JPS6166966A - 回転情報検出計 - Google Patents
回転情報検出計Info
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 27
- 230000004907 flux Effects 0.000 claims abstract description 7
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- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 abstract description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P13/00—Indicating or recording presence, absence, or direction, of movement
- G01P13/02—Indicating direction only, e.g. by weather vane
- G01P13/04—Indicating positive or negative direction of a linear movement or clockwise or anti-clockwise direction of a rotational movement
- G01P13/045—Indicating positive or negative direction of a linear movement or clockwise or anti-clockwise direction of a rotational movement with speed indication
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/36—Forming the light into pulses
- G01D5/38—Forming the light into pulses by diffraction gratings
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P3/00—Measuring linear or angular speed; Measuring differences of linear or angular speeds
- G01P3/36—Devices characterised by the use of optical means, e.g. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01P3/366—Devices characterised by the use of optical means, e.g. using infrared, visible, or ultraviolet light by using diffraction of light
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は回転速度計に関し、特に円周上に例えば透光部
と反射部の格子模様を複数個、周期的に刻んだ放射格子
を回転物体に取付け、該放射格子に例えばレーザーから
の光束を照射し、該放射格子からの回折光を利用して、
放射格子若しくは回転物体の回転速度や回転速度の変動
量等を光電的に検出する回転速度計に関するものである
。
と反射部の格子模様を複数個、周期的に刻んだ放射格子
を回転物体に取付け、該放射格子に例えばレーザーから
の光束を照射し、該放射格子からの回折光を利用して、
放射格子若しくは回転物体の回転速度や回転速度の変動
量等を光電的に検出する回転速度計に関するものである
。
従来よりフロッピーデスクの駆動等のコンピューター機
器、プリンター等の事務機器、ある１／）ＨＮＣ工作機
械さらにはＶＴＲのキャプステンモーターや回転ドラム
等の回転機構の回転速度や回転速度の変ｗＪ量を検出す
る為の手段とじて光〒Ｌ的ロータリーエンコーダーが利
用されてきている。
器、プリンター等の事務機器、ある１／）ＨＮＣ工作機
械さらにはＶＴＲのキャプステンモーターや回転ドラム
