JPH06204325A - 静電吸着装置およびその吸着方法 - Google Patents
静電吸着装置およびその吸着方法Info
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- JPH06204325A JPH06204325A JP34817592A JP34817592A JPH06204325A JP H06204325 A JPH06204325 A JP H06204325A JP 34817592 A JP34817592 A JP 34817592A JP 34817592 A JP34817592 A JP 34817592A JP H06204325 A JPH06204325 A JP H06204325A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 静電吸着装置によってウエハの反りが矯正
され、確実に固定されたか否かの確認手段となる、静電
吸着装置のモニター方法を提供する。 【構成】 静電吸着式の試料保持装置の誘電体および電
極板を、二つ以上に分割した対の構造２，５、３，６、
４，７として、各々独立に電位差を発生させる電源を有
する電源８，９，１０、回路に流れる電流を計測する手
段１１，１２，１３を備え付ける。計測された電流値に
よって、ウエハ１の平坦化の状態を判断し、制御装置１
７により電圧値のコントロールを行う。
され、確実に固定されたか否かの確認手段となる、静電
吸着装置のモニター方法を提供する。 【構成】 静電吸着式の試料保持装置の誘電体および電
極板を、二つ以上に分割した対の構造２，５、３，６、
４，７として、各々独立に電位差を発生させる電源を有
する電源８，９，１０、回路に流れる電流を計測する手
段１１，１２，１３を備え付ける。計測された電流値に
よって、ウエハ１の平坦化の状態を判断し、制御装置１
７により電圧値のコントロールを行う。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、静電吸着装置およびそ
の吸着方法に係り、特に、例えば、導体またはシリコン
ウエハのような半導体など微細加工に供される試料を固
定保持するのに好適な静電吸着装置およびその吸着方法
に関するものである。
の吸着方法に係り、特に、例えば、導体またはシリコン
ウエハのような半導体など微細加工に供される試料を固
定保持するのに好適な静電吸着装置およびその吸着方法
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】例えば、半導体ウエハ等の試料に対し、
エッチング,スパッタ，気相成長法（ＣＶＤ）等により
成膜を施す場合には、試料を装置の所定の位置に固定保
持することが必要となる。特に、半導体ウエハ上に微細
パターンを加工する場合には、ウエハのパターン焼き付
けのため、反りを矯正して平坦化を図る、あるいは、ス
ッパッタ，成膜時の熱伝導率向上を図るなどの目的で、
ウエハを確実に保持手段に密着固定することが要求され
る。
エッチング,スパッタ，気相成長法（ＣＶＤ）等により
成膜を施す場合には、試料を装置の所定の位置に固定保
持することが必要となる。特に、半導体ウエハ上に微細
パターンを加工する場合には、ウエハのパターン焼き付
けのため、反りを矯正して平坦化を図る、あるいは、ス
ッパッタ，成膜時の熱伝導率向上を図るなどの目的で、
ウエハを確実に保持手段に密着固定することが要求され
る。
【０００３】従来から、このような用途の試料保持手段
として、真空中でも使用でき、またウエハ裏面全面にて
吸着力を発生させることができる静電吸着装置が用いら
れている。さらに、真空中でウエハ保持ができるため、
真空中高速搬送の保持装置としても利用されている。こ
の静電吸着装置は、電極板と誘電体とを積み重ね（積
層）して構成され、電極板と試料との間に電位差を生じ
させることによりクーロン力を発生させ、誘電体上に試
料を吸着保持させるものである。このような静電吸着装
置に関しては、例えば、特開昭５８−１１４４３７号公
報、特開昭５９−７９５４５号公報等が知られている。
として、真空中でも使用でき、またウエハ裏面全面にて
吸着力を発生させることができる静電吸着装置が用いら
れている。さらに、真空中でウエハ保持ができるため、
真空中高速搬送の保持装置としても利用されている。こ
の静電吸着装置は、電極板と誘電体とを積み重ね（積
層）して構成され、電極板と試料との間に電位差を生じ
させることによりクーロン力を発生させ、誘電体上に試
料を吸着保持させるものである。このような静電吸着装
置に関しては、例えば、特開昭５８−１１４４３７号公
報、特開昭５９−７９５４５号公報等が知られている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、すでに述べ
たように半導体製造行程におけるエッチング，スパッ
タ，ＣＶＤ等、半導体ウエハ上に微細パターンを加工す
る場合には、ウエハの反りを矯正して平坦化を行う、あ
るいは、熱伝導率を向上するためウエハを確実に保持手
段に密着固定すること等が要求される。しかし、前記特
開昭５８−１１４４３７号公報に記載された開示例で
は、静電吸着装置によってウエハの反りが矯正され、確
実に固定保持されたか否かの確認手段が考慮されていな
かった。
たように半導体製造行程におけるエッチング，スパッ
タ，ＣＶＤ等、半導体ウエハ上に微細パターンを加工す
る場合には、ウエハの反りを矯正して平坦化を行う、あ
るいは、熱伝導率を向上するためウエハを確実に保持手
段に密着固定すること等が要求される。しかし、前記特
開昭５８−１１４４３７号公報に記載された開示例で
は、静電吸着装置によってウエハの反りが矯正され、確
実に固定保持されたか否かの確認手段が考慮されていな
かった。
【０００５】また、特開昭５９−７９５４５号公報に記
載された開示例においては、静電吸着の確認手段として
静電吸着装置を構成する回路に流れる電流値によって、
ウエハが固定保持されたか否かの確認手段としている
が、プロセスを経てきたウエハの被吸着面には、プロセ
スの種類によって異なった膜が形成されており、抵抗値
が異なることから、測定された電流値によって真に平坦
化されたか否かを判断する基準が明確でなく不十分なも
のであった。さらに、上記の開示例では、いずれも電圧
の印加方法、すなわち吸着のさせ方に配慮が足らず、効
果的なウエハ平坦度の矯正がなされていなかった。
載された開示例においては、静電吸着の確認手段として
静電吸着装置を構成する回路に流れる電流値によって、
