JPH0627552B2 - ダイヤフラム弁 - Google Patents
ダイヤフラム弁Info
- Publication number
- JPH0627552B2 JPH0627552B2 JP1091477A JP9147789A JPH0627552B2 JP H0627552 B2 JPH0627552 B2 JP H0627552B2 JP 1091477 A JP1091477 A JP 1091477A JP 9147789 A JP9147789 A JP 9147789A JP H0627552 B2 JPH0627552 B2 JP H0627552B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- diaphragm
- valve
- push rod
- rod
- piston
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Fluid-Driven Valves (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は、IC製造装置の配管ラインに使用されるダイ
ヤフラム弁に関する。
ヤフラム弁に関する。
(従来の技術) 弁箱の弁座部を弁棒の先端で押して弁の閉鎖を得る型式
のダイヤフラム弁に代り、近年弁箱内のデッドスペース
を小さくして内部を流れるガスの置換性を良くする為
に、弁棒を無くし、ダイヤフラムの裏面を直接弁箱の弁
座に押し当てることで弁の閉鎖を行うダイヤフラム弁が
開発され、使用に供されている。
のダイヤフラム弁に代り、近年弁箱内のデッドスペース
を小さくして内部を流れるガスの置換性を良くする為
に、弁棒を無くし、ダイヤフラムの裏面を直接弁箱の弁
座に押し当てることで弁の閉鎖を行うダイヤフラム弁が
開発され、使用に供されている。
この種のダイヤフラム弁は、第4図に示す如くダイヤフ
ラム3の上面をエアーシリンダー7のピストンロッド5
の先端で押し込むか、或いは第5図に示す如くダイヤフ
ラム3の上面をエアーシリンダー7のピストンロッド5
と分離されたダイヤフラム押し棒4で押し込むかして、
弁座シート2にダイヤフラム3の裏面を押し当てるもの
で、ダイヤフラム3とピストンロッド5の先端及びダイ
ヤフラム3とダイヤフラム押し棒4の先端とは夫々分離
されており、弁開動作時にはエアーシリンダー7内のピ
ストン8の復元によりピストン8がダイヤフラム3の押
し込みを停止し、ダイヤフラム3の上面から離れると同
時にダイヤフラム3自身が有するばね力でダイヤフラム
3は弁座シート2から離れ、復元するのである。
ラム3の上面をエアーシリンダー7のピストンロッド5
の先端で押し込むか、或いは第5図に示す如くダイヤフ
ラム3の上面をエアーシリンダー7のピストンロッド5
と分離されたダイヤフラム押し棒4で押し込むかして、
弁座シート2にダイヤフラム3の裏面を押し当てるもの
で、ダイヤフラム3とピストンロッド5の先端及びダイ
ヤフラム3とダイヤフラム押し棒4の先端とは夫々分離
されており、弁開動作時にはエアーシリンダー7内のピ
ストン8の復元によりピストン8がダイヤフラム3の押
し込みを停止し、ダイヤフラム3の上面から離れると同
時にダイヤフラム3自身が有するばね力でダイヤフラム
3は弁座シート2から離れ、復元するのである。
(発明が解決しようとする課題) ところでダイヤフラム弁は主にIC製造装置の配管ライ
ンに使用されるものであるから、弁閉鎖時の弁座シート
2からのガスの漏洩に対しては極めて厳格であり、10
-8Torrl/sec以下の漏洩量に抑えることが要求される。
ンに使用されるものであるから、弁閉鎖時の弁座シート
2からのガスの漏洩に対しては極めて厳格であり、10
-8Torrl/sec以下の漏洩量に抑えることが要求される。