等の回転機構の回転速度や回転速度の変ｗＪ量を検出す
る為の手段とじて光〒Ｌ的ロータリーエンコーダーが利
用されてきている。
光電的１】−タリーエンコーダーを用いる方法は回転４
；１１に連ねした円板の周囲に透光部と遮光部を衿間隔
に設けた、所謂メインスケ−Ａ・とこれに対応してメイ
ンスケールと等しい間隔て透光部と遮光部とを設けた原
品固定のインデックススケールとの双方のスケールを投
光手段と受光手段で挾んで対同配置した所＾肖インデッ
クススケール方式の構成を拌っている。この方法はメイ
ンスケールの回転に伴って双方のスケールの透光部と遮
光部の間隔に同期した１３号が得られ、この信号を周波
′ｌｅｌ解析して回転軸の回転速度の変動を検出してい
る。この為双方のスケールの透光部と遮光部とのスケー
ル間隔をｄ（ｌかくすればする程、検出精度を高めるこ
とができる。
；１１に連ねした円板の周囲に透光部と遮光部を衿間隔
に設けた、所謂メインスケ−Ａ・とこれに対応してメイ
ンスケールと等しい間隔て透光部と遮光部とを設けた原
品固定のインデックススケールとの双方のスケールを投
光手段と受光手段で挾んで対同配置した所＾肖インデッ
クススケール方式の構成を拌っている。この方法はメイ
ンスケールの回転に伴って双方のスケールの透光部と遮
光部の間隔に同期した１３号が得られ、この信号を周波
′ｌｅｌ解析して回転軸の回転速度の変動を検出してい
る。この為双方のスケールの透光部と遮光部とのスケー
ル間隔をｄ（ｌかくすればする程、検出精度を高めるこ
とができる。
しかしながらスケール間隔を細かくすると回折光の影響
で受光手段からの出力信号のＳ／Ｎ比が低下し検出精度
が低下してし１う欠点があった。この為メインスケール
の透光部と遮光部の格子の総本数を固定させ、透Ｘ部と
戸先ｆｉＢの間隔を回折光の影響を受けない程度まで拡
大しようとするとメインスケールの円板の山径が増大し
更に厚さも増大し装置全体が大型化１−１仁の結果被検
回転物体への負荷が大きくなってくる等の欠点があった
。
で受光手段からの出力信号のＳ／Ｎ比が低下し検出精度
が低下してし１う欠点があった。この為メインスケール
の透光部と遮光部の格子の総本数を固定させ、透Ｘ部と
戸先ｆｉＢの間隔を回折光の影響を受けない程度まで拡
大しようとするとメインスケールの円板の山径が増大し
更に厚さも増大し装置全体が大型化１−１仁の結果被検
回転物体への負荷が大きくなってくる等の欠点があった
。
本発明は被検回転物体の負荷を小さくした、小型でしか
も高精度の回転速ＩＷ計の提供を目的とする。
も高精度の回転速ＩＷ計の提供を目的とする。
本発明の目的を達成する為の回転速Ｉｆａｉｔの上たる
特徴は円板の周囲上に格子模様を複数個等角度に配置し
た放射格子と前ｄＣ放射格子に光束を入射させる為の照
明手段と前ｄＣ放射格子に入射した光束からの回折光の
うち特定の次数の２つの回折光を再度前記放射格子に入
射させる為の前記放射格子上の位置が共役像となるよう
な屈折力を有した２つの光学手段と前記放射格子により
再度回折された時だの次数の２つの回折光を重ね合わせ
た後、前記重ね合わせた九東忙受光する為の受光手段と
を有し、前記受光手段からの山力信号を利用して前記放
射格子の回転速度を求めたことである。
特徴は円板の周囲上に格子模様を複数個等角度に配置し
た放射格子と前ｄＣ放射格子に光束を入射させる為の照
明手段と前ｄＣ放射格子に入射した光束からの回折光の
うち特定の次数の２つの回折光を再度前記放射格子に入
射させる為の前記放射格子上の位置が共役像となるよう
な屈折力を有した２つの光学手段と前記放射格子により
再度回折された時だの次数の２つの回折光を重ね合わせ
た後、前記重ね合わせた九東忙受光する為の受光手段と
を有し、前記受光手段からの山力信号を利用して前記放
射格子の回転速度を求めたことである。
次に本発明の一実施例を各図と共に説明する。
第１図は本発明の一実施例の概略図である。
同図において１はレーザー等の光源、２は了りメーター
レンズ、３け偏光ビームスプリッタ−１４は％波長板、
５はシリンドリカルレンズ、６は円板上に例えば透光部
と反射部の格子模様を等色１ｆで設けた故旧格子、７は
回転軸で被検回転物体と連結している。８，９け各々光
学手段であり正の屈折力面と裏面反射鏡より成り放射格