ウエハが固定保持されたか否かの確認手段としている
が、プロセスを経てきたウエハの被吸着面には、プロセ
スの種類によって異なった膜が形成されており、抵抗値
が異なることから、測定された電流値によって真に平坦
化されたか否かを判断する基準が明確でなく不十分なも
のであった。さらに、上記の開示例では、いずれも電圧
の印加方法、すなわち吸着のさせ方に配慮が足らず、効
果的なウエハ平坦度の矯正がなされていなかった。
【０００６】本発明は、上記従来技術の問題点を解決す
るためになされたもので、本発明の目的は、まず第一
に、ウエハの反りが矯正され、被保持物が確実に吸着固
定されたことを確認しうる静電吸着装置を提供すること
にある。第二に、被保持物が確実に吸着固定されたか否
か、また平坦化されたか否かモニターできる静電吸着装
置の電圧印加方法を提供することにある。
るためになされたもので、本発明の目的は、まず第一
に、ウエハの反りが矯正され、被保持物が確実に吸着固
定されたことを確認しうる静電吸着装置を提供すること
にある。第二に、被保持物が確実に吸着固定されたか否
か、また平坦化されたか否かモニターできる静電吸着装
置の電圧印加方法を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記第一の目的を達成す
るために、本発明の静電吸着装置に係る第一の発明の構
成は、電極板と誘電体とを積み重ね、前記電極板と被保
持物体との間に電位差を生じさせることによって前記誘
電体に前記被保持物体を吸着させる静電吸着装置におい
て、前記電極板、あるいは電極板および誘電体を二つ以
上に分割し、かつ、分割された部分を電気的に絶縁され
る構造として、それぞれ独立に電位差を発生させる電源
と、各回路に流れる電流を計測する手段とを設けたもの
である。
るために、本発明の静電吸着装置に係る第一の発明の構
成は、電極板と誘電体とを積み重ね、前記電極板と被保
持物体との間に電位差を生じさせることによって前記誘
電体に前記被保持物体を吸着させる静電吸着装置におい
て、前記電極板、あるいは電極板および誘電体を二つ以
上に分割し、かつ、分割された部分を電気的に絶縁され
る構造として、それぞれ独立に電位差を発生させる電源
と、各回路に流れる電流を計測する手段とを設けたもの
である。
【０００８】また、上記第一の目的を達成するために、
本発明の静電吸着装置に係る第二の発明の構成は、電極
板と誘電体とを積み重ね、前記電極板と被保持物体との
間に電位差を生じさせることによって前記誘電体に前記
被保持物体を吸着させる静電吸着装置において、前記吸
着力を発生させる誘電体および電極板内に、これとは独
立に誘電体および電極板を積み重ね、前記吸着力を発生
させる手段とは独立に、それぞれ電位差を発生させる電
源と各回路に流れる電流を計測する手段とを備えた吸着
確認手段を、前記吸着力を発生させる手段の電極板との
間を絶縁して二つ以上設けたものである。
本発明の静電吸着装置に係る第二の発明の構成は、電極
板と誘電体とを積み重ね、前記電極板と被保持物体との
間に電位差を生じさせることによって前記誘電体に前記
被保持物体を吸着させる静電吸着装置において、前記吸
着力を発生させる誘電体および電極板内に、これとは独
立に誘電体および電極板を積み重ね、前記吸着力を発生
させる手段とは独立に、それぞれ電位差を発生させる電
源と各回路に流れる電流を計測する手段とを備えた吸着
確認手段を、前記吸着力を発生させる手段の電極板との
間を絶縁して二つ以上設けたものである。
【０００９】上記第二の目的を達成するために、本発明
に係る静電吸着装置の吸着方法の構成は、電極板と誘電
体とを積み重ね、前記電極板と被保持物体との間に電位
差を生じさせることによって前記誘電体に前記被保持物
体を吸着させる静電吸着方法において、前記電極板、あ
るいは電極板および誘電体を、互いの間を絶縁し二つ以
上に分割して、それぞれ独立に電位差を発生させる電源
と吸着確認手段とを有する構成とし、前記吸着確認手段
からの情報によって、分割された静電吸着部分それぞれ
への印加電圧の大きさ、また、それぞれの電圧印加の開
始時間を、それぞれ独立に変化させるようにしたもので
ある。
に係る静電吸着装置の吸着方法の構成は、電極板と誘電
体とを積み重ね、前記電極板と被保持物体との間に電位
差を生じさせることによって前記誘電体に前記被保持物
体を吸着させる静電吸着方法において、前記電極板、あ
るいは電極板および誘電体を、互いの間を絶縁し二つ以
上に分割して、それぞれ独立に電位差を発生させる電源
と吸着確認手段とを有する構成とし、前記吸着確認手段
からの情報によって、分割された静電吸着部分それぞれ
への印加電圧の大きさ、また、それぞれの電圧印加の開
始時間を、それぞれ独立に変化させるようにしたもので
ある。
【００１０】より詳しくは、吸着確認手段は、被保持物
体が下に凸の形状に変形があると判断したときは、ま
ず、二つ以上に分割した静電吸着部の中央部の静電吸着
部の電極に電圧を印加し、ついで周辺部の静電吸着部の
電極に向かって順次に、各静電吸着部に設けられた吸着
確認手段が、前記被保持物体の吸着を確認するまで電圧
を印加する。
体が下に凸の形状に変形があると判断したときは、ま
ず、二つ以上に分割した静電吸着部の中央部の静電吸着
部の電極に電圧を印加し、ついで周辺部の静電吸着部の
電極に向かって順次に、各静電吸着部に設けられた吸着
確認手段が、前記被保持物体の吸着を確認するまで電圧
を印加する。
【００１１】また、吸着確認手段は、被保持物体が上に
凸の形状に変形があると判断したときは、まず、二つ以
上に分割した静電吸着部の最周辺部の一静電吸着部の電
極に、吸着確認手段が吸着を確認するまで電圧を印加
し、ついで中央部、さらに最初吸着したのと反対側の最
周辺部の静電吸着部の電極に向かって順次に、各静電吸
着部に設けられた吸着確認手段が、前記被保持物体の吸
着を確認するまで電圧を印加する。さらに、静電吸着装
置において、被保持物体の吸着完了後、一旦徐々に電圧
を低下させて吸着を解除し、再び電圧を印加して前記被
保持物体を吸着し、その後、上述の吸着が解除された電
圧より若干高い値に電圧を設定するものである。
凸の形状に変形があると判断したときは、まず、二つ以
上に分割した静電吸着部の最周辺部の一静電吸着部の電
極に、吸着確認手段が吸着を確認するまで電圧を印加
し、ついで中央部、さらに最初吸着したのと反対側の最
周辺部の静電吸着部の電極に向かって順次に、各静電吸
着部に設けられた吸着確認手段が、前記被保持物体の吸
着を確認するまで電圧を印加する。さらに、静電吸着装
