JPH0625772B2 - 回転情報検出計 - Google Patents
回転情報検出計Info
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- JPH0625772B2 JPH0625772B2 JP59189157A JP18915784A JPH0625772B2 JP H0625772 B2 JPH0625772 B2 JP H0625772B2 JP 59189157 A JP59189157 A JP 59189157A JP 18915784 A JP18915784 A JP 18915784A JP H0625772 B2 JPH0625772 B2 JP H0625772B2
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P13/00—Indicating or recording presence, absence, or direction, of movement
- G01P13/02—Indicating direction only, e.g. by weather vane
- G01P13/04—Indicating positive or negative direction of a linear movement or clockwise or anti-clockwise direction of a rotational movement
- G01P13/045—Indicating positive or negative direction of a linear movement or clockwise or anti-clockwise direction of a rotational movement with speed indication
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/36—Forming the light into pulses
- G01D5/38—Forming the light into pulses by diffraction gratings
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P3/00—Measuring linear or angular speed; Measuring differences of linear or angular speeds
- G01P3/36—Devices characterised by the use of optical means, e.g. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01P3/366—Devices characterised by the use of optical means, e.g. using infrared, visible, or ultraviolet light by using diffraction of light
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Description
【発明の詳細な説明】 本発明は回転情報検出計に関し、特に円周上に例えば透
光部と反射部の格子模様を複数個、周期的に刻んだ放射
格子を回転物体に取付け、該放射格子に例えばレーザー
からの光束を照射し、該放射格子からの回折光を利用し
て、放射格子若しくは回転物体の回転速度や回転速度の
変動量等を光電的に検出する回転情報検出計に関するも
のである。
光部と反射部の格子模様を複数個、周期的に刻んだ放射
格子を回転物体に取付け、該放射格子に例えばレーザー
からの光束を照射し、該放射格子からの回折光を利用し
て、放射格子若しくは回転物体の回転速度や回転速度の
変動量等を光電的に検出する回転情報検出計に関するも
のである。
従来よりフロツピーデスクの駆動等のコンピユーター機
器、プリンター等の事務機器、あるいはＮＣ工作機械さ
らにはVTRのキヤプステンモーターや回転ドラム等の回
転機構の回転速度や回転速度の変動量を検出する為の手
段として光電的ロータリーエンコーダーが利用されてき