子６上の位ｉＭが元の放射格子と共役像となるように構
成されている。
レンズ、３け偏光ビームスプリッタ−１４は％波長板、
５はシリンドリカルレンズ、６は円板上に例えば透光部
と反射部の格子模様を等色１ｆで設けた故旧格子、７は
回転軸で被検回転物体と連結している。８，９け各々光
学手段であり正の屈折力面と裏面反射鏡より成り放射格
子６上の位ｉＭが元の放射格子と共役像となるように構
成されている。
レーザーｌより放射された直ａ！偏向の光束はｊ ＩＪ
／−ターレンズ２により平行光束となり偏向ビームス
プリッタ−３、％波長板４を通って円偏向となり、シリ
ンドリカルレンズ５によって１衣！’１格子６上に脚状
に照射される。ここでシリンドリカルレンズ５は放射格
子６の格子模様と直焚する方間つまり接朦方同に線状照
射するように配置されている。このように線状照射する
ことにより故旧格子６上での光束の照射１ｓト分に相当
する透光部と反射部の格子模様のピッチ誤差を軽減する
ことができる。面シリンドリカルレンズの代わりに１ス
リット若しくはレンズとスリットを用いて線状照射する
ようにしても良い。
／−ターレンズ２により平行光束となり偏向ビームス
プリッタ−３、％波長板４を通って円偏向となり、シリ
ンドリカルレンズ５によって１衣！’１格子６上に脚状
に照射される。ここでシリンドリカルレンズ５は放射格
子６の格子模様と直焚する方間つまり接朦方同に線状照
射するように配置されている。このように線状照射する
ことにより故旧格子６上での光束の照射１ｓト分に相当
する透光部と反射部の格子模様のピッチ誤差を軽減する
ことができる。面シリンドリカルレンズの代わりに１ス
リット若しくはレンズとスリットを用いて線状照射する
ようにしても良い。
レーザーｌからの光束は放射格子６の格子模様によって
反射回折される。いま光束の照射位置ＭＫおける透光部
及び反射部のピッチをｐとすれば±ｍ次の反射回折光Ｌ
１．Ｉ、２の回折角度θは 自輻−ｍλ／ｐ ・・・・・・・・・
（１）で表わされる。ここでλは光束の波長である。
反射回折される。いま光束の照射位置ＭＫおける透光部
及び反射部のピッチをｐとすれば±ｍ次の反射回折光Ｌ
１．Ｉ、２の回折角度θは 自輻−ｍλ／ｐ ・・・・・・・・・
（１）で表わされる。ここでλは光束の波長である。
一方測定点Ｍでの放射格子６の周速度をＶとすれば±ｍ
次の反射回折光Ｌ 、Ｌ２０周波数はｉｆ−±マ８ｉｎ
ＩＪｍ／λ ・・・・・・・・・（２）で表
わされる量だけ、所謂ドツプラーシフトを受ける。
次の反射回折光Ｌ 、Ｌ２０周波数はｉｆ−±マ８ｉｎ
ＩＪｍ／λ ・・・・・・・・・（２）で表
わされる量だけ、所謂ドツプラーシフトを受ける。
ここで光学手段８及び９の光軸Ｓ１．Ｓ２は放射格子６
の回転の成行方向とコリメーターレンズ２を含む照明手
段によって構成される光軸Ｓｏ とで形成する面内圧
位置させ更に光軸 Ｓ□及び光軸Ｓ を照明手段の光軸
Ｓ。とのなす角度がθ となるように配置させている。
の回転の成行方向とコリメーターレンズ２を含む照明手
段によって構成される光軸Ｓｏ とで形成する面内圧
位置させ更に光軸 Ｓ□及び光軸Ｓ を照明手段の光軸
Ｓ。とのなす角度がθ となるように配置させている。
光学手段８は光軸Ｓ□と放射格子６の交点Δ・」が光学
手段８によって再度同一点Ｍに共役像として等倍に結像
されるような屈折力を有し例えば屈折面と裏面反射面よ
り構成している。これによって放射格子６上の入射位置
ＭＫ杉成される線状の照射像を光学手段８によって再度
放射格子６上の同一点Ｍに結像させている。このとき光
学手段８による結像は所謂シャインプルーフの法則を満
足している。
手段８によって再度同一点Ｍに共役像として等倍に結像
されるような屈折力を有し例えば屈折面と裏面反射面よ
り構成している。これによって放射格子６上の入射位置
ＭＫ杉成される線状の照射像を光学手段８によって再度
放射格子６上の同一点Ｍに結像させている。このとき光
学手段８による結像は所謂シャインプルーフの法則を満
足している。
このことは光学手段９についても全く同様である。
このように本実施例では光学手段８，９の屈折力を設定
することにより±ｍ次の回折光を再度放射格子６上に入
射させる際の結像性能の低下による光束径の拡がりを少
なくし受光手段に効率良く光束を導光させている。
