JPH06305675A - バキュウム吸着装置 - Google Patents
バキュウム吸着装置Info
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- JPH06305675A JPH06305675A JP5101498A JP10149893A JPH06305675A JP H06305675 A JPH06305675 A JP H06305675A JP 5101498 A JP5101498 A JP 5101498A JP 10149893 A JP10149893 A JP 10149893A JP H06305675 A JPH06305675 A JP H06305675A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 エアー消費量が少なく、かつ真空破壊後に短
時間で吸着力の立ち上げが可能なバキュウム吸着装置を
提供することである。 【構成】 エアー源6にベンチュリバルブ8を介してベ
ンチュリ10を接続する。ベンチュリ10の負圧部にチ
ェックバルブ14を介してバキュウムパッド12を接続
する。エアー源6とバキュウムパッド12とを、真空破
壊バルブ18a及び真空破壊通路21で接続する。圧力
センサ16でバキュウムパッド12の真空圧が所定値よ
りも上か下かを検知し、所定値以下のときだけベンチュ
リバルブ8を開放作動させる。バキュウムパッド12と
真空破壊バルブ18aとの間の真空破壊通路21に、エ
アー源6からの圧力により開放作動する圧力感応開閉バ
ルブ24を配設する。
時間で吸着力の立ち上げが可能なバキュウム吸着装置を
提供することである。 【構成】 エアー源6にベンチュリバルブ8を介してベ
ンチュリ10を接続する。ベンチュリ10の負圧部にチ
ェックバルブ14を介してバキュウムパッド12を接続
する。エアー源6とバキュウムパッド12とを、真空破
壊バルブ18a及び真空破壊通路21で接続する。圧力
センサ16でバキュウムパッド12の真空圧が所定値よ
りも上か下かを検知し、所定値以下のときだけベンチュ
リバルブ8を開放作動させる。バキュウムパッド12と
真空破壊バルブ18aとの間の真空破壊通路21に、エ
アー源6からの圧力により開放作動する圧力感応開閉バ
ルブ24を配設する。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はバキュウム吸着装置に関
する。
する。
【0002】
【従来の技術】薄鋼板などを吸着保持して搬送するの
に、バキュウム吸着装置が使用される。このバキュウム
吸着装置2は、例えば図5のようにロボットアーム4の
先端に複数ユニット(図示例では2ユニットのみ示す)
取付けて使用される。これらバキュウム吸着装置2は、
吸着するワークの種類毎に専用品となっており、ワーク
の段換え時にバキュウム吸着装置2も一緒に取り替えら
れる。
に、バキュウム吸着装置が使用される。このバキュウム
吸着装置2は、例えば図5のようにロボットアーム4の
先端に複数ユニット(図示例では2ユニットのみ示す)
取付けて使用される。これらバキュウム吸着装置2は、
吸着するワークの種類毎に専用品となっており、ワーク
の段換え時にバキュウム吸着装置2も一緒に取り替えら
れる。
【0003】図6は図5のバキュウム吸着装置2の配管
構成を示す。図5及び図6において、6はエアー源、8
は電磁式ベンチュリバルブ、10はベンチュリ、11は
水平フレーム、12は水平フレーム11に支持された複
数のバキュウムパッド、16はバキュウムパッド12の
負圧を検知する圧力センサ、18はバキュウムパッド1
2に正圧(真空破壊圧)を強制導入する電磁式真空破壊
バルブ、21は真空破壊通路である。
構成を示す。図5及び図6において、6はエアー源、8
は電磁式ベンチュリバルブ、10はベンチュリ、11は
水平フレーム、12は水平フレーム11に支持された複
数のバキュウムパッド、16はバキュウムパッド12の
負圧を検知する圧力センサ、18はバキュウムパッド1
2に正圧(真空破壊圧)を強制導入する電磁式真空破壊
バルブ、21は真空破壊通路である。
【0004】前記バキュウム吸着装置2では、エアー源
