JP3207488B2 - 超音波アクチュエータ - Google Patents
超音波アクチュエータInfo
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は圧電素子または電歪素子
の伸縮運動を利用した超音波振動により移動体を摩擦駆
動させる超音波アクチュエータに関する。
の伸縮運動を利用した超音波振動により移動体を摩擦駆
動させる超音波アクチュエータに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来は、図１０に示すように、円環型の
振動体１に圧電素子を固定していた。そして、振動体１
は振動体支持部材３で支持していた。移動体６は中心軸
９と一体であった。また、図１１に示すように、円板型
の振動体１を用いた超音波モータが知られていた。例え
ば特開昭５９−９６８８１号公報ならびに特開昭６０−
１７４０７８号公報にこのような従来の構造が開示され
ている。
振動体１に圧電素子を固定していた。そして、振動体１
は振動体支持部材３で支持していた。移動体６は中心軸
９と一体であった。また、図１１に示すように、円板型
の振動体１を用いた超音波モータが知られていた。例え
ば特開昭５９−９６８８１号公報ならびに特開昭６０−
１７４０７８号公報にこのような従来の構造が開示され
ている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来の超音波
モータの構造では、たとえば図１０に示すような円環型
の振動体１を有する構造によると、圧電素子２によって
励振されたたわみ進行波が振動の節部をもたないために
振動体支持部材３により少なからず振動を減衰させるこ
とになるため、全体として電気−機械変換効率を低下さ
せることにつながる。また、図１１に示すような円板型
の振動体１を有する構造によると、振動体１の半径方向
に対して２次の振動モードで励振させているために固定
部材４で半径２か所にて固定支持できるが、本発明が対
象としているような小型、薄型タイプの超音波アクチュ
エータの場合には、節部の位置のバラツキや支持面積お
よび支持力の大小により前記同様な効率の低下を生じる
とか、２次の振動モードで励振させている関係上駆動周
波数が数１００ｋＨｚを越えるために回路効率の低下を
きたすなどの課題を有していた。
モータの構造では、たとえば図１０に示すような円環型
の振動体１を有する構造によると、圧電素子２によって
励振されたたわみ進行波が振動の節部をもたないために
振動体支持部材３により少なからず振動を減衰させるこ
とになるため、全体として電気−機械変換効率を低下さ
せることにつながる。また、図１１に示すような円板型
の振動体１を有する構造によると、振動体１の半径方向
に対して２次の振動モードで励振させているために固定
部材４で半径２か所にて固定支持できるが、本発明が対
象としているような小型、薄型タイプの超音波アクチュ
エータの場合には、節部の位置のバラツキや支持面積お
よび支持力の大小により前記同様な効率の低下を生じる
とか、２次の振動モードで励振させている関係上駆動周
波数が数１００ｋＨｚを越えるために回路効率の低下を
きたすなどの課題を有していた。
【０００４】そこで、この発明の目的は、小型、薄型で
低い周波数で駆動でき、効率の良い超音波アクチュエー
タを得ることである。
低い周波数で駆動でき、効率の良い超音波アクチュエー
タを得ることである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、この発明は、超音波アクチュエータにおいて、板状
で、一方の面に少なくとも一つの突起部材をそれぞれが
有する複数の振動体と、各振動体に接合された圧電素子
と、各振動体もしくは圧電素子を支持するための振動体
支持部材と、振動体支持部材を固定するための固定部材
と、各振動体の突起部材のすべての上に加圧接触された
移動体と、各振動体上の突起部材に移動体を加圧接触す
るための加圧手段と、移動体を前記突起部材にならって