することにより±ｍ次の回折光を再度放射格子６上に入
射させる際の結像性能の低下による光束径の拡がりを少
なくし受光手段に効率良く光束を導光させている。
光学手段８．９により元の光路に戻された±ｍ次の回折
光は再度放射格子６により回折され±ｍ次の回折光とな
って双方の回折光は重なり合い元の光路を戻る。このと
きＡ Ｉ＆ ＋２１式で示すドツプラーシフトを受ける
ので±ｍ次の２つの回折光のドツプラーシフトは合計±
２Δｆとなる。そして元の光路１を戻って％波長板４を
再び通過し円偏向はレーザー１の出射光と直交する方向
の直線偏光となり偏光ビームスプリッタ−３で反射され
受光素子ｌＯで受光される。
光は再度放射格子６により回折され±ｍ次の回折光とな
って双方の回折光は重なり合い元の光路を戻る。このと
きＡ Ｉ＆ ＋２１式で示すドツプラーシフトを受ける
ので±ｍ次の２つの回折光のドツプラーシフトは合計±
２Δｆとなる。そして元の光路１を戻って％波長板４を
再び通過し円偏向はレーザー１の出射光と直交する方向
の直線偏光となり偏光ビームスプリッタ−３で反射され
受光素子ｌＯで受光される。
受光素子９には±ｍ次の回折を２回受けた光束が重ね合
わされて入射してくる為、受光素子９の出力信号の周波
数ＦはＦ−２Δｆ−（−２Δｆ）−４Δｆとなる。
わされて入射してくる為、受光素子９の出力信号の周波
数ＦはＦ−２Δｆ−（−２Δｆ）−４Δｆとなる。
つまり、受光素子９の出力信号の周波数ＦＶｉ、Ｆ−４
Δｆ−４ｖＳＩＪｌｏｍ／λとなＪ）、Ｉｎ式ｔｖ回折
’に件の式から出力信号の周波数ＦはＦ −４ｍマ／ｐ
となる。
Δｆ−４ｖＳＩＪｌｏｍ／λとなＪ）、Ｉｎ式ｔｖ回折
’に件の式から出力信号の周波数ＦはＦ −４ｍマ／ｐ
となる。
ここで、回転角速度をω、回転軸７０回転数をｆ１放射
格子６の格子の等角度のピッチをΔψ 、遮光部と反射
部の格子の分割数（総本数）をＮル−ザーの照射位置Ｍ
での半径をｒとすれば、ｖ −ｒω、ω−２ｘｆ、ｐ−
ｒΔψ、Δ９’−２π／Ｎの関係式から、結局、受光素
子の出力信４３の周波数Ｆは、 Ｆ ” ４ｍＮｆ ・・・・・・・
・・（３）となり、回折次数ｍ１分割数Ｎ１回転数ｆで
表わされる。そして、第１図に示すように１受光素子１
０からの出力何月を、コンパレーターなどを通して２値
化し、周波数−電圧変換器等によって周波数解析して、
表示すれば周波数Ｆが求められ、回転物体の回転速度の
変位量を求めることができる。
格子６の格子の等角度のピッチをΔψ 、遮光部と反射
部の格子の分割数（総本数）をＮル−ザーの照射位置Ｍ
での半径をｒとすれば、ｖ −ｒω、ω−２ｘｆ、ｐ−
ｒΔψ、Δ９’−２π／Ｎの関係式から、結局、受光素
子の出力信４３の周波数Ｆは、 Ｆ ” ４ｍＮｆ ・・・・・・・
・・（３）となり、回折次数ｍ１分割数Ｎ１回転数ｆで
表わされる。そして、第１図に示すように１受光素子１
０からの出力何月を、コンパレーターなどを通して２値
化し、周波数−電圧変換器等によって周波数解析して、
表示すれば周波数Ｆが求められ、回転物体の回転速度の
変位量を求めることができる。
向（３）式より明らかのように周波数Ｆを波長と無関係
に求めることができるので光源としてレーザーに限らず
どのような光源であっても使用することができる。
に求めることができるので光源としてレーザーに限らず
どのような光源であっても使用することができる。
一方従来から使用されているインデックススケール方式
の光電式ロータリーエンコーダーでは、受光素子からの
出カイさ号の周波数Ｆ′は、Ｆ′−Ｎｆ である。
の光電式ロータリーエンコーダーでは、受光素子からの
出カイさ号の周波数Ｆ′は、Ｆ′−Ｎｆ である。
従って本発明によれば従来例に比べて４ｍ倍の周波数が
得られるので、４ｍ倍の精度で回転数の検出が出来るこ
とになる。
得られるので、４ｍ倍の精度で回転数の検出が出来るこ
とになる。
また、従来のインデックススケール方式の光ｍ式ロータ
リーエンコーダーにおいては、透光部と遮光部のピッチ
間隔は、光の回折の影響金考イすると、１０μｍ程度が
隅板であった。いま、角度分解能として、九とえば３０
秒１に得るためには、従来例では、メインスケールの分
Ｉｌｌとして、Ｎ −３６０Ｘ ６０ Ｘ ６０／３０
−４３，２００ だけ必要である。そこで、メインス