6からのエアがベンチュリ10を通過する時、ベンチュ
リ10の喉部で負圧が発生する。この負圧はバキュウム
パッド12に導入され、薄鋼板などの板状ワーク20を
吸着支持する。
6からのエアがベンチュリ10を通過する時、ベンチュ
リ10の喉部で負圧が発生する。この負圧はバキュウム
パッド12に導入され、薄鋼板などの板状ワーク20を
吸着支持する。
【0005】ワーク20を放す時は、ベンチュリバルブ
8を閉塞して負圧の発生を停止すると共に、真空破壊バ
ルブ18を開放してエアー源6からの正圧をバキュウム
パッド12に強制導入し、バキュウムパッド12の吸着
力を瞬時にゼロにする。
8を閉塞して負圧の発生を停止すると共に、真空破壊バ
ルブ18を開放してエアー源6からの正圧をバキュウム
パッド12に強制導入し、バキュウムパッド12の吸着
力を瞬時にゼロにする。
【0006】前記のバキュウム吸着装置2は、ワーク2
0を吸着している間中、エアー源6からのエアーがベン
チュリ10に流され続けるから、エネルギの無駄である
し、ベンチュリ10からの排気音が騒音になる。また、
真空破壊バルブ18が一般にバキュウムパッド12から
遠く離間しているため、ワーク20を放すため真空破壊
した後、新たなワーク20を吸着するためベンチュリバ
ルブ8を開放しても、真空破壊通路21内に残存してい
るエアを排気するのに時間がかかり、バキュウムパッド
12の吸着力が速やかに立ち上がらず、ワーク搬送サイ
クル速度を増大させる上で障害になっていた。
0を吸着している間中、エアー源6からのエアーがベン
チュリ10に流され続けるから、エネルギの無駄である
し、ベンチュリ10からの排気音が騒音になる。また、
真空破壊バルブ18が一般にバキュウムパッド12から
遠く離間しているため、ワーク20を放すため真空破壊
した後、新たなワーク20を吸着するためベンチュリバ
ルブ8を開放しても、真空破壊通路21内に残存してい
るエアを排気するのに時間がかかり、バキュウムパッド
12の吸着力が速やかに立ち上がらず、ワーク搬送サイ
クル速度を増大させる上で障害になっていた。
【0007】そこで図7に示すように、ベンチュリ10
とバキュウムパッド12との間にチェックバルブ14を
配設すると共に、ベンチュリバルブ8、ベンチュリ1
0、チェックバルブ14及び真空破壊バルブ18などを
ユニット19として一体化し、エアー消費量の低減と真
空破壊通路21の短縮化を図った装置2aが提案されて
いる。なお同図で86はエア逃がしバルブ、88は圧力
スイッチである。
とバキュウムパッド12との間にチェックバルブ14を
配設すると共に、ベンチュリバルブ8、ベンチュリ1
0、チェックバルブ14及び真空破壊バルブ18などを
ユニット19として一体化し、エアー消費量の低減と真
空破壊通路21の短縮化を図った装置2aが提案されて
いる。なお同図で86はエア逃がしバルブ、88は圧力
スイッチである。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】図7の改良型バキュウ
ム吸着装置2aは、ユニット化しているため配管箇所が
少ない反面、ユニット19毎に3つのバルブ8,18,
86を組み込んでいるので、バキュウムパッド12の個
数を増やすと必然的にユニット19の数、従ってバルブ
の総数が増大してしまい、これらバルブの制御回線の引
き回しが複雑になる。またユニット19はバルブ組み込
み型で高価であるから、このユニット19からバキュウ
ムパッド12に至る構成をワーク20の種類毎の専用品
として保有するにはコストが嵩む。
ム吸着装置2aは、ユニット化しているため配管箇所が
少ない反面、ユニット19毎に3つのバルブ8,18,
86を組み込んでいるので、バキュウムパッド12の個
数を増やすと必然的にユニット19の数、従ってバルブ
の総数が増大してしまい、これらバルブの制御回線の引
き回しが複雑になる。またユニット19はバルブ組み込
み型で高価であるから、このユニット19からバキュウ
ムパッド12に至る構成をワーク20の種類毎の専用品
として保有するにはコストが嵩む。
【0009】更に、図6と図7の装置に共通した課題と
して、真空破壊バルブ18のシール性の問題がある。即
