JPH06277624A - 小型アクチュエータ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 振動体を利用することで大きな駆動力が得ら
れ、しかもリニア型のアクチュエータとした場合には大
きな変位量が得られる。 【構成】 基板１の外周部には、自由端が−ｘ方向に延
びる複数の片持ち梁２と、自由端が＋ｘ方向に延びる複
数の片持ち梁３と、自由端が＋ｙ方向に延びる複数の片
持ち梁４と、自由端が−ｙ方向に延びる片持ち梁５とが
形成される。各片持ち梁２、３、４、５はそれぞれ固有
振動数が異なる。基板１の中央部には、厚み方向に分極
され、出力周波数が可変の交流電源（不図示）に接続さ
れた圧電体６が固定される。この基板１を基台（不図
示）に載置し、圧電体６に所定の交流電圧を印加し、基
板１を片持ち梁２の固有振動数と等しい振動数で振動さ
せると、片持ち梁２は共振し、基板１が−ｘ方向に移動
する。同様に、基板１を＋ｘ方向、＋ｙ方向、および−
ｙ方向にも移動させることができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、片持ち梁の振動を利用
した小型アクチュエータに関する。

【０００２】

【従来の技術】マイクロマシンと呼ばれる微小な機械
は、医療分野や管内作業ロボット等、狭所作業用機械と
して注目されている。こうした微小な機械を移動させた
り作業させるための駆動機構として、従来の機械と同様
な電磁モータを微小化することも行なわれている。とこ
ろが、電磁モータは小さくなると駆動力や効率が極端に
低下するので、電磁力にかわり、静電力を用いた櫛歯型
のリニアアクチュエータやマイクロモータが提案されて
いる。

【０００３】静電力を用いた従来の櫛歯型のリニアアク
チュエータの構造を図８に示す。図８に示すように、基
板に固定された２つの固定部５３はそれぞれ支持部５２
を空中に支持しており、各支持部５２により、互いに連
結されてかつ櫛歯５１ａが形成された２つの可動部５１
が図示左右方向に移動可能に支持されている。そして、
各可動部５１の櫛歯５１ａには、それぞれ基板に固定さ
れた歯５４が互い違いに２μｍのギャップをあけて挿入
されている。ここが静電駆動部となり、可動部５１の櫛
歯５１ａと固定された歯５４との間に電圧を印加する
と、両者の重なりが大きくなる方向の力が働く。

【０００４】また、静電力を用いた従来のマイクロモー
タの構造を図９に示す。図９に示すように、ロータ１０
３は基板上にピンジョイント１０２により回転自在に軸
支されている。また、複数のステータ１０１が、ロータ
１０３の回転中心を挟んで放射状に配置されており、そ
の対向するもの同志（例えば、Ｕ−Ｕ’）が一対の電極
を構成している。各ステータ１０３は、ロータ１０３の
中心に近い部位が基板から数ミクロンｍ浮き上がり、そ
の下をロータ１０３が通過できるようになっている。こ
こで、例えばＵ−Ｕ’の一対のステータ１０１に電圧を
印加すると、静電力に引かれてロータ１０３は電圧を印
加されたステータ１０１の下に吸い込まれる。その動き
に合わせてＶ−Ｖ’、Ｗ−Ｗ’というように順番に電圧
を印加するステータ１０１を切り替えていけば、ロータ
１０３は連続的に回転する。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た静電力を用いた従来の櫛歯型のリニアアクチュエータ
は、その変位量は櫛歯の長さで規制されるので大きな変
位を得ることができなかった。また、マイクロモータに
ついていえば、その駆動源となる静電力はロータの表面
積に依存しており、この構造を小型化にすればするほど
ロータの表面積は小さくなり、その結果大きな回転力が
得られなくなってしまうという問題点があった。

【０００６】一方、微小な機械に対しては摩擦力の影響
が通常の大きさの機械に比べると常に大きいため、振動
体を用いた駆動方式が有効な動力源となりうることが知
られている。しかし、微小機械の動力として適した振動
の利用法はあまり提案されていない。

【０００７】そこで本発明は、振動体を利用することで
大きな駆動力が得られ、しかもリニア型のアクチュエー
タとした場合には大きな変位量が得られる小型アクチュ
エータを提供することを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
本発明の小型アクチュエータは、先端部が他の平板部材
に当接可能な片持ち梁が形成された基板と、前記基板を
前記片持ち梁の固有振動数と略等しい振動数で振動させ
るための励振手段とを有することを特徴とする。

