JPH06254763A - 平面研磨装置における加圧ヘッド - Google Patents
平面研磨装置における加圧ヘッドInfo
- Publication number
- JPH06254763A JPH06254763A JP6608193A JP6608193A JPH06254763A JP H06254763 A JPH06254763 A JP H06254763A JP 6608193 A JP6608193 A JP 6608193A JP 6608193 A JP6608193 A JP 6608193A JP H06254763 A JPH06254763 A JP H06254763A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- work
- holding hole
- pressure head
- plate
- holding
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ワークのローディング時に、ワークとワーク
保持穴との位置関係が若干ずれていても該ワークを確実
に保持することができる平面研磨装置用の加圧ヘッドを
提供すること。 【構成】 加圧ヘッド１０の下面のワーク保持穴１２
を、固定プレ−ト１５ａ，１５ｂと可動プレート１６
ａ，１６ｂとの間に区画形成することにより、ワークの
ローディング時に可動プレート１６ａ，１６ｂを後退さ
せて保持穴の大きさを広げておき、ワークを保持穴に嵌
合したあと可動プレートを前進させてワークを保持する
ようにした。
保持穴との位置関係が若干ずれていても該ワークを確実
に保持することができる平面研磨装置用の加圧ヘッドを
提供すること。 【構成】 加圧ヘッド１０の下面のワーク保持穴１２
を、固定プレ−ト１５ａ，１５ｂと可動プレート１６
ａ，１６ｂとの間に区画形成することにより、ワークの
ローディング時に可動プレート１６ａ，１６ｂを後退さ
せて保持穴の大きさを広げておき、ワークを保持穴に嵌
合したあと可動プレートを前進させてワークを保持する
ようにした。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、液晶パネル用ガラス基
板、その他のセラミック基板等の板状ワークを研磨する
ための平面研磨装置における、前記ワークを保持して定
盤に押し付けるための加圧ヘッドに関するものである。
板、その他のセラミック基板等の板状ワークを研磨する
ための平面研磨装置における、前記ワークを保持して定
盤に押し付けるための加圧ヘッドに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来より、ワークを研磨するための定盤
と、該ワークを定盤に押し付けるための加圧ヘッドとを
備え、該加圧ヘッドの下面のワーク保持穴内に嵌合、保
持させた板状ワークを、回転する定盤に押し付けて研磨
加工するようにした平面研磨装置は公知である。
と、該ワークを定盤に押し付けるための加圧ヘッドとを
備え、該加圧ヘッドの下面のワーク保持穴内に嵌合、保
持させた板状ワークを、回転する定盤に押し付けて研磨
加工するようにした平面研磨装置は公知である。
【０００３】かかる平面研磨装置においては、図４に示
すように、加圧ヘッド１の下面のワーク保持穴２を、ワ
ーク３と同形の穴を有するプラスチック製の薄いキャリ
ヤ４を貼り付けることにより形成しており、該ワーク保
持穴２の大きさは、ワーク３との間のギャップをできる
だけ小さくして加工時における該ワークのがたつきを抑
えるため、該ワークより僅かに大きい程度としている。
すように、加圧ヘッド１の下面のワーク保持穴２を、ワ
ーク３と同形の穴を有するプラスチック製の薄いキャリ
ヤ４を貼り付けることにより形成しており、該ワーク保
持穴２の大きさは、ワーク３との間のギャップをできる
だけ小さくして加工時における該ワークのがたつきを抑
えるため、該ワークより僅かに大きい程度としている。
【０００４】このため、該ワーク保持穴２にワーク３を
嵌合、保持させるローディング作業が面倒で、特にロー
ディング作業を自動化した場合には、ワーク３及び加圧
ヘッド１を一定の位置にセットする際の位置決めを非常
に高い精度で行うことが要求され、それらに誤差があっ
た場合には、ワーク３をワーク保持穴２に嵌合させるこ
とが不可能になる。