ち、真空破壊バルブ18はバキュウムパッド12でワー
ク20を吸着している間中常に真空圧をシールするた
め、特に真空を保持し続けるには精度の高い真空シール
性能が要求される。
して、真空破壊バルブ18のシール性の問題がある。即
ち、真空破壊バルブ18はバキュウムパッド12でワー
ク20を吸着している間中常に真空圧をシールするた
め、特に真空を保持し続けるには精度の高い真空シール
性能が要求される。
【0010】真空破壊バルブ18に真空圧が作用するの
を防止するだけなら、真空破壊通路21にチェックバル
ブを配設すればすむ。しかし、そうすれば真空破壊圧を
バキュウムパッド12に送り込むことが不可能になって
しまう。
を防止するだけなら、真空破壊通路21にチェックバル
ブを配設すればすむ。しかし、そうすれば真空破壊圧を
バキュウムパッド12に送り込むことが不可能になって
しまう。
【0011】本発明の目的は、ベンチュリバルブ、真空
破壊バルブ及びベンチュリを一体ユニット化せず、それ
でいて真空破壊後の再吸着までの時間は従来に劣らず短
時間であり、しかも真空破壊バルブにはワークの吸着保
持中でも真空圧が作用しないようにして同バルブの耐久
性を格段に向上できると共に、真空破壊圧は従来通りバ
キュウムパッドに導入可能なバキュウム吸着装置を提供
することにある。
破壊バルブ及びベンチュリを一体ユニット化せず、それ
でいて真空破壊後の再吸着までの時間は従来に劣らず短
時間であり、しかも真空破壊バルブにはワークの吸着保
持中でも真空圧が作用しないようにして同バルブの耐久
性を格段に向上できると共に、真空破壊圧は従来通りバ
キュウムパッドに導入可能なバキュウム吸着装置を提供
することにある。
【0012】
【課題を解決するための手段】本発明の特徴は、ベンチ
ュリバルブと真空破壊バルブはそれぞれ独立とし、ベン
チュリとバキュウムパッドとの間にチェックバルブを配
設すると共に、バキュウムパッドと真空破壊バルブとの
間の真空破壊通路に、エアー源からの圧力により開放作
動する圧力感応開閉バルブを配設したことにある。
ュリバルブと真空破壊バルブはそれぞれ独立とし、ベン
チュリとバキュウムパッドとの間にチェックバルブを配
設すると共に、バキュウムパッドと真空破壊バルブとの
間の真空破壊通路に、エアー源からの圧力により開放作
動する圧力感応開閉バルブを配設したことにある。
【0013】
【作用】バキュウムパッドでワークを吸着支持した後は
ベンチュリバルブを閉じる。バキュウムパッドの真空圧
はチェックバルブにより保持されるので、ベンチュリバ
ルブを閉じてもワークはバキュウムパッドに吸着支持さ
れたままである。
ベンチュリバルブを閉じる。バキュウムパッドの真空圧
はチェックバルブにより保持されるので、ベンチュリバ
ルブを閉じてもワークはバキュウムパッドに吸着支持さ
れたままである。
【0014】次に真空破壊バルブを開放すると、エアー
源からの正圧が圧力感応開閉バルブに作用し、同バルブ
を開放させる。この結果、前記正圧がバキュウムパッド
に導入され、その吸着力が瞬時にゼロになり、バキュウ
ムパッドに吸着支持されていたワークがバキュウムパッ
ドから離れる。
源からの正圧が圧力感応開閉バルブに作用し、同バルブ
を開放させる。この結果、前記正圧がバキュウムパッド
に導入され、その吸着力が瞬時にゼロになり、バキュウ
ムパッドに吸着支持されていたワークがバキュウムパッ
ドから離れる。
【0015】圧力感応開閉バルブは真空破壊バルブより
もバキュウムパッド側に位置しており、真空破壊後に真
空破壊バルブを閉塞し、ベンチュリバルブを開放して新
たなワークの吸着支持をする時、圧力感応開閉バルブは
既に閉塞しており、同バルブと真空破壊バルブとの間の
真空破壊通路内に閉じこめられているエアは、ベンチュ
リ側に吸い出されない。従ってバキュウムパッドの吸着
力が速やかに立ち上がる。なおワークの吸着支持中、真
空圧は圧力感応開閉バルブで遮断されて真空破壊バルブ
には全く影響を及ぼさない。
もバキュウムパッド側に位置しており、真空破壊後に真
空破壊バルブを閉塞し、ベンチュリバルブを開放して新
たなワークの吸着支持をする時、圧力感応開閉バルブは
既に閉塞しており、同バルブと真空破壊バルブとの間の
真空破壊通路内に閉じこめられているエアは、ベンチュ
