JPH0781883B2 - エンコーダー - Google Patents
エンコーダーInfo
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- JPH0781883B2 JPH0781883B2 JP59186173A JP18617384A JPH0781883B2 JP H0781883 B2 JPH0781883 B2 JP H0781883B2 JP 59186173 A JP59186173 A JP 59186173A JP 18617384 A JP18617384 A JP 18617384A JP H0781883 B2 JPH0781883 B2 JP H0781883B2
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- JP
- Japan
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- light
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- irradiation
- shape
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Links
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P13/00—Indicating or recording presence, absence, or direction, of movement
- G01P13/02—Indicating direction only, e.g. by weather vane
- G01P13/04—Indicating positive or negative direction of a linear movement or clockwise or anti-clockwise direction of a rotational movement
- G01P13/045—Indicating positive or negative direction of a linear movement or clockwise or anti-clockwise direction of a rotational movement with speed indication
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/36—Forming the light into pulses
- G01D5/38—Forming the light into pulses by diffraction gratings
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P3/00—Measuring linear or angular speed; Measuring differences of linear or angular speeds
- G01P3/36—Devices characterised by the use of optical means, e.g. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01P3/366—Devices characterised by the use of optical means, e.g. using infrared, visible, or ultraviolet light by using diffraction of light
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Optical Transform (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 本発明はエンコーダーに関し、特に円周上に例えば透光
部と反射部の格子模様を複数個、周期的に刻んだ放射格
子を回転物体に取付け、該放射格子に例えばレーザーか
らの光束を照射し、該放射格子からの回折光を利用し
て、放射格子若しくは回転物体の回転角度を光電的に検
出するロータリーエンコーダーに良好に適用できるもの
