JPH05267433A - 吸着パッド - Google Patents
吸着パッドInfo
- Publication number
- JPH05267433A JPH05267433A JP6295192A JP6295192A JPH05267433A JP H05267433 A JPH05267433 A JP H05267433A JP 6295192 A JP6295192 A JP 6295192A JP 6295192 A JP6295192 A JP 6295192A JP H05267433 A JPH05267433 A JP H05267433A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- valve
- valve body
- suction pad
- valve seat
- main body
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Sheets, Magazines, And Separation Thereof (AREA)
- Die Bonding (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】被吸着物５の有無を検出するセンサや、吸着す
るか否かを動作する切換弁を必要とせず、被吸着物を吸
着することが出来る。 【構成】本体１の排気穴の周辺部に弁座部３ａを形成
し、弁座部３ａと接触あるいは離間して排気管２と通ず
る排気穴の開閉を行う弁体３と、この弁体３を弁座部３
ａに押し付けるスプリング４とを設け、弁体３の一端で
ある触針部３ｂで被吸着物５を接触させ押すことによっ
て弁を開くことを特徴としている。
るか否かを動作する切換弁を必要とせず、被吸着物を吸
着することが出来る。 【構成】本体１の排気穴の周辺部に弁座部３ａを形成
し、弁座部３ａと接触あるいは離間して排気管２と通ず
る排気穴の開閉を行う弁体３と、この弁体３を弁座部３
ａに押し付けるスプリング４とを設け、弁体３の一端で
ある触針部３ｂで被吸着物５を接触させ押すことによっ
て弁を開くことを特徴としている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体基板であるウェ
ーハ及びペレットを把み搬送する吸着パッドに関する。
ーハ及びペレットを把み搬送する吸着パッドに関する。
【０００２】
【従来の技術】図２は従来の一例を示す吸着パッドの断
面図である。従来、この種の吸着パッドは、例えば、図
２に示すように、先端部が皿状の形状をし、中央に真空
排気用の穴が形成される本体１と、前記穴より真空排気
するための排気管２とで構成されていた。
面図である。従来、この種の吸着パッドは、例えば、図
２に示すように、先端部が皿状の形状をし、中央に真空
排気用の穴が形成される本体１と、前記穴より真空排気
するための排気管２とで構成されていた。
【０００３】本体１の先端はウェーハやペレットのよう
な脆性材料に損傷を与えないように柔いゴムで製作され
ていた。また、この吸着力は本体１の皿状の窪みの面積
により決定され、ウェーハのような大きいものを把むと
きは、その重量に応じた大きさの本体をもつ吸着パッド
を使用していた。
な脆性材料に損傷を与えないように柔いゴムで製作され
ていた。また、この吸着力は本体１の皿状の窪みの面積
により決定され、ウェーハのような大きいものを把むと
きは、その重量に応じた大きさの本体をもつ吸着パッド
を使用していた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来の吸着パッドは被
吸着物との接触時の緩衝性及び接触面積の確保という機
能しかもたない。従って、吸着物がない場合でも、吸着
するための排気管からの空気の排気しつづけるか、ある
いは排気の入切りを行う切換弁を制御してやる必要があ
った。通常、前者の方法は採られず、後者の切換を行い
対処してきた。
吸着物との接触時の緩衝性及び接触面積の確保という機
能しかもたない。従って、吸着物がない場合でも、吸着
するための排気管からの空気の排気しつづけるか、ある
いは排気の入切りを行う切換弁を制御してやる必要があ
った。通常、前者の方法は採られず、後者の切換を行い
対処してきた。
【０００５】また、搬送装置のピックアップ機構にこの
吸着パッドを適用する場合には、装置には排気入切の切
換弁と、被吸着物の有無を検知するセンサとを設ける必
要があった。さらに、このような有無を検知するセンサ
は、この吸着パッドと別の位置に取付けて被着物を検知
させてから、吸着パッドを被吸着物に接触させて吸着さ
せるという方法が用いられてきた。このことは、狭い場
所から被着物を吸着するときは、吸着パッドとセンサと
を取付たアームを使用し、二段に動作させるといった複
雑な動作を必要としていた。
吸着パッドを適用する場合には、装置には排気入切の切
換弁と、被吸着物の有無を検知するセンサとを設ける必
要があった。さらに、このような有無を検知するセンサ
は、この吸着パッドと別の位置に取付けて被着物を検知
させてから、吸着パッドを被吸着物に接触させて吸着さ
せるという方法が用いられてきた。このことは、狭い場
所から被着物を吸着するときは、吸着パッドとセンサと
を取付たアームを使用し、二段に動作させるといった複
雑な動作を必要としていた。
【０００６】本発明の目的は、かかる問題を解消すべ