リ側に吸い出されない。従ってバキュウムパッドの吸着
力が速やかに立ち上がる。なおワークの吸着支持中、真
空圧は圧力感応開閉バルブで遮断されて真空破壊バルブ
には全く影響を及ぼさない。
【0016】
【実施例】以下に本発明の一実施例を図に基づき説明す
る。図1は図5と同様の図を示し、同一部分には同一符
号を付してある。このバキュウム吸着装置2bが図5と
異なる点は、図2のように吸着保持ユニット22内に従
来のチェックバルブ14と、新規な圧力感応開閉バルブ
24とを収納し、かつ真空破壊バルブ18aを常態で圧
力感応開閉バルブ24に大気圧を導入する構成としたこ
とである。
る。図1は図5と同様の図を示し、同一部分には同一符
号を付してある。このバキュウム吸着装置2bが図5と
異なる点は、図2のように吸着保持ユニット22内に従
来のチェックバルブ14と、新規な圧力感応開閉バルブ
24とを収納し、かつ真空破壊バルブ18aを常態で圧
力感応開閉バルブ24に大気圧を導入する構成としたこ
とである。
【0017】詳しくは図2に示すように、圧力感応開閉
バルブ24は2位置切換式2ポート弁であって、所定圧
以上の圧力が真空破壊通路21に作用すると、自動的に
弁が開放側に切換わって両側のポートが連通するように
構成されている。
バルブ24は2位置切換式2ポート弁であって、所定圧
以上の圧力が真空破壊通路21に作用すると、自動的に
弁が開放側に切換わって両側のポートが連通するように
構成されている。
【0018】吸着保持ユニット22の具体例を図3及び
図4に示す。同図で26は一体形のハウジング、28は
蓋板であって、蓋板28は複数本のボルト30によって
ハウジング26上面に固定されている。蓋板28に形成
された2つの孔32,34のうち、一方の孔32が通路
36によってベンチュリ10の喉部(負圧部)と接続さ
れ、他方の孔34が真空破壊通路21によって真空破壊
バルブ18aと接続されている。ハウジング26の下面
に形成された孔40は、通路42によってバキュウムパ
ッド12に接続されている。またハウジング26の側面
に形成された孔44は、通路46によって圧力センサ1
6に接続されている。
図4に示す。同図で26は一体形のハウジング、28は
蓋板であって、蓋板28は複数本のボルト30によって
ハウジング26上面に固定されている。蓋板28に形成
された2つの孔32,34のうち、一方の孔32が通路
36によってベンチュリ10の喉部(負圧部)と接続さ
れ、他方の孔34が真空破壊通路21によって真空破壊
バルブ18aと接続されている。ハウジング26の下面
に形成された孔40は、通路42によってバキュウムパ
ッド12に接続されている。またハウジング26の側面
に形成された孔44は、通路46によって圧力センサ1
6に接続されている。
【0019】ハウジング26内には、孔32と孔40と
を上下方向に連通する縦孔48内にチェックバルブ14
が配設されている。この縦孔48の中間部は孔44を介
して圧力センサ16にも連通している。チェックバルブ
14は、上端閉塞下端開放形の中空円筒形をした弁体5
0と、この弁体50の上端部周囲に一体嵌合され弁座5
4に着座したゴム製リング部材52と、弁体50を下方
に付勢するばね56とで構成されている。なお弁体50
の周壁には、弁体50の内外を連通する連通孔58が形
成されている。
を上下方向に連通する縦孔48内にチェックバルブ14
が配設されている。この縦孔48の中間部は孔44を介
して圧力センサ16にも連通している。チェックバルブ
14は、上端閉塞下端開放形の中空円筒形をした弁体5
0と、この弁体50の上端部周囲に一体嵌合され弁座5
4に着座したゴム製リング部材52と、弁体50を下方
に付勢するばね56とで構成されている。なお弁体50
の周壁には、弁体50の内外を連通する連通孔58が形
成されている。
【0020】前記縦孔48の側方には、ゴム製のダイヤ
フラム62が配設されている。このダイヤフラム62
は、下側の受板64との間に配設された圧縮ばね66に
よって常時上方に付勢されている。ダイヤフラム62の
上面周囲は、通路63,孔34及び真空破壊通路21を
介して真空破壊バルブ18aと連通されている。またダ
