JPS6367481A - ダイヤフラム弁 - Google Patents
ダイヤフラム弁Info
- Publication number
- JPS6367481A JPS6367481A JP21328786A JP21328786A JPS6367481A JP S6367481 A JPS6367481 A JP S6367481A JP 21328786 A JP21328786 A JP 21328786A JP 21328786 A JP21328786 A JP 21328786A JP S6367481 A JPS6367481 A JP S6367481A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- diaphragm
- valve
- stress
- valve body
- deflection
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000007769 metal material Substances 0.000 claims description 8
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 4
- 238000005452 bending Methods 0.000 abstract description 4
- 238000003825 pressing Methods 0.000 abstract description 2
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 abstract 2
- 230000000116 mitigating effect Effects 0.000 abstract 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 11
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 5
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 5
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 4
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 3
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 2
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 description 2
- 239000002923 metal particle Substances 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000005489 elastic deformation Effects 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 239000011882 ultra-fine particle Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Details Of Valves (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、ＬＳＩ或いは超ＬＳＩ製）肯装置の配管ライ
ンに使用される超タリンバルブとしてのダイヤフラム弁
の改良に関する。
ンに使用される超タリンバルブとしてのダイヤフラム弁
の改良に関する。
［従来の技術］
従来、この種のダイヤフラム弁としては、第５図に小寸
如き横）聞のものが使用されている。図中１は弁箱で、
本体２と益体３とより成る。本体２は流体人口４及び流
体出口５と弁室６とを連通する流路７及び８を備え、入
口側流路７の内端部に弁座９が形成されている。弁座９
と接離自在に対向して弁室６内に設けられた弁体１０は
、ばね部材１１により開方向に付勢されている。蓋体３
には軸方向に摺動可能な弁軸１２が設けられており、弁
軸１２の内端部はスペーサ１３を介して上記弁体１０と
対向している。弁体１０とスペーサ１３との間に介在す
るダイヤフラム１４は周縁部が本体２と蓋体３との間に
挟持されて弁箱１に支持されている。
如き横）聞のものが使用されている。図中１は弁箱で、
本体２と益体３とより成る。本体２は流体人口４及び流
体出口５と弁室６とを連通する流路７及び８を備え、入
口側流路７の内端部に弁座９が形成されている。弁座９
と接離自在に対向して弁室６内に設けられた弁体１０は