このような条件下で、前記従来のダイヤフラム弁は、弁
閉鎖時ピストンロッド5或いはダイヤフラム押し棒4に
回転の自由度が無く、例えば加工時弁座シート2が水平
に加工できず、僅か乍ら傾斜が生じてしまうとピストン
ロッド5又はダイヤフラム押し棒4の先端面は弁座シー
ト2と平行な状態でダイヤフラム3を押し込まなければ
弁座シート2とダイヤフラム3の裏面は十分に密着する
ことができず、前述の厳格なガス漏洩値を守ることがで
きない。
閉鎖時ピストンロッド5或いはダイヤフラム押し棒4に
回転の自由度が無く、例えば加工時弁座シート2が水平
に加工できず、僅か乍ら傾斜が生じてしまうとピストン
ロッド5又はダイヤフラム押し棒4の先端面は弁座シー
ト2と平行な状態でダイヤフラム3を押し込まなければ
弁座シート2とダイヤフラム3の裏面は十分に密着する
ことができず、前述の厳格なガス漏洩値を守ることがで
きない。
従って従来のダイヤフラム弁は、前述の厳格なガス漏洩
値を守る為、弁箱1の弁座シート2の加工時、上面の水
平度に厳密さが要求され、ボンネット6の中心穴とピス
トンロッド5或いはダイヤフラム押し棒4との厳しい滑
合公差が要求され、高い加工精度が要求される。さらに
ボンネット6とピストンロッド5或いはダイヤフラム押
し棒4のクリアランスが小さくなる為、ピストンロッド
5やダイヤフラム押し棒4の作動時ボンネット6とステ
ック、焼付きによる故障等が生じ、円滑な作動が期待で
きなくなる。
値を守る為、弁箱1の弁座シート2の加工時、上面の水
平度に厳密さが要求され、ボンネット6の中心穴とピス
トンロッド5或いはダイヤフラム押し棒4との厳しい滑
合公差が要求され、高い加工精度が要求される。さらに
ボンネット6とピストンロッド5或いはダイヤフラム押
し棒4のクリアランスが小さくなる為、ピストンロッド
5やダイヤフラム押し棒4の作動時ボンネット6とステ
ック、焼付きによる故障等が生じ、円滑な作動が期待で
きなくなる。
さらに、ダイヤフラム3は単純に皿を伏した形状に成形
されたものが使用されている為、弁閉時、ダイヤフラム
3を弁座シート2へ圧着した際、その圧着部の外周側で
波打ち(しわ寄り)が発生した。即ち、弁開時傾斜状態
にあった外周側が、弁閉時平坦に変形させられる為に波
打ち(しわ寄り)が必然的に発生した。
されたものが使用されている為、弁閉時、ダイヤフラム
3を弁座シート2へ圧着した際、その圧着部の外周側で
波打ち(しわ寄り)が発生した。即ち、弁開時傾斜状態
にあった外周側が、弁閉時平坦に変形させられる為に波
打ち(しわ寄り)が必然的に発生した。
そこで本発明は、ダイヤフラムの裏面を弁座シートの上
面に均一に押し当てることができ、またダイヤフラム押
し棒のボンネットに対するステック、焼付きによる故障
等を避けることができ、さらにダイヤフラムの外周側に
波打ち(しわ寄り)が生じることのないダイヤフラム弁
を提供しようとするものである。
面に均一に押し当てることができ、またダイヤフラム押
し棒のボンネットに対するステック、焼付きによる故障
等を避けることができ、さらにダイヤフラムの外周側に
波打ち(しわ寄り)が生じることのないダイヤフラム弁
を提供しようとするものである。
(課題を解決するための手段) 上記課題を解決するための本発明のダイヤフラム弁は、
弁箱内部と弁開閉操作用エアーシリンダー部とを金属製
薄板のダイヤフラムにより隔離して、弁箱内部を清浄に
保つ型式のダイヤフラム弁で、且つエアーシリンダーの
ピストンによりピストンロッド下端と当接し弁箱内のボ
ンネットを摺動するダイヤフラム押し棒を介して前記ダ
イヤフラムの裏面を弁箱内部の弁座シート面に押し当て
ることにより、弁の閉鎖を行うダイヤフラム弁に於い
て、前記ダイヤフラムの中央部を平坦にし、その平坦部
の外周側に下面が上向きに陥み上面が上向きに突出する
