に移載システムにおいて被移載体を
両側から挟んで把持する場合がある。このような把持を
行うためには、例えば一対のアームを片側にて支持し、
このアームをシリンダの伸縮等によって開閉する機構が
知られている。
両側から挟んで把持する場合がある。このような把持を
行うためには、例えば一対のアームを片側にて支持し、
このアームをシリンダの伸縮等によって開閉する機構が
知られている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】ところで、半導体ウエ
ハを取り扱う場合、ウエハをキャリアに収納して、各処
理部やストッカの間を搬送するようにしているが、パー
ティクルの発生を抑え、微細な傷をつけないようにする
ため、通常の搬送システムに比べて非常に注意を払う必
要がある。
ハを取り扱う場合、ウエハをキャリアに収納して、各処
理部やストッカの間を搬送するようにしているが、パー
ティクルの発生を抑え、微細な傷をつけないようにする
ため、通常の搬送システムに比べて非常に注意を払う必
要がある。
【0004】ここに、本発明者は、搬送用のキャリアと
ウエハとを分離して夫々洗浄するというシステムを検討
中であるが、この場合キャリア内のウエハを一括して別
の場所へ移載することが効率的である。
ウエハとを分離して夫々洗浄するというシステムを検討
中であるが、この場合キャリア内のウエハを一括して別
の場所へ移載することが効率的である。
【0005】しかしながら多数のウエハを一括して把持
するために上述のような片持のアームを用いると、次の
ような問題がある。即ち、多数のウエハを一括して把持
するためには、アームを頑強な構造体としなければなら
ず、又、大きな自重のためアームの基端部にわずかなガ
タがあると振動し、先端部は大きく揺れてしまう。そし
て、例えば複数のキャリアを並べてこの中のウエハを一
度に持ち上げる場合にはアームがその分長くなるのでそ
の揺れは一層大きくなり、更にウエハの重量が加重され
るので把持動作が不安定になる。
するために上述のような片持のアームを用いると、次の
ような問題がある。即ち、多数のウエハを一括して把持
するためには、アームを頑強な構造体としなければなら
ず、又、大きな自重のためアームの基端部にわずかなガ
タがあると振動し、先端部は大きく揺れてしまう。そし
て、例えば複数のキャリアを並べてこの中のウエハを一
度に持ち上げる場合にはアームがその分長くなるのでそ
の揺れは一層大きくなり、更にウエハの重量が加重され
るので把持動作が不安定になる。
【0006】このようなアームの先端側の揺れは、当該
先端に開閉方向に伸びるガイドを設けることによってあ
る程度は抑えることができる。
先端に開閉方向に伸びるガイドを設けることによってあ
る程度は抑えることができる。
【0007】ここに倉庫の保管物のような通常の被移載
物であればアームのわずかな揺れなどは問題にならない
が、半導体ウエハの移載においては上述のように取り扱
いに相当の注意が必要であり、把持する場合にも各ウエ
ハに対してアームが高い精度で接離し、即ち各部が一様
に接近し、離間し、これにより把持及びその解除を高い
安定性をもって行うことが要求される。このことは、ウ
エハ径が8インチに移行しつつあるように大重量化して
くると、一層クローズアップされてくる。
物であればアームのわずかな揺れなどは問題にならない
が、半導体ウエハの移載においては上述のように取り扱
いに相当の注意が必要であり、把持する場合にも各ウエ
ハに対してアームが高い精度で接離し、即ち各部が一様
に接近し、離間し、これにより把持及びその解除を高い
安定性をもって行うことが要求される。このことは、ウ
エハ径が8インチに移行しつつあるように大重量化して
くると、一層クローズアップされてくる。
【0008】本発明はこのような事情のもとになされた
ものであり、その目的は、安定した把持動作を得ること
のできる把持装置を提供することにある。
ものであり、その目的は、安定した把持動作を得ること
のできる把持装置を提供することにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明は、左右方向に開
閉自在な把持用の一対のアームと、これら一対のアーム