置において、被保持物体の吸着完了後、一旦徐々に電圧
を低下させて吸着を解除し、再び電圧を印加して前記被
保持物体を吸着し、その後、上述の吸着が解除された電
圧より若干高い値に電圧を設定するものである。
【００１２】なお付記すると次のとおりである。上記第
一の目的は、静電吸着式試料保持装置の電極板、または
誘電体および電極板を、互いの間を絶縁して二つ以上に
分割し、各々独立に電位差を発生させる電源を有する回
路とし、かつ、各回路に流れる電流を計測する手段を付
加することによって達成される。
一の目的は、静電吸着式試料保持装置の電極板、または
誘電体および電極板を、互いの間を絶縁して二つ以上に
分割し、各々独立に電位差を発生させる電源を有する回
路とし、かつ、各回路に流れる電流を計測する手段を付
加することによって達成される。
【００１３】また、上記第二の目的は、静電吸着装置の
静電吸着部分を二つ以上の分割構造として、各々独立に
電位差を発生させる電源，吸着確認手段を有する構成と
し、吸着確認手段からの情報によって、分割された静電
吸着部分、各々への印加電圧の大きさ、また、各々の電
圧印加の開始時間を変化させる制御を行う。また、吸着
を開始させる時のみ大電圧を印加し、一旦、吸着した後
は電圧を降下させるよう電圧の制御を行うことによって
達成される。
静電吸着部分を二つ以上の分割構造として、各々独立に
電位差を発生させる電源，吸着確認手段を有する構成と
し、吸着確認手段からの情報によって、分割された静電
吸着部分、各々への印加電圧の大きさ、また、各々の電
圧印加の開始時間を変化させる制御を行う。また、吸着
を開始させる時のみ大電圧を印加し、一旦、吸着した後
は電圧を降下させるよう電圧の制御を行うことによって
達成される。
【００１４】
【作用】本発明の試料保持装置は、電極板、あるいは誘
電体および電極板を互いの間を絶縁し分割構造にしてあ
り、各々独立に電位差を発生させる電源を有し、さらに
各回路に流れる電流を計測できる構成になっている。し
たがって、分割構造にした各静電吸着部に流れる電流値
が全て同等の値になった場合に平坦化は達成され、確実
に吸着保持されたと判断することができる。もし、平坦
化が達成されておらず、例えばウエハに反りが残ってい
る場合、分割されたいずれかの静電吸着部分はウエハと
接触しておらず電流が流れない。このときは、静電吸着
部分の印加する電圧を増加させればよい。
電体および電極板を互いの間を絶縁し分割構造にしてあ
り、各々独立に電位差を発生させる電源を有し、さらに
各回路に流れる電流を計測できる構成になっている。し
たがって、分割構造にした各静電吸着部に流れる電流値
が全て同等の値になった場合に平坦化は達成され、確実
に吸着保持されたと判断することができる。もし、平坦
化が達成されておらず、例えばウエハに反りが残ってい
る場合、分割されたいずれかの静電吸着部分はウエハと
接触しておらず電流が流れない。このときは、静電吸着
部分の印加する電圧を増加させればよい。
【００１５】また、平坦化が達成されておらずウエハに
反りが残っている場合、静電吸着を行う部分を分割し、
吸着モニターからの情報によって、分割された静電吸着
部分、各々への印加電圧の大きさ、また、各々の電圧印
加の開始時間を変化させる制御を行えば、単に吸着面全
体に一様な力を発生させるよりも効果的にウエハの平坦
化を図ることが可能となる。
反りが残っている場合、静電吸着を行う部分を分割し、
吸着モニターからの情報によって、分割された静電吸着
部分、各々への印加電圧の大きさ、また、各々の電圧印
加の開始時間を変化させる制御を行えば、単に吸着面全
体に一様な力を発生させるよりも効果的にウエハの平坦
化を図ることが可能となる。
【００１６】
【実施例】以下、本発明の各実施例を図１ないし図１４
を参照して説明する。 〔実施例 １〕図１は、本発明の一実施例に係る静電吸
着装置の構成を示す断面図、図２は、図１の装置におけ
るウエハ吸着作用を説明する要部拡大図である。図１，
２において、１は、固定保持され搬送される被保持物
体、例えば半導体ウエハ（以下単にウエハという）、
２，３，４は、それぞれ静電吸着装置を構成する分割さ
れた誘電体、５，６，７は、それぞれ静電吸着装置を構
成する分割された電極板、１４は、ウエハ１から取られ
る導通部、８，９，１０は、ウエハ１と電極板５，６，
７との間に電位差を発生させる電源、１１，１２，１３
は、各回路に流れる電流を検知する電流計である。誘電
体２，３，４は、電極板５，６，７の上に積み重ねて積
層状態となっており、１６は、分割された部分を電気的
に絶縁する絶縁材である。
を参照して説明する。 〔実施例 １〕図１は、本発明の一実施例に係る静電吸
着装置の構成を示す断面図、図２は、図１の装置におけ
るウエハ吸着作用を説明する要部拡大図である。図１，
２において、１は、固定保持され搬送される被保持物
体、例えば半導体ウエハ（以下単にウエハという）、
２，３，４は、それぞれ静電吸着装置を構成する分割さ
れた誘電体、５，６，７は、それぞれ静電吸着装置を構
成する分割された電極板、１４は、ウエハ１から取られ
る導通部、８，９，１０は、ウエハ１と電極板５，６，
７との間に電位差を発生させる電源、１１，１２，１３
は、各回路に流れる電流を検知する電流計である。誘電
体２，３，４は、電極板５，６，７の上に積み重ねて積
層状態となっており、１６は、分割された部分を電気的
に絶縁する絶縁材である。
【００１７】導通部１４は、確実にウエハ１から導通を
取るため弱いばね系１５を介してウエハ１に接触してい
る。また、誘電体２，３，４の抵抗率は使用温度で抵抗
率１０9ｍから１０11Ωｃｍが好ましい。前記の各誘電
体２，３，４、電極板５，６，７、電源８，９，１０、
電流計１１，１２，１３は、吸着確認センサーと言うべ
き吸着モニターを構成している。１７は、前記各センサ
ーから送られてくる距離の情報に従って、各電源８，
９，１０により印加される電圧を制御する制御装置であ
る。１８はアースを示す。
取るため弱いばね系１５を介してウエハ１に接触してい
る。また、誘電体２，３，４の抵抗率は使用温度で抵抗
率１０9ｍから１０11Ωｃｍが好ましい。前記の各誘電
体２，３，４、電極板５，６，７、電源８，９，１０、
電流計１１，１２，１３は、吸着確認センサーと言うべ
き吸着モニターを構成している。１７は、前記各センサ
ーから送られてくる距離の情報に従って、各電源８，
９，１０により印加される電圧を制御する制御装置であ
る。１８はアースを示す。
【００１８】このように構成された静電吸着装置におけ