ている。
器、プリンター等の事務機器、あるいはＮＣ工作機械さ
らにはVTRのキヤプステンモーターや回転ドラム等の回
転機構の回転速度や回転速度の変動量を検出する為の手
段として光電的ロータリーエンコーダーが利用されてき
ている。
光電的ロータリーエンコーダーを用いる方法は回転軸に
連絡した円板の周囲に透光部と遮光部を等間隔に設け
た、所謂メインスケールとこれに対応してメインスケー
ルと等しい間隔で透光部と遮光部とを設けた所謂固定の
インデツクススケールとの双方のスケールを投光手段と
受光手段で挾んで対向配置した所謂インデツクススケー
ル方式の構成を採つている。この方法はメインスケール
の回転に伴つて双方のスケールの透光部と遮光部の間隔
に同期した信号が得られ、この信号を周波数解析して回
転軸の回転速度の変動を検出している。この為双方のス
ケールの透光部と遮光部とのスケール間隔を細かくすれ
ばする程、検出精度を高めることができる。しかしなが
らスケール間隔を細かくすると回折光の影響で受光手段
からの出力信号のＳ／Ｎ比が低下し検出精度が低下して
しまう欠点があつた。この為メインスケールの透光部と
遮光部の格子の総本数を固定させ、透光部と遮光部の間
隔を回折光の影響を受けない程度まで拡大しようとする
メインスケールの円板の直径が増大し更に厚さも増大し
装置全体が大型化し、この結果被検回転物体への負荷が
大きくなつてくる等の欠点があつた。
連絡した円板の周囲に透光部と遮光部を等間隔に設け
た、所謂メインスケールとこれに対応してメインスケー
ルと等しい間隔で透光部と遮光部とを設けた所謂固定の
インデツクススケールとの双方のスケールを投光手段と
受光手段で挾んで対向配置した所謂インデツクススケー
ル方式の構成を採つている。この方法はメインスケール
の回転に伴つて双方のスケールの透光部と遮光部の間隔
に同期した信号が得られ、この信号を周波数解析して回
転軸の回転速度の変動を検出している。この為双方のス
ケールの透光部と遮光部とのスケール間隔を細かくすれ
ばする程、検出精度を高めることができる。しかしなが
らスケール間隔を細かくすると回折光の影響で受光手段
からの出力信号のＳ／Ｎ比が低下し検出精度が低下して
しまう欠点があつた。この為メインスケールの透光部と
遮光部の格子の総本数を固定させ、透光部と遮光部の間
隔を回折光の影響を受けない程度まで拡大しようとする
メインスケールの円板の直径が増大し更に厚さも増大し
装置全体が大型化し、この結果被検回転物体への負荷が
大きくなつてくる等の欠点があつた。
本発明は被検回転物体の負荷を小さくした、小型でしか
も高精度の回転情報検出計の提供を目的とする。
も高精度の回転情報検出計の提供を目的とする。
本発明の目的を達成する為の回転情報検出計は、格子模
様を複数個等角度に配置した放射格子と、前記放射格子
の所定の箇所に光束を入射させる為の照明手段と、前記
放射格子に入射した前記光束からの反射回折光若しくは
透過回折光のうち所定の次数の回折光を前記放射格子に
再度入射させる反射手段と、前記反射手段により前記放
射格子を介した回折光を受光する受光手段とを有する回
転情報検出計において、前記反射手段は、前記所定の箇
所近傍に前記放射格子の像を形成するような屈折力を有
し、且つ前記所定の回折光に対して単一の光学部材で構
成されることである。
様を複数個等角度に配置した放射格子と、前記放射格子
の所定の箇所に光束を入射させる為の照明手段と、前記
放射格子に入射した前記光束からの反射回折光若しくは
透過回折光のうち所定の次数の回折光を前記放射格子に
再度入射させる反射手段と、前記反射手段により前記放
射格子を介した回折光を受光する受光手段とを有する回
転情報検出計において、前記反射手段は、前記所定の箇
所近傍に前記放射格子の像を形成するような屈折力を有
し、且つ前記所定の回折光に対して単一の光学部材で構
成されることである。
次に本発明の一実施例を各図と共に説明する。
第１図は本発明の一実施例の概略図である。同図におい
て１はレーザー等の光源、２はコリメーターレンズ、３
は偏光ビームスプリツター、４は1/4波長板、５はシリ
ンドリカルレンズ、６は円板上に例えば透光部と反射部
の格子模様を等角度で設けた放射格子、７は回転軸で被
検回転物体と連結している。８，９は各々光学手段であ