である。
部と反射部の格子模様を複数個、周期的に刻んだ放射格
子を回転物体に取付け、該放射格子に例えばレーザーか
らの光束を照射し、該放射格子からの回折光を利用し
て、放射格子若しくは回転物体の回転角度を光電的に検
出するロータリーエンコーダーに良好に適用できるもの
である。
従来よりフロツピーデスクの駆動等のコンピユーター機
器、プリンター等の事務機器、あるいはNC工作機械さら
にはVTRのキヤプステンモーターや回転ドラム等の回転
機構の回転角度を検出する為の手段としてロータリーエ
ンコーダーが利用されてきている。
器、プリンター等の事務機器、あるいはNC工作機械さら
にはVTRのキヤプステンモーターや回転ドラム等の回転
機構の回転角度を検出する為の手段としてロータリーエ
ンコーダーが利用されてきている。
光電的なロータリーエンコーダーを用いる方法は回転軸
に連絡した円板の周囲に透光部と遮光部を等間隔に設け
た、所謂メインスケールとこれに対応してメインスケー
ルと等しい間隔で透光部と遮光部とを設けた所謂固定の
インデツクススケールとの双方のスケールを投光手段と
受光手段で挾んで対向配置した所謂インデツクススケー
ル方式の構成を採つている。この方法はメインスケール
の回転に伴つて双方のスケールの透光部と遮光部の間隔
に同期した信号が得られ、この信号を波形整形後、積算
することにより回転角度を検出している。
に連絡した円板の周囲に透光部と遮光部を等間隔に設け
た、所謂メインスケールとこれに対応してメインスケー
ルと等しい間隔で透光部と遮光部とを設けた所謂固定の
インデツクススケールとの双方のスケールを投光手段と
受光手段で挾んで対向配置した所謂インデツクススケー
ル方式の構成を採つている。この方法はメインスケール
の回転に伴つて双方のスケールの透光部と遮光部の間隔
に同期した信号が得られ、この信号を波形整形後、積算
することにより回転角度を検出している。
ロータリーエンコーダーは双方のスケールの透光部と遮
光部とのスケール間隔を細かくすればする程、検出精度
を高めることができる。しかしながらスケール間隔を細
かくると回折光の影響で受光手段からの出力信号のS/N
比が低下し検出精度が低下してしまう欠点があつた。こ
の為メインスケールの透光部と遮光部の格子の総本数を
固定させ、透光部と遮光部の間隔を回折光の影響を受け
ない程度まで拡大しようとするとメインスケールの円板
の直径が増大し更に厚さも増大し装置全体が大型化し、
この結果被検回転物体への負荷が大きくなつてくる等の
欠点があつた。
光部とのスケール間隔を細かくすればする程、検出精度
を高めることができる。しかしながらスケール間隔を細
かくると回折光の影響で受光手段からの出力信号のS/N
比が低下し検出精度が低下してしまう欠点があつた。こ
の為メインスケールの透光部と遮光部の格子の総本数を
固定させ、透光部と遮光部の間隔を回折光の影響を受け
ない程度まで拡大しようとするとメインスケールの円板
の直径が増大し更に厚さも増大し装置全体が大型化し、
この結果被検回転物体への負荷が大きくなつてくる等の
欠点があつた。
また、ロータリーエンコーダーに限らず、格子干渉方式
のエンコーダーにおいて回折効率を向上することは、製
作者にとって必須の課題であった。
のエンコーダーにおいて回折効率を向上することは、製
作者にとって必須の課題であった。
本発明は回折効率を向上させて、高精度な検出を実現す
る光学式のエンコーダーの提供を目的とする。
る光学式のエンコーダーの提供を目的とする。
本発明の目的を達成するためのエンコーダーの主たる特
徴は可干渉性の光束を発生する光源と、相対変位方向に
沿って回折格子が形成されるスケールに対して前記光源
からの光束を照射する照射系と、該照射によって発生す
る特定次数の回折光どうしを干渉させ干渉光を生成する
光学系と、該干渉光を受光することによって前記スケー
ルの変位状態を検出する受光系を有するエンコーダーで
あって、前記照射系によって前記スケールの回折格子に
照射される光束形状は、第１の方向に大きく、該第１の
方向と垂直な第２の方向に小さくした形状であり、かつ
前記スケール上の光束の照射形状の長手方向を、前記回
折格子の相対変位方向に垂直な方向とは異ならせたこと
である。
徴は可干渉性の光束を発生する光源と、相対変位方向に
沿って回折格子が形成されるスケールに対して前記光源
からの光束を照射する照射系と、該照射によって発生す