るモニター方法の動作について説明する。まず、ウエハ
１は静電吸着装置の吸着面２´，３´，４´に載せら
れ、電源８，９，１０により、所定の電圧が電極板５，
６，７とウエハ１との間に印加される。そして、ウエハ
１は、このとき発生する静電気力によって吸着面２´，
３´，４´に吸着保持される
るモニター方法の動作について説明する。まず、ウエハ
１は静電吸着装置の吸着面２´，３´，４´に載せら
れ、電源８，９，１０により、所定の電圧が電極板５，
６，７とウエハ１との間に印加される。そして、ウエハ
１は、このとき発生する静電気力によって吸着面２´，
３´，４´に吸着保持される
【００１９】ここで、誘電体２，３，４は同じ材質の誘
電体であり、抵抗率は同じ値であるから、もし、ウエハ
１が確実に平坦化されていれば、各回路には誘電体の単
位面積あたり同じ電流が流れていることになり、電流計
１１，１２，１３は各誘電体の単位面積に換算すると同
じ電流値を検知する。すなわち、例えば、誘電体２，
３，４のウエハとの接触面積が同じであれば同じ電流値
となる。なお、上述の場合は誘電体は同じ材質であった
が、材質が異なっていても本発明の方法は予め電流値を
較正しておくことにより達成できる。
電体であり、抵抗率は同じ値であるから、もし、ウエハ
１が確実に平坦化されていれば、各回路には誘電体の単
位面積あたり同じ電流が流れていることになり、電流計
１１，１２，１３は各誘電体の単位面積に換算すると同
じ電流値を検知する。すなわち、例えば、誘電体２，
３，４のウエハとの接触面積が同じであれば同じ電流値
となる。なお、上述の場合は誘電体は同じ材質であった
が、材質が異なっていても本発明の方法は予め電流値を
較正しておくことにより達成できる。
【００２０】もし、ウエハ１の一部の変形が矯正され
ず、誘電体２，３，４と接触していないような場合に
は、その部分の静電吸着装置を構成する回路に流れる電
流が他に比べて小さな値を示す。例えば、図２に示すよ
うに、ウエハ１は下に凸に変形しており、ウエハ１の周
辺部で、静電吸着装置の誘電体４に接触していない。静
電気力がウエハ１の変形力に勝てず、隙間ｈが空いてい
る状態である。この場合は、電流計１２に比べて、電流
計１３は小さな電流値を示すことになる。もし、全く接
触していなければ電流値はゼロを示す。
ず、誘電体２，３，４と接触していないような場合に
は、その部分の静電吸着装置を構成する回路に流れる電
流が他に比べて小さな値を示す。例えば、図２に示すよ
うに、ウエハ１は下に凸に変形しており、ウエハ１の周
辺部で、静電吸着装置の誘電体４に接触していない。静
電気力がウエハ１の変形力に勝てず、隙間ｈが空いてい
る状態である。この場合は、電流計１２に比べて、電流
計１３は小さな電流値を示すことになる。もし、全く接
触していなければ電流値はゼロを示す。
【００２１】このように、独立の回路を持った分割構造
の静電吸着装置を用い、各回路に流れる電流値を比較す
ることによって、ウエハ１が、各誘電体２，３，４の吸
着面２´，３´，４´に倣ったかどうかを判断させる。
これによって、ウエハ１全面が確実に固定保持され、平
坦化が達成されたかどうかをモニターする。もし、いず
れかの電流計が検知した電流値が他より低ければその部
分の印加電圧を上げて吸着力を増加させれば良い。静電
吸着力はウエハ１に反りがあり、ウエハ１と吸着面２
´，３´，４´に隙間が存在するときはその値が小さ
く、比較的大きな電圧が必要とされるが、一旦吸着固定
されれば、ウエハ１と吸着面との間に隙間がなくなるた
めに、吸着を維持するための電圧は比較的小さな電圧で
よい。
の静電吸着装置を用い、各回路に流れる電流値を比較す
ることによって、ウエハ１が、各誘電体２，３，４の吸
着面２´，３´，４´に倣ったかどうかを判断させる。
これによって、ウエハ１全面が確実に固定保持され、平
坦化が達成されたかどうかをモニターする。もし、いず
れかの電流計が検知した電流値が他より低ければその部
分の印加電圧を上げて吸着力を増加させれば良い。静電
吸着力はウエハ１に反りがあり、ウエハ１と吸着面２
´，３´，４´に隙間が存在するときはその値が小さ
く、比較的大きな電圧が必要とされるが、一旦吸着固定
されれば、ウエハ１と吸着面との間に隙間がなくなるた
めに、吸着を維持するための電圧は比較的小さな電圧で
よい。
【００２２】したがって、電圧を増加させた後は、速や
かに他と同じ電圧まで降下させ、他と同等の電流値を示
せば平坦化が達成されたと判断して良い。また、ある電
圧のしきい値を決め、その値以上電圧を上げても平坦化
できない場合は、ウエハ１の初期たわみがありすぎ不良
であると判断するよう制御装置１７に制御させれば、加
工プロセスをより円滑に進めることが可能になる。
かに他と同じ電圧まで降下させ、他と同等の電流値を示
せば平坦化が達成されたと判断して良い。また、ある電
圧のしきい値を決め、その値以上電圧を上げても平坦化
できない場合は、ウエハ１の初期たわみがありすぎ不良
であると判断するよう制御装置１７に制御させれば、加
工プロセスをより円滑に進めることが可能になる。
【００２３】すでに述べたように、静電吸着力はウエハ
１に反りがあり、ウエハ１と吸着面に隙間が存在すると
きはその値が小さく、比較的大きな電圧が必要とされる
が、一旦吸着固定されれば、ウエハ１と吸着面との間に
隙間がなくなるために、吸着を維持するための電圧は比
較的小さな電圧でよい。したがって、制御装置１７に吸
着を開始させるときのみ大電圧を印加し、一旦、吸着し
た後は電圧を降下させるよう電圧コントロールさせれ
ば、ウエハ１に必要以上の電圧を長時間かける必要がな
くなり、省電力にもなる。
１に反りがあり、ウエハ１と吸着面に隙間が存在すると
きはその値が小さく、比較的大きな電圧が必要とされる
が、一旦吸着固定されれば、ウエハ１と吸着面との間に
隙間がなくなるために、吸着を維持するための電圧は比
較的小さな電圧でよい。したがって、制御装置１７に吸
着を開始させるときのみ大電圧を印加し、一旦、吸着し
た後は電圧を降下させるよう電圧コントロールさせれ
ば、ウエハ１に必要以上の電圧を長時間かける必要がな
くなり、省電力にもなる。
【００２４】〔実施例 ２〕先の実施例１では、各回路
の電極板が一枚であり、ウエハから導通を取る方式のい
わゆる単極型の静電吸着装置に関して説明したが、図３
に示すような双極型の静電吸着装置においても同様にモ
ニター動作ができる。図３は、本発明の他の実施例に係
る双極型静電吸着装置の構成を示す説明図である。図
中、図１と同一符号のものは先の実施例と同等機能のも
のである。この場合、電極板は５ａ，５ｂ、６ａ，６