り正の屈折力面と裏面反射鏡より成り放射格子６上の位
置Ｍが元の放射格子と共役像となるように構成されてい
る。
て１はレーザー等の光源、２はコリメーターレンズ、３
は偏光ビームスプリツター、４は1/4波長板、５はシリ
ンドリカルレンズ、６は円板上に例えば透光部と反射部
の格子模様を等角度で設けた放射格子、７は回転軸で被
検回転物体と連結している。８，９は各々光学手段であ
り正の屈折力面と裏面反射鏡より成り放射格子６上の位
置Ｍが元の放射格子と共役像となるように構成されてい
る。
レーザー１より放射された直線偏向の光束はコリメータ
ーレンズ２により平行光束となり偏向ビームスプリツタ
ー３、1/4波長板４を通つて円偏向となり、シリンドリ
カルレンズ５によつて放射格子６上に線状に照射され
る。ここでシリンドリカルレンズ５は放射格子６の格子
模様と直交する方向つまり接線方向に線状照射するよう
に配置されている。このように線状照射することにより
放射格子６上での光束の照射部分の相当する透光部と反
射部の格子模様のピツチ誤差を軽減することができる。
尚シリンドリカルレンズの代わりに、スリツト若しくは
レンズとスリツトを用いて線状照射するようにしても良
い。
ーレンズ２により平行光束となり偏向ビームスプリツタ
ー３、1/4波長板４を通つて円偏向となり、シリンドリ
カルレンズ５によつて放射格子６上に線状に照射され
る。ここでシリンドリカルレンズ５は放射格子６の格子
模様と直交する方向つまり接線方向に線状照射するよう
に配置されている。このように線状照射することにより
放射格子６上での光束の照射部分の相当する透光部と反
射部の格子模様のピツチ誤差を軽減することができる。
尚シリンドリカルレンズの代わりに、スリツト若しくは
レンズとスリツトを用いて線状照射するようにしても良
い。
レーザー１からの光束は放射格子６の格子模様によつて
反射回折される。いま光束の照射位置Ｍにおける透光部
及び反射部のピツチをｐとすれば±ｍ次の反射回折光Ｌ
１，Ｌ２の回折角度θｍは sinθｍ＝ｍλ／ｐ ……(1) で表わされる。ここでλは光束の波長である。一方測定
点Ｍでの放射格子６の周速度をｖとすれば±ｍ次の反射
回折光Ｌ１，Ｌ２の周波数は Δ＝±vsinθｍ／λ ……(2) で表わされる量だけ、所謂トツプラーシフトを受ける。
反射回折される。いま光束の照射位置Ｍにおける透光部
及び反射部のピツチをｐとすれば±ｍ次の反射回折光Ｌ
１，Ｌ２の回折角度θｍは sinθｍ＝ｍλ／ｐ ……(1) で表わされる。ここでλは光束の波長である。一方測定
点Ｍでの放射格子６の周速度をｖとすれば±ｍ次の反射
回折光Ｌ１，Ｌ２の周波数は Δ＝±vsinθｍ／λ ……(2) で表わされる量だけ、所謂トツプラーシフトを受ける。
ここで光学手段８及び９の光軸Ｓ１，Ｓ２は放射格子６
の回転の接線方向とコリメーターレンズ２を含む照明手
段によつて構成される光軸Ｓ０とで形成する面内に位置
させ更に光軸Ｓ１及び光軸Ｓ２を照明手段の光軸Ｓ０と
のなす角度がθｍとなるように配置させている。光学手
段８は光軸Ｓ１と放射格子６の交点Ｍが光学手段８によ
つて再度同一点Ｍに共役像として等倍に結像されるよう
な屈折力を有し例えば屈折面と裏面反射面より構成して
いる。これによつて放射格子６上の入射位置Ｍに形成さ
れる線状の照射像を光学手段８によつて再度放射格子６
上の同一点Ｍに結像させている。このとき光学手段８に
よる結像は所謂シヤインプルーフの法則を満足してい
る。
の回転の接線方向とコリメーターレンズ２を含む照明手
段によつて構成される光軸Ｓ０とで形成する面内に位置
させ更に光軸Ｓ１及び光軸Ｓ２を照明手段の光軸Ｓ０と
のなす角度がθｍとなるように配置させている。光学手
段８は光軸Ｓ１と放射格子６の交点Ｍが光学手段８によ
つて再度同一点Ｍに共役像として等倍に結像されるよう
な屈折力を有し例えば屈折面と裏面反射面より構成して
いる。これによつて放射格子６上の入射位置Ｍに形成さ
れる線状の照射像を光学手段８によつて再度放射格子６
上の同一点Ｍに結像させている。このとき光学手段８に
よる結像は所謂シヤインプルーフの法則を満足してい
る。
このことは光学手段９についても全く同様である。
このように本実施例では光学手段８，９の屈折力を設定
することにより±ｍ次の回折光を再度放射格子６上に入