る特定次数の回折光どうしを干渉させ干渉光を生成する
光学系と、該干渉光を受光することによって前記スケー
ルの変位状態を検出する受光系を有するエンコーダーで
あって、前記照射系によって前記スケールの回折格子に
照射される光束形状は、第１の方向に大きく、該第１の
方向と垂直な第２の方向に小さくした形状であり、かつ
前記スケール上の光束の照射形状の長手方向を、前記回
折格子の相対変位方向に垂直な方向とは異ならせたこと
である。
次に本発明の一実施例を各図と共に説明する。
第１図は本発明の一実施例の概略図である。同図におい
て１はレーザー等の光源、２はコリメーターレンズ、3,
3′はビームスプリツター等の光分割手段、４は反射
鏡、5,5′は1/4波長板であり、レーザー１の光束の直線
偏光に対してその軸が45度と−45度になるように配置さ
れている。60,6,6′はシリンドリカルレンズ、７は例え
ば円板上に透光部と反射部の格子模様を等角度で設けた
放射格子、８は放射格子７の回転軸で被検回転物体の回
転軸と連結している。9,9′は偏光板でそれらの偏光軸
は互いに45度ずらしてある。10,10′は受光素子であ
る。
て１はレーザー等の光源、２はコリメーターレンズ、3,
3′はビームスプリツター等の光分割手段、４は反射
鏡、5,5′は1/4波長板であり、レーザー１の光束の直線
偏光に対してその軸が45度と−45度になるように配置さ
れている。60,6,6′はシリンドリカルレンズ、７は例え
ば円板上に透光部と反射部の格子模様を等角度で設けた
放射格子、８は放射格子７の回転軸で被検回転物体の回
転軸と連結している。9,9′は偏光板でそれらの偏光軸
は互いに45度ずらしてある。10,10′は受光素子であ
る。
レーザー１より放射された光束はコリメーターレンズ２
により略平行光束となりビームスプリツター３で２つの
光束に分割される。
により略平行光束となりビームスプリツター３で２つの
光束に分割される。
このうち、反射された光束は、1/4波長板５、シリンド
リカルレンズ６を介して、放射格子７上を、入射角θｍ
で、放射格子７の格子模様の放射方向と直交する方向に
線状に照射する。このように線状照射することにより放
射格子７上での光束の照射部に相当する透光部と反射部
の格子模様のピツチ誤差を軽減することができる。ま光
束の照射形状を、第１の方向に大きく、該第１の方向と
垂直な第２の方向に小さくすることによって、（第２の
方向の集光による）高いエネルギー密度と（第１の方向
の広がりによる）照射される回折発生部分の多さの両方
が達成される。またこの第１の方向を回折格子の相対変
位方向に垂直な方向と異ならせることにより、この照射
形状を有効に用いて回折効率を向上している。尚シリン
ドリカルレンズの代わりに、スリツト若しくはレンズと
スリツトを用いて線状照射するようにしても良い。
リカルレンズ６を介して、放射格子７上を、入射角θｍ
で、放射格子７の格子模様の放射方向と直交する方向に
線状に照射する。このように線状照射することにより放
射格子７上での光束の照射部に相当する透光部と反射部
の格子模様のピツチ誤差を軽減することができる。ま光
束の照射形状を、第１の方向に大きく、該第１の方向と
垂直な第２の方向に小さくすることによって、（第２の
方向の集光による）高いエネルギー密度と（第１の方向
の広がりによる）照射される回折発生部分の多さの両方
が達成される。またこの第１の方向を回折格子の相対変
位方向に垂直な方向と異ならせることにより、この照射
形状を有効に用いて回折効率を向上している。尚シリン
ドリカルレンズの代わりに、スリツト若しくはレンズと
スリツトを用いて線状照射するようにしても良い。
一方ビームスプリツター３を透過した光束は、反射鏡４
で反射された後、1/4波長板５′、シリンドリカルレン
ズ６′を介して、放射格子７上を入射角−θｍで線状で
照射される。このとき入射角θｍは、次式で表わされる
ような、±ｍ次の回折条件を満足する角度に設定されて
いる。
で反射された後、1/4波長板５′、シリンドリカルレン
ズ６′を介して、放射格子７上を入射角−θｍで線状で
照射される。このとき入射角θｍは、次式で表わされる
ような、±ｍ次の回折条件を満足する角度に設定されて
いる。
sinθｍ＝±ｍλ/p ……（１） 但し、ｍは正の整数、λはレーザーの波長、ｐは放射格
子７上の照射点Ｍにおける、透光部と反射部のピツチで