ｂ、７ａ，７ｂの各２枚ずつ電極間に電圧が印加され
る。また、本実施例では、両端部、中央部と分割する構
造の例を示したが、特にこの構造に限られるものではな
く、例えば同心円状に分割する構造としても同様の効果
が得られる。
の電極板が一枚であり、ウエハから導通を取る方式のい
わゆる単極型の静電吸着装置に関して説明したが、図３
に示すような双極型の静電吸着装置においても同様にモ
ニター動作ができる。図３は、本発明の他の実施例に係
る双極型静電吸着装置の構成を示す説明図である。図
中、図１と同一符号のものは先の実施例と同等機能のも
のである。この場合、電極板は５ａ，５ｂ、６ａ，６
ｂ、７ａ，７ｂの各２枚ずつ電極間に電圧が印加され
る。また、本実施例では、両端部、中央部と分割する構
造の例を示したが、特にこの構造に限られるものではな
く、例えば同心円状に分割する構造としても同様の効果
が得られる。
【００２５】〔実施例 ３〕次に、第二の発明の実施例
を図４を参照して説明する。図４は、本発明のさらに他
の実施例に係る静電吸着装置の構成を示す断面図であ
る。図中、図１と同一符号のものは先の実施例と同等部
分であるから、その説明を省略する。図４において、１
９は誘電体、２３は電極板で、これらは積層されて静電
吸着装置を構成している。２０，２１，２２は、誘電体
１９に対して小さな断面積を持つ独立した複数個（本例
では３個）の誘電体、２４，２５，２６は、それぞれ誘
電体２０，２１，２２と積層された電極であり、それぞ
れ電源２８，２９，３０、電流計３１，３２，３３を備
え付けた回路構成となっている。すなわち、誘電体１
９，電極２３の対には、静電吸着の役割をさせ、誘電体
２０，２１，２２、電極２４，２５，２６の対には、被
保持物体を吸着したか否かの吸着確認センサー、すなわ
ちモニターの役割をさせる。
を図４を参照して説明する。図４は、本発明のさらに他
の実施例に係る静電吸着装置の構成を示す断面図であ
る。図中、図１と同一符号のものは先の実施例と同等部
分であるから、その説明を省略する。図４において、１
９は誘電体、２３は電極板で、これらは積層されて静電
吸着装置を構成している。２０，２１，２２は、誘電体
１９に対して小さな断面積を持つ独立した複数個（本例
では３個）の誘電体、２４，２５，２６は、それぞれ誘
電体２０，２１，２２と積層された電極であり、それぞ
れ電源２８，２９，３０、電流計３１，３２，３３を備
え付けた回路構成となっている。すなわち、誘電体１
９，電極２３の対には、静電吸着の役割をさせ、誘電体
２０，２１，２２、電極２４，２５，２６の対には、被
保持物体を吸着したか否かの吸着確認センサー、すなわ
ちモニターの役割をさせる。
【００２６】ここで、誘電体２０，２１，２２は同じ材
質の誘電体であり、抵抗率は同じ値であるから、もし、
被保持物体であるウエハ１が確実に平坦化されていれ
ば、各回路には誘電体の単位面積あたり同じ電流が流れ
ていることになる。誘電体２０，２１，２２を同じ表面
積とすれば、電流計３１，３２，３３は同じ値の電流値
を検知する。そして、ウエハ１の一部の変形が矯正され
ず、平坦化が達成されていないような場合には、その部
分の静電吸着装置を構成する回路に流れる電流が他に比
べて小さな値を示し、もし、全く接触していなければ電
流値はゼロを示す。
質の誘電体であり、抵抗率は同じ値であるから、もし、
被保持物体であるウエハ１が確実に平坦化されていれ
ば、各回路には誘電体の単位面積あたり同じ電流が流れ
ていることになる。誘電体２０，２１，２２を同じ表面
積とすれば、電流計３１，３２，３３は同じ値の電流値
を検知する。そして、ウエハ１の一部の変形が矯正され
ず、平坦化が達成されていないような場合には、その部
分の静電吸着装置を構成する回路に流れる電流が他に比
べて小さな値を示し、もし、全く接触していなければ電
流値はゼロを示す。
【００２７】このように、独立の回路を持った誘電体，
電極の対２０，２４、２１，２５、２２，２６を、静電
吸着を行う誘電体，電極の対１９，２３の中に埋め込
み、それぞれの回路に流れる電流値を比較することによ
って、ウエハ１が、静電吸着面１９´に倣ったかどうか
を判断させる。これによって、ウエハ１全面が確実に固
定保持され、平坦化が達成されたかどうかをモニターす
る。もし、いずれかの電流計が検知した電流値が他より
低ければ、静電吸着装置への印加電圧を上げて吸着力を
増加させれば良い。
電極の対２０，２４、２１，２５、２２，２６を、静電
吸着を行う誘電体，電極の対１９，２３の中に埋め込
み、それぞれの回路に流れる電流値を比較することによ
って、ウエハ１が、静電吸着面１９´に倣ったかどうか
を判断させる。これによって、ウエハ１全面が確実に固
定保持され、平坦化が達成されたかどうかをモニターす
る。もし、いずれかの電流計が検知した電流値が他より
低ければ、静電吸着装置への印加電圧を上げて吸着力を
増加させれば良い。
【００２８】なお、本実施例では静電吸着を行う誘電
体，電極板はそれぞれ１枚の例を示したが、第一の実施
例に示したように複数枚に分割して、それぞれ独立に電
気回路を設けて、独立に吸着力を発生させても良い。
体，電極板はそれぞれ１枚の例を示したが、第一の実施
例に示したように複数枚に分割して、それぞれ独立に電
気回路を設けて、独立に吸着力を発生させても良い。
【００２９】〔実施例 ４〕また、上記実施例３では、
静電吸着装置の電極板が一枚であり、ウエハから導通を
取る方式のいわゆる単極型の静電吸着装置に関して説明
したが、双極型の静電吸着装置においても同様のモニタ
ー動作が可能である。図５は、本発明のさらに他の実施
例に係る双極型静電吸着装置の構成を示す説明図であ
る。図中、図４と同一符号のものは先の実施例と同等機
能のものである。図５の装置においては、静電吸着を行
う電極板は２３ａ，２３ｂであり、吸着のモニターを行
う部分の電極板は２０ａ，２０ｂ、２１ａ，２１ｂ、２
２ａ，２２ｂの各２個ずつである。また、図３に示した
ように、静電吸着を行う誘電体，電極板を複数個持った
構造としても同様の効果が得られる。
静電吸着装置の電極板が一枚であり、ウエハから導通を
取る方式のいわゆる単極型の静電吸着装置に関して説明
したが、双極型の静電吸着装置においても同様のモニタ
ー動作が可能である。図５は、本発明のさらに他の実施
例に係る双極型静電吸着装置の構成を示す説明図であ
る。図中、図４と同一符号のものは先の実施例と同等機
能のものである。図５の装置においては、静電吸着を行
う電極板は２３ａ，２３ｂであり、吸着のモニターを行
う部分の電極板は２０ａ，２０ｂ、２１ａ，２１ｂ、２