の夫々ガイドするためのガイド部と、左右方向に往復搬
送されるように前記一対のアームの一端側及び他端側に
夫々配置された第1の同期搬送手段及び第2の同期搬送
手段と、これら同期搬送手段を互に連動させるための伝
達手段と、前記一対のアームの一方のアームを左右方向
に駆動するための駆動部とを備え、一対のアームの一端
側において、一方のアーム及び他方のアームを第1の同
期搬送手段の往路側搬送部及び復路側搬送部に夫々取り
付けると共に、一対のアームの他端側おいて、一方のア
ーム及び他方のアームを第2の同期搬送手段の往路側搬
送部及び復路側搬送部に夫々取り付けたことを特徴とす
る。
閉自在な把持用の一対のアームと、これら一対のアーム
の夫々ガイドするためのガイド部と、左右方向に往復搬
送されるように前記一対のアームの一端側及び他端側に
夫々配置された第1の同期搬送手段及び第2の同期搬送
手段と、これら同期搬送手段を互に連動させるための伝
達手段と、前記一対のアームの一方のアームを左右方向
に駆動するための駆動部とを備え、一対のアームの一端
側において、一方のアーム及び他方のアームを第1の同
期搬送手段の往路側搬送部及び復路側搬送部に夫々取り
付けると共に、一対のアームの他端側おいて、一方のア
ーム及び他方のアームを第2の同期搬送手段の往路側搬
送部及び復路側搬送部に夫々取り付けたことを特徴とす
る。
【0010】
【作用】一対のアームの一方のアームを例えばボールネ
ジなどにより内方側に駆動すると、第1の同期搬送手段
が搬送されて一対のアームの一端同士が内方に向かうよ
う動作する。これと同時に第2の同期搬送手段が搬送さ
れるので、一対のアームの他端同士も内方に向かい、い
わば4輪駆動ともいえる同期動作によって、ガタつくこ
となく高い精度でウエハを把持する。
ジなどにより内方側に駆動すると、第1の同期搬送手段
が搬送されて一対のアームの一端同士が内方に向かうよ
う動作する。これと同時に第2の同期搬送手段が搬送さ
れるので、一対のアームの他端同士も内方に向かい、い
わば4輪駆動ともいえる同期動作によって、ガタつくこ
となく高い精度でウエハを把持する。
【0011】
【実施例】図1は本発明の実施例を示す斜視図、図2は
図1の装置の概略を示す平面図であり、この実施例で
は、窓11を備えた基枠1に、一対の把持用のアーム2
組(2a,2b),(3a,3b)が横に並べて配設さ
れている。これら2組一対のアームは同一構造であるた
め、その一方について説明すると、アーム2a、2bは
コ字状に形成されていて、互に対向しており、その両端
側が夫々左右方向に伸びるガイド部としてのガイドレー
ルG1,G2にガイドされるようになっている。 ただ
しガイドレールG1については後述の取り付け部材を介
してガイドしている。
図1の装置の概略を示す平面図であり、この実施例で
は、窓11を備えた基枠1に、一対の把持用のアーム2
組(2a,2b),(3a,3b)が横に並べて配設さ
れている。これら2組一対のアームは同一構造であるた
め、その一方について説明すると、アーム2a、2bは
コ字状に形成されていて、互に対向しており、その両端
側が夫々左右方向に伸びるガイド部としてのガイドレー
ルG1,G2にガイドされるようになっている。 ただ
しガイドレールG1については後述の取り付け部材を介
してガイドしている。
【0012】前記アーム2a,2bの互に対向する位置
には発塵しにくい材質例えばフッ素樹脂よりなる櫛歯状
のウエハ把持部4が前後(図2中上下)2カ所に取り付
けられている。前方側及び後方側の各把持部4は、キャ
リアのウエハの収納枚数分に対応していて、いずれも例
えば25枚ウエハを把持できるように構成されており、
従って2個のキャリア内のウエハを一括して把持でき
る。
には発塵しにくい材質例えばフッ素樹脂よりなる櫛歯状
のウエハ把持部4が前後(図2中上下)2カ所に取り付
けられている。前方側及び後方側の各把持部4は、キャ
リアのウエハの収納枚数分に対応していて、いずれも例
えば25枚ウエハを把持できるように構成されており、
従って2個のキャリア内のウエハを一括して把持でき
る。
【0013】また前記基枠1には、ガイドレールG1に
沿って左右方向に伸びるボールネジ5が設置されてお