回転させるための移動体回転案内手段とを有する構成と
した。
に、この発明は、超音波アクチュエータにおいて、板状
で、一方の面に少なくとも一つの突起部材をそれぞれが
有する複数の振動体と、各振動体に接合された圧電素子
と、各振動体もしくは圧電素子を支持するための振動体
支持部材と、振動体支持部材を固定するための固定部材
と、各振動体の突起部材のすべての上に加圧接触された
移動体と、各振動体上の突起部材に移動体を加圧接触す
るための加圧手段と、移動体を前記突起部材にならって
回転させるための移動体回転案内手段とを有する構成と
した。
【０００６】
【作用】上記のように構成された超音波アクチュエータ
においては、複数の板状の振動体の一方向には、それぞ
れ少なくとも１つの突起部材が設けられ、下面には電極
パターン部を有する分極処理された圧電素子が各々接着
されている。各振動体および圧電素子は、振動体支持部
材によりそれぞれ支持されるとともに固定部材に固定さ
れている。移動体は突起部材にならって回転可能となる
ように、移動体回転案内手段により回転案内されている
とともに加圧手段により突起部材の上に加圧接触されて
いる。さらに、移動体回転案内手段は固定部材に固定支
持されている。
においては、複数の板状の振動体の一方向には、それぞ
れ少なくとも１つの突起部材が設けられ、下面には電極
パターン部を有する分極処理された圧電素子が各々接着
されている。各振動体および圧電素子は、振動体支持部
材によりそれぞれ支持されるとともに固定部材に固定さ
れている。移動体は突起部材にならって回転可能となる
ように、移動体回転案内手段により回転案内されている
とともに加圧手段により突起部材の上に加圧接触されて
いる。さらに、移動体回転案内手段は固定部材に固定支
持されている。
【０００７】ここで、複数の振動体および圧電素子にそ
れぞれ高周波電圧を印加すると圧電素子の伸縮運動によ
って、振動体および圧電素子に屈曲振動が生じる。振動
体の中心部よりわずかにずらした位置に配された２個の
突起部材はお互いに偶力を発生するため、その上に加圧
接触された移動体は移動体回転案内を中心に回転運動を
生じることになる。
れぞれ高周波電圧を印加すると圧電素子の伸縮運動によ
って、振動体および圧電素子に屈曲振動が生じる。振動
体の中心部よりわずかにずらした位置に配された２個の
突起部材はお互いに偶力を発生するため、その上に加圧
接触された移動体は移動体回転案内を中心に回転運動を
生じることになる。
【０００８】
【実施例】以下に本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。図１および図２は、本発明の超音波アクチュエー
タの第一実施例の断面図および平面図である。図３は、
本発明の超音波アクチュエータの第一実施例のブロック
図である。
する。図１および図２は、本発明の超音波アクチュエー
タの第一実施例の断面図および平面図である。図３は、
本発明の超音波アクチュエータの第一実施例のブロック
図である。
【０００９】図１〜図３において、複数の板状の振動体
１の一方向には、それぞれ少なくとも１つの突起部材５
が設けられ、下面には電極パターン部を有する分極処理
された圧電素子２が各々接着されている。各振動体１お
よび圧電素子２は、振動体支持部材３によりそれぞれ支
持されるとともに固定部材４に固定されている。この
際、振動体支持部材３は固定部材４と一体でも別体でも
かまわない。移動体６は突起部材５にならって回転可能
となるように、移動体回転案内手段８により回転案内さ
れているとともに加圧手段７により突起部材５の上に加
圧接触されている。さらに、移動体回転案内手段８は、
固定部材４に固定支持されている。
１の一方向には、それぞれ少なくとも１つの突起部材５
が設けられ、下面には電極パターン部を有する分極処理
された圧電素子２が各々接着されている。各振動体１お
よび圧電素子２は、振動体支持部材３によりそれぞれ支
持されるとともに固定部材４に固定されている。この
際、振動体支持部材３は固定部材４と一体でも別体でも