２ａ，２２ｂの各２個ずつである。また、図３に示した
ように、静電吸着を行う誘電体，電極板を複数個持った
構造としても同様の効果が得られる。
【００３０】〔実施例 ５〕次に本発明の静電吸着方法
に関する実施例を図６ないし図１４を参照して説明す
る。本実施例は、第二の発明の実施例に示したウエハ吸
着モニターを用いた静電吸着装置を例にして説明する。
図６は、本発明のさらに他の実施例に係る静電吸着装置
の全体構成を示す説明図、図７は、ウエハが下方向に凸
に変形している状態を示す断面図、図８は、ウエハが吸
着された状態を示す断面図、図９は、図６の静電吸着装
置への電圧印加方法を説明する線図である。
に関する実施例を図６ないし図１４を参照して説明す
る。本実施例は、第二の発明の実施例に示したウエハ吸
着モニターを用いた静電吸着装置を例にして説明する。
図６は、本発明のさらに他の実施例に係る静電吸着装置
の全体構成を示す説明図、図７は、ウエハが下方向に凸
に変形している状態を示す断面図、図８は、ウエハが吸
着された状態を示す断面図、図９は、図６の静電吸着装
置への電圧印加方法を説明する線図である。
【００３１】静電気力は隙間の距離の２乗に比例して小
さくなるので、ウエハの変形量が大きく誘電体との隙間
が大きいような場合は平坦化が達成されないことがあ
る。図６において、静電吸着を行う誘電体は、３４，３
５，３６の三つに分割されており、それぞれに電極板３
７，３８，３９、電源４０，４１，４２が備えられてい
る。それぞれの静電吸着を行う誘電体３４，３５，３６
には、これらに対して小さな断面積を持つ複数個の誘電
体２０，２１，２２と電極２４，２５，２６の対に、そ
れぞれ電源２８，２９，３０、電流計３１，３２，３３
を備え付けた吸着確認手段に係る吸着モニターが内蔵さ
れている。
さくなるので、ウエハの変形量が大きく誘電体との隙間
が大きいような場合は平坦化が達成されないことがあ
る。図６において、静電吸着を行う誘電体は、３４，３
５，３６の三つに分割されており、それぞれに電極板３
７，３８，３９、電源４０，４１，４２が備えられてい
る。それぞれの静電吸着を行う誘電体３４，３５，３６
には、これらに対して小さな断面積を持つ複数個の誘電
体２０，２１，２２と電極２４，２５，２６の対に、そ
れぞれ電源２８，２９，３０、電流計３１，３２，３３
を備え付けた吸着確認手段に係る吸着モニターが内蔵さ
れている。
【００３２】まず、図７ないし図９を参照して、具体的
吸着方法の一例を、ウエハ１が下方向に凸に変形してい
る場合について説明する。図７，８では、図６に示した
ような電源系統の図示は省略してある。電極板３７，３
８，３９に所定の電圧Ｖ１を印加し、吸着力を発生させ
る。これで平坦化が達成されれば良いが、ウエハ１の変
形量が大きく誘電体との隙間が大きいような場合は平坦
化が達成されない。
吸着方法の一例を、ウエハ１が下方向に凸に変形してい
る場合について説明する。図７，８では、図６に示した
ような電源系統の図示は省略してある。電極板３７，３
８，３９に所定の電圧Ｖ１を印加し、吸着力を発生させ
る。これで平坦化が達成されれば良いが、ウエハ１の変
形量が大きく誘電体との隙間が大きいような場合は平坦
化が達成されない。
【００３３】このような場合、まず両端の電極板３７，
３９への印加電圧を吸着モニターの誘電体，電極の対２
０，２４、２１，２５、２２，２６が平坦化を検知する
まで増加させる（電圧Ｖ２，Ｖ３）。この場合、隙間が
小さい方がウエハ１への吸着力は大きく作用するから、
ウエハが吸着面３４´，３６´から離れる部分４３，４
４から、外側に向かって徐々に吸着され平坦化されるこ
とになる。
３９への印加電圧を吸着モニターの誘電体，電極の対２
０，２４、２１，２５、２２，２６が平坦化を検知する
まで増加させる（電圧Ｖ２，Ｖ３）。この場合、隙間が
小さい方がウエハ１への吸着力は大きく作用するから、
ウエハが吸着面３４´，３６´から離れる部分４３，４
４から、外側に向かって徐々に吸着され平坦化されるこ
とになる。
【００３４】ところで、ウエハ上の素子保護のため、印
加する電圧は小さい方が好ましい。一旦吸着され、平坦
化が達成されるとウエハ１と吸着面３４´，３５´，３
６´には隙間がなくなり、吸着力はウエハ１が変形して
いて隙間があった時点に比べて大きくなっている。した
がって、吸着を維持するためだけであれば、印加電圧を
落とすことができる。予め所定の電圧が決まっている場
合にはその電圧まで落として良い。特に所定の電圧が決
まっていない場合、吸着維持のための最低電圧で使用す
ればウエハ１へのダメージが少なくなり好ましい。も
し、所定の電圧まで落とす途中でウエハ１が離れてしま
った場合、あるいは最低電圧を見いだすため電圧を下げ
ていった際にウエハ１が離れてしまった場合（電圧Ｖ
４）は、もう一度、電圧Ｖ１，Ｖ２，Ｖ３を印加してウ
エハ１を吸着させ、あらためてウエハ１がはずれてしま
った電圧Ｖ４より少し高めに設定した電圧Ｖ５にすれば
良い。
加する電圧は小さい方が好ましい。一旦吸着され、平坦
化が達成されるとウエハ１と吸着面３４´，３５´，３
６´には隙間がなくなり、吸着力はウエハ１が変形して
いて隙間があった時点に比べて大きくなっている。した
がって、吸着を維持するためだけであれば、印加電圧を
落とすことができる。予め所定の電圧が決まっている場
合にはその電圧まで落として良い。特に所定の電圧が決
まっていない場合、吸着維持のための最低電圧で使用す
ればウエハ１へのダメージが少なくなり好ましい。も
し、所定の電圧まで落とす途中でウエハ１が離れてしま
った場合、あるいは最低電圧を見いだすため電圧を下げ
ていった際にウエハ１が離れてしまった場合（電圧Ｖ
４）は、もう一度、電圧Ｖ１，Ｖ２，Ｖ３を印加してウ
エハ１を吸着させ、あらためてウエハ１がはずれてしま
った電圧Ｖ４より少し高めに設定した電圧Ｖ５にすれば
良い。
【００３５】次に、図１０ないし図１４を参照して、ウ
エハ１が上方向に凸に変形している場合について説明す
る。図１０は、ウエハが上方向に凸に変形している状態
を示す断面図、図１１は、ウエハの周辺部のみ吸着され
た状態を示す断面図、図１２は、ウエハの一方の周辺部
が吸着された状態を示す断面図、図１３は、ウエハが前
面に吸着された状態を示す断面図、図１４は、図６の静
電吸着装置への電圧印加方法を説明する線図である。図
１０ないし図１３では、図６に示したような電源系統の
図示を省略してある。
エハ１が上方向に凸に変形している場合について説明す
る。図１０は、ウエハが上方向に凸に変形している状態