り、このボールネジ5は、一方のアーム2aに設けらけ
た結合部材21aにベアリングを介して螺合している。
沿って左右方向に伸びるボールネジ5が設置されてお
り、このボールネジ5は、一方のアーム2aに設けらけ
た結合部材21aにベアリングを介して螺合している。
【0014】更に前記基枠1の前縁側において、左右両
端に夫々プーリP1、P2が設置され、これらプーリP
1、P2の間には、第1の同期搬送手段であるエンドレ
スベルト6が前記ボールネジ5に沿って左右方向に往復
搬送されるように張架されている。このエンドレスベル
ト6の往路側例えば下部側には、取り付け部材22aを
介して一方のアーム2aが取り付けられると共に、復路
側例えば上部側には、取り付け部材22bを介して他方
のアーム2bが取り付けられている。
端に夫々プーリP1、P2が設置され、これらプーリP
1、P2の間には、第1の同期搬送手段であるエンドレ
スベルト6が前記ボールネジ5に沿って左右方向に往復
搬送されるように張架されている。このエンドレスベル
ト6の往路側例えば下部側には、取り付け部材22aを
介して一方のアーム2aが取り付けられると共に、復路
側例えば上部側には、取り付け部材22bを介して他方
のアーム2bが取り付けられている。
【0015】前記他方の一対のアーム3a、3bについ
ても同様にガイドレールG1、G2に沿ってガイドさ
れ、また一方のアーム3aは結合部材31aを介してボ
ールネジ5により駆動されるようになっており、両アー
ム3a、3bは夫々取り付け部材32a、32bを介し
てエンドレスベルト6の下方側、上方側に取り付けられ
ている。
ても同様にガイドレールG1、G2に沿ってガイドさ
れ、また一方のアーム3aは結合部材31aを介してボ
ールネジ5により駆動されるようになっており、両アー
ム3a、3bは夫々取り付け部材32a、32bを介し
てエンドレスベルト6の下方側、上方側に取り付けられ
ている。
【0016】前記ボールネジ5は、駆動ベルト51を介
してモータMに連結されており、このモータMを駆動す
ることによりボールネジ5が回動し、アーム2aとアー
ム3aとを駆動する。
してモータMに連結されており、このモータMを駆動す
ることによりボールネジ5が回動し、アーム2aとアー
ム3aとを駆動する。
【0017】また前記基枠1の後縁側においても、左右
両端に夫々プーリP3P4が設置され、これらプーリP
3、P4の間には第2の搬送手段であるエンドレスベル
ト7が左右方向に往復搬送されるように張架されてい
る。そして各対のアーム(2a、2b)、(3a、3
b))のうち、一方のアーム2a、3aは夫々取付部材
23a、33aを介してエンドレスベルト7の往路側
(下部側)に取り付けられると共に、他方のアーム2
b、3bは夫々取付部材23b、33bを介してエンド
レスベルト7の復路側(上部側)に取り付けられてい
る。
両端に夫々プーリP3P4が設置され、これらプーリP
3、P4の間には第2の搬送手段であるエンドレスベル
ト7が左右方向に往復搬送されるように張架されてい
る。そして各対のアーム(2a、2b)、(3a、3
b))のうち、一方のアーム2a、3aは夫々取付部材
23a、33aを介してエンドレスベルト7の往路側
(下部側)に取り付けられると共に、他方のアーム2
b、3bは夫々取付部材23b、33bを介してエンド
レスベルト7の復路側(上部側)に取り付けられてい
る。
【0018】前記基枠1には、アーム2bに沿って前後
方向(図2中上下方向)に伸びるように長尺な伝達軸8
が伝達手段として設けられており、この伝達軸8の前端
部及び後端部は、夫々前記プーリP1、P3にその回動
軸として連結されており、従って双方のエンドレスベル
ト6、7は連動して動作することになる。
方向(図2中上下方向)に伸びるように長尺な伝達軸8
が伝達手段として設けられており、この伝達軸8の前端
部及び後端部は、夫々前記プーリP1、P3にその回動
軸として連結されており、従って双方のエンドレスベル
ト6、7は連動して動作することになる。
【0019】次に上述実施例の作用について述べる。今
図2に示すように、実施例の把持装置の下方側の所定位
置に、2個を一列として2列に並べた4個のウエハキャ
リアA〜Dが設置され、図3に示すように下からプッシ