断面円弧状の環状突出部を設け、弁の開動作時前記ダイ
ヤフラム押し棒を押し上げるスプリングを前記ボンネッ
トに内蔵し且つダイヤフラム押し棒の上部先端とピスト
ンロッドの先端との間でピボットを設けたことを特徴と
するものである。
弁箱内部と弁開閉操作用エアーシリンダー部とを金属製
薄板のダイヤフラムにより隔離して、弁箱内部を清浄に
保つ型式のダイヤフラム弁で、且つエアーシリンダーの
ピストンによりピストンロッド下端と当接し弁箱内のボ
ンネットを摺動するダイヤフラム押し棒を介して前記ダ
イヤフラムの裏面を弁箱内部の弁座シート面に押し当て
ることにより、弁の閉鎖を行うダイヤフラム弁に於い
て、前記ダイヤフラムの中央部を平坦にし、その平坦部
の外周側に下面が上向きに陥み上面が上向きに突出する
断面円弧状の環状突出部を設け、弁の開動作時前記ダイ
ヤフラム押し棒を押し上げるスプリングを前記ボンネッ
トに内蔵し且つダイヤフラム押し棒の上部先端とピスト
ンロッドの先端との間でピボットを設けたことを特徴と
するものである。
上述の如く構成された本発明のダイヤフラム弁は、ダイ
ヤフラム押し棒の上部先端とピストンロッドの先端との
間にピボットが設けられており且つダイヤフラム押し棒
の外周面とボンネットの内周面との間には比較的大きな
間隙を有するので、ピストンロッドの下降を介してダイ
ヤフラム押し棒が下降し、ダイヤフラムの平坦部を弁座
シートに押し込んだ時、例え弁座シートの上面がダイヤ
フラム押し棒に対し正確に直角になるように組立てられ
ていなくとも、ダイヤフラム押し棒がダイヤフラムの平
坦部を弁座シートへ押し当てる過程で、ダイヤフラム押
し棒とボンネットとの間隙の範囲内でダイヤフラム押し
棒は弁座シートの傾斜に沿って回転することを許容し、
ダイヤフラムの平坦部を弁座シートに均一に押し当てる
ことになる。また弁箱内のボンネットにダイヤフラム押
し棒を押し上げるスプリングが内蔵されているので、弁
開動作時ダイヤフラム押し棒はスプリングにより押し上
げられ、ダイヤフラム押し棒の自重がダイヤフラムに乗
らないので、ダイヤフラムは僅かな復元力で確実に復元
することになる。さらに弁作動時ダイヤフラム押し棒は
真直に上下動するので、ダイヤフラム押し棒を案内する
ボンネットはダイヤフラム押し棒とのクリアランスを大
きくとることができ、従ってダイヤフラム押し棒のボン
ネットに対するステック、焼付きによる故障を避けるこ
とができる。またダイヤフラムの平坦部が弁座シートに
均一に押し当てられた際、下面が上向きに陥み上面が上
向きに突出する断面円弧状の環状突出部の幅が半径方向
で略水平にせばまるので、平坦部の外周側に波打ち(し
わ寄り)が生じることがない。しかも幅のせばまった環
状突出部には弾性復元力がたくわえられるので、弁開時
に環状突出部の幅が急速に拡げられ、従ってダイヤフラ
ムの上昇復帰が円滑且つ確実に行われる。
ヤフラム押し棒の上部先端とピストンロッドの先端との
間にピボットが設けられており且つダイヤフラム押し棒
の外周面とボンネットの内周面との間には比較的大きな
間隙を有するので、ピストンロッドの下降を介してダイ
ヤフラム押し棒が下降し、ダイヤフラムの平坦部を弁座
シートに押し込んだ時、例え弁座シートの上面がダイヤ
フラム押し棒に対し正確に直角になるように組立てられ
ていなくとも、ダイヤフラム押し棒がダイヤフラムの平
坦部を弁座シートへ押し当てる過程で、ダイヤフラム押
し棒とボンネットとの間隙の範囲内でダイヤフラム押し
棒は弁座シートの傾斜に沿って回転することを許容し、
ダイヤフラムの平坦部を弁座シートに均一に押し当てる
ことになる。また弁箱内のボンネットにダイヤフラム押
し棒を押し上げるスプリングが内蔵されているので、弁
開動作時ダイヤフラム押し棒はスプリングにより押し上
げられ、ダイヤフラム押し棒の自重がダイヤフラムに乗
らないので、ダイヤフラムは僅かな復元力で確実に復元
することになる。さらに弁作動時ダイヤフラム押し棒は
真直に上下動するので、ダイヤフラム押し棒を案内する
ボンネットはダイヤフラム押し棒とのクリアランスを大
きくとることができ、従ってダイヤフラム押し棒のボン
ネットに対するステック、焼付きによる故障を避けるこ
とができる。またダイヤフラムの平坦部が弁座シートに
均一に押し当てられた際、下面が上向きに陥み上面が上
向きに突出する断面円弧状の環状突出部の幅が半径方向
で略水平にせばまるので、平坦部の外周側に波打ち(し
わ寄り)が生じることがない。しかも幅のせばまった環
状突出部には弾性復元力がたくわえられるので、弁開時
に環状突出部の幅が急速に拡げられ、従ってダイヤフラ
ムの上昇復帰が円滑且つ確実に行われる。
本発明のダイヤフラム弁の一実施例を第1図によって説
明すると、1は弁箱で、流体入口通路1a、流体出口通
路1bを有していて、流体出口通路1bの入口周縁に弁
座シート2が設けられている。3はダイヤフラムで、そ
のダイヤフラム3の中央部を平坦にし、その平坦部の外
周側(弁開時傾斜している)に下面が上向きに陥み上面
が上向きに突出する断面円弧状の環状突出部3aを設
け、周縁部を弁箱1の円筒状垂直部1′内に装入された
シールリング9とボンネット6との間に締付挟持してい
る。4はダイヤフラム押し棒、ボンネット6の凹部6a
の底の中心穴6bに挿入されている。このダイヤフラム
押し棒4の上部先端周縁にはフランジ4aが設けられ、
このフランジ4aとボンネット6の凹部6aの底との間
でスプリング10がダイヤフラム押し棒4の外周に嵌装
されている。7はエアーシリンダーで、そのシリンダー
カバー7aが弁箱1の円筒状垂直部1′の外周へ螺合さ
れ、これによりボンネット6を介してダイヤフラム3の
周縁部がシールリング9に締付けられている。8はエア
ーシリンダー7のピストンで、そのピストンロッド5が
シリンダーカバー7aの中心穴7bを貫通していて、ピ
ストン8の外周の溝にはOリング11、ピストンロッド
5の外周の溝にはOリング12が夫々嵌着されて摺動部
がシールされている。ピストン8の上部ロッド13はエ
アーシリンダー7のインレットポート14に通ずる穴1
5に挿入され、上部ロッド13、ピストン8の中心にエ
アー通路16が設けられてエアーシリンダー7の下室1
7に連通されている。エアーシリンダー7の上室18に
はピストン8を下方に付勢するスプリング19が装入さ
れている。前記ダイヤフラム押し棒4の上部先端とピス
トンロッド5の先端との間にはピボット20が設けられ
ている。本例の場合、ピボット20は、ダイヤフラム押
し棒4の上部先端面中央に半球状の凸部21を設けて構
成し、ピストンロッド5の先端面と点接触させていて、
これによりダイヤフラム押し棒とボンネット6の中心穴
6bとの嵌合クリアランスの範囲内でダイヤフラム押し
棒4に回転の自由度が与えられている。
明すると、1は弁箱で、流体入口通路1a、流体出口通
路1bを有していて、流体出口通路1bの入口周縁に弁
座シート2が設けられている。3はダイヤフラムで、そ
のダイヤフラム3の中央部を平坦にし、その平坦部の外
周側(弁開時傾斜している)に下面が上向きに陥み上面
が上向きに突出する断面円弧状の環状突出部3aを設
け、周縁部を弁箱1の円筒状垂直部1′内に装入された
シールリング9とボンネット6との間に締付挟持してい
る。4はダイヤフラム押し棒、ボンネット6の凹部6a
の底の中心穴6bに挿入されている。このダイヤフラム
押し棒4の上部先端周縁にはフランジ4aが設けられ、
このフランジ4aとボンネット6の凹部6aの底との間
でスプリング10がダイヤフラム押し棒4の外周に嵌装
されている。7はエアーシリンダーで、そのシリンダー
カバー7aが弁箱1の円筒状垂直部1′の外周へ螺合さ
れ、これによりボンネット6を介してダイヤフラム3の