かまわない。移動体６は突起部材５にならって回転可能
となるように、移動体回転案内手段８により回転案内さ
れているとともに加圧手段７により突起部材５の上に加
圧接触されている。さらに、移動体回転案内手段８は、
固定部材４に固定支持されている。
【００１０】図４は、本発明の超音波アクチュエータの
振動体支持状態の第一実施例を示した断面図である。図
４（ａ）は、圧電素子２に電圧を印加しない状態の断面
図である。圧電素子２は、振動体１に接着してある。圧
電素子２は厚み方向に分極されている。振動体１は、両
端を振動体支持部材３により固定支持されている。この
状態で２個の振動体１および圧電素子２にそれぞれ高周
波電圧を印加すると圧電素子２の伸縮運動によって振動
体１および圧電素子２に屈曲振動を生じ、加える高周波
電圧の極性の変動に対応して、図４（ｂ）あるいは図４
（ｃ）に示すように振動する。ここで、図２に示すよう
に、振動体１の中心部よりわずかにずらした位置に配さ
れた２個の突起部材は、突起部材の傾いた方向へ移動体
を動かす力を発生する。これによってお互いに偶力を発
生するため、その上に加圧接触させられた移動体６は移
動体回転案内手段８を中心に回転運動を生じることにな
る。 図５は、本発明の超音波アクチュエータの振動体
支持状態の第二実施例を示した断面図である。図６は、
本発明の超音波アクチュエータの振動体支持状態の第三
実施例を示した断面図である。図５において、分極処理
された圧電素子２ａと圧電素子２ｂが接着された振動体
１は、中心部を振動体支持部材３により固定支持されて
いる。図６において、分極処理された圧電素子２ａと圧
電素子２ｂが接着された振動体１は、両端と圧電素子２
ａと圧電素子２ｂの間の三点を振動体支持部材３により
固定支持されている。
振動体支持状態の第一実施例を示した断面図である。図
４（ａ）は、圧電素子２に電圧を印加しない状態の断面
図である。圧電素子２は、振動体１に接着してある。圧
電素子２は厚み方向に分極されている。振動体１は、両
端を振動体支持部材３により固定支持されている。この
状態で２個の振動体１および圧電素子２にそれぞれ高周
波電圧を印加すると圧電素子２の伸縮運動によって振動
体１および圧電素子２に屈曲振動を生じ、加える高周波
電圧の極性の変動に対応して、図４（ｂ）あるいは図４
（ｃ）に示すように振動する。ここで、図２に示すよう
に、振動体１の中心部よりわずかにずらした位置に配さ
れた２個の突起部材は、突起部材の傾いた方向へ移動体
を動かす力を発生する。これによってお互いに偶力を発
生するため、その上に加圧接触させられた移動体６は移
動体回転案内手段８を中心に回転運動を生じることにな
る。 図５は、本発明の超音波アクチュエータの振動体
支持状態の第二実施例を示した断面図である。図６は、
本発明の超音波アクチュエータの振動体支持状態の第三
実施例を示した断面図である。図５において、分極処理
された圧電素子２ａと圧電素子２ｂが接着された振動体
１は、中心部を振動体支持部材３により固定支持されて
いる。図６において、分極処理された圧電素子２ａと圧
電素子２ｂが接着された振動体１は、両端と圧電素子２
ａと圧電素子２ｂの間の三点を振動体支持部材３により
固定支持されている。
【００１１】この状態で図２及び図５、図６において移
動体６の回転中心に対してほぼ点対称となる位置に配置
された２個の振動体１および圧電素子２ａに高周波電圧
を印加すると、振動体１および圧電素子２ａの屈曲振動
によって、２個の突起部材５ａはお互いに偶力を発生す
るため、図には示していない移動体を一方向の回転運動
に変換する。ここで、印加する高周波電圧を別の対とな
る振動体１および圧電素子２ｂに切り換えると、突起部
材５ｂがお互いに偶力を発生するように屈曲振動を発生
するため、移動体の回転方向は逆方向に変わる。従っ
て、高周波電圧を印加する圧電素子２ａおよび２ｂを選
択的に切り換えることにより、回転方向が任意に切り換
え可能な超音波アクチュエータが実現できるのである。
動体６の回転中心に対してほぼ点対称となる位置に配置
された２個の振動体１および圧電素子２ａに高周波電圧