ャー9によりキャリアA〜D内のウエハW群が立設状態
で突き上げられたとする。
図2に示すように、実施例の把持装置の下方側の所定位
置に、2個を一列として2列に並べた4個のウエハキャ
リアA〜Dが設置され、図3に示すように下からプッシ
ャー9によりキャリアA〜D内のウエハW群が立設状態
で突き上げられたとする。
【0020】これらウエハWを把持するためには、モー
タMを駆動して、ボールネジ5を回動すると、2組のア
ーム(2a,2b)、(3a,3b)のうちの一方のア
ーム2a、3aが内方(図2中左方)に向かって駆動さ
れる。このとき、当該アーム2a、3aはエンドレスベ
ルト6の下部側に固定されているのでこれを左方に向か
って搬送させ、この結果エンドレスベルト6の上部側が
右方に向かって搬送される。そして当該上部側には2組
のアームのうちの他方のアーム2b、3bが固定されて
いるから、これらも内方(図2中右方)に駆動され、従
ってエンドレスベルト6の動作を介して2組のアーム
(2a、2b)、(3a、3b)が互に同期しながら閉
じていく。
タMを駆動して、ボールネジ5を回動すると、2組のア
ーム(2a,2b)、(3a,3b)のうちの一方のア
ーム2a、3aが内方(図2中左方)に向かって駆動さ
れる。このとき、当該アーム2a、3aはエンドレスベ
ルト6の下部側に固定されているのでこれを左方に向か
って搬送させ、この結果エンドレスベルト6の上部側が
右方に向かって搬送される。そして当該上部側には2組
のアームのうちの他方のアーム2b、3bが固定されて
いるから、これらも内方(図2中右方)に駆動され、従
ってエンドレスベルト6の動作を介して2組のアーム
(2a、2b)、(3a、3b)が互に同期しながら閉
じていく。
【0021】一方この第1のエンドレスベルト6の動作
は伝達軸8を介して第2のエンドレスベルト7に伝達さ
れ、当該エンドレスベルト7についても同様に、下部側
が左方に向かって、また上部側が右方に向かって夫々搬
送される。ここで2組のアーム(2a、2b)、(3
a、3b)は、当該第2のエンドレスベルト7に対し
て、前記第1のエンドレスベルト6と同様の関係で固定
されているから、結局2組のアーム(2a、2b)、
(3a、3b)は、その前後両端において各アームが夫
々エンドレスベルト6,7により駆動され、ガイドレー
ルG1、G2にガイドされながらかつ同期しながら閉じ
ていく。従って従来の片持ちのアームによる把持の場合
のようなガタや不安定な動作はなく、ウエハWを傷つけ
たりすることはない。
は伝達軸8を介して第2のエンドレスベルト7に伝達さ
れ、当該エンドレスベルト7についても同様に、下部側
が左方に向かって、また上部側が右方に向かって夫々搬
送される。ここで2組のアーム(2a、2b)、(3
a、3b)は、当該第2のエンドレスベルト7に対し
て、前記第1のエンドレスベルト6と同様の関係で固定
されているから、結局2組のアーム(2a、2b)、
(3a、3b)は、その前後両端において各アームが夫
々エンドレスベルト6,7により駆動され、ガイドレー
ルG1、G2にガイドされながらかつ同期しながら閉じ
ていく。従って従来の片持ちのアームによる把持の場合
のようなガタや不安定な動作はなく、ウエハWを傷つけ
たりすることはない。
【0022】そして各キャリアA〜Dからプレッシャー
9により突き上げられたウエハW群の周縁部を、対応す
るアームの把持部4、4により両側から櫛歯に挟み込ん
で把持状態とし、その後例えばプッシャー9が押し下げ
られる。続いて把持装置の下方側の各キャリアA〜Dが
別のもの例えば洗浄用キャリアに交換された後、再びプ
ッシャー9が図3の位置まで押し上げられ、その後ウエ
ハWの把持が解除されてウエハW群をプレッシャー9に
移す。この解除にあたっては、モータMによりボールネ
ジ5を逆方向に回動することにより、2組のアーム(2
a、2b)、(3a、3b)は、先述の閉じ動作とは逆
の動作、つまりエンドレスベルト6、7により前端側、
後端側が駆動されて、同期しながら開いていく。
9により突き上げられたウエハW群の周縁部を、対応す
るアームの把持部4、4により両側から櫛歯に挟み込ん
で把持状態とし、その後例えばプッシャー9が押し下げ