を示す断面図、図１１は、ウエハの周辺部のみ吸着され
た状態を示す断面図、図１２は、ウエハの一方の周辺部
が吸着された状態を示す断面図、図１３は、ウエハが前
面に吸着された状態を示す断面図、図１４は、図６の静
電吸着装置への電圧印加方法を説明する線図である。図
１０ないし図１３では、図６に示したような電源系統の
図示を省略してある。
【００３６】電極板３７，３８，３９に所定の電圧Ｖ１
を印加し、吸着力を発生させる。ウエハ１の変形量が大
きく誘電体との隙間が大きいような場合は図１１に示す
ようにウエハ１の周辺部だけ吸着面３４´，３６´に吸
着され、中央部は吸着されない。中央部のウエハ１の変
形を修正するためには、ウエハ１は周辺部に向かって変
形している分、伸びなければならない。しかしこの場
合、ウエハ１は周辺部で吸着され、拘束されるために中
央部電極板３８への印加電圧を増加させても、変形の修
正がされずらい。したがって、一旦印加電圧を落とし
（ｔ２）、再びウエハ１の端の方の吸着部のうちいずれ
か一方に電圧を印加する。
を印加し、吸着力を発生させる。ウエハ１の変形量が大
きく誘電体との隙間が大きいような場合は図１１に示す
ようにウエハ１の周辺部だけ吸着面３４´，３６´に吸
着され、中央部は吸着されない。中央部のウエハ１の変
形を修正するためには、ウエハ１は周辺部に向かって変
形している分、伸びなければならない。しかしこの場
合、ウエハ１は周辺部で吸着され、拘束されるために中
央部電極板３８への印加電圧を増加させても、変形の修
正がされずらい。したがって、一旦印加電圧を落とし
（ｔ２）、再びウエハ１の端の方の吸着部のうちいずれ
か一方に電圧を印加する。
【００３７】本実施例では誘電体３６の電極板３９に電
圧を印加するものとする（図１２）。吸着モニターであ
る誘電体，電極の対２２，２６が吸着を検知するまで電
圧は印加する（Ｖ１）。この場合、図示のようにウエハ
の中央部に行くに従って、ウエハ１は吸着面３６´，３
５´から離れている。次いで中央部の吸着面の電極板３
８に、吸着モニターである誘電体，電極の対２１，２５
が吸着を検知するまで電圧を印加する（Ｖ２）。すでに
述べたように、隙間が小さい方がウエハ１への吸着力は
大きく作用するから、ウエハ１が吸着面３５´，３６か
ら離れる部分４７から内側に向かって徐々に吸着され
る。
圧を印加するものとする（図１２）。吸着モニターであ
る誘電体，電極の対２２，２６が吸着を検知するまで電
圧は印加する（Ｖ１）。この場合、図示のようにウエハ
の中央部に行くに従って、ウエハ１は吸着面３６´，３
５´から離れている。次いで中央部の吸着面の電極板３
８に、吸着モニターである誘電体，電極の対２１，２５
が吸着を検知するまで電圧を印加する（Ｖ２）。すでに
述べたように、隙間が小さい方がウエハ１への吸着力は
大きく作用するから、ウエハ１が吸着面３５´，３６か
ら離れる部分４７から内側に向かって徐々に吸着され
る。
【００３８】そして最後に、吸着面３４´の電極板３７
に、吸着モニターである誘電体，電極の対２０，２４が
吸着を検知するまで電圧を印加する（Ｖ３）。このよう
にすることによって、効果的に平坦化を達成させること
が可能となる。また、図７ないし図９の実施例で説明し
たように所定の電圧、あるいは吸着維持のための最低電
圧で使用すれば、ウエハ上の素子保護、省電力になる。
に、吸着モニターである誘電体，電極の対２０，２４が
吸着を検知するまで電圧を印加する（Ｖ３）。このよう
にすることによって、効果的に平坦化を達成させること
が可能となる。また、図７ないし図９の実施例で説明し
たように所定の電圧、あるいは吸着維持のための最低電
圧で使用すれば、ウエハ上の素子保護、省電力になる。
【００３９】このように、吸着モニターである誘電体，
電極の対２０，２４、２１，２５、２２，２６からの、
吸着されたか否かの信号を受けて、分割した各静電吸着
部の電極３７，３８，３９への印加電圧を制御装置１７
によって制御すれば、効果的な静電吸着を行うことがで
き、かつ、ウエハ１へのダメージを最低限に抑え、省電
力にも役立つ。
電極の対２０，２４、２１，２５、２２，２６からの、
吸着されたか否かの信号を受けて、分割した各静電吸着
部の電極３７，３８，３９への印加電圧を制御装置１７
によって制御すれば、効果的な静電吸着を行うことがで
き、かつ、ウエハ１へのダメージを最低限に抑え、省電
力にも役立つ。
【００４０】なお、本発明は、静電吸着を効果的に行う
方法に関するものである。本実施例では、誘電体、電
極、電源、電流計からなる吸着モニターを使用した例を
挙げたが、特にこの吸着モニター方法に限定さえるもの
ではなく、例えば、変位センサー、静電容量センサーな
どをモニター手段としても同様の効果が得られる。
方法に関するものである。本実施例では、誘電体、電
極、電源、電流計からなる吸着モニターを使用した例を
挙げたが、特にこの吸着モニター方法に限定さえるもの
ではなく、例えば、変位センサー、静電容量センサーな
どをモニター手段としても同様の効果が得られる。
【００４１】
【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明によ
れば、ウエハの反りが矯正され、被保持物が確実に吸着
固定されたことを確認しうる静電吸着装置を提供するこ
とができる。また、本発明によれば、被保持物が確実に
吸着固定されたか否か、また平坦化されたか否かモニタ
ーできる静電吸着装置の電圧印加方法を提供することが
できる。
れば、ウエハの反りが矯正され、被保持物が確実に吸着
固定されたことを確認しうる静電吸着装置を提供するこ
とができる。また、本発明によれば、被保持物が確実に
吸着固定されたか否か、また平坦化されたか否かモニタ
ーできる静電吸着装置の電圧印加方法を提供することが
できる。
【図１】本発明の一実施例に係る静電吸着装置の構成を
示す断面図である。
示す断面図である。
【図２】図１の装置におけるウエハの吸着作用を説明す
る要部拡大図である。
る要部拡大図である。
【図３】本発明の他の実施例に係る双極型静電吸着装置
の構成を示す説明図である。
の構成を示す説明図である。
【図４】本発明のさらに他の実施例に係る静電吸着装置
の構成を示す断面図である。
の構成を示す断面図である。
【図５】本発明のさらに他の実施例に係る双極型静電吸
着装置の構成を示す説明図である。
着装置の構成を示す説明図である。
【図６】本発明のさらに他の実施例に係る静電吸着装置
の全体構成を示す説明図である。
の全体構成を示す説明図である。
【図７】ウエハが下方向に凸に変形している状態を示す
断面図である。