嵌合、保持させるローディング作業が面倒で、特にロー
ディング作業を自動化した場合には、ワーク３及び加圧
ヘッド１を一定の位置にセットする際の位置決めを非常
に高い精度で行うことが要求され、それらに誤差があっ
た場合には、ワーク３をワーク保持穴２に嵌合させるこ
とが不可能になる。
【０００５】ところが通常、このようにワークのローデ
ィングを自動化した場合、前記加圧ヘッド１を支持する
アームやローディング機構における各種部材等が温度変
化による伸縮を生じたり、可動部分の摩耗や負荷の変化
等が発生するため、それらが原因となってワーク３及び
加圧ヘッド１の位置決め精度が低下し、これがローディ
ングの自動化を進める上での大きな障害となっていた。
ィングを自動化した場合、前記加圧ヘッド１を支持する
アームやローディング機構における各種部材等が温度変
化による伸縮を生じたり、可動部分の摩耗や負荷の変化
等が発生するため、それらが原因となってワーク３及び
加圧ヘッド１の位置決め精度が低下し、これがローディ
ングの自動化を進める上での大きな障害となっていた。
【０００６】ワーク保持穴２を大きくすると、研磨加工
時のワーク３のがたつきによって該ワーク保持穴の穴縁
が傷み易く、高価なキャリヤ４を頻繁に交換しなければ
ならないという不都合を生ずる。
時のワーク３のがたつきによって該ワーク保持穴の穴縁
が傷み易く、高価なキャリヤ４を頻繁に交換しなければ
ならないという不都合を生ずる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、ワー
クと保持穴との位置関係が若干ずれていても該ワークを
確実に保持することが可能な、ワークのローディングを
自動化した平面研磨装置に最適な加圧ヘッドを提供する
ことにある。
クと保持穴との位置関係が若干ずれていても該ワークを
確実に保持することが可能な、ワークのローディングを
自動化した平面研磨装置に最適な加圧ヘッドを提供する
ことにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するた
め、本発明は、下面にワークを嵌合、保持するための保
持穴を有し、該保持穴内に保持したワークを定盤に押し
付けて研磨加工する平面研磨装置の加圧ヘッドにおい
て、前記ワーク保持穴を、所定の位置に固定的に配設さ
れた固定プレートと、シリンダ等の駆動手段により移動
自在に配設された可動プレートとの間に区画形成したこ
とを特徴としている。
め、本発明は、下面にワークを嵌合、保持するための保
持穴を有し、該保持穴内に保持したワークを定盤に押し
付けて研磨加工する平面研磨装置の加圧ヘッドにおい
て、前記ワーク保持穴を、所定の位置に固定的に配設さ
れた固定プレートと、シリンダ等の駆動手段により移動
自在に配設された可動プレートとの間に区画形成したこ
とを特徴としている。
【０００９】加圧ヘッドのワーク保持穴の位置に下方に
突出する平面状の台部を設け、該台部の回りに前記固定
プレ−ト及び可動プレートを、該台部より下方に突出す
るように配設することもできる。
突出する平面状の台部を設け、該台部の回りに前記固定
プレ−ト及び可動プレートを、該台部より下方に突出す
るように配設することもできる。
【００１０】
【作用】加圧ヘッドに対するワークの装着時には、可動
プレートが駆動手段の動作により後退して保持穴が広が
った状態にあり、この状態で保持穴内にワークが供給さ
れると、可動プレートが前進して、該ワークをワークサ
イズに応じたクリアランスを保った状態で固定プレート
との間に保持する。
プレートが駆動手段の動作により後退して保持穴が広が
った状態にあり、この状態で保持穴内にワークが供給さ
れると、可動プレートが前進して、該ワークをワークサ
イズに応じたクリアランスを保った状態で固定プレート
との間に保持する。
【００１１】従って、ワークと保持穴との位置関係が若
干ずれていても、該ワークを確実に保持することができ
る。
干ずれていても、該ワークを確実に保持することができ
る。
【００１２】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳細
に説明するに、図１及び図２に示す第１実施例におい
て、１０は平面研磨装置における加圧ヘッドを示し、該
加圧ヘッド１０は、下面にワーク１１を嵌合、保持する
ためのワーク保持穴１２を有し、該保持穴１２内に保持
したワーク１１を定盤１３に押し付けて、左右に揺動し