を印加すると、振動体１および圧電素子２ａの屈曲振動
によって、２個の突起部材５ａはお互いに偶力を発生す
るため、図には示していない移動体を一方向の回転運動
に変換する。ここで、印加する高周波電圧を別の対とな
る振動体１および圧電素子２ｂに切り換えると、突起部
材５ｂがお互いに偶力を発生するように屈曲振動を発生
するため、移動体の回転方向は逆方向に変わる。従っ
て、高周波電圧を印加する圧電素子２ａおよび２ｂを選
択的に切り換えることにより、回転方向が任意に切り換
え可能な超音波アクチュエータが実現できるのである。
【００１２】なお、図５に示すような振動体支持状態に
おいては、振動体１の中心部のみを振動体支持部材３が
固定支持しているため、振動体１の両端部が変位最大と
なるような屈曲振動を示し、振動体１および圧電素子２
の共振周波数は下がるが、励振力は弱いため、移動体か
ら得られる回転力は比較的小さくなる。これに対して、
図６に示すような振動体支持状態においては、振動体１
の両端と圧電素子２ａと圧電素子２ｂの間の三点を振動
体支持部材３が固定支持しているため、振動体１の各支
持部材の中間点において変位最大となるような屈曲振動
を示す。これによれば、振動体１および圧電素子２の共
振周波数は上がるが、励振力は高くなるため、移動体か
ら得られる回転力は大きくなる。
おいては、振動体１の中心部のみを振動体支持部材３が
固定支持しているため、振動体１の両端部が変位最大と
なるような屈曲振動を示し、振動体１および圧電素子２
の共振周波数は下がるが、励振力は弱いため、移動体か
ら得られる回転力は比較的小さくなる。これに対して、
図６に示すような振動体支持状態においては、振動体１
の両端と圧電素子２ａと圧電素子２ｂの間の三点を振動
体支持部材３が固定支持しているため、振動体１の各支
持部材の中間点において変位最大となるような屈曲振動
を示す。これによれば、振動体１および圧電素子２の共
振周波数は上がるが、励振力は高くなるため、移動体か
ら得られる回転力は大きくなる。
【００１３】図７は、本発明の超音波アクチュエータの
第四実施例の平面図である。図７において、本発明の超
音波アクチュエータの第一実施例との相違点は、３枚の
板状の振動体１ａ、１ｂ、１ｃを三角形状に配置し、振
動体支持部材３ａ、３ｂ、３ｃにて隣合う振動体同志を
支持している点である。この際、各振動体の裏面には同
形状の圧電素子が接合されている。また、３枚の振動体
１ａ、１ｂ、１ｃにはそれぞれ各振動体の中央部から右
側より、あるいは左側よりに突起部材５ａ、５ｂ、５ｃ
を配置しており、先の実施例同様に移動体を加圧接触し
て回転運動するようにしている。このような三角形の形
状をとることにより、移動体と振動体との接触する部分
が３か所となるため、第一実施例に示したように２点で
接する場合に比べて安定した回転運動が得られることに
なる。
第四実施例の平面図である。図７において、本発明の超
音波アクチュエータの第一実施例との相違点は、３枚の
板状の振動体１ａ、１ｂ、１ｃを三角形状に配置し、振
動体支持部材３ａ、３ｂ、３ｃにて隣合う振動体同志を
支持している点である。この際、各振動体の裏面には同
形状の圧電素子が接合されている。また、３枚の振動体
１ａ、１ｂ、１ｃにはそれぞれ各振動体の中央部から右
側より、あるいは左側よりに突起部材５ａ、５ｂ、５ｃ
を配置しており、先の実施例同様に移動体を加圧接触し
て回転運動するようにしている。このような三角形の形
状をとることにより、移動体と振動体との接触する部分
が３か所となるため、第一実施例に示したように２点で
接する場合に比べて安定した回転運動が得られることに
なる。
【００１４】図８は、本発明の超音波アクチュエータの
第五実施例の平面図である。図８において、本発明の超
音波アクチュエータの第四実施例との相違点は、板状の
振動体の数を４枚にしたのとともに、各振動体の中間点
に図６に示したような振動体支持部材３ｅ〜３ｈならび
に各振動体の中心部を対称とした位置に２つの突起部材
５ａ〜５ｈを設けた点である。このような構造とするこ