周縁部がシールリング9に締付けられている。8はエア
ーシリンダー7のピストンで、そのピストンロッド5が
シリンダーカバー7aの中心穴7bを貫通していて、ピ
ストン8の外周の溝にはOリング11、ピストンロッド
5の外周の溝にはOリング12が夫々嵌着されて摺動部
がシールされている。ピストン8の上部ロッド13はエ
アーシリンダー7のインレットポート14に通ずる穴1
5に挿入され、上部ロッド13、ピストン8の中心にエ
アー通路16が設けられてエアーシリンダー7の下室1
7に連通されている。エアーシリンダー7の上室18に
はピストン8を下方に付勢するスプリング19が装入さ
れている。前記ダイヤフラム押し棒4の上部先端とピス
トンロッド5の先端との間にはピボット20が設けられ
ている。本例の場合、ピボット20は、ダイヤフラム押
し棒4の上部先端面中央に半球状の凸部21を設けて構
成し、ピストンロッド5の先端面と点接触させていて、
これによりダイヤフラム押し棒とボンネット6の中心穴
6bとの嵌合クリアランスの範囲内でダイヤフラム押し
棒4に回転の自由度が与えられている。
このように構成されたダイヤフラム弁は、通常スプリン
グ19によりピストン8が下方に付勢され、ピストンロ
ッド5がピボット20を介してダイヤフラム押し棒4を
スプリング10に抗して押し下げ、ダイヤフラム押し棒
4の下部先端面がダイヤフラム3の平坦部の裏面を弁座
シート2の上面に均一に押し当てて弁を閉鎖している。
この弁閉鎖において、下面が上向きに陥み上面が上向き
に突出する断面円弧状の環状突出部3aの幅が半径方向
で略水平にせばまるので、平坦部の外周側に波打ち(し
わ寄り)が生じることがない。そして、ピストン8はO
リング11,12を介してエアーシリンダー7、シリン
ダーカバー7aから受ける拘束力により生じるピストン
ロッド5の傾斜移動があっても、ピボット20によりダ
イヤフラム押し棒4は斜めにダイヤフラム3を押し込む
ことが無い。
グ19によりピストン8が下方に付勢され、ピストンロ
ッド5がピボット20を介してダイヤフラム押し棒4を
スプリング10に抗して押し下げ、ダイヤフラム押し棒
4の下部先端面がダイヤフラム3の平坦部の裏面を弁座
シート2の上面に均一に押し当てて弁を閉鎖している。
この弁閉鎖において、下面が上向きに陥み上面が上向き
に突出する断面円弧状の環状突出部3aの幅が半径方向
で略水平にせばまるので、平坦部の外周側に波打ち(し
わ寄り)が生じることがない。そして、ピストン8はO
リング11,12を介してエアーシリンダー7、シリン
ダーカバー7aから受ける拘束力により生じるピストン
ロッド5の傾斜移動があっても、ピボット20によりダ
イヤフラム押し棒4は斜めにダイヤフラム3を押し込む
ことが無い。
閉鎖状態の弁を開くには、インレットポート14により
エアー通路16を通してエアーシリンダー7の下室17
へ圧力エアーを導入し、スプリング19に抗してピスト
ン8を上方に押し上げる。かくすることによりピストン
ロッド5の先端面にピボット20を介して接しているダ
イヤフラム押し棒4はスプリング10により上方に押し
上げられて、ダイヤフラム押し棒4の自重がダイヤフラ
ム3に乗らなくなり、その結果ダイヤフラム3は弁閉時
に幅がせばめられた環状突出部3aの弾性復元力により
円滑に且つ確実に上昇復帰し、弁が開かれる。
エアー通路16を通してエアーシリンダー7の下室17
へ圧力エアーを導入し、スプリング19に抗してピスト
ン8を上方に押し上げる。かくすることによりピストン
ロッド5の先端面にピボット20を介して接しているダ
イヤフラム押し棒4はスプリング10により上方に押し
上げられて、ダイヤフラム押し棒4の自重がダイヤフラ
ム3に乗らなくなり、その結果ダイヤフラム3は弁閉時
に幅がせばめられた環状突出部3aの弾性復元力により