ながら研磨加工するものである。
に説明するに、図１及び図２に示す第１実施例におい
て、１０は平面研磨装置における加圧ヘッドを示し、該
加圧ヘッド１０は、下面にワーク１１を嵌合、保持する
ためのワーク保持穴１２を有し、該保持穴１２内に保持
したワーク１１を定盤１３に押し付けて、左右に揺動し
ながら研磨加工するものである。
【００１３】前記ワーク保持穴１２は、所定の位置に固
定的に配設された固定プレート１５ａ，１５ｂと、移動
自在に配設された可動プレート１６ａ，１６ｂとの間に
区画形成されたもので、加圧ヘッド１０の下面における
該ワーク保持穴１２の位置には、下方に突出する平面状
の台部１０ａが、該ヘッドと一体に又はヘッドに別部材
を取り付けることにより形成され、該台部１０ａの回り
に前記固定プレ−ト１５ａ，１５ｂ及び可動プレート１
６ａ，１６ｂが、該台部１０ａより下方に突出するよう
に配設されている。従って各プレートは、台部１０ａの
高さよりも厚さが大きい。このように構成することによ
り、保持するワーク１１の厚さよりも厚くて丈夫な固定
プレート１５ａ，１５ｂ及び可動プレート１６ａ，１６
ｂを使用することが可能になり、薄いワークを研磨する
場合に生じ易いプレートの破損を確実に防止することが
できる。
定的に配設された固定プレート１５ａ，１５ｂと、移動
自在に配設された可動プレート１６ａ，１６ｂとの間に
区画形成されたもので、加圧ヘッド１０の下面における
該ワーク保持穴１２の位置には、下方に突出する平面状
の台部１０ａが、該ヘッドと一体に又はヘッドに別部材
を取り付けることにより形成され、該台部１０ａの回り
に前記固定プレ−ト１５ａ，１５ｂ及び可動プレート１
６ａ，１６ｂが、該台部１０ａより下方に突出するよう
に配設されている。従って各プレートは、台部１０ａの
高さよりも厚さが大きい。このように構成することによ
り、保持するワーク１１の厚さよりも厚くて丈夫な固定
プレート１５ａ，１５ｂ及び可動プレート１６ａ，１６
ｂを使用することが可能になり、薄いワークを研磨する
場合に生じ易いプレートの破損を確実に防止することが
できる。
【００１４】前記固定プレ−ト１５ａ，１５ｂ及び可動
プレート１６ａ，１６ｂは、従来のキャリヤと同様にプ
ラスチックで形成され、固定プレート１５ａ，１５ｂ
は、接着剤により貼着するか又は螺子止め、或はその両
方の手段を併用することにより加圧ヘッド１０に固定さ
れ、可動プレート１６ａ，１６ｂは、加圧ヘッド１０に
設けたシリンダ等の駆動手段１４により前後動自在とな
っている。
プレート１６ａ，１６ｂは、従来のキャリヤと同様にプ
ラスチックで形成され、固定プレート１５ａ，１５ｂ
は、接着剤により貼着するか又は螺子止め、或はその両
方の手段を併用することにより加圧ヘッド１０に固定さ
れ、可動プレート１６ａ，１６ｂは、加圧ヘッド１０に
設けたシリンダ等の駆動手段１４により前後動自在とな
っている。
【００１５】また、前記ワーク保持穴１２の内部には、
パッド１８が貼着されると共に、嵌合したワーク１１を
バキュームチャックするための吸引孔１９が複数開口し
ている。なお、図中１４ａ及び１９ａは、駆動手段１４
及び吸引孔１９に通じるエア通孔を示している。
パッド１８が貼着されると共に、嵌合したワーク１１を
バキュームチャックするための吸引孔１９が複数開口し
ている。なお、図中１４ａ及び１９ａは、駆動手段１４
及び吸引孔１９に通じるエア通孔を示している。
【００１６】前記構成を有する加圧ヘッド１０に対する
ワーク１１の装着時には、駆動手段１４の動作により可
動プレート１６ａ，１６ｂが図２の鎖線の位置に後退し
てワーク保持穴１２が広がった状態にあり、この状態で
適宜のローディング機構によりワーク１１がワーク保持
穴１２内に供給されると、該ワーク１１は、可動プレー
ト１６ａ，１６ｂが実線位置まで前進することにより、
ワークサイズに応じて設定された所定のクリアランスを
保った状態で該可動プレート１６ａ，１６ｂと固定プレ
ート１５ａ，１５ｂとの間に保持され、吸引孔１９によ
る吸引力でバキュームチャックされる。
ワーク１１の装着時には、駆動手段１４の動作により可
動プレート１６ａ，１６ｂが図２の鎖線の位置に後退し
てワーク保持穴１２が広がった状態にあり、この状態で
適宜のローディング機構によりワーク１１がワーク保持
穴１２内に供給されると、該ワーク１１は、可動プレー