られる。続いて把持装置の下方側の各キャリアA〜Dが
別のもの例えば洗浄用キャリアに交換された後、再びプ
ッシャー9が図3の位置まで押し上げられ、その後ウエ
ハWの把持が解除されてウエハW群をプレッシャー9に
移す。この解除にあたっては、モータMによりボールネ
ジ5を逆方向に回動することにより、2組のアーム(2
a、2b)、(3a、3b)は、先述の閉じ動作とは逆
の動作、つまりエンドレスベルト6、7により前端側、
後端側が駆動されて、同期しながら開いていく。
【0023】ここでウエハを、通常の搬送用のキャリア
から洗浄用のキャリアに移し変えて、洗浄すると共に、
搬送用のキャリアについても別途洗浄し、洗浄後のキャ
リアに洗浄後のウエハを収納するシステムに上述の把持
装置を適用する場合には、2組の一対のアームのうちそ
の一方(2a、2b)を洗浄前のウエハを、他方(3
a、3b)を洗浄後のウエハを把持するための専用のも
のとすればウエハの移し替え時のクロスコンタミネーシ
ョンを避けることができる。そしてこの移し替えについ
ては、例えば一方の一対のアーム(2a、2b)によ
り、洗浄前の搬送用のキャリア内のウエハを把持し、こ
れを洗浄用のキャリアに移し替えると共に、他方の一対
のアーム(3a、3b)により洗浄用のキャリア内の洗
浄済みウエハを把持し、これを洗浄後の搬送用のキャリ
ア内に移し変えることによって実現される。 以上にお
いて本発明では、駆動源としてボールネジを用いる代り
にエアシリンダなどを用いてもよいし、またエンドレス
ベルト6の動作をエンドレスベルト7に伝達するための
伝達手段としては、伝達軸8を用いる代りに、ベルトや
傘歯車などを用いることもできるし、それらを左右両側
に設けることもできる。
から洗浄用のキャリアに移し変えて、洗浄すると共に、
搬送用のキャリアについても別途洗浄し、洗浄後のキャ
リアに洗浄後のウエハを収納するシステムに上述の把持
装置を適用する場合には、2組の一対のアームのうちそ
の一方(2a、2b)を洗浄前のウエハを、他方(3
a、3b)を洗浄後のウエハを把持するための専用のも
のとすればウエハの移し替え時のクロスコンタミネーシ
ョンを避けることができる。そしてこの移し替えについ
ては、例えば一方の一対のアーム(2a、2b)によ
り、洗浄前の搬送用のキャリア内のウエハを把持し、こ
れを洗浄用のキャリアに移し替えると共に、他方の一対
のアーム(3a、3b)により洗浄用のキャリア内の洗
浄済みウエハを把持し、これを洗浄後の搬送用のキャリ
ア内に移し変えることによって実現される。 以上にお
いて本発明では、駆動源としてボールネジを用いる代り
にエアシリンダなどを用いてもよいし、またエンドレス
ベルト6の動作をエンドレスベルト7に伝達するための
伝達手段としては、伝達軸8を用いる代りに、ベルトや
傘歯車などを用いることもできるし、それらを左右両側
に設けることもできる。
【0024】また、第1あるいは第2のエンドレスベル
トを構成するにあたっては、夫々を2つのエンドレスベ
ルトに分割してその一つをアーム(2a、2b)に取り
付け、他の一つをアーム(3a、3b)に取り付け、こ
れらを互に連動させるようにして一つのエンドレスベル
トと同等の機能を確保することもできる。
トを構成するにあたっては、夫々を2つのエンドレスベ
ルトに分割してその一つをアーム(2a、2b)に取り
付け、他の一つをアーム(3a、3b)に取り付け、こ
れらを互に連動させるようにして一つのエンドレスベル
トと同等の機能を確保することもできる。
【0025】更にまた本発明では、同期搬送機構として
エンドレスベルトに限定されるものではなく、例えばラ
ックとピニオンの組み合わせを用いることもでき、この
場合には、例えばラック同士を連結杆で結合して伝達機
構とすればよい。
エンドレスベルトに限定されるものではなく、例えばラ
ックとピニオンの組み合わせを用いることもでき、この
場合には、例えばラック同士を連結杆で結合して伝達機
構とすればよい。
【0026】なお、本発明の把持の対象となるウエハは
半導体ウエハに限らずLSD基板のようなガラス等の他
の材質であってもよい。
半導体ウエハに限らずLSD基板のようなガラス等の他
の材質であってもよい。
【0027】また、上述実施例では、一対のアームを2