ある。（１）式のように設定した角度±θｍで２光束が
入射すると、照射点Ｍにおいて反射される回折光のう
ち、±ｍ次の回折光は重なり合つて、放射格子面に対し
て垂直な方向に反射される。そして、シリンドリカルレ
ンズ60を透過することによつて、再び平行光束となり、
ビームスプリツター３′によつて２つの光束に分割さ
れ、２つの光束は各々偏光板9,9′を通過して受光素子1
0,10′に入射する。
子７上の照射点Ｍにおける、透光部と反射部のピツチで
ある。（１）式のように設定した角度±θｍで２光束が
入射すると、照射点Ｍにおいて反射される回折光のう
ち、±ｍ次の回折光は重なり合つて、放射格子面に対し
て垂直な方向に反射される。そして、シリンドリカルレ
ンズ60を透過することによつて、再び平行光束となり、
ビームスプリツター３′によつて２つの光束に分割さ
れ、２つの光束は各々偏光板9,9′を通過して受光素子1
0,10′に入射する。
いま、放射格子７が、角速度ωで回転しているとする。
放射格子の回転中心から、照射点Ｍまでの距離をｒとす
れば、照射点Ｍでの周速度は、ｖ＝ｒωである。このと
き、照射点Ｍに角度θｍで入射して、垂直方向に反射さ
れるレーザー光の周波数は、次式の、いわゆるドツプラ
ーシフトΔを受ける。
放射格子の回転中心から、照射点Ｍまでの距離をｒとす
れば、照射点Ｍでの周速度は、ｖ＝ｒωである。このと
き、照射点Ｍに角度θｍで入射して、垂直方向に反射さ
れるレーザー光の周波数は、次式の、いわゆるドツプラ
ーシフトΔを受ける。
Δ＝v sinθm/λ＝ｒω sinθm/λ ……（２） そして（１）式の回折条件の式からΔ＝±ｍω/pとな
る。
る。
いま放射格子７の格子模様の総本数をＮ、格子模様の等
角度ピツチをΔとすれば、ｐ＝ｒΔ、Δ＝２π/N
より Δ＝±ｍω／Δ＝±mNω/2π ……（３） となる。照射位置Ｍで放射格子７の垂直方向に反射回折
される光束は、（３）式の、正負のドツプラー周波数シ
フトを受けた光束の重ね合わせであるから、受光素子1
0,10′の出力信号の周波数Ｆは、２Δとなる。つま
り、 Ｆ＝２Δ＝mNω／π ……（４） である。いま、時間Δｔの間での受光素子10,10′の出
力信号の端数をｎ、Δｔの間での放射格子７の回転角を
θとすれば、ｎ＝Ｆ・Δｔ、θ＝ω・Δｔより ｎ＝mNθ／π ……（５） となり、受光素子からの出力信号波形の波数をカウント
することによつて、放射格子７の回転角θを、（５）式
によつて求めることができる。
角度ピツチをΔとすれば、ｐ＝ｒΔ、Δ＝２π/N
より Δ＝±ｍω／Δ＝±mNω/2π ……（３） となる。照射位置Ｍで放射格子７の垂直方向に反射回折
される光束は、（３）式の、正負のドツプラー周波数シ
フトを受けた光束の重ね合わせであるから、受光素子1
0,10′の出力信号の周波数Ｆは、２Δとなる。つま
り、 Ｆ＝２Δ＝mNω／π ……（４） である。いま、時間Δｔの間での受光素子10,10′の出
力信号の端数をｎ、Δｔの間での放射格子７の回転角を
θとすれば、ｎ＝Ｆ・Δｔ、θ＝ω・Δｔより ｎ＝mNθ／π ……（５） となり、受光素子からの出力信号波形の波数をカウント
することによつて、放射格子７の回転角θを、（５）式
によつて求めることができる。
ところで回転角を測定する際に回転方向が検出出来れば
更に好ましい。その為本実施例においては従来の光電式
ロータリーエンコーダーなどにおいて公知のように、複
数個の受光素子を用意して互いの信号の位相が90゜ずれ
るように配置し、回転に伴う90゜位相差信号から、回転
方向を示す信号を取り出す方式を用いている。本実施例
においては受光素子10,10′の出力信号間の90゜位相ず
れを、レーザーの直線偏光と、1/4波長板及び偏光板を
組み合わせて作り出している。すなわち、一般にレーザ
ーは直線偏光になつているが、この偏光方位に対して、
２枚の1/4波長板5,5′をその軸が±45゜方向になるよう
に配置する。すると、1/4波長板5,5′を透過した光束
は、互いに逆回りの円偏光となり、照射点Ｍで反射回折
して重なり合うと、再び直線偏光となるが、その偏光方
位が、放射格子７の回転に伴つて変化する。そして、受
光素子10,10′の全面に設けた偏光板9,9′の偏光方位を
互いに45゜ずらすことによつて、受光素子10,10′の出
力信号間に90゜に位相差を与えることができる。そし
て、第１図に示すように例えば受光素子10,10′の出力