イヤフラム62の中央肉厚部の周囲は常時は弁座68に
着座し、中央肉厚部上面は通路70を介してチェックバ
ルブ14の弁体50周壁部の内外と連通している。
フラム62が配設されている。このダイヤフラム62
は、下側の受板64との間に配設された圧縮ばね66に
よって常時上方に付勢されている。ダイヤフラム62の
上面周囲は、通路63,孔34及び真空破壊通路21を
介して真空破壊バルブ18aと連通されている。またダ
イヤフラム62の中央肉厚部の周囲は常時は弁座68に
着座し、中央肉厚部上面は通路70を介してチェックバ
ルブ14の弁体50周壁部の内外と連通している。
【0021】次にバキュウム吸着装置2bの作動につき
説明する。装置2bの休止状態では、図2のように、ベ
ンチュリバルブ8と圧力感応開閉バルブ24が閉塞し、
真空破壊バルブ18aがエアー源6側を閉塞し、かつ圧
力感応開閉バルブ24側を大気に開放している。
説明する。装置2bの休止状態では、図2のように、ベ
ンチュリバルブ8と圧力感応開閉バルブ24が閉塞し、
真空破壊バルブ18aがエアー源6側を閉塞し、かつ圧
力感応開閉バルブ24側を大気に開放している。
【0022】バキュウムパッド12でワーク20を吸着
支持するため図示しない制御回路によってベンチュリバ
ルブ8が開放されると、ベンチュリ10にエアが流され
て喉部に負圧が生じる。この負圧によってチェックバル
ブ14の弁体50が図3でばね56に抗して上昇し、リ
ング部材52と弁座54との間に隙間が形成される。こ
の隙間を通して負圧がバキュウムパッド12に導入さ
れ、ワーク20を吸着支持する。このとき、ダイヤフラ
ム62の中央肉厚部上面には負圧が作用し、ダイヤフラ
ム62は圧縮ばね66の力で上方へ押し上げられている
ので、ダイヤフラム62の弁座68は閉塞される。
支持するため図示しない制御回路によってベンチュリバ
ルブ8が開放されると、ベンチュリ10にエアが流され
て喉部に負圧が生じる。この負圧によってチェックバル
ブ14の弁体50が図3でばね56に抗して上昇し、リ
ング部材52と弁座54との間に隙間が形成される。こ
の隙間を通して負圧がバキュウムパッド12に導入さ
れ、ワーク20を吸着支持する。このとき、ダイヤフラ
ム62の中央肉厚部上面には負圧が作用し、ダイヤフラ
ム62は圧縮ばね66の力で上方へ押し上げられている
ので、ダイヤフラム62の弁座68は閉塞される。
【0023】圧力センサ16はバキュウムパッド12の
真空圧が所定値以上であるか否かを検知し、所定値以上
であれば図示しない制御回路によりベンチュリバルブ8
を閉塞する。ベンチュリバルブ8を閉塞しても、チェッ
クバルブ14によってバキュウムパッド12の真空圧が
維持されるので、ワーク20はバキュウムパッド12で
吸着支持されたままである。またワーク20を長時間吸
着支持する場合は、バキュウムパッド12等からの空気
漏れでバキュウムパッド12の真空圧が徐々に低下する
が、真空圧が所定値以下になるとベンチュリバルブ8が
開放されてバキュウムパッド12に負圧が補給される。
真空圧が所定値以上であるか否かを検知し、所定値以上
であれば図示しない制御回路によりベンチュリバルブ8
を閉塞する。ベンチュリバルブ8を閉塞しても、チェッ
クバルブ14によってバキュウムパッド12の真空圧が
維持されるので、ワーク20はバキュウムパッド12で
吸着支持されたままである。またワーク20を長時間吸
着支持する場合は、バキュウムパッド12等からの空気
漏れでバキュウムパッド12の真空圧が徐々に低下する
が、真空圧が所定値以下になるとベンチュリバルブ8が
開放されてバキュウムパッド12に負圧が補給される。
【0024】次に、ワーク20をバキュウムパッド12
から放す時は、ベンチュリバルブ8を閉塞すると共に真
空破壊バルブ18aを開放する。これにより、バキュウ
ムパッド12に対する真空圧の供給が停止されると共
に、真空破壊バルブ18aを通してエアー源6からの正
圧が圧力感応開閉バルブ24に作用し、同バルブ24の
ダイヤフラム62を圧縮ばね66に抗して押し下げて開
放させ、正圧が通路70、連通孔58、縦孔48及び通
路42を通ってバキュウムパッド12に強制導入され
る。このためバキュウムパッド12内の負圧は速やかに