射させる際の結像性能の低下による光束径の拡がりを少
なくし受光手段に効率良く光束を導光させている。
することにより±ｍ次の回折光を再度放射格子６上に入
射させる際の結像性能の低下による光束径の拡がりを少
なくし受光手段に効率良く光束を導光させている。
光学手段８，９により元の光路に戻された±ｍ次の回折
光は再度放射格子６により回折され±ｍ次の回折光とな
つて双方の回折光は重なり合い元の光路を戻る。このと
き再度(2)式で示すトツプラーシフトを受けるので±ｍ
次の２つの回折光のトツプラーシフトは合計±２Δと
なる。そして元の光路を戻つて1/4波長板４を再び通過
し円偏向はレーザー１の出射光と直交する方向の直線偏
光となり偏光ビームスプリツター３で反射され受光素子
10で受光される。
光は再度放射格子６により回折され±ｍ次の回折光とな
つて双方の回折光は重なり合い元の光路を戻る。このと
き再度(2)式で示すトツプラーシフトを受けるので±ｍ
次の２つの回折光のトツプラーシフトは合計±２Δと
なる。そして元の光路を戻つて1/4波長板４を再び通過
し円偏向はレーザー１の出射光と直交する方向の直線偏
光となり偏光ビームスプリツター３で反射され受光素子
10で受光される。
受光素子９には±ｍ次の回折を２回受けた光束が重ね合
わされて入射してくる為、受光素子９の出力信号の周波
数ＦはＦ＝２Δ−（−２Δ）＝４Δとなる。
わされて入射してくる為、受光素子９の出力信号の周波
数ＦはＦ＝２Δ−（−２Δ）＝４Δとなる。
つまり、受光素子９の出力信号の周波数Ｆは、Ｆ＝４Δ
＝4vsinθｍ／λとなり、(1)式の回折条件の式から出
力信号の周波数ＦはＦ＝4mv/ｐとなる。
＝4vsinθｍ／λとなり、(1)式の回折条件の式から出
力信号の周波数ＦはＦ＝4mv/ｐとなる。
ここで、回転角速度をω、回転軸７の回転数を、放射
格子６の格子の等角度のピツチをΔ、透光部と反射部
の格子の分割数（総本数）をＮ、レーザーの照射位置Ｍ
での半径をｒとすれば、ｖ＝ｒω、ω＝２π、ｐ＝ｒ
Δ、Δ＝２π／Ｎの関係式から、結局、受光素子の
出力信号の周波数Ｆは、 Ｆ＝４ｍＮ ……(3) となり、回折次数ｍ、分割数Ｎ、回転数で表わされ
る。そして、第１図に示すように、受光素子10からの出
力信号を、コンパレーターなどを通して２値化し、周波
数−電圧変換器等によつて周波数解析して、表示すれば
周波数Ｆが求められ、回転物体の回転速度の変位量を求
めることができる。
格子６の格子の等角度のピツチをΔ、透光部と反射部
の格子の分割数（総本数）をＮ、レーザーの照射位置Ｍ
での半径をｒとすれば、ｖ＝ｒω、ω＝２π、ｐ＝ｒ
Δ、Δ＝２π／Ｎの関係式から、結局、受光素子の
出力信号の周波数Ｆは、 Ｆ＝４ｍＮ ……(3) となり、回折次数ｍ、分割数Ｎ、回転数で表わされ
る。そして、第１図に示すように、受光素子10からの出
力信号を、コンパレーターなどを通して２値化し、周波
数−電圧変換器等によつて周波数解析して、表示すれば
周波数Ｆが求められ、回転物体の回転速度の変位量を求
めることができる。
尚(3)式より明らかのように周波数Ｆを波長と無関係に
求めることができるので光源としてレーザーに限らずど
のような光源であつても使用することができる。
求めることができるので光源としてレーザーに限らずど
のような光源であつても使用することができる。
一方従来から使用されているインデツクススケール方式
の光電式ロータリーエンコーダーでは、受光素子からの
出力信号の周波数Ｆ′は、Ｆ′＝Ｎである。
の光電式ロータリーエンコーダーでは、受光素子からの
出力信号の周波数Ｆ′は、Ｆ′＝Ｎである。
従つて本発明によれば従来例に比べて４ｍ倍の周波数が
得られるので、４ｍ倍の精度で回転数の検出が出来るこ
とになる。
得られるので、４ｍ倍の精度で回転数の検出が出来るこ
とになる。
また、従来のインデツクススケール方式の光電式ロータ
リーエンコーダーにおいては、透光部と遮光部のピツチ
間隔は、光の回折の影響を考慮すると、10μｍ程度が限
度であつた。いま、角度分解能として、たとえば30秒を
得るためには、従来例では、メインスケールの分割数と
して、Ｎ＝360×60×60／30＝43,200だけ必要である。
そこで、メインスケール最外周での透光部と遮光部の間
隔を10μｍとすれば、メインスケールの直径は、0.01mm