組設けた構成としているが、本発明では、1組であって
もよいし、3組以上であってもよい。
組設けた構成としているが、本発明では、1組であって
もよいし、3組以上であってもよい。
【0028】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、一対の把
持用アームの一端側及び他端側に夫々例えばエンドレス
ベルトを配置して、これらが互に連動するようにし、そ
してアームの両端側をこれらエンドレスベルトに取り付
けると共に、その一端側を駆動することにより、エンド
レスベルトを介して同期開閉するようにしている。この
ため、本発明装置は、アームの両端を同時に駆動する、
いわば4輪駆動型の機能をもっているので、アームの一
端側が浮いた、片持の把持装置に比べて、ガタなくウエ
ハに接離し、従って把持すべきウエハの数が多くなって
アームの長さが大きくなっても極めて高い安定性をもっ
てウエハを把持あるいは解除することができる。 な
お、アームの両端を駆動するために、単に両側にボール
ネジ等の駆動部を設ける場合には、その同期をとること
が実質上非常に困難であり、ウエハの把持に要求される
精度を得ることはできない。
持用アームの一端側及び他端側に夫々例えばエンドレス
ベルトを配置して、これらが互に連動するようにし、そ
してアームの両端側をこれらエンドレスベルトに取り付
けると共に、その一端側を駆動することにより、エンド
レスベルトを介して同期開閉するようにしている。この
ため、本発明装置は、アームの両端を同時に駆動する、
いわば4輪駆動型の機能をもっているので、アームの一
端側が浮いた、片持の把持装置に比べて、ガタなくウエ
ハに接離し、従って把持すべきウエハの数が多くなって
アームの長さが大きくなっても極めて高い安定性をもっ
てウエハを把持あるいは解除することができる。 な
お、アームの両端を駆動するために、単に両側にボール
ネジ等の駆動部を設ける場合には、その同期をとること
が実質上非常に困難であり、ウエハの把持に要求される
精度を得ることはできない。
【図1】本発明の実施例を示す斜視図である。
【図2】図1の装置を概略的に示す平面図である。
【図3】図1の装置の作用を示す説明図である。
1 基枠 2a、2b、3a、3b アーム 4 把持部 5 ボールネジ 6、7 エンドレスベルト G1、G2 ガイドレール
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 白石 博文 熊本県菊池郡菊陽町津久礼2655番地 東 京エレクトロン九州株式会社内 (72)発明者 原田 浩二 熊本県菊池郡菊陽町津久礼2655番地 東 京エレクトロン九州株式会社内 (72)発明者 友枝 隆之 熊本県菊池郡菊陽町津久礼2655番地 東 京エレクトロン九州株式会社内 (56)参考文献 実開 昭64−46185(JP,U) 実開 平2−52892(JP,U) (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) B25J 15/08
Claims (1)
- 【請求項1】 左右方向に開閉自在なウエハ把持用の一
対のアームと、これら一対のアームの一端側、他端側を
左右方向に夫々ガイドするためのガイド部と、互に同期
しながら左右方向でかつ逆向きに搬送される一対の往路
側搬送部及び復路側搬送部を備え、前記一対のアームの
一端側及び他端側に夫々配置された第1の同期搬送手段
及び第2の同期搬送手段と、これら同期搬送手段を互に
連動させるための伝達手段と、前記一対のアームの一方
のアームを左右方向に駆動するための駆動部とを備え、
一対のアームの一端側において、一方のアーム及び他方
のアームを第1の同期搬送手段の往路側搬送部及び復路
側搬送部に夫々取り付けると共に、一対のアームの他端
側において、一方のアーム及び他方のアームを第2の同
期搬送手段の往路側搬送部及び復路側搬送部に夫々取り
付けたことを特徴とするウエハの把持装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
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