【０００９】また、前記基板には、それぞれ固有振動数
が異なる４種類の片持ち梁が、互いに自由端の向きを逆
向きとした２種類ずつを互いに直交して配置されるとと
もに、前記励振手段は、前記基板を前記４種類の片持ち
梁のそれぞれの固有振動数で振動させるものとしたもの
であってもよいし、あるいは、前記基板には、それぞれ
固有振動数の異なる２種類の片持ち梁が複数個ずつ、互
いに自由端の向きを逆向きとして円周方向に配置されて
いるとともに、前記励振手段は、前記基板を前記２種類
の片持ち梁のそれぞれの固有振動数で振動させるものと
したものであってもよい。

【００１０】さらに、前記基板は単結晶シリコンからな
るものとしたり、前記励振手段を周波数可変のものとし
たものであってもよい。

【００１１】

【作用】上記のとおり構成された本発明の小型アクチュ
エータでは、基板を他の平板部材に載置して、励振手段
により片持ち梁の固有振動数と略等しい振動数で振動さ
せる。これにより片持ち梁は基板の振動と共振して固定
端を中心に大きく振動し、先端部で他の平板部材をたた
く。このとき他の平板部材には片持ち梁の自由端側から
固定端側に向かう向きの力が作用するとともに、基板と
他の平板部材との間に摩擦力が作用する。従って、他の
平板部材の位置を固定していれば、基板が片持ち梁の固
定端側から自由端側へ向かって移動するし、基板の向き
を上下逆向きにしてその位置を固定し基板上に平板部材
を載置すれば、平板部材が片持ち梁の自由端側から固定
端側へ向かって移動する。

【００１２】また、基板にはそれぞれ固有振動数が異な
る４種類の片持ち梁が、互いに自由端の向きを逆向きと
した２種類ずつを互いに直交して配置され、この基板を
４種類の片持ち梁のそれぞれの固有振動数で振動させる
ことで、この小型アクチュエータをｘｙステージに利用
できる。さらに、基板にはそれぞれ固有振動数の異なる
２種類の片持ち梁が複数個ずつ、互いに自由端の向きを
逆向きとして円周方向に配置され、この基板を２種類の
片持ち梁のそれぞれの固有振動数で振動させることで、
この小型アクチュエータをマイクロモータに利用でき
る。

【００１３】

【実施例】次に、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。

【００１４】（第１実施例）図１は、本発明の小型アク
チュエータの第１実施例の平面図である。この小型アク
チュエータは図１に示すように、それぞれ固有振動数が
異なる４種類の片持ち梁２、３、４、５が５つずつ形成
された基板１と、基板１の中央部に固定された励振手段
としての、厚み方向に分極した圧電体６とで構成され
る。各片持ち梁２、３、４、５のうち、自由端が−ｘ方
向に向かって延びる５つの片持ち梁２の固有振動数はそ
れぞれｆ１で、自由端が＋ｘ方向に向かって延びる５つ
の片持ち梁３の固有振動数はそれぞれｆ２となってい
る。また、自由端が＋ｙ方向に向かって延びる５つの片
持ち梁４の固有振動数はそれぞれｆ３で、自由端が−ｙ
方向に向かって延びる５つの片持ち梁５の固有振動数は
それぞれｆ４となっている。

【００１５】各片持ち梁２、３、４、５のうち固有振動
数がｆ１の片持ち梁２の形状は、図２に示すように、そ
の中間部の厚みｔが基板１の厚みに対して薄く形成され
ている。その他の片持ち梁３、４、５の形状についても
同様であり、各片持ち梁２、３、４、５は、中間部の厚
みｔを変えたり梁の長さＬを変えること等により、それ
ぞれの固有振動数を変えている。

【００１６】また、基板１としては、金属あるいは合金
材料や高分子材料等、薄板状に形成される材料を使用す
ることが可能であり、各片持ち梁２、３、４、５の形成
方法としても、放電加工やレーザ加工やエッチング技術
を利用することができる。この中でも、上述したように
多数個の微細な片持ち梁２、３、４、５を寸法精度よく
形成するためには、基板１としてシリコンウエハを用
い、エッチング技術により各片持ち梁２、３、４、５を
形成するのが最も適している。