とにより、先の超音波アクチュエータの第四実施例と同
様に、振動体と移動体との接触点が４か所となるため安
定した回転運動が得られるとともに、高周波電圧を印加
する圧電素子を切り換えることによって、移動体の回転
方向が任意に切り換えられることが可能となる。
第五実施例の平面図である。図８において、本発明の超
音波アクチュエータの第四実施例との相違点は、板状の
振動体の数を４枚にしたのとともに、各振動体の中間点
に図６に示したような振動体支持部材３ｅ〜３ｈならび
に各振動体の中心部を対称とした位置に２つの突起部材
５ａ〜５ｈを設けた点である。このような構造とするこ
とにより、先の超音波アクチュエータの第四実施例と同
様に、振動体と移動体との接触点が４か所となるため安
定した回転運動が得られるとともに、高周波電圧を印加
する圧電素子を切り換えることによって、移動体の回転
方向が任意に切り換えられることが可能となる。
【００１５】図９は、本発明の超音波アクチュエータの
第六実施例の平面図である。図９において、本発明の超
音波アクチュエータの第一実施例、第四実施例、第五実
施例との相違点は振動体の構造にある。振動体１ａ〜１
ｄと振動体支持部材を同一材料上で形成しているのが特
徴である。すなわち、一枚の平板に中心部に穴部１０ａ
を設けるとともに、振動体１ａ〜１ｄが振動体支持部材
と両端で支持されて機能するように穴部１０ｂ〜１０ｅ
を設ける。図９においては、穴部１０ａは、ほぼ正方形
であるが本発明では円形でも多角形でも良い。突起部材
５ａ〜５ｄは、穴部１０ａの各辺の中央よりも頂点に近
づいた位置付近に設ける。穴部１０ｂ〜１０ｅは突起部
材５ａ〜５ｄをつないで支持できる領域を除いた部分に
設ける。この場合、穴部でなく外周切欠部を設けても良
い。
第六実施例の平面図である。図９において、本発明の超
音波アクチュエータの第一実施例、第四実施例、第五実
施例との相違点は振動体の構造にある。振動体１ａ〜１
ｄと振動体支持部材を同一材料上で形成しているのが特
徴である。すなわち、一枚の平板に中心部に穴部１０ａ
を設けるとともに、振動体１ａ〜１ｄが振動体支持部材
と両端で支持されて機能するように穴部１０ｂ〜１０ｅ
を設ける。図９においては、穴部１０ａは、ほぼ正方形
であるが本発明では円形でも多角形でも良い。突起部材
５ａ〜５ｄは、穴部１０ａの各辺の中央よりも頂点に近
づいた位置付近に設ける。穴部１０ｂ〜１０ｅは突起部
材５ａ〜５ｄをつないで支持できる領域を除いた部分に
設ける。この場合、穴部でなく外周切欠部を設けても良
い。
【００１６】このような構成とすることにより、振動体
および振動体支持部材は平板をエッチングや他の穴あけ
加工するのみで実現できるのとともに、圧電素子につい
ても薄膜形成手段かゾルゲル法、印刷法などを用いて直
接振動体に接合することによって、従来には見られない
量産性に富んだ超微細な超音波アクチュエータが実現で
きることになる。
および振動体支持部材は平板をエッチングや他の穴あけ
加工するのみで実現できるのとともに、圧電素子につい
ても薄膜形成手段かゾルゲル法、印刷法などを用いて直
接振動体に接合することによって、従来には見られない
量産性に富んだ超微細な超音波アクチュエータが実現で
きることになる。
【００１７】以上のように、本発明の超音波アクチュエ
ータは、板状の振動体の数にかかわらず容易に実現する
ことが可能となるのとともに、正逆転切り換えも容易に
実現できるという特徴を有することになる。なお、本発
明の超音波アクチュエータの応用としては、例えば、電
子時計のモータに用いれば、磁気の影響を受けない、低
速高トルクのため輪列歯車数の削減、保持トルクが強い
ために外乱の影響を受けにくい等の従来にない可能性が
生じることになる。また、従来では不可能であった医療
分野等での応用も可能となり、体内で動作する超音波ア
クチュエータも実現できる。
ータは、板状の振動体の数にかかわらず容易に実現する
ことが可能となるのとともに、正逆転切り換えも容易に
実現できるという特徴を有することになる。なお、本発
明の超音波アクチュエータの応用としては、例えば、電
子時計のモータに用いれば、磁気の影響を受けない、低
速高トルクのため輪列歯車数の削減、保持トルクが強い
ために外乱の影響を受けにくい等の従来にない可能性が
生じることになる。また、従来では不可能であった医療
分野等での応用も可能となり、体内で動作する超音波ア
クチュエータも実現できる。
【００１８】
【発明の効果】本発明による超音波アクチュエータによ
れば、板状で一方の面に少なくとも一つの突起部材をそ
れぞれが有する複数の振動体と、各振動体に接合された
圧電素子と、各振動体もしくは圧電素子を支持するため
の振動体支持部材と、振動体支持部材を固定するための
固定部材と、各振動体の突起部材の上に加圧接触された
移動体と、各振動体の突起部材に移動体を加圧接触する
ための加圧手段と、移動体を前記突起部材にならって回
転させるための移動体回転案内手段とを有するという簡
単な構成で、小型、薄型な構造で駆動周波数が低く抑え
られるとともに、高効率化が図れるという効果がある。
さらに、エッチングやメッキ等の加工技術によっても振
動体を含むステータが実現できるので、超微細なアクチ
ュエータが容易に製造できるという効果もある。
れば、板状で一方の面に少なくとも一つの突起部材をそ
れぞれが有する複数の振動体と、各振動体に接合された
圧電素子と、各振動体もしくは圧電素子を支持するため
の振動体支持部材と、振動体支持部材を固定するための
固定部材と、各振動体の突起部材の上に加圧接触された
移動体と、各振動体の突起部材に移動体を加圧接触する
ための加圧手段と、移動体を前記突起部材にならって回
転させるための移動体回転案内手段とを有するという簡
単な構成で、小型、薄型な構造で駆動周波数が低く抑え
られるとともに、高効率化が図れるという効果がある。
さらに、エッチングやメッキ等の加工技術によっても振
動体を含むステータが実現できるので、超微細なアクチ
ュエータが容易に製造できるという効果もある。
【００１９】従ってマイクロメカトロニクス分野での超
音波モータの利用が可能となる。
音波モータの利用が可能となる。
【図１】本発明の超音波アクチュエータの第一実施例の
断面図である。
断面図である。
【図２】本発明の超音波アクチュエータの第一実施例の
平面図である。
平面図である。
【図３】本発明の超音波アクチュエータの第一実施例の
ブロック図である。
ブロック図である。
【図４】本発明の超音波アクチュエータの振動体支持状
態の第一実施例を示した断面図である。
態の第一実施例を示した断面図である。
【図５】本発明の超音波アクチュエータの振動体支持状
態の第二実施例を示した断面図である。
態の第二実施例を示した断面図である。
【図６】本発明の超音波アクチュエータの振動体支持状
態の第三実施例を示した断面図である。
態の第三実施例を示した断面図である。
【図７】本発明の超音波アクチュエータの第四実施例の
平面図である。
平面図である。
【図８】本発明の超音波アクチュエータの第五実施例の
平面図である。
平面図である。
【図９】本発明の超音波アクチュエータの第六実施例の
平面図である。
平面図である。
【図１０】従来の超音波モータの断面図である。
【図１１】従来の他の超音波モータの断面図である。
１、１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄ 振動体 ２、２ａ、２ｂ 圧電素子 ３、３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄ、３ｅ、３ｆ、３ｇ、３ｈ
振動体支持部材 ４ 固定部材 ５、５ａ、５ｂ、５ｃ、５ｄ、５ｅ、５ｆ、５ｇ、５ｈ
突起部材 ６ 移動体 ７ 加圧手段 ８ 移動体回転案内手段 ９ 中心軸
振動体支持部材 ４ 固定部材 ５、５ａ、５ｂ、５ｃ、５ｄ、５ｅ、５ｆ、５ｇ、５ｈ
突起部材 ６ 移動体 ７ 加圧手段 ８ 移動体回転案内手段 ９ 中心軸
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H02N 2/00
Claims (4)
- 【請求項１】 分極処理された圧電素子を一方の面に、
他方の面に突起部材を有し、前記圧電素子に電圧を印加
することで伸縮運動する複数の板状の振動体と、 前記振動体の両端を固定支持する振動体支持部材と、 前記振動体の突起部材上に、加圧手段により加圧接触さ
れ、前記振動体の屈曲振動により回転する移動体とを有
し、前記振動体は単一の定在波で駆動され、前記突起部
材は前記定在波の腹と節の間に設けられていることを特
徴とする超音波アクチュエータ。 - 【請求項２】 分極処理された圧電素子を一方の面に、
他方の面に突起部材を有し、前記圧電素子に電圧を印加
することで伸縮運動する複数の板状の振動体と、 前記振動体の中心部を固定支持する振動体支持部材と、 前記振動体の突起部材上に、加圧手段により加圧接触さ
れ、前記振動体の屈曲振動により回転する移動体とを有
し、前記振動体は単一の定在波で駆動され、前記突起部
材は前記定在波の腹と節の間に設けられていることを特
徴とする超音波アクチュエータ。 - 【請求項３】 前記圧電素子及び前記突起部材を複数有
し、電圧を印加する圧電素子を切り換えることで、前記
移動体の回転方向を逆方向に変えることを特徴とする請
求項１又は請求項２に記載の超音波アクチュエータ。 - 【請求項４】 一枚の平板な板状でその中心部に穴部を
設け、分極処理された複数の圧電素子を一方の面に、他
方の面に複数の突起部材を有し、前記圧電素子に電圧を
印加することで伸縮運動する振動体と、 前記振動体を固定支持する振動体支持部材と、 前記振動体の突起部材上に、加圧手段により加圧接触さ
れ、前記振動体の屈曲振動により回転する移動体とを有
し、前記振動体は単一の定在波で駆動され、前記突起部
材は前記定在波の腹と節の間に設けられていることを特
徴とする超音波アクチュエータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06211692A JP3207488B2 (ja) | 1992-03-18 | 1992-03-18 | 超音波アクチュエータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06211692A JP3207488B2 (ja) | 1992-03-18 | 1992-03-18 | 超音波アクチュエータ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05268776A JPH05268776A (ja) | 1993-10-15 |
| JP3207488B2 true JP3207488B2 (ja) | 2001-09-10 |
Family
ID=13190769
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP06211692A Expired - Fee Related JP3207488B2 (ja) | 1992-03-18 | 1992-03-18 | 超音波アクチュエータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3207488B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4704537B2 (ja) * | 2000-01-31 | 2011-06-15 | セイコーインスツル株式会社 | 超音波モータ及び超音波モータ付き電子機器 |
-
1992
- 1992-03-18 JP JP06211692A patent/JP3207488B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05268776A (ja) | 1993-10-15 |
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Legal Events
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