ケール最外周での透光部と遮光部の間隔ｔ−１０μｍ
とすれば、メインスケールの直径は、０．０１■×４ミ
２００ ／ ｔ −１３７，５■必要になる。しかるに
、本実施例によれば、放射格子の分割数は、従来例の１
７４ｍでよいので、３０秒の角度分解能を得るための分
割数ｔｉｌｏ、ｓｏＯ（ｍ−１）でよい。そして、本実
施例では、レーザー等からの回折光を用いれば透光部と
反射部の間隔は狭くてよいので、たとえば４μｍ と
すると、放射格子の直径は、０．００４ ｗ Ｘ１０．
８００／π−１＆７５ ｍでよいことになる。すなわち
、本冥施例によれば、従来のインデックススケール方式
の光電式ロータリーエンコータート同等の分解能を得る
為の放射格子の形状としては従来例に比べて１／ｌＯ以
下の大きさで良い。
リーエンコーダーにおいては、透光部と遮光部のピッチ
間隔は、光の回折の影響金考イすると、１０μｍ程度が
隅板であった。いま、角度分解能として、九とえば３０
秒１に得るためには、従来例では、メインスケールの分
Ｉｌｌとして、Ｎ −３６０Ｘ ６０ Ｘ ６０／３０
−４３，２００ だけ必要である。そこで、メインス
ケール最外周での透光部と遮光部の間隔ｔ−１０μｍ
とすれば、メインスケールの直径は、０．０１■×４ミ
２００ ／ ｔ −１３７，５■必要になる。しかるに
、本実施例によれば、放射格子の分割数は、従来例の１
７４ｍでよいので、３０秒の角度分解能を得るための分
割数ｔｉｌｏ、ｓｏＯ（ｍ−１）でよい。そして、本実
施例では、レーザー等からの回折光を用いれば透光部と
反射部の間隔は狭くてよいので、たとえば４μｍ と
すると、放射格子の直径は、０．００４ ｗ Ｘ１０．
８００／π−１＆７５ ｍでよいことになる。すなわち
、本冥施例によれば、従来のインデックススケール方式
の光電式ロータリーエンコータート同等の分解能を得る
為の放射格子の形状としては従来例に比べて１／ｌＯ以
下の大きさで良い。
従って被検回転物体への負荷も従来例に比べてはるかに
小さくなり、より高精度の測定が可能となる。
小さくなり、より高精度の測定が可能となる。
次に第２図、第３図に各々本発明の他の実施例の一部分
の概略図を示す。第２図、第３図は第１図の放射格子６
に光束が入射する付近の概略図であり、同図において各
要素に付された番号は第１図で示したものと同じ要素を
示す。
の概略図を示す。第２図、第３図は第１図の放射格子６
に光束が入射する付近の概略図であり、同図において各
要素に付された番号は第１図で示したものと同じ要素を
示す。
第２図は放射格子６に入射した光束の±ｍ次の透過回折
光を利用する場合の一実施例、第３図は放射格子６に入
射した光束のｍ次の透過回折光とｍ次の反射回折光を利
用したときの一実施例である。いずれの実施例でも±ｍ
次の反射回折光の代わりに−１：ｍ次の透過回折光若し
くはｍ次の透過回折光とｍ次の反射回折光を用いている
点を除き第１図の実施例と基本的には同様であり第１図
の実施例と同様の効果を得ることができる。
光を利用する場合の一実施例、第３図は放射格子６に入
射した光束のｍ次の透過回折光とｍ次の反射回折光を利
用したときの一実施例である。いずれの実施例でも±ｍ
次の反射回折光の代わりに−１：ｍ次の透過回折光若し
くはｍ次の透過回折光とｍ次の反射回折光を用いている
点を除き第１図の実施例と基本的には同様であり第１図
の実施例と同様の効果を得ることができる。
前述した本発明の各実施例では±ｍ次の２つの回折光を
用いた場合を示したが±ｍ次の回折光の代わりに次数の
異った２つの回折光を用いても本発明の目的を達成する
ことができる。又光量は多少減少するが偏光ビームスプ
リッタ−の代わりに単なるビームスプリッタ−を用いて
も本発明の目的を達成することができる。このときは％
波長板を用いる必要はない。
用いた場合を示したが±ｍ次の回折光の代わりに次数の
異った２つの回折光を用いても本発明の目的を達成する
ことができる。又光量は多少減少するが偏光ビームスプ
リッタ−の代わりに単なるビームスプリッタ−を用いて
も本発明の目的を達成することができる。このときは％
波長板を用いる必要はない。
又本発明の放射格子上の格子模様を透過部のみ又は反射
部のみで構成し透過回折光又は反射回折光のみを用いる
ようにしても本発明の目的を達成することができる。