解消され、吸着力が瞬時にゼロに低下し、ワーク20が
バキュウムパッド12から離れる。
から放す時は、ベンチュリバルブ8を閉塞すると共に真
空破壊バルブ18aを開放する。これにより、バキュウ
ムパッド12に対する真空圧の供給が停止されると共
に、真空破壊バルブ18aを通してエアー源6からの正
圧が圧力感応開閉バルブ24に作用し、同バルブ24の
ダイヤフラム62を圧縮ばね66に抗して押し下げて開
放させ、正圧が通路70、連通孔58、縦孔48及び通
路42を通ってバキュウムパッド12に強制導入され
る。このためバキュウムパッド12内の負圧は速やかに
解消され、吸着力が瞬時にゼロに低下し、ワーク20が
バキュウムパッド12から離れる。
【0025】
【発明の効果】本発明は前記の如く、ベンチュリバルブ
と真空破壊バルブは別体で構成し、ベンチュリとバキュ
ウムパッドとの間にチェックバルブを配設し、かつ、真
空破壊バルブとバキュウムパッドとの間に圧力感応開閉
バルブを配設したので、ベンチュリバルブと真空破壊バ
ルブは各1個でエアの供給系を構成可能で、従って各バ
ルブを大流量タイプとしてもコスト及び重量面での影響
は軽微であり、また1つのベンチュリバルブに多数のベ
ンチュリ及びバキュウムパッドを接続することができる
ので、吸着装置全体としてのコストを低減できる。加え
て真空破壊後にバキュウムパッドに負圧をかける際、圧
力感応開閉バルブの上流側のエアはベンチュリ側に吸い
出されないので、バキュウムパッドの吸着力の立ち上が
りを早くでき、これによりワークの吸着搬送のサイクル
タイムを短縮でき、また真空破壊バルブには負圧が作用
しないのでその耐久性を向上できるし、チェックバルブ
によるバキュウムパッドの真空保持機能により、エアー
源の消費量を低減できるので省エネ効果及び騒音低減効
果も発揮する。さらに、真空破壊バルブをバキュウムパ
ッドから遠く離間させて配置しても、バキュウムパッド
の吸着力の立ち上がりに何ら問題が生じないから、バル
ブ配置の自由度が向上する。またチェックバルブと圧力
感応開閉バルブを吸着保持ユニットとして一体化する
と、配管箇所が少なくなり組立ての手間を節約できる。
と真空破壊バルブは別体で構成し、ベンチュリとバキュ
ウムパッドとの間にチェックバルブを配設し、かつ、真
空破壊バルブとバキュウムパッドとの間に圧力感応開閉
バルブを配設したので、ベンチュリバルブと真空破壊バ
ルブは各1個でエアの供給系を構成可能で、従って各バ
ルブを大流量タイプとしてもコスト及び重量面での影響
は軽微であり、また1つのベンチュリバルブに多数のベ
ンチュリ及びバキュウムパッドを接続することができる
ので、吸着装置全体としてのコストを低減できる。加え
て真空破壊後にバキュウムパッドに負圧をかける際、圧
力感応開閉バルブの上流側のエアはベンチュリ側に吸い
出されないので、バキュウムパッドの吸着力の立ち上が
りを早くでき、これによりワークの吸着搬送のサイクル
タイムを短縮でき、また真空破壊バルブには負圧が作用
しないのでその耐久性を向上できるし、チェックバルブ
によるバキュウムパッドの真空保持機能により、エアー
源の消費量を低減できるので省エネ効果及び騒音低減効
果も発揮する。さらに、真空破壊バルブをバキュウムパ
ッドから遠く離間させて配置しても、バキュウムパッド
の吸着力の立ち上がりに何ら問題が生じないから、バル
ブ配置の自由度が向上する。またチェックバルブと圧力
感応開閉バルブを吸着保持ユニットとして一体化する
と、配管箇所が少なくなり組立ての手間を節約できる。
【図1】本発明に係るバキュウム吸着装置の概略図。
【図2】同バキュウム吸着装置の配管図。
【図3】吸着保持ユニットの断面図。
【図4】吸着保持ユニットの平面図。
【図5】従来のバキュウム吸着装置の概略図。
【図6】同バキュウム吸着装置の配管図。
【図7】各バルブ及びベンチュリなどをユニット化した
従来のバキュウム吸着装置の配管図。 18 真空破壊バルブ 20 ワーク 21 真空破壊通路 22 吸着保持ユニット 24 圧力感応開閉バルブ 26 ハウジング 62 ダイヤフラム
従来のバキュウム吸着装置の配管図。 18 真空破壊バルブ 20 ワーク 21 真空破壊通路 22 吸着保持ユニット 24 圧力感応開閉バルブ 26 ハウジング 62 ダイヤフラム