、ばね部材１１により開方向に付勢されている。蓋体３
には軸方向に摺動可能な弁軸１２が設けられており、弁
軸１２の内端部はスペーサ１３を介して上記弁体１０と
対向している。弁体１０とスペーサ１３との間に介在す
るダイヤフラム１４は周縁部が本体２と蓋体３との間に
挟持されて弁箱１に支持されている。
斯かる構造のダイヤフラム弁に於いて、弁軸１２を下方
へ押し下げると、弁軸１２の先端はスペーサ１３を介し
てダイヤフラム１４を下方へ押し下げ、この押し下げ力
は弁体１０をばね部材１１のばね力に抗して弁座９の方
向へ押し下げ、ついには弁体１０の下面が弁座９に圧着
され、流体入口４Ｉ：達する流路７と流体出口に達する
流路８が遮断され、内部流体の流れが止まる。弁軸１２
の押し下げ力を解放すると弁体１０はばね部材１１によ
り押し戻され、これによりダイヤフラム１４も押し戻さ
れ、さらにスペーサ１３及び弁＠１２が元位置に押し戻
される。この過程で弁体１０の下面は弁座９から離れ、
流路７と流路８が連通し、内部流体が弁中を流れる。
へ押し下げると、弁軸１２の先端はスペーサ１３を介し
てダイヤフラム１４を下方へ押し下げ、この押し下げ力
は弁体１０をばね部材１１のばね力に抗して弁座９の方
向へ押し下げ、ついには弁体１０の下面が弁座９に圧着
され、流体入口４Ｉ：達する流路７と流体出口に達する
流路８が遮断され、内部流体の流れが止まる。弁軸１２
の押し下げ力を解放すると弁体１０はばね部材１１によ
り押し戻され、これによりダイヤフラム１４も押し戻さ
れ、さらにスペーサ１３及び弁＠１２が元位置に押し戻
される。この過程で弁体１０の下面は弁座９から離れ、
流路７と流路８が連通し、内部流体が弁中を流れる。
上記ダイヤフラム弁の作動の過程で、蓋体３と弁軸１２
がこすれて金属粒子が下方に落下し、弁体１０の内部に
金属粒子が侵入するのをダイヤフラム１４は防止してい
るが、このダイヤフラム１４が通常の金属薄板であると
、弁体１０に必要とされるに十分な撓み但を与えること
ができない。もし弁体１０が必要とするストローク（リ
フト）に相当する撓み量をダイヤフラム１４に与えたと
すると、ダイヤフラム１４は塑性変形してしまい、撓み
がそのまま残ってしまうことになる。そこでこれを防止
する為にダイヤフラム１４の径を大きくすることが考え
られるが、これを実施すると、弁そのものが大きくなり
、ＬＳＩ或いは超ＬＳＩ製造装置の配管ラインに使用す
る弁としては不適当である。また塑性変形の無いゴム製
のダイヤフラムを用いることが考えられるが耐久性に劣
り、且つ劣化に伴う微細なゴム片の弁体内への落下等の
問題がある。
がこすれて金属粒子が下方に落下し、弁体１０の内部に
金属粒子が侵入するのをダイヤフラム１４は防止してい
るが、このダイヤフラム１４が通常の金属薄板であると
、弁体１０に必要とされるに十分な撓み但を与えること
ができない。もし弁体１０が必要とするストローク（リ
フト）に相当する撓み量をダイヤフラム１４に与えたと
すると、ダイヤフラム１４は塑性変形してしまい、撓み
がそのまま残ってしまうことになる。そこでこれを防止
する為にダイヤフラム１４の径を大きくすることが考え
られるが、これを実施すると、弁そのものが大きくなり
、ＬＳＩ或いは超ＬＳＩ製造装置の配管ラインに使用す
る弁としては不適当である。また塑性変形の無いゴム製
のダイヤフラムを用いることが考えられるが耐久性に劣
り、且つ劣化に伴う微細なゴム片の弁体内への落下等の
問題がある。
このようなことから、近時、弾性変形の可能な領域が大
きく、大きく変形させてもゴムの如く元に戻る性質を有
する超弾性金属材料で作られたダイヤフラムを備えた弁
が提案され（特開昭８０−２６３７９３号公報）、これ
により弁体の内面の接ガス部へ超微細粒子（パーティク
ル）が弁外部より侵入したり、或いは弁軸の摺動作用に
よりバッキング材の劣化や金属擦過によるゴム及び金属
粒子が接ガス部へ落ち込んだりするのを防止している。
きく、大きく変形させてもゴムの如く元に戻る性質を有
する超弾性金属材料で作られたダイヤフラムを備えた弁
が提案され（特開昭８０−２６３７９３号公報）、これ
により弁体の内面の接ガス部へ超微細粒子（パーティク
ル）が弁外部より侵入したり、或いは弁軸の摺動作用に
よりバッキング材の劣化や金属擦過によるゴム及び金属
粒子が接ガス部へ落ち込んだりするのを防止している。
［発明が解決しようとする問題点］
然し乍ら、斯かる従来のダイヤフラム弁に使用されてい
る超弾性金属材料より成るダイヤフラムも通常の金属と
同様疲労破壊の現象を免れることはできない。従って、
上記ダイヤフラムを備えたダイヤフラム弁でも弁の開閉
を１０５回も繰り返すと、金属疲労の為に破断してしま
うという欠点かあった。この為ダイヤフラム弁の寿命が
短く、保守が甚だ煩わしかった。