信号を波形整形し、回転方向を検出した後、カウンター
にて積算して、回転角度を求めている。ところで、従来
から使用されているインデツクススケール方式の光電式
ロータリーエンコーダーでは、（５）式に対応する、受
光素子からの出力信号の波数ｎと、メインスケールの総
本数Ｎと、回転角θとの関係は、 ｎ＝Ｎθ/2π ……（６） であるから、波数１個あたりの回転角Δθは、 Δθ＝２π/N（ラジアン） ……（７） である。これに対して、本実施例では、（５）式から Δθ＝π/mN（ラジアン） ……（８） である。
更に好ましい。その為本実施例においては従来の光電式
ロータリーエンコーダーなどにおいて公知のように、複
数個の受光素子を用意して互いの信号の位相が90゜ずれ
るように配置し、回転に伴う90゜位相差信号から、回転
方向を示す信号を取り出す方式を用いている。本実施例
においては受光素子10,10′の出力信号間の90゜位相ず
れを、レーザーの直線偏光と、1/4波長板及び偏光板を
組み合わせて作り出している。すなわち、一般にレーザ
ーは直線偏光になつているが、この偏光方位に対して、
２枚の1/4波長板5,5′をその軸が±45゜方向になるよう
に配置する。すると、1/4波長板5,5′を透過した光束
は、互いに逆回りの円偏光となり、照射点Ｍで反射回折
して重なり合うと、再び直線偏光となるが、その偏光方
位が、放射格子７の回転に伴つて変化する。そして、受
光素子10,10′の全面に設けた偏光板9,9′の偏光方位を
互いに45゜ずらすことによつて、受光素子10,10′の出
力信号間に90゜に位相差を与えることができる。そし
て、第１図に示すように例えば受光素子10,10′の出力
信号を波形整形し、回転方向を検出した後、カウンター
にて積算して、回転角度を求めている。ところで、従来
から使用されているインデツクススケール方式の光電式
ロータリーエンコーダーでは、（５）式に対応する、受
光素子からの出力信号の波数ｎと、メインスケールの総
本数Ｎと、回転角θとの関係は、 ｎ＝Ｎθ/2π ……（６） であるから、波数１個あたりの回転角Δθは、 Δθ＝２π/N（ラジアン） ……（７） である。これに対して、本実施例では、（５）式から Δθ＝π/mN（ラジアン） ……（８） である。
従つて本実施例によれば同じ分割数のスケールを用いて
も従来例に比べて2m倍の精度で回転角の検出が出来るこ
とになる。
も従来例に比べて2m倍の精度で回転角の検出が出来るこ
とになる。
また、従来の光電式のロータリーエンコーダーにおいて
は、透光部と遮光部の間隔は、光の回折の影響を考慮す
ると、10μｍ程度が限度である。いま、回転角検出精度
として、たとえば30秒を得るためには、従来例では、メ
インスケールの分割数として、（７）式から、Ｎ＝360
×60×60/30＝43,200だけ必要である。そこで、メイン
スケール最外周での透光部、遮光部の間隔を10μｍとす
れば、メインスケールの直径は、0.01mm×43,200/π＝1
37.5mm必要になる。しかるに、本実施例によれば、放射
格子の分割数は、従来例の1/2mでよいので、30秒の回転
角検出精度を得るための分割数は、21,600（ｍ＝１の場
合）でよい。そして、レーザーの回折光を用いれば透光
部と反射部の間隔は狭くてよいので、たとえば４μｍと
すると、放射格子の直径は、0.004mm×21,600/π＝27.5
mmでよいことになる。すなわち、本実施例によれば、従
来のインデツクススケール方式の光電式ロータリーエン
コーダーと同等の回転角の検出精度を得る形状として
は、従来例に比べて1/5以下の大きさでよいことにな
る。従つて、被検回転物体への負荷も、従来例とくらべ
て、はるかに小さくなり、正確な測定が可能となる。
は、透光部と遮光部の間隔は、光の回折の影響を考慮す
ると、10μｍ程度が限度である。いま、回転角検出精度
として、たとえば30秒を得るためには、従来例では、メ
インスケールの分割数として、（７）式から、Ｎ＝360
×60×60/30＝43,200だけ必要である。そこで、メイン
スケール最外周での透光部、遮光部の間隔を10μｍとす
れば、メインスケールの直径は、0.01mm×43,200/π＝1
37.5mm必要になる。しかるに、本実施例によれば、放射
格子の分割数は、従来例の1/2mでよいので、30秒の回転
角検出精度を得るための分割数は、21,600（ｍ＝１の場