×43,200／π＝137.5mm必要になる。しかるに、本実施
例によれば、放射格子の分割数は、従来例の１／4mでよ
いので、30秒の角度分解能を得るための分割数は10,800
（ｍ＝１）でよい。そして、本実施例では、レーザー等
からの回折光を用いれば透光部と反射部の間隔は狭くて
よいので、たとえば４μｍとすると、放射格子の直径
は、0.004mm×10,800／π＝13.75mmでよいことになる。
すなわち、本実施例によれば、従来のインデツクススケ
ール方式の光電式ロータリーエンコーダーと同等の分解
能を得る為の放射格子の形状としては従来例に比べて１
／10以下の大きさで良い。従つて被検回転物体への負荷
も従来例に比べてはるかに小さくなり、より高精度の測
定が可能となる。
リーエンコーダーにおいては、透光部と遮光部のピツチ
間隔は、光の回折の影響を考慮すると、10μｍ程度が限
度であつた。いま、角度分解能として、たとえば30秒を
得るためには、従来例では、メインスケールの分割数と
して、Ｎ＝360×60×60／30＝43,200だけ必要である。
そこで、メインスケール最外周での透光部と遮光部の間
隔を10μｍとすれば、メインスケールの直径は、0.01mm
×43,200／π＝137.5mm必要になる。しかるに、本実施
例によれば、放射格子の分割数は、従来例の１／4mでよ
いので、30秒の角度分解能を得るための分割数は10,800
（ｍ＝１）でよい。そして、本実施例では、レーザー等
からの回折光を用いれば透光部と反射部の間隔は狭くて
よいので、たとえば４μｍとすると、放射格子の直径
は、0.004mm×10,800／π＝13.75mmでよいことになる。
すなわち、本実施例によれば、従来のインデツクススケ
ール方式の光電式ロータリーエンコーダーと同等の分解
能を得る為の放射格子の形状としては従来例に比べて１
／10以下の大きさで良い。従つて被検回転物体への負荷
も従来例に比べてはるかに小さくなり、より高精度の測
定が可能となる。
次に第２図、第３図に各々本発明の他の実施例の一部分
の概略図を示す。第２図、第３図は第１図の放射格子６
に光束が入射する付近の概略図であり、同図において各
要素に付された番号は第１図で示したものと同じ要素を
示す。
の概略図を示す。第２図、第３図は第１図の放射格子６
に光束が入射する付近の概略図であり、同図において各
要素に付された番号は第１図で示したものと同じ要素を
示す。
第２図は放射格子６に入射した光束の±ｍ次の透過回折
光を利用する場合の一実施例、第３図は放射格子６に入
射した光束のｍ次の透過回折光とｍ次の反射回折光を利
用したときの一実施例である。いずれの実施例でも±ｍ
次の反射回折光の代わりに±ｍ次の透過回折光若しくは
ｍ次の透過回折光とｍ次の反射回折光を用いている点を
除き第１図の実施例と基本的には同様であり第１図の実
施例と同様の効果を得ることができる。
光を利用する場合の一実施例、第３図は放射格子６に入
射した光束のｍ次の透過回折光とｍ次の反射回折光を利
用したときの一実施例である。いずれの実施例でも±ｍ
次の反射回折光の代わりに±ｍ次の透過回折光若しくは
ｍ次の透過回折光とｍ次の反射回折光を用いている点を
除き第１図の実施例と基本的には同様であり第１図の実
施例と同様の効果を得ることができる。
前述した本発明の各実施例では±ｍ次の２つの回折光を
用いた場合を示したが±ｍ次の回折光の代わりに次数の
異つた２つの回折光を用いても本発明の目的を達成する
ことができる。又光量は多少減少するが偏光ビームスプ
リツターの代わりに単なるビームスプリツターを用いて
も本発明の目的を達成することができる。このときは1/
4波長板を用いる必要はない。
用いた場合を示したが±ｍ次の回折光の代わりに次数の
異つた２つの回折光を用いても本発明の目的を達成する
ことができる。又光量は多少減少するが偏光ビームスプ
リツターの代わりに単なるビームスプリツターを用いて
も本発明の目的を達成することができる。このときは1/
4波長板を用いる必要はない。
又本発明の放射格子上の格子模様を透過部のみ又は反射
部のみで構成し透過回折光又は反射回折光のみを用いる
ようにしても本発明の目的を達成することができる。
部のみで構成し透過回折光又は反射回折光のみを用いる
ようにしても本発明の目的を達成することができる。