る超弾性金属材料より成るダイヤフラムも通常の金属と
同様疲労破壊の現象を免れることはできない。従って、
上記ダイヤフラムを備えたダイヤフラム弁でも弁の開閉
を１０５回も繰り返すと、金属疲労の為に破断してしま
うという欠点かあった。この為ダイヤフラム弁の寿命が
短く、保守が甚だ煩わしかった。
［発明の目的］
本発明は、上記問題点を解決すべくなされたものであり
、ダイヤフラムの径を小さいままにとどめ、且つこれが
疲労破壊を起さない応力レベルまでダイヤフラムの撓み
に伴う応力値を低下させて、寿命を増長し、保守の煩わ
しさを除去したダイヤフラム弁を提供することを目的と
するものである。
、ダイヤフラムの径を小さいままにとどめ、且つこれが
疲労破壊を起さない応力レベルまでダイヤフラムの撓み
に伴う応力値を低下させて、寿命を増長し、保守の煩わ
しさを除去したダイヤフラム弁を提供することを目的と
するものである。
［問題点を解決するための手段１
上記問題点を解決するための本発明のダイヤフラム弁は
、周縁部が弁箱に支持されて弁棒と弁体との間に介在さ
れた超弾性金属材料より成る薄い円板状のダイヤフラム
を有する弁に於いて、前記ダイヤフラムに少くとも一条
の環状凹部を同芯に設けたことを特徴とするものである
。
、周縁部が弁箱に支持されて弁棒と弁体との間に介在さ
れた超弾性金属材料より成る薄い円板状のダイヤフラム
を有する弁に於いて、前記ダイヤフラムに少くとも一条
の環状凹部を同芯に設けたことを特徴とするものである
。
［作 用］
上記の如く構成された本発明のダイヤフラム弁は、弁の
作動によりダイヤフラムに所定の撓みが与えられた時、
撓みに伴うダイヤフラムの内部応力が、少くとも一条の
環状凹部により軽減され、応力値がダイヤフラムを形成
している金属の疲労限以下に低下せしめられるので、疲
労破壊が免れるものである。
作動によりダイヤフラムに所定の撓みが与えられた時、
撓みに伴うダイヤフラムの内部応力が、少くとも一条の
環状凹部により軽減され、応力値がダイヤフラムを形成
している金属の疲労限以下に低下せしめられるので、疲
労破壊が免れるものである。
［実施例］
本発明のダイヤフラム弁の一実施例を第１図によって説
明すると、２０は逆Ｔ形の弁箱で、垂直部２０ａに弁室
２１が形成され、水平部２０ｂに流体入口２２及び流体
出口２３と弁室２１とを連通する流路２４及び２５が形
成され、入口側流路２４の内端側は弁室２１と同芯に垂
直となっていて、その周縁は弁座２６となっている。弁
座２６に密着されるように弁室２１内の中心に設けられ
た弁体２１は、スプリング２８により上方に付勢されて
いる。弁室２１の上部内周面には段部２９が設けられ、
この段部２９上にシールリング３０が配され、その上に
超弾性現象を示す金属材料より成るダイヤフラム３１の
周縁が支持され、そのダイヤフラム３１の周縁上に弁体
３２に嵌装した筒状ガイド３３が支持され、この筒状ガ
イド３３がその外周に嵌装され且つ弁箱２０の垂直部２
０ａの外周に螺合されたナツト３４にて締付固定されて
、前記ダイヤフラム３１の周縁も固定されている。前記
弁棒３２はエアシリンダ３５のピストン３６に基端が結
合されており、エアシリンダ３５はエアシリンダ蓋３７
が前記筒状ガイド３３の外周に螺合されて弁箱２０に結
合されている。３８はエアシリンダ３５内のリターンス
プリングである。
明すると、２０は逆Ｔ形の弁箱で、垂直部２０ａに弁室
２１が形成され、水平部２０ｂに流体入口２２及び流体
出口２３と弁室２１とを連通する流路２４及び２５が形
成され、入口側流路２４の内端側は弁室２１と同芯に垂
直となっていて、その周縁は弁座２６となっている。弁
座２６に密着されるように弁室２１内の中心に設けられ
た弁体２１は、スプリング２８により上方に付勢されて
いる。弁室２１の上部内周面には段部２９が設けられ、
この段部２９上にシールリング３０が配され、その上に
超弾性現象を示す金属材料より成るダイヤフラム３１の
周縁が支持され、そのダイヤフラム３１の周縁上に弁体
３２に嵌装した筒状ガイド３３が支持され、この筒状ガ
イド３３がその外周に嵌装され且つ弁箱２０の垂直部２
０ａの外周に螺合されたナツト３４にて締付固定されて
、前記ダイヤフラム３１の周縁も固定されている。前記
弁棒３２はエアシリンダ３５のピストン３６に基端が結
合されており、エアシリンダ３５はエアシリンダ蓋３７
が前記筒状ガイド３３の外周に螺合されて弁箱２０に結
合されている。３８はエアシリンダ３５内のリターンス
プリングである。
前記の超弾性現象を示す金属材料より成るダイヤフラム
３１は、第２図ａ、ｂに示す如く薄い円板形状に作られ
、周方向に同志に断面円弧状の環状溝３９が予め塑性加
工により一条形成されて成るものである。
３１は、第２図ａ、ｂに示す如く薄い円板形状に作られ