く、被着物の有無をも判定する機能と排気入切の機能を
有する吸着パッドを提供することである。
く、被着物の有無をも判定する機能と排気入切の機能を
有する吸着パッドを提供することである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の吸着パッドは、
柔軟で弾性のある緑部をもつとともに中央に排気管と通
ずる排気穴を有する皿形状の本体と、この本体の前記排
気穴の周囲に形成される弁座部に接解あるいは離間して
前記排気穴を開閉する弁体と、この弁体を前記弁座部側
に押し付けるスプリングと、前記弁体の一端側から伸び
被吸着物と接触する触針部とを備えている。
柔軟で弾性のある緑部をもつとともに中央に排気管と通
ずる排気穴を有する皿形状の本体と、この本体の前記排
気穴の周囲に形成される弁座部に接解あるいは離間して
前記排気穴を開閉する弁体と、この弁体を前記弁座部側
に押し付けるスプリングと、前記弁体の一端側から伸び
被吸着物と接触する触針部とを備えている。
【０００８】
【実施例】次に、本発明について図面を参照して説明す
る。
る。
【０００９】図１（ａ）及び（ｂ）は本発明の一実施例
の吸着パッドを示す断面図である。本発明の吸着パッド
は、被吸着物と接触して有無を検知し、接触による弁を
開閉する機構を内蔵させたことである。すなわち、この
吸着パッドは、図１に示すように、被吸着物５と接触し
て吸着物の有無を検出する触針部３ｂを一端にもつとと
もに他端に本体１の弁座部３ａと接触あるいは離間して
排気穴を開閉する弁体３と、この弁体３に予圧を与える
スプリング４とを設けたことである。
の吸着パッドを示す断面図である。本発明の吸着パッド
は、被吸着物と接触して有無を検知し、接触による弁を
開閉する機構を内蔵させたことである。すなわち、この
吸着パッドは、図１に示すように、被吸着物５と接触し
て吸着物の有無を検出する触針部３ｂを一端にもつとと
もに他端に本体１の弁座部３ａと接触あるいは離間して
排気穴を開閉する弁体３と、この弁体３に予圧を与える
スプリング４とを設けたことである。
【００１０】次に、吸着パッドの動作を説明する。ま
ず、図１（ａ）に示すように被吸着物４が存在しないと
きは、弁体３の触針部３ａは何も触れることはないの
で、スプリング４は弁体３を一方向に押し付け、弁体３
の傾斜部は本体１の弁座部と接触し、排気管２の排気穴
を閉じたままの状態になっている。次に、図１（ｂ）に
示すように、被吸着物５と触針部３ａと接触し、触針部
３ａはスプリング４の圧力に抗して押され、弁体３は弁
座部３ａと離間し、排気管２と本体１の排気穴と通じ、
被吸着物５を吸着する。
ず、図１（ａ）に示すように被吸着物４が存在しないと
きは、弁体３の触針部３ａは何も触れることはないの
で、スプリング４は弁体３を一方向に押し付け、弁体３
の傾斜部は本体１の弁座部と接触し、排気管２の排気穴
を閉じたままの状態になっている。次に、図１（ｂ）に
示すように、被吸着物５と触針部３ａと接触し、触針部
３ａはスプリング４の圧力に抗して押され、弁体３は弁
座部３ａと離間し、排気管２と本体１の排気穴と通じ、
被吸着物５を吸着する。
【００１１】
【発明の効果】以上説明したように本発明は先端部が柔
い皿状の開口部をもつ本体の内部に弁座部を形成し、一
端に被吸着物と接触する触針部をもつ可動弁体と、この
可動弁体を弁座部に押し付けるスプリングとを設け、本
体の先端部を押し付けて被吸着物の有無を検出し、触針
部の接触によ弁体の開閉が出来るので、被吸着物の有無
を検知する機能と、吸着の入切を行う状態をもつ吸着パ
ッドが得られるという効果がある。
い皿状の開口部をもつ本体の内部に弁座部を形成し、一
端に被吸着物と接触する触針部をもつ可動弁体と、この
可動弁体を弁座部に押し付けるスプリングとを設け、本
体の先端部を押し付けて被吸着物の有無を検出し、触針
部の接触によ弁体の開閉が出来るので、被吸着物の有無
を検知する機能と、吸着の入切を行う状態をもつ吸着パ
ッドが得られるという効果がある。
【図１】本発明の一実施例を示す吸着パッドの断面図で
ある。
ある。
【図２】従来の一例を示す吸着パッドの断面図である。
１ 本体 ２ 排気管 ３ 弁体 ３ａ 弁座部 ３ｂ 触針部 ４ スプリング ５ 被吸着物
Claims (1)
- 【請求項１】 柔軟で弾性のある緑部をもつとともに中
央に排気管と通ずる排気穴を有する皿形状の本体と、こ
の本体の前記排気穴の周囲に形成される弁座部に接解あ
るいは離間して前記排気穴を開閉する弁体と、この弁体
を前記弁座部側に押し付けるスプリングと、前記弁体の
一端側から伸び被吸着物と接触する触針部とを備えるこ
とを特徴とする吸着パッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6295192A JPH05267433A (ja) | 1992-03-19 | 1992-03-19 | 吸着パッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6295192A JPH05267433A (ja) | 1992-03-19 | 1992-03-19 | 吸着パッド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05267433A true JPH05267433A (ja) | 1993-10-15 |
Family
ID=13215139