【００１７】さらに、圧電体６には出力周波数が可変な
交流電源（不図示）が電気的に接続されている。この交
流電源により圧電体６に交流電圧を印加すること、その
周波数に応じた周波数で圧電体６が振動し、それに伴っ
て基板１が振動する構成となっている。

【００１８】上述した構成に基づき、圧電体６を上方に
向けた状態で基板１を平板部材としての基台（不図示）
上に載置しておき、交流電源により基板１を例えば周波
数ｆ１で振動させると、基板１の振動に伴って各片持ち
梁２、３、４、５もその固定端を中心に振動し（図２に
おいて矢印Ｂ方向）、それぞれの先端部で基台をたた
く。この際、各片持ち梁２、３、４、５の中でも固有振
動数がｆ１の片持ち梁２が基板１の振動と共振し、他の
片持ち梁３、４、５よりも大きな振幅で振動するので、
基台には固有振動数がｆ１の片持ち梁２による力が最も
強く作用することになる。固有振動数がｆ１の片持ち梁
２が振動してその先端部が基台をたたくことにより、固
有振動数がｆ１の片持ち梁２は図２において右斜め下向
きの力を基台に作用させる。ところが、基板１は非常に
軽く、しかも基台は固定されているものなので、この片
持ち梁２は基台からの反作用を受け、また基台との摩擦
力により基板１自体が図２において左方に移動すること
になる。すなわち、図１においては基板１は−ｘ方向に
移動することになる。このとき、上述したように基板１
は非常に軽く、それにより基台との摩擦力の影響も大き
くなるので、基板１の駆動力は大きいものとなる。

【００１９】同様に、固有振動数がｆ２の片持ち梁３を
共振させることにより基板１は＋ｘ方向に移動する。さ
らに、固有振動数がｆ３の片持ち梁４を共振させること
により基板１は＋ｙ方向に移動し、固有振動数がｆ４の
片持ち梁５を共振させることにより基板１は−ｙ方向に
移動する。これらの移動を適宜組み合せることで基板１
をｘｙ方向に任意に移動させることができ、この小型ア
クチュエータをｘｙステージとして使用することが可能
となる。しかも、この小型アクチュエータの駆動源は一
つでよいので、その構造が簡単になるし、制御も容易で
ある。

【００２０】次に、本実施例の小型アクチュエータの製
造方法の一例について説明する。

【００２１】基板１としては、大きさが１２ｍｍ×８ｍ
ｍ、厚さが５２５μｍの（１００）方位のシリコンウエ
ハを用い、まず、その基板１の一方の面の、中央部の圧
電体固定部位および各梁形成予定部位を、それぞれＫＯ
Ｈ水溶液により厚み２００μｍまでエッチングした。次
に、基板１の両面にＬＰＣＶＤ法によりＳｉ−Ｎ膜を
０．１５μｍの厚みで形成し、両面のＳｉ−Ｎ膜にそれ
ぞれ各片持ち梁２、３、４、５のくり抜きパターンを形
成する。そして、Ｓｉ−Ｎ膜をマスクとして基板１の両
面からＫＯＨ水溶液により各片持ち梁２、３、４、５の
外形を形成する。各片持ち梁２、３、４、５の外形が形
成されたら、基板１の全体を熱酸化し基板１の端面を酸
化膜で保護した後、基板１の他方の面の、各片持ち梁
２、３、４、５の中間部となる部位のＳｉ−Ｎ膜を除去
し、これら各部位をＫＯＨ水溶液でエッチングする。こ
れにより、図２に示した形状で各片持ち梁２、３、４、
５が形成される。

【００２２】このようにして形成された各片持ち梁２、
３、４、５の形状は以下のとおりとした。すなわち、図
３に示す幅ａが２００μｍ、先端部の凸部の長さｂが１
００μｍ、厚みｔが５０μｍである。また、各片持ち梁
２、３、４、５の固有振動数は、それぞれ梁の長さＬが
異なるものとすることで変えており、Ｌの値をそれぞれ
３００μｍ、３２０μｍ、３４０μｍ、３７０μｍとし
た。

【００２３】各片持ち梁２、３、４、５が形成された
ら、圧電体固定部位に、厚み方向に分極した圧電体６と
して、大きさが２ｍｍ×３ｍｍ、厚みが０．５ｍｍのＰ
ＺＴ圧電体をエポキシ系接着剤により接着固定した。