、周方向に同志に断面円弧状の環状溝３９が予め塑性加
工により一条形成されて成るものである。
尚、ダイヤフラム３１は、第２図に限るものではなく、
第３図ａ、ｂに示す如く環状溝３９が同芯二条或いは三
条に形成されたダイヤフラム４０でも良く、また第４図
ａ、ｂに示す如く半径方向に断面波形状となる複数条の
凹部４１と凸部４２が交互に同志に形成されたダイヤフ
ラム４３でも良い。
第３図ａ、ｂに示す如く環状溝３９が同芯二条或いは三
条に形成されたダイヤフラム４０でも良く、また第４図
ａ、ｂに示す如く半径方向に断面波形状となる複数条の
凹部４１と凸部４２が交互に同志に形成されたダイヤフ
ラム４３でも良い。
上述の如く構成された第１図のダイヤフラム弁に於いて
、エアシリンダ３５の上室に作動エアが導入され、これ
によりピストン３６が下方へ押し下げられると、弁棒３
２も下方へ下がる。これに伴い弁体２７はダイヤフラム
３１を介して下方へ押し下げられ、弁体２７の下面が弁
室２１の底面の弁座２６に押付けられて、流路２４．２
５が遮断され、内部流体の流れが止まる。
、エアシリンダ３５の上室に作動エアが導入され、これ
によりピストン３６が下方へ押し下げられると、弁棒３
２も下方へ下がる。これに伴い弁体２７はダイヤフラム
３１を介して下方へ押し下げられ、弁体２７の下面が弁
室２１の底面の弁座２６に押付けられて、流路２４．２
５が遮断され、内部流体の流れが止まる。
エアシリンダ３５のエア圧が除かれると、リターンスプ
リング３８の復帰力によってピストン３６が元位置に押
し戻され、これに伴い弁棒３２も上方に上がり、弁体２
７及びダイヤフラム３１はスプリング２８の力で上方へ
持ち上げられ、弁体２７の下面が弁室２１の底面の弁座
２６から離れて、流路２４．２５が連通され、内部流体
が弁中を流れる。
リング３８の復帰力によってピストン３６が元位置に押
し戻され、これに伴い弁棒３２も上方に上がり、弁体２
７及びダイヤフラム３１はスプリング２８の力で上方へ
持ち上げられ、弁体２７の下面が弁室２１の底面の弁座
２６から離れて、流路２４．２５が連通され、内部流体
が弁中を流れる。
斯かるダイヤフラム弁の開閉に於いて、ダイヤフラム３
１は、その中心部に弁棒３２による押し力が作用した時
所定の撓みを生じる。ダイヤフラム３１は弁の構造上そ
の外周部が固定されている為、板厚方向の所定の撓み量
に対し、板厚方向の曲げ応力、半径方向の応力１周方向
の応力等が生じるが、該ダイヤフラム３１には一条の環
状溝３９が形成されているので、ダイヤフラム３１が引
き延ばされた時の径実長は長くなる。従って、前記の板
厚方向の曲げ応力、半径方向の応力２周方向の応力等の
各種応力値は著しく軽減される。この現象はベローズや
つる巻ばねに見られる物理現象と同等のちのである。こ
のようにして各種応力値がダイヤフラム３１の疲労限以
下に低下せしめられ、疲労破壊が免れる。
１は、その中心部に弁棒３２による押し力が作用した時
所定の撓みを生じる。ダイヤフラム３１は弁の構造上そ
の外周部が固定されている為、板厚方向の所定の撓み量
に対し、板厚方向の曲げ応力、半径方向の応力１周方向
の応力等が生じるが、該ダイヤフラム３１には一条の環
状溝３９が形成されているので、ダイヤフラム３１が引
き延ばされた時の径実長は長くなる。従って、前記の板
厚方向の曲げ応力、半径方向の応力２周方向の応力等の
各種応力値は著しく軽減される。この現象はベローズや
つる巻ばねに見られる物理現象と同等のちのである。こ
のようにして各種応力値がダイヤフラム３１の疲労限以
下に低下せしめられ、疲労破壊が免れる。
このような応力軽減現象は、第３図及び第４図のダイヤ
フラム４０．４３を備えたダイヤフラム弁でも同様に環
われることは勿論である。
フラム４０．４３を備えたダイヤフラム弁でも同様に環
われることは勿論である。
［発明の効果］
以上の説明で判るように本発明のダイヤフラム弁は、少
くとも一条の環状凹部を同志に設けた超弾性金属材料よ
り成る薄い円板状のダイヤフラムを弁体と弁棒との間に
設けであるので、ダイヤフラムの径が小さくとも弁作動
時ダイヤフラムに撓みが与えられた際、撓みに伴う内部
応力が環状の凹凸部により軽減され、応力値が超弾性金
属材料の疲労限以下に低下せしめられ、疲労破壊が免れ
る。従って、弁の開閉を１０７回繰返しても破断するこ
とが無く、ダイヤフラム弁の寿命が著しく増良し、保守
の煩しさが除去されるという優れた効果を奏する。
くとも一条の環状凹部を同志に設けた超弾性金属材料よ
り成る薄い円板状のダイヤフラムを弁体と弁棒との間に
設けであるので、ダイヤフラムの径が小さくとも弁作動
時ダイヤフラムに撓みが与えられた際、撓みに伴う内部
応力が環状の凹凸部により軽減され、応力値が超弾性金
属材料の疲労限以下に低下せしめられ、疲労破壊が免れ