以上のように本発明によれば光束を放射格子に照射する
ことにより、放射格子から生ずる２つの回折光によるト
ツプラーシフトを利用することにより被検回転物体の負
荷を小さくした小型でしかも高精度の回転情報検出計を
達成することができる。
ことにより、放射格子から生ずる２つの回折光によるト
ツプラーシフトを利用することにより被検回転物体の負
荷を小さくした小型でしかも高精度の回転情報検出計を
達成することができる。
第１図は本発明の一実施例の概略図、第２図、第３図は
各々本発明の他の実施例の一部分の概略図である。図中
１は光源、２はコリメーターレンズ、３は偏光ビームス
プリツター、４は1/4波長板、５はシリンドリカルレン
ズ、６は放射格子、７は回転軸、８，９は光学手段、10
は受光素子である。
各々本発明の他の実施例の一部分の概略図である。図中
１は光源、２はコリメーターレンズ、３は偏光ビームス
プリツター、４は1/4波長板、５はシリンドリカルレン
ズ、６は放射格子、７は回転軸、８，９は光学手段、10
は受光素子である。
Claims (4)
- 【請求項１】格子模様を複数個等角度に配置した放射格
子と、前記放射格子の所定の箇所に光束を入射させる為
の照明手段と、前記放射格子に入射した前記光束からの
反射回折光若しくは透過回折光のうち所定の次数の回折
光を前記放射格子に再度入射させる反射手段と、前記反
射手段により前記放射格子を介した回折光を受光する受
光手段とを有する回転情報検出計において、前記反射手
段は、前記所定の箇所近傍に前記放射格子の像を形成す
るような屈折力を有し、且つ前記所定の回折光に対して
単一の光学部材で構成されることを特徴とする回転情報
検出計。 - 【請求項２】前記単一の光学部材は正の屈折力面と反射
面とを有することを特徴とする特許請求の範囲第１項記
載の回転情報検出計。 - 【請求項３】前記受光手段はλ／４波長板と偏光ビーム
スプリッターを介して受光していることを特徴とする特
許請求の範囲第１項記載の回転情報検出計。 - 【請求項４】前記格子模様を透光部と反射部より構成し
たことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の回転情
報検出計。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59189157A JPH0625772B2 (ja) | 1984-09-10 | 1984-09-10 | 回転情報検出計 |
| US07/481,684 US4967072A (en) | 1984-09-05 | 1990-02-20 | Interferometric rotating condition detection apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59189157A JPH0625772B2 (ja) | 1984-09-10 | 1984-09-10 | 回転情報検出計 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6166966A JPS6166966A (ja) | 1986-04-05 |
| JPH0625772B2 true JPH0625772B2 (ja) | 1994-04-06 |
Family
ID=16236397
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59189157A Expired - Lifetime JPH0625772B2 (ja) | 1984-09-05 | 1984-09-10 | 回転情報検出計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0625772B2 (ja) |
-
1984
- 1984-09-10 JP JP59189157A patent/JPH0625772B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6166966A (ja) | 1986-04-05 |
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