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6295192A Pending JPH05267433A (ja) | 1992-03-19 | 1992-03-19 | 吸着パッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05267433A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001110871A (ja) * | 1999-10-13 | 2001-04-20 | Kumamoto Nippon Denki Kk | 吸着ペン |
| JP2002184835A (ja) * | 2000-12-13 | 2002-06-28 | Ando Electric Co Ltd | 吸着パッド |
| JP2009277687A (ja) * | 2008-05-12 | 2009-11-26 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | バルブ機構及び基板収納容器 |
| CN104632857A (zh) * | 2014-12-29 | 2015-05-20 | 东保集团有限公司 | 一种吸盘装置 |
| JP2018157194A (ja) * | 2017-01-27 | 2018-10-04 | ズス・マイクロテック・リソグラフィ・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクテル・ハフツングＳｕｓｓ ＭｉｃｒｏＴｅｃ Ｌｉｔｈｏｇｒａｐｈｙ ＧｍｂＨ | エンドエフェクタ用吸引器具、サブストレート保持用エンドエフェクタ、およびエンドエフェクタ製造方法 |
| NL2019526B1 (nl) * | 2017-09-11 | 2019-03-19 | Harrisson B V | Vacuümkop voor het vastpakken van een voorwerp, in het bijzonder een LED |
| CN112660824A (zh) * | 2020-12-31 | 2021-04-16 | 象山鸿海模具有限公司 | 一种基于磁吸原理的机械行业专用夹持爪 |
| CN113213153A (zh) * | 2021-05-06 | 2021-08-06 | 扬州快乐机械有限公司 | 一种吸盘装置与一种人造板生产设备 |
-
1992
- 1992-03-19 JP JP6295192A patent/JPH05267433A/ja active Pending
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001110871A (ja) * | 1999-10-13 | 2001-04-20 | Kumamoto Nippon Denki Kk | 吸着ペン |
| US6457759B1 (en) | 1999-10-13 | 2002-10-01 | Nec Corporation | Adsorption pen improved in operability |
| KR100373139B1 (ko) * | 1999-10-13 | 2003-02-25 | 닛뽄덴끼 가부시끼가이샤 | 동작성이 개선된 흡착 펜 |
| JP2002184835A (ja) * | 2000-12-13 | 2002-06-28 | Ando Electric Co Ltd | 吸着パッド |
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| CN104632857A (zh) * | 2014-12-29 | 2015-05-20 | 东保集团有限公司 | 一种吸盘装置 |
| CN104632857B (zh) * | 2014-12-29 | 2017-05-10 | 东保集团有限公司 | 一种吸盘装置 |
| JP2018157194A (ja) * | 2017-01-27 | 2018-10-04 | ズス・マイクロテック・リソグラフィ・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクテル・ハフツングＳｕｓｓ ＭｉｃｒｏＴｅｃ Ｌｉｔｈｏｇｒａｐｈｙ ＧｍｂＨ | エンドエフェクタ用吸引器具、サブストレート保持用エンドエフェクタ、およびエンドエフェクタ製造方法 |
| NL2019526B1 (nl) * | 2017-09-11 | 2019-03-19 | Harrisson B V | Vacuümkop voor het vastpakken van een voorwerp, in het bijzonder een LED |
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| CN113213153A (zh) * | 2021-05-06 | 2021-08-06 | 扬州快乐机械有限公司 | 一种吸盘装置与一种人造板生产设备 |
| CN113213153B (zh) * | 2021-05-06 | 2022-12-27 | 扬州快乐机械有限公司 | 一种吸盘装置与一种人造板生产设备 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 19980728 |