る。従って、弁の開閉を１０７回繰返しても破断するこ
とが無く、ダイヤフラム弁の寿命が著しく増良し、保守
の煩しさが除去されるという優れた効果を奏する。
第１図は本発明によるダイヤフラム弁の一実施例を示す
縦断面図、第２図ａ、ｂはそのダイヤフラム弁に装備さ
れたダイヤフラムの平面図及び断面図、第３図ａ、ｂは
ダイヤフラムの変形例を示す平面図及び断面図、第４図
ａ、ｂはダイヤフラムのさらに他の変形例を示す平面図
及び断面図、第５図は従来のダイヤフラム弁を示す縦断
面図である。 ２０・・・弁箱 ２７・・・弁体３１、４
０．４３・・・ダイヤフラム ３２・・・弁棒 ３９・・・環状溝４１・
・・凹部 ４１・・・凸部用 願 人
日本弁管工業株式会社 代 理 人 弁理士 高 雄次部。 第１図 第２図 第３図 第４図 （ａ） 第５図
縦断面図、第２図ａ、ｂはそのダイヤフラム弁に装備さ
れたダイヤフラムの平面図及び断面図、第３図ａ、ｂは
ダイヤフラムの変形例を示す平面図及び断面図、第４図
ａ、ｂはダイヤフラムのさらに他の変形例を示す平面図
及び断面図、第５図は従来のダイヤフラム弁を示す縦断
面図である。 ２０・・・弁箱 ２７・・・弁体３１、４
０．４３・・・ダイヤフラム ３２・・・弁棒 ３９・・・環状溝４１・
・・凹部 ４１・・・凸部用 願 人
日本弁管工業株式会社 代 理 人 弁理士 高 雄次部。 第１図 第２図 第３図 第４図 （ａ） 第５図
Claims (1)
- 周縁部が弁箱に支持されて弁棒と弁体との間に介在され
た超弾性金属材料より成る薄い円板状のダイヤフラムを
有する弁に於いて、前記ダイヤフラムに少くとも一条の
環状凹部を同芯に設けたことを特徴とするダイヤフラム
弁。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21328786A JPS6367481A (ja) | 1986-09-10 | 1986-09-10 | ダイヤフラム弁 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21328786A JPS6367481A (ja) | 1986-09-10 | 1986-09-10 | ダイヤフラム弁 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6367481A true JPS6367481A (ja) | 1988-03-26 |
Family
ID=16636614
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21328786A Pending JPS6367481A (ja) | 1986-09-10 | 1986-09-10 | ダイヤフラム弁 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6367481A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02271168A (ja) * | 1989-04-11 | 1990-11-06 | Benkan Corp | ダイヤフラム弁 |
| JPH0348072A (ja) * | 1989-06-21 | 1991-03-01 | Benkan Corp | メタル‐メタル接触形ダイヤフラム弁 |
| JPH0379875A (ja) * | 1989-08-19 | 1991-04-04 | Benkan Corp | メタル‐メタル接触形ダイヤフラム弁 |
| JP2004060741A (ja) * | 2002-07-26 | 2004-02-26 | Motoyama Eng Works Ltd | ダイアフラム及びダイアフラム弁並びに成膜装置 |
| KR100698835B1 (ko) | 2003-12-10 | 2007-03-26 | 엠알엠 주식회사 | 밸브 장치 |
| US7384580B2 (en) * | 2004-04-02 | 2008-06-10 | Ludwig-Maximilians-Universitat Munchen | Method of preparing organomagnesium compounds |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60263793A (ja) * | 1984-06-13 | 1985-12-27 | Motoyama Seisakusho:Kk | ダイアフラム弁 |
-
1986