円滑に且つ確実に上昇復帰し、弁が開かれる。
然して上記弁の開閉作動時、ダイヤフラム押し棒4を案
内するボンネット6はダイヤフラム押し棒4とのクリア
ランスを大きくとっているので、ダイヤフラム押し棒4
のボンネット6に対するステック、焼付きによる故障を
避けることができる。
内するボンネット6はダイヤフラム押し棒4とのクリア
ランスを大きくとっているので、ダイヤフラム押し棒4
のボンネット6に対するステック、焼付きによる故障を
避けることができる。
尚、上記実施例ではダイヤフラム押し棒4の上部先端と
ピストンロッド5の先端との間に設けたピボツト20が
ダイヤフラム押し棒4の上部先端面中央の半球状の凸部
21により構成しているが、これに限るものではなく、
逆に第2図に示す如くダイヤフラム押し棒4の上部先端
面をほ平坦にし、ピストンロッド5の先端面中央に半球
状の凸部22を設けて、これによりピボット20′を構
成しても良い。また第3図に示す如くダイヤフラム押し
棒4の上部先端面とピストンロッド5の先端面との間に
鋼球23を配して、これによりピボット20″を構成し
ても良い。この場合、ダイヤフラム押し棒4の上部先端
周縁には囲壁24を設けてピストンロッド5の先端部を
囲み、またピストンロッド5の先端面中央には円錐溝2
5を設けて鋼球23を嵌め移動しないようにしている。
ピストンロッド5の先端との間に設けたピボツト20が
ダイヤフラム押し棒4の上部先端面中央の半球状の凸部
21により構成しているが、これに限るものではなく、
逆に第2図に示す如くダイヤフラム押し棒4の上部先端
面をほ平坦にし、ピストンロッド5の先端面中央に半球
状の凸部22を設けて、これによりピボット20′を構
成しても良い。また第3図に示す如くダイヤフラム押し
棒4の上部先端面とピストンロッド5の先端面との間に
鋼球23を配して、これによりピボット20″を構成し
ても良い。この場合、ダイヤフラム押し棒4の上部先端
周縁には囲壁24を設けてピストンロッド5の先端部を
囲み、またピストンロッド5の先端面中央には円錐溝2
5を設けて鋼球23を嵌め移動しないようにしている。
以上の説明で判るように本発明のダイヤフラム弁は、ダ
イヤフラムを斜めに押し込むことが無く、ダイヤフラム
の裏面を弁座シートの上面に均一に押し当てて十分に密
着することができ、従ってIC製造装置の配管ラインの
弁として要求される厳格なガス漏洩値を守ることができ
る。また本発明のダイヤフラム弁は、ダイヤフラム押し
棒のボンネットに対するステック、焼付きによる障害等
を避けることができ、弁の開閉作動が常に円滑となる。
またダイヤフラムの平坦部が弁座シートに均一に押し当
てられた際、下面が上向きに陥み上面が上向きに突出す
る断面円弧状の環状突出部の幅が半径方向で略水平にせ
ばまるので、平坦部の外周側に波打ち(しわ寄り)が生
じることがない。しかも幅のせばまった環状突出部には
弾性復元力がたくわえられるので、弁開時に環状突出部
の幅が急速に拡げられ、従ってダイヤフラムの上昇復帰
が円滑且つ確実に行われる。
イヤフラムを斜めに押し込むことが無く、ダイヤフラム
の裏面を弁座シートの上面に均一に押し当てて十分に密
着することができ、従ってIC製造装置の配管ラインの
弁として要求される厳格なガス漏洩値を守ることができ
る。また本発明のダイヤフラム弁は、ダイヤフラム押し
棒のボンネットに対するステック、焼付きによる障害等
を避けることができ、弁の開閉作動が常に円滑となる。
またダイヤフラムの平坦部が弁座シートに均一に押し当
てられた際、下面が上向きに陥み上面が上向きに突出す
る断面円弧状の環状突出部の幅が半径方向で略水平にせ
ばまるので、平坦部の外周側に波打ち(しわ寄り)が生
じることがない。しかも幅のせばまった環状突出部には
弾性復元力がたくわえられるので、弁開時に環状突出部