【００２４】以上のようにして作製された小型アクチュ
エータを、圧電体６を上方に向けて基台上に載置し、圧
電体６に各片持ち梁２、３、４、５の固有振動数に対応
する交流電圧を印加することで、小型アクチュエータは
基台上を自由に移動した。ちなみに、各片持ち梁２、
３、４、５の共振周波数は、梁の長さＬが３００μｍの
ものでは５９ｋＨｚ、梁の長さＬが３２０μｍのもので
は４５ｋＨｚ、梁の長さＬが３４０μｍのものでは３６
ｋＨｚ、梁の長さＬが３７０μｍのものでは２７ｋＨｚ
であった。また、この小型アクチュエータを上下逆向き
にしてその端部を固定し、さらに基板１上に薄板を載置
することにより、この薄板をｘｙ方向に任意に移動させ
ることもでき、薄板をｘｙステージとして使用すること
もできる。

【００２５】基板１を振動させるときの基板１の周波数
は、用いる励起手段や電源により使用可能な範囲に設定
できることはもちろんであるが、これが可聴帯域である
と騒音の発生源となるので、可聴帯域外であることが望
ましい。

【００２６】本実施例では、同じ固有振動数の片持ち梁
をそれぞれ５つずつ形成したものの例を示したが、これ
に限らず、同じ固有振動数の片持ち梁の数は必要に応じ
て増減することができる。

【００２７】（第２実施例）図４は、本発明の小型アク
チュエータの第２実施例の断面図であり、図５は、図４
に示した小型アクチュエータの基板を下方から見た図で
ある。本実施例においては、基板１１は図５に示すよう
に円盤状の部材であり、基板１１には、それぞれ固有振
動数が異なる２種類の片持ち梁１２、１３が複数個ず
つ、基板１の円周方向に沿って、かつ一つおきに配置さ
れているとともに、円環状の溝１１ａが形成されてい
る。各片持ち梁１２、１３の形状はそれぞれ第１実施例
のものと同様の形状であり、それぞれ自由端の向きが互
いに逆向きとなっている。また、各片持ち梁１２、１３
の梁の長さＬ（図２参照）を互いに異なるものとするこ
とで、それぞれの固有振動数を変えている。

【００２８】また、図４に示すように固定台２０は、そ
の中央部に、基板１１の各片持ち梁１２、１３が形成さ
れている部位にはめ込まれて各片持ち梁１２、１３の先
端部と接触する円形状の中央凸部２０ａが形成されてい
るとともに、外周部には、基板１１の溝１１ａにはめ込
まれる円環状の外周凸部２０ｂが形成されている。これ
により、基板１１は固定台２０に回転自在に支持される
構成となっている。

【００２９】一方、基板１１の図示上面にはパイレック
スガラス板１７が接合されている。パイレックスガラス
板１７の中央部の、基板１１との対向面には、基板１１
の各片持ち梁１２、１３が形成されている部位の面積よ
りも大きな面積の凹部１７ａが形成されている。この凹
部１７ａ内において、基板１１とパイレックスガラス板
１７との対向面には、それぞれ励振手段としての電極１
８、１９が設けられている。各電極１８、１９は、外部
で出力周波数が可変な交流電源（不図示）と電気的に接
続されており、この交流電源により各電極１８、１９に
交流電圧を印加すると、その周波数に応じて基板１１の
中央部が振動する構成となっている。各電極１８、１９
にかえて、導電性を有する基板を用いたり、表面が導体
化された基板を用いてもよい。

【００３０】上述した構成に基づき、交流電源により各
電極１８、１９に交流電圧を印加し、一方の片持ち梁１
２を共振させる振動を基板１１に与えると、第１実施例
で述べた原理と同様の原理により基板１１は矢印Ｃ方向
（図５参照）に回転する。また、他方の片持ち梁１３を
共振させる振動を基板１１に与えることにより、基板１
１は矢印Ｄ方向に回転する。これにより、この小型アク
チュエータをマイクロモータとして使用することが可能
となる。

【００３１】次に、本実施例の小型アクチュエータの製
造方法の一例について説明する。

【００３２】基板１１としては、厚さが５２５μｍの
（１００）方位のシリコンウエハを用い、まず、その基
板１１の一方の面の、中央部の片持ち梁形成予定部位を
円形状におよびその外方を円環状に、それぞれＫＯＨ水
溶液により厚み３００μｍまでエッチングして中央部の
凹部および溝１１ａを形成した。次に、基板１１の両面
にＬＰＣＶＤ法によりＳｉ−Ｎ膜を０．１５μｍの厚み
で形成し、第１実施例と同様の工程により基板１１の中
央部の凹部に各片持ち梁１２、１３を形成する。