合）でよい。そして、レーザーの回折光を用いれば透光
部と反射部の間隔は狭くてよいので、たとえば４μｍと
すると、放射格子の直径は、0.004mm×21,600/π＝27.5
mmでよいことになる。すなわち、本実施例によれば、従
来のインデツクススケール方式の光電式ロータリーエン
コーダーと同等の回転角の検出精度を得る形状として
は、従来例に比べて1/5以下の大きさでよいことにな
る。従つて、被検回転物体への負荷も、従来例とくらべ
て、はるかに小さくなり、正確な測定が可能となる。
次に第２図に本発明の他の実施例の一部分の概略図を示
す。第２図は第１図の放射格子７に光束が入射する付近
の概略図であり、同図において各要素に付された番号は
第１図に示したものと同じ要素を示す。第２図は放射格
子７に入射した光束の±ｍ次の透過回折光を利用する場
合の一実施例であり本実施例と第１図に示す実施例とで
はｍ次の透過回折光とｍ次の反射回折光を用いている点
を除き基本的には全く同一である。
す。第２図は第１図の放射格子７に光束が入射する付近
の概略図であり、同図において各要素に付された番号は
第１図に示したものと同じ要素を示す。第２図は放射格
子７に入射した光束の±ｍ次の透過回折光を利用する場
合の一実施例であり本実施例と第１図に示す実施例とで
はｍ次の透過回折光とｍ次の反射回折光を用いている点
を除き基本的には全く同一である。
前述した本発明の各実施例では±ｍ次の２つの回折光を
用いた場合を示したが±ｍ次の回折光の代わりに次数の
異つた２つの回折光を用いても本発明の目的を達成する
ことができる。このときは第１図に示す角度θｍは各々
異つた角度となる。
用いた場合を示したが±ｍ次の回折光の代わりに次数の
異つた２つの回折光を用いても本発明の目的を達成する
ことができる。このときは第１図に示す角度θｍは各々
異つた角度となる。
尚本発明において回転角度の回転方向の検出をしなく単
に回転角度のみの測定を行うようにしても良い。この場
合は第１図に示したビームスプリツター３′、偏光板9,
9′、1/4波長板5,5′及び受光素子10′等は不要とな
る。
に回転角度のみの測定を行うようにしても良い。この場
合は第１図に示したビームスプリツター３′、偏光板9,
9′、1/4波長板5,5′及び受光素子10′等は不要とな
る。
又本発明における光源はレーザーに限らず単一の波長を
放射する光源であれば使用可能である。
放射する光源であれば使用可能である。
以上のように本発明によれば、回折効率を向上させて、
高精度な検出を実現する光学式のエンコーダーが可能に
なった。
高精度な検出を実現する光学式のエンコーダーが可能に
なった。
第１図は本発明の一実施例の概略図、第２図は本発明の
他の実施例の一部分の概略図である。 図中１はレーザー、２はコリメーターレンズ、3,3′は
ビームスプリツター、４は反射鏡、5,5′は1/4波長板、
60,6,6′はシリンドリカルレンズ、７は放射格子、８は
被検回転物体と連結した回転次、9,9′は偏光板、10,1
0′は受光素子である。
他の実施例の一部分の概略図である。 図中１はレーザー、２はコリメーターレンズ、3,3′は
ビームスプリツター、４は反射鏡、5,5′は1/4波長板、
60,6,6′はシリンドリカルレンズ、７は放射格子、８は
被検回転物体と連結した回転次、9,9′は偏光板、10,1
0′は受光素子である。
Claims (4)
- 【請求項１】可干渉性の光束を発生する光源と、相対変
位方向に沿って回折格子が形成されるスケールに対して
前記光源からの光束を照射する照射系と、該照射によっ
て発生する特定次数の回折光どうしを干渉させ干渉光を
生成する光学系と、該干渉光を受光することによって前
記スケールの変位状態を検出する受光系を有するエンコ
ーダーであって、 前記照射系によって前記スケールの回折格子に照射され
る光束形状は、第１の方向に大きく、該第１の方向と垂
直な第２の方向に小さくした形状であり、かつ前記スケ
ール上の光束の照射形状の長手方向を、前記回折格子の
相対変位方向に垂直な方向とは異ならせたことを特徴と
するエンコーダー。 - 【請求項２】前記スケールは回転方向に沿って回折格子
が形成された回転スケールである特許請求の範囲第１項
記載のエンコーダー。 - 【請求項３】前記光源はレーザー光源である特許請求の
範囲第１項記載のエンコーダー。 - 【請求項４】前記照射系は光束形状を、第１の方向に大