部のみで構成し透過回折光又は反射回折光のみを用いる
ようにしても本発明の目的を達成することができる。
以上のように本発明によれば光束を放射格子に照射する
ことＫより、放射格子から生ずる２つの回折光によるド
ツプラーシフトを利用することにより被検回転物体の負
荷を小さくした小型で【７かも高精度の回転速度計を達
成することができる。
ことＫより、放射格子から生ずる２つの回折光によるド
ツプラーシフトを利用することにより被検回転物体の負
荷を小さくした小型で【７かも高精度の回転速度計を達
成することができる。
第１図は本発明の一実施例の概略図、第２図、第３図は
各々本発明の他の実施例の一部分の概略図である。図中
１は光源、２はコリメーターレンズ、３ａ偏光ビームス
プリッタ−１４は％波技板、５＃′ｉシリンドリカルレ
ンズ、６は放射格子、７は回転軸、８，９は光学手段、
１ｏは受光素子である。
各々本発明の他の実施例の一部分の概略図である。図中
１は光源、２はコリメーターレンズ、３ａ偏光ビームス
プリッタ−１４は％波技板、５＃′ｉシリンドリカルレ
ンズ、６は放射格子、７は回転軸、８，９は光学手段、
１ｏは受光素子である。
Claims (4)
- （１）円板の周囲上に格子模様を複数個等角度に配置し
た放射格子と前記放射格子に光束を入射させる為の照明
手段と前記放射格子に入射した光束からの回折光のうち
特定の次数の２つの回折光を再度前記放射格子に入射さ
せる為の前記放射格子上の位置が共役像となるような屈
折力を有した２つの光学手段と前記放射格子により再度
回折された特定の次数の２つの回折光を重ね合わせた後
、前記重ね合わせた光束を受光する為の受光手段とを有
し、前記受光手段からの出力信号を利用して前記放射格
子の回転速度を求めたことを特徴とする回転速度計。 - （２）前記照明手段は前記放射格子の格子の放射方向と
直交する方向に線状に前記光束を照射させたことを特徴
とする特許請求の範囲第１項記載の回転速度計。 - （３）前記受光手段は１／４波長板と偏光ビームスプリ
ッターを介して受光していることを特徴とする特許請求
の範囲第２項記載の回転速度計。 - （４）前記格子模様を透光部と反射部より構成したこと
を特徴とする特許請求の範囲第３項記載の回転速度計。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59189157A JPH0625772B2 (ja) | 1984-09-10 | 1984-09-10 | 回転情報検出計 |
| US07/481,684 US4967072A (en) | 1984-09-05 | 1990-02-20 | Interferometric rotating condition detection apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59189157A JPH0625772B2 (ja) | 1984-09-10 | 1984-09-10 | 回転情報検出計 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6166966A true JPS6166966A (ja) | 1986-04-05 |
| JPH0625772B2 JPH0625772B2 (ja) | 1994-04-06 |
Family
ID=16236397
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59189157A Expired - Lifetime JPH0625772B2 (ja) | 1984-09-05 | 1984-09-10 | 回転情報検出計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0625772B2 (ja) |
-
1984
- 1984-09-10 JP JP59189157A patent/JPH0625772B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0625772B2 (ja) | 1994-04-06 |
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