【００３３】このようにして形成された各片持ち梁１
２、１３の形状は以下のとおりとした。すなわち、図３
に示す幅ａが１００μｍ、先端部の凸部の長さｂが１０
０μｍ、厚みｔが１００μｍである。また、各片持ち梁
１２、１３の固有振動数は、それぞれ梁の長さＬが異な
るものとすることで変えており、Ｌの値をそれぞれ２４
０μｍ、２８０μｍとした。

【００３４】各片持ち梁１２、１３が形成されたら、基
板１１の他方の面に、真空蒸着法により厚みが０．１μ
ｍのＡｌ膜を成膜し、電極１９を形成する。

【００３５】一方、厚みが１ｍｍのパイレックスガラス
板１７の中央部をフッ酸でエッチングして深さが２μｍ
の凹部１７ａを形成する。その後、この凹部１７ａの底
壁に、真空蒸着法およびフォトリソグラフィ法により厚
みが０．１μｍのＡｌ膜を成膜し、電極１８を形成す
る。

【００３６】そして、電極１９が形成された基板１１と
電極１８が形成されたパイレックスガラス板１７とを、
各電極１８、１９を互いに対向させて陽極接合法により
接合する。これを、予め中央凸部２０ａおよび外周凸部
２０ｂが形成された固定台２０にはめ込むことで、本実
施例の小型アクチュエータが作製される。実際的には、
例えば直径が４インチの基板に複数のパターンを形成
し、複数の小型アクチュエータを一枚の基板に同時に作
製する方法が用いられる。そしてこの基板は、パイレッ
クスガラスが接合されてから所定の部位でダイシングソ
ーにより切断されて一つ一つに分離される。

【００３７】以上のようにして小型アクチュエータを作
製し、各電極１８、１９に各片持ち梁１２、１３の固有
振動数に対応する交流電圧を印加することで、基板１１
は固定台２０に対して任意の方向に回転した。ちなみ
に、各片持ち梁１２、１３の共振周波数は、梁の長さＬ
が２４０μｍのものでは１２０ｋＨｚ、梁の長さＬが２
８０μｍのものでは７５ｋＨｚであった。

【００３８】以上説明した各実施例では、励振手段とし
て圧電体に交流電圧を印加するものや対向電極間に交流
電圧を印加するものの例を示したが、これに限られるも
のではない。

【００３９】例えば、図６に示すように、片持ち梁（不
図示）を形成した基板２１の外周部に、スペーサ２３を
介してパイレックスガラス板等からなる板部材２４を接
合し、基板２１の板部材２４との対向面の中央部に永久
磁石２２を固定するとともに、板部材２４の図示上面に
コイル状導体２５を設けたものが挙げられる。この場
合、コイル状導体２５に交流電圧を印加することにより
基板２１の中央部が振動し、その振動により片持ち梁を
共振させることで、この小型アクチュエータは片持ち梁
の固定端側から自由端側に向かう向きに移動する。そし
て、片持ち梁を図１に示したものと同様に直交配置する
ことでｘｙステージとして利用できるし、図５に示した
ものと同様に円周方向に向かって配置することでマイク
ロモータ用のロータとして利用できる。

【００４０】さらに、励振手段としては図７に示すよう
に積層型のピエゾ素子３２を用いたものでもよい。この
場合は、片持ち梁（不図示）が形成された基板３１は、
その外周部において複数の積層型のピエゾ素子３２を介
して板部材３４に接合されており、各ピエゾ素子３２に
交流電圧を印加して各ピエゾ素子３２を伸縮させること
で基板３１の中央部が振動する。これにより、図６に示
したものと同様にこの小型アクチュエータをｘｙステー
ジとして利用したりマイクロモータ用のロータとして利
用できる。

【００４１】

【発明の効果】本発明は以上説明したとおり構成されて
いるので、以下に記載する効果を奏する。

【００４２】片持ち梁が形成された基板と、この基板を
片持ち梁の固有振動数と略等しい振動数で振動させる励
振手段とを有という簡単な構造で、基板の振動に伴う片
持ち梁の共振を利用して基板と他の平板部材とを相対的
に移動させる小型アクチュエータを得ることができる。
また、基板と平板部材のうち移動される物体が軽量だと
他方の物体との摩擦力の影響が大きくなるので、静電力
を利用した小型アクチュエータに比較して大きな駆動力
が得られる。さらに、移動される物体の移動方向は片持
ち梁の形成方向によって決まるので、基板を振動させる
だけで移動される物体は所定の方向に移動され、制御も
容易である。