ト１６ａ，１６ｂが実線位置まで前進することにより、
ワークサイズに応じて設定された所定のクリアランスを
保った状態で該可動プレート１６ａ，１６ｂと固定プレ
ート１５ａ，１５ｂとの間に保持され、吸引孔１９によ
る吸引力でバキュームチャックされる。
【００１７】従って、ワーク１１と保持穴１２との位置
関係が若干ずれていても、該ワーク１１を確実に保持す
ることができる。加圧ヘッド１０に保持されたワーク１
１は、所定の圧力で定盤１３に押し付けれらることによ
り研磨加工され、その加工中はバキュームチャックはオ
フとなっている。
関係が若干ずれていても、該ワーク１１を確実に保持す
ることができる。加圧ヘッド１０に保持されたワーク１
１は、所定の圧力で定盤１３に押し付けれらることによ
り研磨加工され、その加工中はバキュームチャックはオ
フとなっている。
【００１８】そして、加工が終了すると、再びバキュー
ムチャックが働いてワーク１１は加圧ヘッド１０に吸着
保持され、該加圧ヘッド１０と共に上昇したあと、所定
の位置で該加圧ヘッド１０から取り出されるが、このと
き、可動プレート１６ａ，１６ｂが後退して保持穴１２
が広がり、バキュームチャックがオフになる共に吸引穴
１９からエアブローが行われることにより、該ワーク１
１は加圧ヘッド１０から剥離される。
ムチャックが働いてワーク１１は加圧ヘッド１０に吸着
保持され、該加圧ヘッド１０と共に上昇したあと、所定
の位置で該加圧ヘッド１０から取り出されるが、このと
き、可動プレート１６ａ，１６ｂが後退して保持穴１２
が広がり、バキュームチャックがオフになる共に吸引穴
１９からエアブローが行われることにより、該ワーク１
１は加圧ヘッド１０から剥離される。
【００１９】研磨加工時のワーク保持穴１２内でのワー
ク１１のがたつき等によってプレート１５ａ，１５ｂ，
１６，１６ｂの穴縁が傷んだ時は、そのプレートを取り
外して穴縁を削り直し、再使用することができる。この
ために、プレートを取り付けるための取付穴１７を長孔
にしておくことが望ましい。
ク１１のがたつき等によってプレート１５ａ，１５ｂ，
１６，１６ｂの穴縁が傷んだ時は、そのプレートを取り
外して穴縁を削り直し、再使用することができる。この
ために、プレートを取り付けるための取付穴１７を長孔
にしておくことが望ましい。
【００２０】なお、前記第１実施例では、加圧ヘッド１
０のワーク保持穴１２の位置に台部１０ａを設けている
が、このような台部を設けることなく、図３に示す第２
実施例のように、加圧ヘッド２０の全体として平坦をな
す下面に、第１実施例と同様の態様で固定プレート２５
ａ，２５ｂ（２５ａのみを図示）及び可動プレート２６
ａ，２６ｂ（２６ａのみを図示）を配設することによ
り、ワーク保持穴２２を形成することもできる。
０のワーク保持穴１２の位置に台部１０ａを設けている
が、このような台部を設けることなく、図３に示す第２
実施例のように、加圧ヘッド２０の全体として平坦をな
す下面に、第１実施例と同様の態様で固定プレート２５
ａ，２５ｂ（２５ａのみを図示）及び可動プレート２６
ａ，２６ｂ（２６ａのみを図示）を配設することによ
り、ワーク保持穴２２を形成することもできる。
【００２１】また、前記各実施例では、四角形のワーク
を保持対象としているが、ワークの形状はその他の非円
形又は円形であっても良く、この場合には、ワークの形
状に合ったワーク保持穴を形成し得るように固定プレー
トと可動プレートとの形状及び配置が決められることは
いうまでもない。更に、上記加圧ヘッドは、ワークのロ
ーディングを自動化した平面研磨装置に好適に使用する
ことができるものであるが、ワークのローディングを手
作業で行う場合においても、作業を行い易いという利点
がある。
を保持対象としているが、ワークの形状はその他の非円
形又は円形であっても良く、この場合には、ワークの形
状に合ったワーク保持穴を形成し得るように固定プレー
トと可動プレートとの形状及び配置が決められることは
いうまでもない。更に、上記加圧ヘッドは、ワークのロ
ーディングを自動化した平面研磨装置に好適に使用する
ことができるものであるが、ワークのローディングを手
作業で行う場合においても、作業を行い易いという利点
がある。
【００２２】
【発明の効果】このように本発明によれば、固定プレー
トと可動プレートとによって大きさを調整可能なワーク
保持穴を形成したので、ワークと保持穴との位置関係が