の幅が急速に拡げられ、従ってダイヤフラムの上昇復帰
が円滑且つ確実に行われる。
第1図は本発明のダイヤフラム弁の一実施例を示す縦断
面図、第2図、第3図は夫々一部変更例を示す要部縦断
面図、第4図及び第5図は夫々従来のダイヤフラム弁を
示す縦断面図である。 1……弁箱、2……弁座シート、3……ダイヤフラム、
3a……環状突出部、4……ダイヤフラム押し棒、5…
…ピストンロッド、6……ボンネット、7……エアーシ
リンダー、8……ピストン、10……スプリング、2
0,20′,20″……ピボット
面図、第2図、第3図は夫々一部変更例を示す要部縦断
面図、第4図及び第5図は夫々従来のダイヤフラム弁を
示す縦断面図である。 1……弁箱、2……弁座シート、3……ダイヤフラム、
3a……環状突出部、4……ダイヤフラム押し棒、5…
…ピストンロッド、6……ボンネット、7……エアーシ
リンダー、8……ピストン、10……スプリング、2
0,20′,20″……ピボット
Claims (1)
- 【請求項1】弁箱内部と弁開閉操作用エアーシリンダー
部とを金属製薄板のダイヤフラムにより隔離して、弁箱
内部を清浄に保つ型式のダイヤフラム弁で、且つ前記エ
アーシリンダーのピストンによりピストンロッド下端と
当接し弁箱内のボンネットを摺動するダイヤフラム押し
棒を介して前記ダイヤフラムの裏面を弁箱内部の弁座シ
ート面に押し当てることにより、弁の閉鎖を行うダイヤ
フラム弁に於いて、前記ダイヤフラムの中央部を平坦に
し、その平坦部の外周側に下面が上向きに陥み上面が上
向きに突出する断面円弧状の環状突出部を設け、弁の開
動作時前記ダイヤフラム押し棒を押し上げるスプリング
を前記ボンネットに内蔵し、且つダイヤフラム押し棒上
部先端とピストンロッド先端との間でピボットを設けた
ことを特徴とするダイヤフラム弁。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1091477A JPH0627552B2 (ja) | 1989-04-11 | 1989-04-11 | ダイヤフラム弁 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1091477A JPH0627552B2 (ja) | 1989-04-11 | 1989-04-11 | ダイヤフラム弁 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02271168A JPH02271168A (ja) | 1990-11-06 |
JPH0627552B2 true JPH0627552B2 (ja) | 1994-04-13 |
Family
ID=14027482
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1091477A Expired - Lifetime JPH0627552B2 (ja) | 1989-04-11 | 1989-04-11 | ダイヤフラム弁 |
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JP (1) | JPH0627552B2 (ja) |
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1989
- 1989-04-11 JP JP1091477A patent/JPH0627552B2/ja not_active Expired - Lifetime
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JPH02271168A (ja) | 1990-11-06 |
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