Claims (2)
- 【請求項1】 エアー源にベンチュリバルブを介して接
続されたベンチュリと、 前記ベンチュリの負圧部にチェックバルブを介して接続
されたバキュウムパッドと、 前記エアー源と前記バキュウムパッドとを、真空破壊バ
ルブを介して連通する真空破壊通路と、 前記バキュウムパッドに接続され、バキュウムパッドの
真空圧が所定値よりも上か下かを検知し、所定値以下の
ときだけ前記ベンチュリバルブを開放作動させる圧力セ
ンサとを具備したバキュウム吸着装置において、 前記バキュウムパッドと真空破壊バルブとの間の真空破
壊通路に、前記エアー源からの圧力により開放作動する
圧力感応開閉バルブを配設したことを特徴とするバキュ
ウム吸着装置。 - 【請求項2】 前記チェックバルブと圧力感応開閉バル
ブを、一体形ハウジング内に収容したことを特徴とする
バキュウム吸着装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5101498A JP2997862B2 (ja) | 1993-04-27 | 1993-04-27 | バキュウム吸着装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5101498A JP2997862B2 (ja) | 1993-04-27 | 1993-04-27 | バキュウム吸着装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH06305675A true JPH06305675A (ja) | 1994-11-01 |
JP2997862B2 JP2997862B2 (ja) | 2000-01-11 |
Family
ID=14302308
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP5101498A Expired - Lifetime JP2997862B2 (ja) | 1993-04-27 | 1993-04-27 | バキュウム吸着装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2997862B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107941408A (zh) * | 2017-12-04 | 2018-04-20 | 成都六惠科技有限公司 | 一种用于负压吸盘的负压监测器 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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SE539654C2 (en) * | 2016-03-08 | 2017-10-24 | Avac Vakuumteknik Ab | Pressure measurement |
US11549523B2 (en) | 2021-04-27 | 2023-01-10 | Blacoh Fluid Controls, Inc. | Automatic fluid pump inlet stabilizers and vacuum regulators |
-
1993
- 1993-04-27 JP JP5101498A patent/JP2997862B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107941408A (zh) * | 2017-12-04 | 2018-04-20 | 成都六惠科技有限公司 | 一种用于负压吸盘的负压监测器 |
CN107941408B (zh) * | 2017-12-04 | 2024-02-09 | 成都六惠科技有限公司 | 一种用于负压吸盘的负压监测器 |
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2997862B2 (ja) | 2000-01-11 |
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