若干ずれていても、該ワークを確実に保持することがで
きる。
トと可動プレートとによって大きさを調整可能なワーク
保持穴を形成したので、ワークと保持穴との位置関係が
若干ずれていても、該ワークを確実に保持することがで
きる。
【図１】本発明の第１実施例を示す部分破断正面図であ
る。
る。
【図２】図１の下面図である。
【図３】本発明の第２実施例を示す部分破断正面図であ
る。
る。
【図４】従来の加圧ヘッドの下面側から見た斜視図であ
る。
る。
１０，２０ 加圧ヘッド １０ａ 台部 １１ ワーク １２，２２ 保持
穴 １３ 定盤 １４ 駆動手段 １５ａ，１５ｂ，２５ａ 固定プレート １６ａ，１６ｂ，２６ａ 可動プレート
穴 １３ 定盤 １４ 駆動手段 １５ａ，１５ｂ，２５ａ 固定プレート １６ａ，１６ｂ，２６ａ 可動プレート
Claims (2)
- 【請求項１】 下面にワークを嵌合、保持するための保
持穴を有し、該保持穴内に保持したワークを定盤に押し
付けて研磨加工する平面研磨装置の加圧ヘッドであっ
て、 前記ワーク保持穴が、所定の位置に固定的に配設された
固定プレートと、シリンダ等の駆動手段により移動自在
に配設された可動プレートとの間に区画形成されてい
る、ことを特徴とする平面研磨装置における加圧ヘッ
ド。 - 【請求項２】 ヘッド下面のワーク保持穴の位置に下方
に突出する平面状の台部が形成され、該台部の回りに、
前記固定プレ−ト及び可動プレートが該台部より下方に
突出するように配設されていることを特徴とする請求項
１に記載の加圧ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6608193A JPH06254763A (ja) | 1993-03-02 | 1993-03-02 | 平面研磨装置における加圧ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6608193A JPH06254763A (ja) | 1993-03-02 | 1993-03-02 | 平面研磨装置における加圧ヘッド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06254763A true JPH06254763A (ja) | 1994-09-13 |
Family
ID=13305551
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6608193A Pending JPH06254763A (ja) | 1993-03-02 | 1993-03-02 | 平面研磨装置における加圧ヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06254763A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008137108A (ja) * | 2006-12-01 | 2008-06-19 | Nitta Haas Inc | 被加工物保持枠材および被加工物保持具 |
| JP2009291886A (ja) * | 2008-06-05 | 2009-12-17 | Nikon Corp | 研磨装置 |
| JP2020163529A (ja) * | 2019-03-29 | 2020-10-08 | 株式会社荏原製作所 | 基板を保持するための研磨ヘッドおよび基板処理装置 |
-
1993
- 1993-03-02 JP JP6608193A patent/JPH06254763A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008137108A (ja) * | 2006-12-01 | 2008-06-19 | Nitta Haas Inc | 被加工物保持枠材および被加工物保持具 |
| JP2009291886A (ja) * | 2008-06-05 | 2009-12-17 | Nikon Corp | 研磨装置 |
| JP2020163529A (ja) * | 2019-03-29 | 2020-10-08 | 株式会社荏原製作所 | 基板を保持するための研磨ヘッドおよび基板処理装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20011030 |