【００４３】また、それぞれ固有振動数が異なる４種類
の片持ち梁が、互いに自由端の向きを逆向きとした２種
類ずつを互いに直交して配置された基板を用い、この基
板を４種類の片持ち梁のそれぞれの固有振動数で振動さ
せることで、この小型アクチュエータをｘｙステージに
利用することができる。この場合には、移動される物体
の移動量は特に制限されないので、大きな移動量のｘｙ
ステージを得ることができる。

【００４４】さらに、それぞれ固有振動数の異なる２種
類の片持ち梁が複数個ずつ、互いに自由端の向きを逆向
きとして円周方向に配置され他基板を用い、この基板を
２種類の片持ち梁のそれぞれの固有振動数で振動させる
ことで、この小型アクチュエータをマイクロモータに利
用することができる。

【００４５】加えて、基板を単結晶シリコンからなるも
のとすることで、片持ち梁の形成をフォトリソグラフィ
技術を用いて行なうことができ、寸法精度のよい片持ち
梁を形成することができる。これは特に、多数個の片持
ち梁を形成する場合に有効である。

【００４６】そして、励振手段を周波数可変のものとす
ることで、複数種の振動数で基板を振動させることを一
つの励振手段で行なうことができ、基板にそれぞれ異な
る複数種の固有振動数を有する片持ち梁を形成した場合
の小型アクチュエータの制御をより容易にすることがで
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の小型アクチュエータの第１実施例の平
面図である。

【図２】図１に示した小型アクチュエータのＡ−Ａ線断
面図である。

【図３】図１に示した小型アクチュエータの片持ち梁の
拡大斜視図である。

【図４】本発明の小型アクチュエータの第２実施例の断
面図である。

【図５】図４に示した小型アクチュエータの基板を下方
から見た図である。

【図６】本発明の小型アクチュエータの励振手段として
電磁力を利用したものを用いた場合の、小型アクチュエ
ータの側面図である。

【図７】本発明の小型アクチュエータの励振手段として
ピエゾ素子を利用したものを用いた場合の、小型アクチ
ュエータの側面図である。

【図８】静電力を用いた従来の櫛歯型リニアアクチュエ
ータの平面図である。

【図９】静電力を用いた従来のマイクロモータの斜視図
である。

【符号の説明】

１、１１、２１、３１ 基板 ２、３、４、５、１２、１３ 片持ち梁 ６ 圧電体 １１ａ 溝 １７ パイレックスガラス板 １８、１９ 電極 ２０ 固定台 ２０ａ 中央凸部 ２０ｂ 外周凸部 ２２ 永久磁石 ２３ スペーサ ２４、３４ 板部材 ２５ コイル状導体 ３２ ピエゾ素子

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 先端部が他の平板部材に当接可能な片持
   ち梁が形成された基板と、 前記基板を前記片持ち梁の固有振動数と略等しい振動数
   で振動させるための励振手段とを有することを特徴とす
   る小型アクチュエータ。
2. 【請求項２】 前記基板には、それぞれ固有振動数が異
   なる４種類の片持ち梁が、互いに自由端の向きを逆向き
   とした２種類ずつを互いに直交して配置されるととも
   に、 前記励振手段は、前記基板を前記４種類の片持ち梁のそ
   れぞれの固有振動数で振動させるものとした請求項１に
   記載の小型アクチュエータ。
3. 【請求項３】 前記基板には、それぞれ固有振動数の異
   なる２種類の片持ち梁が複数個ずつ、互いに自由端の向
   きを逆向きとして円周方向に配置されているとともに、 前記励振手段は、前記基板を前記２種類の片持ち梁のそ
   れぞれの固有振動数で振動させるものとした請求項１に
   記載の小型アクチュエータ。
4. 【請求項４】 前記基板は単結晶シリコンからなる請求
   項１、２、または３に記載の小型アクチュエータ。
5. 【請求項５】 前記励振手段を周波数可変のものとした
   請求項１、２、３または４に記載の小型アクチュエー
   タ。