きく、該第１の方向と垂直な第２の方向に小さくする為
の光学素子を有する特許請求の範囲第１項記載のエンコ
ーダー。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59186173A JPH0781883B2 (ja) | 1984-09-05 | 1984-09-05 | エンコーダー |
| US07/481,684 US4967072A (en) | 1984-09-05 | 1990-02-20 | Interferometric rotating condition detection apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59186173A JPH0781883B2 (ja) | 1984-09-05 | 1984-09-05 | エンコーダー |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6165116A JPS6165116A (ja) | 1986-04-03 |
| JPH0781883B2 true JPH0781883B2 (ja) | 1995-09-06 |
Family
ID=16183665
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59186173A Expired - Lifetime JPH0781883B2 (ja) | 1984-09-05 | 1984-09-05 | エンコーダー |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0781883B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US10634522B2 (en) | 2017-04-25 | 2020-04-28 | Seiko Epson Corporation | Encoder, printer, and robot |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4093941B2 (ja) * | 2003-09-22 | 2008-06-04 | シャープ株式会社 | 速度計、変位計、振動計および電子機器 |
| JP4142528B2 (ja) * | 2003-08-08 | 2008-09-03 | シャープ株式会社 | 速度計、変位計および振動計 |
| JP4142532B2 (ja) | 2003-09-02 | 2008-09-03 | シャープ株式会社 | 光学式速度計、変位情報測定装置および搬送処理装置 |
| JP4142592B2 (ja) * | 2004-01-07 | 2008-09-03 | シャープ株式会社 | 光学式移動情報検出装置およびそれを備えた電子機器 |
| JP4093971B2 (ja) * | 2004-02-12 | 2008-06-04 | シャープ株式会社 | 光学式移動情報検出装置および移動情報検出システムおよび電子機器およびエンコーダ |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5327958B2 (ja) * | 1971-09-01 | 1978-08-11 | ||
| JPS5945506U (ja) * | 1982-09-20 | 1984-03-26 | ソニ−マグネスケ−ル株式会社 | 光学式測長スケ−ル |
-
1984
- 1984-09-05 JP JP59186173A patent/JPH0781883B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US10634522B2 (en) | 2017-04-25 | 2020-04-28 | Seiko Epson Corporation | Encoder, printer, and robot |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6165116A (ja) | 1986-04-03 |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |