JP2004263689A - 分子真空ポンプ用の振動ポンピングステージおよび振動ポンピングステージを備えた分子真空ポンプ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】マイクロ電気機械振動ポンピングステージは、シリコン基板15を備え、基板に対する振動を提供するために、基板上に、振動膜と膜制御装置とを有する単層または多層振動アセンブリ27;127;227;327が形成されている。分子真空ポンプは、この振動ポンピングステージを組み込んでいる。
【選択図】図1a
Description
詳細には、本発明は、MEMS(マイクロ電気機械システム)の製造に用いられる技術により得られるマイクロ電気機械振動ポンピングステージに関する。
さらに、本発明は、振動MEMSポンピングステージを利用した分子真空ポンプに関する。
ヴァンデン・ブランデらは、一方側が脱気すべきチャンバに吸気ポートを介して連通し、他方側が外部環境に排気ポートを介して連通するボックスの内部に一組の交互配列の双極子を配置することによって、分子真空ポンプを製造することを教示している。さらに、この特許の教示によると、双極子は、前記ボックスの内壁と一体的な各支持体に取り付けられた圧電素子により得られる。
彼らの教示に従って真空ポンプを製造する試みがなされたが、不本意な結果が得られた。特に、開示された原則に基づく真空ポンプの動作に要するパワーは、達成可能な結果に対比して過大であることが判明した。
上記およびその他の目的は、添付の特許請求の範囲に請求されているマイクロ電気機械ポンピングステージおよび真空ポンプにより達成される。
公知のように、「MEMS」という用語は、シリコン基板上に機械部材、センサ、駆動装置、関連電子装置を集積した小型化電気機械システムを意味する。通常、MEMS部材は、選択的にシリコンをエッチングしてシリコンウェーハの選択部分を除去したり、新たな構成層を付加して機械的/電気機械的部材を形成したりするマイクロ加工プロセスによって得られる。この技術により、マイクロ駆動装置などの完全システムをチップ上に形成することができる。
以下、添付の図面を参照しながら、非限定的な例示として本発明の典型的な実施形態を説明する。
この実施形態によると、平板状の弾性振動膜121が、支持ベース15に形成されたキャビティ13上方に懸架されている。
膜121は、略矩形であり、支持ベース15に形成されたキャビティ13を取り囲む周縁部に、膜121の短辺側の2つの矩形の取付領域123a、123bにおいて取り付けられている。
支持ベース15は、従来のエッチング技術によりキャビティ13が形成されたシリコン基板またはウェーハであることが好ましい。
金属製制御電極21が、キャビティ13内部において底部19に接して配置されており、この金属製制御電極21には、キャビティ13の側壁25に対して折り曲げられた側方延長部23が設けられている。この側方延長部23は、支持ベース15の周縁部17を部分的に覆い、対応する接触領域27を形成している。
接触領域27、127に印加される電圧信号を周期的に中断すると、膜121の振動が得られる。特に、前記信号が、膜121の共振周波数とは異なる周波数を有する正弦波形である場合、膜121は信号周波数において振動し始める。
典型的な実施形態において、制御電極21および振動膜121のそれぞれにおける接触領域27、127により構成される端子に印加される電圧は、約100Vである。
さらに、SiO2やSi3N4などの誘電体で形成された膜は、膜振動を電界で制御できるように金属層を2つの誘電層で挟んだサンドイッチ構造(誘電体−金属−誘電体)を有する。
本発明の典型的な実施形態において、膜121は、表面が100μm×20μmで、厚さが1μmである。
さらに、膜121は、振動中にベース15から脱離しないように、充分に広い固定領域123a、123bを有している。例えば、100μm×20μm×1μmの膜の場合、固定領域は、表面が少なくとも20μm×20μmであることが好ましい。
図1aおよび図1bに示されている素子と同一の素子は省略されている図2を参照して、本発明の第2の実施形態が示されており、この実施形態において、振動ポンピングステージは、2つの平行な長手方向のビーム221a、221bと横方向の中央ビーム221cとを備えた略H字形状平板状の弾性膜により得られる。
この様な構成により、H字形状の膜は、ねじり振動が付与され、高共振周波数と大振幅とを得ることができる。
H字形状の膜221の横方向のビーム221cにより引き起こされる周囲の気体分子の偏向は、屈曲にさらされる単一膜の場合よりも増幅される。中央の横方向のビーム221cは、このアセンブリの共振周波数が極度に低下しないように、軽量かつ肉薄であることが好ましい。
この実施形態によれば、アセンブリ321は、略S字形状の弾性部材またはサスペンションスプリング333により支持されている略剛性の膜331を備えており、弾性部材またはサスペンションスプリング333は、膜331の両端323a、323bの下方に配置されている。
本発明の第4の実施形態を示す図4を参照して、膜331は、充分な剛性を有するトレリス(格子)構造を提供するために、開口部329を有することが好ましく、膜が、遊動状態に保持されている平面に略平行に振動する。
膜331は、振動中において略平面的に保たれ、結果的に、屈曲のために膜の限られた一部分のみが最適な偏向を有する前記の他の構成で発生する事象とは対照的に、全膜表面が、気体分子を同様に偏向させる。
典型的な実施形態において、多層アセンブリ321は、以下のような寸法を有している。
膜厚: 1μm
振動表面長: 15〜25μm
スプリング長: 2〜3μm
アセンブリ厚: 5μm
スプリング厚: 0.5μm
好ましいことに、本発明によれば、振動ポンピングセットは、上記のように、複数の振動ポンピングステージを結合することによって形成することができる。例えば、これらのポンピングステージを同一の平面内に配置して、得るべきポンピング容量により、例えば、ディスク形状など、大小の表面を有する異なる幾何学的形状を形成することができる。ポンピングステージ間の間隔は、振動アセンブリの種類によって異なるが、数マイクロメートル程度、例えば3μmである。
図5において、参照番号51は、円筒形のケーシングを表し、その内部に、ディスク形状の部材55a、55b、55cからなるポンピングセットが配置されており、これらディスク形状部材55a、55b、55cは、前記の図面を参照しながら説明した実施形態の1つにより形成された複数のマイクロ電気機械ポンピングステージを担持している。
管状ケーシング51は、第1の端部53aおよび第2の端部53bを有する。第1の端部53aは、ポンピングされる気体の吸気ポートに対応し、脱気すべきチャンバに接続される。第2の端部53bは、排気ポートに対応し、好ましくは前ポンプを介して外部環境に接続される。
さらに、前記ポンピング装置は、電源用の1対の導線を導出する集積ユニットを形成するために、ディスク形状部材55a、55b、55c上で電気的に相互接続されていることが好ましい。
振動表面による気体分子に対するポンピング作用は、実質的に、ケーシング51内の分子経路に付与された指向性振動によって与えられる。
振動表面が、前方、すなわち、排気側端部53bに向かって移動すると、振動表面が静止状態にある場合よりも大量の分子を捉え、後方、すなわち、吸気側に向かって移動すると、少量の分子を捉える。
好ましい実施形態において、分子ポンプは、各ポンピングユニットを形成する多数のディスク形状の偏向部材55を収容する多数のケーシング51を備えている。
さらに、各ポンピングユニット55は、独立制御可能であり、ポンプ性能を測定することによって振動表面の振動速度および振幅を変更可能な制御装置または「フィードバック」装置を介してモニタされる。
開示された例示において、膜振動は、静電気力を利用して、静止支持体と一体的な電極に膜を周期的に近接移動することによって得られる。しかし、電磁場を利用して膜を移動することもでき、この様な電磁場はより大きな力を発生することができる。
Claims (20)
- 支持ベース(15;15’)と、
前記支持ベース(15;15’)に取り付けられた振動アセンブリ(121;221;321)であって、この振動アセンブリの振動中に周囲の気体分子を偏向させる能動表面を備えた振動アセンブリと、
前記振動アセンブリを振動させ、結果的に前記気体分子の偏向を起こすために、前記支持ベース(15;15’)上に配置された制御装置(21)とを備えた真空ポンプ用の振動ポンピングステージ。 - 前記支持ベース(15;15’)が、シリコンウェーハを備えた請求項1に記載の振動ポンピングステージ。
- 前記制御装置(21)が、前記支持ベース(15;15’)と前記振動アセンブリ(121;221;321)との間に配置されている請求項2に記載の振動ポンピングステージ。
- 前記制御装置(21)が電極であり、前記支持ベースに対して前記振動アセンブリの振動を発生させるために、前記電極と前記振動アセンブリとの間に可変電界が印加される請求項3に記載の振動ポンピングステージ。
- 前記電界を正弦波信号により発生させ、前記正弦波信号が前記振動アセンブリの共振周波数に近い周波数を有する請求項4に記載の振動ポンピングステージ。
- 前記電極を収容するキャビティ(13)が、前記支持ベース内において前記振動アセンブリの下方に形成されている請求項5に記載の振動ポンピングステージ。
- 前記振動アセンブリが、平板状の弾性膜である請求項6に記載の振動ポンピングステージ。
- 前記膜が略矩形であり、前記矩形の短辺側に相当するその端部(123a,123b)において前記支持ベースに取り付けられている請求項7に記載の振動ポンピングステージ。
- 前記膜が、略H字形状であり、その4つの端部(223a,223b)において前記支持ベースに取り付けられている請求項7に記載の振動ポンピングステージ。
- 前記膜が、前記キャビティ(13)を取り囲む周縁部(17)に沿って前記支持ベースに取り付けられており、これによって、前記膜が前記キャビティの上方に懸架されている請求項9に記載の振動ポンピングステージ。
- 前記膜が、前記周縁部に部分的に重なる側方延長部(125)を備え、対応する第1の接触領域(127)を形成し、前記電極が、前記支持ベース(15)の周縁部(17)に部分的に重なる様な側方延長部(23)を備え、対応する第2の接触領域(27)を形成する請求項10に記載の振動ポンピングステージ。
- 前記正弦波信号が、前記第1および第2の接触領域に印加されて前記振動アセンブリと前記制御装置との間に可変電界を生成し、前記電界が、前記アセンブリを振動させる請求項11に記載の振動ポンピングステージ。
- 前記振動アセンブリが、前記膜(331)と前記支持ベースとの間に配置された、弾性部材またはサスペンションスプリング(333)により支持されている剛性膜(331)を備え、前記弾性部材が、前記支持ベースに取り付けられている請求項4に記載の振動ポンピングステージ。
- 前記膜および前記支持ベースが、略直方体直線形状である請求項13に記載の振動ポンピングステージ。
- 前記弾性部材が、S字形状である請求項14に記載の振動ポンピングステージ。
- 前記膜が、開口部(329)を有し、充分剛性のあるトレリス構造を形成し、前記膜が、遊動状態に保持されている平面に略平行に振動する請求項14に記載の振動ポンピングステージ。
- 吸気ポート(53a)および排気ポート(53b)を有する円筒ケーシング(51)を備え、
前記ケーシングが、少なくとも1つのディスク形状の振動ポンピングセットを収容しており、
前記ポンピングセットが、少なくとも1つの振動ポンピングステージを備えており、
前記少なくとも1つの振動ポンピングステージが、支持ベース(15;15’)と、前記支持ベース(15;15’)に取り付けられた振動アセンブリ(121;221;321)と、前記支持ベース(15;15’)と前記振動アセンブリ(121;221;321)との間に配置された制御装置(21)とを有する分子真空ポンプ。 - 前記少なくとも1つのディスク形状のポンピングセットが、複数の振動ポンピングステージを備えている請求項17に記載の分子真空ポンプ。
- 前記ディスク形状の振動ポンピングセット(55)が、前記円筒ケーシング(51)の軸に垂直に配置され、前記ディスク形状の振動ポンピングセットと前記ケーシングとの間に気体通路用の自由環状部が設けられている請求項18に記載の分子真空ポンプ。
- 前記ケーシングが、気体流のための非線形のダクトである請求項19に記載の分子真空ポンプ。
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