断面図である。
【図８】ウエハが吸着された状態を示す断面図である。
【図９】図６の静電吸着装置への電圧印加方法を説明す
る線図である。
る線図である。
【図１０】ウエハが上方向に凸に変形している状態を示
す断面図である。
す断面図である。
【図１１】ウエハの周辺部のみ吸着された状態を示す断
面図である。
面図である。
【図１２】ウエハの一方の周辺部が吸着された状態を示
す断面図である。
す断面図である。
【図１３】ウエハが全面に吸着された状態を示す断面図
である。
である。
【図１４】図６の静電吸着装置への電圧印加方法を説明
する線図である。
する線図である。
１ ウエハ２，３，４，１９，２０，２１，２２，３
４，３５，３６ 誘電体 ５，６，７，２３，２４，２５，２６，３７，３８，３
９ 電極板 ８，９，１０，２７，２８，２９，３０，４０，４１，
４２ 電源 １１，１２，１３，３１，３２，３３ 電流計 １６ 絶縁材 １７ 制御装置
４，３５，３６ 誘電体 ５，６，７，２３，２４，２５，２６，３７，３８，３
９ 電極板 ８，９，１０，２７，２８，２９，３０，４０，４１，
４２ 電源 １１，１２，１３，３１，３２，３３ 電流計 １６ 絶縁材 １７ 制御装置
Claims (8)
- 【請求項１】 電極板と誘電体とを積み重ね、前記電極
板と被保持物体との間に電位差を生じさせることによっ
て前記誘電体に前記被保持物体を吸着させる静電吸着装
置において、 少なくとも前記電極板を二つ以上に分割し、かつ、分割
された部分を電気的に絶縁される構造として、それぞれ
独立に電位差を発生させる電源と、各回路に流れる電流
を計測する手段とを設けたことを特徴とする静電吸着装
置。 - 【請求項２】 電極板と誘電体とを積み重ね、前記電極
板と被保持物体との間に電位差を生じさせることによっ
て前記誘電体に前記被保持物体を吸着させる静電吸着装
置において、 前記電極板および誘電体を、二つ以上に分割し、かつ、
分割された部分を電気的に絶縁される構造として、それ
ぞれ独立に電位差を発生させる電源と、各回路に流れる
電流を計測する手段とを設けたことを特徴とする静電吸
着装置。 - 【請求項３】 電極板と誘電体とを積み重ね、前記電極
板と被保持物体との間に電位差を生じさせることによっ
て前記誘電体に前記被保持物体を吸着させる静電吸着装
置において、 前記吸着力を発生させる誘電体および電極板内に、これ
とは独立に誘電体および電極板を積み重ね、前記吸着力
を発生させる手段とは独立に、それぞれ電位差を発生さ
せる電源と各回路に流れる電流を計測する手段とを備え
た吸着確認手段を、前記吸着力を発生させる手段の電極
板との間を絶縁して二つ以上設けたことを特徴とする静
電吸着装置。 - 【請求項４】 電極板と誘電体とを積み重ね、前記電極
板と被保持物体との間に電位差を生じさせることによっ
て前記誘電体に前記被保持物体を吸着させる静電吸着方
法において、 少なくとも前記電極板を、互いの間を絶縁し二つ以上に
分割して、それぞれ独立に電位差を発生させる電源と吸
着確認手段とを有する構成とし、 前記吸着確認手段からの情報によって、分割された静電
吸着部分それぞれへの印加電圧の大きさ、また、それぞ
れの電圧印加の開始時間を、それぞれ独立に変化させる
ことを特徴とする静電吸着装置の吸着方法。 - 【請求項５】 電極板と誘電体とを積み重ね、前記電極
板と被保持物体との間に電位差を生じさせることによっ
て前記誘電体に前記被保持物体を吸着させる静電吸着方
法において、 前記電極板および誘電体を、互いの間を絶縁し二つ以上
に分割して、それぞれ独立に電位差を発生させる電源と
吸着確認手段とを有する構成とし、 前記吸着確認手段からの情報によって、分割された静電
吸着部分それぞれへの印加電圧の大きさ、また、それぞ
れの電圧印加の開始時間を、それぞれ独立に変化させる
ことを特徴とする静電吸着装置の吸着方法。 - 【請求項６】 吸着確認手段は、被保持物体が下に凸の
形状に変形があると判断したときは、まず、二つ以上に
分割した静電吸着部の中央部の静電吸着部の電極に電圧
を印加し、ついで周辺部の静電吸着部の電極に向かって
順次に、各静電吸着部に設けられた吸着確認手段が、前
記被保持物体の吸着を確認するまで電圧を印加すること
を特徴とする請求項４または５記載のいずれかの静電吸
着装置の吸着方法。 - 【請求項７】 吸着確認手段は、被保持物体が上に凸の
形状に変形があると判断したときは、まず、二つ以上に
分割した静電吸着部の最周辺部の一静電吸着部の電極
に、吸着確認手段が吸着を確認するまで電圧を印加し、
ついで中央部、さらに最初吸着したのと反対側の最周辺
部の静電吸着部の電極に向かって順次に、各静電吸着部
に設けられた吸着確認手段が、前記被保持物体の吸着を
確認するまで電圧を印加することを特徴とする請求項４
または５記載のいずれかの静電吸着装置の吸着方法。 - 【請求項８】 静電吸着装置において、被保持物体の吸
着完了後、一旦徐々に電圧を低下させて吸着を解除し、
再び電圧を印加して前記被保持物体を吸着し、その後、
上述の吸着が解除された電圧より若干高い値に電圧を設
定することを特徴とする請求項４ないし７記載のいずれ
かの静電吸着装置の吸着方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34817592A JPH06204325A (ja) | 1992-12-28 | 1992-12-28 | 静電吸着装置およびその吸着方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34817592A JPH06204325A (ja) | 1992-12-28 | 1992-12-28 | 静電吸着装置およびその吸着方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06204325A true JPH06204325A (ja) | 1994-07-22 |
Family
ID=18395254
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34817592A Pending JPH06204325A (ja) | 1992-12-28 | 1992-12-28 | 静電吸着装置およびその吸着方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06204325A (ja) |
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