- 1986-09-10 JP JP21328786A patent/JPS6367481A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60263793A (ja) * | 1984-06-13 | 1985-12-27 | Motoyama Seisakusho:Kk | ダイアフラム弁 |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02271168A (ja) * | 1989-04-11 | 1990-11-06 | Benkan Corp | ダイヤフラム弁 |
| JPH0348072A (ja) * | 1989-06-21 | 1991-03-01 | Benkan Corp | メタル‐メタル接触形ダイヤフラム弁 |
| JPH0522108B2 (ja) * | 1989-06-21 | 1993-03-26 | Benkan Kk | |
| JPH0379875A (ja) * | 1989-08-19 | 1991-04-04 | Benkan Corp | メタル‐メタル接触形ダイヤフラム弁 |
| JP2004060741A (ja) * | 2002-07-26 | 2004-02-26 | Motoyama Eng Works Ltd | ダイアフラム及びダイアフラム弁並びに成膜装置 |
| KR100698835B1 (ko) | 2003-12-10 | 2007-03-26 | 엠알엠 주식회사 | 밸브 장치 |
| US7384580B2 (en) * | 2004-04-02 | 2008-06-10 | Ludwig-Maximilians-Universitat Munchen | Method of preparing organomagnesium compounds |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5186434A (en) | Fluid flow controller | |
| CA2124781C (en) | Diaphragm valve | |
| JP3803729B2 (ja) | 弁 | |
| US3920044A (en) | Device for obtaining quiet operation of valves, more particularly pressure reducing valves | |
| US3219063A (en) | Valve with increased flow area | |
| US4543987A (en) | Relief valve | |
| JP2005528561A (ja) | バルブ | |
| US2907548A (en) | Butterfly valve construction | |
| TWI684721B (zh) | 流體控制器 | |
| US5149055A (en) | Shut-off valve | |
| JPS6367481A (ja) | ダイヤフラム弁 | |
| EP0530947B1 (en) | Fluid flow controller | |
| US1671140A (en) | Valve | |
| EP3614025B1 (en) | Two-way valve | |
| US3168900A (en) | Ball valve with flexible bonnet | |
| US4669702A (en) | Erosion resistant soft seated valve trim | |
| US4151979A (en) | Diaphragm valve having a Belleville-spring assembly | |
| JP3095983B2 (ja) | パイロット式ダイアフラム弁 | |
| US4557463A (en) | Erosion resistant soft seated valve trim | |
| US3055390A (en) | Valve assembly for compressors and the like | |
| US1712697A (en) | Automatic expansion valve | |
| US4481976A (en) | Apparatus for passing a pressure medium from a stationary housing to a rotatable shaft | |
| US2952274A (en) | Multiport valve | |
| US3830253A (en) | Compressor valve apparatus | |
| JP4249321B2 (ja) | ばね付勢ディスク型逆止弁 |